CN110129723A - 金属掩膜条、掩膜板框架、金属掩膜板及其焊接方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种金属掩膜条、掩膜板框架、金属掩膜板及其焊接方法，属于显示技术领域。该金属掩膜条包括第一焊接区域、第二焊接区域以及在第一焊接区域和第二焊接区域间的图形区域，同时在第一焊接区域与图形区域间以及第二焊接区域与图形区域间分别具有可弯折区域；掩膜板框架具有相对的顶面和底面，在掩膜板框架的中部具有贯穿顶面和底面的镂空，该掩膜板框架还包括分别位于镂空的相对两侧的第一焊接区域和第二焊接区域，且第一焊接区域和第二焊接区域均位于顶面和底面之间。通过可弯折区域，可展平金属掩膜条的褶皱，同时使焊点高度低于掩膜板框架顶面，消除了金属掩膜板与衬底间的空隙，提高镀膜精度；衬底与焊点无接触，不会使衬底损坏。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种金属掩膜条、掩膜板框架、金属掩膜板及其焊接方法。
背景技术
目前，金属掩膜板广泛应用于有机发光二极管(英文Organic Light-EmittingDiode，简称OLED)显示面板的制作中。
在OLED显示面板的制作过程中，采用金属掩膜板对衬底的表面进行遮挡，然后采用溅射或者蒸发工艺处理镀膜材料，使得镀膜材料穿过金属掩膜板的镂空部分，沉积在衬底的表面，得到图形化的膜层。
金属掩膜板包括掩膜板框架(英文Frame)和金属掩膜条(英文Metal Mask)，在使用时需要先通过张网和焊接等步骤将金属掩膜条固定到掩膜板框架上。例如，采用机械夹手(英文Gripper)夹住金属掩膜条的两端，然后拉伸金属掩膜条，将金属掩膜条的焊接区域和掩膜板框架表面的焊接区域对位，通过激光焊接将金属掩膜条焊接在掩膜板框架上。
发明内容
本发明实施例提供了一种金属掩膜条、掩膜板框架、金属掩膜板及其焊接方法，可以减小金属掩膜条图形区域褶皱，避免衬底损坏。所述技术方案如下：
一方面，本发明实施例中提供了一种金属掩膜条，该金属掩膜条包括第一焊接区域、第二焊接区域以及在第一焊接区域和第二焊接区域之间的图形区域；
金属掩膜条还包括可弯折区域，第一焊接区域与图形区域之间以及第二焊接区域与图形区域之间分别具有可弯折区域。
在本发明的实施例的一种实现方式中，第一焊接区域与图形区域之间和第二焊接区域与图形区域之间中的至少一处具有两个可弯折区域；两个可弯折区域依次设置在图形区域和第一焊接区域之间，或者两个可弯折区域依次设置在图形区域和第二焊接区域之间。
在本发明的实施例的一种实现方式中，该金属掩膜条还包括第三焊接区域，第三焊接区域位于以下位置中的至少一处：
可弯折区域和第一焊接区域之间；
可弯折区域和第二焊接区域之间。
在本发明的实施例的一种实现方式中，可弯折区域具有区别于该金属掩膜条的其他区域的可视化特征。
另一方面，本发明实施例中提供了一种掩膜板框架，该掩膜板框架具有相对的顶面和底面，掩膜板框架的中部具有贯穿顶面和底面的镂空；
该掩膜板框架还包括第一焊接区域、第二焊接区域，第一焊接区域和第二焊接区域位于镂空的相对两侧；
第一焊接区域、第二焊接区域均位于顶面和底面之间。
本发明的实施例的一种实现方式中，该掩膜板框架还包括位于顶面和底面之间的第一斜面，第一斜面与顶面的第一夹角为钝角，第一焊接区域和第二焊接区域均位于第一斜面上。
本发明的实施例的一种实现方式中，第一斜面与顶面的第一夹角的度数范围在135-175度之间。
本发明的实施例的一种实现方式中，该掩膜板框架还包括第二斜面，第二斜面位于顶面和第一斜面之间，第一斜面和第二斜面的第一连接线与第二斜面和顶面的第二连接线相互平行。
本发明的实施例的一种实现方式中，第一斜面与顶面之间的第一夹角小于第二斜面与顶面之间的第二夹角。
本发明的实施例的一种实现方式中，第一夹角和第二夹角的差值的范围在5-35度之间。
本发明的实施例的一种实现方式中，第二斜面上具有凹槽。
本发明的实施例的一种实现方式中，该掩膜板框架还包括圆弧形弯折区；
圆弧形弯折区位于以下位置中的至少一个上：
第一斜面与第二斜面相交处；
第二斜面与顶面相交处。
本发明的实施例的一种实现方式中，圆弧形弯折区的圆弧半径大于金属掩膜条的厚度。
另一方面，本发明实施例中还提供了一种金属掩膜板，该金属掩膜板包括前述中任一项的金属掩膜条，和前述中任一项的掩膜板框架。
另一方面，本发明实施例中还提供了一种金属掩膜板的焊接方法，焊接方法包括：
拉伸前述中任一项的金属掩膜条；
将金属掩膜条与前述任一项的掩膜板框架的顶面贴合，并使金属掩膜条的可弯折区域与掩膜板框架的顶面靠近掩膜板框架设置有第一焊接区域或第二焊接区域的侧面边缘重合；
将金属掩膜条的可弯折区域弯折，使金属掩膜条的第一焊接区域与掩膜板框架的第一焊接区域重合，金属掩膜条的第二焊接区域与掩膜板框架的第二焊接区域重合；
在金属掩膜条的第一焊接区域和第二焊接区域，将金属掩膜条与掩膜板框架焊接在一起。
本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：
在该金属掩膜条中，设置有图形区域和焊接区域，图形区域位于两个焊接区域之间。同时，在焊接区域和图形区域之间布置有可弯折区域。在该掩膜板框架中，设置有镂空和焊接区域，镂空位于两个焊接区域之间。同时，该焊接区域位于掩膜板框架的顶面和底面之间，也即位于掩膜板框架的侧面。
在使用过程时，需要将金属掩膜条焊接到掩膜板框架上，焊接时，图形区域与掩膜板框架上的镂空对应设置，可弯折区域与掩膜板框架的顶面靠近掩膜板框架设置有焊接区域的侧面边缘重合，然后在可弯折区域向下弯折金属掩膜条，此时将金属掩膜条的焊接区域焊接到掩膜板框架的侧面。
由于焊接区域位于掩膜板框架的侧面，从而使得焊点高度低于掩膜板框架顶面，消除了金属掩膜板与衬底表面间的空隙，提高了对位精度，进而提高了镀膜精度；同时，衬底与焊点之间没有接触，不会导致衬底损坏；另外，金属掩膜条在经过弯折后，在可弯折区域以外(如焊接区域)在拉伸及焊接过程中产生的褶皱无法传导到图形区域，从而能够展平金属掩膜条的图形区域的褶皱，提高镀膜精度。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例中提供的一种金属掩膜条的结构示意图；
图2是本发明实施例中提供的另一种金属掩膜条的结构示意图；
图3是本发明实施例中提供的另一种金属掩膜条的结构示意图；
图4是本发明实施例中提供的一种掩膜板框架的结构示意图；
图5是本发明实施例中提供的另一种掩膜板框架的剖面示意图；
图6是本发明实施例中提供的另一种掩膜板框架一侧的剖面示意图；
图7是本发明实施例中提供的一种金属掩膜板的结构示意图；
图8是本发明实施例中提供的另一种金属掩膜板的剖面示意图；
图9是本发明实施例中提供的另一种金属掩膜板一侧的剖面示意图；
图10是本发明实施例中提供的一种金属掩膜板的焊接方法的流程图；
图11-15是本发明实施例中提供的一种金属掩膜条与掩膜板框架焊接的流程示意图；
图16是相关技术中金属掩膜条上图形区域和焊接区域的褶皱情况对比图；
图17是本发明实施例中金属掩膜条上图形区域和焊接区域的褶皱情况对比图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。
由于金属掩膜条的厚度很薄，且金属掩膜条上布置有图形区域，即前述金属掩膜板上镂空的一部分，在金属掩膜条被拉伸的过程中，金属掩膜条中会产生不均匀的内应力，由于薄膜结构的屈曲效应会导致其发生褶皱，从而使得图形区域变形，影响镀膜的精度。同时，激光焊接形成的焊点有一定的高度，导致掩膜板框架和金属掩膜条之间存在空隙，且不同位置的焊点高度不一，会导致金属掩膜条随着焊点起伏，形成褶皱，同样会影响镀膜精度(如镀膜位置不准确或者镀膜大小不合适)。另外，焊点还会增大金属掩膜板与衬底的表面间的空隙，影响对位精度，进而影响镀膜精度，同时由于衬底与金属掩膜板接触时在焊点处受力较大，可能会导致衬底损坏。
图1是本发明实施例提供的一种金属掩膜条的结构示意图，参见图1，该金属掩膜条10包括第一焊接区域101、第二焊接区域102以及在第一焊接区域101和第二焊接区域102之间的图形区域103；金属掩膜条10还包括可弯折区域104，第一焊接区域101与图形区域103之间以及第二焊接区域102与图形区域103之间分别具有可弯折区域104。
其中，第一焊接区域101和第二焊接区域102是指用来和掩膜板框架焊接的区域。图形区域103包括多个镂空孔，这些镂空孔在蒸镀过程中与显示基板上的像素区域对应，以使溅射或者蒸发工艺处理镀膜材料穿过该镂空孔，附着到制作显示基板的衬底上。可弯折区域104是指用于弯折该金属掩膜条10，以将第一焊接区域101和第二焊接区域102焊接到掩膜板框架侧面的区域。
在该金属掩膜条10中，在第一焊接区域101、第二焊接区域102与图形区域103之间均布置有可弯折区域104，在使用该金属掩膜条10时，需要将金属掩膜条10焊接到掩膜板框架上，焊接时，图形区域103与掩膜板框架上的镂空对应设置，可弯折区域104与掩膜板框架的顶面靠近掩膜板框架设置有焊接区域的侧面边缘重合，然后在可弯折区域104处向下弯折金属掩膜条10，此时将金属掩膜条10的第一焊接区域101和第二焊接区域102焊接到掩膜板框架的侧面，从而使得焊点高度低于掩膜板框架顶面，消除了金属掩膜板与衬底表面间的空隙，提高了对位精度，进而提高了镀膜精度；同时，衬底与焊点之间没有接触，不会导致衬底损坏；金属掩膜条10在经过弯折后，在可弯折区域104以外(如焊接区域)的褶皱无法传导到图形区域103，从而能够展平金属掩膜条10的图形区域103的褶皱，提高镀膜精度。
在金属掩膜条10中，可弯折区域104具有区别于金属掩膜条10的其他区域(如焊接区域)的可视化特征。例如，可弯折区域104的厚度大于金属掩膜条10其他区域的厚度，提高可弯折区域104的强度，使该可弯折区104不易损坏；可弯折区域104可以为经过图形化处理(如镂空)的区域，便于焊接时将可弯折区域104与掩膜板框架的侧面边缘重合，同时也可使该可弯折区域104更易弯折；或在可弯折区104处设置标识线，便于焊接时将可弯折区域104与掩膜板框架的侧面边缘重合。
在图1所示的金属掩膜条10中，有两个焊接区域，第一焊接区域101和第二焊接区域102，且每个焊接区域和图形区域103之间均具有1个可弯折区104，即图1中可弯折区域104的数量为2。在其他实施例中，可弯折区域104和焊接区域的数量均可以大于2，且图形区域103两侧的焊接区域的数量可不相等，图形区域103两侧的可弯折区域104的数量可不相等；另外，金属掩膜条10上的焊接区域的数量和可弯折区域104的数量可不相等。
如图1所示，金属掩膜条10还包括两条切割线105和两个夹持区域106。其中，切割线105是指在焊接完成后，沿此条切割线105对该金属掩膜条10进行切割，去除金属掩膜条10上的多余部分；夹持区域106是指在焊接过程中对该金属掩膜条10进行夹持的区域。
图2是本发明实施例中提供的另一种金属掩膜条的结构示意图，参见图2，图2所示的金属掩膜条与图1所示的金属掩膜条的区别在于，在图2所示的结构中，第一焊接区域101与图形区域103之间具有两个可弯折区域104，两个可弯折区域104依次设置在图形区域103和第一焊接区域101之间；第二焊接区域102与图形区域103之间具有两个可弯折区域104，两个可弯折区域104依次设置在图形区域103和第二焊接区域102之间。
通过在第一焊接区域101和图形区域103之间、第二焊接区域102与图形区域103之间分别布置两个可弯折区域104，增强对金属掩膜条10褶皱的展平效果。
在其他实现方式中，也可以只在第一焊接区域101和图形区域103之间或第二焊接区域102与图形区域103之间中的一处设置2个可弯折区域104，即金属掩膜条10的图形区域103的其中一侧只设有一个可弯折区域104，这样的金属掩膜条10的结构更简单。
在其他实现方式中，在第一焊接区域101和图形区域103之间的可弯折区域104的数量可大于2；在第二焊接区域102和图形区域103之间的可弯折区域104的数量也可大于2。
并且，第一焊接区域101与图形区域103之间的可弯折区域104的数量与第二焊接区域102与图形区域103之间的可弯折区域104的数量可以相等，也可以不等。
图3是本发明实施例中提供的另一种金属掩膜条的结构示意图，图3所示的金属掩膜条与图1所示的金属掩膜条的区别在于，在图3所示的结构中，金属掩膜条10还包括第三焊接区域201，可弯折区域104和第一焊接区域101之间以及可弯折区域104和第二焊接区域102之间分别具有一个第三焊接区域201。
在金属掩膜条10的图形区域103的两侧均布置两个焊接区域，可增强对金属掩膜条10的固定效果。
在其他实现方式中，也可以只在第一焊接区域101与可弯折区域104之间、第二焊接区域102与可弯折区域104之间中的一处设置第三焊接区域201，从而使得图形区域103的其中一侧只设置有1个焊接区域，结构更简单。
在其他实现方式中，在第一焊接区域101和图形区域103之间的第三焊接区域201的数量可大于1；在第二焊接区域102和图形区域103之间的第三焊接区域201的数量也可大于1。
并且，第一焊接区101与可弯折区域104之间的第三焊接区域201的数量，与第二焊接区域102与可弯折区域104之间的第三焊接区域201的数量可以相等，也可以不等。
在图3所示的金属掩膜条10中，在第一焊接区域101和第三焊接区域201之间、第二焊接区域102和第三焊接区域201之间均布置有一个可弯折区域104，也即在第一焊接区域101与图形区域103之间、第二焊接区域102与图形区域103之间均具有两个可弯折区域104。
在其他实现方式中，第一焊接区域101和第三焊接区域201之间或者第二焊接区域102与第三焊接区域201之间也可不布置可弯折区域104，简化金属掩膜条10的结构。
在其他实现方式中，第一焊接区域101和第三焊接区域201之间或者第二焊接区域102与第三焊接区域201也可布置多个可弯折区域104，加强对金属掩膜条10褶皱的展平效果。
图4是本发明实施例中提供的一种掩膜板框架的结构示意图。参见图4，该掩膜板框架40具有相对的顶面401和底面402，该掩膜板框架40的中部具有贯穿顶面401和底面402的镂空403；掩膜板框架40还包括第一焊接区域404、第二焊接区域405，第一焊接区域404和第二焊接区域405位于镂空403的相对两侧；第一焊接区域404、第二焊接区域405均位于掩膜板框架40的顶面401和底面402之间。
其中，掩膜板框架40的顶面401是指该掩膜板框架40与衬底接触的面，底面402是指与掩膜板框架40的顶面401相对的面。镂空403与图1所示图形区域103对应，在蒸镀过程中，溅射或者蒸发工艺处理的镀膜材料先穿过镂空403，再穿过图形区域103，最后附着到衬底上。第一焊接区域404和第二焊接区域405是指和图1所示的第一焊接区域101和第二焊接区域102进行焊接的区域。
在该掩膜板框架中，第一焊接区域404和第二焊接区域405位于掩膜板框架40的侧面，在使用该掩膜板框架时，需要将金属掩膜条10焊接到掩膜板框架40上，焊接时，金属掩膜条10的图形区域103与掩膜板框架40上的镂空403对应设置，然后向下弯折金属掩膜条10，此时将金属掩膜条10焊接到掩膜板框架40的侧面的第一焊接区域404和第二焊接区域405。由于第一焊接区域404和第二焊接区域405位于掩膜板框架40的侧面，从而使得与金属掩膜条10焊接时形成的焊点高度低于掩膜板框架40的顶面401，消除了金属掩膜板与衬底表面间的空隙，提高了对位精度，进而提高了镀膜精度；同时，衬底与焊点之间没有接触，不会导致衬底损坏；另外，金属掩膜条10在经过弯折后，在可弯折区域104以外(如焊接区域)在拉伸及焊接过程中产生的褶皱无法传导到图形区域103，从而能够展平金属掩膜条10的图形区域103的褶皱，提高镀膜精度。
该掩膜板框架40的材料可以为金属，以确保可以与金属掩膜条10进行焊接。
在图4所示的掩膜板框架40中，镂空403的两侧均有一个焊接区域，第一焊接区域404和第二焊接区域405，在其他实现方式中，镂空403两侧的焊接区域的数量均可以大于1。并且，镂空403两侧的焊接区域数量可以相等，也可不相等。
在图4所示的掩膜板框架40中，该掩膜板框架40还包括位于顶面401和底面402之间的第一斜面406，第一斜面406与顶面401的第一夹角α1为钝角，第一焊接区域404和第二焊接区域405均位于第一斜面406上。
在图4所示的掩膜板框架40中，通过设置第一斜面406来设置焊接区域，可使金属掩膜条10在弯折时弯折角度小，不易损坏金属掩膜条10。
在其他实现方式中，该掩膜板框架40的侧面也可以不设置第一斜面406，也即为一竖直平面，这种实现方式，掩膜板框架40结构更简单。
在本发明实施例中，第一夹角α1的度数范围可以在135-175度之间，使金属掩膜条10弯折时不易损坏。
在图4所示的掩膜板框架40中，该掩膜板框架40还包括第一斜面406和掩膜板框架40的顶面401的第一连接线407，第一连接线407与金属掩膜条10的可弯折区域104对应，焊接时金属掩膜条10在第一连接线407处向下弯折。
图5是本发明实施例中提供的另一种掩膜板框架剖面的示意图，图5所示的掩膜板框架与图4所示的掩膜板框架的区别在于，在图5所示的结构中，掩膜板框架40还包括第二斜面501，第二斜面501位于顶面401和第一斜面406之间，第一斜面406和第二斜面501的第一连接线407与第二斜面501和顶面401的第二连接线502相互平行。
通过增加金属掩膜板40上斜面的数量，可增强在焊接时对金属掩膜条10褶皱的展平效果。另外，第一斜面406和第二斜面501的第一连接线407与第二斜面501和顶面401的第二连接线502相互平行，更容易控制金属掩膜条10在上述第一连接线407处和第二连接线502处弯折。
在其他实现方式中，第一斜面406和第二斜面501的第一连接线407与第二斜面501和顶面401的第二连接线502也可以不平行。
在图5所示的掩膜板框架40中，掩膜板框架40的镂空403两侧均包含有两个斜面；在其他实施例中，镂空403其中一侧的斜面数量可为1。
在其他实施例中，掩膜板框架40的镂空403任一侧的斜面数量均可大于2。
并且，位于镂空403两侧的斜面数量可以相等，也可以不等。
如图5所示，第一斜面406与顶面401之间的第一夹角α1，小于第二斜面501与顶面401之间的第二夹角α2。处于下方的斜面的坡度更大，使金属掩膜条10在斜面间也要进行弯折，增强对金属掩膜条10褶皱的展平效果。
在本发明实施例中，第一夹角α1和第二夹角α2的差值的范围在5-35度之间，使金属掩膜条10在使用过程中更易弯折，不易损坏。
图6是本发明实施例中提供的另一种掩膜板框架一侧剖面示意图，图6所示的掩膜板框架与图5所示的掩膜板框架的区别在于，在图6所示的结构中，在第二斜面501上具有凹槽601。
通过在第二斜面501上布置凹槽601，可避免因为斜面部分的掩膜板框架40不平整影响金属掩膜条10的贴合，进而传导并影响到图形区域103的平整性。
在其他实现方式中，当镂空403一侧的斜面的数量大于2时，相应地，也可以设置更多的凹槽601，来避免因为斜面部分的掩膜板框架40不平整影响金属掩膜条10的贴合，进而传导并影响到图形区域103的平整性。例如，镂空403一侧的斜面的数量为3，则可以在最靠近镂空403的两个斜面上分别设置凹槽601，在距离镂空403最远的斜面上设置焊接区域。
在图4至图6所示的掩膜板框架40中，可将第一连接线407、第二连接线502中的至少一处设置成圆弧形弯折区。也即，掩膜板框架40还包括圆弧形弯折区。
圆弧形弯折区对金属掩膜条10的可弯折区域104进行保护，使得金属掩膜条10弯折时不易损坏。
圆弧形弯折区的圆弧半径根据不同产品设计和工艺确定。圆弧形弯折区的圆弧半径大于金属掩膜条10的厚度，保证该圆弧形弯折区的圆弧有足够的长度，使得金属掩膜条10弯折时不易损坏。
本发明实施例还提供了一种金属掩膜板，该金属掩膜板包括前述金属掩膜条10以及掩膜板框架40。
本发明实施例提供的金属掩膜板可以为高精度金属掩膜板(英文Fine MetalMask,简称FMM)，可以用来沉积显示面板中的R/G/B发光膜层，以确保将材料蒸镀在规定位置。
下面结合附图对该金属掩膜板的结构进行示例性说明。
图7是本发明实施例提供的一种金属掩膜板的结构示意图，参见图7，该金属掩膜板包括如图1所示金属掩膜条10和如图4所示掩膜板框架40。
在使用金属掩膜条10时，需要将金属掩膜条10焊接到掩膜板框架40上，焊接时，金属掩膜条10的图形区域103与掩膜板框架40上的镂空403对应设置，将金属掩膜条10的可弯折区域104与掩膜板框架40的顶面401靠近掩膜板框架40设置有第一焊接区域404或第二焊接区域405的侧面的边缘重合；然后在可弯折区域104向下弯折金属掩膜条10，将金属掩膜条10焊接到掩膜板框架40的侧面焊接区域。
由于金属掩膜条10在可弯折区域104处经过弯折，可展平图形区域103的褶皱，提高镀膜进度；同时将第一焊接区域404和第二焊接区域405设置在掩膜板框架40的侧面，使焊接形成的焊点不与衬底接触，不会导致衬底破坏，提高生产良率。另外，金属掩膜条10在经过弯折后，在可弯折区域104以外(如焊接区域)在拉伸及焊接过程中产生的褶皱无法传导到图形区域103，从而能够展平金属掩膜条10的图形区域103的褶皱，提高镀膜精度。
图8是本发明实施例中提供的另一种金属掩膜板的剖面示意图，参见图8，该金属掩膜板包括如图3所示的金属掩膜条10和如图5所示的掩膜板框架40。
该掩膜板框架40在第一斜面406与顶面401的相交处设为圆弧形弯折区801，第一斜面406与第二斜面501的相交处设为圆弧形弯折区801。
在图8所示的掩膜板框架中，在第二斜面501与顶面401的相交处、第二斜面501与第一斜面406的相交处均设置成圆弧形弯折区801，从而可以对金属掩膜条10的可弯折区域104进行保护。
在图8所示的掩膜板框架40的镂空403两侧均有两个斜面，在每一侧的两个斜面均布置有焊接区域，焊接完成形成焊点802。焊点802是指金属掩膜条10与掩膜板框架20在焊接过程中，金属材料熔融并固化后形成的凸起的点，焊点802高度低于掩膜板框架40的顶面401。
在其他实现方式中，可只在掩膜板框架40的镂空403每一侧的其中一个斜面上布置焊接区域，即只在其中一个斜面上进行焊接。
在图8中，金属掩膜条10与掩膜板框架40焊接时，各个焊接区域形成的焊点802的数量可以相等或不等。每个焊接区域的焊点802的数量为数十至数百个。
图9是本发明实施例中提供的另一种金属掩膜板的一侧剖面示意图，参见图9，该金属掩膜板包括有如图2所示的金属掩膜条10和如图6所示的掩膜板框架40。金属掩膜条10与掩膜板框架40在第一斜面406上焊接，形成了焊点802，金属掩膜条10在凹槽601处与掩膜板框架40无接触，避免由于凹槽601处的掩膜板框架40不平整，影响对金属掩膜条10褶皱的展平效果。
在图9所示的掩膜板框架中，在第二斜面501与顶面401的相交处(也即凹槽601与顶面401的相交处)和第二斜面501与第一斜面406的相交处(也即凹槽601与第一斜面406的相交处)均设置成圆弧形弯折区801，从而可以对金属掩膜条10的可弯折区域104进行保护。
图10是本发明实施例中提供的一种金属掩膜板的焊接方法的流程图，参见图10，该方法包括：
步骤901：拉伸金属掩膜条10。
该金属掩膜条为前文所述的金属掩膜条10，例如图1～图3所示。
下面结合附图11至15，以图1所示的金属掩膜条10和图4所示的掩膜板框架40为例，对金属掩膜板的焊接方法进行描述：
如图11所示，用可旋转角度的夹持机械手1101夹持金属掩膜条10的夹持区域106，并拉伸金属掩膜条10，使金属掩膜条10的图形区域103与掩膜板框架40的镂空403(图中未示出)相对应。
步骤902：将金属掩膜条10与掩膜板框架40的顶面401贴合，并使金属掩膜条10的可弯折区域104与掩膜板框架40的顶面401的边缘重合，顶面401的边缘重合为靠近掩膜板框架40设置有第一焊接区域404或第二焊接区域405的侧面的边缘。
该掩膜板框架为前文所述的掩膜板框架40，例如图4～图6所示。当采用不同结构的金属掩膜条10时，需要采用相应结构的掩膜板框架40，例如采用图1所示的金属掩膜条10时，掩膜板框架选用图4所示的掩膜板框架40；采用图2所示的金属掩膜条10时，掩膜板框架选用图6所示的掩膜板框架40；采用图3所示的金属掩膜条10时，掩膜板框架选用图5所示的掩膜板框架40。
如图12所示，用可旋转角度的夹持机械手1101夹持金属掩膜条10下降，使金属掩膜条10与掩膜板框架40的顶面401接触，金属掩膜条10的可弯折区域104与掩膜板框架40的顶面401靠近掩膜板框架40设置有第一焊接区域404或第二焊接区域405的侧面边缘重合。
步骤903：将金属掩膜条10的可弯折区域104弯折，使金属掩膜条10的第一焊接区域101与掩膜板框架40的第一焊接区域404重合，金属掩膜条10的第二焊接区域102与掩膜板框架40的第二焊接区域405重合。
如图13所示，用可旋转角度的夹持机械手1101夹持金属掩膜条10旋转一定角度，使金属掩膜条10两侧的拉伸方向与掩膜板框架40上的第一斜面406方向一致，该金属掩膜条10的可弯折区域104发生弯折，金属掩膜条10两端与掩膜板框架40上第一斜面406贴合，使金属掩膜条10的第一焊接区域101与掩膜板框架40的第一焊接区域404(图中未示出)重合，金属掩膜条10的第二焊接区域102与掩膜板框架40的第二焊接区域405(图中未示出)重合。
步骤904：在金属掩膜条10的第一焊接区域101和第二焊接区域102处，将金属掩膜条10与掩膜板框架40焊接在一起。
如图14所示，将可变角度的焊接激光头1401移动至掩膜板框架40的第一斜面406上，使焊接激光头1401与第一斜面406呈垂直方向，然后在金属掩膜条10的第一焊接区域101和第二焊接区域102处，将金属掩膜条10与掩膜板框架40焊接在一起。
在图14中，激光焊接头1401采用一定波长的高能量脉冲激光，轰击掩膜板框架40的表面使焊接区域瞬间熔融，固化后即可与金属掩膜条10焊接在一起。
当掩膜板框架40的同一侧具有多个焊接区域时，多个焊接区域的焊接先后顺序可以不限定。
如图15所示，激光焊接后，在第一斜面406上形成焊点802，在金属掩膜条10的切割线105处对金属掩膜条10进行切割，去除夹持区106(图中未示出)，完成金属掩膜板的焊接过程。
下面结合附图对本发明实施例提供的方案的效果进行说明。图16是相关技术中金属掩膜条10上图形区域103和焊接区域的褶皱情况对比图。图17是本发明实施例中金属掩膜条10上图形区域103和焊接区域的褶皱情况对比图。
其中，横坐标表示焊接区域或图形区域103的位置，单位：mm，例如坐标0既表示图形区域103的位置0，也表示焊接区域的位置0，且两个区域的位置0可以指不同的位置；纵坐标表示褶皱高度，单位：μm。
通过图16与图17的对比可以明显看出本发明的技术方案能够明显改善金属掩膜条10上图形区域103的褶皱情况，提高镀膜精度。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (15)
1.一种金属掩膜条，其特征在于，所述金属掩膜条(10)包括第一焊接区域(101)、第二焊接区域(102)以及在所述第一焊接区域(101)和所述第二焊接区域(102)之间的图形区域(103)；
所述金属掩膜条(10)还包括可弯折区域(104)，所述第一焊接区域(101)与所述图形区域(103)之间以及所述第二焊接区域(102)与所述图形区域(103)之间分别具有所述可弯折区域(104)。
2.根据权利要求1所述的金属掩膜条，其特征在于，所述第一焊接区域(101)与所述图形区域(103)之间和所述第二焊接区域(102)与所述图形区域(103)之间中的至少一处具有两个所述可弯折区域(104)；
两个所述可弯折区域(104)依次设置在所述图形区域(103)和所述第一焊接区域(101)之间，或者两个所述可弯折区域(104)依次设置在所述图形区域(103)和所述第二焊接区域(102)之间。
3.根据权利要求1所述的金属掩膜条，其特征在于，所述金属掩膜条(10)还包括第三焊接区域(201)，所述第三焊接区域(201)位于以下位置中的至少一处：
所述可弯折区域(104)和所述第一焊接区域(101)之间；
所述可弯折区域(104)和所述第二焊接区域(102)之间。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的金属掩膜条，其特征在于，所述可弯折区域(104)具有区别于所述金属掩膜条(10)的其他区域的可视化特征。
5.一种掩膜板框架，其特征在于，所述掩膜板框架(40)，具有相对的顶面(401)和底面(402)，所述掩膜板框架(40)的中部具有贯穿所述顶面(401)和所述底面(402)的镂空(403)；
所述掩膜板框架(40)还包括第一焊接区域(404)、第二焊接区域(405)，所述第一焊接区域(404)和所述第二焊接区域(405)位于所述镂空(403)的相对两侧；
所述第一焊接区域(404)、所述第二焊接区域(405)均位于所述顶面(401)和所述底面(402)之间。
6.根据权利要求5所述的掩膜板框架，其特征在于，所述掩膜板框架(40)还包括位于所述顶面(401)和所述底面(402)之间的第一斜面(406)，所述第一斜面(406)与所述顶面(401)的第一夹角(α1)为钝角，所述第一焊接区域(404)或所述第二焊接区域(405)位于所述第一斜面(406)上。
7.根据权利要求6所述的掩膜板框架，其特征在于，所述第一夹角(α1)的度数范围在135-175度之间。
8.根据权利要求6或7所述的掩膜板框架，其特征在于，所述掩膜板框架(40)还包括第二斜面(501)，所述第二斜面(501)位于所述顶面(401)和所述第一斜面(406)之间，所述第一斜面(406)和所述第二斜面(501)的第一连接线(407)与所述第二斜面(501)和所述顶面(401)的第二连接线(502)相互平行。
9.根据权利要求8所述的掩膜板框架，其特征在于，所述第一斜面(406)与所述顶面(401)之间的第一夹角(α1)小于所述第二斜面(501)与所述顶面(401)之间的第二夹角(α2)。
10.根据权利要求9所述的掩膜板框架，其特征在于，所述第一夹角(α1)和所述第二夹角(α2)的差值的范围在5-35度之间。
11.根据权利要求8所述的掩膜板框架，其特征在于，所述第二斜面(501)上具有凹槽(601)。
12.根据权利要求8所述的掩膜板框架，其特征在于，所述掩膜板框架(40)还包括圆弧形弯折区(801)；
所述圆弧形弯折区(801)位于以下位置中的至少一个上：
所述第一斜面(406)与所述第二斜面(501)相交处；
所述第二斜面(501)与所述顶面(401)相交处。
13.根据权利要求12所述的掩膜板框架，其特征在于，所述圆弧形弯折区(801)的圆弧半径大于金属掩膜条(10)的厚度。
14.一种金属掩膜板，其特征在于，所述金属掩膜板包括如权利要求1至4中任一项所述的金属掩膜条(10)和如权利要求5至13中任一项所述的掩膜板框架(40)。
15.一种金属掩膜板的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：
拉伸如权利要求1至4中任一项所述的金属掩膜条(10)；
将所述金属掩膜条(10)与如权利要求5至13中任一项所述的掩膜板框架(40)的顶面(401)贴合，并使所述金属掩膜条(10)的可弯折区域(104)与所述掩膜板框架(40)的顶面(401)的边缘重合，所述顶面(401)的边缘重合为靠近所述掩膜板框架(40)设置有所述第一焊接区域(404)或所述第二焊接区域(405)的侧面的边缘；
将所述金属掩膜条(10)的可弯折区域(104)弯折，使所述金属掩膜条(10)的所述第一焊接区域(101)与所述掩膜板框架(40)的所述第一焊接区域(404)重合，所述金属掩膜条(10)的所述第二焊接区域(102)与所述掩膜板框架(40)的所述第二焊接区域(405)重合；
在所述金属掩膜条(10)的所述第一焊接区域(101)和所述第二焊接区域(102)，将所述金属掩膜条(10)与所述掩膜板框架(40)焊接在一起。
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Legal Events
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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