KR102444139B1 - 증착 마스크의 제조 방법, 유기 반도체 소자의 제조 방법 및 유기 el 디스플레이의 제조 방법 - Google Patents

증착 마스크의 제조 방법, 유기 반도체 소자의 제조 방법 및 유기 el 디스플레이의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

증착 제작하는 패턴에 대응하는 수지 마스크 개구부(25)를 가지는 수지 마스크(20)의 한쪽 면 상에, 금속 마스크 개구부(15)를 가지는 금속 마스크(10)가 적층되어 이루어지는 증착 마스크의 제조 방법에 있어서, 복수의 수지 마스크 개구부(25)를 형성함에 있어서, 복수의 수지 마스크 개구부(25) 중 어느 하나의 수지 마스크 개구부(25a)는, 수지 마스크의 두께 방향 단면에 있어서, 상기 하나의 수지 마스크 개구부를 형성하는 한쪽의 내벽면과 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각(θ1)과, 상기 하나의 수지 마스크 개구부를 형성하는 다른 쪽의 내벽면과 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각(θ2)이 상이하도록 수지 마스크 개구부(25)를 형성한다.

Description

증착 마스크의 제조 방법, 유기 반도체 소자의 제조 방법 및 유기 EL 디스플레이의 제조 방법
본 개시의 실시형태는, 증착 마스크의 제조 방법, 유기 반도체 소자의 제조 방법 및 유기 EL 디스플레이의 제조 방법에 관한 것이다.
증착 마스크를 사용한 증착 패턴의 형성은, 통상, 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부가 형성된 증착 마스크와 증착 대상물을 밀착시키고, 증착원으로부터 방출된 증착재를 개구부를 통하여, 증착 대상물에 부착시키는 것에 의해 행해진다.
상기 증착 패턴의 형성에 사용되는 증착 마스크로서는, 예를 들면 증착 작성하는 패턴에 대응하는 수지 마스크 개구부를 가지는 수지 마스크와, 금속 마스크 개구부(슬릿이라고 불리는 경우도 있음)를 가지는 금속 마스크를 적층하여 이루어지는 증착 마스크(예를 들면, 특허문헌 1) 등이 알려져 있다. 또한, 금속제의 증착 마스크(섀도 마스크)도 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 2).
일본특허 제5288072호 공보 일본공개특허 평10-319870호 공보
본 개시의 실시형태는, 수지 마스크와 금속 마스크가 적층되어 이루어지는 증착 마스크나, 이 증착 마스크가 프레임에 고정되어 이루어지는 프레임이 부착된 증착 마스크에 있어서, 가일층의 고정밀한 증착 패턴의 형성이 가능해지는 증착 마스크의 제조 방법을 제공하는 것, 또한, 유기 반도체 소자를 양호한 정밀도로 제조할 수 있는 유기 반도체 소자의 제조 방법이나, 유기 EL 디스플레이를 양호한 정밀도로 제조할 수 있는 유기 EL 디스플레이의 제조 방법을 제공하는 것을 주된 과제로 한다.
본 개시의 일 실시형태의 증착 마스크의 제조 방법은, 증착 제작하는 패턴에 대응하는 수지 마스크 개구부를 가지는 수지 마스크의 한쪽 면 상에, 금속 마스크 개구부를 가지는 금속 마스크가 적층되어 이루어지는 증착 마스크의 제조 방법으로서, 수지판의 한쪽 면에 상기 금속 마스크가 적층된 금속 마스크 부착 수지판을 준비하는 공정과, 상기 금속 마스크 부착 수지판의 금속 마스크 개구부를 통하여 레이저를 조사함으로써 상기 수지판에 복수의 수지 마스크 개구부를 형성하는 공정을 포함하고, 상기 수지 마스크 개구부를 형성하는 공정에 있어서는, 상기 복수의 상기 수지 마스크 개구부 중 어느 하나의 수지 마스크 개구부는, 상기 수지 마스크의 두께 방향 단면(斷面)에 있어서, 상기 하나의 수지 마스크 개구부를 형성하는 한쪽의 내벽면과 상기 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각과, 상기 하나의 수지 마스크 개구부를 형성하는 다른 쪽의 내벽면과 상기 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각이 상이하도록 수지 마스크 개구부를 형성한다.
또한, 본 개시의 다른 일 실시형태의 증착 마스크의 제조 방법은, 증착 제작하는 패턴에 대응하는 수지 마스크 개구부를 가지는 수지 마스크의 한쪽 면 상에, 금속 마스크 개구부를 가지는 금속 마스크가 적층되어 이루어지는 증착 마스크의 제조 방법으로서, 수지판의 한쪽 면에 상기 금속 마스크가 적층된 금속 마스크 부착 수지판을 준비하는 공정과, 상기 금속 마스크 부착 수지판의 금속 마스크 개구부를 통하여 레이저를 조사함으로써 상기 수지판에 복수의 수지 마스크 개구부를 형성하는 공정을 포함하고, 상기 수지 마스크 개구부를 형성하는 공정에 있어서는, 상기 수지 마스크의 두께 방향 단면에 있어서, 상기 복수의 상기 수지 마스크 개구부 중 하나의 수지 마스크 개구부를 형성하는 내벽면의 한쪽의 내벽면과 상기 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각과, 다른 하나의 수지 마스크 개구부를 형성하는 내벽면의 한쪽의 내벽면과 상기 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각이 상이하도록 수지 마스크를 형성한다.
상기의 증착 마스크의 제조 방법에 있어서는, 상기 수지 마스크 개구부를 형성하는 공정에 있어서, 상기 수지 마스크의 두께 방향 단면에 있어서, 상기 하나의 수지 마스크 개구부를 형성하는 한쪽의 내벽면과 상기 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각과, 상기 하나의 수지 마스크 개구부를 형성하는 다른 쪽의 내벽면과 상기 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각이 상이하도록 수지 마스크를 형성해도 된다.
본 개시의 다른 일 실시형태의 증착 마스크의 제조 방법은, 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부를 가지는 증착 마스크의 제조 방법으로서, 수지판을 준비하는 공정과, 레이저를 조사함으로써 상기 수지판에 복수의 개구부를 형성하는 공정을 포함하고, 상기 개구부를 형성하는 공정에 있어서는, 상기 증착 마스크의 면 중, 증착원 측에 위치하는 면을 증착 마스크의 한쪽 면으로 했을 때, 상기 복수의 개구부 중 어느 하나의 개구부는, 상기 증착 마스크의 두께 방향 단면에 있어서, 상기 하나의 개구부를 형성하는 한쪽의 내벽면과 상기 증착 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각과, 상기 하나의 개구부를 형성하는 다른 쪽의 내벽면과 상기 증착 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각이 상이하도록 개구부를 형성한다.
본 개시의 다른 일 실시형태의 증착 마스크의 제조 방법은, 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부를 가지는 증착 마스크의 제조 방법으로서, 수지판을 준비하는 공정과, 레이저를 조사함으로써 상기 수지판에 복수의 개구부를 형성하는 공정을 포함하고, 상기 개구부를 형성하는 공정에 있어서는, 상기 증착 마스크의 면 중, 증착원 측에 위치하는 면을 증착 마스크의 한쪽 면으로 했을 때, 상기 증착 마스크의 두께 방향 단면에 있어서, 상기 복수의 개구부 중 하나의 개구부를 형성하는 내벽면의 한쪽의 내벽면과 상기 증착 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각과, 다른 하나의 개구부를 형성하는 내벽면의 한쪽의 내벽면과 상기 증착 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각이 상이하도록 개구부를 형성한다.
상기의 증착 마스크의 제조 방법에 있어서는, 상기 수지 마스크 개구부를 형성하는 공정에 있어서, 상기 증착 마스크의 두께 방향 단면에 있어서, 상기 하나의 개구부를 형성하는 한쪽의 내벽면과 상기 증착 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각과, 상기 하나의 개구부를 형성하는 다른 쪽의 내벽면과 상기 증착 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각이 상이하도록 개구부를 형성해도 된다.
또한, 본 개시의 일 실시형태의 유기 반도체 소자의 제조 방법은, 증착 마스크를 사용하여 증착 대상물에 증착 패턴을 형성하는 증착 패턴 형성 공정을 포함하고, 상기 증착 패턴 형성 공정에서 사용되는 상기 증착 마스크가, 상기의 증착 마스크이다.
또한, 본 개시의 일 실시형태의 유기 EL 디스플레이 제조 방법은, 상기의 제조 방법에 의해 제조된 유기 반도체 소자를 사용된다.
본 개시의 증착 마스크의 제조 방법에 의하면, 고정밀한 증착 패턴을 형성 가능한 증착 마스크를 제조할 수 있다. 또한, 본 개시의 유기 반도체 소자의 제조 방법에 의하면, 유기 반도체 소자를 양호한 정밀도로 제조할 수 있다. 또한, 본 개시의 유기 EL 디스플레이의 제조 방법에 의하면, 유기 EL 디스플레이를 양호한 정밀도로 제조할 수 있다.
[도 1] 도 1의 (a)는, 본 개시의 증착 마스크를 금속 마스크 측으로부터 평면으로 볼 때의 일례를 나타내는 정면도이고, 도 1의 (b)는, 도 1의 (a)의 개략 단면도(斷面圖)이다.
[도 2] 본 개시의 증착 마스크의 일례를 나타내는 개략 단면도이다.
[도 3] 본 개시의 증착 마스크의 일례를 나타내는 개략 단면도이다.
[도 4] 본 개시된 증착 마스크의 일례를 나타내는 개략 단면도이다.
[도 5] 증착원으로부터 방출되는 증착재와, 수지 마스크 개구부의 관계를 나타내는 도면이다.
[도 6] 증착원으로부터 방출되는 증착재와, 수지 마스크 개구부의 관계를 나타내는 도면이다.
[도 7] 실시형태(A)의 증착 마스크를 금속 마스크 측으로부터 평면으로 볼 때의 일례를 나타내는 정면도이다.
[도 8] 실시형태(A)의 증착 마스크를 금속 마스크 측으로부터 평면으로 볼 때의 일례를 나타내는 정면도이다.
[도 9] 실시형태(A)의 증착 마스크를 금속 마스크 측으로부터 평면으로 볼 때의 일례를 나타내는 정면도이다.
[도 10] 도 10의 (a), 도 10의 (b)는 모두 실시형태(A)의 증착 마스크를 금속 마스크 측으로부터 평면으로 볼 때의 일례를 나타내는 정면도이다.
[도 11] 실시형태(B)의 증착 마스크를 금속 마스크 측으로부터 평면으로 볼 때의 일례를 나타내는 정면도이다.
[도 12] 실시형태(B)의 증착 마스크를 금속 마스크 측으로부터 평면으로 볼 때의 일례를 나타내는 정면도이다.
[도 13] 프레임이 부착된 증착 마스크의 일례를 나타내는 정면도이다.
[도 14] 프레임이 부착된 증착 마스크의 일례를 나타내는 정면도이다.
[도 15] 도 15의 (a)∼도 15의 (c)는 프레임의 일례를 나타내는 정면도이다.
[도 16] 유기 EL 디스플레이를 가지는 디바이스의 일례를 나타내는 도면이다.
[도 17] 도 17의 (a)는, 본 개시의 증착 마스크를 금속층 측으로부터 평면으로 볼 때의 일례를 나타내는 정면도이고, 도 17의 (b)는, 도 17의 (a)의 A-A 개략 단면도이다.
[도 18] 본 개시의 증착 마스크를 금속층 측으로부터 평면으로 볼 때의 일례를 나타내는 정면도이다.
[도 19] 본 개시의 증착 마스크를 금속층 측으로부터 평면으로 볼 때의 일례를 나타내는 정면도이다.
[도 20] 본 개시의 증착 마스크의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
[도 21] 본 개시의 증착 마스크의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
[도 22] 본 개시의 증착 마스크의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명의 실시형태를, 도면 등을 참조하면서 설명한다. 그리고, 본 발명은 많은 상이한 태양(態樣)으로 실시하는 것이 가능하고, 이하에 예시하는 실시형태의 기재 내용에 한정해서 해석되는 것은 아니다. 또한, 도면은 설명에 의해 명확하게 하기 위해, 실제의 태양에 비하여, 각 부의 폭, 두께, 형상 등에 대하여 모식적으로 표현되는 경우가 있지만, 어디까지나 일례로서, 본 발명의 해석을 한정하는 것은 아니다. 또한, 본원 명세서라고 각 도면에 있어서, 앞서 나온 도면에 관하여 전술한 것과 동일한 요소에는 동일한 부호를 붙이고, 상세한 설명을 적절히 생략하는 경우가 있다. 또한, 설명의 편의상, 상방 또는 하방 등이라는 어구를 사용하여 설명하지만, 상하 방향이 역전되어도 된다. 좌우 방향에 대해서도 마찬가지다.
<<증착 마스크>>
도 1의 (a), 도 1의 (b)에 나타낸 바와 같이, 본 개시의 실시형태에 관한 증착 마스크(100)는, 증착 제작하는 패턴에 대응하는 복수의 수지 마스크 개구부(25)를 가지는 수지 마스크(20)와, 금속 마스크 개구부(15)를 가지는 금속 마스크(10)가, 수지 마스크 개구부(25)와 금속 마스크 개구부(15)가 중첩되게 하여 적층되어 이루어지는 구성을 보이고 있다. 그리고, 도 1의 (a)는, 본 개시의 실시형태에 관한 증착 마스크(100)를 금속 마스크 측으로부터 평면으로 볼 때의 일례를 나타내는 정면도이고, 도 1의 (b)는, 도 1의 (a)의 A-A 개략 단면도이다.
그리고, 본 개시의 실시형태에 관한 증착 마스크(100)는, 수지 마스크(20)가 수지 마스크 개구부(25)를 복수 가지고 있고, 복수의 수지 마스크 개구부(25) 중 어느 하나의 수지 마스크 개구부(25)(예를 들면, 도 2의 도면부호 "25a"로 나타내어지는 수지 마스크 개구부)는, 수지 마스크(20)의 두께 방향 단면에 있어서, 상기 하나의 수지 마스크 개구부(25)를 형성하는 한쪽의 내벽면(도시하는 형태에서는 대향하는 내벽면 중 좌측에 위치하는 내벽면)과 수지 마스크(20)의 다른 쪽 면(도시하는 형태에서는 수지 마스크의 하면)이 이루는 예각(예를 들면, 도 2의 도면부호 "25a"로 나타내어지는 수지 마스크 개구부의 「θ1」)과, 상기 하나의 수지 마스크 개구부(25)를 형성하는 다른 쪽의 내벽면(도시하는 형태에서는 대향하는 내벽면 중 우측에 위치하는 내벽면)과 수지 마스크(20)의 다른 쪽 면이 이루는 예각(예를 들면, 도 2의 부호 "25a"로 나타내어지는 수지 마스크 개구부의 「θ2」)이 상이하도록 구성되어 있다. 이하, 이 구성을 만족시키는 조건을 「조건 A」라고 하는 경우가 있다.
또한, 본 개시의 실시형태에 관한 증착 마스크(100)는, 상기의 구성에 더하거나, 또는, 상기의 구성을 대신하여, 수지 마스크(20)의 두께 방향 단면에 있어서, 복수의 상기 수지 마스크 개구부(25) 중 하나의 수지 마스크 개구부(25)(예를 들면, 도 3에 있어서 도면부호 "25a"로 나타내어지는 수지 마스크 개구부)를 형성하는 내벽면의 한쪽의 내벽면(도시하는 형태에서는 대향하는 내벽면 중 우측에 위치하는 내벽면)과 수지 마스크(20)의 다른 쪽 면(도시하는 형태에서는 수지 마스크의 하면)이 이루는 예각(예를 들면, 도 3의 도면부호 "25a"로 나타내어지는 수지 마스크 개구부의 「θa」)과, 다른 하나의 수지 마스크 개구부(25)(예를 들면, 도 3에 있어서 도면부호 "25b"로 나타내어지는 수지 마스크 개구부)를 형성하는 내벽면의 한쪽의 내벽면(도시하는 형태에서는 대향하는 내벽면 중 우측에 위치하는 내벽면)과 수지 마스크(20)의 다른 쪽 면(도시하는 형태에서는 수지 마스크의 하면)이 이루는 예각(예를 들면, 도 3의 도면부호 "25b"로 나타내어지는 수지 마스크 개구부의 「θb」)이 상이하도록 구성되어 있다. 이하, 이 구성을 만족시키는 조건을 「조건 B」라고 하는 경우가 있다. 또한, 수지 마스크(20)의 두께 방향 단면에 있어서, 수지 마스크 개구부(25)를 형성하는 내벽면과, 수지 마스크(20)의 다른 쪽 면(금속 마스크로 접하지 않는 측의 면)이 이루는 예각을「구배」라고 하는 경우가 있다. 또한, 본원 명세서에서, 수지 마스크(20)의 두께 방향 단면에 있어서, 상기 하나의 수지 마스크 개구부(25)를 형성하는 한쪽의 내벽면, 및 다른 하나의 수지 마스크 개구부(25)를 형성하는 한쪽의 내벽면은, 수지 마스크(20)의 두께 방향 단면에 있어서, 동일 방향 측에 위치하는 내벽면을 의미한다. 다른 쪽의 내벽면에 대해서도 마찬가지이다.
그리고, 각 도면에 나타내는 형태에서는, 수지 마스크 개구부(25)의 내벽면 형상은 직선 형상으로 되어 있지만, 직선 이외의 형상, 예를 들면 곡률이나, 산접기 계곡접기를 반복하는 형상이어도 된다. 이 경우, 내벽면과 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각이란, 내벽면의 형상의 근사 곡선(예를 들면, 선형 근사)과 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각으로 하면 된다.
본 개시의 실시형태에 관한 증착 마스크(100)에 의하면, 도 5, 도 6에 나타낸 바와 같은, 상기 증착 마스크를 사용한 증착 패턴의 형성 시에 있어서, 섀도우의 발생을 억제할 수 있다. 구체적으로는, 상기 「조건 A」, 및 「조건 B」 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 만족시키는 수지 마스크 개구부(25)를, 증착원으로부터 방출되는 증착재의 방출 각도 등에 따라서 적절히 배치함으로써, 섀도우의 발생을 억제할 수 있다.
요약하면, 본 개시의 실시형태에 관한 증착 마스크(100)는, 증착원으로부터 방출되는 증착재의 방출 각도에 따라서, 수지 마스크(20)를 단면으로 봤을 때의 수지 마스크 개구부(25)의 개구 형상을 적절히 상이하게 함으로써, 섀도우의 발생을 억제 가능하게 하고 있다(도 5, 도 6 참조). 그리고, 도 5, 도 6은, 증착원으로부터 방출되는 증착재와, 수지 마스크 개구부(25)의 관계를 나타내는 도면이고, 도 5에서는, 하나의 증착원으로부터 증착재가 방출되고, 도 6에서는, 3개의 증착원으로부터 증착재가 방출된 형태를 취한다. 또한, 도 5, 도 6에서는, 증착원으로부터의 거리가 소정의 위치에 있는 수지 마스크 개구부(25)(예를 들면, 도 5, 도 6에 있어서 도면부호 "25x", "25z"로 나타내어지는 수지 마스크 개구부)의 「구배」를, 이것보다 가까운 위치에 있는 수지 마스크 개구부(예를 들면, 도 5, 도 6에 있어서 도면부호 "25y"로 나타내어지는 수지 마스크 개구부)의 「구배」와 상이하게 하고 있고, 또한, 하나의 수지 마스크 개구부(25)(예를 들면, 도 5, 도 6에 있어서 도면부호 "25x", "25z"로 나타내어지는 수지 마스크 개구부)에 있어서, 한쪽의 내벽면과 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 「구배」를, 동일한 수지 마스크 개구부(예를 들면, 도 5, 도 6에 있어서 도면부호 "25x", "25z"로 나타내어지는 수지 마스크 개구부)를 형성하는, 다른 쪽의 내벽면과 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 「구배」와 상이하게 하고 있다.
증착원에 대해서는 도시하는 형태에 한정되지 않고, 2개, 또는 4개 이상의 증착원이어도 된다. 또한, 소정의 방향으로 증착원을 주사 가능한 리니어 소스 증착원이어도 된다. 증착원이 어떠한 형태를 취하는 경우라도, 상기 증착원으로부터 방출되는 증착재의 방출 각도를 고려하여, 수지 마스크(20)에는, 상기 「조건 A」 및 「조건 B」 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 만족시키는 수지 마스크 개구부(25)가 형성되어 있다.
그리고, 본원 명세서에서 말하는 섀도우란, 증착원으로부터 방출된 증착재의 일부가, 수지 마스크(20)의 한쪽 면(도 5, 도 6에 나타내는 형태에서는 하측의 면)에 있어서의 수지 마스크 개구부(25) 부근, 또는 수지 마스크 개구부(25)의 내벽면에 충돌하여 증착 대상물에 도달하지 않는 것에 의해, 목적으로 하는 증착막 두께보다 얇은 막 두께로 되는 미증착 부분이 생기는 현상을 말한다. 또한, 본원 명세서에서 말하는 수지 마스크 개구부(25)의 내벽면이란, 수지 마스크 개구부(25) 그 자체를 형성하고 있는 수지 마스크의 면, 바꾸어 말하면, 수지 마스크 개구부 내의 공간에 면하고 있는 면을 말한다.
도 2는, 본 개시의 실시형태에 관한 증착 마스크(100)의 일례를 나타내는 개략 단면도이고, 상기 증착 마스크를 단면으로 봤을 때, 수지 마스크(20)는, 수지 마스크 개구부(25)로서 수지 마스크 개구부(25a), 수지 마스크 개구부(25b), 수지 마스크 개구부(25c), 수지 마스크 개구부(25d)를 가지고 있다. 도 2에 나타내는 형태에서는, 모든 수지 마스크 개구부(25)는 동일한 단면 형상으로 되어 있고, 하나의 증착 마스크 개구부를 형성하는 한쪽의 내벽면과 수지 마스크(20)의 다른 쪽 면이 이루는 「구배」와, 동일한 수지 마스크 개구부(25)를 형성하는 다른 쪽의 내벽면과 수지 마스크(20)의 다른 쪽 면이 이루는 「구배」는 상이하다. 즉, 도 2에 나타내는 형태에 있어서, 수지 마스크 개구부(25a)에 있어서의 「구배」의 관계는, θ1≠θ2로 되어 있고, 수지 마스크 개구부(25a)와, 다른 수지 마스크 개구부(25)[수지 마스크 개구부(25b, 25c, 25d)]의 「구배」의 관계에 있어서, θ1=θ3=θ5=θ7로 되어 있고, θ2=θ4=θ6=θ8로 되어 있다.
도 2에 나타내는 형태에 있어서, θ1≠θ3≠θ5≠θ7의 관계로 되는 「구배」로 해도 되고, 이것 이외로 해도 된다. 예를 들면, θ1≠θ3=θ5≠θ7이나, θ1=θ3≠5=θ7의 관계로 되는 구성으로 할 수도 있다. 또한, 도 2에 나타내는 형태에서는, θ2=θ4=θ6=θ8의 관계로 되도록, 수지 마스크 개구부(25)가 형성되어 있으나, 이 관계에 한정되는 것은 아니고, 증착원으로부터 방출되는 증착재의 방출 각도 등을 고려하여 결정하면 된다. 즉, 증착원의 위치 등에 따라서, 적절히 결정하면 된다. 그리고, 섀도우 발생의 억제 효과 향상의 관점에서는, 증착원으로부터의 거리가 멀어짐에 따라, 「구배」가 작아지는 구성으로 하는 것이 바람직하다.
예를 들면, 도 3에 나타내는 형태의 증착 마스크(100)는, 수지 마스크(20)가, 수지 마스크 개구부(25)로서 수지 마스크 개구부(25a), 수지 마스크 개구부(25b), 수지 마스크 개구부(25c), 수지 마스크 개구부(25d)를 가지고 있고, 각각의 수지 마스크 개구부(25)에 있어서, 수지 마스크 개구부(25)의 한쪽의 내벽면과 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 「구배」를 동일하게 하고(도 3의 부호 θ1로 나타내어지는 「구배」), 각각의 수지 마스크 개구부(25)의 한쪽의 내벽면과 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 「구배」를 상이하게 한(도 3의 부호 θa, θb, θc, θd로 나타내어지는 「구배」를 상이하게 함) 것으로 해도 된다. 또한, 도 3에 나타내는 형태 대신에, 도 3의 부호 θa, θb, θc, θd로 나타내어지는 「구배」를 동일하게 하고, 도 3의 부호 θ1로 나타내어지는 「구배」의 일부, 또는 전부를 상이하게 해도 된다.
도 4에 나타내는 형태의 증착 마스크(100)는, 폭 방향의 중앙을 통과하는 기준선 상으로서, 금속 마스크 측에 증착원이 위치하는 경우를 상정(想定)한 형태이고, 수지 마스크(20)가, 수지 마스크 개구부(25)로서 수지 마스크 개구부(25a), 수지 마스크 개구부(25b), 수지 마스크 개구부(25c), 수지 마스크 개구부(25d)를 가지고 있고, 수지 마스크 개구부(25b)의 「구배」 θ4, 및 수지 마스크 개구부(25c)의 「구배」 θ6보다도, 수지 마스크 개구부(25a)의 「구배」 θ2 및 수지 마스크 개구부(25d)의 「구배」 θ7이 작아지도록 구성되어 있다.
그리고, 도 4에 나타내는 형태에 있어서, 각각의 「구배」를 상이하게 해도 된다. 또한, 일부의 「구배」를 동일하게 해도 된다.
수지 마스크 개구부(25)의 「구배」에 대하여 어떠한 한정도 되는 것은 아니고, 증착원으로부터 방출되는 증착재의 방출 각도를 고려하여 적절히 결정하면 된다. 그리고, 각각의 수지 마스크 개구부(25)의 「구배」는, 증착재의 방출 각도보다 작은 각도로 하는 것이 바람직하다. 일례로서의 「구배」의 범위는, 5° 이상 85° 이하의 범위 내이고, 15° 이상 75° 이하의 범위 내나, 25° 이상 65° 이하의 범위 내 등을 들 수 있다.
도 1에 나타내는 형태에서는, 증착 마스크(100)를 금속 마스크 측으로부터 평면으로 볼 때의 수지 마스크 개구부(25)의 개구 형상은 직사각형을 보이고 있으나, 개구 형상에 대하여 특별히 한정은 없고, 수지 마스크 개구부(25)의 개구 형상은 마름모형, 다각형상이어도 되고, 원이나, 타원 등의 곡률을 가지는 형상이어도 된다. 그리고, 직사각형이나, 다각형상의 개구 형상은 원이나 타원의 곡률을 가지는 개구 형상과 비교하여 발광 면적을 크게 취할 수 있는 점에서, 바람직한 수지 마스크 개구부(25)의 개구 형상이라고 할 수 있다.
또한, 본원 명세서에서 말하는 수지 마스크(20)의 두께 방향 단면이란, 수지 마스크 개구부(25)의 개구 형상이 직사각형, 또는 다각형상인 경우에는, 상기 개구부의 내벽면을 직교하는 두께 방향 단면을 의미하고, 원이나, 타원 곡률을 가지는 형상인 경우에는, 접선에 직교하는 두께 방향 단면을 의미한다.
이하, 상기 「조건 A」, 「조건 B」를 만족시키는 수지 마스크(20)나, 금속 마스크(10)에 대하여 구체적인 예를 들어 설명한다.
<수지 마스크>
수지 마스크(20)의 재료에 대하여 한정은 없고, 예를 들면 레이저 가공 등에 의해 고정밀한 수지 마스크 개구부(25)의 형성이 가능하고, 열이나 경시에 의한 치수 변화율이나 흡습률이 작고, 경량인 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 이와 같은 재료로서는 폴리이미드 수지, 폴리아미드 수지, 폴리아미드이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리에틸렌 수지, 폴리비닐알코올 수지, 폴리프로필렌 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리스티렌 수지, 폴리아크릴로니트릴 수지, 에틸렌-아세트산비닐 공중합체 수지, 에틸렌-비닐알코올 공중합체 수지, 에틸렌-메타크릴산 공중합체 수지, 폴리염화비닐 수지, 폴리염화비닐리덴 수지, 셀로판, 아이오노머 수지 등을 들 수 있다. 상기에 예시한 재료 중에서도, 그 열팽창 계수가 16ppm/이하인 수지 재료가 바람직하고, 흡습률이 1.0% 이하인 수지 재료가 바람직하고, 이 양쪽의 조건을 갖추는 수지 재료가 특히 바람직하다. 이 수지 재료를 사용한 수지 마스크로 함으로써, 수지 마스크 개구부(25)의 치수 정밀도를 향상시킬 수 있고, 또한 열이나 경시에서의 치수 변화율이나 흡습률을 작게 할 수 있다.
수지 마스크(20)의 두께에 대하여 특별히 한정은 없지만, 상기 「조건 A」, 「조건 B」 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 만족시키는 수지 마스크 개구부를 가지는 수지 마스크(20)에 있어서, 섀도우 발생의 억제 효과를 더 향상시킬 수 있는 경우에는, 수지 마스크(20)의 두께는 25㎛ 이하인 것이 바람직하고, 10㎛ 미만인 것이 보다 바람직하다. 특히, 수지 마스크(20)의 두께를 3㎛ 이상 10㎛ 미만, 보다 바람직하게는 4㎛ 이상 8㎛ 이하로 함으로써, 400ppi를 초과하는 고정밀 패턴을 형성할 때의 섀도우의 영향을 보다 효과적으로 방지할 수 있다. 수지 마스크(20)의 두께를 바람직한 범위로 함으로써, 핀홀 등의 결함이나, 변형 등의 발생을 억제할 수 있다.
수지 마스크(20)와 후술하는 금속 마스크(10)는 직접적으로 접합되어 있어도 되고, 점착제층을 통하여 접합되어 있어도 되지만, 점착제층을 통하여 수지 마스크(20)와 금속 마스크(10)가 접합되는 경우에는, 수지 마스크(20)와 점착제층의 합계의 두께가 상기 바람직한 두께의 범위 내인 것이 바람직하다.
<금속 마스크>
도 1의 (b)에 나타낸 바와 같이, 수지 마스크(20)의 한쪽 면 상에는, 금속 마스크(10)가 적층되어 있다. 금속 마스크(10)는 금속으로 구성되고, 도 1의 (a)에 나타낸 바와 같이, 종방향 또는 횡방향으로 연장되는 금속 마스크 개구부(15)가 배치되어 있다. 금속 마스크 개구부(15)의 배치예에 대하여 특별히 한정은 없고, 종방향 및 횡방향으로 연장되는 금속 마스크 개구부(15)가 종방향 및 횡방향으로 복수 열 배치되어 있어도 되고, 종방향으로 연장되는 금속 마스크 개구부(15)가 횡방향으로 복수 열 배치되어 있어도 되고, 횡방향으로 연장되는 금속 마스크 개구부가 종방향으로 복수 열 배치되어 있어도 된다. 또한, 종방향, 또는 횡방향으로 1열만 배치되어 있어도 된다. 또한, 복수의 금속 마스크 개구부(15)는 랜덤으로 배치되어 있어도 된다. 또한, 금속 마스크 개구부(15)는 하나여도 된다. 그리고, 본원 명세서에서 말하는 「종방향」, 「횡방향」이란, 도면의 상하 방향, 좌우 방향을 가리키고, 증착 마스크, 수지 마스크, 금속 마스크의 길이 방향, 폭 방향의 어느 방향이어도 된다. 예를 들면 증착 마스크, 수지 마스크, 금속 마스크의 길이 방향을 「종방향」으로 해도 되고, 폭 방향을 「종방향」으로 해도 된다. 또한, 본원 명세서에서는, 증착 마스크를 평면으로 볼 때의 형상이 직사각형인 경우를 예로 들어 설명하고 있으나, 이것 이외의 형상, 예를 들면 원형상이나, 마름모형상 등의 다각형상으로 해도 된다. 이 경우, 대각선의 긴 방향이나, 직경 방향, 또는 임의의 방향을 「길이 방향」으로 하고, 이 「길이 방향」에 직교하는 방향을 「폭 방향(짧은 방향이라고 하는 경우도 있음)」으로 하면 된다.
금속 마스크(10)의 재료에 대하여 특별히 한정은 없고, 증착 마스크의 분야에서 종래 공지의 것을 적절히 선택하여 사용할 수 있고, 예를 들면, 스테인레스강, 철 니켈 합금, 알루미늄 합금 등의 금속 재료를 들 수 있다. 그 중에서도, 철 니켈 합금인 인바(invar)재는 열에 의한 변형이 적으므로 바람직하게 사용할 수 있다.
금속 마스크(10)의 두께에 대해서도 특별히 한정은 없으나, 섀도우의 발생을 보다 효과적으로 방지하기 위해서는, 100㎛ 이하인 것이 바람직하고, 50㎛ 이하인 것이 보다 바람직하고, 35㎛ 이하인 것이 특히 바람직하다. 그리고, 5㎛보다 얇게 한 경우, 파단이나 변형의 리스크가 높아지고, 또한 핸들링이 곤란해지는 경향이 있다.
또한, 각 도면에 나타낸 형태에서는, 금속 마스크 개구부(15)의 개구를 평면으로 볼 때의 형상은 직사각형을 보이고 있으나, 개구 형상에 대하여 특별히 한정은 없고, 금속 마스크 개구부(15)의 개구 형상은 사다리꼴형상, 원형상 등 어떠한 형상이어도 된다.
금속 마스크(10)에 형성되는 금속 마스크 개구부(15)의 단면 형상에 대해서도 특별히 한정되지 않지만, 도 1의 (b)에 나타낸 바와 같이 증착원을 향하여 확대되는 형상인 것이 바람직하다. 보다 구체적으로는, 금속 마스크(10)의 금속 마스크 개구부(15)에 있어서의 하측 바닥 선단과, 동일하게 금속 마스크(10)의 금속 마스크 개구부(15)에 있어서의 상측 바닥 선단을 연결한 직선과, 금속 마스크(10)의 바닥면이 이루는 각도, 바꾸어 말하면, 금속 마스크(10)의 금속 마스크 개구부(15)를 구성하는 내벽면의 두께 방향 단면에 있어서, 금속 마스크 개구부(15)의 내벽면과 금속 마스크(10)의 수지 마스크(20)와 접하는 측의 면(도시하는 형태에서는, 금속 마스크의 상면)이 이루는 각도는 5° 이상 85° 이하의 범위 내인 것이 바람직하고, 15° 이상 80° 이하의 범위 내인 것이 보다 바람직하고, 25° 이상 65° 이하의 범위 내인 것이 더욱 바람직하다. 특히는, 상기 범위 내 중에서도, 사용하는 증착기의 증착 각도보다 작은 각도인 것이 바람직하다.
또한, 금속 마스크 개구부(15)의 개구 공간이 브리지에 의해 구획되어 있어도 된다(도시하지 않음).
수지 마스크(20)의 한쪽 면 상에 금속 마스크(10)를 적층하는 방법에 대하여 특별히 한정은 없고, 수지 마스크(20)와 금속 마스크(10)를 각종 점착제를 사용하여 맞붙여도 되고, 자기 점착성을 가지는 수지 마스크를 사용해도 된다. 수지 마스크(20)와 금속 마스크(10)의 크기는 동일해도 되고, 상이한 크기여도 된다. 그리고, 이 후에 임의로 행해지는 프레임으로의 고정을 고려하여, 수지 마스크(20)의 크기를 금속 마스크(10)보다 작게 하고, 금속 마스크(10)의 외주 부분이 노출된 상태로 해 놓으면, 금속 마스크(10)와 프레임의 고정이 용이해져 바람직하다.
다음에, 보다 바람직한 증착 마스크의 구체적인 예로서, 실시형태(A) 및 실시형태(B)를 예로 들어 설명한다.
그리고, 이하에서 설명하는 실시형태(A) 및 실시형태(B)의 증착 마스크(100)의 수지 마스크(20)는, 상기 「조건 A」 및 「조건 B」 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 만족시키고 있다.
<실시형태(A)의 증착 마스크>
도 7에 나타낸 바와 같이, 실시형태(A)의 증착 마스크(100)는, 복수 화면분의 증착 패턴을 동시에 형성하기 위한 증착 마스크로서, 수지 마스크(20)의 한쪽 면 상에, 복수의 금속 마스크 개구부(15)가 형성된 금속 마스크(10)가 적층되어 이루어지고, 수지 마스크(20)에는 복수 화면을 구성하기 위해 필요한 수지 마스크 개구부(25)가 형성되고, 각 금속 마스크 개구부(15)가 적어도 1화면 전체와 겹치는 위치에 형성되어 있다.
실시형태(A)의 증착 마스크(100)는, 복수 화면분의 증착 패턴을 동시에 형성하기 위해 사용되는 증착 마스크이고, 하나의 증착 마스크(100)로, 복수의 제품에 대응하는 증착 패턴을 동시에 형성할 수 있다. 실시형태(A)의 증착 마스크에서 말하는 「수지 마스크 개구부」란, 실시형태(A)의 증착 마스크(100)를 사용하여 제작하려고 하는 패턴을 의미하고, 예를 들면, 상기 증착 마스크를 유기 EL 디스플레이에 있어서의 유기층의 형성에 사용하는 경우에는, 수지 마스크 개구부(25)의 형상은 상기 유기층의 형상으로 된다. 또한, 「1화면」이란, 하나의 제품에 대응하는 수지 마스크 개구부(25)의 집합체로 이루어지고, 상기 하나의 제품이 유기 EL 디스플레이인 경우에는, 하나의 유기 EL 디스플레이를 형성하는 데에 필요한 유기층의 집합체, 즉 유기층으로 되는 수지 마스크 개구부(25)의 집합체가 「1화면」으로 된다. 그리고, 실시형태(A)의 증착 마스크(100)는, 복수 화면분의 증착 패턴을 동시에 형성하기 위해, 수지 마스크(20)에는, 상기 「1화면」이 소정의 간격을 두고 복수 화면분 배치되어 있다. 즉, 수지 마스크(20)에는, 복수 화면을 구성하기 위해 필요한 수지 마스크 개구부(25)가 형성되어 있다.
실시형태(A)의 증착 마스크는, 수지 마스크의 한쪽 면 상에, 복수의 금속 마스크 개구부(15)가 형성된 금속 마스크(10)가 설치되고, 각 금속 마스크 개구부는, 각각 적어도 1화면 전체와 겹치는 위치에 형성되어 있다. 바꾸어 말하면, 1화면을 구성하기 위해 필요한 수지 마스크 개구부(25) 사이에 있어서, 횡방향으로 인접하는 수지 마스크 개구부(25) 사이에, 금속 마스크 개구부(15)의 종방향의 길이와 같은 길이로서, 금속 마스크(10)와 같은 두께를 가지는 금속선 부분이나, 종방향으로 인접하는 수지 마스크 개구부(25) 사이에, 금속 마스크 개구부(15)의 횡방향 길이와 같은 길이로서, 금속 마스크(10)와 같은 두께를 가지는 금속선 부분이 존재하지 않고 있다. 이하, 금속 마스크 개구부(15)의 종방향의 길이와 같은 길이로서, 금속 마스크(10)와 같은 두께를 가지는 금속선 부분이나, 금속 마스크 개구부(15)의 횡방향 길이와 같은 길이로서, 금속 마스크(10)와 같은 두께를 가지는 금속선 부분을 총칭하여, 단지 금속선 부분이라고 하는 경우가 있다.
실시형태(A)의 증착 마스크(100)에 의하면, 1화면을 구성하기 위해 필요한 수지 마스크 개구부(25)의 크기나, 1화면을 구성하는 수지 마스크 개구부(25) 사이의 피치를 좁게 한 경우, 예를 들면, 400ppi를 초과하는 화면의 형성을 행하기 위해, 수지 마스크 개구부(25)의 크기나, 수지 마스크 개구부(25) 사이의 피치를 지극히 미소하게 한 경우라도, 금속선 부분에 의한 간섭을 방지할 수 있고, 고정밀한 화상의 형성이 가능해진다. 그리고, 1화면이 복수의 금속 마스크 개구부에 의해 분할되어 있을 경우, 바꾸어 말하면, 1화면을 구성하는 수지 마스크 개구부(25) 사이에 금속 마스크(10)와 같은 두께를 가지는 금속선 부분이 존재하고 있는 경우에는, 1화면을 구성하는 수지 마스크 개구부(25) 사이의 피치가 좁아져 가는 것에 수반하여, 수지 마스크 개구부(25) 사이에 존재하는 금속선 부분이 증착 대상물에 증착 패턴을 형성할 때의 지장이 되어 고정밀한 증착 패턴의 형성이 곤란하게 된다. 바꾸어 말하면, 1화면을 구성하는 수지 마스크 개구부(25) 사이에 금속 마스크(10)와 같은 두께를 가지는 금속선 부분이 존재하고 있는 경우에는, 프레임이 부착된 증착 마스크로 했을 때 상기 금속선 부분이, 섀도우의 발생을 야기하여 고정밀도인 화면의 형성이 곤란하게 된다.
다음에, 도 7∼도 10을 참조하여, 1화면을 구성하는 수지 마스크 개구부(25)의 일례에 대하여 설명한다. 그리고, 도시하는 형태에 있어서 파선으로 폐쇄된 영역이 1화면으로 되어 있다. 도시하는 형태에서는, 설명의 편의상 소수의 수지 마스크 개구부(25)의 집합체를 1화면으로 하고 있으나, 이 형태에 한정되는 것이 아니며, 예를 들면, 하나의 수지 마스크 개구부(25)를 1화소로 했을 때, 1화면에 수백만 화소의 수지 마스크 개구부(25)가 존재하고 있어도 된다.
도 7에 나타내는 형태에서는 종방향, 횡방향으로 복수의 수지 마스크 개구부(25)가 형성되어 이루어지는 수지 마스크 개구부(25)의 집합체에 의해 1화면이 구성되어 있다. 도 8에 나타내는 형태에서는, 횡방향으로 복수의 수지 마스크 개구부(25)가 형성되어 이루어지는 수지 마스크 개구부(25)의 집합체에 의해 1화면이 구성되어 있다. 또한, 도 9에 나타내는 형태에서는, 종방향으로 복수의 수지 마스크 개구부(25)가 형성되어 이루어지는 수지 마스크 개구부(25)가 집합체에 의해 1화면이 구성되어 있다. 그리고, 도 7∼도 10에서는, 1화면 전체와 겹치는 위치에 금속 마스크 개구부(15)가 형성되어 있다.
상기에서 설명한 바와 같이, 금속 마스크 개구부(15)는, 1화면과만 겹치는 위치에 형성되어 있어도 되고, 도 10의 (a), 도 10의 (b)에 나타낸 바와 같이, 2 이상의 화면 전체와 겹치는 위치에 형성되어 있어도 된다. 도 10의 (a)에서는, 도 7에 나타내는 증착 마스크(100)에 있어서, 횡방향으로 연속하는 2화면 전체와 겹치는 위치에 금속 마스크 개구부(15)가 형성되어 있다. 도 10의 (b)에서는, 종방향으로 연속하는 3화면 전체와 겹치는 위치에 금속 마스크 개구부(15)가 형성되어 있다.
다음에, 도 7에 나타내는 형태를 예로 들어, 1화면을 구성하는 수지 마스크 개구부(25) 사이의 피치, 화면 사이의 피치에 대하여 설명한다. 1화면을 구성하는 수지 마스크 개구부(25) 사이의 피치나, 수지 마스크 개구부(25)의 크기에 대하여 특별히 한정은 없고, 증착 제작하는 패턴에 따라서 적절히 설정할 수 있다. 예를 들면, 400ppi의 고정밀도인 증착 패턴의 형성을 행하는 경우에는, 1화면을 구성하는 수지 마스크 개구부(25)에 있어서 인접하는 수지 마스크 개구부(25)의 횡방향의 피치(P1), 종방향의 피치(P2)는 60㎛ 정도로 된다. 또한, 일례로서의 수지 마스크 개구부의 크기는 500μ㎡ 이상 1000μ㎡ 이하의 범위 내이다. 또한, 1개의 수지 마스크 개구부(25)는 1화소에 대응하고 있는 것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 화소 배열에 따라서는, 복수 화소를 모아 하나의 수지 마스크 개구부(25)로 할 수도 있다.
화면 사이의 횡방향 피치(P3), 종방향 피치(P4)에 대해서도 특별히 한정은 없지만, 도 7에 나타낸 바와 같이, 하나의 금속 마스크 개구부(15)가 1화면 전체와 겹치는 위치에 형성되는 경우에는, 각 화면 사이에 금속선 부분이 존재하게 된다. 따라서, 각 화면 사이의 종방향 피치(P4), 횡방향의 피치(P3)가, 1화면 내에 형성되어 있는 수지 마스크 개구부(25)의 종방향 피치(P2), 횡방향 피치(P1)보다 작은 경우, 또는 대략 동등한 경우에는, 각 화면 사이에 존재하고 있는 금속선 부분이 단선되기 쉬워진다. 따라서, 이 점을 고려하면, 화면 사이의 피치(P3, P4)는, 1화면을 구성하는 수지 마스크 개구부(25) 사이의 피치(P1, P2)보다 넓은 것이 바람직하다. 화면 사이의 피치(P3, P4)의 일례로서는, 1㎜ 이상 100㎜ 이하의 범위 내이다. 그리고, 화면 사이의 피치란 하나의 화면과, 이 하나의 화면과 인접하는 다른 화면에 있어서, 인접하고 있는 수지 마스크 개구부 사이의 피치를 의미한다. 이러한 점은, 후술하는 실시형태(B)의 증착 마스크에 있어서의 수지 마스크 개구부(25) 사이의 피치, 화면 사이의 피치에 대해서도 마찬가지이다.
그리고, 도 10에 나타낸 바와 같이, 하나의 금속 마스크 개구부(15)가 2개 이상의 화면 전체와 겹치는 위치에 형성되는 경우에는, 하나의 금속 마스크 개구부(15) 내에 설치되어 있는 복수의 화면 사이에는, 금속 마스크 개구부의 내벽면을 구성하는 금속선 부분이 존재하지 않게 된다. 따라서, 이 경우, 하나의 금속 마스크 개구부(15)와 겹치는 위치에 형성되어 있는 2개 이상의 화면 사이의 피치는, 1화면을 구성하는 수지 마스크 개구부(25) 사이의 피치와 대략 동등해도 된다.
또한, 수지 마스크(20)에는, 수지 마스크(20)의 종방향, 또는 횡방향으로 연장되는 홈(도시하지 않음)이 형성되어 있어도 된다. 증착 시에 열이 가해진 경우, 수지 마스크(20)가 열팽창하고, 이에 의해 수지 마스크 개구부(25)의 치수나 위치에 변화가 생길 가능성이 있으나, 홈을 형성함으로써 수지 마스크의 팽창을 흡수할 수 있고, 수지 마스크의 각처에서 발생하는 열팽창이 누적되는 것에 의해 수지 마스크(20)가 전체로서 소정의 방향으로 팽창하여 수지 마스크 개구부(25)의 치수나 위치가 변화되는 것을 방지할 수 있다. 홈의 형성 위치에 대하여 한정은 없고, 1화면을 구성하는 수지 마스크 개구부(25) 사이나, 수지 마스크 개구부(25)와 겹치는 위치에 형성되어 있어도 되지만, 화면 사이에 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 홈은 수지 마스크의 한쪽 면, 예를 들면, 금속 마스크와 접하는 측의 면에만 형성되어 있어도 되고, 금속 마스크와 접하지 않는 측의 면에만 형성되어 있어도 된다. 또는, 수지 마스크(20)의 양면에 형성되어 있어도 된다.
또한, 인접하는 화면 사이에 종방향으로 연장되는 홈으로 해도 되고, 인접하는 화면 사이에 횡방향으로 연장되는 홈을 형성해도 된다. 나아가, 이들을 조합한 태양에서 홈을 형성하는 것도 가능하다.
홈의 깊이나 그 폭에 대해서는 특별히 한정은 없으나, 홈의 깊이가 지나치게 깊은 경우나, 폭이 지나치게 넓은 경우에는, 수지 마스크(20)의 강성이 저하되는 경향이 있으므로, 이 점을 고려하여 설정하는 것이 필요하다. 또한, 홈의 단면 형상에 대해서도 특별히 한정되지 않고 U자 형상이나 V자 형상 등, 가공 방법 등을 고려하여 임의로 선택하면 된다. 실시형태(B)의 증착 마스크에 대해서도 마찬가지이다.
<실시형태(B)의 증착 마스크>
다음에, 실시형태(B)의 증착 마스크에 대하여 설명한다. 도 11에 나타낸 바와 같이, 실시형태(B)의 증착 마스크는, 증착 제작하는 패턴에 대응한 수지 마스크 개구부(25)가 복수 형성된 수지 마스크(20)의 한쪽 면 상에, 하나의 금속 마스크 개구부(15)가 형성된 금속 마스크(10)가 적층되어 이루어지고, 상기 복수의 수지 마스크 개구부(25)의 전부가, 금속 마스크(10)에 형성된 하나의 금속 마스크 개구부(15)와 겹치는 위치에 형성되어 있다.
실시형태(B)의 증착 마스크에서 말하는 수지 마스크 개구부(25)란, 증착 대상물에 증착 패턴을 형성하기 위해 필요한 수지 마스크 개구부를 의미하고, 증착 대상물에 증착 패턴을 형성하기 위해 필요하지 않은 수지 마스크 개구부는, 하나의 금속 마스크 개구부(15)와 겹치지 않는 위치에 형성되어 있어도 된다. 그리고, 도 11은, 실시형태(B)의 증착 마스크의 일례를 나타낸 증착 마스크를 금속 마스크 측으로부터 평면으로 볼 때의 정면도이다.
실시형태(B)의 증착 마스크(100)는, 복수의 수지 마스크 개구부(25)를 가지는 수지 마스크(20) 상에, 하나의 금속 마스크 개구부(15)를 가지는 금속 마스크(10)가 설치되어 있고, 또한, 복수의 수지 마스크 개구부(25)의 전부는 상기 하나의 금속 마스크 개구부(15)와 겹치는 위치에 형성되어 있다. 이 구성을 가지는 실시형태(B)의 증착 마스크(100)에서는, 수지 마스크 개구부(25) 사이에, 금속 마스크의 두께와 같은 두께, 또는, 금속 마스크의 두께보다 두꺼운 금속선 부분이 존재하고 있지 않으므로, 상기 실시형태(A)의 증착 마스크에서 설명한 바와 같이, 금속선 부분에 의한 간섭을 받지 않고 수지 마스크(20)에 형성되어 있는 수지 마스크 개구부(25)의 치수대로 고정밀한 증착 패턴을 형성하는 것이 가능해진다.
또한, 실시형태(B)의 증착 마스크에 의하면, 금속 마스크(10)의 두께를 두껍게 한 경우라도, 섀도우의 영향을 거의 받는 일이 없으므로, 금속 마스크(10)의 두께를 내구성이나, 핸들링성을 충분히 만족시킬 수 있을 때가지 두껍게 할 수 있고, 고정밀한 증착 패턴의 형성을 가능하게 하면서도, 내구성이나, 핸들링성을 향상시킬 수 있다.
실시형태(B)의 증착 마스크에 있어서의 수지 마스크(20)는 수지로 구성되고, 도 11에 나타낸 바와 같이, 하나의 금속 마스크 개구부(15)와 겹치는 위치에 증착 제작하는 패턴에 대응한 수지 마스크 개구부(25)가 복수 형성되어 있다. 수지 마스크 개구부(25)는 증착 제작하는 패턴에 대응하고 있고, 증착원으로부터 방출된 증착재가 수지 마스크 개구부(25)를 통과함으로써, 증착 대상물에는 수지 마스크 개구부(25)에 대응하는 증착 패턴이 형성된다. 그리고, 도시하는 형태에서는, 수지 마스크 개구부가 종횡으로 복수 열 배치된 예를 들어 설명을 하고 있으나, 종방향, 또는 횡방향으로만 배치되어 있어도 된다.
실시형태(B)의 증착 마스크(100)에 있어서의 「1화면」이란, 하나의 제품에 대응하는 수지 마스크 개구부(25)의 집합체를 의미하고, 이 하나의 제품이 유기 EL 디스플레이인 경우에는, 하나의 유기 EL 디스플레이를 형성하는 데에 필요한 유기층의 집합체, 즉 유기층으로 되는 수지 마스크 개구부(25)의 집합체가 「1화면」으로 된다. 실시형태(B)의 증착 마스크는, 「1화면」으로만 이루어지는 것이어도 되고, 상기 「1화면」이 복수 화면분 배치된 것이어도 되지만, 「1화면」이 복수 화면분 배치되는 경우에는, 화면 단위마다 소정의 간격을 두고 수지 마스크 개구부(25)가 형성되어 있는 것이 바람직하다[실시형태(A)의 증착 마스크의 도 7 참조]. 「1화면」의 형태에 대하여 특별히 한정은 없고, 예를 들면 하나의 수지 마스크 개구부(25)를 1화소로 했을 때, 수백만개의 수지 마스크 개구부(25)에 의해 1화면을 구성할 수도 있다.
실시형태(B)의 증착 마스크(100)에 있어서의 금속 마스크(10)는 금속으로 구성되고 하나의 금속 마스크 개구부(15)를 가지고 있다. 그리고, 실시형태(B)의 증착 마스크(100)에서는, 상기 하나의 금속 마스크 개구부(15)는, 금속 마스크(10)의 정면으로부터 봤을 때, 모든 수지 마스크 개구부(25)와 겹치는 위치, 바꾸어 말하면, 수지 마스크(20)에 배치된 모든 수지 마스크 개구부(25)가 보이는 위치에 배치되어 있다.
금속 마스크(10)를 구성하는 금속 부분, 즉 하나의 금속 마스크 개구부(15) 이외의 부분은, 도 11에 나타낸 바와 같이 증착 마스크(100)의 외측 에지를 따라 형성되어 있어도 되고, 도 12에 나타낸 바와 같이 금속 마스크(10)의 크기를 수지 마스크(20)보다 작게 하고, 수지 마스크(20)의 외주 부분을 노출시켜도 된다. 또한, 금속 마스크(10)의 크기를 수지 마스크(20)보다 크게 하고, 금속 부분의 일부를 수지 마스크의 횡방향 외측, 또는 종방향 외측으로 돌출시켜도 된다. 그리고, 어느 경우라도, 하나의 금속 마스크 개구부(15)의 크기는 수지 마스크(20)의 크기보다 작게 구성되어 있다.
도 11에 나타내는 금속 마스크(10)의 하나의 금속 마스크 개구부(15)의 벽면을 이루는 금속 부분의 횡방향의 폭(W1)이나, 종방향의 폭(W2)에 대하여 특별히 한정은 없으나, W1, W2의 폭이 좁아져 감에 따라서, 내구성이나, 핸들링성이 저하되어 가는 경향이 있다. 따라서, W1, W2는 내구성이나, 핸들링성을 충분히 만족시킬 수 있는 폭으로 하는 것이 바람직하다. 금속 마스크(10)의 두께에 따라서 적절한 폭을 적절히 설정할 수 있으나, 바람직한 폭의 일례로서는, 실시형태(A)의 증착 마스크의 금속 마스크와 같이 W1, W2이면서 1㎜ 이상 100㎜ 이하의 범위 내이다.
상기에서는, 증착 마스크(100)가 수지 마스크 개구부(25)를 가지는 수지 마스크(20)와, 금속 마스크 개구부(15)를 가지는 금속 마스크(10)가 적층되어 이루어지는 증착 마스크(100)인 경우를 예로 들어 설명을 행하였으나, 증착 마스크를, 수지 마스크(20)만으로 이루어지는 증착 마스크(도시하지 않음), 또는 금속 마스크(10)만으로 이루어지는 증착 마스크(도시하지 않음)로 할 수도 있다. 이들 증착 마스크에 있어서도, 수지 마스크 개구부(25), 또는 금속 마스크 개구부(15)의 구성을, 상기 「조건 A」 및 「조건 B」 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 만족시키는 구성으로 함으로써, 섀도우의 발생을 억제할 수 있다. 또한, 수지 재료, 금속 재료와는 상이한 재료를 함유하는 증착 마스크에 적용할 수도 있다.
구체적으로는, 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부를 가지는 증착 마스크로서, 증착 마스크는 개구부를 복수 가지고, 증착 마스크의 면 중, 증착원 측에 위치하는 면을 증착 마스크의 한쪽 면으로 했을 때, 복수의 개구부 중 어느 하나의 개구부는, 증착 마스크의 두께 방향 단면에 있어서, 상기 하나의 개구부를 형성하는 한쪽의 내벽면과 증착 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각과, 상기 하나의 개구부를 형성하는 다른 쪽의 내벽면과 증착 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각이 상이한 구성으로 해도 된다.
상기 구성을 대신하여, 또는 이와 함께, 증착 마스크의 두께 방향 단면에 있어서, 복수의 개구부 중 하나의 개구부를 형성하는 내벽면의 한쪽의 내벽면과 증착 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각과, 다른 하나의 개구부를 형성하는 내벽면의 한쪽의 내벽면과 증착 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각이 상이한 구성으로 해도 된다.
증착 마스크를 수지 마스크(20)만으로 이루어지는 증착 마스크로 하는 경우에는, 상기에서 설명한 증착 마스크로부터 금속 마스크(10)를 제외한 구성으로 하면 된다. 이 경우, 증착 마스크의 강성을 담보하기 위하여, 수지 마스크(20)의 두께는 3㎛ 이상으로 하는 것이 바람직하다.
또한, 증착 마스크를 금속 마스크만으로 이루어지는 증착 마스크로 하는 경우에는, 상기에서 설명한 증착 마스크로부터 수지 마스크(20)를 제외한 구성으로 하고, 금속 마스크 개구부(15)의 구성을, 상기 「조건 A」 및 「조건 B」 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 만족시키는 금속 마스크 개구부(15)로 하면 된다. 이 경우의 금속 마스크(10)의 두께로서는, 5㎛ 이상 35㎛ 이하의 범위로 하는 것이 바람직하다.
그리고, 증착 작성하는 패턴에 대응하는 개구부의 정밀도를 고려하면, 증착 작성하는 패턴에 대응하는 개구부를, 수지 마스크(20)가 가지는 수지 마스크 개구부(25)로 하는 것이 바람직하다. 또한, 강성의 점을 고려하면, 수지 마스크(20)의 한쪽 면 상에는, 금속 마스크 개구부(15)를 가지는 금속 마스크(10)가 적층되어 있는 것이 바람직하다.
<프레임이 부착된 증착 마스크>
본 개시의 실시형태에 관한 프레임이 부착된 증착 마스크(200)는, 프레임(60)에 상기에서 설명한 본 개시의 각 실시형태에 관한 증착 마스크(100)가 고정되어 이루어지는 구성을 보이고 있다. 증착 마스크(100)에 관한 설명은 생략한다.
프레임이 부착된 증착 마스크(200)는 도 13에 나타낸 바와 같이, 프레임(60)에 하나의 증착 마스크(100)가 고정된 것이어도 되고, 도 14에 나타낸 바와 같이, 프레임(60)에 복수의 증착 마스크(100)가 고정된 것이어도 된다.
프레임(60)은 대략 직사각형 형상의 프레임 부재이고, 최종적으로 고정되는 증착 마스크(100)의 수지 마스크(20)에 형성된 수지 마스크 개구부(25)를 증착원 측에 노출시키기 위한 관통공을 갖는다. 프레임의 재료로서는 금속 재료나, 유리 재료, 세라믹 재료 등을 들 수 있다.
프레임의 두께에 대해서도 특별히 한정은 없지만, 강성 등의 점에서 10㎜ 이상 30㎜ 이하의 범위 내인 것이 바람직하다. 프레임의 개구의 내주 단면(端面)과 프레임의 외주 단면 사이의 폭은, 상기 프레임과 증착 마스크의 금속 마스크를 고정할 수 있는 폭이면 특별히 한정은 없고, 예를 들면 10㎜ 이상 70㎜ 이하의 범위 내이다.
또한, 도 15의 (a)∼도 15의 (c)에 나타낸 바와 같이, 프레임의 관통공 영역에 보강 프레임(65) 등이 설치된 프레임(60)을 사용해도 된다. 바꾸어 말하면, 프레임(60)이 가지는 개구가 보강 프레임 등에 의해 분할된 구성을 가지고 있어도 된다. 보강 프레임(65)을 설치함으로써, 이 보강 프레임(65)을 이용하여 프레임(60)과 증착 마스크(100)를 고정할 수 있다. 구체적으로는, 상기에서 설명한 증착 마스크(100)를 종방향 및 횡방향으로 복수 개 나란히 고정할 때, 상기 보강 프레임과 증착 마스크가 겹치는 위치에 있어서도, 프레임(60)에 증착 마스크(100)를 고정할 수 있다.
프레임(60)과 증착 마스크(100)의 고정 방법에 대해서도 특별히 한정은 없고, 레이저광 등에 의해 고정하는 스풋 용접, 접착제, 나사고정, 또는 그 밖의 방법을 이용하여 고정할 수 있다.
<증착 마스크를 사용한 증착 방법>
본 개시의 각 실시형태에 관한 증착 마스크를 사용한 증착 패턴의 형성에 이용되는 증착 방법에 대해서는 특별히 한정은 없고, 예를 들면, 반응성 스퍼터링법, 진공 증착법, 이온 플레이팅, 전자빔 증착법 등의 물리적 기상 성장법(Physical Vapor Deposition), 열 CVD, 플라즈마 CVD, 광 CVD법 등의 화학 기상 성장법(Chemical Vapor Deposition) 등을 들 수 있다. 또한, 증착 패턴의 형성은, 종래 공지의 진공 증착 장치 등을 이용하여 행할 수 있다.
<<증착 마스크의 제조 방법>>
다음에, 본 개시의 실시형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법에 대하여 설명한다.
본 개시의 실시형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법에 있어서는, 상기에서 설명한 수지 마스크를 형성하기 위한 수지판이 준비된다. 이 수지판의 재질이나 두께에 대해서는, 상기에서 설명한 바와 같으며, 여기서의 설명은 생략한다.
그리고, 준비되는 수지판은 수지판만이어도 되고, 수지판의 한쪽 면에는 상기에서 설명한 금속 마스크가 적층된 금속 마스크 부착 수지판이어도 되고, 수지판의 한쪽 면의 일부에 하기에서 설명하는 금속층이 설치된 금속층 부착 수지판이어도 된다.
본 개시의 실시형태에 관한 증착 마스크의 제조 방법에 있어서는, 준비된 수지판에 레이저를 조사함으로써, 수지판에 복수의 수지 마스크 개구부를 형성하는 공정이 행해진다. 여기에서, 준비된 수지판에 금속 마스크가 적층되어 있는 경우에는, 금속 마스크의 금속 마스크 개구부를 통하여 레이저가 조사된다. 또한, 준비된 수지판에 하기에서 설명하는 금속층이 설치되어 있는 경우에는, 금속층이 설치되어 있는 측으로부터 레이저가 조사된다.
그리고, 수지판에 복수의 수지 마스크 개구부를 형성하는 공정에 있어서는, 형성되는 수지 마스크 개구부가, 상기 「조건 A」 및 「조건 B」 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 만족시키도록 개구부가 형성된다.
상기 「조건 A」 및 「조건 B」 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 만족시키는 개구부를 형성하는 구체적 수단에 대해서는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 이하에 드는 수단을 이용해도 된다.
·레이저를 각도를 붙여 조사한다.
도 20의 (a)나 도 20의 (b)에 나타낸 바와 같이, 수지판에 레이저를 조사하는 데에 있어서, 각도를 붙여 조사함으로써, 상기 「조건 A」 및 「조건 B」 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 만족시키도록 개구부를 형성할 수 있다. 그리고, 각도를 붙임에 있어서는, 도 20의 (a)에 나타낸 바와 같이, 레이저 자체에 각도를 붙여도 되고, 도 20의 (b)에 나타낸 바와 같이, 레이저 자체는 바로 위에서 조사하고, 수지판에 각도를 붙여 설치해도 된다. 또한, 도시는 하지 않지만, 반사체 등을 이용하여, 조사되는 레이저의 광로를 변화시킴으로써, 레이저에 각도를 붙이는 것도 가능하다.
·레이저를 다단계로 조사한다.
도 21에 나타낸 바와 같이, 수지판에 레이저를 조사함에 있어서, 도 21중의 (1), (2), (3)…에 나타낸 바와 같이, 레이저를 다단계로 조사하는 것에 의해 상기 「조건 A」 및 「조건 B」 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 만족시키도록 개구부를 형성할 수 있다. 이 경우에 있어서는, 레이저를 조사하는 위치를 어긋나게 하면서, 그 초점 거리를 얕게 해 감으로써, 원하는 개구부를 형성해도 되고, 레이저의 위치를 어긋나게 하면서, 조사하는 레이저의 에너지를 변경해 감으로써, 원하는 개구부를 형성해도 된다.
·레이저용 마스크를 사용한다.
도 22에 나타낸 바와 같이, 수지판에 레이저를 조사하는 데에 있어서, 수지판 상에 레이저용 마스크(220)를 설치하고, 상기 레이저용 마스크(220)를 통하여 레이저를 조사하는 것에 의해 상기 「조건 A」 및 「조건 B」 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 만족시키도록 개구부를 형성할 수 있다. 보다 구체적으로는, 상기 레이저용 마스크에는 레이저의 에너지를 감쇠시키지 않고, 그대로 통과시키는 개구 영역(221)과, 상기 개구 영역(221)의 주위에 위치하고, 레이저의 에너지를 감쇠시키는 감쇠 영역(222)이 형성되어 있다. 이와 같은 감쇠 영역(222)을 가지는 레이저용 마스크를 사용하는 것에 의해, 상기 감쇠 영역(222)을 통과한 레이저의 에너지는 감쇠되어 있으므로, 개구 영역을 통과한 레이저에 의하여, 개구부가 형성된 타이밍에 있어서, 상기 개구부의 주변은 아직 관통되어 있지 않은 상태를 만들어 낼 수 있고, 이에 의해 상기 「조건 A」 및 「조건 B」 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 만족시키도록 개구부를 형성할 수 있다. 이와 같은 감쇠 영역(222)의 형성 방법에 대해서는 특별히 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 하프톤 마스크 등의 기술을 응용할 수 있고, 상기 감쇠 영역(222)에 의한 감쇠의 비율이나 감쇠 영역(222)의 배치를 적절히 설계하는 것에 의해, 상기 「조건 A」 및 「조건 B」 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 만족시키도록 개구부를 형성할 수 있다.
<<유기 반도체 소자의 제조 방법>>
다음에, 본 개시의 실시형태에 관한 유기 반도체 소자의 제조 방법에 대하여 설명한다. 본 개시의 유기 반도체 소자의 제조 방법은, 증착 마스크를 사용하여 증착 대상물에 증착 패턴을 형성하는 공정을 포함하고, 증착 패턴을 형성하는 증착 패턴 형성 공정에 있어서, 상기에서 설명한 본 개시의 각 실시형태에 관한 증착 마스크가 사용된다.
증착 마스크를 사용한 증착법에 의해 증착 패턴을 형성하는 증착 패턴 형성 공정에 대하여 특별히 한정은 없고, 기판 상에 전극을 형성하는 전극 형성 공정, 유기층 형성 공정, 대향 전극 형성 공정, 봉지층 형성 공정 등을 포함하고, 각 임의의 공정에 있어서, 상기에서 설명한 본 개시의 증착 패턴 형성 방법을 이용하여, 증착 패턴이 형성된다. 예를 들면, 유기 EL 디바이스의 R(레드), G(그린), B(블루) 각색의 발광층 형성 공정에, 상기에서 설명한 본 개시의 증착 패턴 형성 방법을 각각 적용할 경우에는, 기판 상에 각 색발광층의 증착 패턴이 형성된다. 그리고, 본 개시의 유기 반도체 소자의 제조 방법은 이들 공정에 한정되지 않고, 종래 공지의 유기 반도체 소자의 제조에 있어서의 임의의 공정에 적용 가능하다.
이상 설명한 본 개시의 실시형태에 관한 유기 반도체 소자의 제조 방법에 의하면, 증착 마스크와 증착 대상물을 간극없이 밀착시킨 상태에서, 유기 반도체 소자를 형성하는 증착을 행할 수 있고, 고정밀한 유기 반도체 소자를 제조할 수 있다. 본 개시의 유기 반도체 소자의 제조 방법으로 제조되는 유기 반도체 소자로서는, 예를 들면 유기 EL 소자의 유기층, 발광층이나, 캐소드 전극 등을 들 수 있다. 특히, 본 개시의 유기 반도체 소자의 제조 방법은, 고정밀한 패턴 정밀도가 요구되는 유기 EL 디바이스의 R(레드), G(그린), B(블루) 발광층의 제조에 바람직하게 이용할 수 있다.
<<유기 EL 디스플레이의 제조 방법>>
다음에, 본 개시의 실시형태에 관한 유기 EL 디스플레이(유기 발광 소자 디스플레이)의 제조 방법에 대하여 설명한다. 본 개시의 유기 EL 디스플레이의 제조 방법은, 유기 EL 디스플레이의 제조 공정에 있어서, 상기에서 설명한 본 개시의 유기 반도체 소자의 제조 방법에 의해 제조된 유기 반도체 소자가 사용된다.
상기 본 개시의 유기 반도체 소자의 제조 방법에 의해 제조된 유기 반도체 소자가 사용된 유기 EL 디스플레이로서는, 예를 들면 노트 PC[도 16의 (a) 참조], 태블릿 단말[도 16의 (b) 참조], 휴대전화[도 16의 (c) 참조], 스마트폰[도 16의 (d) 참조], 비디오카메라[도 16의 (e) 참조], 디지털카메라[도 16의 (f) 참조], 스마트워치[도 16의 (g) 참조] 등에 사용되는 유기 EL 디스플레이를 들 수 있다.
이상, 본 개시의 실시형태에 관한 증착 마스크나, 유기 반도체 소자의 제조 방법, 유기 EL 디스플레이의 제조 방법에 사용되는 증착 마스크가, 수지 마스크 개구부(25)를 가지는 수지 마스크(20)와, 금속 마스크 개구부(15)를 가지는 금속 마스크(10)가 적층되어 이루어지는 적층 구성을 취하는 증착 마스크인 경우를 중심으로 설명을 행하였으나, 이 형태의 증착 마스크를 대신하여, 본 개시의 실시형태에 관한 증착 마스크를, 수지 마스크 개구부(25)를 가지는 수지 마스크(20) 상에, 금속층(10A)을 부분적으로 배치한 형태의 증착 마스크로 해도 된다. 또한, 이 형태의 증착 마스크를 유기 반도체 소자의 제조 방법이나, 유기 EL 디스플레이의 제조 방법에 사용할 수도 있다. 그리고, 이 형태에 있어서의 수지 마스크 개구부(25)도, 상기 「조건 A」 및 「조건 B」 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 만족시키고 있다.
수지 마스크 개구부(25)를 가지는 수지 마스크(20) 상에, 금속층(10A)을 부분적으로 배치한 증착 마스크에 의하면, 금속층(10A)을 갖지 않는 증착 마스크, 즉, 수지 마스크(20)만으로 이루어지는 증착 마스크와 비교하여, 내구성의 향상을 도모할 수 있다.
도 17의 (a)는, 수지 마스크 개구부(25)를 가지는 수지 마스크(20) 상에, 금속층(10A)을 부분적으로 배치한 형태의 증착 마스크를, 금속층 측으로부터 평면으로 봤을 때의 일례를 나타내는 정면도이고, 도 17의 (b)는, 도 17의 (a)의 A-A 부분에서의 개략 단면도이다. 그리고, 도 17의 (b)에 있어서의 증착 마스크의 중앙 부근의 일부는 생략되어 있다. 또한, 도 17의 (b)에서는, 수지 마스크 개구부(25)를 단면으로 봤을 때의 내벽면의 형상을 약기하고 있으나, 수지 마스크 개구부(25)는 상기 「조건 A」 및 「조건 B」 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 만족시키고 있다.
금속층(10A)이 설치되는 위치, 및 금속층(10A)을 평면으로 봤을 때의 형상에 대해서도 특별히 한정되는 것은 아니다. 즉, 금속층(10A)이 설치되는 위치에 따라서, 금속층(10A)의 평면 형상을 적절히 설계하는 것이 가능하다.
예를 들면, 도 17의 (a)에 나타낸 바와 같이, 증착 마스크(100)를 구성하는 수지 마스크(20)를 평면으로 봤을 때의 형상이, 긴 변과 짧은 변을 가지는 직사각형을 보이고 있는 경우에 있어서는, 금속층(10A)의 형상을 그 짧은 변과 같은 길이를 가지는 띠 형상으로 하면서, 수지 마스크(20)의 짧은 변과 평행하게 배치해도 된다. 또한, 도시하지 않지만, 금속층(10A)의 형상을 수지 마스크(20)의 긴 변과 같은 길이를 가지는 띠 형상을 하면서, 수지 마스크의 긴 변과 평행하게 배치해도 된다.
도 18, 도 19는, 수지 마스크 개구부(25)를 가지는 수지 마스크(20) 상에, 금속층(10A)이 부분적으로 배치된 증착 마스크를, 금속층(10A) 측으로부터 평면으로 봤을 때의 일례를 나타내는 정면도이다.
도 18에 나타낸 바와 같이, 금속층(10A)은 반드시 수지 마스크(20)의 주위 에지에 접하고 있을 필요는 없고, 수지 마스크(20)의 내부에만 배치되어 있어도 된다. 예를 들면, 수지 마스크 개구부(25)를 가지는 수지 마스크(20) 상에, 금속층(10A)이 부분적으로 배치된 증착 마스크를 프레임과 고정함에 있어서, 이 프레임과 두께 방향으로 겹치는 위치에, 금속층(10A)을 배치하지 않는 형태로 해도 된다.
또한, 도 19에 나타낸 바와 같이, 금속층(10A)은 반드시 띠형일 필요는 없고, 수지 마스크(20) 상에 점재하도록 배치되어 있어도 된다. 이 경우에 있어서, 도 19에 나타내는 금속층(10A)은 정사각형이지만, 이것에 한정되지 않고, 직사각형, 삼각형, 사각형 이상의 다각형, 원, 타원, 반원, 도넛 형상, 알파벳 「C」 형상, 「T」 형상, 나아가 「십자」 형상이나 「별」 형상 등, 모든 형상도 채용 가능하다. 1장의 수지 마스크(20) 상에 복수의 금속층(10A)이 설치되어 있는 경우에 있어서, 모든 금속층(10A)이 동일 형상일 필요는 없고, 상기에서 든 다양한 형상의 금속층(10A)이 혼재하고 있어도 된다.
또한, 금속층(10A)은 규칙적으로 배치되어 있어도 되고, 랜덤으로 배치되어 있어도 된다.
금속층(10A)의 재료로서는 상기 금속 마스크(10)의 재료를 그대로 사용할 수 있다. 또한, 금속층(10A)의 두께는, 금속 마스크(10)에서 설명한 두께로 하면 된다.
또한, 금속층(10A)의 단면 형상에 대해서도 특별히 한정되는 것은 아니고, 도 17의 (b)에 나타낸 바와 같이, 금속층(10A)이 마주보는 단면끼리 대략 평행해도 되고, 도시는 하지 않지만, 수지 마스크 개구부(25)나, 금속 마스크 개구부(15)의 개구와 마찬가지로, 금속층(10A)의 수지 마스크(20)와 접하는 측의 면으로부터, 금속층(10A)의 수지 마스크(20)와 접하지 않는 측의 면을 향하여 넓어지는 형상으로 해도 된다.
10 : 금속 마스크
15 : 금속 마스크 개구부
20 : 수지 마스크
25, 25a, 25b, 25c, 25d : 수지 마스크 개구부
60 : 프레임
100 : 증착 마스크

Claims (8)

  1. 증착 제작하는 패턴에 대응하는 수지 마스크 개구부를 가지는 수지 마스크의 한쪽 면 상에, 금속 마스크 개구부를 가지는 금속 마스크가 적층되어 이루어지는 증착 마스크의 제조 방법으로서,
    수지판의 한쪽 면에 상기 금속 마스크가 적층된 금속 마스크 부착 수지판을 준비하는 공정; 및
    상기 금속 마스크 부착 수지판의 금속 마스크 개구부를 통하여 레이저를 조사함으로써 상기 수지판에 복수의 수지 마스크 개구부를 형성하는 공정
    을 포함하고,
    상기 수지 마스크 개구부를 형성하는 공정에서는, 수지판에 대해, 각도를 붙여 레이저를 조사함으로써, 상기 복수의 상기 수지 마스크 개구부 중 어느 하나의 수지 마스크 개구부는, 상기 수지 마스크의 두께 방향 단면(斷面)에 있어서, 상기 하나의 수지 마스크 개구부를 형성하는 한쪽의 내벽면과 상기 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각과, 상기 하나의 수지 마스크 개구부를 형성하는 다른 쪽의 내벽면과 상기 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각이 상이하도록 수지 마스크 개구부를 형성하는,
    증착 마스크의 제조 방법.
  2. 증착 제작하는 패턴에 대응하는 수지 마스크 개구부를 가지는 수지 마스크의 한쪽 면 상에, 금속 마스크 개구부를 가지는 금속 마스크가 적층되어 이루어지는 증착 마스크의 제조 방법으로서,
    수지판의 한쪽 면에 상기 금속 마스크가 적층된 금속 마스크 부착 수지판을 준비하는 공정; 및
    상기 금속 마스크 부착 수지판의 금속 마스크 개구부를 통하여 레이저를 조사함으로써 상기 수지판에 복수의 수지 마스크 개구부를 형성하는 공정
    을 포함하고,
    상기 수지 마스크 개구부를 형성하는 공정에서는, 수지판에 대해, 각도를 붙여 레이저를 조사함으로써, 상기 수지 마스크의 두께 방향 단면에 있어서, 상기 복수의 상기 수지 마스크 개구부 중 하나의 수지 마스크 개구부를 형성하는 내벽면의 한쪽의 내벽면과 상기 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각과, 다른 하나의 수지 마스크 개구부를 형성하는 내벽면의 한쪽의 내벽면과 상기 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각이 상이하도록 수지 마스크를 형성하는,
    증착 마스크의 제조 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 수지 마스크 개구부를 형성하는 공정에서,
    상기 수지 마스크의 두께 방향 단면에 있어서, 상기 하나의 수지 마스크 개구부를 형성하는 한쪽의 내벽면과 상기 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각과, 상기 하나의 수지 마스크 개구부를 형성하는 다른 쪽의 내벽면과 상기 수지 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각이 상이하도록 수지 마스크를 형성하는, 증착 마스크의 제조 방법.
  4. 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부를 가지는 증착 마스크의 제조 방법으로서,
    수지판을 준비하는 공정; 및
    레이저를 조사함으로써 상기 수지판에 복수의 개구부를 형성하는 공정
    을 포함하고,
    상기 개구부를 형성하는 공정에서는, 수지판에 대해, 각도를 붙여 레이저를 조사함으로써, 상기 증착 마스크의 면 중, 증착원 측에 위치하는 면을 증착 마스크의 한쪽 면으로 했을 때, 상기 복수의 개구부 중 어느 하나의 개구부는, 상기 증착 마스크의 두께 방향 단면에 있어서, 상기 하나의 개구부를 형성하는 한쪽의 내벽면과 상기 증착 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각과, 상기 하나의 개구부를 형성하는 다른 쪽의 내벽면과 상기 증착 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각이 상이하도록 개구부를 형성하는,
    증착 마스크의 제조 방법.
  5. 증착 제작하는 패턴에 대응하는 개구부를 가지는 증착 마스크의 제조 방법으로서,
    수지판을 준비하는 공정; 및
    레이저를 조사함으로써 상기 수지판에 복수의 개구부를 형성하는 공정
    을 포함하고,
    상기 개구부를 형성하는 공정에서는, 수지판에 대해, 각도를 붙여 레이저를 조사함으로써, 상기 증착 마스크의 면 중, 증착원 측에 위치하는 면을 증착 마스크의 한쪽 면으로 했을 때, 상기 증착 마스크의 두께 방향 단면에 있어서, 상기 복수의 개구부 중 하나의 개구부를 형성하는 내벽면의 한쪽의 내벽면과 상기 증착 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각과, 다른 하나의 개구부를 형성하는 내벽면의 한쪽의 내벽면과 상기 증착 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각이 상이하도록 개구부를 형성하는,
    증착 마스크의 제조 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 개구부를 형성하는 공정에서,
    상기 증착 마스크의 두께 방향 단면에 있어서, 상기 하나의 개구부를 형성하는 한쪽의 내벽면과 상기 증착 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각과, 상기 하나의 개구부를 형성하는 다른 쪽의 내벽면과 상기 증착 마스크의 다른 쪽 면이 이루는 예각이 상이하도록 개구부를 형성하는, 증착 마스크의 제조 방법.
  7. 증착 마스크를 사용하여 증착 대상물에 증착 패턴을 형성하는 증착 패턴 형성 공정을 포함하고,
    상기 증착 패턴 형성 공정에서 사용되는 상기 증착 마스크가, 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 증착 마스크의 제조 방법에 의해 제조된 증착 마스크인,
    유기 반도체 소자의 제조 방법.
  8. 제7항에 기재된 유기 반도체 소자의 제조 방법에 의해 제조된 유기 반도체 소자가 사용되는, 유기 EL 디스플레이의 제조 방법.
KR1020197007347A 2016-10-06 2017-10-04 증착 마스크의 제조 방법, 유기 반도체 소자의 제조 방법 및 유기 el 디스플레이의 제조 방법 KR102444139B1 (ko)

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