JP6926435B2 - 蒸着マスクの製造方法、及び有機半導体素子の製造方法、並びに有機ｅｌディスプレイの製造方法 - Google Patents

Description

本開示の実施形態は、蒸着マスクの製造方法、及び有機半導体素子の製造方法、並びに有機ＥＬディスプレイの製造方法に関する。

蒸着マスクを用いた蒸着パターンの形成は、通常、蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させ、蒸着源から放出された蒸着材を、開口部を通して、蒸着対象物に付着させることにより行われる。

上記蒸着パターンの形成に用いられる蒸着マスクとしては、例えば、蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、金属マスク開口部（スリットと称される場合もある）を有する金属マスクとを積層してなる蒸着マスク（例えば、特許文献１）等が知られている。

特許第５２８８０７２号公報

本開示の実施形態は、高精細な蒸着パターンの形成が可能な蒸着マスクの製造方法を提供すること、及び有機半導体素子を精度よく製造することができる有機半導体素子の製造方法を提供すること、並びに有機ＥＬディスプレイを精度よく製造することができる有機ＥＬディスプレイの製造方法を提供することを主たる課題とする。

本開示の一実施形態の蒸着マスクの製造方法は、樹脂マスクを備える蒸着マスクの製造方法であって、樹脂マスクを形成する樹脂マスク形成工程を含み、前記樹脂マスク形成工程が、樹脂板の一方の面上に保護シートが位置してなる蒸着マスク準備体に対し、前記樹脂板の他方の面側からレーザー光を照射し、前記樹脂板に蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部を形成する工程であり、（ｉ）前記蒸着マスク準備体を構成する前記樹脂板、及び前記保護シートの何れか一方、又は双方が、厚み方向に貫通孔を有しているか、又は（ｉｉ）前記樹脂板と前記保護シートの対向面の何れか一方、又は双方の面が、当該面の外縁と繋がり、前記樹脂板と前記保護シートの間に入り込んだ気泡を前記蒸着マスク準備体の外に排出できる溝を有する。

また、本開示の一実施形態の蒸着マスクの製造方法は、樹脂マスクを備える蒸着マスクの製造方法であって、樹脂板の一方の面上に保護シートが位置してなる蒸着マスク準備体をエージングする工程と、樹脂マスクを形成する樹脂マスク形成工程を含み、前記樹脂マスク形成工程が、前記エージング後の蒸着マスク準備体に対し、前記樹脂板の他方の面側からレーザー光を照射し、前記樹脂板に蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部を形成する工程であり、前記エージングする工程が、前記蒸着マスク準備体を加熱、又は減圧して、前記樹脂板と前記保護シートの間に入り込んだ気泡を、（ｉ)前記樹脂板、又は前記保護シート中に拡散させる、又は（ｉｉ）前記蒸着マスク準備体の外へ排出する工程である。

また、本開示の一実施形態の蒸着マスクの製造方法は、樹脂マスクを備える蒸着マスクの製造方法であって、樹脂マスクを形成する樹脂マスク形成工程を含み、前記樹脂マスク形成工程が、樹脂板の一方の面上に保護シートが位置してなる蒸着マスク準備体に対し、前記樹脂板の他方の面側からレーザー光を照射し、前記樹脂板に蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部を形成する工程であり、前記蒸着マスク準備体における前記樹脂板と前記保護シートとの対向面の何れか一方が凸部を有しており、他方が前記凸部と嵌合可能な凹部を有しており、前記蒸着マスク準備体が、前記凸部と前記凹部とが嵌合されてなる蒸着マスク準備体である。

また、前記樹脂マスク形成工程後に、前記樹脂マスクから前記保護シートを除去する除去工程をさらに含んでいてもよい。

また、前記樹脂マスク形成工程の前に、樹脂板の一方の面上に保護シートを設けて蒸着マスク準備体を得る工程をさらに含んでいてもよい。

また、前記蒸着マスク準備体が、樹脂板の一方の面上に保護シートが位置し、前記樹脂板の他方の面上に金属マスク開口部を有する金属マスクが位置する蒸着マスク準備体であり、前記樹脂マスク形成工程が、前記蒸着マスク準備体に対し、前記金属マスク開口部を通してレーザー光を照射し、前記樹脂板に前記樹脂マスク開口部を形成する工程であってもよい。

また、前記樹脂マスク形成工程後、前記樹脂マスク上に、金属マスク開口部を有する金属マスクを、前記樹脂マスク開口部と前記金属マスク開口部とが厚み方向で重なるように位置させる工程をさらに含んでいてもよい。

また、フレーム上に前記蒸着マスク準備体を固定する工程をさらに含み、フレーム上に前記蒸着マスク準備体を固定した後に、前記樹脂マスク形成工程を行ってもよい。

また、本開示の一実施形態の有機半導体素子の製造方法は、フレームに蒸着マスクが固定されたフレーム付き蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、前記蒸着パターンを形成する工程で、前記フレームに固定される前記蒸着マスクが、上記蒸着マスクの製造方法で製造された蒸着マスクである。

また、本開示の一実施形態の有機ＥＬディスプレイの製造方法は、上記有機半導体素子の製造方法により製造された有機半導体素子が用いられる。

本開示の蒸着マスクの製造方法によれば、高精細な蒸着パターンを形成可能な蒸着マスクを製造することができる。また、本開示の有機半導体素子の製造方法や、有機ＥＬディスプレイの製造方法によれば、有機半導体素子や、有機ＥＬディスプレイを精度よく製造することができる。

（ａ）〜（ｃ）は、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法の一例を示す工程図である。 比較の蒸着マスク準備体の一例を示す概略断面図である。 比較の蒸着マスク準備体を用いて製造された蒸着マスクの開口部近傍の拡大正面図である （ａ）〜（ｅ）は、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスク準備体の一例を示す概略断面図である。 （ａ）〜（ｅ）は、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスク準備体の一例を示す概略断面図である。 本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスク準備体を構成する保護シートの一例を示す斜視図である。 本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスク準備体を構成する保護シートの一例を示す斜視図である。 本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスク準備体を構成する保護シートの一例を示す斜視図である。 本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスク準備体の一例を示す概略断面図である。 本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスク準備体の一例を示す概略断面図である。 本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスク準備体の一例を示す概略断面図である。 本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスク準備体を保護シート側から平面視したときの正面図である。 本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスク準備体を保護シート側から平面視したときの正面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスク準備体を保護シート側から平面視したときの正面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法の一例を示す工程図である。 （ａ）は、一実施形態の蒸着マスクの製造方法で製造された蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの正面図であり、（ｂ）は、図１６（ａ）のＡ−Ａ概略断面図である。 実施形態（Ａ）の蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの正面図である。 実施形態（Ａ）の蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの正面図である。 実施形態（Ａ）の蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの正面図である。 （ａ）、（ｂ）はともに実施形態（Ａ）の蒸着マスクを金属マスク側から平面視したときの正面図である。 実施形態（Ｂ）の蒸着マスクを金属マスク側から平面視したとき正面図である。 実施形態（Ｂ）の蒸着マスクを金属マスク側から平面視したとき正面図である。 フレーム付き蒸着マスクを樹脂マスク側から平面視したときの正面図である。 フレーム付き蒸着マスクを樹脂マスク側から平面視したときの正面図である。 フレームの一例を示す正面図である。 有機ＥＬディスプレイを有するデバイスの一例を示す図である。 （ａ）は、一実施形態の蒸着マスクの製造方法で製造された蒸着マスクを金属層側から平面視したときの正面図であり、図２７（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ概略断面図である。 一実施形態の蒸着マスクの製造方法で製造された蒸着マスクを金属層側から平面視したときの正面図である。 一実施形態の蒸着マスクの製造方法で製造された蒸着マスクを金属層側から平面視したときの正面図である。

以下、本発明の実施の形態を、図面等を参照しながら説明する。なお、本発明は多くの異なる態様で実施することが可能であり、以下に例示する実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。また、説明の便宜上、上方又は下方等という語句を用いて説明するが、上下方向が逆転してもよい。左右方向についても同様である。

＜＜蒸着マスクの製造方法＞＞
本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法は、樹脂マスク２０を備える蒸着マスクの製造方法であって、図１に示すように、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０が位置してなる蒸着マスク準備体４０（図１（ａ）参照）に対し、樹脂板２０Ａの他方の面側からレーザー光を照射して、樹脂板２０Ａに蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部２５を形成する（図１（ｂ）参照）樹脂マスク形成工程を含む。本工程を経ることで、樹脂マスク２０（蒸着マスク）を得る。なお、図１（ｃ）に示すように、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法は、樹脂マスク２０を形成した後に、保護シート３０を除去する工程を含んでいてもよい。なお、図１に示す形態の蒸着マスク準備体４０では、後述する貫通孔７１、溝７２、凸部８１、凹部８２等の記載を省略している。

はじめに、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法で用いられる蒸着マスク準備体４０の要件を満たさない「比較の蒸着マスク準備体４０Ａ」を用いて蒸着マスクを製造した場合を例に挙げ、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法の優位性について説明する。なお、「比較の蒸着マスク準備体４０Ａ」は、図２に示すように、樹脂板２０Ａのみからなる構成を呈しており、樹脂板２０Ａの一方の面に保護シート３０が位置していない点で、本開示の蒸着マスクの製造方法で用いられる蒸着マスク準備体４０と相違している。

「比較の蒸着マスク準備体」の樹脂板２０Ａに対する樹脂マスク開口部の形成、及び本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスク準備体４０の樹脂板２０Ａに対する樹脂マスク開口部２５（樹脂マスク開口部２５を有する樹脂マスク）の形成は、樹脂板２０Ａにレーザー光を照射して、樹脂板２０Ａを分解することで行われる。

ここで、「比較の蒸着マスク準備体４０Ａ」の樹脂板２０Ａにレーザー光を照射して樹脂マスク開口部２５を形成途中の段階、換言すれば、樹脂板２０Ａに最終的に樹脂マスク開口部２５となる凹部が存在している段階に着目すると、レーザー光の照射によるレーザー加工の進行にともない、樹脂板２０Ａの底面から凹部の底面までの厚みは薄くなっていき、凹部や、当該凹部近傍の樹脂板２０Ａの強度が低下していくこととなる。そして、この強度の低下にともない、樹脂マスク開口部２５が形成される直前においては、樹脂板２０Ａの一部が千切れてしまい「バリ」や「滓」が発生しやすくなる。また、樹脂板２０Ａの底面と、凹部の底面との厚みは薄くなっていくことに伴い、フォーカスボケに起因した「バリ」や「滓」も発生しやすくなる。具体的には、フォーカスボケによって、レーザー光による樹脂板２０Ａの分解が正常に行われず、樹脂マスク開口部２５のエッジ部に「バリ」が生ずる場合や、分解しきれなかった樹脂板２０Ａの一部が「滓」として残りやすくなる。なお、本願明細で言う「滓」とは、「デブリ」と同意である。

また、「比較の蒸着マスク準備体」を加工ステージ（図示しない）上に載置して、「比較の蒸着マスク準備体」の樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を形成する場合においては、加工ステージと「比較の蒸着マスク準備体」の樹脂板２０Ａとの間にある程度の隙間が存在することとなり、この隙間も、レーザー光を照射するときのフォーカスボケの要因となる。

「比較の蒸着マスク準備体」の樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を形成するときに発生する「バリ」や「滓」は、図３（ａ）に示すように樹脂マスク開口部２５の内周側に向かって突出する、及び／又は、図３（ｂ）に示すように、樹脂マスク２０の金属マスク１０と接しない側の表面に付着する傾向にある。図３（ａ）に示すような「バリ」や「滓」が発生した場合には、製造された蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に蒸着パターンの形成を行う際に、「バリ」や「滓」が蒸着源から放出された蒸着材料を遮断してしまい、蒸着対象物に不十分なパターンが形成されてしまう、いわゆるパターン欠陥を引き起こす要因となる。また、蒸着マスクを用いて、蒸着対象物に精度良いパターン蒸着を行うためには、蒸着マスクと蒸着対象物とが十分に密着していることが必要とされるものの、図３（ｂ）に示すような「バリ」や「滓」が発生した場合には、蒸着マスクと蒸着対象物との間で密着不良が発生し、画素ボケ等が発生する要因となる。なお、図３は、「比較の蒸着マスク準備体４０Ａ」を用いて製造された蒸着マスクを樹脂マスク側から平面視したときの樹脂マスク開口部２５近傍の拡大正面図である。

そこで、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法では、レーザー光を照射して樹脂マスク開口部２５を形成するための樹脂板２０Ａを備える蒸着マスク準備体として、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０が位置してなる蒸着マスク準備体４０が用いられる。

樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０が位置してなる蒸着マスク準備体４０を用いた、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法によれば、蒸着マスク準備体４０の樹脂板２０Ａにレーザー光を照射し、樹脂板２０Ａを分解して樹脂マスク開口部２５を形成する際に、「バリ」や「滓」が生ずることを抑制することができる。具体的には、樹脂板２０Ａの一方の面上に設けられている保護シート３０により、樹脂板２０Ａにレーザー光を照射して樹脂マスク開口部２５を形成するときのフォーカスボケを抑制することができ、フォーカスボケにより、樹脂板２０Ａの分解が不十分となることに起因した「バリ」や、「滓」の発生を抑制することができる。また、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０が位置してなる蒸着マスク準備体４０によれば、例えば、加工ステージに蒸着マスク準備体４０を載置して樹脂マスク開口部２５の形成を行う際に、加工ステージと蒸着マスク準備体４０との間に隙間が生じている場合であっても、樹脂板２０Ａにレーザー光を照射して樹脂マスク開口部２５を形成するときのフォーカスボケを抑制することができる。

また、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０が位置してなる蒸着マスク準備体４０によれば、樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を形成するときのフォーカスボケの抑制に加え、樹脂板２０Ａ自体の強度を高めることができ、このことによっても、「バリ」や「滓」の発生を抑制することができる。具体的には、樹脂板２０Ａの一方の面上に設けられている保護シート３０の存在によって、最終的に樹脂マスク開口部２５となる凹部や、凹部近傍の樹脂板２０Ａの強度低下の防止を図ることができる。具体的には、保護シート３０が樹脂板であると仮定した場合、みかけ上の樹脂板２０Ａの厚みを厚くすることができる。つまり、保護シート３０は、フォーカスボケを防止する役割とともに、樹脂板の強度低下を防止する支持体としての役割を果たす。なお、樹脂板２０Ａの一方の面上に設けられた保護シート３０により、最終的に樹脂マスク開口部２５となる凹部や、凹部近傍の樹脂板２０Ａの強度低下の防止を図ることで、レーザー光を照射して樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部を形成する段階において、樹脂板２０Ａの一部が千切れてしまうこと等を抑制することができる。

なお、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法により製造される蒸着マスクは、フレームに固定した状態で用いられるところ、フレームに蒸着マスク準備体４０を固定し、その後、フレームに固定された蒸着マスク準備体４０に対し、レーザー光を照射して樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を形成することもできる。この方法によれば、フレームと蒸着マスクとの位置合わせ誤差を低減させることができる。ところで、フレームと蒸着マスクとの位置合わせ誤差を低減させるべく、フレームに蒸着マスク準備体を固定した状態で、樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を形成する場合において、この蒸着マスク準備体が、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０が吸着されていない「比較の蒸着マスク準備体」である場合には、レーザー光の照射時に、フレームの存在によって「比較の蒸着マスク準備体」の樹脂板２０Ａと、加工ステージとを密着させることができず、フレームに固定した状態で樹脂マスク開口部２５の形成を行う場合には、フォーカスボケの程度は大きくなる。一方、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法では、蒸着マスク準備体４０と加工ステージに隙間が存在する場合であっても、樹脂板２０Ａの一方の面上に位置する保護シート３０の存在によって、樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を形成する際のフォーカスボケの発生を抑制することができる。

つまり、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０が位置してなる蒸着マスク準備体４０を用いた本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法によれば、樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を形成するときの「バリ」や「滓」の発生を抑制することができ、樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を精度よく形成することができる。

ところで、一例としての蒸着マスク準備体４０は、樹脂板２０Ａの一方の面上に、保護シート３０を貼り付けることにより行われるところ、貼り付けの際に、樹脂板２０Ａと保護シート３０との間には、気泡（エアー）等が入り込みやすい状況にある。そして、樹脂板２０Ａと保護シート３０との間に気泡等が入り込んだ蒸着マスク準備体４０を用いて、樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を形成した場合には、この気泡等が入り込んだ箇所において、「バリ」や「滓」を十分に抑制することができない問題や、樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を精度よく形成することができないといった問題が生ずることとなる。

つまり、これらの問題の発生を抑制するためには、蒸着マスク準備体４０を構成する樹脂板２０Ａと保護シート３０との間に、気泡等が入り込んでいないことが望ましい。

そこで、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法は、
（第１形態）蒸着マスク準備体４０を構成する樹脂板２０Ａ、及び保護シート３０の何れか一方、又は双方が、（ｉ）厚み方向に貫通孔７１を有しているか（図４、図５参照）、又は（ｉｉ）樹脂板２０Ａと保護シート３０の対向面の何れか一方、又は双方の面に溝７２を有している形態（図６〜図８参照）、又は
（第２形態）樹脂マスク形成工程の前に、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０が位置してなる蒸着マスク準備体４０をエージングする工程を含む形態、又は、
（第３形態）蒸着マスク準備体４０を構成する樹脂板２０Ａと保護シート３０との対向面の何れか一方が凸部８１を有しており、他方が凸部８１と嵌合可能な凹部８２を有しており、蒸着マスク準備体４０が、凸部８１と凹部８２とが嵌合されてなる形態（図９〜図１１参照）の何れかの形態をとる。

上記第１形態〜第３形態の何れかを有する本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法によれば、樹脂板２０Ａと保護シート３０との間に気泡等を入り込ませない、或いは樹脂板２０Ａと保護シート３０との間に、気泡等が入り込んだ場合であっても、当該気泡等を排出、或いは除去することができる。具体的には、第１形態においては、貫通孔７１や、溝７２を利用して、気泡等を蒸着マスク準備体４０外へ排出することができる。また、第２形態においては、エージングにより、樹脂板２０Ａと保護シート３０との間に入り込んだ気泡等を除去することができる。また、第３形態においては、凸部８１と凹部８２とを嵌合させる形態とすることで、樹脂板２０Ａと保護シート３０とを隙間なく密着させることができる。以下、各形態について一例を挙げて説明する。

＜＜第１形態の蒸着マスクの製造方法＞＞
本開示の実施の形態に係る第１形態の蒸着マスクの製造方法は、樹脂マスクを形成する樹脂マスク形成工程を含み、樹脂マスク形成工程が、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０が位置してなる蒸着マスク準備体４０に対し、樹脂板２０Ａの他方の面側からレーザー光を照射し、樹脂板２０Ａに蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部２５を形成する工程であり、蒸着マスク準備体４０を構成する樹脂板２０Ａ、及び保護シート３０の何れか一方、又は双方が、（ｉ）厚み方向に貫通孔を有しているか、又は（ｉｉ）樹脂板２０Ａと保護シート３０の対向面の何れか一方、又は双方の面に溝を有している。

本開示の実施の形態に係る第１形態の蒸着マスクの製造方法によれば、樹脂板２０Ａと保護シート３０との間に、気泡等が入り込んでいる場合であっても、当該気泡等を、貫通孔７１、或いは溝７２を利用して、蒸着マスク準備体４０外へ排出することができる。これにより、樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を形成するときの「バリ」や「滓」の発生を抑制することができ、樹脂マスク形成工程において、レーザー光により、樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を精度よく形成することができる。

＜第１形態の蒸着マスク準備体＞
一例としての蒸着マスク準備体４０は、図１（ａ）に示すように、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０が位置してなる積層構成を呈している。

（保護シート）
保護シート３０の材料としては、例えば、ポリエステル、エポキシ、ポリアリレート、ポリカーボネート、ポリウレタン、ポリイミド、シリコーン、ポリエーテルイミド、セルロース誘導体、ポリエチレン、エチレン・酢酸ビニル共重合体、ポリプロピレン、ポリスチレン、アクリル、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ナイロン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル、ポリビニルフルオライド、テトラフルオロエチレン・エチレン、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリビニリデンフルオライド、シクロオレフィン等を挙げることができる。

好ましい形態の蒸着マスク準備体４０は、蒸着マスク準備体４０を構成する保護シート３０の表面が自己吸着性、或いは自己粘着性を有する。好ましい形態の蒸着マスク準備体４０によれば、蒸着マスク準備体４０を得るべく、樹脂板２０Ａと保護シート３０とを接しさせたときに、エアー（空気）を退けながら樹脂板２０Ａに当該保護シート３０を吸着させることができる。つまりは、樹脂板２０Ａと保護シート３０との間に生じ得る気泡等を予め減少させることができる。

ここで言う保護シート３０の自己吸着性とは、保護シート３０自体の機構によって樹脂板２０Ａの一方の面上に吸着可能な性質を意味する。具体的には、樹脂板２０Ａの一方の面と保護シート３０との間に接着剤、粘着剤等を介さず、また、樹脂板２０Ａと保護シート３０とを外部機構、例えば、磁石等によって引き付けることを要せずに、樹脂板２０Ａの一方の面上に密着させることができる性質を意味する。

自己吸着性を有する保護シート３０としては、例えば、保護シート３０を構成する樹脂材料自体の働きにより自己吸着性が発現されるものを用いることができる。自己吸着性を発現させることができる樹脂としては、例えば、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、シクロオレフィン樹脂、ポリエチレン樹脂等を挙げることができる。

また、上記樹脂材料自体の働きにより自己吸着性を有する保護シート３０にかえて、その表面がセル吸盤構造を有する保護シート３０を用いてもよい。セル吸盤構造とは、表面に形成された連続する微細な凹凸構造を意味し、この連続する微細な凹凸構造が吸盤としての作用を奏することで保護シート３０に自己吸着性が付与される。このような保護シート３０としては、例えば、特開２００８−３６８９５号公報に記載されているセル吸盤構造を有するシート状物等を挙げることができる。

また、好ましい形態の蒸着マスク準備体４０は、蒸着マスク準備体４０を構成する保護シート３０の、ＪＩＳ Ｚ−０２３７：２００９で準拠される剥離強度が０．０００４Ｎ／１０ｍｍ以上０．２Ｎ／１０ｍｍ未満である。この形態の蒸着マスク準備体４０によれば、樹脂マスク形成後に、樹脂マスク２０に高い応力をかけることなく、樹脂マスク２０から保護シート３０を除去（剥離）することができる。なお、樹脂マスク２０から保護シート３０を除去するときに、樹脂マスク２０にかかる応力が高くなるにつれ、樹脂マスク２０に形成された樹脂マスク開口部２５の寸法や、形成位置に変動が生じやすくなる。より好ましい形態の蒸着マスク準備体４０は、蒸着マスク準備体４０を構成する保護シート３０の、ＪＩＳ Ｚ−０２３７：２００９で準拠される剥離強度が０．００１２Ｎ／１０ｍｍ以上０．０１２Ｎ／１０ｍｍ以下、特には、０．００２Ｎ／１０ｍｍ以上０．０２Ｎ／１０ｍｍ以下である。

本願明細書で言う剥離強度とは、ＪＩＳ Ｚ−０２３７：２００９で準拠される１８０°引きはがし粘着力と同義であり、剥離強度の測定は、ＪＩＳ Ｚ−０２３７：２００９における（方法２）：背面に対する１８０°引きはがし粘着力に準拠して行うことができる。具体的には、ステンレス板に、試験テープ（その表面に粘着剤を有するポリイミドフィルム（ポリイミドテープ５４１３（スリーエムジャパン（株）製））を、ステンレス板と粘着剤とが対向するようにして貼り合わせた試験板を用い、この試験板のポリイミドフィルムに、試験片としての保護シートを貼り、試験片としての保護シートを、試験板としてのポリイミドフィルムから１８０°引きはがすときの剥離強度（対ポリイミド）を、ＪＩＳ Ｚ−０２３７：２００９に準拠した方法で測定することで、保護シートの剥離強度を測定することができる。剥離強度の測定を行う測定機は、電気機械式万能試験機（５９００シリーズ インストロン社製）を用いることとする。

本願明細書で言う保護シートには、スピンコート、スプレーコート、グラビアコート、グラビアリバースコート、ロールコート等の各種の塗工法によって形成される保護層を含むものとする。例えば、ケン化度が７０ｍｏｌ％以上９５ｍｏｌ％以下、好ましくは７５ｍｏｌ％以上９１ｍｏｌ％以下のポリビニルアルコール樹脂を、適当な溶媒に分散、或いは溶解した塗工液を用いて保護層（保護シート）を形成することで、当該保護層（保護シート）を、水等によって容易に溶解除去することができる。つまり、樹脂マスク形成工程後に、樹脂マスク２０にかかる応力を小さくした状態で、樹脂マスク２０から保護シート３０を除去することができる。

保護シート３０の厚みについて特に限定はないが、１μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましく、２μｍ以上７５μｍ以下であることがより好ましく、２μｍ以上５０μｍ以下であることがさらに好ましく、３μｍ以上３０μｍ以下の範囲であることが特に好ましい。保護シート３０の厚みを１μｍ以上とすることで、保護シート３０の強度を十分に高めることができ、樹脂板２０Ａにレーザー光を照射して樹脂マスク開口部を形成するときに、保護シート３０が破損する、或いは保護シート３０にクラックが生ずるリスク等を低減することができる。特に、保護シート３０の厚みを３μｍ以上とした場合には、このリスクをさらに低減することができる。

また、保護シート３０として、保護シート３０を支持部材によって支持させた支持部材一体型の保護シート（図示しない）を用いることもできる。支持部材一体型の保護シートとすることで、保護シート３０自体の厚みを薄くしていった場合であっても、保護シート３０のハンドリング性等を良好なものとすることができる。支持部材の厚みについて特に限定はなく、保護シート３０の厚みに応じて適宜設定することができるが、３μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましく、３μｍ以上１５０μｍ以下であることがより好ましく、３μｍ以上１００μｍ以下であることがさらに好ましく、１０μｍ以上７５μｍ以下であることが特に好ましい。

支持部材の材料についても特に限定はなく、樹脂材料、ガラス材料等を用いることができるが、柔軟性等の観点から、樹脂材料を用いることが好ましい。

図１２に示す形態の蒸着マスク準備体４０は、樹脂板２０Ａの一方の面上に、１つの保護シート３０が位置している。なお、図１２は、蒸着マスク準備体４０を保護シート３０側から見た正面図である。図１２に示す形態では、保護シート３０の横方向（図中の左右方向）の長さを、樹脂板２０Ａの横方向の長さよりも短くしているが、保護シート３０の横方向の長さを、樹脂板２０Ａの横方向の長さと同じ長さとし、保護シート３０の端面と、樹脂板２０Ａの端面の面位置が一致するようにしてもよく、保護シート３０の横方向の長さを、樹脂板２０Ａの横方向の長さよりも長くして、保護シート３０の外周を樹脂板２０Ａから突出させてもよい。保護シート３０の縦方向の長さについても同様である。また、後述する各種形態の保護シート３０についても同様である。

また、図１３に示すように、樹脂板２０Ａの一方の面上に、複数の保護シート３０を位置させてもよい。この形態によれば、樹脂板２０Ａを大型化していった場合、換言すれば、最終的に製造される蒸着マスク１００を大型化していった場合であっても、簡便に、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０を設けることができる。特に、保護シート３０を複数の分割し、その大きさを小さくすることで、樹脂板２０Ａの一方の面と、各保護シート３０との間に気泡等が残存するリスクを低減させることができ、後述する第１形態、第３形態の蒸着マスク準備体４０の構成と相まって、樹脂板２０Ａと保護シート３０との密着性をより高めることができる。また、樹脂板２０Ａ上に保護シート３０を貼り合わせるときの人為的なミス等により、樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を形成する工程の前に、樹脂板２０Ａの一方の面上に設けられた保護シート３０を剥離する必要が生じた場合であっても、当該対象となっている保護シート３０を剥離するだけで足り、作業効率の点でも好ましい。

樹脂板２０Ａの一方の面上に複数の保護シート３０を設ける場合における保護シート３０の大きさ等について特に限定はなく、例えば、最終的に形成される樹脂マスク開口部の１つ、或いは複数の樹脂マスク開口部２５を覆うことができる大きさとしてもよく、後述する「１画面」、或いは複数の画面を覆うことができる大きさとしてもよい。好ましい形態の保護シート３０は、複数の保護シート３０のそれぞれが、最終的に樹脂板２０Ａに形成される「１画面」、或いは複数の画面と重なる大きさとなっている。特に、後述する好ましい形態の蒸着マスクでは、各画面間の間隔は、樹脂マスク開口部２５の間隔よりも広くなっていることから、作業性の観点からは、保護シート３０は、「１画面」、或いは複数の画面を覆うような大きさであって、且つ「１画面」、或いは複数の画面と厚み方向で重なる位置に設けることが好ましい。なお、図１３では、点線で閉じられている領域が、「１画面」の配置予定領域となっている。

なお、図１３に示す形態では、蒸着マスク準備体４０を保護シート３０側から平面視したときに、当該蒸着マスク準備体の縦方向、及び横方向（図中の上下方向、及び左右方向）に、複数の保護シート３０が規則的に設けられているが、図１４（ａ）に示すように、縦方向に延びる保護シート３０を横方向に複数設けてもよく、図１４（ｂ）に示すように、横方向に延びる保護シート３０を縦方向に複数設けてもよい。また、図１４（ｃ）に示すように、複数の保護シート３０を、互い違いにランダムに設けてもよい。

樹脂板２０Ａと、保護シート３０とは直接的に接していてもよく、他の層を介して間接的に接していてもよい。例えば、樹脂板２０Ａと、保護シート３０との間に、接着性や、粘着性を有する層（以下、中間層と言う場合がある。）を位置させてもよい。また、保護シート３０の樹脂板２０Ａと接する側の表面に接着処理を施すことで、保護シート３０に粘着性（接着性と言う場合もある）を発現させることもできる。接着処理としては、例えば、コロナ放電処理、火炎処理、オゾン処理、紫外線処理、放射線処理、粗面化処理、化学薬品処理、プラズマ処理、低温プラズマ処理、プライマー処理、グラフト化処理等を挙げることができる。

（樹脂板）
樹脂板２０Ａについては、後述する本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法により製造される蒸着マスク１００で説明する。

（貫通孔）
一例としての蒸着マスク準備体４０は、図４（ａ）に示すように、樹脂板２０Ａのみが厚み方向に貫通する貫通孔７１を有しているか、又は図４（ｂ）に示すように、保護シート３０のみが厚み方向に貫通する貫通孔７１を有していている。また、他の一例としての蒸着マスク準備体４０は、図４（ｃ）〜（ｅ）に示すように、樹脂板２０Ａ、及び保護シート３０の双方が厚み方向に貫通する貫通孔７１を有していている。樹脂板２０Ａ、保護シート３０の双方が貫通孔７１を有する場合において、樹脂板２０Ａが有する貫通孔７１と、保護シート３０が有する貫通孔７１は、厚み方向において重なっていてもよく（図４（ｃ）、（ｄ）参照）、厚み方向において重なっていなくともよい（図４（ｅ）参照）。また、樹脂板２０Ａが有する貫通孔７１と、保護シート３０が有する貫通孔７１の開口面積は、同じであってもよく、異なっていてもよい。

貫通孔７１は、図５（ａ）〜（ｄ）に示すように、その内径が段階的に変化する、或いは、図５（ｅ）に示すように、不連続に変化する貫通孔７１であってもよい。図５（ａ）、（ｂ）に示す形態では、その開口面積が、保護シート３０側に向かって大きくなるように構成された貫通孔７１が設けられており、図５（ｃ）、（ｄ）に示す形態では、その開口面積が、保護シート３０側に向かって小さくなるように構成された貫通孔７１が設けられている。なお、図５では、保護シート３０のみが貫通孔７１を有しているが、図４に示す各種の形態に置き換えることもできる。

また、樹脂板２０Ａ、及び保護シート３０の何れか一方、又は双方が有する貫通孔７１は、１つであってもよく（図示しない）、図４、図５に示すように複数あってもよい。

貫通孔７１の開口面積についても特に限定はないが、貫通孔７１を有することによる樹脂板２０Ａや、保護シート３０の耐久性や、気泡等の排出性等を考慮すると、貫通孔７１の開口面積は、１μｍ²以上１００００μｍ²以下の範囲が好ましく、１μｍ²以上２５００μｍ²以下の範囲がより好ましく、１μｍ²以上１００μｍ²以下や、４μｍ²以上２５μｍ²以下の範囲がさらに好ましく、４μｍ²以上１０μｍ²以下の範囲が特に好ましい。なお、ここで言う開口面積とは、貫通孔７１を厚み方向と直交する任意の軸に沿って断面視した時の貫通孔７１の開口面積を意味する。好ましい形態の貫通孔７１は、樹脂板２０Ａと、保護シート３０とが接する位置における開口面積が、上記好ましい開口面積の範囲内となっている。

貫通孔７１の形成位置についても特に限定はないが、例えば、後述するように、金属マスク１０を有する蒸着マスク準備体４０を用いて、蒸着マスク１００の製造を行う場合には、金属マスク１０の金属マスク開口部１５と重なる位置に、貫通孔７１を位置させることが好ましい。

貫通孔７１の形成方法についても特に限定はなく、例えば、エッチング加工、レーザー加工、切削加工等を用いることができる。

貫通孔７１の開口形状、具体的には、樹脂板２０Ａに貫通孔７１を形成する場合において、蒸着マスク準備体４０を樹脂板２０Ａ側から平面視したときの貫通孔７１の開口形状について特に限定はなく、円や、楕円等の曲率を有する形状であってもよく、矩形、ひし形、多角形状であってもよい。また、これ以外の形状であってもよい。また、樹脂板２０Ａに複数の貫通孔７１を形成する場合において、複数の貫通孔７１のそれぞれは、同一の開口形状であってもよく、異なる開口形状であってもよい。上記で説明した貫通孔７１の開口面積についても同様である。また、保護シート３０に貫通孔７１を形成する場合において、蒸着マスク準備体４０を保護シート３０側から平面視したときの貫通孔７１の形状についても同様である。

（溝）
一例としての蒸着マスク準備体４０は、図６、図７に示すように、樹脂板２０Ａと保護シート３０の対向面の何れか一方、又は双方の面に溝７２を有している。図６、図７は、蒸着マスク準備体４０を樹脂板側からみたときの保護シート３０の斜視図であり、説明の便宜上樹脂板を省略している。

保護シート３０が有する溝７２は、保護シート３０の外縁同士を繋ぐように位置していればよく、例えば、保護シート３０の幅方向外縁に延びる溝７２であってもよく（図示しない）、保護シート３０の幅方向（図中の上下方向）と直交する方向の外縁に延びる溝であってもよい（図６参照）。また、幅方向、及び幅方向と直交する方向（図中の左右方向）の外縁に延びる溝を組合せた形態としてもよい（図７参照）。また、保護シート３０を平面視したときの溝７２の形状は、曲率を有する形状であってもよい（図示しない）。

なお、図示する形態の保護シート３０や、樹脂板２０Ａを平面視したときの形状は、矩形を呈しているが、保護シート３０や、樹脂板２０Ａの形状は、図示する形態に限定されるものではなく、例えば、ひし形、多角形状であってもよく、円や、楕円等の曲率を有する形状であってもよい。

溝７２は、保護シート３０の外縁同士を繋ぎ、ランダムな方向に延びる溝であってもよい（図示しない）。また、保護シート３０が有する溝７２は、１つであってもよく、２つ以上であってもよい

また、図８に示すように、上記で説明した貫通孔７１と、溝７２を組合せて用いることもできる。溝７２は、何れかの位置において、貫通孔７１と繋がっていれば、溝７２を通過する気泡等を、貫通孔７１から排出することができる。したがって、溝７２が、貫通孔７１と繋がる形態とする場合には、溝７２は、保護シート３０の外縁まで延びていなくともよい。なお、図８では、保護シートの３０の外縁同士を繋ぐ溝７２の形態、保護シート３０の外縁と貫通孔７１とを繋ぐ溝７２の形態、貫通孔７１同士を結ぶ溝７２の形態、及び保護シートの３０の外縁同士を繋ぎ、且つ貫通孔７１と繋がる溝７２の形態を纏めて示している。

上記では、保護シート３０が溝７２を有する形態について説明を行ったが、保護シート３０に溝７２を位置させることにかえて、或いはこれとともに、樹脂板２０Ａに溝７２を位置させることもできる（図示しない）。この場合、上記保護シート３０とある記載を、樹脂板２０Ａと読み替えればよい。樹脂板２０Ａ、保護シート３０の双方が、溝７２を有する場合において、樹脂板２０Ａが有する溝７２と、保護シート３０が有する溝とは、厚み方向において一部、或いは全部が重なっていてもよく、重なっていなくともよい。

なお、樹脂板２０Ａが溝７２を有する形態とした場合には、当該樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を形成することで得られる樹脂マスク２０を備える蒸着マスク１００を用いた蒸着パターンの形成時に、樹脂マスク２０の膨張を吸収することができ、樹脂マスクの各所で生じる熱膨張が累積することにより樹脂マスク２０が全体として所定の方向に膨張して樹脂マスク開口部２５の寸法や位置が変化することを防止することができる。樹脂板２０Ａは、保護シート３０との接する側の面、及び接しない側の面の双方に溝７２を有していてもよい。

溝７２の深さについて特に限定はなく、保護シート３０、或いは樹脂板２０Ａの厚みに応じて適宜設定することができる。溝７２の深さの上限値について特に限定はないが、樹脂板２０Ａに溝７２を形成する場合にあっては、樹脂板２０Ａの厚みを１００％としたときに、溝７２の深さは、９０％以下であることが好ましく、８０％以下であることがより好ましい。下限値についても特に限定はないが、溝７２の深さは、１μｍ以上であることが好ましく、１．５μｍ以上であることが好ましい。他方、保護シート３０に溝７２を形成する場合にあっては、保護シート３０の厚み以下であれば、いかなる深さであってもよい。一例としては、保護シート３０の厚みを１００％としたときの、１％以上９９％以下の範囲である。

溝７２の幅についても特に限定はないが、一例としては、１μｍ以上１００μｍ以下の範囲を挙げることができる。

また、溝の断面形状についても特に限定されることはなくＵ字形状やＶ字形状など、溝７２の形成方法等を考慮して任意に選択すればよい。

溝７２の形成方法についても特に限定はなく、例えば、エッチング加工、レーザー加工、切削加工等を用いることができる。

＜樹脂マスク形成工程＞
樹脂マスク形成工程は、図１（ｂ）に示すように、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０が位置してなる蒸着マスク準備体４０に対し、樹脂板２０Ａの他方の面側からレーザー光を照射し、樹脂板２０Ａに蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部２５を形成する工程である。後述する各種形態についても同様である。

蒸着マスク準備体４０の樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を形成するに際し、蒸着作製するパターン、すなわち形成すべき樹脂マスク開口部２５に対応するパターンが予め設けられた基準板を準備し、この基準板を、蒸着マスク準備体４０の保護シート３０と貼り合せた状態で、樹脂板２０Ａ側から基準板のパターンに対応するレーザー照射を行ってもよい。この方法によれば、蒸着マスク準備体４０の保護シート３０と貼り合わされた基準板のパターンを見ながらレーザー照射を行う、いわゆる向こう合わせの状態で、樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を形成することができ、開口の寸法精度が極めて高い高精細な樹脂マスク開口部２５を有する樹脂マスク２０を形成することができる。

なお、上記方法を用いる場合には、樹脂板２０Ａ側から、保護シート３０を介して基準板のパターンをレーザー照射装置等で認識することができることが必要である。樹脂板２０Ａとしては、ある程度の厚みを有する場合には透明性を有するものを用いることが必要となるが、後述するようにシャドウの影響を考慮した好ましい厚みとする場合には、着色された樹脂板２０Ａであっても、基準板のパターンを認識させることができる。また、同様に保護シート３０も、ある程度の厚みを有する場合には、基準板を認識することができる程度の透明性を有していることが好ましい。

＜＜第２形態の蒸着マスクの製造方法＞＞
本開示の実施の形態に係る第２形態の蒸着マスクの製造方法は、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０が位置してなる蒸着マスク準備体４０をエージングする工程と、樹脂マスク２０を形成する樹脂マスク形成工程を含み、樹脂マスク形成工程が、エージング後の蒸着マスク準備体４０に対し、樹脂板２０Ａの他方の面側からレーザー光を照射し、樹脂板２０Ａに蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部を形成する工程である。

本開示の実施の形態に係る第２形態の蒸着マスクの製造方法によれば、樹脂板２０Ａと保護シート３０との間に、気泡等が入り込んでいる場合であっても、エージングによって、当該気泡等を除去することができる。具体的には、エージングによって樹脂板２０Ａと保護シート３０との間に存在する気泡等を、樹脂板２０Ａ、或いは保護シート３０より外部へ排出する、或いは樹脂板２０Ａ、保護シート３０中に拡散させることができる。これにより、樹脂板２０Ａと保護シート３０との間に存在し得る気泡等を除去することができる。

（エージング工程）
エージング条件について特に限定はなく、気泡等を、樹脂板２０Ａ、或いは保護シート３０より外部へ排出可能な条件、或いは樹脂板２０Ａや、保護シート３０中に拡散可能な条件であればよい。なお、気泡等の排出・拡散を効果的に行うためには、温度、時間、圧力等を考慮して行うことが好ましい。温度の一例としては、２５℃以上８０℃以下の範囲を挙げることができる。時間の一例としては、１２時間以上８４時間以下の範囲を挙げることができる。圧力の一例としては、１０^-4Ｐａ以上１０^-9Ｐａ以下の範囲を挙げることができる。また、これらを適宜組合せた条件とすることもできる。また、これ以外の条件とすることもできる。

＜第２形態の蒸着マスク準備体＞
本開示の実施の形態に係る第２形態の蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスク準備体４０は、貫通孔７１、溝７２を必須の条件としない点において、本開示の実施の形態に係る第１形態の蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスク準備体４０と相違し、その他は共通する。

＜＜第３形態の蒸着マスクの製造方法＞＞
本開示の実施の形態に係る第３形態の蒸着マスクの製造方法は、樹脂マスクを形成する樹脂マスク形成工程を含み、樹脂マスク形成工程が、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０が位置してなる蒸着マスク準備体４０に対し、樹脂板２０Ａの他方の面側からレーザー光を照射し、樹脂板２０Ａに蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部２５を形成する工程であり、蒸着マスク準備体４０における樹脂板２０Ａと保護シート３０との対向面の何れか一方が凸部８１を有しており、他方が凸部８１と嵌合可能な凹部８２を有しており、蒸着マスク準備体４０が、凸部８１と凹部８２とが嵌合されてなる蒸着マスク準備体である（図９〜図１１参照）。

本開示の実施の形態に係る第３形態の蒸着マスクの製造方法によれば、凸部８１、及び凹部８２を嵌合させることで、樹脂板２０Ａと保護シート３０との間に気泡等が残存してしまうことを抑制することができる。

＜第３形態の蒸着マスク準備体＞
図９、図１０は、第３形態の蒸着マスクの製造方法に用いられる蒸着マスク準備体の一例を示す概略断面図である。図９に示す形態の蒸着マスク準備体４０は、樹脂板２０Ａと保護シート３０との対向面において、樹脂板２０Ａが凸部８１を有しており、保護シート３０が凹部を有しており、樹脂板２０Ａが有する凸部８１と、保護シート３０が有する凹部が嵌合されてなる形態をとる。図１０に示す形態の蒸着マスク準備体４０は、樹脂板２０Ａと保護シート３０との対向面において、樹脂板２０Ａが凹部を有しており、保護シート３０が凸部８１を有しており、樹脂板２０Ａが有する凹部と、保護シート３０が有する凸部８１が嵌合されてなる形態をとる。

また、図１１に示すように、凸部８１の大きさを、凹部８２よりも小さくし、凹部８２に空間を設けることもできる。この形態によれば、樹脂板２０Ａと保護シート３０との間に気泡等が残存している場合であっても、凹部８２内に形成された空間に気泡等を逃がすことができ、結果的に、樹脂板２０Ａと保護シート３０との密着性を良好なものとすることができる。なお、図１１に示す形態の蒸着マスク準備体４０は、樹脂板２０Ａが凸部８１を有し、保護シート３０が凹部８２を有しているが、この形態にかえて、樹脂板２０Ａが凹部８２を有し、保護シート３０が凸部８１を有する形態とすることもできる。

樹脂板２０Ａ、保護シート３０が有する凸部８１、凹部８２は、１つであってもよく、複数あってもよい。

凸部８１の高さ（凹部の深さとも言う）について特に限定はなく、樹脂板２０Ａや、保護シート３０の厚みに応じて適宜設定することができる。凸部８１の高さ（凹部８２の深さ）は、ｎｍオーダーであってもよく、μｍオーダーであってもよい。例えば、凸部８１、凹部８２を微小なものとする場合には、凸部８１の高さとしては、１ｎｍ以上１０μｍ以下の範囲を挙げることができる。また、凸部８１の高さを、１０μｍ以上１００μｍ以下の範囲、好ましくは、１０μｍ以上５０μｍ以下の範囲、より好ましくは、１０μｍ以上２０μｍ以下の範囲とすることもできる。また、これ以外の範囲とすることもできる。

凹部８２の底面の面積（凸部頂面の面積）についても特に限定はなく、例えば、凸部８１、凹部８２を微小なものとする場合には、１ｎｍ²以上１μｍ²以下の範囲や、１ｎｍ²以上５００ｎｍ²以下の範囲等を挙げることができる。また、１μｍ²以上１０００μｍ²以下の範囲や、１０μｍ²以上５００μｍ²以下の範囲等を挙げることができる。また、これ以外の範囲とすることもできる。

なお、凸部８１や、凹部８２を微小なものとする場合、例えば、その高さをｎｍオーダー等とする場合には、凸部８１を有する樹脂板２０Ａ、或いは保護シート３０として、柔軟性を有するものを用いることが好ましい。また、隣り合う凸部８１のピッチ（隣り合う凹部８２のピッチ）についても特に限定はなく、凸部８１の大きさ等を考慮して適宜設定すればよい。

また、図示する形態では、樹脂板２０Ａ、或いは保護シート３０を断面視したときの、凹部８２の形状は、矩形を呈しているが、これ以外の形状であってもよい。

凸部８１、凹部８２の形成方法について特に限定はなく、例えば、エッチング加工や、切削加工などを用いて形成可能である。

保護シート３０については、貫通孔７１、或いは溝７２にかえて、凸部８１、或いは凹部８２を有している点を除き、上記第１形態の蒸着マスク準備体４０で説明した保護シート３０の構成を適宜選択して用いることができる。

また、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法は、上記第１形態〜第３形態を組合せることもできる。例えば、第１形態、第３形態の蒸着マスク準備体４０を用いた樹脂マスク形成工程の前に、エージング工程を行ってもよい。

上記で説明した本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法では、蒸着マスク準備体４０として、その基本構成が、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０が位置してなる形態を中心に説明を行ったが、この形態にかえて、図１５（ａ）に示すように、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０が位置し、樹脂板２０Ａの他方の面に金属マスク開口部１５を有する金属マスク１０が位置してなる蒸着マスク準備体４０を用いることもできる。この形態の蒸着マスク準備体によれば、樹脂マスク形成工程において、図１５（ｂ）に示すように、蒸着マスク準備体４０に対し、金属マスク開口部１５を通してレーザー光を照射し、樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を形成し、次いで、保護シート３０を除去することで、図１５（ｃ）に示すように、樹脂マスク開口部２５を有する樹脂マスク２０と、金属マスク開口部１５を有する金属マスク１０とが積層されてなる蒸着マスク１００を得る。

また、樹脂マスク形成工程を行った後に、樹脂マスク開口部２５が形成された樹脂板２０Ａの他方の面に金属マスク開口部１５を有する金属マスク１０を設けてもよい。

金属マスク１０を有する蒸着マスク準備体４０における他の構成は、上記第１形態、第３形態の蒸着マスク準備体で説明した構成を適宜組合せて用いることができる。また、この蒸着マスク準備体４０に対して、上記第２形態の如くエージング工程を行ってもよい。金属マスク１０については後述する。

（任意の工程）
以下、上記本開示の実施の形態に係る第１形態〜第３形態の蒸着マスクの製造方法における任意の工程について説明する。

＜蒸着マスク準備体をフレームに固定する工程＞
本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法は、樹脂マスク形態工程を行う前の段階で、蒸着マスク準備体４０をフレームに固定する工程を含んでいてもよい。レーザー光を照射して、樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を形成する前の段階で、蒸着マスク準備体４０を予めフレームに固定しておくことで、得られた蒸着マスク１００をフレームに固定する際に生じる取り付け誤差を抑制することができる。なお、蒸着マスク準備体４０をフレームに固定することにかえて、樹脂板２０Ａ、或いは、樹脂板２０Ａの他方の面上に金属マスクが積層されてなる積層体をフレームに固定した後に、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０を設けてもよい。

フレームと蒸着マスク準備体との固定は、フレームの表面において行ってもよく、フレームの側面において行ってもよい。フレームについては後述する。

＜保護シートを除去する工程＞
本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法は、樹脂マスク形成工程後に、樹脂マスク２０から保護シート３０を除去する工程を含んでいてもよい。なお、保護シート３０は、樹脂マスク２０の表面を保護する役割を果たし得ることから、蒸着マスクの使用直前に保護シート３０を除去する形態とすることで、蒸着マスクの搬送時等に蒸着マスクが傷つくこと等を抑制することができる。

（スリミング工程）
また、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法は、上記で説明した工程間、或いは工程後に、樹脂板２０Ａ、保護シート３０、任意の金属マスク１０の厚みを最適化するスリミング工程を含んでいてもよい。

例えば、蒸着マスク準備体４０を構成する樹脂板２０Ａや、保護シート３０の厚みが所望の厚みよりも厚いものを用いた場合には、製造工程中において、蒸着マスク準備体４０に優れた耐久性や搬送性を付与することができる。一方で、後述するようにシャドウの発生等を防止するためには、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法により製造される蒸着マスク１００の厚みは最適な厚みであることが好ましい。スリミング工程は、製造工程中において耐久性や搬送性を満足させつつ、蒸着マスク１００の厚みを最適化する場合に有用な工程である。

樹脂板２０Ａ、保護シート３０のスリミング、すなわち厚みの最適化は、上記で説明した工程間、或いは工程後に、例えば、樹脂板２０Ａの保護シート３０と接しない側の面や、保護シート３０の樹脂板２０Ａと接しない側の面をエッチング加工等することで実現可能である。金属マスク１０のスリミングについても同様である。

（蒸着マスクの製造方法を用いて製造される蒸着マスク）
次に、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法により製造される蒸着マスクについて一例を挙げて説明する。なお、以下では、製造される蒸着マスク１００が、樹脂マスク開口部２５を有する樹脂マスク２０と、金属マスク開口部１５を有する金属マスク１０とが積層されてなる積層構成をとる場合を中心に説明を行うが、樹脂マスク開口部２５を有する樹脂マスク２０のみからなる蒸着マスク１００であってもよい。

図１６（ａ）は、一実施形態の蒸着マスクの製造方法で製造された蒸着マスクを金属マスク側から見た正面図であり、図１６（ｂ）は、図１６（ａ）のＡ−Ａ概略断面図である。

図示する形態では、樹脂マスク開口部２５や、金属マスク開口部１５の開口形状は、矩形状を呈しているが、開口形状について特に限定はなく、樹脂マスク開口部２５や、金属マスク開口部１５の開口形状は、ひし形、多角形状であってもよく、円や、楕円等の曲率を有する形状であってもよい。なお、矩形や、多角形状の開口形状は、円や楕円等の曲率を有する開口形状と比較して発光面積を大きくとれる点で、好ましい樹脂マスク開口部２５の開口形状であるといえる。

（樹脂マスク）
樹脂マスク２０の材料について限定はなく、レーザー加工等によって高精細な樹脂マスク開口部２５の形成が可能であり、熱や経時での寸法変化率や吸湿率が小さく、軽量な材料を用いることが好ましい。このような材料としては、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体樹脂、エチレン−メタクリル酸共重合体樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、セロファン、アイオノマー樹脂等を挙げることができる。上記に例示した材料の中でも、熱膨張係数が１６ｐｐｍ／℃以下である樹脂材料が好ましく、吸湿率が１．０％以下である樹脂材料が好ましく、この双方の条件を備える樹脂材料が特に好ましい。この樹脂材料を用いた樹脂マスクとすることで、樹脂マスク開口部２５の寸法精度を向上させることができ、かつ熱や経時での寸法変化率や吸湿率を小さくすることができる。したがって、最終的に樹脂マスク２０となり、蒸着マスク準備体を構成する樹脂板２０Ａとしては、例えば、上記に例示した好ましい樹脂材料から構成される樹脂板を用いることが好ましい。

樹脂マスク２０の厚みについて特に限定はないが、シャドウの発生の抑制効果をさらに向上せしめる場合には、樹脂マスク２０の厚みは、２５μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ未満であることがより好ましい。下限値の好ましい範囲について特に限定はないが、樹脂マスク２０の厚みが３μｍ未満である場合には、ピンホール等の欠陥が生じやすく、また変形等のリスクが高まる。特に、樹脂マスク２０の厚みを、３μｍ以上１０μｍ未満、より好ましくは４μｍ以上８μｍ以下とすることで、４００ｐｐｉを超える高精細パターンを形成する際のシャドウの影響をより効果的に防止することができる。また、樹脂マスク２０と後述する金属マスク１０とは、直接的に接合されていてもよく、粘着剤層を介して接合されていてもよいが、粘着剤層を介して樹脂マスク２０と金属マスク１０とが接合される場合には、樹脂マスク２０と粘着剤層との合計の厚みが上記好ましい厚みの範囲内であることが好ましい。なお、シャドウとは、蒸着源から放出された蒸着材の一部が、金属マスク開口部や、樹脂マスクの開口部の内壁面に衝突して蒸着対象物へ到達しないことにより、目的とする蒸着膜厚よりも薄い膜厚となる未蒸着部分が生ずる現象のことをいう。したがって、最終的に樹脂マスク２０となり、蒸着マスク準備体を構成する樹脂板２０Ａの厚みは上記の厚さとすることが好ましい。なお、樹脂板２０Ａは、金属マスク１０に対して、粘着剤層や接着剤層を介して接合されていてもよく、樹脂板２０Ａと金属板とが直接接合されていてもよいが、粘着剤層や接着剤層を介して樹脂板と金属マスク１０とを接合する場合には、上記シャドウの点を考慮して、樹脂板２０Ａと粘着剤層或いは樹脂板２０Ａと接着剤層との合計の厚みが上記好ましい範囲内となるように設定することが好ましい。

樹脂マスク開口部２５の断面形状についても特に限定はなく、樹脂マスク開口部２５を形成する樹脂マスクの向かいあう端面同士が略平行であってもよいが、図１６（ｂ）に示すように、樹脂マスク開口部２５はその断面形状が、蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。換言すれば、金属マスク１０側に向かって広がりをもつ勾配を有していることが好ましい。勾配については、樹脂マスク２０の厚み等を考慮して適宜設定することができるが、樹脂マスク開口部における下底先端と、同じく樹脂マスク開口部における上底先端を結んだ直線と、樹脂マスク底面とのなす角度、換言すれば、樹脂マスク開口部２５を構成する内壁面の厚み方向断面において、樹脂マスク開口部２５の内壁面と樹脂マスク２０の金属マスク１０と接しない側の面（図示する形態では、樹脂マスクの下面）とのなす角度は、５°以上８５°以下の範囲内であることが好ましく、１５°以上７５°以下の範囲内であることがより好ましく、２５°以上６５°以下の範囲内であることがさらに好ましい。特には、この範囲内の中でも、使用する蒸着機の蒸着角度よりも小さい角度であることが好ましい。また、図示する形態では、樹脂マスク開口部２５を形成する端面は直線形状を呈しているが、これに限定されることはなく、外に凸の湾曲形状となっている、つまり樹脂マスク開口部２５の全体の形状がお椀形状となっていてもよい。また、内に凸の形状となっていてもよい。このような断面形状を有する樹脂マスク開口部２５は、樹脂板２０Ａに樹脂マスク開口部２５を形成するときのレーザーの照射位置や、レーザーの照射エネルギーを適宜調整する、或いは照射位置を段階的に変化させる多段階のレーザー照射を行うことで形成可能である。

（金属マスク）
図１６（ｂ）に示すように、樹脂マスク２０の一方の面上には、金属マスク１０が積層されている。金属マスク１０は、金属から構成され、縦方向或いは横方向に延びる金属マスク開口部１５が配置されている。金属マスク開口部の配置例について特に限定はなく、縦方向、及び横方向に延びる金属マスク開口部が、縦方向、及び横方向に複数列配置されていてもよく、縦方向に延びる金属マスク開口部が、横方向に複数列配置されていてもよく、横方向に延びる金属マスク開口部が縦方向に複数列配置されていてもよい。また、縦方向、或いは横方向に１列のみ配置されていてもよい。なお、本願明細書で言う「縦方向」、「横方向」とは、図面の上下方向、左右方向をさし、蒸着マスク、樹脂マスク、金属マスクの長手方向、幅方向のいずれの方向であってもよい。例えば、蒸着マスク、樹脂マスク、金属マスクの長手方向を「縦方向」としてもよく、幅方向を「縦方向」としてもよい。また、本願明細書では、蒸着マスクを平面視したときの形状が矩形状である場合を例に挙げて説明しているが、これ以外の形状、例えば、円形状や、ひし形状等の多角形状としてもよい。この場合、対角線の長手方向や、径方向、或いは、任意の方向を「長手方向」とし、この「長手方向」に直交する方向を、「幅方向（短手方向と言う場合もある）」とすればよい。

金属マスク１０の材料について特に限定はなく、蒸着マスクの分野で従来公知のものを適宜選択して用いることができ、例えば、ステンレス鋼、鉄ニッケル合金、アルミニウム合金などの金属材料を挙げることができる。中でも、鉄ニッケル合金であるインバー材は熱による変形が少ないので好適に用いることができる。

金属マスク１０の厚みについても特に限定はないが、シャドウの発生をより効果的に防止するためには、１００μｍ以下であることが好ましく、５０μｍ以下であることがより好ましく、３５μｍ以下であることが特に好ましい。なお、５μｍより薄くした場合、破断や変形のリスクが高まるとともにハンドリングが困難となる傾向にある。

また、図１６（ａ）に示す形態では、金属マスク開口部１５を平面視したときの開口形状は、矩形状を呈しているが、開口形状について特に限定はなく、金属マスク開口部１５の開口形状は、台形状、円形状等いかなる形状であってもよい。

金属マスク１０に形成される金属マスク開口部１５の断面形状についても特に限定されることはないが、図１６（ｂ）に示すように蒸着源に向かって広がりをもつような形状であることが好ましい。より具体的には、金属マスク開口部における下底先端と、同じく金属マスク開口部１５における上底先端とを結んだ直線と、金属マスク１０の底面とのなす角度、換言すれば、金属マスク開口部１５を構成する内壁面の厚み方向断面において、金属マスク開口部１５の内壁面と金属マスク１０の樹脂マスク２０と接する側の面（図示する形態では、金属マスクの下面）とのなす角度は、５°以上８５°以下の範囲内であることが好ましく、１５°〜８０°の範囲内であることがより好ましく、２５°以上６５°以下の範囲内であることがさらに好ましい。特には、この範囲内の中でも、使用する蒸着機の蒸着角度よりも小さい角度であることが好ましい。

以下、一実施形態の蒸着マスクの製造方法によって製造される好ましい形態の蒸着マスクについて実施形態（Ａ）、及び実施形態（Ｂ)を例に挙げ説明する。

＜実施形態（Ａ）の蒸着マスク＞
図１７に示すように、実施形態（Ａ）の蒸着マスク１００は、複数画面分の蒸着パターンを同時に形成するための蒸着マスクであって、樹脂マスク２０の一方の面上に、複数の金属マスク開口部１５が設けられた金属マスク１０が積層されてなり、樹脂マスク２０には、複数画面を構成するために必要な樹脂マスク開口部２５が設けられ、各金属マスク開口部１５が、少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられていることを特徴とする。

実施形態（Ａ）の蒸着マスク１００は、複数画面分の蒸着パターンを同時に形成するために用いられる蒸着マスクであり、１つの蒸着マスク１００で、複数の製品に対応する蒸着パターンを同時に形成することができる。実施形態（Ａ）の蒸着マスクで言う「樹脂マスク開口部」とは、実施形態（Ａ）の蒸着マスク１００を用いて作製しようとするパターンを意味し、例えば、当該蒸着マスクを有機ＥＬディスプレイにおける有機層の形成に用いる場合には、樹脂マスク開口部２５の形状は当該有機層の形状となる。また、「１画面」とは、１つの製品に対応する樹脂マスク開口部２５の集合体からなり、当該１つの製品が有機ＥＬディスプレイである場合には、１つの有機ＥＬディスプレイを形成するのに必要な有機層の集合体、つまり、有機層となる樹脂マスク開口部２５の集合体が「１画面」となる。そして、実施形態（Ａ）の蒸着マスク１００は、複数画面分の蒸着パターンを同時に形成すべく、樹脂マスク２０には、上記「１画面」が、所定の間隔をあけて複数画面分配置されている。すなわち、樹脂マスク２０には、複数画面を構成するために必要な樹脂マスク開口部２５が設けられている。

実施形態（Ａ）の蒸着マスクは、樹脂マスクの一方の面上に、複数の金属マスク開口部１５が設けられた金属マスク１０が設けられ、各金属マスク開口部は、それぞれ少なくとも１画面全体と重なる位置に設けられている点を特徴とする。換言すれば、１画面を構成するのに必要な樹脂マスク開口部２５間において、横方向に隣接する樹脂マスク開口部２５間に、金属マスク開口部１５の縦方向の長さと同じ長さであって、金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分や、縦方向に隣接する樹脂マスク開口部２５間に、金属マスク開口部１５の横方向の長さと同じ長さであって、金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分が存在していないことを特徴とする。以下、金属マスク開口部１５の縦方向の長さと同じ長さであって、金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分や、金属マスク開口部１５の横方向の長さと同じ長さであって、金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分のことを総称して、単に金属線部分と言う場合がある。

実施形態（Ａ）の蒸着マスク１００によれば、１画面を構成するのに必要な樹脂マスク開口部２５の大きさや、１画面を構成する樹脂マスク開口部２５間のピッチを狭くした場合、例えば、４００ｐｐｉを超える画面の形成を行うべく、樹脂マスク開口部２５の大きさや、樹脂マスク開口部２５間のピッチを極めて微小とした場合であっても、金属線部分による干渉を防止することができ、高精細な画像の形成が可能となる。なお、１画面が、複数の金属マスク開口部によって分割されている場合、換言すれば、１画面を構成する樹脂マスク開口部２５間に金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分が存在している場合には、１画面を構成する樹脂マスク開口部２５間のピッチが狭くなっていくことにともない、樹脂マスク開口部２５間に存在する金属線部分が蒸着対象物へ蒸着パターンを形成する際の支障となり高精細な蒸着パターンの形成が困難となる。換言すれば、１画面を構成する樹脂マスク開口部２５間に金属マスク１０と同じ厚みを有する金属線部分が存在している場合には、フレーム付き蒸着マスクとしたときに当該金属線部分が、シャドウの発生を引き起こし高精細な画面の形成が困難となる。

次に、図１７〜図２０を参照して、１画面を構成する樹脂マスク開口部２５の一例について説明する。なお、図示する形態において破線で閉じられた領域が１画面となっている。図示する形態では、説明の便宜上少数の樹脂マスク開口部２５の集合体を１画面としているが、この形態に限定されるものではなく、例えば、１つの樹脂マスク開口部２５を１画素としたときに、１画面に数百万画素の樹脂マスク開口部２５が存在していてもよい。

図１７に示す形態では、縦方向、横方向に複数の樹脂マスク開口部２５が設けられてなる樹脂マスク開口部２５の集合体によって１画面が構成されている。図１８に示す形態では、横方向に複数の樹脂マスク開口部２５が設けられてなる樹脂マスク開口部２５の集合体によって１画面が構成されている。また、図１９に示す形態では、縦方向に複数の樹脂マスク開口部２５が設けられてなる樹脂マスク開口部２５の集合体によって１画面が構成されている。そして、図１７〜図１９では、１画面全体と重なる位置に金属マスク開口部１５が設けられている。

上記で説明したように、金属マスク開口部１５は、１画面のみと重なる位置に設けられていてもよく、図２０（ａ）、（ｂ）に示すように、２以上の画面全体と重なる位置に設けられていてもよい。図２０（ａ）では、図１７に示す樹脂マスク２０において、横方向に連続する２画面全体と重なる位置に金属マスク開口部１５が設けられている。図２０（ｂ）では、縦方向に連続する３画面全体と重なる位置に金属マスク開口部１５が設けられている。

次に、図１７に示す形態を例に挙げて、１画面を構成する樹脂マスク開口部２５間のピッチ、画面間のピッチについて説明する。１画面を構成する樹脂マスク開口部２５間のピッチや、樹脂マスク開口部２５の大きさについて特に限定はなく、蒸着作製するパターンに応じて適宜設定することができる。例えば、４００ｐｐｉの高精細な蒸着パターンの形成を行う場合には、１画面を構成する樹脂マスク開口部２５において隣接する樹脂マスク開口部２５の横方向のピッチ（Ｐ１）、縦方向のピッチ（Ｐ２）は６０μｍ程度となる。また、樹脂マスク開口部の大きさは、５００μｍ²以上１０００μｍ²以下程度となる。また、１つの樹脂マスク開口部２５は、１画素に対応していることに限定されることはなく、例えば、画素配列によっては、複数画素を纏めて１つの樹脂マスク開口部２５とすることもできる。

画面間の横方向ピッチ（Ｐ３）、縦方向ピッチ（Ｐ４）についても特に限定はないが、図１７に示すように、１つの金属マスク開口部１５が、１画面全体と重なる位置に設けられる場合には、各画面間に金属線部分が存在することとなる。したがって、各画面間の縦方向ピッチ（Ｐ４）、横方向のピッチ（Ｐ３）が、１画面内に設けられている樹脂マスク開口部２５の縦方向ピッチ（Ｐ２）、横方向ピッチ（Ｐ１）よりも小さい場合、或いは略同等である場合には、各画面間に存在している金属線部分が断線しやすくなる。したがって、この点を考慮すると、画面間のピッチ（Ｐ３、Ｐ４）は、１画面を構成する樹脂マスク開口部２５間のピッチ（Ｐ１、Ｐ２）よりも広いことが好ましい。画面間のピッチ（Ｐ３、Ｐ４）の一例としては、１ｍｍ以上１００ｍｍ以下の範囲である。なお、画面間のピッチとは、１の画面と、当該１の画面と隣接する他の画面とにおいて、隣接している樹脂マスク開口部間のピッチを意味する。このことは、後述する実施形態（Ｂ)の蒸着マスクにおける樹脂マスク開口部２５のピッチ、画面間のピッチについても同様である。

なお、図２０に示すように、１つの金属マスク開口部１５が、２つ以上の画面全体と重なる位置に設けられる場合には、１つの金属マスク開口部１５内に設けられている複数の画面間には、金属マスク開口部の内壁面を構成する金属線部分が存在しないこととなる。したがって、この場合、１つの金属マスク開口部１５と重なる位置に設けられている２つ以上の画面間のピッチは、１画面を構成する樹脂マスク開口部２５間のピッチと略同等であってもよい。

＜実施形態（Ｂ)の蒸着マスク＞
次に実施形態（Ｂ)の蒸着マスクについて説明する。図２１に示すように、実施形態（Ｂ)の蒸着マスクは、蒸着作製するパターンに対応した樹脂マスク開口部２５が複数設けられた樹脂マスク２０の一方の面上に、１つの金属マスク開口部（１つの孔１６）が設けられた金属マスク１０が積層されてなり、当該複数の樹脂マスク開口部２５の全てが、金属マスク１０に設けられた１つの孔と重なる位置に設けられている点を特徴とする。

実施形態（Ｂ)の蒸着マスクで言う樹脂マスク開口部２５とは、蒸着対象物に蒸着パターンを形成するために必要な樹脂マスク開口部を意味し、蒸着対象物に蒸着パターンを形成するために必要ではない樹脂マスク開口部は、１つの孔１６と重ならない位置に設けられていてもよい。なお、図２１は、実施形態（Ｂ)の蒸着マスクの一例を示す蒸着マスクを金属マスク側から見た正面図である。

実施形態（Ｂ)の蒸着マスク１００は、複数の樹脂マスク開口部２５を有する樹脂マスク２０上に、１つの孔１６を有する金属マスク１０が設けられており、かつ、複数の樹脂マスク開口部２５の全ては、当該１つの孔１６と重なる位置に設けられている。この構成を有する実施形態（Ｂ)の蒸着マスク１００では、樹脂マスク開口部２５間に、金属マスクの厚みと同じ厚み、或いは、金属マスクの厚みより厚い金属線部分が存在していないことから、上記実施形態（Ａ）の蒸着マスクで説明したように、金属線部分による干渉を受けることなく樹脂マスク２０に設けられている樹脂マスク開口部２５の寸法通りに高精細な蒸着パターンを形成することが可能となる。

また、実施形態（Ｂ)の蒸着マスクによれば、金属マスク１０の厚みを厚くしていった場合であっても、シャドウの影響を殆ど受けることがないことから、金属マスク１０の厚みを、耐久性や、ハンドリング性を十分に満足させることができるまで厚くすることができ、高精細な蒸着パターンの形成を可能としつつも、耐久性や、ハンドリング性を向上させることができる。

（樹脂マスク）
実施形態（Ｂ)の蒸着マスクにおける樹脂マスク２０は、樹脂から構成され、図２１に示すように、１つの孔１６と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した樹脂マスク開口部２５が複数設けられている。樹脂マスク開口部２５は、蒸着作製するパターンに対応しており、蒸着源から放出された蒸着材が樹脂マスク開口部２５を通過することで、蒸着対象物には、樹脂マスク開口部２５に対応する蒸着パターンが形成される。なお、図示する形態では、樹脂マスク開口部が縦横に複数列配置された例を挙げて説明をしているが、縦方向、或いは横方向にのみ配置されていてもよい。

実施形態（Ｂ)の蒸着マスク１００における「１画面」とは、１つの製品に対応する樹脂マスク開口部２５の集合体を意味し、当該１つの製品が有機ＥＬディスプレイである場合には、１つの有機ＥＬディスプレイを形成するのに必要な有機層の集合体、つまり、有機層となる樹脂マスク開口部２５の集合体が「１画面」となる。実施形態（Ｂ)の蒸着マスクは、「１画面」のみからなるものであってもよく、当該「１画面」が複数画面分配置されたものであってもよいが、「１画面」が複数画面分配置される場合には、画面単位毎に所定の間隔をあけて樹脂マスク開口部２５が設けられていることが好ましい（実施形態（Ａ）の蒸着マスクの図１７参照）。「１画面」の形態について特に限定はなく、例えば、１つの樹脂マスク開口部２５を１画素としたときに、数百万個の樹脂マスク開口部２５によって１画面を構成することもできる。

（金属マスク）
実施形態（Ｂ)の蒸着マスク１００における金属マスク１０は、金属から構成され１つの孔１６を有している。そして、本発明では、当該１つの孔１６は、金属マスク１０の正面からみたときに、全ての樹脂マスク開口部２５と重なる位置、換言すれば、樹脂マスク２０に配置された全ての樹脂マスク開口部２５がみえる位置に配置されている。

金属マスク１０を構成する金属部分、すなわち１つの孔１６以外の部分は、図２１に示すように蒸着マスク１００の外縁に沿って設けられていてもよく、図２２に示すように金属マスク１０の大きさを樹脂マスク２０よりも小さくし、樹脂マスク２０の外周部分を露出させてもよい。また、金属マスク１０の大きさを樹脂マスク２０よりも大きくして、金属部分の一部を、樹脂マスクの横方向外方、或いは縦方向外方に突出させてもよい。なお、いずれの場合であっても、１つの孔１６の大きさは、樹脂マスク２０の大きさよりも小さく構成されている。

図２１に示される金属マスク１０の１つの孔１６の壁面をなす金属部分の横方向の幅（Ｗ１）や、縦方向の幅（Ｗ２）について特に限定はないが、Ｗ１、Ｗ２の幅が狭くなっていくに従い、耐久性や、ハンドリング性が低下していく傾向にある。したがって、Ｗ１、Ｗ２は、耐久性や、ハンドリング性を十分に満足させることができる幅とすることが好ましい。金属マスク１０の厚みに応じて適切な幅を適宜設定することができるが、好ましい幅の一例としては、実施形態（Ａ）の蒸着マスクにおける金属マスクと同様、Ｗ１、Ｗ２ともに１ｍｍ以上１００ｍｍ以下の範囲である。

したがって、一実施形態の蒸着マスクの製造方法においては、最終的に製造される蒸着マスクが上記で説明した好ましい形態となるように、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０を設ける位置や、樹脂マスク開口部２５を形成する工程におけるレーザー光の照射などを決定することが好ましい。また、樹脂板２０Ａの一方の面上に保護シート３０を設けるにあたっては、最終的に製造される蒸着マスクが上記で説明した好ましい形態となるように、その大きさや、配置する位置を決定することが好ましい。

また、一実施形態の蒸着マスクの製造方法を用いて、フレーム付き蒸着マスクを得ることもできる。図２３、図２４は、フレーム６０に一実施形態の蒸着マスクの製造方法により得られる蒸着マスクを固定してなるフレーム付き蒸着マスク２００を樹脂マスク側から見た正面図である。フレーム付き蒸着マスク２００は、図２３に示すように、フレーム６０に、１つの蒸着マスク１００が固定されたものであってもよく、図２４に示すように、フレーム６０に、複数の蒸着マスク１００が固定されたものであってもよい。フレーム付き蒸着マスク２００は、一実施形態の蒸着マスクの製造方法により得られる蒸着マスクをフレーム６０に固定して得ることができ、また、予め、フレーム６０に蒸着マスク準備体を固定することで得ることができる。また、図２４に示す形態のフレーム付き蒸着マスクは、一実施形態の蒸着マスクの製造方法により得られる複数の蒸着マスクをフレーム６０に固定して得ることができ、また、予め、複数の蒸着マスク準備体４０をフレーム６０に固定することで得ることもできる。

フレーム６０は、略矩形形状の枠部材であり、最終的に固定される蒸着マスク１００の樹脂マスク２０に設けられた樹脂マスク開口部２５を蒸着源側に露出させるための貫通孔を有する。フレームの材料としては、金属材料や、ガラス材料、セラミック材料等を挙げることができる。

フレームの厚みについても特に限定はないが、剛性等の点から１０ｍｍ以上３０ｍｍ以下の範囲であることが好ましい。フレームの開口の内周端面と、フレームの外周端面間の幅は、当該フレームと、蒸着マスクの金属マスクとを固定することができる幅であれば特に限定はなく、例えば、１０ｍｍ以上７０ｍｍ以下の範囲の幅を例示することができる。

また、図２５（ａ）〜（ｃ）に示すように、蒸着マスク１００を構成する樹脂マスク２０の樹脂マスク開口部２５の露出を妨げない範囲で、フレームの貫通孔の領域に補強フレーム６５等が設けられたフレーム６０を用いてもよい。換言すれば、フレーム６０が有する開口が、補強フレーム等によって分割された構成を有していてもよい。補強フレーム６５を設けることで、当該補強フレーム６５を利用して、フレーム６０と蒸着マスク１００とを固定することができる。具体的には、上記で説明した蒸着マスク１００を縦方向、及び横方向に複数並べて固定するときに、当該補強フレームと蒸着マスクが重なる位置においても、フレーム６０に蒸着マスク１００を固定することができる。

（蒸着マスクを用いた蒸着方法）
本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法を用いて製造される蒸着マスクを用いた蒸着方法については、特に限定はなく、例えば、反応性スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング、電子ビーム蒸着法等の物理的気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、熱ＣＶＤ、プラズマＣＶＤ、光ＣＶＤ法等の化学気相成長法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）等を挙げることが
できる。また、蒸着パターンの形成は、従来公知の真空蒸着装置などを用いて行うことができる。

＜＜有機半導体素子の製造方法＞＞
次に、本開示の実施の形態に係る有機半導体素子の製造方法について説明する。本開示の有機半導体素子の製造方法は、蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、蒸着パターンを形成する工程において、上記で説明した本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法を用いて得られる蒸着マスクが用いられることを特徴としている。

蒸着マスクを用いた蒸着法により蒸着パターンを形成する工程について特に限定はなく、基板上に電極を形成する電極形成工程、有機層形成工程、対向電極形成工程、封止層形成工程等を有し、各任意の工程において、上記で説明した蒸着パターン形成方法を用いて、蒸着パターンが形成される。例えば、有機ＥＬデバイスのＲ（レッド），Ｇ（グリーン），Ｂ（ブルー）各色の発光層形成工程に、上記で説明した蒸着パターン形成方法をそれぞれ適用する場合には、基板上に各色発光層の蒸着パターンが形成される。なお、本開示の実施の形態に係る有機半導体素子の製造方法は、これらの工程に限定されるものではなく、従来公知の有機半導体素子の製造における任意の工程に適用可能である。

以上説明した本開示の実施の形態に係る有機半導体素子の製造方法によれば、蒸着マスクと蒸着対象物とを隙間なく密着させた状態で、有機半導体素子を形成する蒸着を行うことができ、高精細な有機半導体素子を製造することができる。本開示の実施の形態に係る有機半導体素子の製造方法で製造される有機半導体素子としては、例えば、有機ＥＬ素子の有機層、発光層や、カソード電極等を挙げることができる。特に、本開示の実施の形態に係る有機半導体素子の製造方法は、高精細なパターン精度が要求される有機ＥＬ素子のＲ、Ｇ、Ｂ発光層の製造に好適に用いることができる。

＜＜有機ＥＬディスプレイの製造方法＞＞
次に、本開示の実施の形態に係る有機ＥＬディスプレイ（有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ）の製造方法について説明する。本開示の実施の形態に係る有機ＥＬディスプレイの製造方法は、有機ＥＬディスプレイの製造工程において、上記で説明した本開示の実施の形態に係る有機半導体素子の製造方法により製造された有機半導体素子が用いられる。

上記本開示の有機半導体素子の製造方法により製造された有機半導体素子が用いられた有機ＥＬディスプレイとしては、例えば、ノートパソコン（図２６（ａ）参照）、タブレット端末（図２６（ｂ）参照）、携帯電話（図２６（ｃ）参照）、スマートフォン（図２６（ｄ）参照）、ビデオカメラ（図２６（ｅ）参照）、デジタルカメラ（図２６（ｆ）参照）、スマートウォッチ（図２６（ｇ）参照）等に用いられる有機ＥＬディスプレイを挙げることができる。

以上、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク準備体を用いて得られる蒸着マスク、及び有機半導体素子の製造方法や、有機ＥＬディスプレイの製造方法に用いられる蒸着マスクが、樹脂マスク開口部２５を有する樹脂マスク２０と、金属マスク開口部１５を有する金属マスク１０とが積層されてなる積層構成をとる蒸着マスクである場合を中心に説明を行ったが、この形態の蒸着マスクにかえて、本開示の実施の形態に係る蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク準備体を用いて、樹脂マスク開口部２５を有する樹脂マスク２０上に、金属層１０Ａを部分的に配置した形態の蒸着マスクを得ることもできる。また、この形態の蒸着マスクを、有機半導体素子の製造方法や、有機ＥＬディスプレイの製造方法に用いることもできる。

樹脂マスク開口部２５を有する樹脂マスク２０上に、金属層１０Ａを部分的に配置した蒸着マスクによれば、金属層１０Ａを有しない蒸着マスク、つまりは、樹脂マスク２０のみからなる蒸着マスクと比較して、耐久性の向上を図ることができる。

図２７（ａ）は、樹脂マスク開口部２５を有する樹脂マスク２０上に、金属層１０Ａを部分的に配置した形態の蒸着マスクを、金属層側から平面視したときの一例を示す正面図であり、図２７（ｂ）は、図２７（ａ）のＡ−Ａ部分での概略断面図である。なお、図２７（ｂ）における蒸着マスクの中央付近の一部は省略されている。

金属層１０Ａが設けられる位置、および金属層１０Ａを平面視した際の形状についても特に限定されることはない。すなわち、金属層１０Ａが設けられる位置に応じて、金属層１０Ａの平面形状を適宜設計することが可能である。

例えば、図２７（ａ）に示すように、蒸着マスク１００を構成する樹脂マスク２０を平面視したときの形状が、長辺と短辺とを有する長方形を呈している場合にあっては、金属層１０Ａの形状をその短辺と同じ長さを有する帯形状としつつ、樹脂マスク２０の短辺と平行に配置してもよい。また、図示しないが、金属層１０Ａの形状を樹脂マスク２０の長辺と同じ長さを有する帯形状としつつ、樹脂マスクの長辺と平行に配置してもよい。

図２８、図２９は、樹脂マスク開口部２５を有する樹脂マスク２０上に、金属層１０Ａが部分的に配置された蒸着マスクを、金属層１０Ａ側から平面視したときの一例を示す正面図である。

図２８に示すように、金属層１０Ａは必ずしも樹脂マスク２０の周縁に接している必要はなく、樹脂マスク２０の内部にのみ配置されていてもよい。例えば、樹脂マスク開口部２５を有する樹脂マスク２０上に、金属層１０Ａが部分的に配置された蒸着マスクを、フレームと固定するにあたり、当該フレームと厚み方向で重なる位置に、金属層１０Ａを配置しない形態としてもよい。

また、図２９に示すように、金属層１０Ａは必ずしも帯状である必要はなく、樹脂マスク２０上に点在するように配置されていてもよい。この場合において、図２９に示す金属層１０Ａは正方形であるが、これに限定されることはなく、長方形、三角形、四角形以上の多角形、円、楕円、半円、ドーナツ形状、アルファベットの「Ｃ」形状、「Ｔ」形状、さらには「十字」形状や「星」形状など、あらゆる形状をも採用可能である。一枚の樹脂マスク２０上に複数の金属層１０Ａが設けられている場合において、すべての金属層１０Ａが同一形状である必要はなく、前記で挙げた種々の形状の金属層１０Ａが混在していてもよい。

また、金属層１０Ａは、規則的に配置されていてもよく、ランダムに配置されていてもよい。

金属層１０Ａの材料としては、上記金属マスク１０の材料をそのまま用いることができる。また、金属層１０Ａの厚みは、金属マスク１０で説明した厚みとすればよい。

また、金属層１０Ａの断面形状についても特に限定されることはなく、図２７（ｂ）に示すように、金属層１０Ａの向かいあう端面同士が略平行であってもよく、図示はしないが、樹脂マスク開口部２５や、金属マスク開口部１５の開口と同様に、金属層１０Ａの樹脂マスク２０と接する側の面から、金属層１０Ａの樹脂マスク２０と接しない側の面に向かって広がりをもつ形状としてもよい。

１０・・・金属マスク
１０Ａ・・・金属層
１５・・・金属マスク開口部
２０Ａ・・・樹脂板
２０・・・樹脂マスク
２５・・・樹脂マスク開口部
３０・・・保護シート
４０・・・蒸着マスク準備体
６０・・・フレーム
７１・・・貫通孔
７２・・・溝
８１・・・凸部
８２・・・凹部
１００・・・蒸着マスク

Claims (10)

1. 樹脂マスクを備える蒸着マスクの製造方法であって、
   樹脂マスクを形成する樹脂マスク形成工程を含み、
   前記樹脂マスク形成工程が、樹脂板の一方の面上に保護シートが位置してなる蒸着マスク準備体に対し、前記樹脂板の他方の面側からレーザー光を照射し、前記樹脂板に蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部を形成する工程であり、
   （ｉ）前記蒸着マスク準備体を構成する前記樹脂板、及び前記保護シートの何れか一方、又は双方が、厚み方向に貫通孔を有しているか、又は（ｉｉ）前記樹脂板と前記保護シートの対向面の何れか一方、又は双方の面が、当該面の外縁と繋がり、前記樹脂板と前記保護シートの間に入り込んだ気泡を前記蒸着マスク準備体の外に排出できる溝を有する、
   蒸着マスクの製造方法。
2. 樹脂マスクを備える蒸着マスクの製造方法であって、
   樹脂マスクを形成する樹脂マスク形成工程を含み、
   前記樹脂マスク形成工程が、樹脂板の一方の面上に保護シートが位置してなる蒸着マスク準備体に対し、前記樹脂板の他方の面側からレーザー光を照射し、前記樹脂板に蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部を形成する工程であり、
   前記蒸着マスク準備体における前記樹脂板と前記保護シートとの対向面の何れか一方が
   凸部を有しており、他方が前記凸部と嵌合可能な凹部を有しており、前記蒸着マスク準備体が、前記凸部と前記凹部とが嵌合されてなる蒸着マスク準備体である、
   蒸着マスクの製造方法。
3. 前記樹脂マスク形成工程後に、前記樹脂マスクから前記保護シートを除去する除去工程をさらに含む、
   請求項１又は２に記載の蒸着マスクの製造方法。
4. 前記樹脂マスク形成工程前に、前記樹脂板の一方の面上に前記保護シートを設けて蒸着マスク準備体を得る工程をさらに含む、
   請求項１乃至３の何れか１項に記載の蒸着マスクの製造方法。
5. 前記蒸着マスク準備体が、樹脂板の一方の面上に保護シートが位置し、前記樹脂板の他方の面上に金属マスク開口部を有する金属マスクが位置する蒸着マスク準備体であり、
   前記樹脂マスク形成工程が、前記蒸着マスク準備体に対し、前記金属マスク開口部を通してレーザー光を照射し、前記樹脂板に前記樹脂マスク開口部を形成する工程である、
   請求項１乃至４の何れか１項に記載の蒸着マスクの製造方法。
6. 前記樹脂マスク形成工程後、前記樹脂マスク上に、金属マスク開口部を有する金属マスクを、前記樹脂マスク開口部と前記金属マスク開口部とが厚み方向で重なるように位置させる工程をさらに含む、
   請求項１乃至４の何れか１項に記載の蒸着マスクの製造方法。
7. フレーム上に前記蒸着マスク準備体を固定する工程をさらに含み、
   フレーム上に前記蒸着マスク準備体を固定した後に、前記樹脂マスク形成工程が行われる、
   請求項１乃至６の何れか１項に記載の蒸着マスクの製造方法。
8. 有機半導体素子の製造方法であって、
   フレームに蒸着マスクが固定されたフレーム付き蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、
   前記フレームに固定される前記蒸着マスクが、請求項１乃至６の何れか１項に記載の蒸着マスクの製造方法で製造された蒸着マスクである、
   有機半導体素子の製造方法。
9. 有機半導体素子の製造方法であって、
   フレームに蒸着マスクが固定されたフレーム付き蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、
   前記フレーム付き蒸着マスクが、請求項７に記載の蒸着マスクの製造方法で製造された蒸着マスクである、
   有機半導体素子の製造方法。
10. 有機ＥＬディスプレイの製造方法であって、
    請求項８又は９に記載の有機半導体素子の製造方法により製造された有機半導体素子が用いられる、有機ＥＬディスプレイの製造方法。

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