KR20130085292A

KR20130085292A - 증착용 마스크 및 이를 포함하는 증착 설비

Info

Publication number: KR20130085292A
Application number: KR20120006349A
Authority: KR
Inventors: 이정민; 이충호
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2012-01-19
Filing date: 2012-01-19
Publication date: 2013-07-29
Also published as: JP5542905B2; JP2013147739A; US20130186330A1; KR101941077B1; DE102012221945A1; US9221072B2

Abstract

증착용 마스크는 증착 물질 통과부와 프레임부를 포함한다. 상기 증착 물질 통과부는 일 방향으로 배열된 복수 개의 개구열들을 포함한다. 상기 개구부들 각각은 상기 제1 방향에서 마주하며 상기 프레임부의 일면에 기울어진 제1 경사면과 제2 경사면 및 상기 제2 방향에서 마주하는 제3 경사면과 제4 경사면으로 정의된다. 상기 개구열의 중심영역에 배치된 개구부의 상기 제1 경사면의 경사각은 상기 개구열의 외측영역에 배치된 개구부들 각각의 상기 제1 경사면의 경사각과 다르다.

Description

증착용 마스크 및 이를 포함하는 증착 설비{MASK FOR LAYER DEPOSITION AND DEPOSITION APPARATUS HAVING THE SAME}

본 발명은 증착용 마스크 및 이를 포함하는 증착 설비에 관한 것이다.

평판 디스플레이나 반도체 디바이스는 기판 상에 여러가지 물질을 증착하여 제조된다. 증착용 마스크를 사용하여 증착공정을 진행한다. 상기 기판에 증착된 물질들은 박막 패턴을 이룬다.

최근에는, 반도체 디바이스의 고집적화 및 평판 디스플레이의 고해상도화에 대응하여, 상기 박막 패턴의 조밀도가 높아지고 있다.

이와 더불어 반도체 디바이스와 평판 디스플레이의 성능 향상을 위해 상기 박막 패턴의 균일성을 요구하고 있다.

본 발명의 목적은 균일도가 높은 박막 패턴을 형성할 수 있는 증착용 마스크 및 이를 포함하는 증착 설비를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 증착용 마스크는 증착 물질 통과부와 상기 증착 물질 통과부에 인접한 프레임부를 포함한다. 상기 증착 물질 통과부는 적어도 하나의 개구열을 포함한다. 상기 개구열은 제1 방향으로 배열된 복수 개의 개구부들을 포함한다. 상기 개구열이 복수 개 제공되면, 상기 복수 개의 개구열들은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열된다.

상기 개구부들은 상기 제1 방향에서 마주하며 상기 프레임부의 일면에 기울어진 제1 경사면과 제2 경사면 및 상기 제2 방향에서 마주하는 제3 경사면과 제4 경사면으로 각각 정의된다.

상기 개구열의 중심영역에 배치된 적어도 하나의 개구부의 제1 경사면의 경사각은 상기 개구열의 외측영역에 배치된 개구부들 각각의 제1 경사면의 경사각과 다르다.

상기 외측영역은 상기 중심영역을 사이에 두고 배치된 제1 외측영역 및 제2 외측영역을 포함한다. 상기 제1 외측영역에 배치된 개구부들 각각의 제1 경사면은 제2 경사면보다 상기 중심영역에 인접하게 배치되고, 상기 제2 외측영역에 배치된 개구부들 각각의 제1 경사면은 제2 경사면보다 상기 중심영역에 인접하게 배치된다.

상기 외측영역에 배치된 상기 개구부들의 상기 제1 경사면의 경사각은 상기 제2 경사면의 경사각보다 작다. 상기 제1 외측영역 및 상기 제2 외측영역에 배치된 개구부들의 상기 제1 경사면들의 경사각들은 상기 중심영역에 인접하게 배치될수록 증가할 수 있다.

상기 제1 외측영역 및 상기 제2 외측영역에 배치된 개구부들의 상기 제2 경사면들의 경사각들은 상기 중심영역에 인접하게 배치될수록 감소할 수 있다.

상기 중심영역에 배치된 적어도 하나의 개구부의 제2 경사면의 경사각과 제1 경사면의 경사각은 동일할 수 있다.

상기 개구부들 각각의 상기 제3 경사면과 상기 제4 경사면은 상기 프레임부의 일면에 기울어질 수 있다. 상기 제3 경사면의 경사각과 상기 제4 경사면의 경사각은 동일할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비는 상기 마스크 및 기판에 증착 물질을 제공하는 소스부를 포함한다. 상기 소스부는 상기 제1 방향으로 배열된 복수 개의 노즐들을 포함한다. 상기 마스크는 상기 기판과 상기 소스부 사이에 배치된다.

상기 소스부의 중심영역에 배열된 노즐들 사이의 이격거리는 상기 소스부의 외측영역에 배열된 노즐들 사이의 이격거리보다 크다. 상기 소스부의 상기 제1 방향의 길이는 상기 마스크의 상기 제1 방향의 너비보다 크다.

상기 소스부는 상기 제2 방향으로 이동할 수 있다. 상기 마스크는 상기 제1 경사면 및 상기 제2 경사면이 상기 소스부를 향하도록 상기 기판의 일면에 결합될 수 있다.

상술한 바에 따른 증착용 마스크는 상기 개구부의 위치에 무관하게 상기 개구부에 대응하는 영역 상에 균일한 박막 패턴을 형성할 수 있다.

그리고, 상기 증착 설비에 따르면, 상기 소스부의 상기 노즐들로부터 상기 개구열의 외측영역에 배치된 개구부들이 상기 증착 물질을 효과적으로 공급받는다. 따라서, 상기 개구열의 중심영역에 배치된 개구부와 상기 개구열의 외측영역에 배치된 개구부는 실질적으로 균일한 양의 상기 증착 물질을 통과시킨다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비를 일 측면에서 바라본 측면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비를 도 1과 다른 측면에서 바라본 측면도이다.
도 3a는 도 1에 도시된 마스크의 일면을 도시한 평면도이다.
도 3b는 도 1에 도시된 마스크의 타면을 도시한 평면도이다.
도 4는 도 3a의 일부분을 확대한 도면이다.
도 5는 도 4의 Ⅰ-Ⅰ'를 따라 절단한 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 마스크의 개구부에 증착 물질이 공급되는 범위를 도시한 도면이다.
도 7은 도 6에 도시된 마스크의 개구부들 중 어느 하나에 증착 물질이 공급되는 것을 도시한 도면이다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비를 일 측면에서 바라본 측면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비를 도 1과 다른 측면에서 바라본 측면도이다.

도 1 및 도 2에 도시된 것과 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 설비(10)는 기판(100)에 증착 물질(DM)을 제공하는 소스부(200) 및 상기 기판(100)과 상기 소스부(200) 사이에 배치된 마스크(300)를 포함한다.

상기 기판(100)은 디스플레이를 구성하는 평면 부재이거나, 반도체 디바이스를 구성하는 평면 부재일 수 있다. 상기 기판(100)은 유리, 실리콘, 금속, 플라스틱으로 구성될 수 있다. 이하, 상기 기판(100)은 디스플레이를 구성하는 평면 부재로 설명된다.

상기 기판(100)은 복수 개의 화소영역들(미도시)과 상기 화소영역들에 인접한 비화소영역(미도시)을 포함할 수 있다. 예컨대, 유기발광 표시장치의 상기 화소영역들은 유기발광층을 포함하는 화소를 각각 구비한다. 상기 화소영역들은 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. 또한, 비화소영역은 상기 화소영역들 각각을 에워싼다. 상기 비화소영역은 박막 트랜지스터와 신호배선이 형성되는 영역이다.

상기 소스부(200)는 제1 방향(D1)으로 배열된 복수 개의 노즐들(210)을 포함한다. 상기 노즐들(210) 각각은 상기 증착 물질(DM)을 배출한다. 상기 증착 물질(DM)은 유기물 또는 무기물일 수 있다. 상기 증착 물질(DM)의 종류는 상기 기판(100)이 디스플레이의 일부를 구성하는지, 반도체 디바이스의 일부를 구성하는지에 따라 선택되거나, 제조 공정의 단계에 따라 선택된다. 상기 기판(100)의 화소영역에 증착된 증착 물질(DM)은 박막 패턴을 형성한다.

상기 노즐들(210)은 균일한 간격으로 배치되거나, 영역에 따라 서로 다른 간격으로 배치될 수 있다. 도 1 및 도 2에서 영역에 따라 서로 다른 간격으로 배치된 노즐들을 갖는 상기 소스부(200)를 예시적으로 도시되었다.

상기 소스부(200)는 후술하는 마스크(300)의 제1 방향(D1)의 너비보다 더 큰 길이를 갖는다. 따라서, 상기 노즐들(210) 중 일부는 평면상에서 상기 마스크(300)의 외측에 배치될 수도 있다.

상기 마스크(300)는 증착 물질 통과부(310: 도 3a 참조)와 상기 증착 물질 통과부(310)에 인접하는 프레임부(320: 도 3a 참조)를 포함한다. 상기 증착 물질 통과부(310)는 적어도 하나의 개구열(310-CL: 도 3a 참조)을 포함한다. 상기 마스크(300)가 복수 개의 개구열들(310-CL)을 포함하면, 상기 개구열들(310-CL)은 균일한 간격으로 나열될 수 있다.

상기 마스크(300)의 개구부들(310-OP)을 통과한 상기 증착 물질(DM)은 상기 기판(100)의 화소영역들에 균일하게 증착된다.

상술한 증착 공정은 상기 마스크(300)와 상기 기판(100)이 결합된 상태에서 진행될 수 있다. 또한, 상기 결합된 마스크(300)와 기판(100)이 상기 제1 방향(D1)에 교차하는 제2 방향(D2)으로 이동하거나, 상기 소스부(200)가 상기 제2 방향(D2)으로 이동한다.

본 실시예에서 상기 마스크(300)와 상기 기판(100)은 고정되고, 상기 소스부(200)가 상기 제2 방향(D2)으로 이동한다. 상기 소스부(200)가 이동하면, 이동과정에서 발생하는 상기 기판의 손상이 방지된다.

상기 증착 설비(10)는 증착 공정이 수행되는 공간을 제공하는 챔버(미도시)를 더 포함할 수 있다. 상기 기판(100), 상기 소스부(200), 및 상기 마스크(300)는 상기 챔버의 내측에 배치될 수 있다. 상기 증착 공정이 진공 상태를 유지하도록 진공 펌프(미도시)가 상기 챔버에 연결될 수 있다.

도 3a는 도 1에 도시된 마스크의 일면을 도시한 평면도이고, 도 3b는 도 1에 도시된 마스크의 타면을 도시한 평면도이다. 도 4는 도 3a의 일부분을 확대한 도면이고, 도 5는 도 4의 Ⅰ-Ⅰ'를 따라 절단한 단면도이다. 이하, 도 3a 내지 도 5를 참조하여 상기 마스크(300)에 대해 상세히 설명한다.

상기 프레임부(320)는 실질적으로 상기 마스크(300)의 골격을 이루며 일면(320-S1)과 타면(320-S2)을 제공하고, 상기 개구부들(310-OP) 각각을 에워싼다. 도 3a는 상기 프레임부(320)의 일면(320-S1)을 도 3b는 상기 프레임부(320)의 타면(320-S2)을 각각 도시하고 있다. 상기 마스크(300)와 상기 기판(100)이 결합될 때, 상기 프레임부(320)의 타면(320-S2)이 상기 기판(100)에 접촉한다.

도 3a 및 도 3b에 도시된 것과 같이, 상기 개구열들(310-CL)은 상기 제2 방향(D2)으로 배열된다. 이하, 하나의 개구열(310-CL)을 중심으로 설명한다.

상기 개구부들(310-OP)은 상기 제1 방향(D1)으로 배열된다. 인접한 개구부들(310-OP) 사이의 이격 거리는 균일한 것이 바람직하다. 한편, 도 3a 및 도 3b는 10 개의 개구부들(310-OP)을 갖는 개구열(310-CL)을 예시적으로 도시하였다.

상기 개구부들(310-OP)은 상기 제1 방향(D1)에서 마주하는 제1 경사면(310-OPS1)과 제2 경사면(310-OPS2) 및 상기 제2 방향(D2)에서 마주하는 제3 경사면(310-OPS3)과 제4 경사면(310-OPS4)으로 각각 정의된다.

상기 개구열(310-CL)은 중심영역(CL-C), 상기 중심영역(CL-C)을 사이에 두고 배치된 제1 외측영역(CL-O1) 및 제2 외측영역(CL-O2)으로 분할된다. 상기 중심영역(CL-C)에 적어도 하나의 개구부(310-OP)가 배치되고, 상기 제1 외측영역(CL-O1), 및 상기 제2 외측영역(CL-O2) 각각에 복수 개의 개구부(310-OP)가 배치된다.

상기 개구열들(310-CL)이 홀수 개의 개구부들(310-OP)을 포함하면, 상기 중심영역(CL-C)에 홀수 개(예컨대, 한 개)의 개구부(310-OP)가 배치될 수 있다. 상기 개구열들(310-CL)이 짝수 개의 개구부들(310-OP)을 포함하면, 상기 중심영역(CL-C)에 짝수 개(예컨대, 두 개)의 개구부들(310-OP)이 배치될 수 있다. 상기 제1 외측영역(CL-O1) 및 상기 제2 외측영역(CL-O2)에 동일한 개수의 상기 개구부들(310-OP)이 배치되고, 서로 대칭을 이룰 수 있다.

상기 제1 경사면(310-OPS1)과 상기 제2 경사면(310-OPS2)은 상기 프레임부(320)의 일면(320-S1) 및 타면(320-S2)에 소정의 각도로 기울어졌다. 다시 말해, 상기 제1 경사면(310-OPS1)과 상기 제2 경사면(310-OPS2) 각각은 상기 일면(320-S1)으로부터 타면(320-S2)으로 기울어졌다.

상기 제1 외측영역(CL-O1) 및 상기 제2 외측영역(CL-O2)에 배치된 개구부들(310-OP) 각각의 상기 제1 경사면(310-OPS1)은 상기 제2 경사면(310-OPS2)보다 상기 중심영역(CL-C)에 인접하게 배치된다.

상기 중심영역(CL-C)에 배치된 개구부(310-OP)의 상기 제1 경사면(310-OPS1)은 상기 제1 외측영역(CL-O1) 또는 상기 제2 외측영역(CL-O2)에 배치된 개구부(310-OP)의 상기 제1 경사면(310-OPS1)과 다른 경사각을 갖는다. 또한, 상기 중심영역(CL-C)에 배치된 개구부(310-OP)의 상기 제2 경사면(310-OPS2)은 상기 제1 외측영역(CL-O1) 또는 상기 제2 외측영역(CL-O2)에 배치된 개구부(310-OP)의 상기 제2 경사면(310-OPS2)과 다른 경사각을 갖는다.

여기서, 상기 제1 경사면(310-OPS1)의 경사각은 상기 제1 경사면(310-OPS1)과 상기 프레임부(320)의 타면(320-S2)이 이루는 각도로 정의되고, 상기 제2 경사면(310-OPS2)의 경사각은 상기 제2 경사면(310-OPS2)과 상기 프레임부(320)의 타면(320-S2)이 이루는 각도로 정의된다.

상기 개구부들(310-OP) 각각의 상기 제3 경사면(310-OPS3)과 상기 제4 경사면(310-OPS4)은 상기 프레임부(320)의 일면(320-S1) 및 타면(320-S2)에 기울어질 수 있다. 이때, 상기 제3 경사면(310-OPS3)의 경사각과 상기 제4 경사면(310-OPS4)의 경사각은 서로 동일할 수 있다.

도 4 및 도 5는 상기 중심영역(CL-C)에 배치된 하나의 개구부(310-OP1: 이하, 제1 개구부), 상기 제1 외측영역(CL-O1)에 배치된 하나의 개구부(310-OP2: 이하, 제2 개구부), 및 상기 제2 외측영역(CL-O2)에 배치된 하나의 개구부(310-OP3: 이하, 제3 개구부)를 확대하여 도시하였다. 상기 제2 개구부(310-OP2) 및 상기 제3 개구부(310-OP3)는 상기 제1 외측영역(CL-O1) 및 상기 제2 외측영역(CL-O2) 각각의 최 외측(상기 중심영역(CL-C)으로부터 가장 멀리 배치됨)에 배치된다.

도 5에 도시된 것과 같이, 상기 제1 개구부(310-OP1)의 상기 제1 경사면(310-OPS1)은 제1 경사각(θ1)을 갖는다. 상기 제1 개구부(310-OP1)의 상기 제2 경사면(310-OPS2)은 상기 제1 개구부(310-OP1)의 상기 제1 경사면(310-OPS1)과 동일한 경사각을 가질 수 있다. 상기 제1 개구부(310-OP1)가 상기 개구열(310-CL)의 중심영역(CL-C)에 배치되기 때문에, 상기 소스부(200)의 노즐들(210)로부터 상기 제1 경사면(310-OPS1)과 상기 제2 경사면(310-OPS2) 각각을 향해 제공되는 상기 증착 물질(DM)의 양은 실질적으로 동일하다.

상기 제2 개구부(310-OP2)의 상기 제1 경사면(310-OPS1)은 제2 경사각(θ2)을 갖는다. 상기 제2 개구부(310-OP1)의 상기 제2 경사면(310-OPS2)은 제3 경사각(θ3)을 갖는다. 상기 제3 개구부(310-OP3)의 상기 제1 경사면(310-OPS1)과 상기 제2 경사면(310-OPS2)은 각각 상기 제2 경사각(θ2)과 상기 제3 경사각(θ3)을 갖는다.

여기서, 상기 개구열(310-CL)에서 상기 개구부들(310-OP)의 위치와 무관하게 상기 개구부들(310-OP) 각각에 대응하는 상기 기판(100)의 상기 화소영역에 균일한 양의 증착 물질(DM)을 증착하기 위해, 상기 제2 경사각(θ2)은 상기 제1 경사각(θ1)보다 작고, 상기 제3 경사각(θ3)은 상기 제2 경사각(θ2) 보다 크다. 상기 제1 내지 제3 경사각(θ1, θ2, θ3)이 갖는 범위와 상호 관계는 후술한다.

도 6에 도시된 것과 같이, 상기 소스부(200)는 중심영역(200-C), 상기 중심영역(200-C)을 사이에 두고 배치된 제1 외측영역(200-O1) 및 제2 외측영역(200-O2)으로 분할될 수 있다. 상기 제1 외측영역(200-O1) 및 상기 제2 외측영역(200-O2)은 상기 중심영역(200-C)보다 상기 노즐들(210)이 밀집된다. 다시 말해, 상기 중심영역(200-C)에 배열된 노즐들(210)의 이격거리는 상기 제1 외측영역(200-O1) 및 상기 제2 외측영역(200-O2)에 각각 배열된 노즐들(210)의 이격거리보다 크다.

이는 상기 마스크(300)의 테두리 부근에 대응하게 배치된 상기 기판(100)의 화소영역에도 충분한 양의 상기 증착 물질(DM: 도 1 참조)을 공급하기 위함이다. 다만, 상기 소스부(200)의 상기 제1 및 제2 외측영역(200-O1, 200-O2)이 상기 개구열(300-CL)의 상기 제1 및 제2 외측영역(CL-O1,CL-O2) 각각에 반드시 대응할 필요는 없다.

상술한 목적을 달성하기 위해 제1 방향(D1)에서 상기 소스부(200)의 길이(LS1)는 상기 제1 방향(D1)에서 상기 마스크(300)의 너비(LS2)보다 큰 것이 바람직하다. 실질적으로 상기 소스부(200)의 길이(LS1)는 상기 소스부(200)의 양 말단에 배치된 노즐(210) 사이의 거리이다. 평면상에서 상기 마스크(300)의 외측에 배치된 상기 노즐(210)은 상기 마스크(300)의 테두리 부근에 대응하게 배치된 상기 기판(100)의 화소영역에 충분한 양의 상기 증착 물질(DM)을 공급한다.

상기 제1 경사각(θ1), 상기 제2 경사각(θ2), 및 상기 제3 경사각(θ3)이 갖는 범위를 도 6 및 도 7을 참조하여 상세히 검토한다.

상기 제1 외측영역(CL-O1)의 최 외측에 배치된 개구부(310-OP), 즉 상기 제2 개구부(310-OP2)의 상기 제2 경사각(θ2)은 아래의 수학식 1에 따른다. 상기 제3 개구부(310-OP3)의 상기 제2 경사각(θ2) 역시 아래의 수학식 1에 따른다.

[수학식 1]

상기 Lt는 상기 소스부(200)와 상기 마스크(300) 사이의 수직거리이다. 좀 실질적으로 상기 Lt는 상기 노즐(210) 말단과 상기 마스크(300) 사이의 수직거리이다. 상기 Ls1은 상기 제1 방향(D1)에서 상기 소스부(200)의 길이이고, 상기 Ls2는 상기 제1 방향(D1)에서 상기 마스크(300)의 너비이다.

상기 제2 개구부(310-OP2) 및 상기 제3 개구부(310-OP3) 각각의 상기 제3 경사각(θ3)은 아래의 수학식 2에 따른다.

[수학식 2]

상기 제1 개구부(310-OP1)의 상기 제1 경사각(θ1)은 상기 수학식 1에 따른 각도보다 크고, 90도보다 작다.

도 7에 도시된 것과 같이, 상기 제3 개구부(310-OP3)가 상기 수학식 1에 따른 각도보다 큰 제2 경사각(θM)을 갖는 경우, 상기 제3 개구부(310-OP3)에 제공되는 상기 증착 물질(DM: 도 1 참조) 중 일부는 상기 화소영역(PXR)의 일부에만 증착된다. 예컨대, 제1 외측영역(200-O1)의 최 외측에 배치된 노즐(210)로부터 배출된 상기 증착 물질(DM)은 상기 화소영역(PXR)의 제2 부분(R2)에는 증착되더라도 제1 부분(R1)에는 증착되지 않는다. 그에 따라 상기 박막 패턴의 균일도는 감소한다.

이를 해소하기 위해 상기 수학식 1에 따라 상기 제3 개구부(310-OP3)의 제2 경사각(θ2)을 결정한다. 상기 수학식 1은 상기 제1 외측영역(200-O1)의 최 외측에 배치된 노즐(210)로부터 배출된 상기 증착 물질(DM)이 상기 제3 개구부(310-OP3)에 진입하는 각도를 고려한 것이다.

한편, 상기 제3 개구부(310-OP3) 뿐만 아니라, 상기 제2 외측영역(CL-O2)에 배치된 개구부들(310-OP)이 상기 수학식 1에 따른 제2 경사각(θ2)을 갖는 경우, 균일한 박막패턴을 형성할 수 있다. 상기 제2 외측영역(CL-O2)에 배치된 개구부들(310-OP)은 상기 중심영역(CL-C)에 인접할수록 상기 증착 물질(DM)이 상기 개구부들(310-OP)에 진입하는 각도가 증가하기 때문이다.

도 6에 도시된 것과 같이, 상기 제3 경사각(θ3)이 상기 제2 경사각(θ2)보다 큰 값을 갖더라도 상기 제3 개구부(310-OP3)는 상기 제2 외측영역(200-O2)의 최 외측에 배치된 노즐(210)로부터 배출된 상기 증착 물질(DM)을 균일하게 제공받을 수 있다.

뿐만 아니라, 상기 제3 경사각(θ3)이 상기 수학식 2에 따르면, 상기 개구열(310-CL)에 배치된 개구부들(310-OP) 사이의 간격이 일정하게 유지된다. 상기 제2 경사각(θ2)이 감소될수록 상기 제1 경사면(310-OPS1)의 면적은 증가하지만, 상기 제3 경사각(θ3)이 증가할수록 상기 제3 경사면(310-OPS3)의 면적이 감소하기 때문에 개구부들(310-OP) 사이의 간격이 일정하게 유지된다.

여기서, 상기 제1 및 상기 제2 외측영역(CL-O1, CL-O2)에 각각 배치된 개구부들(310-OP) 각각은 상기 수학식 1에 따른 제2 경사각(θ2)을 가질 수 있으나, 서로 다른 상기 제2 경사각(θ2)을 가질 수도 있다. 상기 제1 및 제2 외측영역(CL-O1, CL-O2)에 배치된 개구부들(310-OP)은 상기 중심영역(CL-C)에 인접하게 배치될수록 상기 제2 경사각(θ2)이 증가한다. 다만, 상기 제2 경사각(θ2)은 상기 제1 경사각(θ1) 이하이다.

또한, 상기 제1 외측영역(CL-O1)에 배치된 개구부들(310-OP) 각각은 상기 수학식 2에 따른 제3 경사각(θ3)을 가질 수 있으나, 서로 다른 상기 제3 경사각(θ3)을 가질 수도 있다. 상기 제1 외측영역(CL-O1)에 배치된 개구부들(310-OP)은 상기 중심영역(CL-C)에 인접하게 배치될수록 상기 제3 경사각(θ3)이 감소한다. 다만, 상기 제3 경사각(θ3)은 상기 제1 경사각(θ1) 이상이다. 상기 제2 외측영역(CL-O2)에 배치된 개구부들(310-OP) 역시 상기 중심영역(CL-C)에 인접하게 배치될수록 상기 제3 경사각(θ3)이 감소한다.

한편 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.

10: 증착 설비 100: 기판
200: 소스부 210: 노즐
300: 마스크 310: 증착 물질 통과부
320: 프레임부

Claims

제1 방향으로 배열된 복수 개의 개구부들을 포함하며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열된 적어도 하나의 개구열을 포함하는 증착 물질 통과부; 및
상기 증착 물질 통과부에 인접하는 프레임부를 포함하고,
상기 개구부들은 상기 제1 방향에서 마주하며 상기 프레임부의 일면에 기울어진 제1 경사면과 제2 경사면 및 상기 제2 방향에서 마주하는 제3 경사면과 제4 경사면으로 각각 정의되며,
상기 개구열의 중심영역에 배치된 적어도 하나의 개구부의 제1 경사면의 경사각은 상기 개구열의 외측영역에 배치된 개구부들 각각의 제1 경사면의 경사각과 다른 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.
제1 항에 있어서,
상기 외측영역은 상기 중심영역을 사이에 두고 배치된 제1 외측영역 및 제2 외측영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.
제2 항에 있어서,
상기 제1 외측영역에 배치된 개구부들 각각의 상기 제1 경사면은 상기 제2 경사면보다 상기 중심영역에 인접하게 배치되고,
상기 제2 외측영역에 배치된 개구부들 각각의 상기 제1 경사면은 상기 제2 경사면보다 상기 중심영역에 인접하게 배치된 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.
제3 항에 있어서,
상기 제1 외측영역 및 상기 제2 외측영역에 배치된 개구부들의 제1 경사면들의 경사각들은 상기 제1 외측영역 및 상기 제2 외측영역에 배치된 개구부들의 상기 제2 경사면들의 경사각들보다 작은 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.
제4 항에 있어서,
상기 제1 외측영역 및 상기 제2 외측영역에 배치된 개구부들의 상기 제1 경사면들의 경사각들은 상기 중심영역에 인접하게 배치될수록 증가하는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.
제5 항에 있어서,
상기 제1 외측영역 및 상기 제2 외측영역에 배치된 개구부들의 상기 제2 경사면들의 경사각들은 상기 중심영역에 인접하게 배치될수록 감소하는 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.
제1 항에 있어서,
상기 중심영역에 배치된 개구부의 제2 경사면의 경사각과 상기 중심영역에 배치된 개구부의 제1 경사면의 경사각은 동일한 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.
제1 항에 있어서,
상기 개구부들 각각의 제3 경사면과 제4 경사면은 상기 프레임부의 일면에 기울어진 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.
제8 항에 있어서,
상기 제3 경사면의 경사각과 상기 제4 경사면의 경사각은 서로 동일한 것을 특징으로 하는 증착용 마스크.
제1 방향으로 배열된 복수 개의 노즐들을 포함하며, 기판에 증착 물질을 제공하는 소스부; 및
상기 기판과 상기 소스부 사이에 배치되며, 상기 제1 방향으로 나열된 복수 개의 개구부들을 포함하는 적어도 하나의 개구열들을 포함하는 증착 물질 통과부 및 상기 증착 물질 통과부에 인접하는 프레임부를 포함하는 증착용 마스크를 포함하며,
상기 개구부들은 상기 제1 방향에서 마주하며 상기 프레임부의 일면에 기울어진 제1 경사면과 제2 경사면 및 상기 제2 방향에서 마주하는 제3 경사면과 제4 경사면으로 각각 정의되며,
상기 개구열의 중심영역에 배치된 적어도 하나의 개구부의 제1 경사면의 경사각은 상기 개구열의 외측영역에 배치된 개구부들 각각의 제1 경사면의 경사각과 다른 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제10 항에 있어서,
상기 소스부의 중심영역에 배열된 노즐들 사이의 이격거리는 상기 소스부의 외측영역에 배열된 노즐들 사이의 이격거리보다 큰 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제11 항에 있어서,
상기 소스부의 상기 제1 방향의 길이는 상기 증착용 마스크의 상기 제1 방향의 너비보다 큰 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제10 항에 있어서,
상기 소스부는 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제10 항에 있어서,
상기 증착용 마스크는 상기 제1 경사면 및 상기 제2 경사면이 상기 소스부를 향하도록 상기 기판의 일면에 결합된 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제10 항에 있어서,
상기 외측영역은 상기 중심영역을 사이에 두고 배치된 제1 외측영역 및 제2 외측영역을 포함하고,
상기 제1 외측영역에 배치된 개구부들 각각의 제1 경사면은 상기 제1 외측영역에 배치된 개구부들 각각의 제2 경사면보다 상기 중심영역에 인접하게 배치되고,
상기 제2 외측영역에 배치된 개구부들 각각의 제1 경사면은 상기 제2 외측영역에 배치된 개구부들 각각의 제2 경사면보다 상기 중심영역에 인접하게 배치된 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제15 항에 있어서,
상기 제1 외측영역 및 상기 제2 외측영역에 배치된 개구부들의 제1 경사면들의 경사각들은 상기 제1 외측영역 및 상기 제2 외측영역에 배치된 개구부들의 제2 경사면들의 경사각들보다 작은 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제16 항에 있어서,
상기 제1 외측영역 및 상기 제2 외측영역 각각의 최외측에 배치된 개구부의 제1 경사면의 경사각은 아래의 수학식 1에 따르는 것을 특징으로 하는 증착 설비.
[수학식 1]

(여기서 θ1은 상기 제1 경사면의 경사각이고, 상기 Lt는 상기 소스부와 상기 증착용 마스크 사이의 수직거리이고, 상기 Ls1은 상기 소스부의 상기 제1 방향의 길이이고, 상기 Ls2는 상기 제1 방향의 상기 증착용 마스크의 너비이다.)
제17 항에 있어서,
상기 제1 외측영역 및 상기 제2 외측영역 각각의 최외측에 배치된 개구부의 제2 경사면의 경사각은 아래의 수학식 2에 따르는 것을 특징으로 하는 증착 설비.
[수학식 2]

(여기서 θ2는 상기 제2 경사면의 경사각이다.)
제16 항에 있어서,
상기 제1 외측영역 및 상기 제2 외측영역에 배치된 개구부들의 제1 경사면들의 경사각들은 상기 중심영역에 인접하게 배치될수록 증가하는 것을 특징으로 하는 증착 설비.
제19 항에 있어서,
상기 제1 외측영역 및 상기 제2 외측영역에 배치된 개구부들의 제2 경사면들의 경사각들은 상기 중심영역에 인접하게 배치될수록 감소하는 것을 특징으로 하는 증착 설비.