KR20080037875A - 마스크 및 이를 이용한 증착 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 다수의 부화소 영역을 포함하는 기판 상에 박막을 증착시키기 위한 마스크에 있어서,상기 마스크는 상기 기판의 전면에 위치하며, 상기 다수의 부화소 영역 중 어느 한 영역에 각각 대응되는 다수 개의 제1 개구부가 형성된 제1 영역; 및상기 다수의 제1 개구부가 형성된 제1 영역의 양측에 배치되며, 상기 다수의 부화소 영역 중 적어도 두 개의 부화소 영역에 대응되는 다수의 제2 개구부가 형성된 제2 영역을 포함하는 마스크.
- 제1 항에 있어서, 상기 제1 개구부는 도트 형상인 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제1 항에 있어서, 상기 제2 개구부는 스트라이프 형상인 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제1 항에 있어서, 상기 제1 개구부는 상기 부화소 영역과 대응되는 다수 개의 개구부가 평행하게 배열되는 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제1 항에 있어서, 상기 제1 개구부는 상기 기판의 중앙 영역과 대응되는 것 을 특징으로 하는 마스크.
- 제1 항에 있어서, 상기 제1 영역 및 상기 제1 영역의 양측에 형성된 제2 영역은 상기 마스크 면적의 3:4:3 비율인 것을 특징으로 하는 마스크.
- 챔버,상기 챔버 내에 투입되는 다수의 부화소 영역을 포함하는 기판을 지지하기 위한 기판 지지부,상기 기판에 증착 물질을 공급하도록 배치되는 적어도 두 개의 증착원, 및상기 기판 지지부와 상기 증착원 사이에 상기 다수의 부화소 영역 중 어느 한 영역과 각각 대응되는 다수 개의 제1 개구부가 형성된 제1 영역 및 상기 다수 개의 제1 개구부가 형성된 제1 영역의 양측에 배치되며, 상기 기판의 다수의 부화소 영역 중 적어도 두 개의 부화소 영역과 대응되는 다수의 제2 개구부가 형성된 제2 영역을 포함하는 마스크를 포함하는 증착 장치.
- 제7 항에 있어서, 상기 제1 개구부는 도트 형상인 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제7 항에 있어서, 상기 제2 개구부는 스트라이프 형상인 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제7 항에 있어서, 상기 제1 개구부는 상기 기판의 중앙 영역과 대응되는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제7 항에 있어서, 상기 제1 영역 및 상기 제1 영역의 양측에 형성된 제2 영역은 상기 마스크 면적의 3:4:3 비율인 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 제7 항에 있어서, 상기 제1 개구부는 상기 부화소 영역과 대응되는 다수 개의 개구부가 평행하게 배열되는 것을 특징으로 하는 증착 장치.
- 기판 상에 서로 대향된 제1 및 제2 전극층과, 상기 제1 및 제2 전극층 사이에 구비된 발광층으로 형성된 다수의 부화소를 포함하는 유기 전계 발광표시장치에 있어서,상기 발광층은 상기 다수의 부화소 중 어느 한 영역 상에 각각 형성되는 다수 개의 제1 패턴 및 상기 제1 패턴의 양측에 형성되며, 상기 다수의 부화소 중 적어도 두 개의 부화소에 연속적으로 형성되는 다수 개의 제2 패턴을 포함하는 유기 전계 발광표시장치.
- 제13 항에 있어서, 상기 제1 패턴은 상기 다수의 부화소에 평행하게 배열되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광표시장치.
- 제13 항에 있어서, 상기 제1 패턴은 상기 다수의 부화소를 포함하는 기판의 중앙 영역인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광표시장치.
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