TWI470110B - 用於化學沉積設備的夾固裝置 - Google Patents

Description

用於化學沉積設備的夾固裝置

本發明係有關一種夾固裝置，尤指一種用於化學沉積設備的夾固裝置。

於現在工業製造的環境中，利用自動化的生產設備有諸多好處，第一能減少人力成本，僅需要支付操作人員的成本即可。第二能利用機器代替人力去作具有危險性的工作，以避免公共意外的產生。第三利用機器生產精度高，可避免人工製造錯誤。因具有上述優點，自動化生產已成為工業上不可或缺的利器。

於半導體製造的過程中，尤其在CIGS光伏面板製程，常需在一基板上利用物理氣相沉積或化學氣相沉積方式形成一鍍膜，當然半導體的製程種類十分地多，無法一一細數，但是於製程中常需要藉由滾輪來傳送基板至下一個製程，如何確保傳送時，利用夾持結構來將一基板確實夾固於一罩體(Hood)之底部，而不使基板與罩體所結合的結構中之化學液體洩漏，即為本發明研發及保護的標的。

本發明之一目的，在於提供一種用於化學沉積設備的夾固裝置，其係藉由致動機構與各夾持機構的組配，可將基板迅速地夾掣在 罩體內以進行化學沉積，亦能自罩體快速卸離而下以提高生產效能。

為了達成上述之目的，本發明提供一種用於化學沉積設備的夾固裝置，所述化學沉積設備具有一罩體及一基板，該夾固裝置包括一致動機構及複數夾持機構，該致動機構配設在所述罩體上；各該夾持機構分別連接在所述罩體，每一該夾持機構包含安裝在所述罩體的一固定座、樞接該固定座的一夾臂及固接在該夾臂的一抵壓件，各該夾臂的一端分別連接該致動機構並受其驅動，從而使各該夾臂以旋擺方式令各該抵壓件夾掣固定在所述基板。

為了達成上述之目的，本發明另提供一種用於化學沉積設備的夾固裝置，所述化學沉積設備具有一罩體及一基板，該夾固裝置包括一致動機構及複數夾持機構，該致動機構，配設在所述罩體上；各該夾持機構分別連接在所述罩體，每一該夾持機構包含一固定座、一夾臂、一抵壓件及一搖桿，該固定座安裝在所述罩體，該夾臂的一端連接該致動機構並受其驅動，該抵壓件固接在該夾臂的另一端，該搖桿的兩端分別樞接該固定座和該夾臂，從而使各該夾臂帶動各該抵壓件夾掣固定在所述基板。

為了達成上述之目的，本發明另提供一種用於化學沉積設備的夾固裝置，所述化學沉積設備具有一罩體及一基板，該夾固裝置包括一致動機構及複數夾持機構，該致動機構配設在所述罩體上，該致動機構包括一內軸、一彈性件、一內套筒及一外套筒，該內軸具有至少一卡榫，該內軸的一端具有一端面；該彈性件與該內軸的一端連接，該彈性件的一端頂持於該內軸的該端面，並提供變形回彈的應力；該內套筒具有一腔體、一斜面、一卡槽及一滑 溝，該內套筒套置於該內軸外部，且該內套筒的一端頂持著該彈性件；該外套筒具有一腔體，該腔體壁面設置至少一內凸點，該腔體供該內軸、該彈性件及該內套筒的組合結構容置，該內軸的該端面頂持於該外套筒的底面，該內凸點卡合於該內套筒的該滑溝，以形成該內套筒與該外套筒的滑動結構，該外套筒頂持接觸於該內軸的該卡榫，從而使該內軸做一旋轉動作；各該夾持機構分別連接在所述罩體，每一該夾持機構包含一固定座、一夾臂、一抵壓件及一搖桿，該固定座安裝在所述罩體，該夾臂的一端連接該致動機構的該內軸並受其驅動，該抵壓件固接在該夾臂的另一端，該搖桿的兩端分別樞接該固定座和該夾臂，從而使各該夾臂帶動各該抵壓件夾掣固定在所述基板。

本發明還具有以下功效，其適用於連續性且大量的快速生產。藉由在基板和夾臂或罩體和夾臂設有磁性件，以提高夾持固定能力。利用各夾臂被致動機構的卡臂鎖定，在輸送的過程中可避免被不慎開啟的情況。

<本發明>

1、1a、1b、1c、1d、1e‧‧‧夾固裝置

10、10a、10b、10c、10d、10e‧‧‧致動機構

11、11a‧‧‧平板

11b‧‧‧支撐座

111b‧‧‧導槽

11c‧‧‧扳柄

11d‧‧‧作動缸

111d‧‧‧缸體

112d‧‧‧移動桿

113d‧‧‧螺旋彈簧

114d‧‧‧長槽

115d‧‧‧定向凸柱

11e‧‧‧內軸

111e‧‧‧卡榫

112e‧‧‧凸緣

12‧‧‧柱體

12a‧‧‧插桿

12b‧‧‧扳桿

12d‧‧‧卡臂

121d‧‧‧卡槽

122d‧‧‧傾斜面

12e‧‧‧彈性件

13‧‧‧連桿組件

131‧‧‧固定連桿

132‧‧‧活動連桿

13b‧‧‧連桿

13d‧‧‧彈性體

13e‧‧‧內套筒

131e‧‧‧斜面

132e‧‧‧卡槽

133e‧‧‧滑溝

134e‧‧‧死點

135e‧‧‧卡點

14b‧‧‧擺動軸

14d‧‧‧驅動構件

14e‧‧‧外套筒

141e‧‧‧內凸點141e

15b‧‧‧擺動臂

20、20a、20b、20c、20d、20e‧‧‧夾持機構

21、21a、21b、21c、21d、21e‧‧‧固定座

211a‧‧‧插槽

22、22a、22b、22c、22d、22e‧‧‧夾臂

221、221a、221d、221e‧‧‧L形桿

222、222a、222d、222e‧‧‧延伸桿

23、23a、23b、23c、23d、23e‧‧‧抵壓件

24b、24c、24d、24e‧‧‧搖桿

25、25a、25c、25e‧‧‧磁性件

9‧‧‧化學沉積設備

91‧‧‧罩體

911‧‧‧開口

912‧‧‧容腔

92‧‧‧基板

93‧‧‧化學液體

94‧‧‧緩衝件

941‧‧‧磁性件

第一圖係本發明第一實施例和沉積設備的組合外觀圖。

第二圖係本發明第一實施例和沉積設備的相對作動圖。

第三圖係本發明第一實施例的抵壓件夾固在基板的側視圖。

第四圖係本發明第一實施例的夾臂向上旋起的側視圖。

第五圖係本發明第二實施例和沉積設備的組合外觀圖。

第六圖係本發明第二實施例和沉積設備的相對作動圖。

第七圖係本發明第二實施例的抵壓件夾固在基板的側視圖。

第八圖係本發明第二實施例的夾臂向上旋起的側視圖。

第九圖係本發明第三實施例和沉積設備的組合外觀圖。

第十圖係本發明第三實施例和沉積設備的相對作動圖。

第十一圖係本發明第三實施例的抵壓件夾固在基板的側視圖。

第十二圖係本發明第三實施例的夾臂向上旋起的側視圖。

第十三A~C圖係本發明第四實施例和沉積設備的組合側視圖及作動圖。

第十四A~E圖係本發明第五實施例和沉積設備的組合側視圖及作動圖。

第十五A~E圖係本發明第六實施例和沉積設備的組合側視圖及作動圖。

有關本發明之詳細說明及技術內容，配合圖式說明如下，然而所附圖式僅提供參考與說明用，並非用來對本發明加以限制者。

請參閱第一至四圖，本實施例係提供一種用於化學沉積設備的夾固裝置，此化學沉積設備9是以連續性且大量生產產品之用途，其主要包括一罩體91、一基板92及一化學液體93，此罩體91大致呈一矩形狀，其剖斷面為一倒立的U字體，且為平頂之型態，罩體91具有一開口911及一容腔912，容腔912可供前述化學液體93注入，開口911則可供前述的基板92封合連接，此基板92可為玻 璃材質，利用化學液體93可與基板92產生化學反應，於基板92表面形成一鍍膜。

本實施例的夾固裝置1主要包括一致動機構10及複數夾持機構20。本實施例的致動機構10是配設在所述罩體91上，其主要包括一平板11、一柱體12及多數連桿組件13，此平板11是架設在罩體91的正上方位置，柱體12連接在平板11的中間位置，每一連桿組件13包含一固定連桿131及透過樞軸樞接在固定連桿131之一端的活動連桿132，各固定連桿131以間隔方式焊接結合在平板11的緣邊上。

各夾持機構20是對應各連桿組件13配設罩體91上，每一夾持機構20包含一固定座21、一夾臂22及一抵壓件23，固定座21是安裝在罩體91的側邊上，夾臂22由一L形桿221及自L形桿221端部向外傾斜的一延伸桿222所構成，在L形桿221和延伸桿222的接合位置透過樞軸樞接固定座21，延伸桿222遠離L形桿221的一端透過樞軸樞接在活動連桿132，L形桿221遠離延伸桿222的一端則供抵壓件23固接，各夾臂22是以旋轉擺動方式而令各抵壓件23夾掣固定在基板92。

此外，可將緩衝件94設置於基板92及抵壓件23之間，而緩衝件94內部設有一磁性件941，另在夾臂22之L形桿221鄰近抵壓件23的位置、或抵壓件23內部亦設有與前述磁性件941相互磁性吸附的一磁性件25，在夾臂22以抵壓件23固持基板92時，藉由各磁性件941、25的磁性吸力以提高夾持固定能力。

使用時利用器具(圖未示出)將柱體12向上拉起，平板11將跟隨柱 體12而向上移動，並使活動連桿132拉動夾臂22，各夾臂22將以其與固定座21的樞接處為旋轉中心，產生順時針方向的旋轉，以令各抵壓件23脫離對基板92的夾持，而讓基板92和化學液體93從罩體91被快速卸離下來(如第四圖所示)。反之，將柱體12向下壓掣，平板11將跟隨柱體12而向下移動，此時各夾臂22受到活動連桿132的驅動，將以夾臂22與固定座21的樞接處為旋轉中心，而使各夾臂22產生逆時針方向的旋轉，以令各抵壓件23對基板92進行迅速夾持(如第三圖所示)，再將化學液體93注入罩體91內以對基板92施以鍍膜處理。若抵壓件23受到非預期的外力向罩體外側旋轉移動，則由於此一旋轉運動將隨上述機構之動作而受到平板11阻擋，故使得罩體91及基板92不會於輸送時受到非預期的分離。

請參閱第五至八圖，為本發明第二實施例的夾固裝置，此夾固裝置1a與第一實施例的夾固裝置1的主要區別在於：其致動機構10a包括一平板11a及多數插桿12a，此平板11a是對應各插桿12a位置架設在罩體91的正上方。

每一夾持機構20a包含一固定座21a、一夾臂22a及一抵壓件23a，固定座21a是固接在罩體91的側邊上且於其中間位置形成有一插槽211a，此插槽211a係供前述的插桿12a插設連接，夾臂22a由一L形桿221a及自L形桿221a端部向內傾斜的一延伸桿222a所構成，在L形桿221a和延伸桿222a的接合位置透過樞軸樞接固定座21a，延伸桿222a遠離L形桿221a的一端係與插桿12a相互抵接，L形桿221a遠離延伸桿222a的一端則供抵壓件23a固接。

此外，可將緩衝件94設置於基板92及抵壓件23a之間，而緩衝件 94內部設有一磁性件941，另在夾臂22a之L形桿221a鄰近抵壓件23a的位置、或抵壓件23a內部亦設有與前述磁性件921相互磁性吸附的一磁性件25a，在夾臂22a以抵壓件23a固持基板92時，藉由各磁性件941、25a的磁性吸力以提高夾持固定能力。

使用時對平板11a施以向下壓掣，各插桿12a將跟隨平板11a而向下移動，此時各夾臂22a的延伸桿222a受到插桿12a的抵推，將以夾臂22a與固定座21a的樞接處為旋轉中心，而使各夾臂22a產生逆時針方向的旋轉，以令各抵壓件23a脫離對基板92的夾持，讓基板92和化學液體93從罩體91被快速卸離下來(如第八圖所示)。反之，亦可迅速夾持。若抵壓件23a受到非預期的外力向罩體91外側旋轉移動，則由於此一旋轉運動將隨上述機構之動作而受到平板11a阻擋，故使得罩體91及基板92不會於輸送時受到非預期的分離。

請參閱第九至十二圖，為本發明第三實施例的夾固裝置，此夾固裝置1b與前述各實施例的主要區別在於：其致動機構10b包括複數對驅動組件，每一驅動組件包含多數支撐座11b、一扳桿12b、多數連桿13b、一擺動軸14b及多數擺動臂15b，其中各支撐座11b間隔固定在前述的罩體91頂面，並在每一支撐座11b上開設有一導槽111b，扳桿12b穿接在各導槽111b中並可在導槽111b內作往復移動，各連桿13b的兩端分別透過樞軸樞接在扳桿12b和擺動軸14b，各擺動臂15b的一端透過樞軸樞接在擺動軸14b。

每一夾持機構20b包含一固定座21b、一夾臂22b、一抵壓件23b及一搖桿24b，固定座21b是固接在罩體91的側邊上，各擺動臂15b的另一端透過樞軸樞接在搖桿24b和夾臂22b上。夾臂22b大致呈 一L字形，其一端透過樞軸樞接在固定座21b和擺動臂15b，夾臂22b的另一端則供抵壓件23b固接。而搖桿24b兩端分別樞軸樞接在固定座21b和擺動臂15b上。

使用時將扳桿12b朝外側推出，連桿13b將驅動擺動臂15b擺動，同時帶動搖桿24b和夾臂22b作動，此時的各夾臂22b將以其與固定座21b的樞接處為旋轉中心，而使各夾臂22b產生逆時針方向的旋轉，以令各抵壓件23b脫離對基板92的夾持，讓基板92和化學液體93從罩體91被快速卸離下來(如第十二圖所示)。反之，將扳桿12b朝內側推入，連桿13b將驅動擺動臂15b擺動，同時帶動搖桿24b和夾臂22b作動，此時的各夾臂22b將以其與固定座21b的樞接處為旋轉中心，而使各夾臂22b產生順時針方向的旋轉，以令各抵壓件23b對基板92進行迅速夾持(如第十一圖所示)。若抵壓件23b受到非預期的外力向罩體外側旋轉移動，則由於此一旋轉運動將隨上述機構之動作而受到固定座21b及擺動臂15b之間的阻擋，故使得罩體91及基板92不會於輸送時受到非預期的分離。

請參閱第十三A~C圖，為本發明第四實施例的夾固裝置，此夾固裝置1c與前述各實施例的主要區別在於：其致動機構10c包括多數扳柄11c。每一夾持機構20c包含一固定座21c、一夾臂22c、一抵壓件23c及一搖桿24c，固定座21c是固接在罩體91的側邊上，各扳柄11c的兩端分別透過樞軸樞接在固定座21c和夾臂22c，搖桿24c的兩端分別透過樞軸樞接在固定座21c和夾臂22c，夾臂22c的另一端則供抵壓件23c固接。

使用時將扳柄11c以順時針方向旋起，夾臂22c受到搖桿24c的牽制作用而向上旋動，以令各抵壓件23c對基板92進行迅速夾持(如 第十三C圖所示)。反之，將扳柄11c以逆時針方向旋入時，夾臂22c受到搖桿24c的牽制作用而向下旋動，並令各抵壓件23c脫離對基板92的夾持(如第十三A圖所示)。此外，可將緩衝件94設置於基板92及抵壓件23c之間，而緩衝件94內部設有一磁性件941，另抵壓件23c內部亦設有與前述磁性件941相互磁性吸附的一磁性件25c，在夾臂22c以抵壓件23c固持基板92時，藉由各磁性件941、25c的磁性吸力以提高夾持固定能力。

請參閱第十四A~E圖，為本發明第五實施例的夾固裝置，此夾固裝置1d與前述各實施例的主要區別在於：其致動機構10d包括一作動缸11d、一卡臂12d及一彈性體13d，作動缸11d包含一缸體111d、一移動桿112d及一螺旋彈簧113d，缸體111d固定在罩體91的頂面上，移動桿112d則部分容置在缸體111d內並可延伸通過缸體111d及彈性體13d以便線性移動，彈性體13d容置在缸體111d內且其兩端彈性抵壓缸體111d和移動桿112d；移動桿112d開設有一長槽114d，缸體111d連接有穿設長槽114d的一定向凸柱115d。卡臂12d透過樞軸樞接在移動桿112d上，並在卡臂12d的兩端開設有一卡槽121d及成型有一傾斜面122d，螺旋彈簧113d被彈性夾掣在卡臂12d緊鄰傾斜面122d的一側和移動桿112d之間。此外，本實施例的致動機構10d更包括一驅動構件14d，配設在罩體91的上方用以推動移動桿112d。

每一夾持機構20d包含一固定座21d、一夾臂22d、一抵壓件23d及一搖桿24d，固定座21d是固接在罩體91的側邊上，夾臂22d由一L形桿221d及自L形桿221d端部向外傾斜的一延伸桿222d所構成，在L形桿221d和延伸桿222d的接合位置透過樞軸樞接搖桿24d的一 端，搖桿24d的另一端則透過樞軸樞接在固定座21d，延伸桿222d遠離L形桿221d的一端係與移動桿112d樞接，L形桿221d遠離延伸桿222d的一端則供抵壓件23d固接。

使用時驅動構件14d逐步伸出的過程中，將推動作動缸11d的移動桿112d朝左側移動，並令卡臂12d的前端部被定向凸柱115d向上提昇，而螺旋彈簧113d則是被卡臂12d所壓掣(如第十四C圖所示)，同時移動桿112d將推動夾臂22d以其與搖桿24d和固定座21d的樞接處為旋轉中心，而使各夾臂22d產生逆時針方向的旋轉，以使各抵壓件23d對基板92進行迅速夾持，此時卡臂12d受到螺旋彈簧113d的彈性回復力作用下，將以其卡槽121d卡掣固定在定向凸柱115d(如第十四D圖所示)，由於各夾臂22d已被致動機構10d的卡臂12d鎖定，是以在輸送的過程中可避免被不慎開啟的情況。反之，在驅動構件14d縮回的過程中，將碰觸傾斜面122d而使定向凸柱115d脫離卡臂12d的卡掣，並利用彈性體13d的彈性回復力來使移動桿112d朝右側移動，此時夾臂22d以其與搖桿24d和固定座21d的樞接處為旋轉中心，而使各夾臂22d產生順時針方向的旋轉，以令各抵壓件23d脫離對基板92的夾持，讓基板92和化學液體93從罩體91被快速卸離下來(如第十四A圖所示)。

請參閱第十五A~E圖，為本發明第六實施例的夾固裝置，此夾固裝置1e與前述各實施例的主要區別在於：其致動機構10e包括一內軸11e、一彈性件12e、一內套筒13e及一外套筒14e，內軸11e上設置有至少一卡榫111e，內軸11e的端部具有一凸緣112e。彈性件12e與內軸11e具有凸緣112e的一端連接，且彈性件12e一端頂持於內軸11e之凸緣112e，並提供變形回彈之應力，彈性件12e可 為一彈簧或彈性橡膠等可提供回彈應力之元件。

內套筒13e具有一腔體(圖中未示)、一斜面131e、一卡槽132e及一滑溝133e，內套筒13e係套置於內軸11e外部，且其一端頂持著彈性件12e，內套筒13e之滑溝133e具有一死點134e，以供內軸11e之卡榫111e卡合，且內套筒13e之斜面131e具有一卡點135e，以供內軸11e之卡榫111e卡合。

外套筒14e具有一腔體(圖中未示)，腔體壁面設置至少一內凸點141e，腔體可容置內軸11e、彈性件12e及內套筒13e的組合結構，且內軸11e之凸緣112e頂持於外套筒14e之底面，且內凸點141e卡合於內套筒13e之卡槽132e，形成內套筒13a與外套筒14e之滑動結構，外套筒14e頂持接觸於內軸11e之卡榫111e時，可使內軸11e作旋轉動作。

每一夾持機構20e包含一固定座21e、一夾臂22e、一抵壓件23e及一搖桿24e，固定座21e是固接在罩體91的側邊上，夾臂22e由一L形桿221e及自L形桿221e端部向外傾斜的一延伸桿222e所構成，在L形桿221e和延伸桿222e的接合位置透過樞軸樞接搖桿24e的一端，搖桿24e的另一端則透過樞軸樞接在固定座21e，延伸桿222e遠離L形桿221e的一端係與內軸11e樞接，L形桿221e遠離延伸桿222e的一端則供抵壓件23e固接。

此外，可將緩衝件94設置於基板92及抵壓件23e之間，而緩衝件94內部設有一磁性件941，另在夾臂22e之L形桿221e鄰近抵壓件23e的位置、或抵壓件23e內部亦設有與前述磁性件941相互磁性吸附的一磁性件25e，在夾臂22e以抵壓件23e固持基板92時，藉 由各磁性件941、25e的磁性吸力以提高夾持固定能力。

由於夾臂22e的施力端所連動的內軸11e凸出相距於外套筒14e為最短的距離，而彈性件12e未受任何應力為最長的狀態(如第十五B、D圖所示)，內軸11e之各卡榫111e係為卡合於對應內套筒13e之卡槽133e之死點134e。在外套筒14e自後端接受一應力(應力可為一般機械應力)後而向前端移動，而頂持於內軸11e之凸緣112e之彈性件12e受外套筒14e之應力而壓縮，同時內軸11e受應力向前端伸出，而卡榫111e亦自內套筒13e之卡槽133e的死點134e滑出，但由於此時內軸11e伸出長度並非是最長的狀態，故可視為是機械臂伸出的暫態。在外套筒14e受應力被推壓至底，而彈性件12e亦被壓縮至最短，內軸11e伸出的長度亦達到最長(如第十五C、E圖所示)，而內軸11e的卡榫111e完全脫離卡槽133e。在內軸11e上的卡榫111e與外套筒14e接觸時，可使內軸11e作一逆時針方向之旋轉動作，此時該卡榫111e便沿著內套筒13e之斜面131e產生滑動。在將外套筒14e後端之應力移除，彈性件12e產生回復之應力將內軸11e之卡榫111e繼續順著內套筒13e之斜面131e滑動，至斜面131e之卡點135e後形成卡合狀態，同時將內軸11e伸出狀態加以固定。

此外，若抵壓件23e受到非預期的外力向罩體91外側旋轉移動，則由於此一旋轉運動將隨上述機構之動作而受到致動機構10e的阻擋，故使得罩體91及基板92不會於輸送時受到非預期的分離。

綜上所述，本發明之用於化學沉積設備的夾固裝置，確可達到預期之使用目的，而解決習知之缺失，又因極具新穎性及進步性，完全符合發明專利申請要件，爰依專利法提出申請，敬請詳查並 賜准本案專利，以保障發明人之權利。

1‧‧‧夾固裝置

10‧‧‧致動機構

11‧‧‧平板

12‧‧‧柱體

13‧‧‧連桿組件

131‧‧‧固定連桿

132‧‧‧活動連桿

20‧‧‧夾持機構

21‧‧‧固定座

22‧‧‧夾臂

221‧‧‧L形桿

222‧‧‧延伸桿

23‧‧‧抵壓件

9‧‧‧化學沉積設備

91‧‧‧罩體

92‧‧‧基板

Claims (14)

1. 一種用於化學沉積設備的夾固裝置，所述化學沉積設備具有一罩體及一基板，該夾固裝置包括：一致動機構，配設在所述罩體上；以及複數夾持機構，分別連接在所述罩體，每一該夾持機構包含安裝在所述罩體的一固定座、樞接該固定座的一夾臂及固接在該夾臂的一抵壓件，各該夾臂的一端分別連接該致動機構並受其驅動，從而使各該夾臂以旋擺方式令各該抵壓件夾掣固定在所述基板。
2. 如請求項1所述之用於化學沉積設備的夾固裝置，其中該致動機構包括一平板及多數連桿組件，該平板是架設在所述罩體的上方位置，每一該連桿組件包含一固定連桿及樞接在該固定連桿的一活動連桿，該固定連桿的一端固定在該平板，該活動連桿遠離該固定連桿的一端樞接在該夾臂。
3. 如請求項2所述之用於化學沉積設備的夾固裝置，其中該夾臂包含一L形桿及自該L形桿端部向外傾斜的一延伸桿，該延伸桿遠離該L形桿的一端與該活動連桿樞接，該L形桿遠離該延伸桿的一端則供該抵壓件固接。
4. 如請求項1所述之用於化學沉積設備的夾固裝置，其中該致動機構包括一平板及多數插桿，該平板對應各該插桿位置架設在所述罩體的上方，而該固定座形成有供該插桿插設連接的一插槽，該夾臂包含一L形桿及自該L形桿端部向內傾斜的一延伸桿，該延伸桿遠離該L形桿的一端係與該插桿相互抵接，該L形桿遠離該延伸 桿的一端則供該抵壓件固接。
5. 如請求項1所述之用於化學沉積設備的夾固裝置，其中該致動機構包括複數對驅動組件，每一該驅動組件包含多數支撐座、一扳桿、多數連桿、一擺動軸及多數擺動臂，各該支撐座間隔固定在所述罩體，在每一該支撐座開設有一導槽，該扳桿穿接在各該導槽中並可作往復移動，各該連桿的兩端樞接在該扳桿和該擺動軸，各該擺動臂的一端樞接在該擺動軸，另一端則樞接在該夾臂，每一該夾持機構更包含一搖桿，該搖桿的兩端分別樞接該固定座和該擺動臂。
6. 一種用於化學沉積設備的夾固裝置，所述化學沉積設備具有一罩體及一基板，該夾固裝置包括：一致動機構，配設在所述罩體上；以及複數夾持機構，分別連接在所述罩體，每一該夾持機構包含一固定座、一夾臂、一抵壓件及一搖桿，該固定座安裝在所述罩體，該夾臂的一端連接該致動機構並受其驅動，該抵壓件固接在該夾臂的另一端，該搖桿的兩端分別樞接該固定座和該夾臂，從而使各該夾臂帶動各該抵壓件夾掣固定在所述基板。
7. 如請求項6所述之用於化學沉積設備的夾固裝置，其中該致動機構包括一作動缸及一彈性體，該作動缸包含一缸體及一移動桿，該缸體固定在所述罩體的頂面，該移動桿容置在該缸體內並可線性移動，該彈性體容置在該缸體內且其兩端彈性抵壓該缸體和該移動桿之間，該移動桿的一端與該夾臂樞接。
8. 如請求項7所述之用於化學沉積設備的夾固裝置，其中該移動桿開設有一長槽，該缸體連接有穿設該長槽的一定向凸柱。
9. 如請求項8所述之用於化學沉積設備的夾固裝置，其中該致動機 構更包括樞接在該移動桿的一卡臂，該卡臂的一端開設有一卡槽，該卡槽可選擇性的對該定向凸柱作卡掣固定。
10. 如請求項9所述之用於化學沉積設備的夾固裝置，其中該作動缸更包括一螺旋彈簧，該螺旋彈簧被彈性夾掣在該卡臂和該移動桿之間。
11. 如請求項6所述之用於化學沉積設備的夾固裝置，其中該致動機構包括多數扳柄，每一該扳柄的兩端分別樞接在該固定座和該夾臂。
12. 一種用於化學沉積設備的夾固裝置，所述化學沉積設備具有一罩體及一基板，該夾固裝置包括：一致動機構，配設在所述罩體上，該致動機構包括：一內軸，具有至少一卡榫，該內軸的一端具有一端面；一彈性件，與該內軸的一端連接，該彈性件的一端頂持於該內軸的該端面，並提供變形回彈的應力；一內套筒，具有一腔體、一斜面、一卡槽及一滑溝，該內套筒套置於該內軸外部，且該內套筒的一端頂持著該彈性件；以及一外套筒，具有一腔體，該腔體壁面設置至少一內凸點，該腔體供該內軸、該彈性件及該內套筒的組合結構容置，該內軸的該端面頂持於該外套筒的底面，該內凸點卡合於該內套筒的該滑溝，以形成該內套筒與該外套筒的滑動結構，該外套筒頂持接觸於該內軸的該卡榫，從而使該內軸做一旋轉動作；以及複數夾持機構，分別連接在所述罩體，每一該夾持機構包含一固定座、一夾臂、一抵壓件及一搖桿，該固定座安裝在所述罩體，該夾臂的一端連接該致動機構的該內軸並受其驅動，該抵壓件固接在該夾臂的另一端，該搖桿的兩端分別樞接該固定座和該夾臂 ，從而使各該夾臂帶動各該抵壓件夾掣固定在所述基板。
13. 如請求項12所述之用於化學沉積設備的夾固裝置，其中該內套筒的該卡槽具有一死點，以供該內軸的該卡榫卡合，且該內套筒的該斜面具有一卡點，以供該內軸的該卡榫卡合。
14. 如請求項12所述之用於化學沉積設備的夾固裝置，其中所述基板和該夾臂各設置有一磁性件，各該磁性件彼此能夠相互磁吸，以強化該夾臂固持於所述基板的應力。