CN106017815B - 用于侧向检测的泄露传感器 - Google Patents

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Abstract

一种用于侧向检测的泄露传感器，其包括：基底层，其通过将板状结构浸泡在尤其是氟基树脂溶液的树脂溶液中来形成，或者由尤其是氟基树脂的树脂的板状结构形成的；以及传感器层，通过将尤其是氟基液态树脂的液态树脂与导电材料的混合物按照预定的图案涂覆或印刷在所述基底层上来形成所述传感器层的具有预定区域的泄露检测部。所述传感器层的所述泄露检测部以所述传感器层的侧面暴露于外部的方式形成在所述传感器层的所述侧面上，并且所述基底层和所述传感器层形成一个传感器模块。因此，即使传感器没有恰好位于泄露液体下方，传感器也会与液体接触，并由此能够检测液体泄漏。

Description

用于侧向检测的泄露传感器
技术领域
本发明涉及能够通过侧向检测来检测液体泄漏的泄露传感器，且尤其涉及如下的用于侧向检测的泄露传感器，其中，即使没有恰好位于泄漏液体下方，该泄露传感器也与掉落并流到地面上的液体接触，并由此检测液体泄漏。
背景技术
通常，在半导体制造工艺中使用许多化学物质。例如，在半导体制造工艺中使用清洁溶液、感光溶液、显影溶液及刻蚀溶液，其中，在晶片的切割与抛光工艺之后的清洁操作中使用清洁溶液，在晶片的感光工艺中使用感光溶液，在晶片的显影工艺中使用显影溶液，并且在晶片的刻蚀工艺中使用刻蚀溶液。
这些化学物质经由输送管被输送到用于执行各个工艺的现场位置。由于输送管的缺陷或劣化，化学物质可能泄漏到输送管外部。由于泄露的化学物质对半导体制造现场中的其它器件或部件具有不利影响，因此有必要检测输送管中的泄露并快速采取相应措施。
在检测输送管中的泄漏物的方法中，将正性(+)电线与负性(-)电线并联设置，并将吸收剂设置于电线之间，然后测量由泄露的化学物质引起的电阻变化。使用这种方法的传感器被称作线型泄露传感器。
这里，在线型泄露传感器的泄漏物检测方法中，正性(+)电线(或电导体)及负性(-)电线(或电导体)设置在从输送管延伸并且收集从输送管泄露的化学物质的排水管处，并由此测量是否发生泄漏。韩国专利申请公开第10-2007-005234号公开了线型泄露传感器的示例。
同时，还存在有区域型泄露传感器，该区域型传感器具有比线型泄露传感器更宽的泄漏检测区域。区域型泄露传感器通过将多条(+)导线及(-)导线布置成相互交叉或将一对(+)导线及(-)导线布置成Z形图案(zigzag pattern)来形成预定的检测区域。日本专利申请公开第1989-171340号公开了这种区域型泄露传感器的示例。
这里，区域型泄露传感器与落下的泄露液体接触，并由此能够检测液体泄漏。然而，在这种检测方法中，泄露传感器应当直接布置在预期出现泄漏的部位的下方，并且当泄露液体没有下落在泄露传感器的上表面时，则出现不能检测到泄漏的问题。即，传统的区域型泄露传感器的问题在于，在泄漏传感器正好位于液体泄漏位置的情况之外的情况下，除非泄漏并流到地面上的液体的量足以到达所述泄漏传感器的上表面，否则不能检测到泄漏的发生。
发明内容
本发明的目的是提供用于侧向检测的泄露传感器，即使没有恰好位于泄露液体下方，其也能够与流到地面上的液体接触，并由此能够检测液体泄漏。
根据本发明的方面，提供一种泄露传感器，所述泄露传感器包括：基底层，其通过将板状结构浸泡在尤其是氟基树脂溶液的树脂溶液中来形成，或者由尤其是氟基树脂的树脂的板状结构形成；以及传感器层，通过将尤其是氟基液态树脂的液态树脂与导电材料的混合物按照预定的图案涂覆或印刷在所述基底层上来形成所述传感器层的具有预定区域的泄露检测部，其中，所述传感器层的所述泄露检测部以所述传感器层的侧面暴露于外部的方式形成在所述传感器层的所述侧面上，并且所述基底层和所述传感器层形成一个传感器模块。
由尤其是氟基树脂的树脂形成的保护层可连接到所述传感器层的上表面。
所述泄露传感器可包括两个以上的所述传感器模块，并且还包括多个通槽，所述通槽穿过至少一个所述传感器模块，使得所述至少一个传感器模块的所述传感器层横向地暴露于外部，并且布置在所述基底层下方的所述传感器层向上暴露于外部，以由此形成所述泄露传感器的泄露检测部；并且其中，在最底部的所述传感器模块中，未形成所述通槽。
泄露传感器可以包括两个以上的所述传感器模块，并且还包括多个通槽，所述通槽穿过所述保护层和所有的所述传感器模块，使得所述传感器模块横向地暴露于外部，以形成所述泄露传感器的泄露检测部。
具有预定区域的容纳槽可形成在最下部的所述传感器模块的下表面处，并且用于将所述基底层粘附到另一结构或底部的胶带粘附到所述容纳槽。
所述基底层和所述传感器层可被以预定温度塑性加工预定的时间以形成所述传感器模块，并且所述传感器模块连接到另一传感器模块并彼此上下布置。
可通过以所述预定温度将所述传感器模块塑性加工所述预定的时间来执行所述传感器模块之间的连接。
所述保护层的边缘可比所述传感器层更加向外地延伸。
在下面的附图及说明书中说明一个以上的实施例的细节。从说明书、图及权利要求书中，其它特征将变得明显。
附图说明
将参照下面的附图来详细说明实施例，在附图中，相同的附图标记表示相同的元件，并且其中：
图1是示意性示出根据本发明第一实施例的用于侧向检测的泄露传感器的立体图；
图2是根据本发明第一实施例的用于侧向检测的泄漏传感器的部分剖开的分解立体图；
图3是示意性示出根据本发明第二实施例的用于侧向检测的泄露传感器的立体图；
图4是示意性示出根据本发明第三实施例的用于侧向检测的泄露传感器的立体图；
图5是根据本发明第三实施例的用于侧向检测的泄漏传感器的剖开的分解立体图，并且图示出了上表面泄漏检测装置；
图6是根据本发明第三实施例的用于侧向检测的泄漏传感器的剖开的分解立体图，并且与图5的上表面泄漏检测装置不同的上表面泄漏检测装置；及
图7是示意性示出根据本发明第四实施例的用于侧向检测的泄露传感器的立体图。
具体实施方式
现在将详细参照本发明的实施方式，且在附图中示出这些实施方式的示例。
参照图1和图2，根据本发明第一实施例的用于侧向检测的泄露传感器包括具有对化学剂的耐蚀性的基底层110以及同样具有对化学剂的耐蚀性的传感器层120。
通过将板状结构浸泡在树脂溶液(特别是氟基树脂溶液)中预定的时间来形成基底层110。这里，板状结构是形成基底层110的框架的结构，且可由网孔状玻璃纤维形成。或者，基底层110可形成为由树脂(特别是氟基树脂)形成的板状结构。
传感器层120包括具有预定区域的泄露检测部，泄漏检测部是通过将氟基液态树脂与导电材料进行混合并接着根据预定的图案将它们的混合物涂覆或印刷到基底层110的上表面上而形成的。这里，在传感器层120的图案中，将正性(+)导线与负性(-)导线交替地布置成Z形状，并由此形成具有预定区域的检测区域。
在基底层110和传感器层120中使用的氟基树脂可以是具有优异的耐化学腐蚀性和耐热性的例如乙烯四氟乙烯共聚物(ETFE)、氟化乙烯丙烯共聚物(FEP)、聚四氟乙烯(PTFE)、或全氟酸(PFA)等。
这里，形成在传感器层120处的泄露检测部可以形成在传感器层120的一个表面的整个部分上。也就是说，传感器层120的泄露检测部形成在传感器层120的背对基底层110的上表面的一个表面上。此外，泄露检测部还可形成在传感器层120的侧面上。因此，根据本发明的用于侧向检测的泄露传感器既能够检测下落在传感器层120的上部上的泄漏液体，也能够检测下落在地面上并沿传感器层120的侧向地流向传感器层120的泄露液体。
基底层110和传感器层120可被以预定温度塑性加工预定的时间，并接着进行连接以形成一个传感器模块A。为了形成泄露传感器，传感器模块A连接到另一个具有彼此上下布置的基底层和传感器层的传感器模块。此时，可以以与基底层110与传感器层120之间的连接相同的方式，通过以预定温度塑性加工预定的时间来完成传感器模块之间的连接。说明书中提供的附图示出了如下泄露传感器，其中，传感器模块A传感器模块B这两者连接在一起。然而，必要时，形成泄露传感器的传感器模块的数量可以是两个以上。例如，本发明可具有两个以上的传感器模块，并且还能够根据传感器模块的所检测的信息来检测液位。
如上所述，具有多个传感器模块A和B的泄露传感器包括形成在其上表面上的泄露检测部以及形成在其侧面上的另一泄露检测部，并由此能够检测下落在上侧的泄露液体以及下落在地面上并流向泄漏传感器的泄露液体。
换言之，根据本发明，即使没有恰好位于泄漏液体下方，泄露传感器也能够与流到地面上的液体接触，并由此能够检测泄露液体。
参照图3，在根据本发明第二实施例的用于侧向检测的泄露传感器中，单独的保护层130可布置在最上部，使得其连接到传感器层120的上表面。与基底层110相似，保护层130形成为由树脂(特别是氟基树脂)形成的板状结构。保护层130经由塑性连接而连接到传感器层120的上表面，并由此可保护传感器层120。
当操作员踏上传感器层或其它物体落到传感器层上时，保护层130用于防止传感器层120被损坏。这里，当保护层130连接到泄露传感器时，根据本发明的泄露传感器不再能检测从顶部落下的泄露液体，而仅能通过暴露于其侧部上的泄露检测部来检测沿横向地流出的泄露液体。
虽未示出，但保护层130的边缘比传感器层120更加向外地延伸了预定的距离。保护层130的这种延伸是为了防止传感器层120的泄露检测部接触除泄露液体之外的导电杂质，例如，工作现场产生的金属粉末等，并由此避免泄露传感器的故障。
参照图4和图5，根据本发明第三实施例的用于侧向检测的泄露传感器包括两个以上的传感器模块A和B。保护层130连接到最上部的传感器层120的上表面。设置有侧面泄漏检测装置以及上表面泄漏检测装置。这里，将上部传感器模块A称作第一传感器模块，并且将下部传感器模块B称为第二传感器模块。
如同第一、及第二实施例中所说明，由具有暴露于外部的侧面的传感器层120形成侧面泄漏检测装置。同时，上表面泄漏检测装置由多个通槽131形成，通槽131形成为从保护层130直到传感器层120的泄露检测部的上部。然而，在本实施例中，在第二传感器模块(即，最底部的传感器模块)中不形成通槽。
特别地，通槽131形成为从保护层130的上表面依次穿过保护层130、传感器层120以及基底层110。即，通槽131穿过保护层130和第一传感器模块A。多个通槽131布置在整个泄露传感器上且它们彼此隔开预定的间隔。
由于通槽131的原因，第二传感器模块B的传感器层120的泄露检测部的上表面向上暴露，并且第一传感器模块A的传感器层120的泄露检测部形成在第一传感器模块A的通槽131的暴露于外部的周面上。
相应地，即使根据本发明第三实施例的用于侧向检测的泄漏传感器具有保护层130，传感器层120的泄露检测部也能够与被引入到通槽131中的液体接触，并由此能够检测液体。此外，与第一、第二实施例相似，由于根据本发明第三实施例的用于侧向检测的泄漏传感器可与沿横向地流动的液体接触，因此泄露传感器能够通过形成在泄露传感器的侧面上并暴露于外部的传感器层120的泄露检测部来检测泄漏。
参照图6，根据本发明第三实施例的用于侧向检测的泄漏传感器可具有与图5所示的上表面检测装置不同的另一种上表面检测装置。
特别地，图6所示的上表面检测装置由垂直穿过泄露传感器的多个通孔131'形成。如同上述的通槽131，多个通孔131'布置在整个泄露传感器上并且它们彼此分隔开预定的间隔。
特别地，通孔131'形成为从最上部的保护层130开始依次穿过上部传感器层120、上部基底层110、下部传感器层120以及下部基底层110。即，通孔131'穿过保护层130、第一传感器模块A和第二传感器模块B。
由于通孔131'的原因，第一传感器模块A的上部传感器层120的泄露检测部以及第二传感器模块B的下部传感器层120的泄露检测部形成在传感器层的侧面上并暴露于外部。
因此，即使根据本发明第三实施例的用于侧向检测的泄漏传感器具有保护层130，传感器层120的泄露检测部也能够与被引入到通孔131'中的液体接触，并由此能够检测液体。此外，被引入到通孔131'中的液体可经由位于最底部的基底层110排放到泄露传感器的外部。
参照图7，根据本发明第四实施例的用于侧向检测的泄漏传感器可经由胶带140与另一结构或工作现场的底部结合。为此，具有预定区域的容纳槽111形成在位于最下侧处的基底层110的下表面处。并且，胶带140贴附到容纳槽111。
如上所述，由于胶带140贴附到基底层110的容纳槽111，因此泄露传感器被粘附到另一结构或工作现场的底部，并由此胶带140与基底层110大致布置在同一平面上，因此，在最底部的基底层110与不同于最底部的基底层110的另一结构或工作现场的底部的粘附面之间几乎不产生间隙。
因此，流向泄露传感器的泄露液体不会穿过泄露传感器的底部，并且与传感器层120的泄露检测部接触，并由此能够保证泄露液体的检测性能。
根据本发明，即使泄露传感器没有恰好位于泄漏液体的下方，其也能够与流到地面上的液体接触，并由此能够检测液体泄漏物。
此外，根据本发明，能够检测下落到泄露传感器的上表面的泄露液体以及从顶部落下并流到地面上的泄露液体均，并且此外还能够检测泄露液体的液位。
虽然已经参考大量说明性实施例描述了实施例，但是应理解，本领域技术人员可设计很多其它修改和实施例，这些也将落入本发明原理的精神和范围内。更具体地，在公开、附图和所附的权利要求的范围内，在本发明的组合排列的构件和/或结构中可能具有各种变化和改变。除构件和/或结构的变化和改变之外，对本领域技术人员而言，可替代的用途也会是显而易见的。
本申请要求于2015年3月26日在韩国递交的韩国专利申请第10-2015-0042563号的优先权，其全部内容通过引用的方式合并于此。

Claims (12)

1.一种用于侧向检测的泄露传感器，其包括：
基底层，其通过将板状结构浸泡在树脂溶液中来形成，或者由树脂的板状结构形成；以及
传感器层，通过按照预定的图案将液态树脂与导电材料的混合物涂覆或印刷在所述基底层上来形成所述传感器层的具有预定区域的泄露检测部，
其中，所述传感器层的所述泄露检测部以所述传感器层的侧面暴露于外部的方式形成在所述传感器层的所述侧面上，并且所述基底层和所述传感器层形成一个传感器模块。
2.根据权利要求1所述的用于侧向检测的泄露传感器，其中，所述树脂溶液是氟基树脂溶液。
3.根据权利要求1所述的用于侧向检测的泄露传感器，其中，所述树脂是氟基树脂。
4.根据权利要求1所述的用于侧向检测的泄露传感器，其中，所述液态树脂是氟基液态树脂。
5.根据权利要求1所述的用于侧向检测的泄露传感器，其中，由树脂形成的保护层连接到所述传感器层的上表面。
6.根据权利要求5所述的用于侧向检测的泄露传感器，其中，用于形成所述保护层的所述树脂是氟基树脂。
7.根据权利要求5所述的用于侧向检测的泄露传感器，其包括两个以上的所述传感器模块，并且还包括多个通槽，所述通槽穿过至少一个所述传感器模块，使得所述至少一个传感器模块的所述传感器层横向地暴露于外部，并且布置在所述至少一个传感器模块的所述基底层下方的所述传感器层向上暴露于外部，以由此形成所述泄露传感器的泄露检测部；并且其中，在最底部的所述传感器模块中，未形成所述通槽。
8.根据权利要求5所述的用于侧向检测的泄露传感器，其包括两个以上的所述传感器模块，并且还包括多个通槽，所述通槽穿过所述保护层和所有的所述传感器模块，使得所述传感器模块横向地暴露于外部，以形成所述泄露传感器的泄露检测部。
9.根据权利要求1或5所述的用于侧向检测的泄露传感器，其中，具有预定区域的容纳槽形成在最下部的所述传感器模块的下表面处，并且用于将所述基底层粘附到另一结构或底部的胶带粘附到所述容纳槽。
10.根据权利要求1所述的用于侧向检测的泄露传感器，其中，所述基底层和所述传感器层被以预定温度塑性加工预定的时间以形成所述传感器模块，并且所述传感器模块连接到另一传感器模块并彼此上下布置。
11.根据权利要求10所述的用于侧向检测的泄露传感器，其中，通过以所述预定温度将所述传感器模块塑性加工所述预定的时间来执行所述传感器模块之间的连接。
12.根据权利要求5所述的用于侧向检测的泄露传感器，其中，所述保护层的边缘比所述传感器层更加向外地延伸。
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