DE102015105951B4 - Schutzringstruktur mit finnenstrukturen, schaltungseinrichtung und verfahren zur herstellung derselben - Google Patents

Schutzringstruktur mit finnenstrukturen, schaltungseinrichtung und verfahren zur herstellung derselben Download PDF

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Abstract

Schaltungseinrichtung mit:einer Kernschaltung (110);einem ersten Satz von Schutzringen (120; 220), der einen ersten Dotierstofftyp aufweist, wobei der erste Satz von Schutzringen um einen Randbereich der Kernschaltung (110) herum liegt, wobei der erste Satz von Schutzringen einen ersten Schutzring (122; 222) und einen zweiten Schutzring (124; 224) umfasst; undeinem zweiten Satz von Schutzringen (130; 230), der einen zweiten Dotierstofftyp aufweist, wobei der zweite Dotierstofftyp entgegengesetzt zum ersten Dotierstofftyp ist, wobei mindestens ein Schutzring des zweiten Satzes von Schutzringen (130; 230) um einen Randbereich von mindestens einem Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen (120; 220) herum liegt und der zweite Satz von Schutzringen (130; 230) einen dritten Schutzring (132; 232) und einen vierten Schutzring (134; 234) umfasst; und mit einer Mehrzahl von Finnenstrukturen im ersten Schutzring (122; 222) und/oder im zweiten Schutzring (124; 224).

Description

  • ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
  • Schutzringe werden in Isolationsbereichen zwischen Bauelementen in integrierten Schaltungen verwendet. Schutzringe umgeben einen Umfang von Schaltungseinrichtungen, um die Störbeeinflussung zwischen benachbarten Bauelementen zu verringern. Bei einigen Vorgehensweisen umfassen Schutzringe, die Fin-Feldeffekttransistor(FinFET)-Schaltungseinrichtungen zugeordnet sind, auch Finnen- oder Gratstrukturen.
  • Schutzringe tragen auch dazu bei, die Energie in einer Schaltungseinrichtung während eines elektrostatischen Entladungsvorgangs (ESD-Vorgang) abzuführen. Ein ESD-Vorgang tritt auf, wenn es zu einem großen Elektrizitätsfluss von einem Element zu einem anderen kommt. Schutzringe werden verwendet, um beizutragen, den großen Elektrizitätsfluss zu kanalisieren, um das Risiko einer Zerstörung der Schaltungseinrichtung zu verringern. Schutzringe wirken sich auf eine Haltespannung innerhalb einer Schaltungseinrichtung aus. Die Haltespannung steht in einer Beziehung zur Fähigkeit der Schutzringe, die Energie während eines ESD-Vorgangs abzuführen. Bei einigen Vorgehensweisen wird ein Raum zwischen benachbarten Schutzringen vergrößert, um eine Haltespannung der Schaltungseinrichtung zu erhöhen.
  • US 2013/0 032 882 A1 beschreibt eine Schutzschaltung mit mehreren unterschiedlich dotierten Schutzringen um ein Anschlusspad herum, wobei die Schutzschaltung zwischen dem Anschlusspad und einem zweiten Anschlusspad angeschlossen wird, um einen bidirektionalen Sperrspannungs-Schutz vorzusehen. DE 10 2013 104 130 A1 beschreibt grundsätzlich Schutzringe über Finnen-Strukturen.
  • Die Erfindung ist in den Ansprüchen umrissen.
  • Figurenliste
  • Ausbildungen der vorliegenden Offenbarung sind am besten anhand der nachfolgenden ausführlichen Beschreibung zu verstehen, wenn sie mit den beigefügten Figuren gelesen wird. Es wird angemerkt, dass im Einklang mit der üblichen Vorgehensweise in der Industrie die verschiedenen Merkmale nicht maßstabsgetreu gezeichnet sind. Tatsächlich können die Abmessungen der verschiedenen Merkmale aus Gründen der Verständlichkeit der Darlegung beliebig vergrößert oder verkleinert sein.
    • 1 ist eine Draufsicht einer Schaltungseinrichtung mit Schutzringen gemäß einigen Ausführungsformen.
    • 2A ist eine Draufsicht in einer ersten Richtung von einem Teil der Schutzringe gemäß einigen Ausführungsformen.
    • 2B ist eine Draufsicht in einer zweiten Richtung von einem Teil der Schutzringe gemäß einigen Ausführungsformen.
    • Die 3A-3F sind Draufsichten einer Auswahl von Schutzringentwürfen gemäß einigen Ausführungsformen.
    • 4 ist ein Flussdiagramm eines Verfahrens zur Herstellung von Schutzringen gemäß einigen Ausführungsformen.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
  • In der folgenden Offenbarung werden viele unterschiedliche Ausführungsformen oder Beispiele bereitgestellt, um die unterschiedlichen Merkmale des vorgestellten Sachgegenstandes zu realisieren. Nachfolgend werden spezielle Beispiele von Komponenten und Anordnungen beschrieben, um die vorliegende Offenbarung zu vereinfachen. Diese sind natürlich nur Beispiele und nicht zur Einschränkung vorgesehen. Zum Beispiel kann die Ausbildung eines ersten Merkmals über oder auf einem zweiten Merkmal in der nachfolgenden Beschreibung Ausführungsformen umfassen, in denen das erste und zweite Merkmal in einem direkten Kontakt ausgebildet sind, und sie kann auch Ausführungsformen umfassen, in denen zwischen dem ersten und zweiten Merkmal zusätzliche Merkmale derart ausgebildet sein können, dass das erste und zweite Merkmal nicht in einem direkten Kontakt sein können. Außerdem können in der vorliegenden Offenbarung Bezugsziffern und/oder Buchstaben in den verschiedenartigen Beispielen wiederholt werden. Diese Wiederholung dient dem Zweck der Einfachheit und Klarheit und gibt von sich aus keine Beziehung zwischen den erörterten verschiedenartigen Ausführungsformen und/oder Konfigurationen vor.
  • Ferner können hier räumliche Relationsbegriffe, wie z.B. „darunter“, „unten“, „unterer“, „darüber“, „oberer“ und dergleichen, der Einfachheit der Beschreibung halber verwendet werden, um die Beziehung eines Elements oder Merkmals zu einem anderen Element oder Merkmal (anderen Elementen oder Merkmalen) zu beschreiben, wie in den Figuren dargestellt ist. Die räumlichen Relationsbegriffe sind dazu gedacht, verschiedene Ausrichtungen des Bauelements im Einsatz oder beim Betrieb zusätzlich zu der Ausrichtung zu umfassen, die in den Figuren dargestellt ist. Die Vorrichtung kann auf eine andere Weise ausgerichtet (90 Grad oder in andere Ausrichtungen gedreht) werden, und die hier verwendeten räumlichen Kennzeichnungen können ebenfalls entsprechend interpretiert werden.
  • 1 ist eine Draufsicht einer Schaltungseinrichtung 100 mit Schutzringen gemäß einigen Ausführungsformen. Die Schaltungseinrichtung 100 weist eine Kernschaltung 110 auf. Die Schaltungseinrichtung 100 weist ferner einen ersten Satz von Schutzringen 120 auf, die einen Randbereich der Kernschaltung 110 umschließen. Die Schaltungseinrichtung 100 weist ferner einen zweiten Satz von Schutzringen 130 auf, die einen Randbereich des ersten Satzes von Schutzringen 120 umschließen. Der erste Satz von Schutzringen 120 weist einen zum zweiten Satz von Schutzringen 130 entgegengesetzten Dotierstofftyp auf. Eine Außenfläche des ersten Satzes von Schutzringen 120 ist in Kontakt mit einer Innenfläche des zweiten Satzes von Schutzringen 130.
  • Die Kernschaltung 110 weist aktive Bauelemente zum Ausführen einer gewünschten Funktion oder Aufgabe auf. In einigen Ausführungsformen weisen die aktiven Bauelemente in der Kernschaltung 110 eine kleinere Gate-Länge als die aktiven Bauelemente in den Eingabe/Ausgabe(E/A)-Teilen einer Schaltung auf. In einigen Ausführungsformen weisen die aktiven Bauelemente in der Kernschaltung 110 eine niedrigere Betriebsspannung als die aktiven Bauelemente in den E/A-Teilen der Schaltung auf. In einigen Ausführungsformen umfassen die aktiven Bauelemente Feldeffekttransistoren (FETs), Finnen-FETs (FinFETs), Bipolartransistoren (BJTs) oder andere Typen von aktiven Bauelementen. In einigen Ausführungsformen umfasst die Kernschaltung 110 auch passive Bauelemente, wie z.B. Widerstände, Kondensatoren, Transistoren oder andere Typen von passiven Bauelementen. In einigen Ausführungsformen umfasst die Kernschaltung 110 mehrere dotierte Bereiche in einem Substrat, z.B. Source- und Drain-Bereiche.
  • Der erste Satz von Schutzringen 120 umfasst einen ersten Schutzring 122 um einen Randbereich der Kernschaltung 110 herum. Jeder Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen 120 umfasst einen dotierten Bereich im Substrat, der die Kernschaltung 110 enthält. In einigen Ausführungsformen weist mindestens ein Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen 120 Kontaktmerkmale, wie z.B. Finnenstrukturen, auf, um einen Energieabführungspfad bereitzustellen. In einigen Ausführungsformen ist der erste Schutzring 122 in einem direkten Kontakt mit einem nächstgelegenen dotierten Bereich der Kernschaltung 110. In einigen Ausführungsformen weist der erste Schutzring 122 einen Dotierungstyp auf, der zu einem Dotierungstyp des nächstgelegenen dotierten Bereichs der Kernschaltung 110 entgegengesetzt ist. In einigen Ausführungsformen ist der erste Schutzring 122 von dem nächstgelegenen dotierten Bereich der Kernschaltung 110 getrennt.
  • Der erste Satz von Schutzringen 120 umfasst ferner einen zweiten Schutzring 124. Der zweite Schutzring 124 weist einen gleichen Dotierstofftyp wie der erste Schutzring 122 auf. Der zweite Schutzring 124 ist in einem direkten Kontakt mit dem ersten Schutzring 122. In einigen Ausführungsformen passt eine Form des zweiten Schutzrings 124 zu einer Form des ersten Schutzrings 122. In einigen Ausführungsformen ist eine Dotierstoffkonzentration des zweiten Schutzrings 124 gleich einer Dotierstoffkonzentration des ersten Schutzrings 122. In einigen Ausführungsformen unterscheidet sich die Dotierstoffkonzentration des zweiten Schutzrings 124 von der Dotierstoffkonzentration des ersten Schutzrings 122. In einigen Ausführungsformen ist eine Breite des zweiten Schutzrings 124 gleich einer Breite des ersten Schutzrings 122. In einigen Ausführungsformen unterscheidet sich die Breite des zweiten Schutzrings 124 von der Breite des ersten Schutzrings 122.
  • 1 weist zwei Schutzringe, d.h. den ersten Schutzring 122 und den zweiten Schutzring 124, in einem ersten Satz von Schutzringen 120 auf. In einigen Ausführungsformen umfasst der erste Satz von Schutzringen 120 mehr als zwei Schutzringe. In einigen Ausführungsformen weist mindestens einer von den zusätzlichen Schutzringen die gleiche Breite wie mindestens einer von dem ersten Schutzring 122 oder dem zweiten Schutzring 124 auf. In einigen Ausführungsformen weist mindestens einer von den zusätzlichen Schutzringen eine andere Breite als mindestens einer von dem ersten Schutzring 122 oder dem zweiten Schutzring 124 auf. In einigen Ausführungsformen weist mindestens einer von den zusätzlichen Schutzringen eine andere Dotierstoffkonzentration als mindestens einer von dem ersten Schutzring 122 oder dem zweiten Schutzring 124 auf. In einigen Ausführungsformen weist mindestens einer von den zusätzlichen Schutzringen die gleiche Dotierstoffkonzentration wie mindestens einer von dem ersten Schutzring 122 oder dem zweiten Schutzring 124 auf.
  • Der zweite Satz von Schutzringen 130 umfasst einen dritten Schutzring 132, der an den ersten Satz von Schutzringen 120 angrenzt. Der dritte Schutzring 132 ist in einem direkten Kontakt mit einem nächstgelegenen Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen 120. Der zweite Satz von Schutzringen 130 weist einen zum ersten Satz von Schutzringen 120 entgegengesetzten Dotierstofftyp auf.
  • Der zweite Satz von Schutzringen 130 umfasst ferner einen vierten Schutzring 134. Der vierte Schutzring 134 weist einen gleichen Dotierstofftyp wie der dritte Schutzring 132 auf. Der vierte Schutzring 134 ist in einem direkten Kontakt mit dem dritten Schutzring 132. In einigen Ausführungsformen passt eine Form des vierten Schutzrings 134 zu einer Form des dritten Schutzrings 132. In einigen Ausführungsformen ist eine Dotierstoffkonzentration des vierten Schutzrings 134 gleich einer Dotierstoffkonzentration des dritten Schutzrings 132. In einigen Ausführungsformen unterscheidet sich die Dotierstoffkonzentration des vierten Schutzrings 134 von der Dotierstoffkonzentration des dritten Schutzrings 132. In einigen Ausführungsformen ist eine Breite des vierten Schutzrings 134 gleich einer Breite des dritten Schutzrings 132. In einigen Ausführungsformen unterscheidet sich die Breite des vierten Schutzrings 134 von der Breite des dritten Schutzrings 132.
  • 1 weist zwei Schutzringe, d.h. den dritten Schutzring 132 und den vierten Schutzring 134, in einem zweiten Satz von Schutzringen 130 auf. In einigen Ausführungsformen umfasst der zweite Satz von Schutzringen 130 mehr als zwei Schutzringe. In einigen Ausführungsformen weist mindestens einer von den zusätzlichen Schutzringen die gleiche Breite wie mindestens einer von dem dritten Schutzring 132 oder dem vierten Schutzring 134 auf. In einigen Ausführungsformen weist mindestens einer von den zusätzlichen Schutzringen eine andere Breite als mindestens einer von dem dritten Schutzring 132 oder dem vierten Schutzring 134 auf. In einigen Ausführungsformen weist mindestens einer von den zusätzlichen Schutzringen eine andere Dotierstoffkonzentration als mindestens einer von dem dritten Schutzring 132 oder dem vierten Schutzring 134 auf. In einigen Ausführungsformen weist mindestens einer von den zusätzlichen Schutzringen die gleiche Dotierstoffkonzentration wie mindestens einer von dem dritten Schutzring 132 oder dem vierten Schutzring 134 auf.
  • 1 weist einen zweiten Satz von Schutzringen 130 um einen Randbereich des ersten Satzes von Schutzringen 120 herum auf. In einigen Ausführungsformen sind der erste Satz von Schutzringen 120 und der zweite Satz von Schutzringen 130 in einer alternierenden Weise angeordnet. Zum Beispiel liegt der erste Schutzring 122 am nächsten zu der Kernschaltung 110; der dritte Schutzring 132 liegt um einen Randbereich des ersten Schutzrings herum, der zweite Schutzring 124 liegt um einen Randbereich des dritten Schutzrings herum und der vierte Schutzring 134 liegt um einen Randbereich des zweiten Schutzrings herum.
  • In einigen Ausführungsformen weist der erste Satz von Schutzringen 120 einen p-Typ-Dotierstoff auf, und der zweite Satz von Schutzringen 130 weist einen n-Typ Dotierstoff auf. In einigen Ausführungsformen weist der erste Satz von Schutzringen 120 einen n-Typ-Dotierstoff auf, und der zweite Satz von Schutzringen 130 weist einen p-Typ-Dotierstoff. In einigen Ausführungsformen ist der p-Typ-Dotierstoff ausgewählt aus Bor, BF2 oder anderen geeigneten p-Typ-Dotierstoffen. In einigen Ausführungsformen ist der n-Typ-Dotierstoff ausgewählt aus Phosphor, Arsen oder anderen geeigneten n-Typ-Dotierstoffen.
  • In einigen Ausführungsformen umfasst die Kernschaltung 110 aktive FinFET-Bauelemente. In einigen Ausführungsformen weist mindestens einer aus dem ersten Satz von Schutzringen 120 oder dem zweiten Satz von Schutzringen 130 Finnenstrukturen auf.
  • Im Vergleich mit anderen Ansätzen, die Abstände zwischen benachbarten Schutzringen aufweisen, ermöglicht die Schaltungseinrichtung 100 eine Verringerung einer Fläche des Chips, da der erste Satz von Schutzringen 120 in Kontakt mit dem zweiten Satz von Schutzringen 130 ist. Die Dotierstofftypen des ersten Satzes von Schutzringen 120, die zum zweiten Satz von Schutzringen 130 entgegengesetzt sind, tragen auch dazu bei, eine Haltespannung der Schaltungseinrichtung 100 zu erhöhen, was dazu beiträgt, das Risiko einer Beschädigung der Schaltungseinrichtung während eines elektrostatischen Entladungsvorgangs (ESD) zu verringern. Die entgegengesetzten Dotierstofftypen tragen auch dazu bei, eine verstärkte Isolation zwischen benachbarten Schaltungseinrichtungen, z.B. den Schaltungseinrichtungen 100, zu schaffen, um zu einer Verringerung einer Störbeeinflussung zwischen benachbarten Schaltungseinrichtungen beizutragen.
  • 2A ist eine Draufsicht in einer ersten Richtung von einem Teil der Schutzringe gemäß einigen Ausführungsformen. Ein erster Satz von Schutzringen 220 ist ähnlich zum ersten Satz von Schutzringen 120 (1). Ein zweiter Satz von Schutzringen 230 ist ähnlich zum zweiten Satz von Schutzringen 130. Der erste Satz von Schutzringen 220 umfasst einen ersten Schutzring 222, der ähnlich zum ersten Schutzring 122 ist. Der erste Satz von Schutzringen 220 umfasst auch einen zweiten Schutzring 224, der ähnlich zum zweiten Schutzring 124 ist. Der erste Satz von Schutzringen 220 umfasst auch eine Anzahl von Finnenstrukturen 250 im ersten Schutzring 222 und im zweiten Schutzring 224. Der zweite Satz von Schutzringen 230 umfasst einen dritten Schutzring 232, der ähnlich zum dritten Schutzring 132 ist. Der zweite Satz von Schutzringen 230 umfasst ferner einen vierten Schutzring 234, der ähnlich zum vierten Schutzring 134 ist. Der zweite Satz von Schutzringen 230 umfasst auch eine Anzahl von Finnenstrukturen 260 im dritten Schutzring 232 und im vierten Schutzring 234.
  • Die Finnenstrukturen 250 im ersten Schutzring 222 sind in einer Richtung parallel zu einer oberen Fläche eines Substrats einer Schaltungseinrichtung, z.B. der Schaltungseinrichtung 100 (1), durch einen Abstand S räumlich voneinander getrennt. Der Abstand S zwischen benachbarten Finnenstrukturen 250 ist auf der Grundlage von Verarbeitungsrichtlinien für das Ausbilden des ersten Schutzrings 222 festgelegt. Die Verarbeitungsrichtlinien umfassen Entwurfsrichtlinien, die während eines Herstellungsprozesses herangezogen werden, um eine ausreichende Elementgröße und einen ausreichenden Abstand zu schaffen, um beizutragen, dass eine richtige Funktionsweise einer Schaltungseinrichtung sichergestellt wird. In einigen Ausführungsformen weist jede Finnenstruktur 250 mindestens einen Kontakt auf. In einigen Ausführungsformen sind die Kontakte aus jeder Finnenstruktur 250 im ersten Schutzring 222 miteinander über eine Anschlussleitung verbunden. In einigen Ausführungsformen ist die Anschlussleitung an eine Bezugsspannung, z.B. eine Erdspannung, angeschlossen. In einigen Ausführungsformen ist mindestens ein Kontakt aus einer Finnenstruktur 250 im ersten Schutzring 222 von einem Kontakt einer weiteren Finnenstruktur 250 im ersten Schutzring getrennt.
  • Die Finnenstrukturen 250 im zweiten Schutzring 224 sind ähnlich zu den Finnenstrukturen 250 im ersten Schutzring 222. Die Finnenstrukturen 250 im zweiten Schutzring 224 sind gegenüber den Finnenstrukturen 250 im ersten Schutzring 222 versetzt. Die Versetzungsanordnung bedeutet, dass sich ein Teil einer Finnenstruktur 250 im zweiten Schutzring 224 mit einer Finnenstruktur 250 im ersten Schutzring 222 in einer Richtung senkrecht zu einem Abstand zwischen benachbarten Finnenstrukturen im ersten Schutzring überlappt. In einigen Ausführungsformen liegt der Teil der Finnenstruktur 250 im zweiten Schutzring 224, der sich mit der Finnenstruktur im ersten Schutzring 222 überlappt, in einem Bereich von circa 30 % bis zu circa 70 %. In einigen Ausführungsformen liegt der Teil der Finnenstruktur 250 im zweiten Schutzring 224, der sich mit der Finnenstruktur im ersten Schutzring 222 überlappt, in einem Bereich von circa 45 % bis zu circa 55 %. Ist der Überlappungsbereich zu klein, dann wird die Ausbildung von Finnenstrukturen 250 in benachbarten Schutzringen erschwert. Ist der Überlappungsbereich zu groß, dann ist eine Fähigkeit des ersten Satzes von Schutzringen 220, die Energie während eines elektrostatischen Entladungsvorgangs (ESD-Vorgangs) abzuführen, als Folge einer geringeren Dichte von Kontakten im ersten Satz von Schutzringen vermindert.
  • In einigen Ausführungsformen ist ein Kontakt mindestens einer Finnenstruktur 250 im zweiten Schutzring 224 elektrisch verbunden mit einem Kontakt mindestens einer Finnenstruktur im ersten Schutzring 222. In einigen Ausführungsformen sind die Kontakte aller Finnenstrukturen 250 im zweiten Schutzring 224 von den Kontakten aller Finnenstrukturen im ersten Schutzring 222 getrennt.
  • Die Finnenstrukturen 260 im dritten Schutzring 232 weisen in einer Richtung parallel zu der oberen Fläche eines Substrats der Schaltungseinrichtung, z.B. der Schaltungseinrichtung 100 (1), einen Abstand voneinander auf. Ein Abstand zwischen benachbarten Finnenstrukturen 260 ist auf der Grundlage von Verarbeitungsrichtlinien für das Ausbilden des dritten Schutzrings 232 festgelegt. In einigen Ausführungsformen ist der Abstand zwischen den benachbarten Finnenstrukturen 260 gleich dem Abstand zwischen den benachbarten Finnenstrukturen 250. In einigen Ausführungsformen unterscheidet sich der Abstand zwischen den benachbarten Finnenstrukturen 260 von dem Abstand zwischen den benachbarten Finnenstrukturen 250. Jede Finnenstruktur 260 weist mindestens einen Kontakt auf. In einigen Ausführungsformen sind die Kontakte aus jeder Finnenstruktur 260 im dritten Schutzring 232 miteinander über eine Anschlussleitung verbunden. In einigen Ausführungsformen ist die Anschlussleitung an eine Bezugsspannung, z.B. eine Erdspannung, angeschlossen. In einigen Ausführungsformen ist mindestens ein Kontakt aus einer Finnenstruktur 260 im dritten Schutzring 232 von einem Kontakt einer weiteren Finnenstruktur 260 im dritten Schutzring getrennt.
  • Die Finnenstrukturen 260 im vierten Schutzring 234 sind ähnlich zu den Finnenstrukturen 260 im dritten Schutzring 232. Die Finnenstrukturen 260 im vierten Schutzring 234 sind gegenüber den Finnenstrukturen 260 im dritten Schutzring 232 versetzt. In einigen Ausführungsformen liegt ein Teil der Finnenstruktur 260 im vierten Schutzring 234, der sich mit der Finnenstruktur im dritten Schutzring 232 überlappt, in einem Bereich von circa 30 % bis zu circa 70 %. In einigen Ausführungsformen liegt der Teil der Finnenstruktur 260 im vierten Schutzring 234, der sich mit der Finnenstruktur im dritten Schutzring 232 überlappt, in einem Bereich von circa 50 %. In einigen Ausführungsformen ist der Teil der Finnenstruktur 260 im vierten Schutzring 234, der sich mit der Finnenstruktur im dritten Schutzring 232 überlappt, gleich dem Teil der Finnenstruktur 250 im zweiten Schutzring 224, der sich mit der Finnenstruktur im ersten Schutzring 222 überlappt. In einigen Ausführungsformen unterscheidet sich der Teil der Finnenstruktur 260 im vierten Schutzring 234, der sich mit der Finnenstruktur im dritten Schutzring 232 überlappt, von dem Teil der Finnenstruktur 250 im zweiten Schutzring 224, der sich mit der Finnenstruktur im ersten Schutzring 222 überlappt. Ist der Überlappungsbereich zu klein, dann wird die Ausbildung von Finnenstrukturen 260 in angrenzenden Schutzringen erschwert. Ist der Überlappungsbereich zu groß, dann ist eine Fähigkeit des zweiten Satzes von Schutzringen 230, die Energie während eines ESD-Vorgangs abzuführen, als Folge einer geringeren Dichte von Kontakten im zweiten Satz von Schutzringen vermindert.
  • In einigen Ausführungsformen ist mindestens eine Finnenstruktur 260 im dritten Schutzring 232 auf mindestens eine Finnenstruktur 250 im zweiten Schutzring 224 ausgerichtet. Ausgerichtet bedeutet, dass eine erste Fläche, die senkrecht zur Richtung der mindestens einen Finnenstruktur 260 ist, in einer Linie mit einer ersten Fläche der mindestens einen Finnenstruktur 250 liegt und dass eine zweite Fläche der mindestens einen Finnenstruktur 260, die der ersten Fläche gegenüber liegt, in einer Linie mit einer zweiten Fläche der mindestens einen Finnenstruktur 250 liegt, die der ersten Fläche gegenüber liegt. In einigen Ausführungsformen sind alle Finnenstrukturen 260 im dritten Schutzring 232 gegenüber allen Finnenstrukturen 250 im zweiten Schutzring 224 versetzt.
  • In einigen Ausführungsformen ist ein Kontakt mindestens einer Finnenstruktur 260 im vierten Schutzring 234 elektrisch verbunden mit einem Kontakt mindestens einer Finnenstruktur im dritten Schutzring 232. In einigen Ausführungsformen sind die Kontakte aller Finnenstrukturen 260 im vierten Schutzring 234 von den Kontakten aller Finnenstrukturen im dritten Schutzring 232 getrennt.
  • 2B ist eine Draufsicht in einer zweiten Richtung von einem Teil der Schutzringe gemäß einigen Ausführungsformen. 2B weist ähnliche Elemente wie die 2A auf, und die ähnlichen Elemente haben die gleichen Bezugsziffern. Die zweite Richtung von 2B ist senkrecht zu der ersten Richtung von 2A. Im Vergleich mit den Finnenstrukturen 250 in der ersten Richtung (2A) ist ein Abstand zwischen benachbarten Finnenstrukturen 250 des ersten Satzes von Schutzringen 220 in der zweiten Richtung kleiner (2B). In einigen Ausführungsformen sind benachbarte Finnenstrukturen 250 im ersten Satz von Schutzringen 220 in der zweiten Richtung in einem Kontakt. Desgleichen weisen die Finnenstrukturen 260 in der zweiten Richtung einen kleineren trennenden Abstand im Vergleich mit den Finnenstrukturen 260 in der ersten Richtung auf. In einigen Ausführungsformen sind die benachbarten Finnenstrukturen 260 in der zweiten Richtung in einem Kontakt miteinander.
  • Benachbarte Finnenstrukturen 250 und benachbarte Finnenstrukturen 260 sind wegen der verringerten Verarbeitungsabweichungen in der zweiten Richtung im Vergleich zur ersten Richtung geeignet, enger aneinander ausgebildet zu werden. In einigen Ausführungsformen ist mindestens eine Finnenstruktur 250 im ersten Schutzring 222, die sich in der zweiten Richtung erstreckt, ausgerichtet auf mindestens eine Finnenstruktur 250 im zweiten Schutzring 224, die sich in der zweiten Richtung erstreckt. In einigen Ausführungsformen sind alle Finnenstrukturen 250 im ersten Schutzring 222, die sich in der zweiten Richtung erstrecken, gegenüber allen Finnenstrukturen 250 im zweiten Schutzring 224, die sich in der zweiten Richtung erstrecken, versetzt. In einigen Ausführungsformen ist mindestens eine Finnenstruktur 260 im dritten Schutzring 232, die sich in der zweiten Richtung erstreckt, ausgerichtet auf mindestens eine Finnenstruktur 260 im vierten Schutzring 234, die sich in der zweiten Richtung erstreckt. In einigen Ausführungsformen sind alle Finnenstrukturen 260 im dritten Schutzring 232, die sich in der zweiten Richtung erstrecken, gegenüber allen Finnenstrukturen 260 im vierten Schutzring 234, die sich in der zweiten Richtung erstrecken, versetzt. In einigen Ausführungsformen ist mindestens eine Finnenstruktur 260 im dritten Schutzring 232, die sich in der zweiten Richtung erstreckt, ausgerichtet auf mindestens eine Finnenstruktur 250 im zweiten Schutzring 224, die sich in der zweiten Richtung erstreckt. In einigen Ausführungsformen sind alle Finnenstrukturen 260 im dritten Schutzring 232, die sich in der zweiten Richtung erstrecken, gegenüber allen Finnenstrukturen 250 im zweiten Schutzring 224, die sich in der zweiten Richtung erstrecken, versetzt.
  • In einigen Ausführungsformen wird eine Anordnung von Finnenstrukturen 250 und Finnenstrukturen 260 aus 2A kombiniert mit einer Anordnung von Finnenstrukturen 250 und Finnenstrukturen 260 aus 2B, um Schutzringe auszubilden, die einen gesamten Umfangsbereich der Kernschaltung, z.B. der Kernschaltung 110 (1), umschließen. Zum Beispiel ist in einigen Ausführungsformen die erste Richtung eine vertikale Richtung von 1 und die zweite Richtung eine horizontale Richtung von 1.
  • Die 3A-3F zeigen Draufsichten einer Auswahl von Schutzringentwürfen gemäß einigen Ausführungsformen. Die 3A-3F enthalten eine Auswahl von unterschiedlichen Entwurfsoptionen für die Form und die Ausrichtung von verschiedenen Komponenten der Schutzringe. Die 3A-3F enthalten ähnliche Elemente wie die Schaltungseinrichtung 100 (1), und ähnliche Elemente weisen dieselbe Bezugsziffer auf, die um 200 heraufgesetzt wurde. Im Gegensatz zu den rechteckförmig dotierten Bereichen wie in den 1-2B sind die Formen und Ausrichtungen der Schutzringe aus den 3A-3F Beispiele alternativer Geometrien für die dotierten Bereiche. Die 3A-3F sind lediglich Beispiele und nicht dazu gedacht, die verschiedenen Varianten der vorliegenden Beschreibung einzuschränken.
  • 3A enthält eine Reihe von quadratförmigen Flächen von Komponententeilen von Schutzringen 322-334, die in einem schachbrettartigen Muster angeordnet sind. 3A weist den zweiten Schutzring 324 zwischen dem ersten Schutzring 322 und dem dritten Schutzring 332 auf. In einigen Ausführungsformen sind die Kernschaltung, z.B. die Kernschaltung 110 (1), am nächsten zum ersten Schutzring 322 gelegen. In einigen Ausführungsformen ist die Kernschaltung am nächsten zum vierten Schutzring 334 gelegen.
  • 3B enthält eine Kreisanordnung von Komponententeilen von Schutzringen 322-334. 3B weist den ersten Schutzring 322, der an einen ersten Teil der (nicht dargestellten) Kernschaltung angrenzt, und den dritten Schutzring 332 auf, der an einen zweiten Teil der Kernschaltung angrenzt. Der zweite Schutzring 324 liegt um einen Randbereich des dritten Schutzrings 332 um den zweiten Teil der Kernschaltung herum. Der vierte Schutzring 334 liegt um einen Randbereich des ersten Schutzrings 322 um den ersten Teil der Kernschaltung herum.
  • 3C ist eine Trapezanordnung von Komponententeilen von Schutzringen 322-334. 3C weist abwechselnd den ersten Schutzring 322 und den zweiten Schutzring 324 auf, wobei eine Größe des ersten Schutzrings größer als eine Größe des zweiten Schutzrings ist. Desgleichen ist der dritte Schutzring 332 auf eine alternierende Weise mit dem vierten Schutzring 334 angeordnet, wobei der vierte Schutzring eine Größe aufweist, die größer als die des dritten Schutzrings ist. Der dritte Schutzring 332 ist an den ersten Schutzring 322 angepasst, und der vierte Schutzring 334 ist an den zweiten Schutzring 324 angepasst, um eine einheitliche Dicke der Kombination von Schutzringen 322-334 zu erhalten. In einigen Ausführungsformen ist die Kernschaltung, z.B. die Kernschaltung 110 (1), am nächsten zum ersten Schutzring 322 und zweiten Schutzring 324 gelegen. In einigen Ausführungsformen ist die Kernschaltung am nächsten zum dritten Schutzring 332 und vierten Schutzring 334 gelegen.
  • 3D ist eine Freiform-Vieleckanordnung von Komponententeilen von Schutzringen 322-334. Die Freiform-Vieleckgestalt in 3D weist Auskragungen auf, die sich von einem Schutzring aus in einen benachbarten Schutzring des gleichen Dotierstofftyps hinein erstrecken. Zum Beispiel erstrecken sich Auskragungen von dem ersten Schutzring 322 aus zwischen den Merkmalen des zweiten Schutzrings 324. Die Freiform-Vieleckgestalt ist jedoch nicht auf diese Anordnung beschränkt. In einigen Ausführungsformen ist die Kernschaltung, z.B. die Kernschaltung 110 (1), am nächsten zum ersten Schutzring 322 und zweiten Schutzring 324 gelegen. In einigen Ausführungsformen ist die Kernschaltung am nächsten zum dritten Schutzring 332 und vierten Schutzring 334 gelegen.
  • 3E ist eine Sechseckanordnung von Komponententeilen von Schutzringen 322-334. Die Sechseckanordnung weist den dritten Schutzring 332 zwischen dem ersten Schutzring 322 und dem zweiten Schutzring 324 auf. Die Sechseckanordnung weist auch den zweiten Schutzring 324 zwischen dem dritten Schutzring 332 und dem vierten Schutzring 334 auf. In einigen Ausführungsformen sind die Schutzringe, die denselben Dotierstofftyp aufweisen, zueinander benachbart angeordnet. In einigen Ausführungsformen ist die Kernschaltung, z.B. die Kernschaltung 110 (1), am nächsten zum ersten Schutzring 322 gelegen. In einigen Ausführungsformen ist die Kernschaltung am nächsten zum vierten Schutzring 334 gelegen.
  • 3F ist eine Dreieckanordnung von Schutzringen 322-334. Die Dreieckanordnung weist Teile des ersten Schutzrings 322, die sich mit Teilen des dritten Schutzrings 332 abwechseln, und Teile des zweiten Schutzrings 324, die sich mit Teilen des vierten Schutzrings 334 abwechseln, auf. Der dritte Schutzring 332 grenzt an den vierten Schutzring 334 an. In einigen Ausführungsformen grenzt der erste Schutzring 322 an den zweiten Schutzring 324 an. In einigen Ausführungsformen ist die Kernschaltung, z.B. die Kernschaltung 110 (1), am nächsten zum dritten Schutzring 332 gelegen. In einigen Ausführungsformen ist die Kernschaltung am nächsten zum vierten Schutzring 334 gelegen.
  • Die unterschiedlichen Anordnungen von Schutzringen 322-334 sind als Beispiele dafür vorgesehen, wie die vorliegende Beschreibung auf eine Anordnungsvielfalt angewendet werden kann, und es ist nicht beabsichtigt, diese Beschreibung auf die Anordnungen allein zu beschränken, die ausdrücklich einbezogen sind.
  • 4 ist ein Flussdiagramm eines Verfahrens 400 zur Herstellung von Schutzringen gemäß einigen Ausführungsformen. Das Verfahren 400 beginnt mit dem Arbeitsschritt 402, in dem die Kernschaltung, z.B. die Kernschaltung 110 (1), ausgebildet werden. In einigen Ausführungsformen wird die Kernschaltung unter Verwendung eines CMOS-Prozesses ausgebildet. In einigen Ausführungsformen umfasst die Kernschaltung aktive FinFET-Elemente. In einigen Ausführungsformen umfasst die Kernschaltung Speicherelemente, Verarbeitungselemente, Register und andere geeignete Schaltungen.
  • Im Arbeitsschritt 404 wird ein erster Satz von Schutzringen um einen Randbereich der Kernschaltung herum ausgebildet. Jeder Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen weist einen gleichen Dotierstofftyp auf. In einigen Ausführungsformen wird der erste Satz von Schutzringen durch einen Implantationsprozess ausgebildet. In einigen Ausführungsformen umfasst der erste Satz von Schutzringen zwei Schutzringe, z.B. den ersten Schutzring 122 und den zweiten Schutzring 124 (1). In einigen Ausführungsformen umfasst der erste Satz von Schutzringen mehr als zwei Schutzringe. In einigen Ausführungsformen werden alle Schutzringe des ersten Satzes von Schutzringen gleichzeitig ausgebildet. In einigen Ausführungsformen wird mindestens ein Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen anschließend an mindestens einen weiteren Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen ausgebildet. In einigen Ausführungsformen werden alle Schutzringe des ersten Satzes von Schutzringen so ausgebildet, dass sie eine gleiche Dotierstoffkonzentration aufweisen. In einigen Ausführungsformen weist mindestens ein Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen eine andere Dotierstoffkonzentration als mindestens ein weiterer Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen auf. In einigen Ausführungsformen weisen alle Schutzringe des ersten Satzes von Schutzringen eine gleiche Dotierstoffart auf. In einigen Ausführungsformen weist mindestens ein Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen eine Dotierstoffart auf, die sich von einer Dotierstoffart mindestens eines weiteren Schutzrings des ersten Satzes von Schutzringen unterscheidet.
  • Im Arbeitsschritt 406 wird ein zweiter Satz von Schutzringen ausgebildet. Mindestens ein Schutzring des zweiten Satzes von Schutzringen liegt um einen Randbereich von mindestens einem Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen herum. Jeder Schutzring des zweiten Satzes von Schutzringen weist einen gleichen Dotierstofftyp auf, der entgegengesetzt zum Dotierstofftyp des ersten Satzes von Schutzringen ist. In einigen Ausführungsformen wird der zweite Satz von Schutzringen durch einen Implantationsprozess ausgebildet. In einigen Ausführungsformen umfasst der zweite Satz von Schutzringen zwei Schutzringe, z.B. den dritten Schutzring 132 und den vierten Schutzring 134 (1). In einigen Ausführungsformen umfasst der zweite Satz von Schutzringen mehr als zwei Schutzringe. In einigen Ausführungsformen werden alle Schutzringe des zweiten Satzes von Schutzringen gleichzeitig ausgebildet. In einigen Ausführungsformen wird mindestens ein Schutzring des zweiten Satzes von Schutzringen anschließend an mindestens einen weiteren Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen ausgebildet. In einigen Ausführungsformen werden alle Schutzringe des zweiten Satzes von Schutzringen so ausgebildet, dass sie eine gleiche Dotierstoffkonzentration aufweisen. In einigen Ausführungsformen weist mindestens ein Schutzring des zweiten Satzes von Schutzringen eine andere Dotierstoffkonzentration als mindestens ein weiterer Schutzring des zweiten Satzes von Schutzringen auf. In einigen Ausführungsformen weisen alle Schutzringe des zweiten Satzes von Schutzringen eine gleiche Dotierstoffart auf. In einigen Ausführungsformen weist mindestens ein Schutzring des zweiten Satzes von Schutzringen eine Dotierstoffart auf, die sich von einer Dotierstoffart von mindestens einem weiteren Schutzring des zweiten Satzes von Schutzringen unterscheidet.
  • In dem optionalen Arbeitsschritt 408 werden in dem ersten Satz von Schutzringen oder dem zweiten Satz von Schutzringen Finnenstrukturen ausgebildet. In einigen Ausführungsformen werden die Finnenstrukturen durch Ätzen einer Fläche eines Substrats ausgebildet. In einigen Ausführungsformen werden die Finnenstrukturen durch epitaktisches Aufwachsen eines Materials über einer oberen Fläche eines Substrats ausgebildet. In einigen Ausführungsformen weisen die Finnenstrukturen entlang einer ersten Richtung parallel zur oberen Fläche des Substrats einen Abstand auf. In einigen Ausführungsformen sind die Finnenstrukturen in benachbarten Schutzringen mit Bezug aufeinander versetzt. In einigen Ausführungsformen ist ein Abstand zwischen benachbarten Finnenstrukturen in einer zweiten Richtung, die senkrecht zur ersten Richtung ist, kleiner als ein Abstand zwischen benachbarten Finnenstrukturen in der ersten Richtung. In einigen Ausführungsformen wird der Arbeitsschritt 408 weggelassen, und die Finnenstrukturen werden weder im ersten Satz von Schutzringen noch im zweiten Satz von Schutzringen ausgebildet. In einigen Ausführungsformen wird der Arbeitsschritt 408 weggelassen, wenn die dotierten Bereiche des ersten Satzes von Schutzringen oder die dotierten Bereiche des zweiten Satzes von Schutzringen direkt an eine Bezugsspannung angeschlossen sind.
  • In dem optionalen Arbeitsschritt 410 werden der erste Satz von Schutzringen oder der zweite Satz von Schutzringen an eine Bezugsspannung angeschlossen. In einigen Ausführungsformen ist die Bezugsspannung eine Erdspannung. In einigen Ausführungsformen, die Finnenstrukturen aufweisen, werden mehrere Finnenstrukturen gemeinsam an die Bezugsspannung angeschlossen. In einigen Ausführungsformen wird der erste Satz von Schutzringen oder der zweite Satz von Schutzringen unter Verwendung mindestens einer Anschlussleitung an die Bezugsspannung angeschlossen. In einigen Ausführungsformen wird der Arbeitsschritt 410 weggelassen, wenn der Schutzring eingerichtet ist, die Energie über das Substrat abzuführen.
  • Eine Reihenfolge der Arbeitsschritte 400 kann abgeändert werden. Zum Beispiel wird in einigen Ausführungsformen der zweite Satz von Schutzringen vor dem ersten Satz von Schutzringen ausgebildet. In einigen Ausführungsformen wird die Kernschaltung gleichzeitig mit oder anschließend an mindestens einen von dem ersten Satz von Schutzringen oder dem zweiten Satz von Schutzringen ausgebildet. In einigen Ausführungsformen werden dem Verfahren 400 zusätzliche Arbeitsschritte hinzugefügt.
  • Ein Aspekt dieser Beschreibung betrifft eine Schaltungseinrichtung. Die Schaltungseinrichtung umfasst eine Kernschaltung. Die Schaltungseinrichtung umfasst ferner einen ersten Satz von Schutzringen, der einen ersten Dotierstofftyp aufweist, wobei der erste Satz von Schutzringen um einen Randbereich der Kernschaltung herum liegt, wobei der erste Satz von Schutzringen einen ersten Schutzring und einen zweiten Schutzring umfasst. Die Schaltungseinrichtung umfasst ferner einen zweiten Satz von Schutzringen, der einen zweiten Dotierstofftyp aufweist, wobei der zweite Dotierstofftyp entgegengesetzt zum ersten Dotierstofftyp ist, wobei mindestens ein Schutzring des zweiten Satzes von Schutzringen um einen Randbereich von mindestens einem Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen herum liegt und der zweite Satz von Schutzringen einen dritten Schutzring und einen vierten Schutzring umfasst.
  • Ein weiterer Aspekt dieser Beschreibung betrifft eine Schutzringstruktur. Die Schutzringstruktur umfasst einen ersten Schutzring, der einen ersten Dotierstofftyp aufweist. Die Schutzringstruktur umfasst ferner einen zweiten Schutzring, der den ersten Dotierstofftyp aufweist, wobei der zweite Schutzring um den Randbereich des ersten Schutzrings herum liegt und den ersten Schutzring kontaktiert. Die Schutzringstruktur umfasst ferner einen dritten Schutzring, der einen zweiten Dotierstofftyp aufweist, wobei der zweite Dotierstofftyp entgegengesetzt zum ersten Dotierstofftyp ist, wobei der dritte Schutzring um einen Randbereich des zweiten Schutzrings herum liegt und den zweiten Schutzring kontaktiert. Die Schutzringstruktur umfasst ferner einen vierten Schutzring, der den zweiten Dotierstofftyp aufweist, wobei der vierte Schutzring um einen Randbereich des dritten Schutzrings herum liegt und den dritten Schutzring kontaktiert.
  • Noch ein weiterer Aspekt dieser Beschreibung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Schaltungseinrichtung. Das Verfahren umfasst die Ausbildung von einer Kernschaltung. Das Verfahren umfasst ferner das Ausbilden eines ersten Satzes von Schutzringen um einen Randbereich der Kernschaltung herum, wobei erste Satz von Schutzringen einen ersten Dotierstofftyp aufweist. Das Verfahren umfasst ferner das Ausbilden eines zweiten Satzes von Schutzringen, der einen zweiten Dotierstofftyp aufweist, wobei der zweite Dotierstofftyp entgegengesetzt zum ersten Dotierstofftyp ist, wobei mindestens ein Schutzring des zweiten Satzes von Schutzringen um einen Randbereich von mindestens einem Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen herum liegt.

Claims (17)

  1. Schaltungseinrichtung mit: einer Kernschaltung (110); einem ersten Satz von Schutzringen (120; 220), der einen ersten Dotierstofftyp aufweist, wobei der erste Satz von Schutzringen um einen Randbereich der Kernschaltung (110) herum liegt, wobei der erste Satz von Schutzringen einen ersten Schutzring (122; 222) und einen zweiten Schutzring (124; 224) umfasst; und einem zweiten Satz von Schutzringen (130; 230), der einen zweiten Dotierstofftyp aufweist, wobei der zweite Dotierstofftyp entgegengesetzt zum ersten Dotierstofftyp ist, wobei mindestens ein Schutzring des zweiten Satzes von Schutzringen (130; 230) um einen Randbereich von mindestens einem Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen (120; 220) herum liegt und der zweite Satz von Schutzringen (130; 230) einen dritten Schutzring (132; 232) und einen vierten Schutzring (134; 234) umfasst; und mit einer Mehrzahl von Finnenstrukturen im ersten Schutzring (122; 222) und/oder im zweiten Schutzring (124; 224).
  2. Schaltungseinrichtung nach Anspruch 1, wobei der dritte Schutzring (132; 232) zwischen dem ersten Schutzring (122; 222) und dem zweiten Schutzring (124; 224) ist.
  3. Schaltungseinrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei benachbarte Finnenstrukturen (250) im ersten Schutzring (222) in einer ersten Richtung durch einen ersten Abstand voneinander räumlich getrennt sind.
  4. Schaltungseinrichtung nach Anspruch 3, wobei benachbarte Finnenstrukturen (250) im ersten Schutzring (222) in einer zweiten Richtung durch einen zweiten Abstand, der kleiner als der erste Abstand ist, voneinander räumlich getrennt sind, wobei die zweite Richtung senkrecht auf der ersten Richtung ist.
  5. Schaltungseinrichtung nach Anspruch 3, wobei benachbarte Finnenstrukturen (250) im ersten Schutzring (222) in einer zweiten Richtung miteinander in Kontakt sind, wobei die zweite Richtung senkrecht auf der ersten Richtung ist.
  6. Schaltungseinrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei benachbarte Finnenstrukturen (250) im ersten Schutzring (222) miteinander durch eine Anschlussleitung verbunden sind.
  7. Schaltungseinrichtung nach Anspruch 6, wobei die Anschlussleitung an eine Bezugsspannung angeschlossen ist.
  8. Schaltungseinrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die Finnenstrukturen (250) im ersten Schutzring (222) bezüglich der Finnenstrukturen (250) im zweiten Schutzring (224) versetzt sind.
  9. Schaltungseinrichtung nach Anspruch 8, wobei ein Teil einer Finnenstruktur (250) im ersten Schutzring (222) mit einem Teil einer Finnenstruktur (250) im zweiten Schutzring (224) in einer Richtung überlappt, die senkrecht zu einem Abstand zwischen benachbarten Finnenstrukturen (250) im ersten Schutzring (222) ist.
  10. Schaltungseinrichtung nach Anspruch 9, wobei der Teil einer Finnenstruktur (250) im ersten Schutzring (222), der mit dem Teil der Finnenstruktur (250) im zweiten Schutzring überlappt, zwischen 30 % und 70 % liegt.
  11. Schutzringstruktur mit: einem ersten Schutzring (122; 222), der einen ersten Dotierstofftyp aufweist; einem zweiten Schutzring (124; 224), der den ersten Dotierstofftyp aufweist, wobei der zweite Schutzring (124; 224) um den Randbereich des ersten Schutzrings (122; 222) herum liegt und den ersten Schutzring (122; 222) kontaktiert; einem dritten Schutzring (132; 232), der einen zweiten Dotierstofftyp aufweist, wobei der zweite Dotierstofftyp entgegengesetzt zum ersten Dotierstofftyp ist, wobei der dritte Schutzring (132; 232) um einen Randbereich des zweiten Schutzrings (124; 224) herum liegt und den zweiten Schutzring (124; 224) kontaktiert; und einem vierten Schutzring (134; 234), der den zweiten Dotierstofftyp aufweist, wobei der vierte Schutzring (134; 234) um den Randbereich des dritten Schutzrings (132; 232) herum liegt und den dritten Schutzring (132; 232) kontaktiert; und mit Finnenstrukturen (250) im zweiten Schutzring (224) und Finnenstrukturen (260) im dritten Schutzring (232).
  12. Schutzringstruktur nach Anspruch 11, wobei eine erste Finnenstruktur (250) im zweiten Schutzring (224) in einer ersten Richtung zu einer ersten Finnenstruktur (260) im dritten Schutzring (232) ausgerichtet ist.
  13. Schutzringstruktur nach Anspruch 12, wobei eine zweite Finnenstruktur (250) im zweiten Schutzring (224) bezüglich einer zweiten Finnenstruktur (260) im dritten Schutzring (232) in einer zweiten Richtung versetzt ist, wobei die zweite Richtung senkrecht zur ersten Richtung ist.
  14. Schutzringstruktur nach Anspruch 12 oder Anspruch 13, wobei benachbarte Finnenstrukturen (250) im zweiten Schutzring (224) in der ersten Richtung miteinander in Kontakt sind.
  15. Schutzringstruktur nach Anspruch 11, wobei benachbarte Finnenstrukturen (250) im zweiten Schutzring (224) in einer ersten Richtung durch einen ersten Abstand räumlich voneinander getrennt sind und wobei benachbarte Finnenstrukturen (260) im dritten Schutzring (232) in der ersten Richtung durch einen zweiten Abstand, der sich vom ersten Abstand unterscheidet, räumlich voneinander getrennt sind.
  16. Verfahren zur Herstellung einer Schaltungseinrichtung, wobei das Verfahren umfasst: Ausbilden einer Kernschaltung; Ausbilden eines ersten Satzes von Schutzringen um einen Randbereich der Kernschaltung herum, wobei der erste Satz von Schutzringen einen ersten Dotierstofftyp aufweist; und Ausbilden eines zweiten Satzes von Schutzringen, der einen zweiten Dotierstofftyp aufweist, wobei der zweite Dotierstofftyp entgegengesetzt zum ersten Dotierstofftyp ist, wobei mindestens ein Schutzring des zweiten Satzes von Schutzringen um einen Randbereich von mindestens einem Schutzring des ersten Satzes von Schutzringen herum liegt; und Ausbilden einer Mehrzahl von Finnenstrukturen im ersten Satz von Schutzringen und/oder im zweiten Satz von Schutzringen.
  17. Verfahren nach Anspruch 16, ferner umfassend: das Anschließen der Finnenstrukturen des ersten Satzes von Schutzringen oder des zweiten Satzes von Schutzringen an eine Bezugsspannung.
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