DE102014109091A1 - Lösung zum Umgang mit Chipverformung beim 3D-Stapeln von Chip auf Chip - Google Patents
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- H01L2224/16145—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
- H01L2224/16148—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked the bump connector connecting to a bonding area protruding from the surface
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- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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Abstract
Verfahren, das die Bildung eines Kontaktflecken-Arrays auf einem Leiterplattensubstrat umfasst, wobei das Kontaktflecken-Array eine erste Vielzahl von Kontaktflecken und eine zweite Vielzahl von Kontaktflecken umfasst, wobei ein zugänglicher Bereich jedes der Vielzahl von Kontaktflecken sich von einem zugänglichen Bereich jedes der zweiten Vielzahl von Kontaktflecken unterscheidet, und Aufbringung von Lötmaterial auf einen zugänglichen Bereich der Kontaktflecken. Vorrichtung, die ein Leiterplattensubstrat umfasst, das einen Körper mit nicht planarer Form und eine Fläche mit einer ersten Vielzahl von Kontaktflecken und einer zweiten Vielzahl von Kontaktflecken umfasst, wobei ein zugänglicher Bereich jedes der Vielzahl von Kontaktflecken sich von einem zugänglichen Bereich jedes der zweiten Vielzahl von Kontaktflecken unterscheidet.
Description
- HINTERGRUND
- Technisches Gebiet
- Integrierte Schaltungspackung.
- Beschreibung verwandter Technik
- Im Bemühen, die Verbindungsgeschwindigkeit zu verbessern, den Energieverbrauch zu verringern und den Formfaktor von Gehäusen integrierter Schaltungen zu reduzieren, wurden dreidimensionale Gehäuse vorangetrieben, bei denen Chip auf Chip gestapelt wird.
- Chip-auf-Chip-Stapel verringern den Aufwand, alle Technologien auf einem einzigen Chip unterzubringen. Stattdessen können mehrere Chips gestapelt werden. Solche Chips können eine unterschiedliche Fertigungstechnologie ermöglichen, die für eine bestimmte Art von Schaltkreis optimiert ist, z. B. Speicher, Logik, analog und Sensoren. Wide I/O-Speicher ist eine neue Technologie für dynamischen Direktzugriffspeicher (dynamic random access memory, DRAM), der einen Speicherchip gestapelt auf einem Mikroprozessorchip oder umgekehrt in Betracht zieht. Der JEDEC-Standard JESD229, „Wide I/O Single Data Rate", Dezember 2011, spezifiziert vier 128-Bit-Kanäle, die eine 512-Bit-Schnittstelle zum DRAM bereitstellen. Eine Schnittstelle zwischen den Chips umfasst in einer Ausführungsform Lötverbindungen.
- In dreidimensionalen Packungen hängt der Prozessablauf der Montage von verschiedenen Variablen ab, z. B. Gehäusearchitektur (z. B. Chipgröße, Substratlayout usw.), Fertigungsmaterialien und -prozesse (z. B. Silizium, Back End Of Line(BEOL)-Metallisierung, Metallisierung der Chiprückseite, Nitridspannung), Montagematerialien und -prozesse sowie Kosten. Die Form/Topographie eines Chips während der Montage ist komplex. Je nach Prozessablaufvariablen kann die Chipform konkav, konvex, sattelförmig oder eine andere Form sein. Beim Bonding von Chip auf Chip kann die Form eines oder beider Chips den Kontakt zwischen den Chips beeinflussen und nicht kompatible Formen können zu kontaktlose Öffnungen, Verbindungen mit gestrecktem Lötmaterial und anderen Mängeln führen, die zu Verlust der Prozessausbeute und einer Verschlechterung der Zuverlässigkeit führen können.
- KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 zeigt eine Querschnittseitenansicht eines Teils einer Baugruppe, die für die Verwendung in einem Computergerät geeignet ist. -
2 zeigt eine Draufsicht eines Teils eines Chips durch Linie 2-2 von1 . -
3 zeigt eine Seitenansicht eines Teils eines Chips, wie in2 dargestellt. -
4 zeigt Lötmaterial auf einem Kontaktflecken. -
5 zeigt eine Draufsicht eines Teils eines Chips durch Linie 2-2 von1 . -
6 zeigt eine Seitenansicht der Struktur von5 nach Einbringung des Lötmaterials. -
7 zeigt eine Querschnittseitenansicht eines Teils eines Chips mit dreidimensionalen Kontaktflecken gemäß einer anderen Ausführungsform. -
8 veranschaulicht ein Computergerät gemäß einer Implementierung. - AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
- Im Bemühen, die Verbindungsgeschwindigkeit zu verbessern, den Energieverbrauch zu verringern und den Gehäuseformfaktor zu verringern, werden dreidimensionale Gehäuse mit Chip-auf-Chip-Stapeln als Ansätze für die Verringerung des Risikos von kontaktlosen Öffnungen und/oder Verbindungen mit gestrecktem Lötmaterial präsentiert.
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1 zeigt eine Querschnittseitenansicht eines Teils einer Baugruppe, die für die Verwendung in einem Computergerät (Computergerät10 ) geeignet ist, einschließlich, aber nicht beschränkt auf, einen Desktop-Computer oder ein Handheld-Gerät (z. B. ein Tablet, ein Smartphone usw.). Baugruppe100 beinhaltet Chip110 , der z. B. ein Prozessor mit einer Bauelelementschicht120 und Metallisierung130 ist. Chip110 ist in dieser Ausführungsform mit Gehäuse125 über z. B. Lötkugelverbindungen135 mit einem Durchmesser in der Größenordnung von z. B. 100 Mikron und einer Teilung in der Größenordnung von 100 Mikron verbunden. Eine Oberfläche von Chip110 (wie dargestellt) beinhaltet eine Metallisierungsschicht140 , die durch eine Reihe von Kontaktflecken150 für eine Verbindung zu einem sekundären Bauelement abgeschlossen wird. Somit beinhaltet Chip110 in einer Ausführungsform Through Silicon Vias (TSVs) für eine Verbindung zu einem zweiten Chip in einer Ausrichtung von Oberfläche zu Oberfläche. Der obenliegende Chip110 ist in dieser Ausführungsform der zweite Chip160 . Der zweite Chip160 ist z. B. ein Speicherchip (z. B. DRAM) einschließlich Bauelementschicht165 und Metallisierungsschicht170 . Die Metallisierungsschicht170 wird durch eine Reihe von Kontaktpunkten oder -flecken175 oder eine Verbindung zu Kontaktpunkten oder -flecken150 von Chip110 abgeschlossen. Eine Verbindung zwischen Chip110 und Chip160 erfolgt in einer Ausführungsform über Lötverbindungen zwischen ausgerichteten Kontaktpunkten oder -flecken150 (Chip110 ) und Kontaktpunkten oder -flecken175 (Chip160 ). Die Verbindungen sind in1 als gepunktete Linien dargestellt.1 zeigt außerdem Gehäuse125 , das z. B. über Lötverbindungen185 mit einer Leiterplatte180 (z. B. einer Hauptplatine) verbunden ist. Repräsentativ entspricht die Konfiguration von Chip110 und des zweiten Chips dem JEDEC-Standard JESD229 für die Implementierung von Wide I/O. - Wie oben angegeben, ist ein Problem des Stapelns von Chip auf Chip die Form eines ersten Chips (Chip
110 ) und eines zweiten Chips (Chip160 ) und der Wunsch nach zuverlässigen Verbindungen zwischen den Chips. Wie in1 veranschaulicht, kann, in einem Aspekt, aufgrund der Verarbeitung des einzelnen Chips jeder Chip eine nicht planare Form haben und zum Beispiel eine konkave, konvexe, sattelförmige oder andere Form in Bezug auf die planare Oberfläche haben.1 zeigt Chip110 mit einer allgemein konvexen Form und Chip160 mit einer allgemein konkaven Form in Bezug auf eine planare Fläche (z. B. wird eine planare Fläche repräsentativ als Fläche einer Leiterplatte180 veranschaulicht). -
2 –4 veranschaulichen einen Ansatz zur Verbesserung der Verbindung von Chip zu Chip in einer dreidimensionalen Packung.2 zeigt eine Draufsicht eines Teils eines Chips110 durch Linie 2-2 von1 . Wie in1 veranschaulicht, hat in dieser Ausführungsform Chip110 eine allgemein konvexe Form, während Chip160 eine allgemein konkave Form hat. Demgemäß sind in einer Ausführungsform Kontaktpunkte oder -flecken in oder auf einer Fläche von Chip110 als Spalten (wie dargestellt) von Punkten oder Flecken unterschiedlicher Größe angeordnet.2 veranschaulicht Kontaktpunkte oder -flecken150A ,150B ,150C ,150D und150E , die sich nach links und rechts in einer Reihe Richtung Kante115 von Chip110 erstrecken, wobei jede Zahlenangabe eine Spalte von Kontaktpunkten oder -flecken ähnlicher Größe darstellt. Wenn Chip110 eine allgemein konvexe Form in Bezug auf eine planare Fläche hat, tendieren Kontaktpunkte oder -flecken, die näher an der Kante115 von Chip110 sind, dazu, von den Kontaktpunkten oder -flecken eines zweiten Chips weiter entfernt zu sein (z. B. Kontaktpunkte oder -flecken175 von Chip160 ,1 ) als Kontaktpunkte oder -flecken, die weiter von der Kante115 entfernt sind (z. B. näher am Zentrum von Chip110 ). Somit haben in einer Ausführungsform Kontaktpunkte oder -flecken150E einen größeren Durchmesser (und einen größeren zugänglichen Bereich) als Kontaktpunkte oder -flecken150A –150D . Kontaktpunkte oder -flecken150A sind mit dem geringsten Durchmesser (kleiner zugänglicher Bereich) veranschaulicht und der Durchmesser (zugänglicher Bereich) wird mit jeder Spalte an Kontaktpunkten oder -flecken (Punkte oder Flecken150B –150E ) größer, je näher Kante115 liegt. Kontaktpunkte oder -flecken150A –150E sind in dieser Ausführungsform als kreisförmig dargestellt. In anderen Ausführungsformen können Kontaktpunkte oder -flecken andere Formen haben, z. B., aber nicht beschränkt auf, rechteckige, quadratische und ovale Formen. - Kontaktpunkte oder -flecken
150A –150E können gemäß herkömmlichen Techniken gebildet werden. Repräsentativ können Kontaktpunkte durch Einbringung einer leitfähigen Keimschicht gebildet werden, wobei eine Maske auf der leitfähigen Keimschicht in Bereichen angeordnet wird, an denen keine Kontaktpunkte oder -flecken erwünscht sind, und ein Material wie Kupfer oder eine Kupferlegierung galvanisiert wird, um die Kontaktpunkte und -flecken zu bilden. Die Maske und das unerwünschte Keimmaterial können dann durch Ätzen entfernt werden. Gemäß dieser Methode können Öffnungen in der Maskierungsschicht die zugänglichen Bereiche der Kontaktpunkte oder -flecken bestimmen. Repräsentativ kann eine Maskierungsschicht eingebracht und so strukturiert werden, dass sie Öffnungen mit unterschiedlichem Durchmesser für Spalten von Kontakten hat, wie in2 dargestellt (Kontaktpunkte oder -flecken150A –150E ). Alternativ kann jeder Kontaktpunkt oder -flecken150A –150E aus einem ähnlichen Durchmesser (ähnlicher zugänglicher Bereich) gebildet werden und, nach Bildung der Kontaktpunkte oder -flecken, kann eine dielektrisches Material wie WPR, das von JSP Micro, Inc. aus Sunnyvale, Kalifornien, erworben werden kann, eingebracht werden, z. B. über eine strukturierte Maske, auf Teilen von einem der Kontaktpunkte oder -flecken, um den zugänglichen Bereich der Kontaktpunkte oder -flecken zu verringern. -
3 zeigt eine Seitenansicht des Teils von Chip110 wie in2 dargestellt, nach Einbringung von Lötmaterial auf den Kontaktpunkten oder -flecken. In einer Ausführungsform wird die Wellenlötablagerung verwendet, um Lötmaterial auf Kontaktpunkten oder -flecken150A –150E aufzubringen. Wie in4 angegeben, ist eine Höhe einer Menge (eines Volumens) von Lötmaterial, das nach der Wellenlötablagerung übertragen wird, proportional zum Durchmesser eines Kontaktpunkts oder -fleckens. Da Kontaktpunkte oder -flecken150E einen größeren zugänglichen Bereich als Kontaktpunkte oder -flecken150A –150D haben, ist eine Höhe h des Lötmaterials größer auf Kontaktpunkten oder -flecken150E als auf anderen Kontaktpunkten oder -flecken150A –150D , eine Höhe von Kontaktpunkten oder -flecken150D ist größer als eine Höhe von Kontaktpunkten oder -flecken150A –150C , eine Höhe von Kontaktpunkten oder -flecken150C ist größer als eine Höhe von Kontaktpunkten oder -flecken150A –150B und eine Höhe von Kontaktpunkten oder -flecken150B ist größer als eine Höhe von Kontaktpunkten oder -flecken150A . -
3 zeigt Lötmaterial220A z. B. eines zinnbasierten Lötmaterials, das auf Kontaktpunkten oder -flecken150A –150E eingebracht wurde. Speziell zeigt3 Lötmaterial220A auf Kontaktpunkten oder -flecken150A , Lötmaterial220B auf Kontaktpunkten oder -flecken150B , Lötmaterial220C auf Kontaktpunkten oder -flecken150C , Lötmaterial220D auf Kontaktpunkten oder -flecken150D und Lötmaterial220E auf Kontaktpunkten oder -flecken150E . Wie veranschaulicht, ist die Menge Lötmaterial220E auf Kontaktpunkten oder -flecken150E größer als die Menge Lötmaterial auf Kontaktpunkten oder -flecken150A –150D . Demgemäß ist eine Höhe h von Lötmaterial220E größer als eine Höhe Lötmaterial auf Kontaktpunkten oder -flecken150A –150D . Die größere Höhe tendiert dazu, die effektive Koplanarität/Ebenheit des Lötmaterials/der Flecken für einen konvexen Chip zu verringern, was Probleme vermindert, die mit der Chipverformung (z. B. kontaktlose Öffnungen) verbunden sind. Es ist selbstverständlich, dass für verschiedene Formen (z. B. konkav, konvex, sattelförmig) ein Durchmesser der Kontaktpunkte oder -flecken geändert werden kann. Wenn z. B. die Form eines Chips110 konkav ist, könnten die Kontaktpunkten oder -flecken150A einen größeren zugänglichen Bereich (z. B. größeren Durchmesser) als Kontaktpunkte oder -flecken150E haben. -
5 –6 beschreiben einen zweiten Ansatz zur Behebung potenzieller Problem, die mit nicht planaren Chips in dreidimensionalen Packungsanordnungen verbunden sind.5 zeigt eine Draufsicht eines Teils eines Chips110 durch Linie 2-2 von1 . Der Teil ist in der Nähe von Kante115 . Wie veranschaulicht, beinhaltet in dieser Ausführungsform Chip110 eine Reihe von Kontaktpunkten oder -flecken150A –150E . Dabei hat Chip110 eine konvexe Form und Chip160 hat eine konkave Form, wie in1 veranschaulicht, der Durchmesser der Kontaktpunkte oder -flecken150A –150E ist progressiv von links nach rechts verringert, wie in Richtung Kante115 von Chip110 zu sehen. Demgemäß haben Kontaktpunkte oder -flecken150E einen kleineren Durchmesser als Kontaktpunkte oder -flecken150A . -
6 zeigt eine Seitenansicht der Struktur von5 nach Einbringung des Lötmaterials. In dieser Ausführungsform wird Lötmaterial in derselben Menge (demselben Volumen) auf jedem der Kontaktpunkte oder -flecken (jedem der Kontaktpunkte oder -flecken150A –150E ) aufgebracht. Das Lötmaterial wird im Reflow-Verfahren eingebracht. Aufgrund des unterschiedlichen Durchmessers der Kontaktpunkte oder -flecken, den Kontaktflecken mit kleinerem Durchmesser (z. B. Kontaktpunkte oder -flecken150D , Kontaktpunkte oder -flecken150E ) und denselben Mengen (demselben Volumen) Lötmaterial auf jedem der Kontaktpunkte oder -flecken, tendiert das Lötmaterial auf den Kontaktpunkten oder -flecken mit kleinerem Durchmesser dazu, höher zu sein, als das der Kontaktpunkten oder -flecken mit größerem Durchmesser. Wie in6 veranschaulicht, wird Lötmaterial320A per Reflow-Verfahren auf Kontaktpunkten oder -flecken150A aufgebracht, Lötmaterial320B wird per Reflow-Verfahren auf Kontaktpunkten oder -flecken150B aufgebracht, Lötmaterial320C wird per Reflow-Verfahren auf Kontaktpunkten oder -flecken150C aufgebracht, Lötmaterial320D wird per Reflow-Verfahren auf Kontaktpunkten oder -flecken150D aufgebracht, Lötmaterial320E wird per Reflow-Verfahren auf Kontaktpunkten oder -flecken150E aufgebracht. Wie veranschaulicht, ist die Höhe h von Lötmaterial320E auf Kontaktpunkten oder -flecken150E höher als die Höhe von Lötmaterial320D auf Kontaktpunkten oder -flecken150D , eine Höhe Lötmaterial320D auf Kontaktpunkten oder -flecken150D ist höher als Lötmaterial320C auf Kontaktpunkten oder -flecken150C , eine Höhe Lötmaterial320C auf Kontaktpunkten oder -flecken150C ist höher als Lötmaterial320B auf Kontaktpunkten oder -flecken150B und eine Höhe Lötmaterial320B auf Kontaktpunkten oder -flecken150B ist höher als Lötmaterial320A auf Kontaktpunkten oder -flecken150A . Die unterschiedlichen Höhen können die effektive Koplanarität/Ebenheit des Lötmaterials/Fleckens verringern, und Probleme vermindern, die mit der Chipverformung verbunden sind. - Kontaktpunkte oder -flecken
150A –150E in5 –6 können wie oben unter Bezugnahme auf2 –3 bei unterschiedlichen Durchmessern beschrieben gebildet werden. In einer Ausführungsform kann der zugängliche Bereich eines Kontaktpunkts oder -fleckens durch ein dielektrisches Material kontrolliert werden, das rund um die Kontaktpunkte oder -flecken platziert oder eingebracht wird. Somit können in einer Ausführungsform die Kontaktpunkte oder -flecken110 einen ähnlichen Durchmesser (ähnlichen Bereich) haben und das dielektrische Material kann auf Chip110 eingebracht werden, wobei das dielektrische Material einen Teil der Kontaktpunkte oder -flecken abdeckt und so den zugänglichen Bereich der Kontaktpunkte oder -flecken für die Einbringung von Lötmaterial verringert. - In den obigen Ausführungsformen wurde die Bezugnahme auf einen zugänglichen Bereich in Bezug auf zweidimensionale Kontaktpunkte oder -flecken (Kontaktpunkte oder -flecken auf einer Oberfläche eines Substrats) beschrieben. In einer anderen Ausführungsform können Kontaktpunkte sich über eine Entfernung von einer Oberfläche eines Substrats erstrecken.
7 zeigt ein Beispiel eines dreidimensionalen Kontaktfleckens.7 ist eine Seitenansicht eines Teils eines Leiterplattensubstrats420 und veranschaulicht Kontaktflecken450 , der sich von einer Oberfläche von Substrat420 erstreckt. Repräsentativ erstreckt sich Kontaktflecken450 über eine Entfernung d von 10 µm bis 20 µm von einer Oberfläche von Substrat420 . Indem es sich von einer Oberfläche von Substrat420 erstreckt, umfasst ein Bereich von Kontaktflecken450 eine obere Fläche von Flecken450 (wie dargestellt) sowie Seitenwandfläche(n) des Fleckens. Der zugängliche Bereich der Seitenwände von Kontaktflecken450 , die von einem Lötmaterial berührt werden können, kann den gesamten Bereich (einschließlich die Oberfläche und den Bereich, der den Seitenwandflächen oder einem Teil, der kleiner als der gesamte Bereich ist, zugeordnet werden kann, wobei z. B. dielektrisches Material rund um einen Teil der Seitenwandflächen (einschließlich der gesamten Seitenwandflächen) vorhanden ist) umfassen. -
8 veranschaulicht ein Computergerät500 gemäß einer Implementierung. Das Computergerät500 beherbergt eine Platine502 . Platine502 kann eine Reihe von Komponenten enthalten, z. B., aber nicht beschränkt auf, einen Prozessor504 und mindestens einen Kommunikationschip506 . Prozessor504 ist physisch und elektronisch mit der Platine502 verbunden. In einigen Implementierungen ist mindestens ein Kommunikationschip506 ebenfalls physisch und elektronisch mit der Platine502 verbunden. In weiteren Implementierungen ist der Kommunikationschip506 Teil des Prozessors504 . - Je nach seinen Anwendungen kann Computergerät
500 andere Komponenten enthalten, die physisch und elektrisch mit der Platine502 verbunden sein können oder nicht. Diese anderen Komponenten können unter anderem flüchtige Speicher (z. B. DRAM), nichtflüchtige Speicher (z. B. ROM), Flash-Speicher, ein Grafikprozessor, Digitalsignal-Prozessor, Krypto-Prozessor, Chipsatz, eine Antenne, ein Display, ein Touchscreen-Display, ein Touchscreen-Controller, eine Batterie, ein Audiocodec, Videocodec, Leistungsverstärker, globales Positionsbestimmungssystem (GPS), ein Kompass, Akzelerometer, ein Gyroskop, ein Lautsprecher, eine Kamera und ein Massenspeichergerät (wie ein Festplattenlaufwerk, eine Compact-Disc (CD), Digital Versatile Disk (DVD) usw.) sein. - Der Kommunikationschip
506 ermöglicht drahtlose Kommunikation für die Übertragung von Daten zum und vom Computergerät500 . Der Begriff „drahtlos“ und seine Ableitungen kann verwendet sein, um Schaltungen, Geräte, Systeme, Verfahren, Techniken, Kommunikationskanäle usw. zu beschreiben, die Daten unter Verwendung von modulierter elektromagnetischer Strahlung durch ein nicht festes Medium kommunizieren können. Der Begriff deutet nicht an, dass die verbundenen Geräte nicht irgendwelche Drähte enthalten, obwohl sie in einigen Ausführungsformen keine enthalten könnten. Kommunikationschip806 kann jegliche von einer Anzahl von drahtlosen Standards oder Protokollen implementieren, einschließlich, aber nicht beschränkt auf Wi-Fi (IEEE 802.11-Familie), WiMAX (IEEE 802.16-Familie), IEEE 802.20, Long Term Evolution (LTE), Ev-DO, HSPA+, HSDPA+, HSUPA+, EDGE, GSM, GPRS, CDMA, TDMA, DECT, Bluetooth, Ableitungen davon sowie andere drahtlose Protokolle, die als 3G, 4G, 5G und darüber hinaus bezeichnet werden. Computergerät500 kann eine Vielzahl von Kommunikationschips506 enthalten. Zum Beispiel kann ein erster Kommunikationschip506 drahtloser Kommunikation mit kürzeren Reichweite zugeordnet sein, z. B. Wi-Fi und Bluetooth, und ein zweiter Kommunikationschip806 kann drahtloser Kommunikation mit längerer Reichweite zugeordnet sein, wie GPS, EDGE, GPRS, CDMA, WiMAX, LTE, Ev-DO und andere. - Der Prozessor
504 des Computergerät500 beinhaltet einen integrierten Schaltungschip, der im Prozessor504 verpackt ist. In einigen Implementierungen wird das Gehäuse gemäß Ausführungsformen gebildet, die oben beschrieben sind. Der Begriff „Prozessor“ kann auf jedes Bauelement oder jeden Teil eines Bauelementes verweisen, der elektronische Daten von Registern und/oder Speicher verarbeitet, um diese elektronischen Daten in andere elektronische Daten zu transformieren, die in Registern und/oder Speicher gespeichert werden können. - Der Kommunikationschip
506 beinhaltet außerdem einen integrierten Schaltungschip, der im Kommunikationschip506 verpackt ist. In weiteren Implementierungen kann eine andere Komponente, die in Computergerät500 untergebracht ist, ein Mikroelektronikgehäuse umfassen. - In verschiedenen Implementierungen kann das Computergerät
500 ein Laptop, ein Netbook, ein Notebook, ein Ultrabook, ein Smartphone, ein Tablet, ein Personal Digital Assistant (PDA), ein ultramobiler PC, ein Mobiltelefon, ein Desktop-Computer, Ein Server, ein Drucker, ein Scanner, ein Monitor, eine Settop-Box, eine Steuereinheit von Unterhaltungsgeräten, eine Digitalkamera, ein tragbarer Music-Player oder ein digitaler Videorecorder sein. In weiteren Implementierungen kann das Computergerät500 jedes andere elektronische Gerät sein, das Daten verarbeitet. - In der obigen Beschreibung sind zum Zweck der Erklärung zahlreiche spezifische Einzelheiten angeführt worden, um ein gründliches Verständnis der Ausführungsformen bereitzustellen. Für den Fachmann ist es jedoch offensichtlich, dass die eine oder mehrere Ausführungsformen auch ohne manche dieser spezifischen Details realisierbar ist/sind. Die bestimmten Ausführungsformen sollen die Erfindung nicht einschränken, sondern sie veranschaulichen. Der Umfang der Erfindung wird nicht durch die oben aufgeführten spezifischen Beispiele eingegrenzt, sondern nur durch die nachfolgenden Ansprüche. In anderen Fällen wurden bekannte Strukturen, Geräte und Operationen in Blockschaltbildform oder ohne Details dargestellt, um das Verständnis der Beschreibung nicht zu erschweren. Wo es zweckmäßig erschien, wurden Bezugszeichen oder die Endteile von Bezugszeichen in den Abbildungen wiederholt, um entsprechende oder analoge Elemente zu kennzeichnen, die optional gleiche Eigenschaften haben können.
- Es sollte auch im Auge behalten werden, dass jeder Verweis auf „eine Ausführungsform“, „eine oder mehrere Ausführungsformen“ oder „verschiedene Ausführungsformen“ in dieser Spezifikation zum Beispiel bedeutet, dass ein bestimmtes Merkmal in der Umsetzung der Ausführungsformen der Erfindung enthalten sein kann. Gleichermaßen sollte es offensichtlich sein, dass in der Beschreibung verschiedene Merkmale manchmal bei einer einzelnen Ausführungsform, Abbildung oder Beschreibung davon zum Zweck der Vereinfachung der Offenlegung und zum Erreichen eines besseren Verständnisses verschiedener erfinderischer Aspekte in Gruppen zusammengefasst sind. Diese Methode der Offenlegung soll jedoch nicht als eine Absicht ausgelegt werden, dass die Erfindung mehr Merkmale erfordert als in den einzelnen Ansprüchen ausdrücklich angeführt sind. Wie die folgenden Ansprüche widerspiegeln, können die erfinderischen Aspekte vielmehr auch aus weniger als allen Merkmalen einer einzelnen offengelegten Ausführungsform bestehen. Somit sind die auf die ausführliche Beschreibung folgenden Ansprüche ausdrücklich ein fester Bestandteil dieser ausführlichen Beschreibung, wobei jeder Anspruch selbstständig als separate Ausführungsform dieser Erfindung steht.
- ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Nicht-Patentliteratur
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- JEDEC-Standard JESD229, „Wide I/O Single Data Rate“, Dezember 2011 [0003]
- JEDEC-Standard JESD229 [0014]
- IEEE 802.11-Familie [0026]
- IEEE 802.16-Familie [0026]
- IEEE 802.20 [0026]
Claims (15)
- Verfahren, das Folgendes umfasst: Bilden eines Kontaktplatten-Feldes auf einem integrierten Schaltungsträger, wobei das Kontaktplatten-Feld eine erste Vielzahl von Kontaktplatten enthält, die auf einem ersten Bereich des Trägers angeordnet sind, und eine zweite Vielzahl von Kontaktplatten, die auf einem zweiten Bereich des Trägers angeordnet sind, wobei sich ein zugänglicher Bereich der ersten Vielzahl von Kontaktplatten von einem zugänglichen Bereich der zweiten Vielzahl von Kontaktplatten unterscheidet; und Aufschweißen von Lötmetall auf den zugänglichen Bereich der Kontaktplatten.
- Verfahren nach Anspruch 1, wobei der zugängliche Bereich der Kontaktplatten durch einen Bereich der Kontaktplatten bestimmt ist.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 2, wobei das Aufschweißen von Lötmetall das Aufschweißen einer gleichen Menge von Lötmetall auf jede erste Vielzahl von Kontaktplatten und die zweite Vielzahl von Kontaktplatten beinhaltet.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 1–3, wobei das Aufschweißen von Lötmetall das Aufschweißen einer ersten Lötmetallmenge auf jede erste Vielzahl von Kontaktplatten und eine unterschiedliche zweite Lötmetallmenge auf jede zweite Vielzahl von Kontaktplatten beinhaltet.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 1–4, wobei sich in dem integrierten Schaltungsträger ein erster integrierter Schaltungsträger befindet und das Verfahren weiterhin das Verkoppeln eines zweiten integrierten Schaltungsträgers mit den ersten integrierten Schaltungsträger durch das aufgeschweißte Lötmetall beinhaltet.
- Die-to-die-Stack, gebildet durch das Verfahren eines der Ansprüche 1–5.
- Apparat, der Folgendes beinhaltet: einen integrierten Schaltungsträger, der einen Körper mit einer nicht ebenen Form enthält und eine Fläche, die eine erste Vielzahl von Kontaktplatten enthält, die auf einem ersten Bereich des Trägers angeordnet sind und eine zweite Vielzahl von Kontaktplatten, die auf einem zweiten Bereich des Trägers angeordnet sind, wobei ein zugänglicher Bereich jeder ersten Vielzahl von Kontaktplatten sich von einem zugänglichen Bereich jeder zweiten Vielzahl von Kontaktplatten unterscheidet und der erste Bereich auf einem Höhenmaß bezüglich planar angeordnet ist, der sich von einem Höhenmaß bezüglich planar unterscheidet, auf dem der zweite Bereich angeordnet ist.
- System nach Anspruch 7, wobei der zugängliche Bereich der Kontaktplatten durch einen Bereich der Kontaktplatten bestimmt ist.
- System nach einem der Ansprüche 7 und 8, wobei eine Lötmetallmenge auf jeder ersten Vielzahl von Kontaktplatten der Lötmetallmenge auf jeder zweiten Vielzahl von Kontaktplatten entspricht.
- System nach einem der Ansprüche 7–9, wobei eine Lötmetallmenge auf jeder ersten Vielzahl von Kontaktplatten sich von der Lötmetallmenge auf jeder zweiten Vielzahl von Kontaktplatten unterscheidet.
- System nach einem der Ansprüche 7–10, wobei der integrierte Schaltungsträger einen ersten integrierten Schaltungsträger enthält und das System weiterhin einen zweiten integrierten Schaltungsträger mit einer Vielzahl von Kontaktstellen enthält, die jeweiligen der Vielzahl von Kontaktpunkten sind durch eine Menge an Lötmittel mit dem zugänglichen Bereich derjenigen der ersten Vielzahl von Kontaktplatten und der zweiten Vielzahl von Kontaktplatten verkoppelt, so dass der erste integrierte Schaltungsträger und der zweite integrierte Schaltungsträger in einer Fläche-an-Fläche-Ausrichtung angeordnet sind.
- System nach Anspruch 11, wobei der zweite Bereich des ersten integrierten Trägers sich in einem Abstand zum zweiten integrierten Schaltungsträger befindet, der größer als ein Abstand zwischen dem ersten Bereich des ersten integrierten Trägers und dem zweiten integrierten Schaltungsträger ist.
- System nach Anspruch 11, das weiterhin einen Baugruppenträger beinhaltet, wobei der erste integrierte Schaltungsträger mit dem Baugruppenträger verkoppelt ist.
- System, das Folgendes beinhaltet: einen ersten integrierten Schaltungsträger, der eine erste Vielzahl von Kontaktplatten enthält, die auf einem ersten Bereich des Trägers angeordnet sind und eine zweite Vielzahl von Kontaktplatten, die auf einem zweiten Bereich des Trägers angeordnet sind, wobei ein zugänglicher Bereich jeder ersten Vielzahl von Kontaktplatten sich von einem zugänglichen Bereich jeder zweiten Vielzahl von Kontaktplatten unterscheidet; und einen zweiten integrierten Schaltungsträger mit einer Vielzahl von Kontaktpunkten, die jeweiligen der Vielzahl von Kontaktpunkten sind durch eine Menge an Lötmittel mit dem zugänglichen Bereich derjenigen der ersten Vielzahl von Kontaktplatten und der zweiten Vielzahl von Kontaktplatten verkoppelt, so dass der erste integrierte Schaltungsträger und der zweite integrierte Schaltungsträger in einer Fläche-an-Fläche-Ausrichtung angeordnet sind.
- System nach Anspruch 14, das weiterhin einen Baugruppenträger beinhaltet, wobei der erste integrierte Schaltungsträger mit dem Baugruppenträger verkoppelt ist.
Applications Claiming Priority (2)
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---|---|---|---|
US13/930,889 | 2013-06-28 | ||
US13/930,889 US8970051B2 (en) | 2013-06-28 | 2013-06-28 | Solution to deal with die warpage during 3D die-to-die stacking |
Publications (1)
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