CN1590006B - 激光加工装置及激光加工方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种可减小占地面积和提高工作效率的激光加工装置及使用该装置的激光加工方法。该装置包括：具有多个激光照射部以及工件安置部的体部、工件供给储料器和工件排出储料器。还包括具有可安装/拆卸工件的与照射部相同数目的工件保持台并可将该保持台沿垂直及水平方向移动的供给侧移载装置，和具有可安装/拆卸工件的与照射部相同数目的工件保持台并可将该保持台沿垂直及水平方向移动的排出侧移载装置。供给侧装置使多个供给侧工件保持台依次由供给储料器吸附工件、将该供给侧保持台移动至安置部、以将多个工件安置在该安置部上。排出侧装置使排出侧工件保持台吸附安置部上加工后的工件以移动至排出储料器，并将其依次排出至排出储料器。

Description

激光加工装置及激光加工方法
技术领域
本发明涉及一种包括多个激光照射部和配置成与该激光照射部相对的工件安置台的激光加工装置，以及使用该激光加工装置的激光加工方法。
背景技术
如日本专利申请特开2001-139170所公开的传统的激光加工装置具有一板状工件供给装置，该板状工件供给装置包括以下构件：将板状工件从第1工件安置部移载到第2工件安置部的工件移载构件；用于检测是否有一件工件安置在第2工件安置部上的工件厚度检测构件；以及当由该工件厚度检测构件检测出该第2工件安置部上安置有多件工件时，控制该工件移载构件以将多余工件返回至第1工件安置部直到该第2工件安置部上只剩下一件工件时的工件移载控制构件。
但是，当激光加工装置包括多个工件安置部时，逐件搬送/移载工件将使得搬送时间变长并降低加工效率。
此外，尽管当提供与第1工件安置部相同数目的第2工件安置部、并同时从多个工件安置部取出工件时，可以缩短搬送时间，但是会使得激光加工装置的占地面积增大而不够实用。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够解决上述问题、减小占地面积、并且可以提高工作效率的激光加工装置及激光加工方法。
根据本发明的激光加工装置包括：
具有沿水平的单轴方向并列配置的多个激光照射部和并列配置成与该激光照射部相对的工件安置部的体部；
用于供给工件的供给储料器；
用于排放工件的排出储料器；
具有可安装/拆卸工件的与上述激光照射部相同数目的工件保持构件、并可以使所述工件保持构件沿垂直及水平方向移动的供给侧移载装置；和
具有可安装/拆卸工件的与上述激光照射部相同数目的工件保持构件、并可以使所述工件保持构件沿垂直及水平方向移动的排出侧移载装置，
其中：所述供给储料器和所述供给侧移载装置配置在所述工件安置部的所述轴方向的一侧，而所述排出储料器和所述排出侧移载装置配置在其另一侧。
一种根据本发明的激光加工方法，包括：
将多个供给侧工件保持构件沿垂直以及水平方向移动、以从一个供给储料器由所述多个工件保持构件分别吸附并保持工件的工件保持工序；
将所述供给侧工件保持构件移动至设置成与其数目和该工件保持构件的数目相同的激光照射部相对地配置的工件安置部、解除所述工件保持构件(的保持)以将由所述多个工件保持构件保持的工件放置在所述工件安置部上的工件安置工序；和
利用所述多个激光照射部对放置在所述工件安置部上的工件进行加工之后、将加工完成后的多个工件分别吸附/保持在(多个)排出侧工件保持构件上、沿垂直以及水平方向移动所述工件保持构件并解除各工件保持构件(的保持)、从而将由所述排出侧工件保持构件保持的多个工件排出至一个排出储料器上的工件排出工序。
此时，在对由所述工件安置部保持的工件进行加工期间，可由所述供给侧移载装置的所述工件保持构件保持别的工件，并在加工完成时，可由所述排出侧移载装置的所述工件保持构件中的各个保持所述工件安置部上的加工完成的工件。并通过工件保持构件将加工完成的工件从所述工件安置部上取下之后，可通过所述供给侧移载装置将未(完成)加工的工件安置在所述工件安置部上而开始加工，并将由所述排出侧移载装置的所述工件保持构件保持的加工完成的工件移载至所述排出储料器。
优选地，本发明的激光加工装置还包括可用于安置工件的工件安置台，该工件安置台配置在所述供给侧移载装置和所述排出侧移载装置中的至少其中之一上。从而在由所述工件保持构件保持工件时可由所述工件安置台暂时保持该工件。
此外，所述供给侧移载装置上配置的所述工件安置台可构成为沿一单轴方向移动，并且设置可用于安置插纸的插纸安置台，使得该插纸安置台配置在所述可以自由移动的工件安置台和所述供给储料器之间垂直方向上的中间位置。
此外，所述插纸安置台可构成为沿一单轴方向移动。
此外，配置在所述排出侧移载装置上的所述工件安置台也可构成为沿一单轴方向移动。
此外，它可设置有：将放置在未完成加工的工件上的插纸从该工件上除去的插纸除去搬出装置、和向加工完成的工件上放置插纸的插纸配置装置，所述插纸除去搬出装置配置在所述供给储料器侧，而所述插纸配置装置配置在所述排出储料器侧。
因为在工件加工中保持由供给侧的工件保持构件接着要加工的工件、并通过一次搬送可以将多个工件同时地搬入或者搬出，所以本发明的装置可以提高加工效率。此外，由于对于多个工件安置部(工作台)可分别提供1个供给储料器和排出储料器，所以可以减小装置的设置面积。
本发明的特有性能以及其它目的、用途及其优点可以通过下面详细的说明以及附图而变得明白，在图中同一符号用于表示同一或相对应的部分。
附图说明
图1为示出根据本发明的第一实施例的激光加工装置的全体的正视图；
图2为示出该激光加工装置的体部的正视图；
图3为示出根据本发明的第二实施例的激光加工装置的全体的正视图；
图4为示出根据本发明的第三实施例的激光加工装置的全体的平面图；
图5为图4中沿箭头K方向的视图。
具体实施方式
下面通过实施例及其附图对本发明的实施方式进行说明。
(第一实施例)
图1为示出根据本发明的第一实施例的激光加工装置的全体的正视图，图2为示出该激光加工装置的体部的正视图。如图1所示，本发明的该激光加工装置由激光加工装置体部A、搬入装置B以及搬出装置C构成。
首先，参照图1及图2对激光加工装置体部A的结构进行说明。在该激光加工装置体部A的床身1上配置有XY工作台2。该XY工作台2可以在该床身1上沿X、Y方向水平移动。在该XY工作台2上沿Y轴方向以一定间隔L固定有多个(图示为两个)工作台(工件安置部)3。在该工作台3的表面上形成有多个与其内部的中空部相连接的孔。该中空部与图中省略而未示出的真空源相连接以使得工作台3可用于吸附或者释放工件4。
在床身1上固定有门形的柱体5。在该柱体5上安置有激光振荡器6。在该激光振荡器6的光轴上设置有将该激光光束的光程切换到第1光程30a或切换到第2光程30b的声光调制器7。在第1光路30a上设置有由镜8a1、8a2以及由一对光扫描器9a以及fθ透镜10a构成的激光照射部。此外，在第2光路30b上设置有由镜8b1、8b2以及由一对光扫描器9b以及fθ透镜10b构成的激光照射部。
然后说明加工工件时该激光加工装置体部A的操作。由激光振荡器6输出的激光光束经由声光调制器7切换光路/光程，从而经过镜8a1、8a2或者镜8b1、8b2入射至所述一对光扫描器9a或者9b。因此，分别沿XY方向定位该光束，而通过fθ透镜10a或者fθ透镜10b分别对工件4进行加工。即，可以在将工件4安置在单个工作台3上时对工件4进行加工。
如图1所示，搬入装置(供给侧移载装置)B的滑动件12可以通过导轨11沿图示的水平/左右Y方向往复移动。在该滑动件12的下部固定有可以沿图示的垂直/上下方向伸缩的升降器13的一端。在该升降器13的另一端(边缘)上固定有板14。两个工件保持台(工件保持构件)16a、16b通过导杆15而可以沿图示的上下方向移动地被支持在该板14上。工件保持台16a、16b沿Y轴方向以一定距离L而隔开配置。在工件保持台16a、16b的下表面形成有与其中空部相连接的多个孔。该中空部与图中省略而未示出的真空源相连接而使得工件保持台16a和16b可用于吸附或者释放工件4。在该工件保持台16a与板14之间以及该工件保持台16b与板14之间分别压缩/收缩地设置有弹簧17，所述弹簧17将工件保持台16a、16b朝远离板14的方向施压，在所述两个工件保持台中的任一个因与工件承载/接收台18接触而被限制移动时，不妨碍板14的移动而使得可以通过板14继续进行另一工件保持台的移动。
滑动件12的待机位置为图中实线所示的位置(移动范围的右端)，图中虚线所示的位置为下面所述它的供给位置。当滑动件12位于供给位置时，工件保持台16a、16b分别与位于工件交换/交付位置的XY工作台2上的工作台3相对。而且，当滑动件12位于待机位置时，板14位于上升端。供给储料器20在滑动件12位于待机位置时设置成与工件保持台16a相对。在该供给储料器20的上面叠置有工件4。
导轨19配置成在垂直方向上由供给储料器20和工件保持台16a、16b所夹置.工件接收台(工件安置台)18在该导轨19上可以沿水平Y方向移动.而且，工件接收台18位于其移动范围的左端时为待机位置，此时，工件接收台18与当滑动件12位于待机位置时的(左侧的)工件保持台16b相对.此外，当工件接收台18位于其移动范围的右端(接收位置)时，工件接收台18与当滑动件12位于其待机位置时的(右侧的)工件保持台16a相对.
搬出装置(排出侧移载装置)C的滑动件52通过导轨51可以沿图示的水平Y方向自由移动。在该滑动件52的下部固定有可以沿图示的垂直/上下方向伸/缩的升降器53的一端。在该升降器53的另一端(边缘)上固定有板54。两个工件保持台(工件保持构件)56a、56b通过导杆55而可以沿图示的上下方向移动地被支持在该板54上。工件保持台56a、56b沿Y轴方向以一定距离L而隔开配置。在工件保持台56a、56b的下面形成有与其中空部相连接的多个孔。该中空部与图中省略而未示出的真空源相连接而使得工件保持台56a和56b可用于吸附或者释放工件4。在该工件保持台56a与板54之间以及该工件保持台56b与板54之间分别压缩地设置有弹簧57，所述弹簧57将工件保持台56a、56b朝远离板54的方向施压，在所述两个工件保持台中的任一个因与工件承载台接触而被限制移动时，不妨碍板54的移动而使得可以通过板54继续进行另一工件保持台的移动。
滑动件52的待机位置为图中实线所示的位置(移动范围的左端)。因此，当滑动件52位于移动的右端的排出位置时(省略图示)，工件保持台56a、56b分别与位于工件交换位置的XY工作台2上的工作台3相对。而且，当滑动件52位于待机位置时，板54位于上升端。排出储料器60设置成在滑动件52位于待机位置时与工件保持台56a相对。该排出储料器60的上面形成为平坦的表面从而可安置加工完成的工件4。
导轨59配置成在垂直/高度方向上排出储料器60和工件保持台56a、56b之间的位置。工件接收台(工件安置台)58在该导轨59上可以沿水平Y方向移动。而且，工件接收台58位于其移动范围的右端时为待机位置，此时，工件接收台58与当滑动件52位于待机位置时的工件保持台56b相对。此外，当工件接收台58位于其移动范围的左端(排出位置)时，工件接收台58与当滑动件52位于待机位置时的工件保持台56a相对。而且，激光加工装置体部A、搬入装置B以及搬出装置C、以及在下述的第三实施例中所述的插纸(中间层)搬出装置D以及插纸搬入装置E等的操作皆分别由控制部50进行控制。
下面说明该实施例的工件搬送步骤/顺序。而且，仅将工件4安置于供给储料器20上，并且滑动件12、52以及工件接收台18、58位于待机位置。
步骤1：使板14下降以使得工件保持台16a的下面与供给储料器20上的工件4相接触后，将工件4吸附在工件保持台16a上。这时，虽然另一工件保持台16b与工件接收台18相接触，但是由于弹簧17的压缩作用而可以继续板14的动作。
步骤2：使板14上升至待机位置。
步骤3：将工件接收台18移动至接收位置(其移动范围的右端)。
步骤4：使板14下降以使得由工件保持台16a保持的工件4与工件接收台18相接触后，解除工件保持台16a的吸附作用而将工件4安置在工件接收台18上。
步骤5：在使板14上升并移动工件接收台18至其待机位置。
步骤6：使板14下降直到工件保持台16b的下面与工件接收台18上的工件4接触以及工件保持台16a的下面与供给储料器20上的工件4接触，以将工件4吸附在工件保持台16a、16b上。
步骤7：使板14上升。
上述步骤1-7所进行的操作将称为“工件保持处理/工序”。
步骤8：将XY工作台2移动至工件交换位置(供给侧)(在图1向前方移动)。
步骤9：移动滑动件12以使得工件保持台16a、16b分别与工作台3相对。
步骤10：使板14下降，以使得由工件保持台16a、16b保持的工件4与工作台3相接触。
步骤11：接通图中省略而未示出的真空源而使得工件4吸附在工作台3上，并解除工件保持台16a、16b的吸附作用。
步骤12：使板14上升并移动滑动件12至其待机位置。
上述步骤9-步骤12所进行的操作将称为“工件安装处理”。
步骤13：将XY工作台2移动至加工位置(图1所示的后方)，开始对工件4进行加工，并进行工作保持处理(上述步骤1-步骤7)，以将供给储料器20上的工件4保持至工件保持台16a、16b上。
步骤14：加工完成后，将XY工作台2移动至工件交换位置(排出侧)。
步骤15：将位于待机位置的滑动件52移动至排出位置。
步骤16：使板54下降，使得工件保持台56a、56b的下面与工作台3上(加工完成)的工件4相接触。
步骤17：在将工件4吸附在工件保持台56a、56b上后，停止工作台3的吸附作用。
步骤18：在使板54上升后，移动滑动件52至待机位置。
上述步骤14-步骤18所进行的操作将称为“工件搬出处理(工件排出处理的一部分)”。
步骤19：通过工件安装/安置处理(步骤9-步骤12)向工作台3供给新的工件4而开始进行加工。搬入装置B通过工件保持处理而将供给储料器20上的工件4由工件保持台16a、16b保持。
另一方面，搬出装置C通过以下所示的步骤20-步骤25将由工件保持台56a、56b保持的工件4安置在排出储料器60上。
步骤20：使板54下降，以使得由工件保持台56a保持的工件4与排出储料器60接触、而由工件保持台56b保持的工件4与工件接收台58接触，此后，切断工件保持台56a、56b的吸附作用而将工件4分别安置在排出储料器60以及工件接收台58上。这时，虽然另一工件保持台56b与工件接收台58接触，但是由于弹簧57的压缩作用而不会妨碍板54的动作。因此，即使是工件接收台58与排出储料器60的高度有所不同，也可以使工件保持台56a所保持的工件4与排出储料器60接触并置于其上，并且使工件保持台56b所保持的工件4与工件接收台58接触并置于其上。
步骤21：使板54上升至其待机位置。
步骤22：移动工件接收台58至排出位置(其移动范围的左端)。
步骤23：使板54下降，在通过工件保持台56a吸附安置在工件接收台58上的工件4后，使板54上升。
步骤24：移动工件接收台58至待机位置。
步骤25：使板54下降、使由工件保持台56a保持的工件4与排出储料器60上的最上部的工件4接触以后，切断工件保持台56a的吸附作用。然后使板54上升并等待直到加工的完成。
上述步骤20-步骤25所进行的操作将称为“工件排出处理/工序”。而且，尽管在本实施例中使得工件接收台18、58可以沿水平方向移动，也可以将工件接收台18固定在其待机位置上。在固定工件接收台18的情况下，在上述步骤3中可以代替移动该工件接收台18而移动滑动件12、以使得工件保持台16a与工件接收台18相对。同样地，也可以将工件接收台58固定在其待机位置上。
(第二实施例)
另外，为发防止对工件的表面造成损伤，有时在工件与工件之间插置质地较软的薄片例如纸或者树脂等(下面称为插纸)而将工件叠置。下面，说明在该情况下适用的激光加工装置。图3为示出根据本发明的第二实施例的激光加工装置的全体的正视图，其中与图1、2相同或相应的部件标以相同的符号而省略对其说明。
在该图3中，在导轨19与供给储料器20之间的垂直方向/高度上设置有导轨62。插纸接收台(插纸安置台)61在该导轨62上可以水平地沿Y方向移动。与工件接收台18相似，该插纸接收台61在位于其移动范围的左端时为待机位置，此时，插纸接收台61通过位于中间的工件接收台18与当滑动件12位于其待机位置时(左侧的)工件保持台16b相对。此外，当位于其移动范围的右端的接收位置时，该插纸接受台61与当滑动件12位于其待机位置时的(右侧的)工件保持台16a相对。
然后说明本实施例的工件的搬送步骤。假定在供给储料器20上，工件4与插纸4s交替设置，即在工件4之间插置有插纸4s。此外，还假定滑动件12、52、工件接收台18、58以及插纸接收台61分别位于其待机位置。供给储料器20的最上部安置有工件4。而且，为了与上述第一实施例的动作区分开，添加了步骤标号(G)。
步骤G1：使板14下降并且工件保持台16a的下面与供给储料器20上的待加工的工件4相接触后，将工件4吸附在工件保持台16a上。
步骤G2：使板14上升至其待机位置。
步骤G3：将工件接收台18移动至接收位置(其移动范围的右端)。
步骤G4：使板14下降并且由工件保持台16a保持的工件4与工件接收台18相接触后，解除工件保持台16a的吸附作用而将工件4安置在工件接收台18上。
步骤G5：在使板14上升后移动工件接收台18至其待机位置。
步骤G6：使板14下降直到工件保持台16a的下面与供给储料器20上的插纸4s接触以后，将插纸4s吸附在工件保持台16a上。
步骤G7：使板14上升至其待机位置。
步骤G8：将插纸接收台61移动至接收位置。
步骤G9：使板14下降，使得在由工件保持台16a保持的插纸4s与插纸接收台61相接触之后，解除工件保持台16a的吸附作用而将插纸4s安置在插纸接收台61上。此时，虽然工件保持台16b也一起下降而与工件接收台18上的工件接触，但是在该工件保持台16b的吸附作用被切断的状态下，由于弹簧17的作用而不妨碍另一工件保持台16a的动作。
步骤G10：在使板14上升后，移动插纸接收台61至其待机位置。而且，通过上述步骤G6-步骤G10，相当于完成在没有插纸4s的情况下的步骤5时的状态。
步骤G11：使板14下降直到工件保持台16b的下面与工件接收台18上的工件4接触以及工件保持台16a的下面与供给储料器20上的工件4接触以后，将工件4吸附在工件保持台16a、16b上.这时在该两工件保持台16a、16b之间的移动量的差如上所述由弹簧17所吸收.而且以下也同理.
步骤G12：使板14上升。
上述步骤G1-步骤G12所进行的操作称为“具有插纸时的工件保持处理”。
步骤G13：将XY工作台2移动至工件交换位置(在图3中向前方移动)。
步骤G14：进行工件安装处理(第一实施例中的步骤9-步骤12)。
步骤G15：在开始对工件进行加工时，搬入装置B通过下述步骤G16-步骤G20而将插纸4s保持在工件保持台16a、16b上。
步骤G16：使板14下降，使得工件保持台16a的下面与供给储料器20上的插纸4s接触以后，将插纸4s吸附在工件保持台16a上。
步骤G17：使板14上升至其待机位置。
步骤G18：将工件接收台18移动至接收位置。
步骤G19：使板14下降直到工件保持台16b的下面与插纸接收台61上的插纸4s相接触后，将插纸4s吸附在工件保持台16b上。而且在此时，工件保持台16a仍继续吸附着插纸4s。
步骤G20：使板14上升。
通过上述步骤G16-步骤G20而将插纸由工件保持台16a、16b保持。上述步骤G16-步骤G20将称为“插纸保持处理”。
步骤G21：加工完成后，将XY工作台2移动至工件交换位置。
步骤G22：排出装置C在进行工件搬出处理(第一实施例的步骤14-步骤18)后进行下述步骤G24-步骤G39的处理。
步骤G23：搬入装置B确认步骤G22是否已结束并进行了工件安装处理(在该情况下，插纸4s放置在工作台3上)后，进行具有插纸的工件保持处理。而且，在工件为插纸时的工件安装处理中，对于通过上述插纸保持工序而由工件保持台16a、16b保持的插纸4s，通过由滑动件12将板14移动至(图3的)虚线位置(其移动范围的左端)，将工件保持台16a、16b下降至交换位置处的工作台3上，以使插纸4s接触工作台3并切断吸附作用，从而将插纸4s安置在该工作台3上。
在搬入装置B侧，等待下述步骤G26的处理结束后而进行工件安装处理。当该工件安装处理完成时开始进行加工。
步骤G24：使板54下降，使得由工件保持台56a保持的加工完成的工件4与排出储料器60接触、而由工件保持台56b保持的工件4与工件接收台58接触以后，切断工件保持台56a、56b的吸附作用，而将工件4分别安置在排出储料器60以及工件接收台58上。
步骤G25：使板54上升。
步骤G26：搬出装置C等待步骤G23的处理结束而进行工件搬出处理。即，搬出装置C通过导轨51使板54移动至其移动范围的左端并下降使得工件保持台56a、56b吸附插纸4s，然后将板54移动至其待机位置。其后，搬出装置C进行如下所述的步骤G27-步骤G39所构成的具有插纸的工件排出处理。
步骤G27：使板54下降、使得由工件保持台56a保持的插纸4s与排出储料器60接触以后，切断工件保持台56a的吸附作用，而将插纸4s安置在排出储料器60上.而此时，工件保持台56b持续保持着插纸4s.
步骤G28：使板54上升。
步骤G29：使工件接收台58移动至其排出位置。
步骤G30：使板54下降，在通过工件保持台56a吸附工件接收台58上的工件4后，使板54上升。
步骤G31：移动工件接收台58至其待机位置。
步骤G32：使板54下降、以将由工件保持台56a保持的工件4安置在排出储料器60上、并将由工件保持台56b保持的插纸4s安置在工件接收台58上。
步骤G33：使板54上升。
步骤G34：移动工件接收台58至待机位置。
步骤G35：使板54下降、以将工件接收台58上的插纸4s吸附在工件保持台56a上。
步骤G36：使板54上升。
步骤G37：移动工件接收台58至其待机位置。
步骤G38：使板54下降、以将由工件保持台56a保持的插纸4s放置在排出储料器60上的工件4上。
步骤G39：使板54上升等待直到加工的完成。
优选地，在上述第一实施例和第二实施例中的任一情况下，在工件供给储料器20和工件排出储料器60上设置升降装置，以构成为使得最上部的工件4的高度与工件接收台18或者工件接收台58上所安置的工件4(或者插纸4s)处于同一高度，从而可以可靠而迅速地进行将工件4吸附在工件保持台16a、16b、56a、56b上或放置(从其脱离)的操作。
(第三实施例)
图4为示出根据本发明的第三实施例的激光加工装置的结构的平面图。图5为图4的沿箭头K方向的视图，其中，与图1、2相同或相应的部件标以相同的符号而省略对其说明。而且，本实施例的装置的正视图与图1所示实质上相同。
在搬入装置(供给侧移载装置)B的图1中纸面朝后侧处设置有插纸搬出装置(插纸除去搬出装置)D，而在搬出装置(排出侧移载装置)C的图1中纸面朝后侧处设置有插纸搬入装置(插纸配置装置)E(参照图4)。在此，插纸搬出装置D用于保持安置在供给储料器20上的工件4上的插纸4s并安置插纸于排出台90上。而插纸搬入装置E用于保持安置在插纸供给台91上的插纸4s并将其安置于排出储料器60上的工件4上。因为插纸搬出装置D与插纸搬入装置D的结构相同，所以为插纸搬出装置D添加下标a字，而为插纸搬入装置E添加下标b字，下面就插纸搬入装置E进行说明。
如图5所示，插纸搬入装置E的滑动件82b沿该图的X方向水平地延伸的导轨81b支承而可以往复移动。在该滑动件82b的下部固定有可以沿图示的垂直方向伸缩的升降器83b的一端。在该升降器83b的另一端(边缘)上固定有板84b。工件保持台(工件保持构件)86b通过导杆85b而可以沿图示的垂直方向移动地被支持在该板84b上。在工件保持台86b的下面形成有与其中空部相连接的多个孔。该中空部与图中省略而未示出的真空源相连接。在该工件保持台86b与板84b之间压缩地设置有弹簧87b，所述弹簧87b将工件保持台86b朝远离板84b的方向施压。
滑动件82b的待机位置为图中实线所示的位置，而图中双点划线所示的位置为插纸供给位置。在该插纸供给位置，工件保持台86b与排出储料器60相对，即，与位于待机位置的工件保持台56a相重合的位置。而且，当滑动件82b位于待机位置时，板84b位于上升端。
在与位于待机位置的滑动件82b相对的位置上设置有插纸供给台91。在该插纸供给台91上叠置有插纸4s。
下面就插纸搬入装置E的操作进行说明。(通过)该插纸搬入装置E使板84b下降，从而使工件保持台86b的下面与叠置在插纸供给台91上的插纸4s接触以后，使工件保持台86b吸附插纸4s，而在将板84b上升至待机位置的状态下待机。
当接收来自控制部50的操作指令时，插纸搬入装置E移动滑动件82b使得工件保持台86b与排出储料器60相对。然后，使板84b下降、从而将由工件保持台86b吸附保持的插纸4s与承载在排出储料器60上的工件4接触以后，解除/释放吸附作用而将插纸4s安置在工件4上。其后，使板84b上升而返回至其待机位置。从而通过上述步骤使下一插纸4s保持在工件保持台86b上而待机。
如上所述，因为处于插纸供给位置的工件保持台86b与处于待机位置的工件保持台56a互相发生干涉，所以为了使得互相不发生干涉，而通过控制部50准确地控制滑动件82b与滑动件52。而插纸搬出装置D的操作与上述插纸搬入装置E的一样，由于该插纸搬入装置E的操作容易理解，所以省略对其进行说明。
下面参照图4和图5并结合图1对该实施例中的工件的搬送步骤进行说明。照用上述第一实施例的步骤并在追加的步骤号上附加符号a、b、c进行说明。假定将工件4仅安置在供给储料器20上，此外，滑动件12、52、82a、82b以及工件接收台18、58各处于其待机位置。
步骤1：使板14下降并且工件保持台16a的下面与供给储料器20上的待加工的工件4相接触后，使工件保持台16a吸附工件4。
步骤2：使板14上升至其待机位置。
步骤3：将工件接收台18移动至接收位置(其移动范围的右端)。
步骤4：使板14下降并且由工件保持台16a保持的工件4与工件接收台18相接触后，解除工件保持台16a的吸附作用而将工件4安置在工件接收台18上。
步骤5：在使板14上升并移动工件接收台18至其待机位置。
步骤5a：移动滑动件12，将工件保持台16a从与供给储料器20相对的位置上离开/拆下(dislocate)。
步骤5b：使插纸搬出装置D动作，将该供给储料器20上的插纸4s除去，并将该被除去的插纸4s安置在插纸排出台90上。
步骤5c：使滑动件12返回至其待机位置。
步骤6：使板14下降直到工件保持台16b的下面与工件接收台18上的工件4接触以及工件保持台16a的下面与供给储料器20上的工件4接触以后，使工件保持台16a、16b吸附工件4。
步骤7：使板14上升。
上述步骤1-步骤7以及步骤5a-5c所进行的动作称为“第2工件保持处理”。
步骤8：将XY工作台2移动至工件交换位置(在图1中朝前方移动)。
步骤9：移动滑动件12使得工件保持台16a、16b分别与工作台3相对。
步骤9a：操作插纸搬出装置D，而将该供给储料器20上的插纸4s通过吸附在工件保持台86a上而除去。
步骤10：使板14下降，使得由工件保持台16a、16b保持的工件4分别与工作台3相接触。
步骤11：在接通图中省略而未示出的真空源而使得工作台3吸附工件4之后，解除工件保持台16a、16b的吸附作用。
步骤12：使板14上升并移动滑动件12至其待机位置。
上述步骤9-步骤12以及步骤9a所进行的操作称为“第2工件安装处理”。
步骤13：开始对工件4进行加工，并进行第2工件保持处理(上述步骤1-步骤7以及步骤5a-5c)，以通过工件保持台16a、16b保持供给储料器20上的工件4。
步骤14：加工完成后，将XY工作台2移动至工件交换位置。
步骤15：将位于待机位置的滑动件52移动至排出位置。
步骤16：使板54下降，以使得工件保持台56a、56b的下面与工作台3上的工件4相接触。
步骤17：在通过工件保持台56a、56b吸附(加工完成的)工件4后，停止工作台3的吸附作用。
步骤18：在使板54上升后，移动滑动件52至其待机位置。
即，上述步骤15-步骤18所进行的“工件搬出处理”与第一实施例中的相同。
步骤19：通过第2工件安装处理向工作台3供给新的工件4而开始进行加工。搬入装置B通过第2工件保持步骤使工件保持台16a、16b保持供给储料器20上待加工的工件4。
另一方面，搬出装置C通过以下所示的步骤20-步骤25将由工件保持台56a、56b保持的加工完成的工件4安置在排出储料器60上。
步骤20：使板54下降，使得由工件保持台56a保持的工件4与排出储料器60接触、而由工件保持台56b保持的工件4与工件接收台58接触以后，切断工件保持台56a、56b的吸附作用，而将工件4分别安置在排出储料器60以及工件接收台58上。
步骤21：使板54上升至其待机位置。
步骤22：移动工件接收台58至排出位置(其移动范围的左端)。
步骤23：使板54下降，在通过工件保持台56a吸附安置在工件接收台58上(加工完成)的工件4后，使板54上升。
步骤24：移动工件接收台58至其待机位置。
步骤24a：移动滑动件52，将工件保持台56a从与排出储料器60相对的位置上离开。
步骤24b：操作插纸搬入装置E，将由该工件保持台86b保持的插纸4s安置在排出储料器60上的加工完成的工件上。
步骤24c：使滑动件52返回至其待机位置。
步骤25：使板54下降、由工件保持台56a保持的工件4与排出储料器60上的最上部的插纸4s接触以后，切断工件保持台56a的吸附作用.然后使板54上升等待直到加工的完成.
当然，当在安置在供给储料器20上的工件4之间不夹置有插纸4s的情况下，按与上述第一实施例中相同的步骤进行。虽然该第三实施例与第二实施例相比具有更多的装置并且占地面积也有所增大，但是有利的是可以大大地提高工作效率。而且通过将排出至插纸排出台90上的插纸4s移动至插纸供给台91上可以有效地利用插纸4s。
此外，在该第三实施例中，也与上述第一实施例相同，也可以将工件接收台18固定在其待机位置上。在固定工件接收台18的情况下，在上述步骤3中可以代替移动该工件接收台18而移动滑动件12、而使得工件保持台16a与工件接收台18相对。从而，在移动滑动件12期间可以操作插纸搬出装置D。同样地，也可以将工件接收台58固定在其待机位置上。
此外，在上述第一至第三实施例中的任一者中，当在各个供给储料器20、工件接收台18以及工作台3等上设置工件定位装置时，可以提高加工精度。此外，当在工件接收台18和工件接收台58上设置吸附构件时，可以有效地防止工件4(或者插纸4s)的位置偏移/不对齐。
此外，也可以代替声光调制器7而配置半透明反射镜或者分束镜，而使得可以对多个工件同时进行加工。
此外，尽管在上述实施例中通过升降器13而使得工件保持台16a、16b(同时)升降，但是也可以在该工件保持台16a和工件保持台16b上分别设置升降装置而使其分别升降。此外，虽然对具有2个工件台3的情况进行了说明，但是在工件台3有3个或以上时也可以以与上述相同的步骤进行工件的加工。此外，本发明也适用于在一个工作台上加工多个工件的情况。
以上说明了优选实施例，但是本技术领域的熟练人员可以对其进行各种变型，它们都将包含如下附加的发明权利要求项所限定的本发明的范围内。

Claims (13)

1.一种激光加工装置，它包括：
具有沿水平的单轴方向配置的多个激光照射部(10a，10b)和配置成与该激光照射部相对的工件安置部(3)的体部(A)；
用于供给工件(4)的供给储料器(20)；
用于排出工件(4)的排出储料器(60)；
具有可安装/拆卸工件(4)的与所述激光照射部相同数目的供给侧工件保持构件(16a，16b)、并可以使所述供给侧工件保持构件沿垂直及水平方向移动的供给侧移载装置(B)，所述供给侧移载装置(B)还具有可在其上安置工件的供给侧工件安置台(18)，以使得在由所述供给侧工件保持构件保持工件时暂时保持该工件；和
具有可安装/拆卸工件(4)的与所述激光照射部相同数目的排出侧工件保持构件(56a，56b)、并可以使所述排出侧工件保持构件沿垂直及水平方向移动的排出侧移载装置(C)，所述排出侧移载装置(C)还具有可在其上安置工件的排出侧工件安置台(58)，以使得在由所述排出侧工件保持构件保持工件时暂时保持该工件，
其中：所述供给储料器(20)和所述供给侧移载装置(B)配置在所述工件安置部(3)的所述轴方向的一侧，从而使得沿所述供给侧工件保持构件(16a，16b)从所述工件安置部(3)移开的方向位于移动端远侧的供给侧工件保持构件(16a)与所述供给储料器(20)相对；
所述排出储料器(60)和所述排出侧移载装置(C)配置在所述工件安置部(3)的所述轴方向的另一侧，从而使得沿所述排出侧工件保持构件(56a，56b)从所述工件安置部(3)移开的方向位于移动端远侧的排出侧工件保持构件(56a)与所述排出储料器(60)相对；并且
所述供给侧移载装置(B)往所述工件安置部(3)同时地供给其数目与所述激光照射部的数目相同的工件，而所述排出侧移载装置(C)从工件安置部(3)排出其数目与所述激光照射部的数目相同的工件。
2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：
在对由所述工件安置部(3)保持的未完成加工的工件(W)进行加工期间，由所述供给侧移载装置(B)的各个所述供给侧工件保持构件(16a，16b)保持另一未完成加工的工件(W)，和
在加工完成时，由所述排出侧移载装置(C)的所述排出侧工件保持构件(56a，56b)中的各个保持所述工件安置部上的加工完成的工件以将其从所述工件安置部(3)上取下，通过所述供给侧移载装置(B)将所述另一未完成加工的工件安置在所述工件安置部(3)上以开始加工，并将由所述排出侧移载装置(C)的所述排出侧工件保持构件(56a，56b)保持的工件移载至所述排出储料器(60)。
3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：所述供给侧工件安置台(18)设置成能够沿所述轴方向在所述供给储料器(20)与一位于所述工件安置部(3)和所述供给储料器(20)之间的位置之间移动。
4.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：所述供给侧工件安置台(18)和/或排出侧工件安置台(58)设置在位于所述工件安置部(3)和所述供给储料器(20)或所述排出储料器(60)之间的空间内。
5.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：所述供给侧移载装置(B)的供给侧工件安置台(18)构成为能够沿所述轴方向在供给储料器(20)与一位于工件安置部(3)和供给储料器(20)之间的位置之间移动；并且
可在其上放置插纸(4s)的插纸安置台(61)设置在所述供给侧移载装置(B)上，该插纸安置台设置在所述供给侧工件安置台(18)和所述供给储料器(20)之间的垂直方向上的中间位置，从而能够沿所述轴方向在供给储料器(20)与位于所述工件安置部(3)和所述供给储料器(20)之间的位置之间移动。
6.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：所述排出侧移载装置(C)的排出侧工件安置台(58)构成为能够沿所述轴方向在排出储料器(60)与一位于所述工件安置部(3)和所述排出储料器(60)之间的位置之间移动。
7.根据权利要求1所述的激光加工装置，它还包括：
用于将放置在未完成加工的工件上的插纸(4s)从所述工件(4)除去的插纸除去搬出装置(D)；和
用于将插纸放置在加工完成的工件上的插纸配置装置(E)，其中，
所述插纸除去搬出装置(D)配置在所述供给储料器(20)侧，而所述插纸配置装置(E)配置在所述排出储料器(60)侧。
8.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：所述供给侧工件保持构件和排出侧工件保持构件分别为供给侧工件保持台和排出侧工件保持台，在所述供给侧移载装置(B)和所述排出侧移载装置(C)上分别配置2个所述供给侧工件保持台(16a，16b)和2个所述排出侧工件保持台(56a，56b)。
9.一种激光加工方法，包括：
将多个供给侧工件保持构件(16a，16b)沿垂直以及水平方向移动、以从一个供给储料器(20)由所述多个供给侧工件保持构件分别吸附并保持工件的工件保持工序；
将所述供给侧工件保持构件(16a，16b)移动至设置成与其数目和该工件保持构件的数目相同的激光照射部(10a，10b)相对地配置的工件安置部(3)、解除所述供给侧工件保持构件的保持以将由所述多个供给侧工件保持构件保持的工件(4)放置在所述工件安置部(3)上的工件安置工序；和
利用所述多个激光照射部(10a，10b)对安置在所述工件安置部(3)上的工件进行加工之后、将加工完成后的多个工件分别由多个排出侧工件保持构件(56a，56b)保持、沿垂直以及水平方向移动所述排出侧工件保持构件并解除所述各排出侧工件保持构件的保持、从而将由所述排出侧工件保持构件保持的多个工件排出至一个排出储料器(60)的工件排出工序；其中
所述工件保持工序包括一在从所述一个供给储料器由所述多个供给侧工件保持构件(16a，16b)保持工件时由所述供给侧工件安置台(18)暂时保持所述工件的步骤；以及
所述工件排出工序包括一在从所述多个排出侧工件保持构件(56a，56b)向所述一个排出储料器(60)排出工件时由所述排出侧工件安置台(58)暂时保持工件的步骤。
10.根据权利要求9所述的激光加工方法，它包括以下步骤：
在对由所述工件安置部(3)保持的未完成加工的工件进行加工期间，分别由各个所述供给侧工件保持构件(16a，16b)保持另一未完成加工的工件；
在加工完成时，由所述排出侧工件保持构件(56a，56b)的各个保持所述工件安置部(3)上的加工完成的工件以将其从所述工件安置部(3)上取下，通过所述供给侧工件保持构件(16a，16b)将所述另一未完成加工的工件安置在所述工件安置部(3)上而开始加工，并将由所述排出侧工件保持构件(56a，56b)保持的工件移载至所述排出储料器(60)。
11.根据权利要求9所述的激光加工方法，其特征在于：所述供给侧工件保持构件和排出侧工件保持构件分别为2个供给侧工件保持台(16a，16b)和2个排出侧工件保持台(56a，56b)；并且所述方法包括以下步骤：
由所述2个供给侧工件保持台(16a，16b)依次从一个供给储料器(20)保持工件；
保持工件的所述2个供给侧工件保持台(16a，16b)同时将2个工件安置在所述工件安置部(3)上；
由所述2个排出侧工件保持台(56a，56b)同时保持所述工件安置部(3)上的2个加工完成的工件；
依次将分别由所述2个排出侧工件保持台(56a，56b)保持的工件排出至一个排出储料器(60)。
12.根据权利要求11所述的激光加工方法，其特征在于：
在所述供给储料器(20)上交替地配置有工件(4)和插纸(4s)；
所述方法包括以下步骤：
在保持1张插纸的插纸安置台(61)暂时退避的状态下分别由所述2个供给侧工件保持台(16a，16b)保持所述工件(4)；
在将所述2个供给侧工件保持台(16a，16b)上的工件(4)安置在所述工件安置部(3)上后，由所述2个供给侧工件保持台(16a，16b)保持所述插纸安置台(61)上的插纸以及所述供给储料器(20)中的插纸；
在利用所述激光照射部(10a，10b)对安置在所述工件安置部(3)上的2个工件进行加工后，由所述2个排出侧工件保持台(56a，56b)保持加工完成后的工件，并将保持在所述供给侧工件保持台(16a，16b)上的2张插纸(4s)放置在所述工件安置部(3)上；
在将由所述2个排出侧工件保持台其中之一(56b)保持的工件(4)由排出侧工件安置台(58)保持而暂时退避、并将由其中另一排出侧工件保持台(56a)保持的工件排出至所述排出储料器(60)之后，将所述工件安置部(3)上的2张插纸分别由所述排出侧工件保持台(56a，56b)保持；和
在由所述排出侧工件保持台(56a，56b)保持的2张插纸其中之一排出至所述排出储料器(60)之后，将所述排出侧工件安置台(58)上的退避状态的工件通过所述排出侧工件保持台(56a)排出至所述排出储料器(60)，通过所述排出侧工件安置台(58)移动另一插纸并通过所述排出侧工件保持台(56a)将该插纸排出至所述排出储料器(60)，从而向所述排出储料器依次并交替地排出工件和插纸以使得所述工件和插纸交替地叠置。
13.根据权利要求9所述的激光加工方法，其特征在于：
在所述供给储料器(20)上交替地叠置有工件和插纸；
所述工件保持工序具有一利用插纸除去搬出装置(D)将所述插纸从所述供给储料器(20)除去的步骤；和
所述工件排出工序具有一通过插纸供给装置(E)向所述排出储料器(60)中最上部的工件上供给插纸的步骤.
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