CN111936799A - 流体加热装置 - Google Patents

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Abstract

流体加热装置具备：容器，其具有外筒部件以及配置于外筒部件的内侧的内筒部件，外筒部件的内表面与内筒部件的外表面之间的流体空间被供给流体；灯加热器，其配置于内筒部件；第一喷嘴部件，其配置于灯加热器的前端侧，具有供气口；第一引导机构，其引导从第一喷嘴部件的供气口供给的第一气体。内筒部件包含在与外筒部件的中心轴正交的面内配置于外筒部件的中央的中央内筒部件和配置于中央内筒部件的周围的多个周边内筒部件。灯加热器包含配置于中央内筒部件的中央灯加热器和分别配置于多个周边内筒部件的周边灯加热器。第一引导机构向中央灯加热器的前端侧引导第一气体。

Description

流体加热装置
技术领域
本发明涉及流体加热装置。
背景技术
在半导体制造工艺中，使用半导体晶圆清洗用的药液以及光致抗蚀剂剥离用的药液那样的各种药液。在半导体制造工艺中使用的药液是在被流体加热装置加热的状态下使用的。流体加热装置具备卤素灯那样的灯加热器。流体加热装置利用灯加热器的辐射热将药液加热。若灯加热器的温度过度上升，则有流体加热装置的性能降低的可能性。因此，提出了向灯加热器供给气体而抑制灯加热器的温度过度上升的技术。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平09－097781号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
为了对大量的药液进行温度调整，期望流体加热装置的高输出化。期望一种即使流体加热装置提高输出也能够抑制灯加热器的温度过度上升而抑制流体加热装置的寿命降低和早期故障的技术。
本发明的方式的目的在于：同时实现流体加热装置的高输出化与紧凑化，从而在不依靠提高灯加热器单体的功率，而是增加灯加热器的根数、将多个灯加热器配置于一个容器时，抑制灯加热器的温度过度上升而抑制寿命降低和早期故障。
用于解决技术问题的手段
根据本发明的方式，提供一种流体加热装置，该流体加热装置具备：容器，其具有外筒部件以及配置于所述外筒部件的内侧的内筒部件，所述外筒部件的内表面与所述内筒部件的外表面之间的流体空间被供给流体；灯加热器，其配置于所述内筒部件；第一喷嘴部件，其配置于所述灯加热器的前端侧，具有供气口；第一引导机构，其引导从所述第一喷嘴部件的所述供气口供给的第一气体；所述内筒部件包含在与所述外筒部件的中心轴正交的面内配置于所述外筒部件的中央的中央内筒部件和配置于所述中央内筒部件的周围的多个周边内筒部件，所述灯加热器包含配置于所述中央内筒部件的中央灯加热器和分别配置于多个所述周边内筒部件的周边灯加热器，所述第一引导机构向所述中央灯加热器的前端侧引导所述第一气体。
发明效果
根据本发明的方式，即使流体加热装置提高输出，也能够抑制灯加热器的温度过度上升而抑制寿命降低和早期故障。
附图说明
图1是示意地表示第一实施方式的流体系统的一个例子的图。
图2是示意地表示第一实施方式的流体加热装置的立体图。
图3是表示第一实施方式的壳体的内部的图。
图4是表示第一实施方式的壳体的内部的图。
图5是表示第一实施方式的灯加热器的侧视图。
图6是表示第一实施方式的灯加热器的俯视图。
图7是表示第一实施方式的保持部件的主视图。
图8是表示第一实施方式的保持部件的主视图。
图9是表示第一实施方式的容器的侧视图。
图10是表示第一实施方式的容器的主视图。
图11是表示第一实施方式的灯加热器的支承机构的剖面图。
图12是表示第一实施方式的灯加热器的支承机构的剖面图。
图13是表示第一实施方式的灯加热器的支承机构的立体图。
图14是表示第一实施方式的灯加热器的支承机构的立体图。
图15是表示第一实施方式的冷却装置的立体图。
图16是表示第一实施方式的冷却装置的立体图。
图17是用于说明第一实施方式的冷却装置的作用的示意图。
图18是表示第二实施方式的灯加热器的支承机构的立体图。
图19是表示第三实施方式的灯加热器的支承机构的立体图。
图20是表示第三实施方式的支承部件的立体图。
图21是表示第四实施方式的灯加热器的支承机构的立体图。
图22是表示第四实施方式的灯加热器的支承机构的立体图。
图23是表示第四实施方式的灯加热器的支承机构的立体图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明，但本发明并不限定于此。以下说明的实施方式的构成要素能够适当组合。另外，也有不使用一部分的构成要素的情况。
在以下的说明中，设定XYZ正交坐标系，参照该XYZ正交坐标系对各部的位置关系进行说明。将与水平面内的X轴平行的方向设为X轴方向，将在水平面内与X轴正交且与Y轴平行的方向设为Y轴方向，将与水平面正交且与Z轴平行的方向设为Z轴方向。
第一实施方式.
[流体系统]
图1是示意地表示本实施方式的流体系统1的一个例子的图。流体系统1具备处理槽2、循环泵3、流体加热装置4、过滤器单元5、将处理槽2与循环泵3连接的第一连接管6、将循环泵3与流体加热装置4连接的第二连接管7、将流体加热装置4与过滤器单元5连接的第三连接管8以及将过滤器单元5与处理槽2连接的第四连接管9。
利用处理槽2、第一连接管6、循环泵3、第二连接管7、流体加热装置4、第三连接管8、过滤器单元5以及第四连接管9形成流体的循环系统10。
循环泵3在循环系统10中使流体循环。循环泵3经由第一连接管6将从处理槽2供给的流体吸引并排出。从循环泵3排出的流体经由第二连接管7向流体加热装置4供给。
流体加热装置4将经由第二连接管7从循环泵3供给的流体加热并向第三连接管8送出。过滤器单元5捕集经由第三连接管8从流体加热装置4供给的流体的异物。由过滤器单元5去除了异物的流体经由第四连接管9向处理槽2供给。
由流体加热装置4加热并由过滤器单元5去除了异物的流体被收容于处理槽2。利用收容于处理槽2的流体，实施半导体晶圆的清洗以及光致抗蚀剂的剥离那样的半导体制造工艺。作为流体，可例示半导体晶圆清洗用的药液以及光致抗蚀剂剥离用的药液那样的在半导体制造工艺中使用的药液。注意，由流体加热装置4加热的流体也可以是药液以外的液体。
[流体加热装置]
图2是示意地表示本实施方式的流体加热装置4的立体图。流体加热装置4具备壳体11、配置于壳体11的内部的容器12以及保持于容器12的多个灯加热器13。容器12与第二连接管7以及第三连接管8分别连接。来自循环泵3的流体经由第二连接管7向容器12供给。流体加热装置4利用灯加热器13的辐射热将供给到容器12的流体加热。由灯加热器13加热后的流体经由第三连接管8向过滤器单元5送出。
图3以及图4分别是表示本实施方式的壳体11的内部的图。图3是从－Y侧观察壳体11的内部的图，图4是从－X侧观察壳体11的内部的图。
在壳体11的下表面固定有支腿部件14。壳体11经由支腿部件14支承于地板面FL。地板面FL与水平面平行。
容器12为圆筒状。容器12的中心轴AX与XZ平面平行。容器12保持于容器保持机构15。容器保持机构15固定于壳体11的底面。容器保持机构15以容器12的中心轴AX相对于水平面倾斜的方式保持容器12。中心轴AX朝向+X方向向+Z方向倾斜。中心轴AX相对于水平面的角度例如为1[°]以上4[°]以下。即，中心轴AX实质上与X轴平行，但相对于水平面稍微倾斜。
灯加热器13在X轴方向上较长。多个灯加热器13保持于容器12。如图4所示，灯加热器13包含在与YZ平面平行的面内配置于容器12的中央的中央灯加热器13C和配置于中央灯加热器13C的周围的多个周边灯加热器13S。在本实施方式中，周边灯加热器13S为5个。即，在本实施方式中，保持于容器12的灯加热器13全部为6个。周边灯加热器13S在中央灯加热器13S的周围以一定的间隔配置。
[灯加热器]
图5是表示本实施方式的灯加热器13的侧视图。图6是表示本实施方式的灯加热器13的俯视图。
灯加热器13具有平行地配置的2个灯主体16、保持2个灯主体16的保持部件17(第一保持部件)及保持部件18(第二保持部件)、连接于灯主体16的外部引线19。
灯主体16具有封装体20、灯丝21、连接于灯丝21的一端部(+X侧的端部)的内部引线22、连接于灯丝21的另一端部(－X侧的端部)的内部引线23、经由内部引线22连接于灯丝21的金属箔24以及经由内部引线23连接于灯丝21的金属箔25。
灯加热器13的一端部(+X侧的端部)是未配置外部引线19的前端侧的端部。灯加热器13的另一端部(－X侧的端部)是配置外部引线19的配线侧的端部。
封装体20是石英玻璃制的管部件。光能够透过封装体20。封装体20具有内部空间。在封装体20的一端部(+X侧的端部)设置有密封部26(第一密封部)。在封装体20的另一端部(－X侧的端部)设置有密封部27(第二密封部)。密封部26以及密封部27将封装体20的内部空间密封。在封装体20的内部空间内封入有惰性气体以及卤素气体。
灯丝21配置于封装体20的内部空间。灯丝21例如为螺旋状。灯丝21通过通电而发光以及发热。在本实施方式中，灯丝21为钨制。
内部引线22以及内部引线23配置于封装体20的内部空间。内部引线22以及内部引线23分别为钨制。内部引线22将灯丝21与金属箔24连接。内部引线23将灯丝21与金属箔25连接。
密封部26设于灯主体16的前端侧的一端部。密封部27设于灯主体16的配线侧的另一端部。密封部26将封装体20的一端部密封。密封部27将封装体20的另一端部密封。密封部26通过在将封装体20的一端部加热的状态下进行压装而形成。同样，密封部27通过在将封装体20的另一端部加热的状态下进行压装而形成。
封装体20为圆筒状。密封部26以及密封部27分别为与封装体20相连的板状。通过压装封装体20的一端部，从而在密封部26形成表面26S。通过压装封装体20的另一端部，从而在密封部27形成表面27S。表面26S以及表面27S分别为平坦面。
表面26S为与XZ平面平行的平坦面。如图6所示，一方的灯主体16的表面26S与另一方的灯主体16的表面26S平行。在一方的灯主体16的密封部26与另一方的灯主体16的密封部26之间设置有间隙Ga。
表面27S为与XZ平面平行的平坦面。如图6所示，一方的灯主体16的表面27S与另一方的灯主体16的表面27S平行。在一方的灯主体16的密封部27与另一方的灯主体16的密封部27之间设置有间隙Gb。
金属箔24连接于内部引线22。金属箔24为钼制。金属箔24以被封装体20的一部分夹住的方式配置于密封部26。在金属箔24配置于封装体20的内部空间的一端部的状态下将封装体20的一端部压装，使得金属箔24以被封装体20的一部分夹住的方式配置于密封部26。金属箔24的表面与表面26S平行。
金属箔25连接于内部引线23。金属箔25为钼制。金属箔25以被封装体20的一部分夹住的方式配置于密封部27。在金属箔25配置于封装体20的内部空间的另一端部的状态下将封装体20的另一端部压装，使得金属箔25以被封装体20的一部分夹住的方式配置于密封部27。金属箔25的表面与表面27S平行。
2个灯主体16分别具有封装体20、灯丝21、内部引线22、内部引线23、金属箔24、金属箔25、密封部26以及密封部27。
保持部件17以及保持部件18分别以维持2个灯主体16的相对位置的方式保持2个灯主体16的至少一部分。2个灯主体16平行地配置。保持部件17保持一方的灯主体16的密封部26的至少一部分以及另一方的灯主体16的密封部26的至少一部分。保持部件18保持一方的灯主体16的密封部27的至少一部分以及另一方的灯主体16的密封部27的至少一部分。保持部件17以及保持部件18为陶瓷制。
保持部件17保持密封部26的+X侧的一部分。金属箔24的－X侧的端部配置于比保持部件17的－X侧的端部靠－X侧的位置。即，保持部件17不覆盖金属箔24的全部，而是以覆盖金属箔24的包含+X侧的端部在内的一部分的方式保持密封部26的一部分。金属箔24的包含－X侧的端部在内的一部分暴露在保持部件17的外部。
在灯加热器13的前端侧，配置于一方的灯主体16的密封部26的金属箔24和配置于另一方的灯主体16的密封部26的金属箔24经由未图示的连接引线而连接。一对金属箔24能够经由连接引线通电。连接引线将一方的灯主体16的金属箔24的+X侧的端部和另一方的灯主体16的金属箔24的+X侧的端部连接。
保持部件18保持密封部27的－X侧的端部。金属箔25的+X侧的端部配置于比保持部件18的+X侧的端部靠+X侧的位置。即，保持部件18不覆盖金属箔25的全部，而是以覆盖金属箔25的包含－X侧的端部在内的一部分的方式保持密封部27的一部分。金属箔25的包含+X侧的端部在内的一部分暴露在保持部件18的外部。
在灯加热器13的配线侧，配置于一方的灯主体16的密封部27的金属箔25以及配置于另一方的灯主体16的密封部27的金属箔25分别连接于外部引线19。外部引线19为了分别连接于一方的灯主体16的金属箔25以及另一方的灯主体16的金属箔25而设有2个。外部引线19连接于金属箔25的－X侧的端部。
图7是表示本实施方式的保持部件17的主视图。保持部件17具有上表面17A、下表面17B、侧面17C以及侧面17D。上表面17A为与XY平面平行的平坦面。下表面17B为与上表面17A平行的平坦面。侧面17C在Y轴方向上将上表面17A的一端部与下表面17B的一端部连接。在与YZ平面平行的面内，侧面17C为从保持部件17的中心向－Y方向突出的曲线状(圆弧状)。侧面17D在Y轴方向上将上表面17A的另一端部与下表面17B的另一端部连接。在与YZ平面平行的面内，侧面17D为从保持部件17的中心向+Y方向突出的曲线状(圆弧状)。
保持部件17具有配置密封部26的支承孔17H。密封部26插入到支承孔17H。保持部件17以支承孔17H的内表面支承密封部26。
图8是表示本实施方式的保持部件18的主视图。保持部件18具有上表面18A、下表面18B、侧面18C以及侧面18D。保持部件18的外形以及尺寸实质上与保持部件17的外形以及尺寸相同，因此省略其说明。
保持部件18具有配置密封部27的支承孔18H和配置外部引线19的支承孔18K。密封部27插入到支承孔18H。外部引线19插入到支承孔18K。保持部件18以支承孔18H的内表面支承密封部27。保持部件18以支承孔18K的内表面支承外部引线19。
一方的外部引线19连接于电源的阳极，另一方的外部引线19连接于电源的阴极。从电源输出的电流经由一方的外部引线19以及一方的灯主体16的金属箔25向一方的灯主体16的灯丝21供给。流经一方的灯主体16的灯丝21的电流经由一方的灯主体16的金属箔24以及另一方的灯主体16的金属箔24向另一方的灯主体16的灯丝21供给。流经另一方的灯主体16的灯丝21的电流经由另一方的灯主体16的金属箔25以及另一方的外部引线19向电源输出。通过在灯丝21中流过电流，使得灯丝21发光以及发热。
[容器]
图9是表示本实施方式的容器12的侧视图，并且是剖切了一部分的剖面图。图10是表示本实施方式的容器12的主视图。
容器12具有外筒部件28、连接于外筒部件28的一端部(+X侧的端部)的板部件29、连接于外筒部件28的另一端部(－X侧的端部)的板部件30以及配置于外筒部件28的内侧的多个内筒部件31。
容器12由透明部件形成。在本实施方式中，容器12为透明的石英玻璃制。即，在本实施方式中，外筒部件28、板部件29、板部件30以及多个内筒部件31分别由透明的石英玻璃形成。
外筒部件28规定容器12的外表面。外筒部件28为圆筒状。外筒部件28配置于中心轴AX的周围。容器12的中心轴AX为外筒部件28的中心轴。
板部件29连接于外筒部件28的+X侧的端部。在与中心轴AX正交的面内，板部件29的外形为圆形。外筒部件28的+X侧的端部与板部件29的周缘部连接。板部件29具有分别配置多个内筒部件31的多个开口。
板部件30连接于外筒部件28的－X侧的端部。在与中心轴AX正交的面内，板部件30的外形为圆形。外筒部件28的－X侧的端部与板部件30的周缘部连接。板部件30具有分别配置多个内筒部件31的多个开口。
内筒部件31在外筒部件28的内侧配置多个。内筒部件31为圆筒状。内筒部件31以内筒部件31的中心轴BX与外筒部件28的中心轴AX平行的方式支承于板部件29以及板部件30。多个内筒部件31的中心轴BX分别是平行的。
内筒部件31的在X轴方向上比其中心靠+X侧的一部分配置于板部件29的开口。内筒部件31的外表面与板部件29的开口的内表面连接。内筒部件31的在X轴方向上比其中心靠－X侧的一部分配置于板部件30的开口。内筒部件31的外表面与板部件30的开口的内表面连接。
内筒部件31的一端部31A(+X侧的端部)比板部件29向+X方向突出。即，内筒部件31的一端部31A配置于比板部件29的+X侧的表面靠+X侧的位置。
内筒部件31的另一端部31B(－X侧的端部)比板部件30向－X方向突出。即，内筒部件31的另一端部31B配置于比板部件30的－X侧的表面靠－X侧的位置。
如图10所示，内筒部件31包含在与外筒部件28的中心轴AX正交的面内配置于外筒部件28的中央的中央内筒部件31C和配置于中央内筒部件31C的周围的多个周边内筒部件31S。在本实施方式中，周边内筒部件31S为5个。即，在本实施方式中，内筒部件31全部为6个。周边内筒部件31S在中央内筒部件31C的周围以一定的间隔配置。
在本实施方式中，中央内筒部件31C在与外筒部件28的中心轴AX正交的面内配置于外筒部件28的中心。中央内筒部件31C的中心轴BX与外筒部件28的中心轴AX一致。注意，中央内筒部件31C也可以配置于偏离外筒部件28的中心的位置。中央内筒部件31C的中心轴BX与外筒部件28的中心轴AX也可以不一致。
容器12具有配置灯加热器13的灯空间32和被供给加热对象的流体的流体空间33。
灯空间32为内筒部件31的内侧的空间。在中央内筒部件31C的灯空间32配置有中央灯加热器13C。在多个周边内筒部件31S的灯空间32分别配置有周边灯加热器13S。
流体空间33被规定在外筒部件28的内表面与内筒部件31的外表面之间。在本实施方式中，流体空间33是外筒部件28的内表面、板部件29的内表面、板部件30的内表面以及内筒部件31的外表面之间的空间。第二连接管7连接于流体空间33的－X侧且－Z侧的部分。第三连接管8连接于流体空间33的+X侧且+Z侧的部分。流体经由第二连接管7向流体空间33供给。
灯空间32与流体空间33由内筒部件31分隔开。配置于灯空间32的灯加热器13和供给到流体空间33的流体不接触。
若向配置于灯空间32的灯加热器13供给电流，则灯加热器13的灯丝21发光以及发热。从灯加热器13产生的光经由内筒部件31向流体空间33的流体照射，从灯加热器13产生的热量经由内筒部件31向流体空间33的流体传递。流体空间33的流体由灯加热器13的辐射热加热。
在本实施方式中，设置有多个(6个)灯空间32，在多个灯空间32分别设置有灯加热器13。流体空间33的流体能够从多个方向接收灯加热器13的辐射热。由此，即使向流体空间33供给的流体为大量，流体也会被高效地加热。
在流体空间33中加热后的流体经由第三连接管8向流体空间33的外部送出。如参照图1说明那样，加热后的流体向处理槽2供给。
[支承机构]
接下来，对本实施方式的灯加热器13的支承机构进行说明。在内筒部件31的+X侧的端部配置有支承机构34。在内筒部件31的－X侧的端部配置有支承机构35。
在本实施方式中，6个灯加热器13的尺寸、构造以及功能相同。6个内筒部件31的尺寸、构造以及功能相同。支承机构34以及支承机构35分别设于6个灯加热器13以及6个内筒部件31。6个支承机构34的尺寸、构造以及功能相同。6个支承机构35的尺寸、构造以及功能相同。
图11是从+Z侧观察本实施方式的灯加热器13的支承机构34的剖面图。图12是从－Y侧观察本实施方式的灯加热器13的支承机构34的剖面图。图13是表示本实施方式的灯加热器13的支承机构34的立体图。
灯加热器13的前端侧的一部分经由支承机构34支承于内筒部件31。在本实施方式中，灯加热器13的前端侧的一部分比内筒部件31的一端部31A向+X侧突出。支承机构34以灯加热器13的前端侧的一部分配置于内筒部件31的外侧的状态支承灯加热器13的至少一部分。
中央灯加热器13C的前端侧的一部分以及周边灯加热器13C的前端侧的一部分分别配置于内筒部件31的一端部31A的外侧。
配置于内筒部件31的外侧的灯加热器13的前端侧的一部分包含灯加热器13的+X侧的一端部。在本实施方式中，配置于内筒部件31的外侧的灯加热器13的前端侧的一部分包含灯加热器13的密封部26以及保持部件17。支承机构34以灯加热器13的密封部26以及保持部件17配置于内筒部件31的外侧的状态支承保持部件17。
即，在本实施方式中，保持部件17配置于比内筒部件31的一端部31A靠+X侧的位置。另外，密封部26的金属箔24的至少一部分配置于比内筒部件31的一端部31A靠+X侧的位置。支承机构34以保持部件17以及密封部26的金属箔24的至少一部分配置于内筒部件31的外侧的方式支承灯加热器13。
支承机构34具有限制保持部件17在Z轴方向上的移动的第一支承部件36和限制保持部件17在Y轴方向上的移动的第二支承部件37。
第一支承部件36为金属制的线状(圆棒状)的部件。第一支承部件36能够弹性变形。第一支承部件36具有与保持部件17的上表面17A接触的第一接触部36A、与保持部件17的下表面17B接触的第二接触部36B、将第一接触部36A与第二接触部36B连结的连结部36C、连结于第一接触部36A的第一插入部36D以及连结于第二接触部36B的第二插入部36E。
连结部36C与保持部件17的+X侧的端面17E对置。第一插入部36D向设于内筒部件31的上部的第一贯通孔38A中插入。第二插入部36E向设于内筒部件31的下部的第二贯通孔38B中插入。第一插入部36D包含能够向第一贯通孔38A中插入的突起部。第二插入部36E包含能够向第二贯通孔38B中插入的突起部。第一贯通孔38A在比板部件29靠+X侧的内筒部件31的上部贯通内筒部件31的外表面与内表面。第二贯通孔38B在比板部件29靠+X侧的内筒部件31的下部贯通内筒部件31的外表面与内表面。第一插入部36D从内筒部件31的内侧插入第一贯通孔38A中。第二插入部36E从内筒部件31的内侧插入第二贯通孔38B中。
第二支承部件37为金属制的薄板状的部件。第二支承部件37能够弹性变形。第二支承部件37具有与保持部件17的侧面17C接触的第三接触部37A、与保持部件17的侧面17D接触的第四接触部37B、将第三接触部37A与第四接触部37B连结的连结部37C、夹持内筒部件31的夹持部37D及夹持部37E。
连结部37C与保持部件17的+X侧的端面17E对置。夹持部37D与内筒部件31的－Y侧的外表面接触。夹持部37E与内筒部件31的+Y侧的外表面接触。通过第二支承部件37的弹性变形，夹持部37D与夹持部37E夹住内筒部件31。
在本实施方式中，由第一支承部件36与第二支承部件37支承保持部件17。在第一支承部件36与第二支承部件37之间设置有开口Ma。在开口Ma中，保持部件17以及密封部26不被支承机构34覆盖。保持部件17的至少一部分以及密封部26的至少一部分经由开口Ma而面向壳体11的内部空间。
另外，在与中心轴BX正交的面内，保持部件17的外形比内筒部件31的内径小。在保持部件17的上表面17A与内筒部件31的内表面之间设置有足够的间隙。在保持部件17的下表面17B与内筒部件31的内表面之间设置有足够的间隙。
图14是表示本实施方式的灯加热器13的支承机构35的立体图。灯加热器13的配线侧的一部分配置于比内筒部件31的另一端部31B靠+X侧的位置。配置于内筒部件31的内侧的灯加热器13的配线侧的一部分包含灯加热器13的－X侧的一端部。在本实施方式中，配置于内筒部件31的内侧的灯加热器13的配线侧的一部分包含灯加热器13的密封部27以及保持部件18。即，密封部27以及保持部件18配置于内筒部件31的内侧。支承机构35抑制灯加热器13从内筒部件31的另一端部31B向外侧脱出。
支承机构35包含与保持部件18的－X侧的端面18E对置的支承部件39。支承部件39为金属制的薄板状的部件。支承部件39能够弹性变形。支承部件39具有向设于内筒部件31的上部的贯通孔40A中插入的插入部39B、向设于内筒部件31的下部的贯通孔40B中插入的插入部39C以及将插入部39B与插入部39C连结的连结部39A。
连结部39A与保持部件18的－X侧的端面18E对置。贯通孔40A在比板部件30靠－X侧的内筒部件31的上部贯通内筒部件31的外表面与内表面。贯通孔40B在比板部件30靠－X侧的内筒部件31的下部贯通内筒部件31的外表面与内表面。插入部39B包含能够向贯通孔40A插入的突起部。插入部39C包含能够向贯通孔40B插入的突起部。插入部39B从内筒部件31的内侧插入到贯通孔40A。插入部39C从内筒部件31的内侧插入到贯通孔40B。
在本实施方式中，利用支承部件39限制保持部件18向内筒部件31的外侧的移动。在支承部件39的周围设置有开口Mb。在开口Mb中，保持部件18以及密封部27不被支承机构35覆盖。保持部件18的至少一部分以及密封部27的至少一部分经由开口Mb而面向壳体11的内部空间。
如上所述，6个灯加热器13、6个内筒部件31、6个支承机构34以及6个支承机构35各自的尺寸、构造以及功能相同。在本实施方式中，多个灯加热器13分别以其在内筒部件31的中心轴BX的旋转方向上的姿态一致的方式配置于内筒部件31。即，多个灯加热器13分别以保持部件17的作为平坦面的上表面17A以及下表面17B从水平方向观察处于上下的方式固定于内筒部件31。例如如图11所示，多个灯加热器13分别以密封部26的表面26S与XZ平面平行的方式支承于支承机构34。
另外，如参照图3等说明那样，容器保持机构15以外筒部件28的中心轴AX朝向+X方向向+Z方向倾斜的方式保持容器12。如上所述，外筒部件28的中心轴AX与内筒部件31的中心轴BX平行。即，容器保持机构15以内筒部件31的一端部31A(+X侧的端部、前端侧的端部)配置于比内筒部件31的另一端部31B(－X侧的端部、配线侧的端部)靠上方的位置的方式保持容器12。在内筒部件31的一端部31A，配置有包含密封部26的灯加热器13的前端侧的端部。在内筒部件31的另一端部31B，配置有包含密封部27的灯加热器13的配线侧的端部。在灯加热器13配置于内筒部件31的状态下，包含密封部26的灯加热器13的前端侧的端部被配置于比包含密封部27的灯加热器13的配线侧的端部靠上方的位置。
[冷却装置]
流体加热装置4具备将灯加热器13冷却的冷却装置50。冷却装置50向灯加热器13供给气体而将灯加热器13冷却。
图15以及图16分别是表示本实施方式的冷却装置50的立体图。图15表示将包含灯加热器13的+X侧的端部的灯加热器13的前端侧冷却的冷却装置50的至少一部分。图16表示将包含灯加热器13的－X侧的端部的灯加热器13的配线侧冷却的冷却装置50的至少一部分。
如图15所示，冷却装置50具有配置于灯加热器13的前端侧并具有供气口51的喷嘴部件52(第一喷嘴部件)和将从喷嘴部件52的供气口51供给的气体(第一气体)向灯加热器13的前端侧引导的引导机构53(第一引导机构)。从供气口51供给的气体例如为空气。
喷嘴部件52配置于灯加热器13的前端侧(参照图5)。喷嘴部件52的供气口51向灯加热器13的前端侧供给气体。引导机构53在灯加热器13的前端侧引导气体。
引导机构53向中央灯加热器13C的前端侧引导从供气口51供给的气体。
供气口51为了将包含中央灯加热器13C的+X侧的端部在内的中央灯加热器13C的前端侧冷却而供给气体。引导机构53向比中央内筒部件31C的一端部31A靠+X侧的外侧配置的中央灯加热器13C的前端侧的密封部26以及保持部件17引导气体。从供气口51供给的气体被引导机构53引导而向中央灯加热器13C的密封部26以及保持部件17供给。
喷嘴部件52在容器12的+X侧的端部配置于多个内筒部件31的下方。供气口51设于喷嘴部件52的上表面52A。供气口51在Y轴方向上设有两个。供气口51包含在Y轴方向上比外筒部件28的中心轴AX靠－Y侧配置的供气口51A和靠+Y侧配置的供气口51B。在Y轴方向上，供气口51A与供气口51B的距离比内筒部件31的尺寸大。
在Y轴方向上，中央内筒部件31C的位置与中央内筒部件31C的正下方的周边内筒部件31S的位置相同。在Y轴方向上，中央灯加热器13C的位置与中央灯加热器13C的正下方的周边灯加热器13S的位置相同。
在Y轴方向上，供气口51A配置于比中央内筒部件31C的正下方的周边内筒部件31S靠－Y侧的位置。在Y轴方向上，供气口51B配置于比中央内筒部件31C的正下方的周边内筒部件31S靠+Y侧的位置。供气口51A以及供气口51B分别向+Z方向供给气体。
引导机构53包含将从供气口51A供给的气体向中央灯加热器13C引导的引导部件53A和将从供气口51B供给的气体向中央灯加热器13C引导的引导部件53B。
引导部件53A支承于喷嘴部件52的－Y侧的侧面。引导部件53A的下端部固定于喷嘴部件52的－Y侧的侧面。
引导部件53B支承于喷嘴部件52的+Y侧的侧面。引导部件53B的下端部固定于喷嘴部件52的+Y侧的侧面。
引导部件53A配置于比供气口51A靠－Y侧的位置。引导部件53A在Z轴方向上具有配置于喷嘴部件52的上表面52A与中央内筒部件31C的正下方的周边内筒部件31S的至少一部分之间的引导面54、以及配置于引导面54的上方并朝向+Z方向向+Y方向倾斜的引导面55。
引导面54与XZ平面实质上平行。在Z轴方向上，引导面54的上端部的位置和中央内筒部件31C的正下方的周边内筒部件31S的至少一部分的位置一致。引导面55具有连接于引导面54的上端部的下端部和上端部。在Y轴方向上，引导面55的上端部比引导面55的下端部接近中央灯加热器13C。引导面55以朝向+Z方向接近中央灯加热器13C的方式倾斜。
引导部件53B配置于比供气口51B靠+Y侧的位置。引导部件53B在Z轴方向上具有配置于喷嘴部件52的上表面52A与中央内筒部件31C的正下方的周边内筒部件31S的至少一部分之间的引导面56、以及配置于引导面56的上方并朝向+Z方向向－Y方向倾斜的引导面57。
引导面56与XZ平面实质上平行。在Z轴方向上，引导面56的上端部的位置和中央内筒部件31C的正下方的周边内筒部件31S的至少一部分的位置一致。引导面57具有与引导面56的上端部连接的下端部和上端部。在Y轴方向上，引导面57的上端部比引导面57的下端部接近中央灯加热器13C。引导面57以朝向+Z方向接近中央灯加热器13C的方式倾斜。
利用被引导机构53引导的气体(第一气体)，相比于周边灯加热器13S的前端侧，重点冷却中央灯加热器13C的前端侧。
如图16所示，冷却装置50具有配置于灯加热器13的配线侧并具有供气口58的喷嘴部件59(第二喷嘴部件)、以及将从喷嘴部件59的供气口58供给的气体(第二气体)向灯加热器13的配线侧引导的引导机构60(第二引导机构)。从供气口58供给的气体例如是空气。
喷嘴部件59配置于灯加热器13的配线侧(参照图5)。喷嘴部件59的供气口58向灯加热器13的配线侧供给气体。引导机构60在灯加热器13的配线侧引导气体。
引导机构60向中央灯加热器13C的配线侧引导从供气口58供给的气体。
供气口58为了将包含中央灯加热器13C的－X侧的端部在内的中央灯加热器13C的配线侧冷却而供给气体。引导机构60向比中央内筒部件31C的另一端部31B靠+X侧的内侧配置的中央灯加热器13C的配线侧的密封部27以及保持部件18引导气体。从供气口58供给的气体被引导机构60引导而向中央灯加热器13C的密封部27以及保持部件18供给。
喷嘴部件59在容器12的－X侧的端部配置于多个内筒部件31的下方。供气口58设于喷嘴部件59的上表面59A。供气口58在Y轴方向上设有两个。供气口58包含在Y轴方向上比外筒部件28的中心轴AX靠+Y侧配置的供气口58A和靠－Y侧配置的供气口58B。在Y轴方向上，供气口58A与供气口58B的距离比内筒部件31的尺寸大。
在Y轴方向上，中央内筒部件31C的位置与中央内筒部件31C的正下方的周边内筒部件31S的位置相同。在Y轴方向上，中央灯加热器13C的位置与中央灯加热器13C的正下方的周边灯加热器13S的位置相同。
在Y轴方向上，供气口58A配置于比中央内筒部件31C的正下方的周边内筒部件31S靠+X侧的位置。在Y轴方向上，供气口58B配置于比中央内筒部件31C的正下方的周边内筒部件31S靠－X侧的位置。供气口58A以及供气口58B分别向+Z方向供给气体。
引导机构60包含将从供气口58A供给的气体向中央灯加热器13C引导的引导部件60A和将从供气口58B供给的气体向中央灯加热器13C引导的引导部件60B。
引导部件60A支承于喷嘴部件59的+Y侧的侧面。引导部件60A的下端部固定于喷嘴部件59的+Y侧的侧面。
引导部件60B支承于喷嘴部件59的－Y侧的侧面。引导部件60B的下端部固定于喷嘴部件59的－Y侧的侧面。
引导部件60A配置于比供气口58A靠+Y侧的位置。引导部件60A在Z轴方向上具有配置于喷嘴部件59的上表面59A与中央内筒部件31C的正下方的周边内筒部件31S的至少一部分之间的引导面61、以及配置于引导面61的上方并朝向+Z方向向－Y方向倾斜的引导面62。
引导面61与XZ平面实质上平行。在Z轴方向上，引导面61的上端部的位置和中央内筒部件31C的正下方的周边内筒部件31S的至少一部分的位置一致。引导面62具有与引导面61的上端部连接的下端部和上端部。在Y轴方向上，引导面62的上端部比引导面62的下端部接近中央灯加热器13C。引导面62以朝向+Z方向接近中央灯加热器13C的方式倾斜。
引导部件60B配置于比供气口58B靠－Y侧的位置。引导部件60B在Z轴方向上具有配置于喷嘴部件59的上表面59A与中央内筒部件31C的正下方的周边内筒部件31S的至少一部分之间的引导面63、以及配置于引导面63的上方并朝向+Z方向向+Y方向倾斜的引导面64。
引导面63与XZ平面实质上平行。在Z轴方向上，引导面63的上端部的位置和中央内筒部件31C的正下方的周边内筒部件31S的至少一部分的位置一致。引导面64具有与引导面63的上端部连接的下端部和上端部。在Y轴方向上，引导面64的上端部比引导面64的下端部接近中央灯加热器13C。引导面64以朝向+Z方向接近中央灯加热器13C的方式倾斜。
利用被引导机构60引导的气体(第二气体)，相比于周边灯加热器13S的配线侧，重点冷却中央灯加热器13C的配线侧。
在本实施方式中，从喷嘴部件52的供气口51供给的气体(第一气体)的每单位时间的流量比从喷嘴部件59的供气口58供给的气体(第二气体)的每单位时间的流量多。
如图15所示，喷嘴部件52连接于第一供给管65。如图16所示，喷嘴部件59连接于第二供给管66。如图3以及图4所示，第一供给管65以及第二供给管66经由气体供给管67连接于气体供给源68。从气体供给源68送出的气体在流经气体供给管67之后分别向第一供给管65以及第二供给管66分配。分配到第一供给管65的气体向喷嘴部件52供给，从供气口51向中央灯加热器13C的前端侧供给。分配到第二供给管66的气体向喷嘴部件59供给，从供气口58向中央灯加热器13C的配线侧供给。
在本实施方式中，向第一供给管65分配的气体的流量比向第二供给管66分配的气体的流量多。在本实施方式中，在第二供给管66配置有导流板。通过在第二供给管66设置导流板，以使流经第一供给管65的气体的流量比流经第二供给管66的气体的流量多的方式，将从气体供给源68送出的气体分别向第一供给管65与第二供给管66分配。
[作用]
图17是用于说明本实施方式的冷却装置50的作用的示意图。为了将流体(药液)加热，经由第二连接管7向流体空间33供给流体。另外，分别向配置于内筒部件31的多个灯加热器13供给电流。通过向灯加热器13供给电流，使得灯加热器13发光以及发热。通过使灯加热器13发光以及发热，使得流体空间33的流体在灯加热器13的辐射热下被加热。加热后的流体从流体空间33向第三连接管8送出。
若密封部26以及密封部27温度过度上升，则金属箔24以及金属箔25热膨胀。其结果，密封部26以及密封部27的密封功能受损。若密封部26以及密封部27的密封功能受损，则灯加热器13的性能降低。
密封部26与密封部27相比容易加热。即，由于密封部27连接于外部引线19，因此密封部27的热量经由外部引线19释放出的可能性高。密封部26由于不与外部引线19连接，因此温度过度上升的可能性高。
在本实施方式中，包含密封部26的灯加热器13的前端侧的一部分配置于内筒部件31的外侧。由此，密封部26的热量不会停留在内筒部件31内，而是向壳体11的内部空间释放出。因而，可抑制密封部26的温度过度上升。
中央灯加热器13C被多个周边灯加热器13S包围。因此，即使向中央灯加热器13C供给的电流值与向周边灯加热器13S供给的电流值相等，中央灯加热器13C的温度也可能比周边灯加热器13S更过度地上升。
在本实施方式中，设置向中央灯加热器13C的密封部26供给气体的冷却装置50。如图17所示，从喷嘴部件52的供气口51供给的气体在通过引导部件53A以及引导部件53B与中央内筒部件31C的正下方的周边内筒部件31S之间之后，被引导机构53引导而向中央灯加热器13C的密封部26供给。中央灯加热器13C的密封部26由从供气口51供给的气体冷却。由此，可抑制中央灯加热器13C的密封部26的温度过度上升。
在本实施方式中，利用被引导机构53引导的气体，相比于周边灯加热器13S的前端侧，重点冷却中央灯加热器13C的前端侧。
如参照图11等说明那样，中央灯加热器13C以密封部26的表面26S与XZ平面平行的方式支承于支承机构34。另外，在2个密封部26之间形成有间隙Ga。因此，从中央灯加热器13C的密封部26的下方的供气口51供给的气体能够一边与密封部26的表面26S充分地接触，一边沿密封部26的表面26S向上方流动。因而，可有效地冷却密封部26。
另外，支承机构34包含第一支承部件36与第二支承部件37，在第一支承部件36与第二支承部件37之间设置有开口Ma。在开口Ma中，保持部件17以及密封部26不被支承机构34覆盖。因此，从供气口51供给的气体也能够充分地接触保持部件17的表面。因而，保持部件17也被有效地冷却。
另外，不仅在中央灯加热器13C的前端侧，在中央灯加热器13C的配线侧也从喷嘴部件59的供气口58供给气体。从供气口58供给的气体由引导机构60向中央灯加热器13C的密封部27供给。由此，可抑制密封部27的温度过度上升，可抑制密封部27的密封功能受损。
注意，在本实施方式中，包含密封部27以及保持部件18的灯加热器13的配线侧的端部配置于内筒部件31的内侧。因此，从喷嘴部件59的供气口58供给的气体有可能不会直接吹到灯加热器13的配线侧的包含密封部27以及保持部件18在内的部件。由于被引导机构60引导的气体吹到灯加热器13的配线侧的外部引线19从而将外部引线19冷却，因此与外部引线19连接的灯加热器13的配线侧的端部也经由外部引线19被充分地冷却。另外，利用被引导机构60引导的气体，相比于周边灯加热器13S的配线侧的外部引线19，重点冷却中央灯加热器13C的配线侧的外部引线19。由此，中央灯加热器13C与周边灯加热器13S相比被重点进行冷却。
另外，如上所述，未连接外部引线19的密封部26与连接外部引线19的密封部27相比，温度上升的可能性高。在本实施方式中，从喷嘴部件52的供气口51向密封部26供给的气体的流量比从喷嘴部件59的供气口58向密封部27供给的气体的流量多。因此，能够有效地冷却密封部26。
另外，在本实施方式中，容器保持机构15以内筒部件31的一端部31A比内筒部件31的另一端部31B靠上方配置的方式支承容器12。由此，在内筒部件31的内侧温度上升而比重变小的气体能够在重力作用(对流作用)下从内筒部件31的一端部31A侧的开口流出。在一端部31A，保持部件17配置于内筒部件31的外侧，在内筒部件31的内表面与保持部件17的上表面17A以及下表面17B之间形成有足够的间隙。因此，在内筒部件31的内侧温度上升而比重变小的气体经由内筒部件31的内表面与保持部件17的上表面17A以及下表面17B之间的间隙顺畅地释放。
[效果]
如以上说明，根据本实施方式，流体加热装置4具备中央灯加热器13C与周边灯加热器13S，因此能够使流体加热装置4紧凑，并且能够以高输出将流体加热。即使流体空间33被供给大量的流体，也能够利用中央灯加热器13C的辐射热与周边灯加热器13S的辐射热有效地将流体加热。
在本实施方式中，由于在中央灯加热器13C的周围配置有多个周边灯加热器13S，该多个灯加热器13配置于一个容器12，因此能够同时实现流体加热装置4的高输出化与小型化。另一方面，由于中央灯加热器13C被周边灯加热器13S包围，因此中央灯加热器13C的温度过度上升的可能性高。根据本实施方式，设置具有供气口51的喷嘴部件52和将从喷嘴部件52的供气口51供给的气体向中央灯加热器13C引导的引导机构53。通过向中央灯加热器13C充分地供给冷却用的气体，从而即使流体加热装置4提高了输出，也可抑制中央灯加热器13C的温度过度上升。因而，可抑制流体加热装置4的性能降低。
如上所述，若密封部26以及密封部27的温度过度上升，则金属箔24以及金属箔25热膨胀，有密封部26以及密封部27的密封功能受损的可能性。根据本实施方式，由于向密封部26以及密封部27供给冷却用的气体，因此可抑制密封部26以及密封部27的密封功能受损。另外，通过向保持部件17以及保持部件18也供给冷却用的气体，可有效地抑制密封部26以及密封部27的温度过度上升。
未连接外部引线19的密封部26相比于连接外部引线19的密封部27，温度上升的可能性高。在本实施方式中，由于密封部26配置于内筒部件31的外侧，因此能够提高密封部26的散热效果。另外，由于保持部件17支承于支承机构34，因此可维持内筒部件31与密封部26以及保持部件17的相对位置。
另外，从气体供给源68供给的气体被向第一供给管65以及第二供给管66分配。从供气口51向密封部26供给的气体的流量比从供气口58向密封部27供给的气体的流量多。在减少了气体供给源68的数量的状态下，能够有效地冷却密封部26。
另外，内筒部件31的一端部31A比内筒部件31的另一端部31B靠上方配置。因此，在内筒部件31的内侧被加热而比重变小的气体在重力作用(对流作用)下从内筒部件31的一端部31A的开口顺畅地释放。另外，配置于内筒部件31的外侧的保持部件17具有作为平坦面的上表面17A以及下表面17B。由此，在上表面17A以及下表面17B的至少一方与内筒部件31的内表面之间设置有足够的间隙。因此，内筒部件31的内侧的气体能够经由间隙顺畅地释放。
另外，在本实施方式中，多个灯加热器13分别以其在内筒部件31的中心轴BX的旋转方向上的姿态一致的方式配置于内筒部件31。支承机构34以维持内筒部件31的姿态的方式支承保持部件17。因此，可使多个灯加热器13的使用条件一致。由此，例如可使多个灯加热器13的寿命一致。
支承机构34具有限制保持部件17的Z轴方向的移动的第一支承部件36和限制保持部件17的Y轴方向的移动的第二支承部件37。另外，第一支承部件36利用弹力以第一接触部36A与第二接触部36B夹住保持部件17，第二支承部件37利用弹力以第三接触部37A与第四接触部37B夹住保持部件17。由此，不仅是保持部件17的Z轴方向以及Y轴方向的移动，保持部件17的X轴方向的移动也被限制。另外，支承机构34具有使保持部件17的至少一部分露出的开口Ma。由此，从供气口51供给的气体能够充分地接触保持部件17的表面。因此，能够获得较高的冷却效果。
第二实施方式.
对第二实施方式进行说明。在以下的说明中，对于与上述实施方式相同的构成要素，标注相同的附图标记，简略或者省略其说明。
图18是表示本实施方式的灯加热器13的支承机构34的立体图。与上述实施方式相同，灯加热器13的+X侧的端部经由支承机构34支承于内筒部件31。
支承机构34具有限制保持部件17的Z轴方向的移动的第一支承部件36和限制保持部件17的Y轴方向的移动的第二支承部件37。
第一支承部件36为金属制的线状的部件。第一支承部件36能够弹性变形。第一支承部件36具有与保持部件17的上表面17A接触的第一接触部36A、与保持部件17的下表面17B接触的第二接触部36B、将第一接触部36A与第二接触部36B连结的连结部36C、向设于内筒部件31的上部的第一贯通孔38A中插入的第一插入部36D、以及向设于内筒部件31的下部的第二贯通孔38B中插入的第二插入部36E。第二支承部件37与在上述实施方式中说明的第二支承部件37相同。
在本实施方式中，第一插入部36D从内筒部件31的外侧向第一贯通孔38A插入。第二插入部36E从内筒部件31的外侧向第二贯通孔38B插入。
在本实施方式中，支承机构34也能够维持内筒部件31与灯加热器13的相对位置。
第三实施方式.
对第三实施方式进行说明。在以下的说明中，对于与上述实施方式相同的构成要素，标注相同的附图标记，简略或者省略其说明。
图19是表示本实施方式的灯加热器13的支承机构34的立体图。与上述实施方式相同，灯加热器13的+X侧的端部经由支承机构34支承于内筒部件31。
支承机构34具有固定于保持部件17的支承部件69和连结于内筒部件31的支承部件70。
图20是表示本实施方式的支承部件69的立体图。如图19以及图20所示，支承部件69为金属制的薄板状的部件。支承部件69能够弹性变形。支承部件69具有与保持部件17的上表面17A接触的接触部69A(第一接触部)及接触部69B(第一接触部)、与保持部件17的下表面17B接触的接触部69C(第二接触部)及接触部69D(第二接触部)、与保持部件17的+X侧的端面17E接触的连结部69E。连结部69E将接触部69A及接触部69B和接触部69C及接触部69D连结。
支承部件70为金属制的薄板状的部件。支承部件70能够弹性变形。支承部件70具有与保持部件17的上表面17A对置的对置部70A、与保持部件17的下表面17B对置的对置部70B、与保持部件17的+X侧的端面17E对置的对置部70C、向设于内筒部件31的上部的第一贯通孔38A中插入的插入部70D、以及向设于内筒部件31的下部的第二贯通孔38B中插入的插入部70E。插入部70D从内筒部件31的内侧向第一贯通孔38A插入。插入部70E从内筒部件31的内侧向第二贯通孔38B插入。
支承部件69固定于保持部件17。支承部件69利用弹力以接触部69A及接触部69B与接触部69C及接触部69D夹住保持部件17。
在支承部件69固定于保持部件17的状态下，支承部件69抵接(载置)于内筒部件31的内表面。接触部69A以及接触部69B的前端部接触内筒部件31的内表面，接触部69C以及接触部69D的前端部接触内筒部件31的内表面，从而将支承部件69固定于内筒部件31。另外，插入部70D插入到第一贯通孔38A且插入部70E插入到第二贯通孔38B而使支承部件70与圆筒部件31连结，从而限制灯加热器13在X轴方向上的移动。
第四实施方式.
对第四实施方式进行说明。在以下的说明中，对于与上述实施方式相同的构成要素，标注相同的附图标记，简略或者省略其说明。
在本实施方式中，对支承机构34以及支承机构35的变形例进行说明。
图21是表示本实施方式的灯加热器13的支承机构34的立体图，示出了参照图13说明的支承机构34的变形例。如图21所示，在参照图13说明的支承机构34中，也可以省略第二支承部件37。支承机构34能够利用第一支承部件36支承灯加热器13的前端侧。
图22是表示本实施方式的灯加热器13的支承机构34的立体图，示出了参照图18说明的支承机构34的变形例。如图22所示，在参照图18说明的支承机构34中，也可以省略第二支承部件37。支承机构34能够利用第一支承部件36支承灯加热器13的前端侧。
图23是表示本实施方式的灯加热器13的支承机构35的立体图，示出了参照图14说明的支承机构35的变形例。参照图14说明的支承部件39为薄板状的部件。如图23所示，支承部件39也可以为线状(圆棒状)。
其他实施方式.
在上述实施方式中，从供气口81以及供气口88供给的气体也可以不是空气，例如也可以是惰性气体。
引导机构53也可以不仅向中央灯加热器13C引导气体，还向周边灯加热器13S引导气体。
也可以是，不仅将灯加热器13的前端侧配置于内筒部件31的外侧，将灯加热器13的配线侧也配置于内筒部件31的外侧。
附图标记说明
1…流体系统，2…处理槽，3…循环泵，4…流体加热装置，5…过滤器单元，6…第一连接管，7…第二连接管，8…第三连接管，9…第四连接管，10…循环系统，11…壳体，12…容器，13…灯加热器，13C…中央灯加热器，13S…周边灯加热器，14…支腿部件，15…容器保持机构，16…灯主体，17…保持部件(第一保持部件)，17A…上表面，17B…下表面，17C…侧面，17D…侧面，17E…端面，17H…支承孔，18…保持部件(第二保持部件)，18A…上表面，18B…下表面，18C…侧面，18D…侧面，18E…端面，18H…支承孔，18K…支承孔，19…外部引线，20…封装体，21…灯丝，22…内部引线，23…内部引线，24…金属箔，25…金属箔，26…密封部(第一密封部)，26S…表面，27…密封部(第二密封部)，27S…表面，28…外筒部件，29…板部件，30…板部件，31…内筒部件，31A…一端部，31B…另一端部，31C…中央内筒部件，31S…周边内筒部件，32…灯空间，33…流体空间，34…支承机构，35…支承机构，36…第一支承部件，36A…第一接触部，36B…第二接触部，36C…连结部，36D…第一插入部，36E…第二插入部，37…第二支承部件，37A…第三接触部，37B…第四接触部，37C…连结部，37D…夹持部，37E…夹持部，38A…第一贯通孔，38B…第二贯通孔，39…支承部件，39A…连结部，39B…插入部，39C…插入部，40A…贯通孔，40B…贯通孔，50…冷却装置，51…供气口，51A…供气口，51B…供气口，52…喷嘴部件(第一喷嘴部件)，52A…上表面，53…引导机构(第一引导机构)，53A…引导部件，53B…引导部件，54…引导面，55…引导面，56…引导面，57…引导面，58…供气口，58A…供气口，58B…供气口，59…喷嘴部件(第二喷嘴部件)，59A…上表面，60…引导机构(第二引导机构)，60A…引导部件，60B…引导部件，61…引导面，62…引导面，63…引导面，64…引导面，65…第一供给管，66…第二供给管，67…气体供给管，68…气体供给源，69…支承部件，69A…接触部(第一接触部)，69B…接触部(第一接触部)，69C…接触部(第二接触部)，69D…接触部(第二接触部)，69E…连结部，70…支承部件，70A…对置部，70B…对置部，70C…对置部，70D…插入部，70E…插入部，AX…中心轴，FL…地板面，Ga…间隙，Gb…间隙，Ma…开口，Mb…开口。

Claims (16)

1.一种流体加热装置，其中，
所述流体加热装置具备：
容器，其具有外筒部件以及配置于所述外筒部件的内侧的内筒部件，所述外筒部件的内表面与所述内筒部件的外表面之间的流体空间被供给流体；
灯加热器，其配置于所述内筒部件；
第一喷嘴部件，其配置于所述灯加热器的前端侧，具有供气口；
第一引导机构，其引导从所述第一喷嘴部件的所述供气口供给的第一气体；
所述内筒部件包含在与所述外筒部件的中心轴正交的面内配置于所述外筒部件的中央的中央内筒部件和配置于所述中央内筒部件的周围的多个周边内筒部件，
所述灯加热器包含配置于所述中央内筒部件的中央灯加热器和分别配置于多个所述周边内筒部件的周边灯加热器，
所述第一引导机构向所述中央灯加热器的前端侧引导所述第一气体。
2.根据权利要求1所述的流体加热装置，其中，
利用被所述第一引导机构引导的所述第一气体，相比于所述周边灯加热器的所述前端侧，重点冷却所述中央灯加热器的所述前端侧。
3.根据权利要求1或2所述的流体加热装置，其中，
所述灯加热器具有封装体、配置于所述封装体的内部空间的灯丝、设于所述封装体的端部并密封所述内部空间的密封部以及配置于所述密封部并连接于所述灯丝的金属箔，
所述第一引导机构向所述中央灯加热器的所述前端侧的所述密封部引导所述第一气体。
4.根据权利要求3所述的流体加热装置，其中，
所述灯加热器具有平行地配置的2个灯主体，
所述灯主体分别具有所述封装体、所述灯丝、所述密封部以及所述金属箔，
所述流体加热装置具备对一方的所述灯主体的所述密封部以及另一方的所述灯主体的所述密封部进行保持的保持部件，
所述第一引导机构向所述中央灯加热器的所述前端侧的所述保持部件引导所述第一气体。
5.根据权利要求4所述的流体加热装置，其中，
所述密封部包含设于所述灯主体的所述前端侧的第一密封部和设于所述灯主体的配线侧的第二密封部，
所述保持部件包含对一方的所述灯主体以及另一方的所述灯主体的所述第一密封部的至少一部分进行保持的第一保持部件和对一方的所述灯主体以及另一方的所述灯主体的所述第二密封部的至少一部分进行保持的第二保持部件，
在所述前端侧，配置于一方的所述灯主体的所述第一密封部的金属箔与配置于另一方的所述灯主体的所述第一密封部的金属箔连接，
在所述配线侧，配置于一方的所述灯主体以及另一方的所述灯主体的所述第二密封部的金属箔分别连接于外部引线。
6.根据权利要求5所述的流体加热装置，其中，
所述流体加热装置具备以所述灯加热器的所述前端侧的一部分配置于所述内筒部件的外侧的状态支承所述第一保持部件的支承机构。
7.根据权利要求6所述的流体加热装置，其中，
所述第一保持部件具有作为平坦面的上表面、作为平坦面的下表面以及将所述上表面与所述下表面连接的侧面，
在所述上表面以及所述下表面中的至少一方与所述内筒部件的内表面之间设置有间隙。
8.根据权利要求7所述的流体加热装置，其中，
所述支承机构包含支承部件，该支承部件具有与所述上表面接触的第一接触部、与所述下表面接触的第二接触部、向设于所述内筒部件的上部的第一贯通孔中插入的第一插入部以及向设于所述内筒部件的下部的第二贯通孔中插入的第二插入部，
所述第一插入部从所述内筒部件的内侧插入到所述第一贯通孔，
所述第二插入部从所述内筒部件的内侧插入到所述第二贯通孔。
9.根据权利要求7所述的流体加热装置，其中，
所述支承机构包含支承部件，该支承部件具有与所述上表面接触的第一接触部、与所述下表面接触的第二接触部、向设于所述内筒部件的上部的第一贯通孔中插入的第一插入部以及向设于所述内筒部件的下部的第二贯通孔中插入的第二插入部，
所述第一插入部从所述内筒部件的外侧插入到所述第一贯通孔，
所述第二插入部从所述内筒部件的外侧插入到所述第二贯通孔。
10.根据权利要求7所述的流体加热装置，其中，
所述支承机构包含支承部件，该支承部件具有与所述上表面接触的第一接触部、与所述下表面接触的第二接触部以及将第一接触部与所述第二接触部连结的连结部，
在所述支承部件固定于所述第一保持部件的状态下，所述支承部件抵接于所述内筒部件的内表面。
11.根据权利要求7至10中任一项所述的流体加热装置，其中，
多个所述灯加热器分别以所述第一保持部件的所述平坦面从水平方向观察处于上下的方式固定于所述内筒部件。
12.根据权利要求5至11中任一项所述的流体加热装置，其中，
所述流体加热装置具备：
第二喷嘴部件，其配置于所述灯加热器的所述配线侧，具有供气口；
第二引导机构，其引导从所述第二喷嘴部件的所述供气口供给的第二气体；
所述第二引导机构向所述中央灯加热器的所述配线侧引导所述第二气体，
从所述第一喷嘴部件的供气口供给的第一气体的流量比从所述第二喷嘴部件的供气口供给的第二气体的流量多。
13.根据权利要求12所述的流体加热装置，其中，
利用被所述第二引导机构引导的所述第二气体冷却所述外部引线，
所述中央灯加热器的所述配线侧经由所述外部引线而被冷却。
14.根据权利要求13所述的流体加热装置，其中，
利用被所述第二引导机构引导的所述第二气体，相比于所述周边灯加热器的所述配线侧，重点冷却所述中央灯加热器的所述配线侧。
15.根据权利要求12至14中任一项所述的流体加热装置，其中，
第一密封部配置于所述内筒部件的一端部，所述第二密封部配置于所述内筒部件的另一端部，
所述流体加热装置具备以所述内筒部件的一端部比所述内筒部件的另一端部靠上方配置的方式对所述容器进行保持的容器保持机构。
16.根据权利要求1至15中任一项所述的流体加热装置，其中，
所述容器为透明的石英玻璃制。
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