JP3137272B2 - 流体加熱装置 - Google Patents

流体加熱装置

Info

Publication number
JP3137272B2
JP3137272B2 JP04172560A JP17256092A JP3137272B2 JP 3137272 B2 JP3137272 B2 JP 3137272B2 JP 04172560 A JP04172560 A JP 04172560A JP 17256092 A JP17256092 A JP 17256092A JP 3137272 B2 JP3137272 B2 JP 3137272B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heating
fluid
pipe
vessel
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP04172560A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0618089A (ja
Inventor
徹夫 大西
宏昌 高松
槙雄 坪田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Komatsu Ltd
Original Assignee
Komatsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP04172560A priority Critical patent/JP3137272B2/ja
Application filed by Komatsu Ltd filed Critical Komatsu Ltd
Priority to DE4392931A priority patent/DE4392931B8/de
Priority to PCT/JP1993/000894 priority patent/WO1994000720A1/ja
Priority to KR1019940704775A priority patent/KR0171922B1/ko
Priority to GB9426175A priority patent/GB2283805B/en
Priority to DE4392931T priority patent/DE4392931T1/de
Priority to US08/356,247 priority patent/US5740315A/en
Publication of JPH0618089A publication Critical patent/JPH0618089A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3137272B2 publication Critical patent/JP3137272B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24H—FLUID HEATERS, e.g. WATER OR AIR HEATERS, HAVING HEAT-GENERATING MEANS, e.g. HEAT PUMPS, IN GENERAL
    • F24H1/00—Water heaters, e.g. boilers, continuous-flow heaters or water-storage heaters
    • F24H1/10—Continuous-flow heaters, i.e. heaters in which heat is generated only while the water is flowing, e.g. with direct contact of the water with the heating medium
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24H—FLUID HEATERS, e.g. WATER OR AIR HEATERS, HAVING HEAT-GENERATING MEANS, e.g. HEAT PUMPS, IN GENERAL
    • F24H1/00—Water heaters, e.g. boilers, continuous-flow heaters or water-storage heaters
    • F24H1/10—Continuous-flow heaters, i.e. heaters in which heat is generated only while the water is flowing, e.g. with direct contact of the water with the heating medium
    • F24H1/12—Continuous-flow heaters, i.e. heaters in which heat is generated only while the water is flowing, e.g. with direct contact of the water with the heating medium in which the water is kept separate from the heating medium
    • F24H1/121—Continuous-flow heaters, i.e. heaters in which heat is generated only while the water is flowing, e.g. with direct contact of the water with the heating medium in which the water is kept separate from the heating medium using electric energy supply

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、主として純水や薬液の
加熱に用いられる流体加熱装置で、半導体製造用洗浄液
温調装置、薬液温調装置、メッキ液温調装置さらに食品
製造用液温調装置等に適用されるものある。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造用洗浄液温調装置としては、
被加熱流体の汚染防止の観点から、加熱容器の材質に石
英ガラスを用い、加熱源のヒータも直接液体に接触しな
いように、石英ガラス管内に設置する構造のものが多
い。また加熱効率の向上の観点からニクロム線ヒータを
加熱源に用いる方式に代わりハロゲンランプを利用する
方式も多くなっている。
【０００３】そして従来の上記流体加熱装置で、図１
（Ａ）に示すように、石英ガラス容器ａとヒータｂを組
合わせたものとしては、実開平２−５２４３７号公報に
示されたものがあり、また図１（Ｂ）に示すように、加
熱器の加熱能力を増大させるために、石英ガラスによる
二重管加熱容器Ｃの中空内管にヒータを配置した加熱容
器を複数個連結して流体を連続に加熱できるようにした
連続加熱器の従来技術としては、実開昭６２−２２４６
２号公報に示されたものがある。さらに、加熱能力の増
大を図った連続加熱装置の他の先行技術としては、図２
に示すように、石英ガラスからなる外管ｅ内に複数の内
管ｆを配し、この各円管ｆ内にハロゲンランプからなる
ヒータを取出し自在に設置した加熱容器ｇを複数個直列
に配置したものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術にあっ
ては、（１）不均一加熱の問題、（２）大型化の問題、
（３）液溜まりの問題等があり、これら個々の問題点を
以下に説明する。
【０００５】（１）不均一加熱 被加熱流体の汚染防止の上で石英ガラスを用いることは
実開平２−５２４３７号公報（図１）で示すように不可
欠であるが、この場合、加熱容器が加熱と被洗浄物の処
理槽を兼ねているため、加熱容器の大型化や流体の加熱
が不均一になるなどの問題がある。
【０００６】（２）大型化 加熱容器の加熱の高効率化と小型化を図るためには、ま
ず加熱容器の数を増やす方法があるが、図１（Ｂ）に示
される実開昭６２−２２４６２号公報のものにあって
は、加熱容器間を結ぶ配管が長いため、加熱容器を複数
個並べた場合は全体の高さが増えてしまう問題がある。
また図２にす構成のものにあっては、加熱容器としては
石英ガラスの外管内ｅの複数の内管ｆを配し、その中に
ヒータを設置した構造にして加熱容器単体としての大出
力化を図り、この加熱容器ｇを複数個隣接配置して連続
加熱ができるようにして大容量の流体の加熱を実現して
いるが、この連続隣接配置方法も加熱容器間のピッチが
大きく、加熱装置全体の容積を増やし、装置の大型化を
招くという問題がある。
【０００７】（３）液溜まり 図２に示すものにあっては、各加熱容器ｇが水平状に設
置されているため、各加熱容器ｇの上面に気泡が溜まり
やすく、特に液が沸騰した際に、多量に発生する気泡が
流出しにくく危険であった。また加熱容器内に液溜まり
もできやすく、被加熱流体の汚染の点でも問題がある。
一方図１（Ｂ）に示す実開昭６２−２２４６２号公報の
ものは、加熱容器内の流れを円滑にし、気泡の逃げや液
溜りの防止のために、加熱容器を傾斜して設置している
が、この従来例のものにあっては、複数個の加熱容器を
並べる場合、各加熱容器の傾斜がジグザグ状になって同
じ向きでないため、各加熱容器間のピッチが大きくな
り、スペースをとる問題がある。
【０００８】本発明は上記のことにかんがみなされたも
ので、被加熱流体を汚染することなく、高効率で流体を
連続的に加熱できるようにする観点からハロゲンランプ
と石英ガラスによる加熱容器の構成を踏襲しつつ、クリ
ーンルーム内での使用を前提に、加熱装置としての小型
化を図り、特に加熱能力の増大の際に顕在化する装置の
大型化の問題を回避でき、また加熱容器及び配管系での
液溜りの問題を回避でき、さらにヒータの寿命を長くす
ることができるようにした流体加熱装置を提供すること
を目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る流体加熱装置は、純水や薬液の加熱に
用いる流体加熱装置において、加熱部２と流体供給調整
部３とを箱体１内に収容し、これら加熱部２と流体供給
調整部３とを箱体１内で分離し、流体供給調整部３を加
熱部２の側方に配置し、加熱部２の下流側に気泡分離除
去装置１９を介装した構成になっている。そしてこの構
成において、流体供給調整部３を加熱部２の側方から上
下方向にわたって配置し、または加熱部２と流体供給調
整部３との間に遮熱板４を介装した構成となっている。
また加熱部２は両端を側板５，５にて閉じた筒状の外管
６内に、側板５，５を貫通して内管７を設け、さらに外
管６に流入管８と流出管９とを設け、かつ石英ガラスか
らなる加熱容器２ａの上記内管７内にヒータを挿入した
構成からなり、流体供給調整部３は加熱部２に流体を供
給する管路で、かつ開閉弁、流量計、温度センサ、安全
弁、継手配管等よりなっている。また加熱部２の加熱容
器２ａをその軸心が上下方向に傾斜するようにして配置
すると共に、この傾斜して配置される加熱容器２ａの外
筒６の低い方の端部下面に流入管８を、また高い方の端
部上面に流出管９のそれぞれの基端部を接続すると共
に、上記流入管８と流出管９をそれぞれの下流側が高く
なるように傾斜させた構成となっている。さらに加熱容
器２ａを複数個用いる場合において、各加熱容器２ａの
流入管８と流出管９を加熱容器２ａの一側方へ延設して
それぞれの端部を同一方向にオフセットして一方の加熱
容器２ａの流出管９と他方の加熱容器２ａの流入管８を
接続する。また、加熱容器２ａの外筒６に接続する流入
管８と流出管９のそれぞれの基端部を、外筒６の接線方
向に向けて接続し、かつ流入管８、流出管９の外筒６と
の接合部の管壁面を曲面としてある。そしてさらに、加
熱容器２ａの内管７内に挿入するヒータにハロゲンラン
プ１０を用い、このハロゲンランプ１０の両端のシール
部が内管７より完全に露出させると共に、この両端部を
ばね状支持具１２にて内管７に支持した構成となってい
る。
【００１０】
【作 用】加熱部２と流体供給調整部３とが箱体１内で
横方向及び上下方向に分離配置されて、薄い箱体１内に
収納される。そしてこの両者間に介装した遮熱板にてそ
れぞれが断熱される。そして流体中の気泡は気泡分離除
去装置１９にて分離除去される。また加熱部３を流れる
流体は常に上方向へ傾斜して流れることにより、途中に
滞溜したり、気泡が溜まることなく流れる。また加熱部
３の各加熱容器２ａ内へ流入する流体は加熱容器２ａの
接線方向に流入される。各加熱容器２ａでのヒータとし
て用いたハロゲンランプ１０は、その両端部の熱上昇が
防止されると共に容易に脱着できるように装着される。
【００１１】
【実 施 例】本発明の実施例を図３から図１０に基づ
いて説明する。図中１は流体加熱装置の箱体であり、こ
の箱体１内に、この箱体１の横方向一方側に、複数の加
熱容器２ａ，２ａを上下方向に直列に接続してなる加熱
部２があり、他方側に、この加熱部２の加熱容器２ａ，
２ａに流体を供給循環させるための流体供給調整部３が
配設してある。そしてこの両者間に遮熱板４が介装して
ある。
【００１２】上記加熱部２の加熱容器２ａは図５から図
７に示すようになっており、両端を側板５，５で閉じた
円筒状に形成された外管６と、この外管６の両側板５，
５を貫通して外管６内に、これと同軸状に複数本配設し
た内管７と、外管６の下側下面に連設した流入管８と、
外管６の外側上面に連設した流出管９とからなってい
る。この加熱容器２ａの全ての構成部材は透明の石英ガ
ラスにて構成され、かつ溶接にてそれぞれが接合されて
いる。内管７の本数は外管６の径によって適宜選択さ
れ、かつ各内管７を覆う流体厚が略同一になるように配
置されている。
【００１３】流入管８と流出管９のそれぞれの基端部は
外管６の断面形状の縦方向中心軸と交る位置で、かつ流
入管８は外管６の下側一側端部に、流入管９は外管６の
上側他側端部にそれぞれ接続されている。そして両管
８，９とも上記縦方向中心軸の一側方に延設されてい
る。そしてこの両管８，９のそれぞれの基部は外管６の
横方向中心軸に対して互いに離れる方向に３〜５°に傾
斜した接線方向に向けてある。また両管８，９のそれぞ
れは上記基部より外管６に沿う方向で、互いに対向する
方向に湾曲折れ曲げられており、かつ流入管８にあって
は外管６の軸心に対して下方６〜８°にわたって傾斜さ
れており、流出管９にあっては外管６の軸心に対して上
方へ６〜８°にわたって傾斜されている。
【００１４】上記加熱容器２ａの各内管７にヒータとな
るハロゲンランプ１０が挿入支持される。このハロゲン
ランプ１０の支持構造は図８に示すようになっていて、
ハロゲンランプ１０の両端のシール部１１が内管７より
完全に露出されるようになっており、そのシール部１１
の近傍の管壁がばね状支持具１２にて内管７の軸心部に
支持されている。ばね状支持具１２は例えば板ばねが用
いられ、折り曲げ中間部にハロゲンランプ１０の管壁を
挟持するヒータ支持部１２ａが設けられ、折り曲げ基端
部と両先端部が内管７の内面に当接する形状になってお
り、一方の先端部に内管７に設けた切欠７ａに係合する
突起１２ｂが設けられている。上記ばね状支持具１２の
形状は図１０に示すように種々の形状が考えられる。
【００１５】上記のように構成される各加熱容器２ａ，
２ａは図３に示すように、取付具１３により箱体１に取
付けられる。このとき、複数個の加熱容器２ａ，２ａを
用いる場合には図３に示すように上下に並べて配置す
る。このとき、各加熱容器２ａ，２ａは流出管９の基端
部を接続した方の端部が高くなるようにわずかに、かつ
同方向（平行）に傾斜させてある。この傾斜角は上記流
入管８、流出管９の傾斜度である６〜８°より小さな角
度、例えば３°の角度となっている。この傾斜角の３°
はハロゲンランプ１０の許容設置角度５°以下というハ
ロゲンランプ１０の使用条件を満たしており、また流入
管８と流出管９の姿勢も上記傾斜角度３°にて少しは相
殺されるがまだ３〜５°の傾斜が保たれることになり、
加熱容器２ａを通過する流体は全て上向きの同一の傾斜
角の流路を通過することになる。
【００１６】上記各加熱容器２ａ，２ａの相互は流入管
８と流出管９は通常の接続管にて接続される。そして最
下側（最上流側）の加熱容器２ａの流入管８は排水弁１
４、開閉弁１５、流量計１６等を介装した流入管路１７
に接続されている。一方最上側（最下流側）の加熱容器
２ａの流出管９は温度センサ１８を介して気泡分離除去
装置１９の流入管２０に接続されており、この気泡分離
除去装置１９の流出管２１に開閉弁２２を介装した流出
管路２３が接続してある。またこの流出管路２３の開閉
弁２２の上流側には開閉弁２４と安全弁２５を介装した
安全管路２６が接続してある。
【００１７】上記流入管路１７及び流出管路２３はそれ
ぞれ加熱容器２ａの下側及び上側に位置され、かつ加熱
容器２ａの位置より側方へ延長され、また各管路内の開
閉弁、流量計、安全弁等の流体供給調整部３の各機器は
加熱部２に対して遮熱板４にて仕切られた箱体１の他側
方部に配置されている。
【００１８】上記各加熱容器２ａの流入管８と流出管９
は上記したように、縦方向中心軸に対して一側方へオフ
セットされているが、このオフセット量は流入管８と流
出管９に取付く接手管１３が外管６に干渉しない範囲で
最小にする。
【００１９】気泡分離除去装置１９は加熱容器２と略平
行となる角度で傾斜して取付けられており、かつこれの
流入管２０と流出管２１も加熱容器のそれと同じように
傾斜されており、この気泡分離除去装置１９においても
流体の通路は傾斜するようになっている。
【００２０】上記加熱部２の遮熱板４の反対側にも他の
遮熱板４ａが対設してある。また上記各加熱容器２，２
の外周部は必要に応じて断熱材にて被覆する。
【００２１】上記構成において、流入管路１７より流入
した液体は流量計１６、開閉弁１５、排水弁１４を介し
て順次加熱容器２ａ，２ａを通り、この間に内管７内に
挿入されたハロゲンランプ１０にて加熱され、ついで気
泡分離除去装置１９で気泡が分離除去され、流出管路２
３の開閉弁２２を経て流出される。
【００２２】このとき、加熱容器２ａ，２ａがハロゲン
ランプ１０の許容設置角度の範囲で傾斜されており、し
かもこの加熱容器２の流入管８と流出管９もそれぞれの
下流側が高くなるように傾斜されていることにより、加
熱容器２ａ内を通る液体は、加熱容器２ａ内で液溜り及
び気泡溜りが生じることなくスムーズに流れる。そして
最後に気泡分離除去装置１９にてまとめて気泡が分離除
去される。また各加熱容器２の流入管８と流出管９の基
端部は加熱容器２の外管６の接線方向に接続されている
ことにより、加熱容器２の液体の流入、流出は旋回流と
なり効率よく加熱される。ヒータとなるハロゲンランプ
１０はばね状支持具１２をはずすことにより容易に交換
される。
【００２３】上記実施例では、流体供給調整部３を加熱
部２の側方へ離間して配置した例を示したが、流体供給
調整部３は加熱部の側方から上下にわたって配置しても
よい。また上記実施例では、加熱部２を構成する加熱容
器２ａを２個用いた例を示したが、この加熱容器２ａは
１個でもよく、あるいは３個以上であってもよく、複数
個用いる場合は上記実施例で示したように上下方向に配
列する。また気泡分離除去装置１９は、加熱容器２ａの
直ぐ下流側に接続しないで、回路系の他の部分に介装す
るようにしてもよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、加熱部２と流体供給調
整部３とを箱体１内で分離し、流体供給調整部３を加熱
部２の側方に配置し、加熱部２の下流側に気泡分離除去
装置１９を介装したことにより、箱体１内に加熱部２と
流体供給調整部３を収納してなる流体加熱装置の薄型化
を図ることができると共に、流体の加熱時に生じる気泡
が加熱部を流体する際に分離除去される。 また、流体供
給調整部３を加熱部２の側方から上下方向にわたって配
置したことにより、箱体１内での加熱部２と流体供給調
整部３の組立性及び整備性を向上することができる。
【００２５】また上記加熱部２と流体供給調整部３との
間に遮熱板４を介装したことにより、箱体１内で加熱部
２と流体供給調整部３との間隔を狭くすることができて
装置の小型化を図ることができる。
【００２６】また、上記加熱部２の加熱容器２ａをその
軸心が上下方向に傾斜するようにして配置したことによ
り、加熱部を流れる流体は、この加熱部２の加熱容器２
ａ内で滞留することがなくなると共に、加熱容器２から
の気泡の流出が円滑に行なわれる。また傾斜して配置さ
れる加熱容器２ａの外筒６の低い方の端部下面に流入管
８を、また高い方の端部上面に流出管９のそれぞれの基
端部を接続すると共に、上記流入管８と流出管９をそれ
ぞれの下流側が高くなるように傾斜させたことにより、
加熱容器２ａに対する流入管８と流出管９のそれぞれの
接続部での流体の流通がスムーズに行なわれると共に、
この部分に気泡が溜まることがなくなる。
【００２７】また加熱容器２ａを複数個用いる場合にお
いて、各加熱容器２ａの流入管８と流出管９を加熱容器
２ａの一側方へ延設してそれぞれの端部を同一方向にオ
フセットして一方の加熱容器２ａの流出管９と他方の加
熱容器２ａの流入管８を接続したことにより、加熱容器
２ａ相互の流入管８と流出管９の接続部を加熱容器２ａ
の側方で行なうことができ、これにより、複数の加熱容
器２ａを用いた場合に、各加熱容器２ａの上下方向の間
隔を小さくできて高さ方向の大きさを小さくすることが
できる。
【００２８】また加熱容器２ａの外筒６に接続する流入
管８と流出管９のそれぞれの基端部を、外筒６の接触方
向に向けて接続し、かつ流入管８、流出管９の外管６と
の接合部の管壁面を曲面にしたことより、加熱容器２ａ
への流体の流入、流出は加熱容器２ａの軸心に対して旋
回流となり、この加熱容器２ａ内での加熱効率を向上す
ることができる。そしてさらに、加熱容器２ａの内管７
内に挿入するヒータにハロゲンランプ１０を用い、この
ハロゲンランプ１０の両端のシール部が内管７より完全
に露出させると共に、この両端部をばね状支持具１２に
て内管７に支持したことにより、ハロゲンランプ１０の
シール部の冷却が十分になり、このハロゲンランプ１０
の寿命を長くすることができ、またこれの脱着を容易に
行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）は石英ガラス容器とヒータを組合わせた
従来例を示す断面図である。（Ｂ）は石英ガラスによる
二重管式加熱容器の内管内にヒータを配置した加熱容器
を複数個連結した従来例を示す断面図である。
【図２】石英ガラスによる外管内に複数の内管を配し、
この内管内にハロゲンランプを脱着自在に挿入するよう
にした従来例を示す断面図である。
【図３】本発明の実施例の概略的な構成を示す破断正面
図である。
【図４】本発明の実施例の概略的な構成を示す破断側面
図である。
【図５】本発明にて用いられる加熱容器の一部破断正面
図である。
【図６】図５のＡ矢視図である。
【図７】図５のＢ矢視図である。
【図８】ハロゲンランプの支持構造部を示す断面図であ
る。
【図９】図８のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図１０】ハロゲンランプを支持するばね状支持具の他
例を示す正面図である。
【符号の説明】
１…箱体、２…加熱部、２ａ…加熱容器、３…流体供給
調整部、４，４ａ…遮熱板、５…側板、６…外管、７…
内管、７ａ…切欠、８…流入管、９…流出管、１０…ハ
ロゲンランプ、１１…シール部、１２…ばね状支持具、
１２ａ…ヒータ支持部、１２ｂ…突起、１３…取付具、
１５，２２，２４…開閉弁、１６…流量計、１７…流入
管路、１８…温度センサ、１９…気泡分離除去装置、２
３…流出管路、２５…安全弁、２６…安全管路。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−128745（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−82453（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭55−153532（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F24H 1/10 B08B 3/04 H01L 21/306 C23C 18/31

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 純水や薬液の加熱に用いる流体加熱装置
    において、加熱部２と流体供給調整部３とを箱体１内に
    収容し、これら加熱部２と流体供給調整部３とを箱体１
    内で分離し、流体供給調整部３を加熱部２の側方に配置
    し、加熱部２の下流側に気泡分離除去装置１９を介装し
    たことを特徴とする流体加熱装置。
  2. 【請求項２】 流体供給調整部３を加熱部２の側方から
    上下方向にわたって配置したことを特徴とする請求項１
    記載の流体加熱装置。
  3. 【請求項３】 加熱部２と流体供給調整部３との間に遮
    熱板４を介装したことを特徴とする請求項１記載の流体
    加熱装置。
  4. 【請求項４】 加熱部２と流体供給調整部３とからなる
    流体加熱装置において、加熱部２は両端を側板５，５に
    て閉じた筒状の外管６内に、側板５，５を貫通して内管
    ７を設け、さらに外管６に流入管８と流出管９とを設
    け、かつ石英ガラスからなる加熱容器２ａの上記内管７
    内にヒータを挿入した構成からなり、流体供給調整部３
    は加熱部２に流体を供給する管路で、かつ開閉弁、流量
    計、温度センサ、安全弁、継手配管等よりなることを特
    徴とする流体加熱装置。
  5. 【請求項５】 加熱部２と流体供給調整部３とからなる
    流体加熱装置において、加熱部２の加熱容器２ａをその
    軸心が上下方向に傾斜するようにして配置すると共に、
    この傾斜して配置される加熱容器２ａの外筒６の低い方
    の端部下面に流入管８を、また高い方の端部上面に流出
    管９のそれぞれの基端部を接続すると共に、上記流入管
    ８と流出管９をそれぞれの下流側が高くなるように傾斜
    させたことを特徴とする流体加熱装置。
  6. 【請求項６】 加熱容器２ａを複数個用いる場合におい
    て、各加熱容器２ａの流入管８と流出管９を加熱容器２
    ａの一側方へ延設してそれぞれの端部を同一方向にオフ
    セットして一方の加熱容器２ａの流出管９と他方の加熱
    容器２ａの流入管８を接続したことを特徴とする請求項
    ５記載の流体加熱装置。
  7. 【請求項７】 加熱容器２ａの外筒６に接続する流入管
    ８と流出管９のそれぞれの基端部を、外筒６の接線方向
    に向けて接続し、かつ流入管８、流出管９の外筒６との
    接合部の管壁面を曲面としたことを特徴とする請求項５
    記載の流体加熱装置。
  8. 【請求項８】 加熱容器２ａの内管７内に挿入するヒー
    タにハロゲンランプ１０を用い、このハロゲンランプ１
    ０の両端のシール部が内管７より完全に露出させると共
    に、この両端部をばね状支持具１２にて内管７に支持し
    たことを特徴とする請求項４または５記載の流体加熱装
    置。のある。
JP04172560A 1992-06-30 1992-06-30 流体加熱装置 Expired - Lifetime JP3137272B2 (ja)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04172560A JP3137272B2 (ja) 1992-06-30 1992-06-30 流体加熱装置
PCT/JP1993/000894 WO1994000720A1 (en) 1992-06-30 1993-06-29 Fluid heating system
KR1019940704775A KR0171922B1 (ko) 1992-06-30 1993-06-29 유체 가열 장치
GB9426175A GB2283805B (en) 1992-06-30 1993-06-29 Fluid heating system
DE4392931A DE4392931B8 (de) 1992-06-30 1993-06-29 Fluidheizvorrichtung
DE4392931T DE4392931T1 (de) 1992-06-30 1993-06-29 Fluidheizvorrichtung
US08/356,247 US5740315A (en) 1992-06-30 1993-06-29 Fluid heating apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04172560A JP3137272B2 (ja) 1992-06-30 1992-06-30 流体加熱装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0618089A JPH0618089A (ja) 1994-01-25
JP3137272B2 true JP3137272B2 (ja) 2001-02-19

Family

ID=15944122

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP04172560A Expired - Lifetime JP3137272B2 (ja) 1992-06-30 1992-06-30 流体加熱装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5740315A (ja)
JP (1) JP3137272B2 (ja)
KR (1) KR0171922B1 (ja)
DE (2) DE4392931T1 (ja)
GB (1) GB2283805B (ja)
WO (1) WO1994000720A1 (ja)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19613411C1 (de) * 1996-04-03 1997-08-21 Steag Micro Tech Gmbh Fluid-Heizeinrichtung mit einem von einem Fluid durchströmten Rohr
JP3375050B2 (ja) * 1997-03-31 2003-02-10 富士通株式会社 廃硫酸連続精製装置及び精製方法
US6240250B1 (en) * 1999-06-10 2001-05-29 Byron Blanco, Jr. Compact in-line tankless double element water heater
US7153285B2 (en) 2002-01-17 2006-12-26 Baxter International Inc. Medical fluid heater using radiant energy
US20040131346A1 (en) * 2003-01-03 2004-07-08 Chamberlain Roland J. Energy efficient electric water heater system that provides immediate hot water at a point of use and a method therefor
US7190894B2 (en) * 2003-01-03 2007-03-13 Mc3 Technology, Inc. Energy efficient electric water heater system that provides immediate hot water at a point of use and a method therefor
US7834294B2 (en) * 2003-03-05 2010-11-16 Panasonic Corporation Heating device and sanitary washing device using the same
US8029454B2 (en) 2003-11-05 2011-10-04 Baxter International Inc. High convection home hemodialysis/hemofiltration and sorbent system
JP4029092B2 (ja) * 2004-10-26 2008-01-09 日本ピラー工業株式会社 流体用ヒータ及び流体加熱装置
US7809254B2 (en) * 2007-07-05 2010-10-05 Baxter International Inc. Dialysis fluid heating using pressure and vacuum
US7639931B2 (en) * 2007-09-19 2009-12-29 Hua-Hsin Tsai Vertical water heater
WO2009153371A1 (es) * 2008-06-20 2009-12-23 Innoergy Proyectos, S.L. Dispositivo para el calentamiento del líquidos
ES2331680B1 (es) * 2008-06-20 2010-06-29 Innoergy Proyectos, S.L. Dispositivo para el calentamiento de liquidos.
JP5409038B2 (ja) * 2009-02-17 2014-02-05 株式会社アイテック 加熱装置
EP2429351B1 (en) * 2009-05-16 2016-02-10 Ideas Well Done LLC Food steamer containers with sequential ohmic water heating
US8687951B2 (en) * 2009-09-08 2014-04-01 Patrick F. Servidio Halogen water heater
US20110174070A1 (en) * 2010-01-20 2011-07-21 Envicor Incorporated Storage tank assembly and system for storing waste cooking oil
ITTO20100351A1 (it) * 2010-04-27 2011-10-28 N&W Global Vending Spa Caldaia per il riscaldamento di un liquido
JP5538100B2 (ja) * 2010-07-02 2014-07-02 株式会社アイテック 加熱装置
GB2493719A (en) * 2011-08-15 2013-02-20 Strix Ltd Flow heater with temperature sensing and a heat sink
US9322571B2 (en) * 2011-11-11 2016-04-26 Lv Dynamics Llc Heating system having plasma heat exchanger
US9074819B2 (en) * 2012-04-04 2015-07-07 Gaumer Company, Inc. High velocity fluid flow electric heater
JP5999631B2 (ja) * 2012-04-20 2016-09-28 サンデンホールディングス株式会社 加熱装置
US9140466B2 (en) 2012-07-17 2015-09-22 Eemax, Inc. Fluid heating system and instant fluid heating device
US10222091B2 (en) 2012-07-17 2019-03-05 Eemax, Inc. Next generation modular heating system
US20140112650A1 (en) * 2012-10-19 2014-04-24 Edwards Vacuum, Inc. Cartridge heater apparatus
JP6049398B2 (ja) * 2012-10-24 2016-12-21 東京エレクトロン株式会社 ヒータ装置
US9234674B2 (en) * 2012-12-21 2016-01-12 Eemax, Inc. Next generation bare wire water heater
US10264629B2 (en) * 2013-05-30 2019-04-16 Osram Sylvania Inc. Infrared heat lamp assembly
US9702585B2 (en) 2014-12-17 2017-07-11 Eemax, Inc. Tankless electric water heater
US20160334138A1 (en) * 2015-05-15 2016-11-17 Engenity, Llc Controllable heated fluid and/or vapor vessel system and method for controllably heating a fluid and/or vapor vessel
DE102017102956A1 (de) * 2017-02-14 2018-08-16 Franke Water Systems Ag Vorrichtung zur Ausgabe von Heißwasser
JP7082514B2 (ja) * 2018-04-04 2022-06-08 株式会社Kelk 流体加熱装置
WO2021042319A1 (zh) * 2019-09-05 2021-03-11 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 血液细胞分析仪的分析方法和血液细胞分析仪

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1684963A (en) * 1928-09-18 Heater for liqtjid-he at -transmission systems
US2813964A (en) * 1956-08-20 1957-11-19 Ralph G Cerulli Electric hot water house heating systems and novel preheaters and tanks for hot water
DE1108348B (de) * 1957-06-26 1961-06-08 Dr Hans Vonhoff Wasserwaermer, insbesondere fuer den Haushalt
US3782452A (en) * 1972-05-05 1974-01-01 P Ceplon Spacer system for use with pipes employing tracer lines
FR2293673A1 (fr) * 1974-12-02 1976-07-02 Giraud Gabriel Dispositif de mini-chaufferie electrique pour chauffage central collectif et individuel
DE2532978C3 (de) * 1975-07-23 1978-04-06 Hans Pratteln Hucke (Schweiz) Wärmeübertragungsanlage
JPS5729245Y2 (ja) * 1975-11-11 1982-06-25
GB1523763A (en) * 1976-10-21 1978-09-06 Simper T W Heaters for liquids
US4567350A (en) * 1983-01-06 1986-01-28 Todd Jr Alvin E Compact high flow rate electric instantaneous water heater
ZA843094B (en) * 1983-05-04 1984-12-24 Albert G Lemmons A method and apparatus for heating liquid
US4911761A (en) * 1984-05-21 1990-03-27 Cfm Technologies Research Associates Process and apparatus for drying surfaces
JPS61165529A (ja) * 1985-01-16 1986-07-26 Matsushita Refrig Co 熱媒体を封入した加熱体
JPS6222462U (ja) * 1985-07-23 1987-02-10
US4855023A (en) * 1986-10-06 1989-08-08 Athens, Inc. Method and apparatus for the continuous on-site chemical reprocessing of ultrapure liquids used in semiconductor wafer cleaning
JPH01178420U (ja) * 1988-05-25 1989-12-20
JPH0252437U (ja) * 1988-10-05 1990-04-16
JP2804074B2 (ja) * 1989-04-28 1998-09-24 株式会社東芝 加熱調理器
US5054107A (en) * 1989-05-19 1991-10-01 Geoffrey Batchelder Radiating lamp fluid heating system
US4940473A (en) * 1989-06-16 1990-07-10 Benham Roger A Cyclone solids separator and de-gasifier
FR2651869A1 (fr) * 1989-09-14 1991-03-15 Comparon Jean Daniel Chaudiere electrique a turbulence cyclonique.
JPH04338282A (ja) * 1991-05-15 1992-11-25 Mitsubishi Corp 半導体製造装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE4392931B4 (de) 2008-02-14
US5740315A (en) 1998-04-14
WO1994000720A1 (en) 1994-01-06
DE4392931B8 (de) 2008-09-11
GB9426175D0 (en) 1995-03-01
GB2283805B (en) 1996-11-27
KR950702302A (ko) 1995-06-19
KR0171922B1 (ko) 1999-03-20
JPH0618089A (ja) 1994-01-25
DE4392931T1 (de) 1995-05-11
GB2283805A (en) 1995-05-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3137272B2 (ja) 流体加熱装置
US5332388A (en) Ultraviolet disinfection module
ES2287051T3 (es) Reactor para la conversion catalitica de medios de reaccion, especialmente de medios de reaccion gaseosos.
JP2006514852A (ja) 紫外線放射を使用するモジュール式大容量高圧液体殺菌
JP2005507771A (ja) ユースポイント水精製法およびそのための装置
US4714053A (en) Water heater cleaning apparatus
US4838211A (en) Water heater construction and method of heating water
US1196481A (en) Sterilization of liquids.
US4157077A (en) Water heater
US4482431A (en) Distillation apparatus with a liquid-vapor separating device having three chambers
JPH0416514B2 (ja)
US4858563A (en) Water heater cleaning apparatus
JPH0113881B2 (ja)
JPH0212358B2 (ja)
CA1215276A (en) Water heater construction and method of heating water
US6028882A (en) Claus unit cooling and heat recovery system
JPH064161Y2 (ja) 熱交換器
JPH0674557A (ja) 純水加温装置
US1093925A (en) Solar heater.
EP0268968B1 (en) Fluid sterilizing process and device
CN213146570U (zh) 一种苯酐焚烧装置
JPH0631798B2 (ja) 高速中性子炉の冷却液体金属の一体型浄化装置
JPH05451B2 (ja)
RU2269071C1 (ru) Нагреватель
SU1209242A1 (ru) Пленочный испаритель

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071208

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081208

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081208

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091208

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091208

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101208

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111208

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111208

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121208

Year of fee payment: 12

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121208

Year of fee payment: 12