KR0171922B1 - 유체 가열 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 가열부(2)와 유체 공급 조정부(3)가 분리되어 양부가 유입관(8)과 유출관(9)을 통해서 연결된 상태로 케이싱(1)내에 수용되고, 상기 유체 공급 조정부(3)는 가열부(2)의 측편 또는 측편에서 상하 방향으로 배치되게 구성된 유체 가열 장치를 제공하는 것이다.
Description
[발명의 명칭]
유체가열장치
[발명의 상세한 설명]
[기술분야]
본 발명은 주로 순수한 물이나 화학적 액체의 가열에 사용되는 유체가열 장치에 관한 것으로서, 특히 반도체 제조용 세정액 온도 조절 장치, 화학적 액체 온도 조절 장치. 도금액 온도 조절 장치 및 식품제조용 액체 온도 조절 장치등에 적합한 유체 가열 장치에 관한 것이다.
[배경기술]
예를 들면, 반도체 제조용 세정액 온도 조절 장치로서는 피가열 유체의 오염을 방지하기 위하여 가열 용기의 재질로 석영 글래스를 사용하고, 가열 공급원인 히터를 직접 액체에 접촉되지 않도록 석영 글래스관내에 설치하는 구조의 것이 많다. 또한, 가열 효율의 향상을 위해, 가열 공급원에 니크롬선 히터를 사용하는 방식의 것 대신에 할로겐 램프를 사용하는 것도 많이 있다.
그리고, 상기 종래의 유체 가열 장치의 하나로서는 일본 실개평2-52437호 공보에 기재된 것이 있고, 이것은 제1도에 도시된 바와 같이, 가열 용기(h)가 가열과 피세정물의 처리조를 겸하고 있으며, 석영 글래스관(a)내에 히터(b)를 삽입하여 이루어져 있다.
또한, 일본 실개소62-22462호 공보에 기재된 것은, 제2도에 도시된 바와 같이, 가열기의 가열 능력을 증대시키기 위하여 석영 글래스 재료의 이중 중공내관(c)내에 히터(d)를 배치하여 이루어진 가열 용기(i)를 다수개 연결시켜 유체를 연속적으로 가열할 수 있도록 한 연속 가열 장치이다.
또한, 가열 능력의 증대를 도모한 연속 가열 장치의 다른 선행 기술로서는 제3도에 도시된 바와 같이, 석영 글래스로 이루어진 외관(e)내에 다수의 내관(f)을 배치하고, 각각의 내관(f)내에 할로겐 램프로된 히터(j)를 부착이 자유롭게 설치하여 이루어진 가열 용기(g)를 다수개 직렬로 접속시킨 것이 있다.
그러나, 상기 종래의 기술에 있어서는, (1) 장치의 대형화 문제, (2)기포잔류, 액체 잔류의 문제 등이 있고, 이러한 각각의 문제점에 대해서 이하에 설명한다.
(1) 장치의 대형화
피가열 유체의 오염 방지를 위해, 석영 글래스를 사용한 것이 제1도에 도시된 일본 실개평2-52437호 공보에 기재된 것과 같이 필수적이지만, 이 경우 가열용기(h)가 가열과 피세정물의 처리조를 겸하고 있기 때문에 가열 용기(h)가 대형으로 된다.
또한, 제2도에 도시된 실개소62-22462호 공보에 기재된 것은 가열 용기내의 흐름을 원활하게 하고, 기포의 배출이나 액체 잔류의 방지를 위해 가열 용기(i)를 경사지게 설치하고 있으며, 이러한 예에서는 다수개의 가열 용기(i)를 병렬로 한 경우 각 가열 용기(i)의 경사가 지그재그 형태로 되어 동일한 방향으로 향하지 않기 때문에 각 가열 용기(i)사이의 피치가 크게되어 공간을 차지하는 문제가 있다.
또한, 이러한 실개소62-22462호 공보에 기재된 것은 가열의 고효율화를 도모하기 위하여, 가열 용기(i)의 수를 증가시키지만 가열 용기(i)사이를 연결하는 배관이 길기 때문에, 다수개의 가열 용기(i)를 병렬로 한 경우는 전체의 높이가 크게 변하여 높게되는 문제가 있다.
또한, 제3도에 도시된 구성의 예에 있어서는 가열 용기(g)로서 석영 글래스 외관(e)내에 다수의 내관(f)을 배치하고 그 중간에 히터(j)를 설치한 구조로 하여 가열 용기(g) 단일 유닛으로서의 대출력화를 도모하고, 이 가열 용기를 다수개 인접 배치하여 연속 가열 할 수 있도록 하여 대용량의 유체 가열을 행하도록 하고 있지만, 이 연속 인접 배치 구조도 가열 용기(g) 사이의 피치가 크게 되므로 가열 장치 전체의 용적이 증대되어 장치의 대형화를 초래하는 문제가 있다.
(2) 기포잔류, 액체잔류
제3도에 도시된 예에 있어서는 각 가열 용기(g)가 수평으로 설치되어 있기 때문에 각 가열 용기(g)의 상면에 기포가 잔류하기 쉽고, 특히 액체가 비등할 때에 다량으로 발생하는 기포가 유출하기 어려운 위험이 있다. 또한, 가열 용기(g) 내의 액체 잔류도 발생하기 쉬운 문제가 있다.
본 발명은 피가열 유체를 오염시키지 않고, 고효율로 유체를 연속적으로 가열할 수 있도록 하는 관점에서 할로겐 램프와 석영 글래스로 이루어진 가열 용기의 구성을 포함하며, 그린 룸(clean room) 내에서의 사용을 전제로 가열 장치로서의 소형화를 도모하고, 특히 가열 능력의 증대시에 나타나는 장치의 대형화 문제를 방지할 수 있으며, 또한 가열 용기 및 배관계에서의 기포 잔류, 액체 잔류의 문제를 방지할 수 있고, 가열 효율을 가일층 향상시키며, 히터의 수명을 연장시킬 수 있도록 한 유체 가열 장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.
[발명의 개시]
상기 및 상기 이외의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따르면, 가열부와 유체 공급 조정부를 분리하고 또한 양부를 유입관과 유출관을 통해서 연결시킨 상태로 케이싱내에 수용하고, 상기 유체 공급 조정부를 상기 가열부의 측편에 또는 측편에서 상하방향을 따라 배치하여 이루어진 유체 가열 장치가 제공된다.
이러한 구성에 의하면, 유체 공급 조정부를 가열부의 측편에 또는, 측편에서 상하로 배치하므로써 케이싱내에 가열부와 유체 공급 조정부를 수납하게 되는 유체 가열 장치 전체의 박형화를 도모할 수 있다.
또한, 케이싱내에서의 가열부와 유체 공급 조정부의 조립성 및 정비성을 향상시킬 수도 있다.
또한, 상기 가열부와 상기 유체 공급 조정부와의 사이에 단열판을 설치하면, 케이싱내에서 가열부와 유체 공급 조정부와의 간격을 좁게 할 수가 있어서 장치의 소형화를 도모할 수가 있다.
또한, 상기 가열부가 다수개의 가열 용기로 이루어지고 인접 배치된 가열 용기의 한쪽 유입관과 다른 쪽 유출관이 접속되어 있으며, 상기 유입관 및 상기 유출관을 상기 가열부의 일측편으로 연장 설치하여 각각의 단부를 동일 방향으로 오프셋(offset)시키면, 가열부와 유체 공급부 용기 상호의 유입관과 유출관의 접속부를 가열 용기의 측편에 위치시킬 수가 있고, 이것에 의해 각 가열 용기의 상하 방향의 간격을 작게 할 수가 있어서 가열부의 높이 방향의 크기를 작게 할 수가 있다.
또한, 가열부와 유체 공급 조정부를 분리하여 양부를 유입관과 유출관을 통해 연결한 상태로 케이싱내에 수용하고, 상기 가열부와 가열 용기를 그 축이 상하 방향으로 경사지게 배치하여 상기 가열 용기의 낮은 쪽의 단부 하면에 유입관을, 높은 쪽의 단부 상면에 유출관을 각각 접속하고 상기 유입관과 상기 유출관을 각각의 하류측이 높게 되도록 경사지게 구성된 유체 가열 장치가 제공된다.
이러한 구성에 의하면, 가열부를 흐르는 유체는 상기 가열부의 가열 용기내에 잔류하지 않게 되며, 가열 용기로부터의 기포의 유출이 원활히 행해진다. 또한, 가열 용기에 대한 유입관과 유출관 각각의 접속부에서 유체의 유통이 부드럽게 행해지며 이 부분에 기포가 잔류하지 않게 된다.
또한, 상기 가열부의 하류측에 기포 분리 제거 장치를 설치하면, 유체의 가열시에 발생되는 기포가 가열부를 유출할 때에 분리 제거된다. 또한, 가열부와 유체 공급 조정부를 분리하여 양부를 유입관과 유출관을 통해 연결시킨 상태로 케이싱내에 수용하고, 상기 유입관 및 상기 유출관을 상기 가열부의 가열 용기의 외관에 이 외관의 접속 방향으로 향하게 각각 접속시킴과 동시에, 상기 유입관 및 상기 유출관의 상기 외관과의 접합부의 관 벽면을 곡면으로 구성하는 유체 가열 장치가 제공된다.
이러한 구성에 의하며, 가열 용기로의 유체의 유입, 유출은 가열 용기의 축에 대해 선회하여 흐르게 되므로써, 이 가열 용기내에서의 가열 효율을 향상시킬 수가 있다.
또한, 상기 가열부의 가열 용기는 양단이 측판에 의해 폐쇄된 외관내에 상기 측판을 관통하여 내관을 설치하고, 상기 내관에 히터를 삽입하며, 상기 히터로서는 할로겐 램프를 사용하고, 상기 할로겐 램프의 양단부를 스프링 형태의 지지구를 통해 상기 내관에 의해 지지함과 동시에, 상기 양단부로부터 돌출된 밀봉부를 상기 내관으로부터 외부로 완전히 노출시킨 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치가 제공된다.
이러한 구성에 의하면, 할로겐 램프의 밀봉부의 냉각이 충분하게 되어, 상기 할로겐 램프의 수명을 연장할 수가 있으며, 또한, 이것의 착탈을 용이하게 행할 수가 있다.
[도면의 간단한 설명]
본 발명은 이하의 상세한 설명 및 본 발명의 실시예를 도시한 첨부된 도면에 의해 보다 잘 이해될 것이다. 또한, 첨부 도면에 도시된 실시예는 발명을 특정하는 것을 의도하려는 것은 아니고 단순히 설명 및 이해를 용이하게 하는 것이다.
제1도는 석영 글래스 용기와 히터를 조합시킨 종래예를 도시한 단면도.
제2도는 석영 글래스 제조된 이중관식 가열 용기의 내관내에 히터를 배치한 가열 용기를 다수개 연결시킨 종래예를 도시한 단면도.
제3도는 석영 글래스로 제조된 외관내에 다수의 내관을 배치하고, 그 내관 내에 할로겐 램프를 착탈가능하게 삽입하도록 한 종래예를 도시한 도면.
제4도는 본 발명에 의한 유체 가열 장치의 일 실시예의 개략적인 구성을 도시한 단면도.
제5도는 제4도의 V-V 선을 따라 취한 개략 단면도.
제6도는 상기 실시예의 가열 용기의 일부 파단 정면도.
제7도는 제6도의 VII 방향으로 본 도면.
제8도는 제6도의 VIII 방향으로 본 도면.
제9도는 상기 실시예의 히터인 할로겐 램프의 지지구조를 도시한 단면도.
제10도는 제9도의 X-X 선을 따라 취한 단면도.
제11도는 상기 할로겐 램프를 지지하는 스프링 형태의 지지구의 다른 예를 도시한 도면.
[양호한 실시예에 대한 상세한 설명]
이하에서, 본 발명의 양호한 실시예에 따른 유체 가열 장치를 제4도 내지 제11도를 참조로 하여 설명한다.
도면에서, 참조부호 1은 유체 가열 장치의 케이싱이고, 케이싱(1)내에 케이싱(1)의 횡방향 한 쪽에는 다수의 가열 용기(2a)가 상하 방향으로 직렬로 접속된 가열부(2)가 있고, 다른 쪽에는 가열부(2)의 가열 용기(2a)에 유체를 공급 순환시키기 위한 유체 공급 조정부(3)가 설치되어 있다. 그리고, 그 양자 사이에는 단열판(4)이 설치되어 있다.
상기 가열부(2)의 가열 용기(2a)는 제6도내지 제8도에 도시된 바와 같이, 양단이 측판(5)으로 패쇄된 원통형의 외관(6)과, 상기 양측판(5)을 관통하여 외관(6)내에 이 외관(6)의 중심 축과 평행하게 배열된 다수의 내관(7)과, 외관(6)의 단부 하면에 연결된 유입관(8)과, 외관(6)의 단부상면에 연결된 유출관(9)으로 구성되어 있다.
이러한 가열 용기(2a)의 전체의 구성 부재는 투명한 석영 글래스를 재료로 하고, 또한 용접에 의해 각각이 접합되어 있다. 내관(7)의 수는 외관(6)의 직경에 따라 적절히 선택되고, 각 내관(6)을 덮는 유체의 두께 즉 인접하는 내관(7)의 간격이 거의 동일하게 되도록 배치되어 있다.
제7도로부터 명확히 알 수 있는 바와 같이, 유입관(8)과 유출관(9) 각각의 기단부는 외관(6)의 단면 형상의 종방향 중심축(직경)과 교차하는 위치에서 외관(6)의 일단부의 하면 및 타단부의 상면에 각각 접속되어 있다. 그리고 양 관(8, 9)도 상기 종방향 중심축의 한쪽편으로 연장 설치되어 있다. 그리고 양 관(8,9)의 기부는 각각 외관(6)의 횡방향 중심축(직경)에 대해 서로 이격되는 방향으로 3-5°로 경사져서 접선 방향을 향하고 있다. 또한, 양 관(8,9)의 기부는 각각 외관(6)에 따른 방향 및 서로에 대향하는 방향으로 굴곡되어 있으며, 유입관(8)에 있어서는 외관(6)의 중심축에 대해 하방으로 6-8°경사져 있고, 유출관(9)에 있어서는 외관(6)의 중심축에 대해 상방으로 6-8°경사져 있다.
상기 가열 용기(2a)의 각 내관(7)에 히터로 되는 할로겐 램프(10)가 삽입되어 지지된다. 이러한 할로겐 램프(10)의 지지 구조는 제9도에 도시되어 있으며, 할로겐 램프(10)의 양단부로부터 돌출되는 밀봉부(11)가 내관(7)으로부터 외부로 완전히 노출되어 있고, 양단부가 스프링 형상의 지지구(12)를 통해 내관(7)의 중심축에 지지되어 있다. 스프링 형상의 지지구(12)는 그 재료로서 예컨대 판 스프링이 사용되고, 제10도에 도시된 바와 같이 굴곡되어 있고, 이 굴곡 부분의 중심부(12c)의 양측에 할로겐 램프(10)의 관벽을 사이에 끼우는 히터 지지부(12a)가 설치되어 있으며, 굴곡 중간부(12c)와 양 선단부가 내관(7)의 내면에 접하는 형상으로 되어 있고, 내관(7)에 설치된 절결부(7a)에 결합하는 돌기(12b)가 한쪽 선단부에 설치되어 있다.
상기 스프링 형상 지지구(12)의 형상은 제11도에 도시된 바와 같은 형상이라도 좋다.
상기와 같이 구성된 각 가열 용기(2a)는 제4도에 도시된 바와 같이, 부착부재(13 : 접속관)에 의해 케이싱(1)내에 부착된다. 이 때, 다수개의 가열 용기 (2a)를 사용한 경우에는 제3도에 도시된 바와 같이 이것들을 상하로 나란히 배치한다.
이 경우, 각 가열 용기(2a)는 유출관(9)의 기단부가 접속된 쪽의 단부가 약간 높게 되도록 동일한 방향(평행)으로 경사져 있다. 이 경사각은 상기 유입관(8), 유출관(9)의 경사각도인 6-8°보다 작은 각도 예컨대 3°로 되어 있다. 이 경사각 3°는 허용 설치각도 5°이하인 할로겐 램프(10)의 사용조건을 만족하며, 또한 유입관(8)과 유출관(9)의 경사각도는 상기 경사각도 3°만큼 상쇄되어 3-5°가 유지된다. 그리고, 가열 용기(2a)를 통과하는 유체는 전부 상향의 동일한 경사각의 유로를 통과하게 된다.
인접하는 가열 용기(2a) 상호의 유입관(8)과 유출관(9)은 통상의 접속관을 사용하여 접속된다.
그리고, 최하측(최상류측) 가열 용기(2a)의 유입관(8)은 배수 밸브(14), 개폐밸브(15), 유량계(16)등이 설치된 유입관로(17)에 접속되어 있다. 한편, 최상측(최하류측)의 가열 용기(2a)의 유출관(9)은, 온도 센서(18)를 통해 기포 분리 제거 장치(19)의 유입관(20)에 접속되어 있고, 상기 기포 분리 제거 장치(19)의 유출관(21)에 개폐 밸브(22)가 설치된 유출관로(23)가 접속되어 있다. 또한, 유출관로(23)의 개폐 밸브의 상류측에는 개폐 밸브(24)와 안전 밸크(25)가 설치된 안전관로(26)가 접속되어 있다.
상기 유입관로(17) 및 유출관로(23)는 각각 가열 용기의 하측 및 상측에 위치되고, 가열 용기(2a)의 위치보다 측편으로 연장되며, 또한 각 관로내의 개폐 밸브(15), 유량계(16), 안전 밸브(25)등의 유체 공급 조정부(3)의 각 기기는 가열부(2)에 대해 단열판(4)으로 차단된 케이싱(1)의 다른 측편 방향에 배치되어 있다.
상기 각 가열 용기(2a)의 유입관(8)과 유출관(9)은 상기와 같이 단면 형상의 종방향 중심축에 대해 한쪽으로 오프셋되어 있으며, 이러한 오프셋 량은 유입관(8)과 유출관(9)에 부착되는 접합관(13)이 외관(6)에 간섭되지 않는 범위에서 최소로 한다.
기포 분리 제거 장치(19)는 가열 용기(2)와 거의 평행한 각도로 경사지게 부착되어 있고, 그 유입관(20)과 유출관(21)도 가열 용기(2a)의 유입관(8)과 유출관(9)과 동일하게 경사져 있다. 즉, 이러한 기포 분리 제거 장치(19)에 있어서도 유체의 통로는 경사져 있다.
또한, 상기 가열부(2)의 단열판(4)의 반대측에도 다른 단열판(4a)이 대향 설치되어 있다. 또한, 상기 각 가열 용기(2a)의 외주부는 필요에 따라 단열재로 피복한다.
다음에 작용에 대해 설명한다.
상기 구성에 있어서, 유입관로(17)로부터 유입된 액체는 유량계(16), 폐쇄밸브(15), 배수 밸브(14)를 통해서 순차적으로 가열 용기(2a)를 통과하고, 그 동안 내관(7)내에 삽입된 할로겐 램프(10)로 가열되며, 이어서 기포 분리 제거 장치(19)에서 기포가 분리 제거되고 유출관로(23)의 개폐 밸브(22)를 거쳐서 유출된다.
이때, 가열용기(2a)가 할로겐 램프(10)의 허용 설치 각도의 범위로 경사져 있고, 또한 가열용기(2)의 유입관(8)과 유출관(9)도 각각 하류측이 높게 되도록 경사져 있으므로, 가열용기(2a)내를 통과하는 액체는 가열용기(2a)내에서 액체 잔류 및 기포 잔류가 발생되지 않게 원활하게 흐른다.
그리고, 최종적으로 기포 분리 제거 장치(19)에 통합되어 기포가 분리 제거 된다.
또한, 각 가열용기(2a)의 유입관(8)과 유출관(9)의 기단부가 가열용기(2)의 외관(6)의 접선 방향으로 접속되어 있으므로, 가열용기(2)로 액체의 유입, 유출은 선회(나선)흐름으로 되고, 그 결과 열의 확산이 빨라지기 때문에 유체는 높은 효율로 가열된다.
또한, 히터로 되는 할로겐 램프(10)는 스프링 형상의 지지구(12)를 떼어내므로써 용이하게 분해하여 교환할 수가 있다.
또한, 할로겐 램프(10)가 스프링 형상의 지지구(12)에 의해 지지되고 할로겐 램프(10)의 밀봉부(11)가 내관(7)으로부터 외부로 완전히 노출되어 있기 때문에, 할로겐 램프(10)의 몸체 및 그 밀봉부(11)는 효과적으로 통풍되고 냉각될 수 있다.
상기 실시예에서는, 유체공급 조정부(3)를 가열부(2)의 측편으로 이격시켜 배치한 예를 도시하였지만, 유체공급 조정부(3)는 가열부의 측편에서 상하 방향으로 배치되어도 좋다. 또한, 상기 실시예에서는 가열부(2)를 구성하는 가열용기(2a)를 2개 사용한 예를 도시하였지만, 이러한 가열용기(2a)는 1개이어도 좋고, 또는 3개 이상이어도 좋으며, 다수개 사용한 경우는 상기 실시예에 도시된 바와 같이 상하 방향으로 배열된다. 또한, 기포분리 제거장치(19)는 가열용기(2a)의 바로 하류측에 접속되지 않고, 회로계의 다른 부분에 설치되게 하여도 좋다.
[산업상의 이용가능성]
본 발명은 예시적인 실시예에 대해서 설명하였지만, 개시된 실시예에 관하여 본 발명의 요지 및 범위를 일탈하지 않고 다양한 변경, 생략, 추가가 가능한 것은 당업자에게 자명한다. 따라서, 본 발명은, 상기 실시예에 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 기재된 요소에 의해 규정되는 범위 및 그와 균등한 범위를 포함하는 것으로서 이해되어야 한다.
이상과 같이 본 발명에 관한 유체 가열장치는, 순수한 물이나 화학적 액체의 가열장치로서 매우 유용하다.
Claims (17)
- 서로 평행하게 상하로 배열된 다수의 가열용기(2a)를 포함하는 가열부(2)와 유체 공급 조정부(3)가 서로 분리되어 양부가 유입관(8)과 유출관(9)을 통해서 연결된 상태로 케이싱(1)내에 수용되고, 상기 유체 공급 조정부(3)는 상기 가열부의 측편에 배치된 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 유체 공급 조정부는 상기 가열부 단부의 측편상에 배치된 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 가열부(2)와 상기 유체 공급 조정부(3)와의 사이에 단열판(4)이 설치된 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.
- 제1항에 있어서, 인접 배치된 가열 용기(2a)중 한 쪽에 유입관(8)이 다른 쪽에 유출관(9)이 접속되어 있고, 상기 유입관(8)과 상기 유출관(9)은 상기 가열부의 일측편으로 연장하도록 배치되어 있으며, 상기 유입관과 유출관의 단부가 동일 방향으로 오프셋 되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.
- 가열부(2)와 유체 공급 조정부(3)가 서로 분리되어 양부가 유입관(8)과 유출관(9)을 통해 연결된 상태로 케이싱(1)내에 수용되고, 상기 가열부의 가열 용기(2a)는 이 가열 용기의 축이 상하 방향으로 경사지도록 배치되며, 상기 유입관은 상기 가열 용기의 낮은 쪽 단부면의 하부면에 연결되고 상기 유출관은 상기 가열 용기의 높은 쪽 단부면의 상부면에 연결되며, 상기 유입관과 상기 유출관은 각각의 하류측이 상류측보다 높게 위치되도록 경사진 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.
- 제5항에 있어서, 상기 가열부(2)의 하류측에 기포 분리 제거장치(19)가 설치된 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 유입관(8)과 상기 유출관(9)은 상기 가열부(2)의 가열 용기(2a)의 외관에 상기 외관의 접선 방향으로 향하게 각각 접속되며, 상기 외관과의 접합부에서 상기 유입관과 상기 유출관의 관 벽면은 굴곡면으로 형성된 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.
- 가열부(2)와 유체 공급 조정부(3)가 서로 분리되어 양부가 유입관(8)과 유출관(9)을 통해 연결된 상태로 케이싱(1)내에 수용되고, 상기 유입관과 상기 유출관은 상기 가열부(2)의 가열 용기(2a)의 외관에 상기 외관의 접선 방향으로 향하고 벽면은 굴곡면으로 형성된 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.
- 제1항, 제3항, 제4항 또는 제7항중 어느 한 항에 있어서, 상기 가열부(2)의 가열 용기(2a)는 석영 글래스 재료로 형성되고, 양단을 측판으로 폐쇄한 외관(6)내에 이 측판을 관통하여 내관(7)이 설치되며, 상기 내관내에 히터(10)가 배치되고, 상기 외관에 유입관(8)과 유출관(9)이 설치되어 있으며, 상기 유체 공급 조정부(3)는 상기 가열부에 유체를 공급하기 위한 관로로 형성되고, 상기 관로에는 개폐 밸브(15), 유량계(16), 온도 센서(18), 안전 밸브(25), 접합 배관 등이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.
- 제9항에 있어서, 상기 히터로서 할로겐 램프(10)가 사용되고, 상기 할로겐 램프의 양단부는 스프링 형상의 지지구(12)를 통해서 상기 내관(7)에 의해 지지되며, 상기 양단부로부터 돌출된 밀봉부(11)는 상기 내관으로부터 외부로 완전히 노출되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 가열장치.
- 제2항에 있어서, 상기 가열부(2)와 상기 유체 공급 조정부(3)와의 사이에 단열판(4)이 설치된 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.
- 제2항에 있어서, 인접 배치된 가열 용기(2a)중 한 쪽에 유입관(8)이 다른 쪽에 유출관(9)이 접속되어 있고, 상기 유입관과 상기 유출관은 상기 가열부의 일측편으로 연장하도록 배치되어 있으며, 상기 유입관과 유출관의 단부는 동일 방향으로 오프셋되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 유입관(8)과 상기 유출관(9)은 상기 가열부(2)의 가열 용기(2a)의 외관(6)에 이 외관의 접선 방향으로 향하게 각각 접속되고, 상기 외관의 접속부에서 상기 유입관과 상기 유출관의 관 벽면은 굴곡면으로 형성된 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.
- 제5항에 있어서, 상기 유입관(8)과 상기 유출관(9)은 상기 가열부(2)의 가열 용기(2a)의 외관(6)에 이 외관의 접선 방향으로 향하게 각각 접속되고, 상기 외관의 접속부에서 상기 유입관과 상기 유출관의 관 벽면은 굴곡면으로 형성된 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.
- 제2항, 제11항, 제12항 또는 제13항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가열부(2)의 가열 용기(2a)는 석영 글래스 재료로 형성되고, 양단을 측판으로 폐쇄한 외관(6)내에 이 측판을 관통하여 내관(7)이 설치되며, 상기 내관내에 히터(10)가 배치되고, 상기 외관에 유입관(8)과 유출관(9)이 설치되어 있으며, 상기 유체 공급 조정부(3)는 상기 가열부에 유체를 공급하기 위한 관로로 형성되고, 상기 관로에는 개폐 밸브(15), 유량계(16), 온도 센서(18), 안전 밸브(25), 접합 배관 등이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.
- 제5항, 제6항 또는 제14항중 어느 한 항에 있어서, 상기 가열부(2)의 가열 용기(2a)는 석영 글래스 재료로 형성되고, 양단을 측판으로 폐쇄한 외관(6)내에 이 측판을 관통하여 내관(7)이 설치되며, 상기 내관내에 히터(10)가 배치되고, 상기 외관에 유입관(8)과 유출관(9)이 설치되어 있으며, 상기 유체 공급 조정부(3)는 상기 가열부에 유체를 공급하기 위한 관로로 형성되고, 상기 관로에는 개폐 밸브(15), 유량계(16), 온도 센서(18), 안전 밸브(25), 접합 배관 등이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.
- 제8항에 있어서, 상기 가열부(2)의 가열 용기(2a)는 석영 글래스 재료로 형성되고, 양단을 측판으로 폐쇄한 외관(6)내에 이 측판을 관통하여 내관(7)이 설치되며, 상기 내관내에 히터(10)가 배치되고, 상기 외관에 유입관(8)과 유출관(9)이 설치되어 있으며, 상기 유체 공급 조정부(3)는 상기 가열부에 유체를 공급하기 위한 관로로 형성되고 상기 관로에는 개폐 밸브(15), 유량계(16), 온도 센서(18), 안전 밸브(25), 접합 배관 등이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 가열 장치.
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