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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Fluidheizvorrichtung
vorwiegend zum Erwärmen von
reinem Wasser und chemischer Flüssigkeit,
und insbesondere auf eine Fluidheizvorrichtung, die geeignet ist,
als Temperatureinstellvorrichtung für eine Waschflüssigkeit
bei der Herstellung von Halbleitern, als Temperatureinstellvorrichtung
für eine
chemische Flüssigkeit,
als Einstellvorrichtung für
eine Galvanisierungsflüssigkeit,
als Flüssigkeitstemperatureinstellvorrichtung
bei der Erzeugung von Nahrungsmitteln, usw. verwendet zu werden.
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Im
Stand der Technik wird eine Temperatureinstellvorrichtung für eine Waschflüssigkeit
bei der Herstellung von Halbleitern vorgeschlagen, bei der ein Heizbehälter aus
einem Quarzglas zur Verhinderung einer Verschmutzung einer zu erwärmenden Flüssigkeit
gebildet ist, und eine Heizeinrichtung als eine Heizquelle in einer
Quarzglasröhre
angeordnet ist, so dass sie die Flüssigkeit nicht unmittelbar
berührt.
Ferner ist zur Verbesserung des Heizwirkungsgrades eine Halogenlampe
statt einer Heizeinrichtung mit einem Nickelchrom-Draht als Heizquelle
verwendet worden.
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Eine
herkömmliche
Fluidheizvorrichtung der oben beschriebenen Struktur ist in der
JP 2-52437 U offenbart.
Wie in
1 gezeigt, wird dabei ein Heizbehälter h als
ein Behandlungstank für
ein Material verwendet, das gewaschen werden soll, und eine Heizeinrichtung
b ist in eine Quarzglasröhre
a eingeführt.
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In
der
JP 62-22462 U ,
wie in
2 gezeigt, ist eine kontinuierliche Heizvorrichtung
beschrieben, bei der eine Mehrzahl von Heizbehältern i, wobei in jedem eine
Heizeinrichtung d in einem doppelwandigen, hohlen Rohr c, das aus
Quarzglas gemacht ist, angeordnet ist, verbunden sind, um das Fluid
kontinuierlich zu erwärmen.
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Ferner
ist ein weiterer Stand der Technik bekannt, der eine kontinuierliche
Heizvorrichtung zum Erhöhen
des Heizvermögens
vorschlägt,
bei der, wie in 3 gezeigt, eine Mehrzahl von
Heizbehältern
g in Reihe verbunden sind, und in jedem der Heizbehälter g eine
Mehrzahl von inneren Rohren f in einem äußeren, aus Quarzglas gebildeten
Rohre so angeordnet sind, dass sie frei herausgenommen und eingebracht
werden können,
und Heizeinrichtungen j aus je einer Halogenlampe in jedem der inneren
Rohre f angeordnet sind.
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Jedoch
hat der oben erwähnte
Stand der Technik die Schwierigkeiten (1) einer Vergrößerung einer
Abmessung der Vorrichtung, (2) Luftblasenaufenthalt oder
Flüssigkeitsaufenthalt,
usw., auf die im Weiteren eingegangen wird.
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(1) Vergrößerung der Vorrichtung
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Es
ist unvermeidlich, Quarzglas zu verwenden, um eine Verunreinigung
eines zu erwärmenden Fluids
zu verhindern, wie es in
1 gezeigt in der
JP 2-52437 U offenbart ist.
Aber in einem solchen Fall ergibt sich, da der Heizbehälter h auch
als ein Behandlungstank für
ein zu waschendes Material dient, eine Vergrößerung des Heizbehälters h.
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Ferner
ist bei der in
2 gezeigten und in der
JP 62-22462 U offenbarten
Vorrichtung der Heizbehälter
i mit einer Neigung angeordnet, um eine Fluidströmung in dem Heizbehälter glatt
zu machen und ein Luftblasenentweichen und einen Flüssigkeitsaufenthalt
zu verhindern. In diesem Fall haben aber die Neigungen der jeweiligen
Heizbehälter
i unterschiedliche Ausrichtungen, die eine Zick-Zack-Form ergeben,
wenn eine Mehrzahl von Heizbehältern
i angeordnet wird, so dass ein Schritt zwischen nahen Heizbehältern i
groß gemacht
wird, und viel Raum erforderlich ist.
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Ferner
sind in der Vorrichtung der
JP 62-22462
U eine große
Zahl Heizbehälter
i angeordnet, um einen verbesserten Heizwirkungsgrad zu erreichen.
Es wird aber eine lange Leitung zur Verbindung zwischen den entsprechenden
Heizbehältern
i verwendet, so dass in einem Fall einer Mehrzahl von Heizbehältern i,
die Gesamthöhe
der Heizvorrichtung groß wird.
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Weiterhin
umfasst der Heizbehälter
g in der Vorrichtung der in 3 gezeigten
Struktur das äußere Rohr
e, das aus Quarzglas gemacht ist, und eine Mehrzahl von inneren
Rohren f, die innerhalb des äußeren Rohres
e angeordnet sind, worin die Heizeinrichtungen j angeordnet sind,
um den Heizbehälter
g als eine einzige Einheit zu bilden und somit einen großen Ausgangsstrom
zu erhalten. Eine Mehrzahl solcher Heizbehälter g sind in einer aneinander
angrenzenden Weise angeordnet, um ein kontinuierliches Erwärmen eines
Fluid mit großem
Volumen zu erreichen. Jedoch macht eine solche kontinuierlich aneinander
angrenzende Anordnung den Schritt zwischen den nebeneinander liegenden
Heizbehältern
i groß,
so dass das gesamte Volumen der Heizvorrichtung erhöht und diese
problematisch groß wird.
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(2) Luftblasenaufenthalt und Flüssigkeitsaufenthalt
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In
der Heizvorrichtung der in 3 gezeigten Struktur
halten sich wegen der horizontalen Anordnung der Heizbehälter g Luftblasen
an den oberen Breichen der jeweiligen Heizbehälter g auf. Insbesondere kann
die beim Kochen der Flüssigkeit
erzeugte große
Menge an Luftblasen nicht ausströmen,
was gefährlich
werden kann. Ferner besteht dabei das Problem des leichten Verbleibs
der Flüssigkeit
in dem Heizbehälter
g.
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Das
Dokument
JP 60-23748
A offenbart eine Fluidheizvorrichtung, bei der eine Heizeinheit,
die einen Heizbehälter
aufweist, und eine Fluidzuführeinstelleinheit
in einem Gehäuse
auf getrennten Seiten angeordnet sind.
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Der
vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Fluidheizvorrichtung
mit verbessertem Heizwirkungsgrad und erhöhter Lebensdauer ohne Vergrößerung der
Vorrichtung zur Verfügung
zu stellen, wobei ein Luftblasen- und Flüssigkeitsaufenthalt im Heizbehälter und
im Leitungssystem der Fluidheizvorrichtung möglichst ausgeschlossen sein soll.
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Die
Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine
Fluidheizvorrichtung der oben genannten Gattung mit den Merkmalen
der Anspruche 1, 3 oder 6 gelöst.
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Um
die oben genannten und andere Zielsetzungen gemäß der vorliegenden Erfindung
zu erreichen, wird eine Fluidheizvorrichtung geschaffen, in der
eine Heizeinheit und eine Fluidzuführeinstelleinheit von einem
Gehäuse
in einer voneinander getrennten und durch ein Zulaufrohr und ein
Auslaufrohr verbundenen Weise aufgenommen sind, und die genannte
Fluidzuführeinstelleinheit
auf der Seite der genannten Heizeinheit angeordnet ist.
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Gemäß dieser
Struktur kann, da die Fluidzuführeinstelleinheit
auf der Seite der Heizeinheit oder vertikal nach oben und unten
auf der Seite der Heizeinheit angeordnet ist, die Fluidheizvorrichtung,
in der die Heizeinheit und die Fluidzuführeinstelleinheit in ihrem
Gehäuse
aufgenommen werden, vollständig dünn gemacht
werden. Ferner können
die Heizeinrichtung und die Fluidzuführeinstelleinheit in dem Gehäuse in verbesserter
Weise zusammengebaut und aufrechterhalten werden.
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Die
Anordnung einer Heizabschirmplatte zwischen der Heizeinheit und
der Fluidzuführeinheit macht
den Zwischenraum zwischen der Heizeinheit und der Fluidzuführeinstelleinheit
in dem Gehäuse schmal,
so dass eine Vorrichtung kompakt gemacht wird.
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Ferner
umfasst die vorgenannte Heizeinrichtung eine Mehrzahl von Heizbehältern, ein
Zulaufrohr eines der nebeneinander angeordneten Heizbehälter ist
mit einem Auslaufrohr eines anderen der nebeneinander angeordneten
Heizbehälter
verbunden, das Einlaufrohr und das Auslaufrohr sind so angeordnet, dass
sie sich seitlich der Heizeinheit erstrecken, und die Endabschnitte
des Einlaufrohrs und des Auslaufrohrs sind in der gleichen Richtung
versetzt, so dass die Verbindungsabschnitte der Einlaufrohre und
der Auslaufrohre der Heizeinheit und die entsprechende Fluidzuführeinheit-Behälter auf
der Seite der Heizbehälter
positioniert sind, wodurch der Zwischenraum in der vertikalen Richtung
der entsprechenden Heizbehälter
klein gemacht werden kann und die Größe in der Höhenrichtung der Heizeinheit
klein gemacht werden kann.
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Es
wird ferner eine Fluidheizvorrichtung vorgeschlagen, in der eine
Heizeinheit und eine Fluidzuführeinstelleinheit
von einem Gehäuse
in einer voneinander getrennten und durch ein Zulaufrohr und ein Auslaufrohr
verbundenen Weise aufgenommen sind, ein Heizbehälter der genannten Heizeinheit
so angeordnet ist, dass eine Achse des Heizbehälters in einer vertikalen Richtung
geneigt ist, das Zulaufrohr mit einer unteren Oberfläche eines
unteren Endabschnittes des Heizbehälters verbunden ist und das
Auslaufrohr mit einer oberen Oberfläche eines oberen Endabschnittes
des Heizbehälters
verbunden ist, und das genannte Zulaufrohr und das genannte Auslaufrohr
so geneigt sind, dass deren stromabwärtige Seiten höher als
deren stromaufwärtige
Seiten angeordnet sind.
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Gemäß dieser
Struktur verbleibt das Fluid, das durch die Heizeinheit hindurchgeht,
nicht in dem Heizbehälter
der Heizeinheit, und die Luftblasen können aus dem Heizbehälter glatt
hinausströmen.
Ferner kann das Fluid an den Verbindungsabschnitten zwischen dem
Zulaufrohr und dem Auslaufrohr in Bezug auf den Heizbehälter glatt
gemacht werden, und die Luftblasen dort nicht verbleiben.
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Ferner
können
die während
der Fluidheizzeit gebildeten Luftblasen abgetrennt und zur Zeit
beim Ausströmen
aus der Heizeinheit entfernt werden, indem eine Luftblasen-Trenn-/-Entfernungseinrichtung auf
einer stromabwärtigen
Seite der Heizeinheit angeordnet wird.
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Es
wird ferner eine Fluidheizeinrichtung vorgeschlagen, in der eine
Heizeinheit und eine Fluidzuführeinstelleinheit
von einem Gehäuse
in einer voneinander getrennten und durch ein Zulaufrohr und ein Auslaufrohr
verbundenen Weise aufgenommen sind, und das genannte Zulaufrohr
und das genannte Auslaufrohr mit einem äußeren Rohr eines Heizbehälters der
genannten Heizeinheit jeweils in tangentialen Richtungen in Bezug
auf das äußere Rohr
verbunden sind, und Rohrwandoberflächen des genannten Zulaufrohrs
und des ge nannten Auslaufrohrs an Abschnitten, die mit dem genannten äußeren Rohr
verbunden sind, geformt sind, um gebogene Oberflächen zu schaffen.
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Gemäß dieser
Struktur bilden die Fluidströmungen
in das und aus dem Heizbehälter
Wirbelströmungen
in Bezug auf die Achse des Heizbehälters, do dass der Heizwirkungsgrad
in dem Heizbehälter verbessert
werden kann.
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Ferner
ist in dem Heizbehälter
der Heizeinheit ein inneres Rohr in einem äußeren Rohr angeordnet, das
an seinen beiden Enden mit Seitenplatten so verschlossen ist, dass
es durch die Seitenplatten hindurchdringt, eine Heizeinrichtung
ist innerhalb des inneren Rohrs angeordnet, eine Halogenlampe wird
als Heizeinrichtung verwendet, beide Enden der Halogenlampe werden
durch das innere Rohr durch ein federartiges Halteteil gehalten,
und Abdichtungsbereiche, die von den beiden Enden hervorstehen, sind
vollständig
außerhalb
des inneren Rohrs freiliegend.
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Gemäß dieser
Struktur können
der Körper der
Halogenlampe und deren Abdichtungsbereich ausreichend gekühlt werden,
so dass die Lebensdauer der Halogenlampe verlängert wird und diese ohne Weiteres
gelöst
und eingebaut wird.
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Die
vorliegende Erfindung wird durch die folgende, detaillierte Beschreibung
und unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung verständlicher, die
Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung darstellt. Ferner soll angemerkt werden,
dass die in den beigefügten
Zeichnungen gezeigten Ausführungsformen
die Erfindung nicht spezifizieren sollen, sondern beabsichtigen,
einige Ausführungsformen zum
leichten Verständnis
der Offenbarung zu zeigen.
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Es
zeigen:
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1 eine
Schnittansicht, die ein herkömmliches
Bespiel zeigt, in dem ein Quarzglasbehälter und eine Heizeinrichtung
kombiniert sind;
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2 eine
Schnittansicht, die ein herkömmliches
Beispiel zeigt, in dem eine Heizeinrichtung in einem inneren Rohr
eines Heizbehälters
vom Doppelrohr-Typ angeordnet ist, der aus Quarzglas gemacht ist,
und eine Mehrzahl solcher Heizbehälter verbunden sind;
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3 eine
Schnittansicht, die ein herkömmliches
Beispiel zeigt, in dem eine Mehrzahl von inneren Rohren in einem äußeren Rohr,
das aus Quarzglas gemacht ist, angeordnet sind und Halogenlampen
lösbar
in den inneren Rohren angeordnet sind;
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4 eine
Schnittansicht, die eine schematische Anordnung einer Ausführungsform
einer Fluidheizvorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung darstellt;
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5 eine
schematische Schnittansicht entlang der Line V-V in 4;
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6 eine
teilweise abgeschnittene Vorderansicht eines Heizbehälters der
obigen Ausführungsform;
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7 eine
in Pfeilrichtung VII in 6 betrachtete Ansicht;
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8 eine
in Pfeilrichtung VIII in 6 betrachtet Ansicht;
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9 eine
Schnittansicht einer Haltestruktur für eine Halogenlampe als eine
Heizvorrichtung der obigen Ausführungsform;
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10 eine
Schnittansicht entlang der Linie X-X in 9; und
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11 eine
Vorderansicht, die ein anderes Beispiel eines federförmigen Halteteils
zum Halten der Halogenlampe zeigt.
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Im
Folgenden wird eine Fluidheizvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die 4 bis 11 beschrieben.
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In
den Figuren bezeichnet das Bezugszeichen 1 ein Gehäuse einer
Fluidheizvorrichtung. In dem Gehäuse 1 ist
eine Heizeinheit 2, die eine Mehrzahl von Heizbehältern 2a, 2a umfasst,
die in Reihe in einer vertikalen Richtung verbunden sind, an einer seitlichen
Seiten in dem Gehäuse 1 vorgesehen.
Auf der anderen Seite ist in dem Gehäuse eine Fluidzuführeinstelleinheit 3 angeordnet,
um eine Zuführzirkulation
des Fluids zu den Heizbehältern 2a, 2a der Heizeinheit 2 auszuführen. Eine
Wärmeabschirmplatte 4 ist
zwischen den beiden Einheiten vorgesehen.
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Jeder
der Heizbehälter 2a der
Heizeinheit 2 umfasst, wie in den 6 bis 8 gezeigt
ist, ein zylindrisches, äußeres Rohr 6,
das an seinen beiden Enden mit Seitenplatten 5, 5 verschlossen
ist, eine Mehrzahl von inneren Rohren 7, die die Seitenplatten 5, 5 in
das äußere Rohr 6 parallel
zu der Mittelachse des äußeren Rohres 6 durchdringen,
ein Zulaufrohr 8, das mit einer unteren Oberfläche eines
Endbereiches des äußeren Rohrs 6 verbunden
ist, und ein Auslaufrohr 9, das mit einer oberen Oberfläche des Endbereiches
des Außenrohres 6 verbunden
ist.
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Alle
die strukturellen Teile des Heizbehälters 2a sind aus
Quarzglasmaterial gebildet und durch Schweißen verbunden. Die Anzahl der
inneren Rohre 7 kann wahlweise gemäß einem inneren Durchmesser
des äußeren Rohrs 6 ausgewählt werden, und
die jeweiligen inneren Rohre 7 sind so angeordnet, dass
die Dicken des die inneren Rohre 7 umströmenden Fluids,
das heißt
die Zwischenräume
jeweils zwischen benachbarten, inneren Rohren 7 im Wesentlichen
einander gleich sind.
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Wie
es aus 7 offensichtlich ist, sind entsprechende Basisendabschnitte
des Zulaufrohrs 8 und des Auslaufrohrs 9 mit der
unteren Oberfläche eines
Endabschnittes des äußeren Rohrs 6 und
der oberen Oberfläche
des anderen Endes des äußeren Rohrs 6 an
einer Stelle verbunden, die die vertikale Mittelachse (Durchmesser)
in der Querschnittsform des äußeren Rohres 6 kreuzt.
Beide Rohre 8 und 9 erstrecken sich auf einer
Seite der oben genannten Mittelachse. Ferner sind die Basisendabschnitte
jeweils in tangentiale Richtung gerichtet, die unter 3-5° in Richtungen
voneinander fort in Bezug auf die horizontale Mittelachse des Außenrohrs 6 geneigt
sind. Ferner sind die Basisendabschnitte in beiden Rohren 8 und 9 entlang
dem äußeren Rohr 6 aber
in zueinander entgegengesetzte Richtungen gebogen. In Bezug auf
das Zulaufrohr 8 besteht eine Abwärtsneigung und 6-8° in Bezug
auf die Mittelachse des äußeren Rohrs 6,
und in Bezug auf das Zulaufrohr 9 besteht eine aufwärtige Neigung
von 6-8° in
Bezug auf die Mittelachse des äußeren Rohrs 6.
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Eine
Halogenlampe 10, die eine Heizeinrichtung bildet, ist in
jedes der inneren Rohre 7 des Heizbehälters 2a eingesetzt
und darin gehalten. Eine Struktur zum Halten der Halogenlampe ist
in 9 gezeigt, in der Abdichtungsabschnitte 11,
die von beiden Enden der Halogenlampe 10 hervorstehen,
vollständig
nach außerhalb
des inneren Rohres 7 freiliegend sind, und beide Endabschnitte
der Halogenlampe 10 von einem federförmigen Halteteil 12 an
dem axialen Abschnitt des inneren Rohres 7 gehalten sind.
Das federförmige
Halteteil 12 ist beispielsweise aus einer Bandfeder gebildet,
und ist gebogen, wie es in 10 gezeigt
ist. Halteabschnitte 12a für die Heizeinrichtung zum Einklemmen
einer Rohrwand der Halogenlampe 10 sind auf beiden Seiten
eines Zwischenabschnittes 12c des gebogenen Abschnittes
so geformt, dass das Halteteil eine Form hat, so dass der gebogene
Zwischenabstand 12c und beide vorderen Endabschnitte gegen
die innere Oberfläche des
inneren Rohres 7 stoßen.
Ein Vorsprung 12b, der an einem Ausschnitt 7a,
der an dem inneren Rohr 7 geformt ist, eingreifen soll,
ist an einem der vorderen Endabschnitte des Halteteils 12 ausgeformt.
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Das
federförmige
Halteteil 12 kann eine in 11 gezeigte
Form haben.
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Die
entsprechenden Heizbehälter 2a,
die jeweils die vorhergehend erwähnte
Struktur haben, sind in dem Gehäuse 1,
wie in 4 gezeigt ist, mittels Befestigungsteilen 13 angebracht.
Wenn eine Mehrzahl von Heizbehältern 2a angeordnet
sind, werden sie vertikal, wenn man 3 betrachtet,
angeordnet.
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In
einer solchen Anordnung ist jeder Heizbehälter 2a in derselben
(parallelen) Richtung geneigt, so dass der Endabschnitt, mit dem
der Basisendabschnitt des Auslaufrohres 9 verbunden ist,
auf einem höheren
Niveau als der des anderen Endabschnitts angeordnet ist. Diese Neigung
beträgt beispielsweise
3°, was
kleiner als die Neigung von 6-8° des
Einlaufrohres 8 und des Auslaufrohres 9 ist. Diese
Neigung von 3° erfüllt die
Verwendungsbedingung der Halogenlampe 10, was weniger als
der zulässige
Einstellwinkel von 5° ist.
Obgleich die Neigung von 6-8° des
Zulaufrohres 8 und des Auslaufrohres 9 durch die
Neigung entsprechend der Neigung von 3° des einen Endes des Heizbehälters 2a verringert
wird, wird der Neigungswinkel von 3-5° weiterhin beibehalten. Demgemäß fließen die
Fluide, die durch die Heizbehälter 2a hindurchgehen,
durch Strömungsdurchlässe, die
jeweils die gleiche Aufwärtsneigung
haben.
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Das
Auslaufrohr 9 eines Heizbehälters 2a ist mit dem
Zulaufrohr 8 des angrenzenden Heizbehälters 2a durch ein
bekanntes Verbindungsrohr verbunden.
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Das
Zulaufrohr 8 des Heizbehälters 2a der untersten
Seite (der stromaufwärtigsten
Seite) ist mit einer Zulaufleitung 17 verbunden, die mit
einem Ablassventil 14, einem Öffnungs-/Schließventil 15 und einem
Durchflussmeter 16 versehen ist. Andererseits ist das Auslaufrohr 9 des
Heizbehälters 2a der
obersten Seite (der stromabwärtigsten
Seite) mit einem Zulaufrohr 20 einer Luftblasen-Trenn-/-Entfernungseinrichtung 19 durch
einen Temperaturmessfühler 18 verbunden.
Eine Auslaufleitung 23, die mit einem Öffnungs-/Schließventil 22 versehen
ist, ist mit einem Auslaufrohr 21 der Luftblasen-Trenn-/-Entferungseinrichtung 19 verbunden.
Mit der stromaufwärtigen Seite
des Öffnungs-/Schließventils 22 der
Auslaufleitung 23 ist eine Sicherheitsleitung verbunden,
die mit einem Öffnungs-/Schließventil 24 und
einem Sicherheitsventil 25 versehen ist.
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Die
vorgenannte Zulaufleitung 17 und Auslaufleitung 23 sind
an der unteren Seite und der oberen Seite des jeweiligen Heizbehälters 2a angeordnet
und erstrecken sich seitlich über
die Lage der Heizbehälter 2a hinaus.
Die entsprechenden Vorrichtungen der Fluidzuführeinstelleinheit 3,
wie die Öffnungs-/Schließventile 15,
die Durchflussmeter 16 und die Sicherheitsventile 25 in
den entsprechenden Strömungsleitungen,
sind alle auf dem anderen Seitenabschnitt in dem Gehäuse 1 angeordnet,
das durch eine Wärmeabschirmplatte 4 in
Bezug auf die Heizeinheit 2 unterteilt ist.
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Die
Zulaufrohre 8 und die Auslaufrohre 9 der jeweiligen
Heizbehälter 2a sind
in einer versetzten Weise zu einer Seite in Bezug auf die vertikale
Mittelachse in der Schnittansicht angeordnet. Jedoch wird die Versetzungsgröße minimal
in einem Bereich gemacht, wo Verbindungsrohre 13, die an
den Zulaufrohren 8 und den Auslaufrohren 9 angebracht
sind, das äußere Rohr 6 nicht
stören.
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Die
Luftblasen-Trenn-/-Entfernungseinrichtung 19 ist mit einer
im Wesentlichen zu dem Heizbehälter 2a parallelen
Neigung angeordnet, und das Zulaufrohr und das Auslaufrohr 21 der
Luftblasen-Trenn-/-Entfernungseinrichtung 19 sind auch
in derselben Weise wie das Zulaufrohr 8 und das Auslaufrohr 9 der
Heizeinrichtung 2a geneigt. Das heißt, der Fluidströmungsdurchgang
dieser Luftblasen-Trenn-/-Entfernungseinrichtung 19 ist
auch geneigt.
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Ferner
ist an der zu der Wärmeabschirmplatte 4 der
Heizeinrichtung 2 gegenüberliegenden
Seite eine andere Wärmeabschirmplatte 4a angeordnet. Die
jeweiligen Umfänge
der entsprechenden Heizbehälter 2a können mit
einem Wärmeisoliermaterial überdeckt
werden, wenn es der Fall verlangt.
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Im
Folgenden wird die Arbeitsweise der Fluidheizvorrichtung beschrieben.
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Gemäß den oben
beschriebenen Strukturen läuft
das Fluid, das durch die Zulaufleitung 17 hindurchgeströmt ist,
durch das Durchflussmeter 16, die Öffnungs-/Schließventile 15 und
die Ablassventile 14 und anschließend zu den entsprechenden
Heizbehältern 2a, 2a.
Während
dieses Fließens
wird das Fluid durch die Halogenlampen 10 erwärmt, die
innerhalb der inneren Rohre 7 angeordnet sind. Die Luftblasen
werden dann durch die Luftblasen-Trenn-/-Entferungseinrichtung 19 abgetrennt und
entfernt, und danach fließt
das Fluid durch das Öffnungs-/Schließventil 22 der
Auslaufleitung 23 hindurch.
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Bei
solcher Arbeitsweise sind die Heizbehälter 2a innerhalb
des zulässigen
Einstellwinkels der Halogenlampen 10 geneigt, und ferner
sind die Zulaufrohre 8 und die Auslaufrohre 9 der
Heizbehälter 2a auch,
mit ihren stromaufwärtigen
Seiten davon aufwärts,
geneigt, so dass das Fluid, das durch die Heizbehälter 2a hindurchläuft, glatt
in den Heizbehältern 2a strömt, ohne
dass ein Flüssigkeitsstau
und Luftblasenstau entsteht.
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Schließlich werden
die Luftblasen durch die Trenn-/Entferungseinrichtung 19 insgesamt
getrennt und entfernt.
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Da
die Basisendabschnitte des Zulaufrohres 8 und des Auslaufrohres 9 von
jedem Heizbehälter 2a mit
dem äußeren Rohr 6 in
der tangentialen Richtung verbunden sind, wirbelt das Fluid, das
in den Heizbehälter 2a ein-
und ausfließt.
Die Verteilung der Wärme
kann daher gefördert
werden, so dass das Fluid wirksam erwärmt wird.
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Ferner
ist die Halogenlampe 10, die eine Heizeinrichtung bildet,
leicht ausbaubar und austauschbar, indem das Halteteil 12 außer Eingriff
gebracht wird. Da weiterhin die Halogenlampe 10 durch das
federförmige
Halteteil 12 gehalten ist und der Abdichtungsabschnitt 11 der
Halogenlampe 10 vollständig von
dem inneren Rohr 7 freigelassen ist, unterliegen der Körperabschnitt
der Halogenlampe 10 und deren Abdichtungsabschnitt 11 einer
wirksamen Ventilation und können
folglich effektiv gekühlt
werden.
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In
der obengenannten Ausführungsform
ist ein Beispiel beschrieben, bei dem die Fluidzuführeinstelleinheit 3 seitlich
der Heizeinrichtung 2 beabstandet angeordnet ist, aber
die Fluidzuführeinstelleinheit 3 kann
vertikal von der Seite der Heizeinrichtung 2 angeordnet
werden. Ferner ist in der obigen Ausführungsform ein Beispiel enthalten,
bei dem zwei Heizbehälter 2a,
die die Heizeinheit 2 bilden, verwendet werden. Es können aber
einer oder mehr als zwei Heizbehälter 2a verendet
werden, und bei der Verwendung der mehreren Heizbehälter sind
die Heizbehälter
vertikal angeordnet, wie es oben unter Bezugnahme auf die bevorzugte
Ausführungsform
erwähnt
worden ist. Ferner kann die Luftblasen-Trenn-/-Entfernungseinrichtung 19 statt
an der unmittelbar stromabwärtigen
Seite des Heizbehälters 2a an
einem anderen Abschnitt in der Leitungsanordnung angeordnet werden.
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Wie
vorstehend beschrieben, ist die Fluidheizvorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung äußerst zweckmäßig für eine Heizvorrichtung
für reines
Wasser und Chemikalien.