CN102401465A - 液体加热单元、具有该单元的液处理装置和液处理方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种液体加热单元、具有该单元的液处理装置和液处理方法。液体加热单元、具有该液体加热单元的液处理装置、液处理方法能够对内部的液体由于放射光的透过而被加热的液体存储槽或者导管的温度进行监视。本发明公开了一种液体加热单元，其包括：灯加热器，其放射出放射光；圆筒构件，其具有能够供上述灯加热器在内部空间中贯穿的圆筒形状，并由可透过上述放射光的材料形成；液体流通部，其沿着上述圆筒构件的外周部配置，并利用上述放射光来加热流过内部的液体；反射板，其从外侧覆盖上述液体流通部，并反射上述放射光；第1温度传感器，其安装在上述反射板的外部。

Description

液体加热单元、具有该单元的液处理装置和液处理方法
技术领域
本发明涉及为了处理半导体基板、平板显示器用基板等被处理体而加热液体的液体加热单元、具有该液体加热单元的液处理装置、液处理方法。
背景技术
在制造半导体器件、平板显示器等时，适当地进行清洗上述的制造所使用的基板的工序。在清洗工序中，向基板喷射清洗液，从而利用该清洗液冲洗被附着在基板上的残留物等。为了提高清洗效果，也经常加热清洗液，从而为了该加热而利用液体加热用的加热单元(例如专利文献1)。
专利文献1所记载的溶液加热装置包括：灯加热器，其能够放射加热溶液，例如水银灯、卤素灯等；溶液槽，其呈圆筒形状，由具有光透过性以及耐药品性的石英形成，并具有用于配置灯加热器的中空部。在溶液槽上设有溶液的取入口和排出口，利用配置在中空部的灯加热器将自取入口流入到溶液槽中的溶液加热到规定的温度，然后从排出口排出，再向液处理装置供给。
专利文献1：日本特开2003-90614号公报
为了在液体加热用的液体加热单元中在短时间内加热液体，有时利用PFA(四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(tetrafluoroethylene·perfluoroalkyl vinyl ethercopolymer))来形成液体存储槽或者导管，该PFA对于来自于卤素灯的放射光具有比石英更高的透过性。由此，透过了PFA的放射光被液体吸收，从而有效地加热液体。这样，因为来自于卤素灯的放射光透过PFA，所以PFA本身几乎不会被放射光加热成高温。然而，PFA的周围的构件被来自于卤素灯的放射光加热时，PFA有可能被加热到熔点以上的温度。
然而，由透过来自卤素灯的放射光的材料构成的构件的温度受到来自于卤素灯的放射光的影响而不能准确地测量，因此，存在难以监视液体存储槽或者导管的温度这样的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够对内部的液体由于放射光的透过而被加热的液体存储槽或者导管的温度进行监视的液体加热单元、具有该液体加热单元的液处理装置、液处理方法。
本发明的第1技术方案所提供的液体加热单元包括：灯加热器，其放射出放射光；圆筒构件，其具有能够供上述灯加热器在内部空间中贯穿的圆筒形状，由可透过上述放射光的材料形成；液体流通部，其沿着上述圆筒构件的外周部配置，利用上述放射光加热流过内部的液体；反射板，其从外侧覆盖上述液体流通部，用于反射上述放射光；第1温度传感器，其安装在上述反射板的外部。
本发明的第2技术方案所提供的液处理装置包括：第1技术方案的液体加热单元；循环管线，其与上述液体加热单元的上述液体流通部相连接；供给管线，其自上述循环管线分支出来；处理单元，其与上述供给管线相连接，从而利用自该供给管线供给的液体来对被处理体进行处理。
本发明的第3技术方案所提供的液处理方法包括：向第1技术方案的液体加热单元供给被处理体的处理所利用的液体，并将该液体加热到规定的温度的步骤；对被上述液体加热单元加热到规定的温度的上述液体的温度进行测量的步骤；将被上述液体加热单元加热到规定的温度的上述液体向处理上述被处理体的处理单元供给的步骤；在由上述测量步骤测量到的上述液体的温度比规定的温度还低的情况下停止上述处理单元的动作的步骤。
采用本发明的实施方式，提供一种能够对内部的液体由于放射光的透过而被加热的液体存储槽或者导管的温度进行监视的液体加热单元、具有该液体加热单元的液处理装置、液处理方法。
附图说明
图1是表示本发明的第1实施方式的液体加热单元的立体图。
图2是表示图1的液体加热单元的剖视图。
图3是表示第1实施方式的第1变形例的液体加热单元的剖视图。
图4是表示第1实施方式的第2变形例的液体加热单元的剖视图。
图5是示意性地表示本发明的第2实施方式的液处理装置的图。
图6是说明图5的液处理装置所具有的液处理单元的说明图。
具体实施方式
下面，参照添附的附图说明本发明的非限定的例示的实施方式。在添附的所有附图中，对于相同或者相对应的构件或者零件标注相同或者相对应的参照附图标记，从而省略重复的说明。
第1实施方式
参照图1和图2，本发明的第1实施方式的液体加热单元10包括：壳体11；反射板13(13a、13b)，其具有大致圆筒状的形状，利用安装在壳体11的内表面上的安装件12进行保持；管14，其绕成螺旋状且配置在反射板13的内表面侧；圆筒管15，其设在螺旋状的管14的内侧；灯加热器16，其沿着圆筒管15的大致中心的轴线延伸到壳体11的外侧。
壳体11由例如不锈钢、铝等金属制作，具有大致长方体的形状(在图1中为了图示内部构造而省略了壳体11的两个面的图示)。另外，在壳体11的内部设有隔热结构(未图示)，由此，壳体11自身不会被过度地加热。另外，在壳体11的相对的一组面上分别安装有凸缘部15a，利用该凸缘部15a来保持圆筒管15。另外，在一个凸缘部15a上设有冷却气体的导入管11i(图2)、在另一个凸缘部15a上设有相对应的排气管11o(图2)，通过该导入管11i和排气管11o，能够向圆筒管15的内部供给冷却气体(例如室温程度的氮气)。由此，能够抑制灯加热器16以及圆筒管15过度地升温。另外，具体而言，圆筒管15优选由石英制作。
卷绕在圆筒管15的外周部的螺旋状的管14由例如四氟乙烯·全氟烷氧基乙烯基醚共聚物(PFA)制作。因为PFA具有比例如石英等高的对于来自于灯加热器16的放射光的透射率，所以管14由PFA制作时，有利于流过其内部的液体的加热。另外，管14具有液体的流入管14i以及流出管14o，由未图示的泵送出的液体自流入管14i流入管14，并从流出管14o流出。另外，在流出管14o上设有三通接头14j。使用O型密封圈和规定的配管构件从与三通接头中的液体的流出方向相交叉的方向插入有温度传感器TC，通过由温度传感器TC进行的温度测量来对流过管14内的液体的温度进行控制。该温度传感器TC也可以是白金测温电阻元件、热敏电阻等温测电阻元件，但优选热电偶。
另外，液体例如可以是异丙醇(IPA)、脱离子水(DIW)等。
以覆盖管14的周围的方式配置的反射板13可以由例如不锈钢、铝等金属制作。在本实施方式中，考虑到管14以及圆筒管15的安装的方便，反射板13可以分离成下反射板13a以及上反射板13b、并利用安装件12安装成一体而整体上具有圆筒形状。反射板13反射来自于灯加热器16的放射光，从而有助于更有效地对流过管14内的液体进行加热。反射板13的内表面可以研磨成例如镜面。
另外，将反射板13设成接触或者接近其内侧的管14。而且，如上所述，在本实施方式中，因为管14卷绕在圆筒管15的外周部，所以管14还接触或者接近圆筒管15。流过管14内的液体主要是通过对透过管14的来自灯加热器16的放射光进行吸收而被加热，另一方面，由于管14接触或者接近反射板13以及圆筒管15，所以还能通过从反射板13以及圆筒管15向管14的热的传导而被加热。即、采用本实施方式的结构，可以有效地对流过管14内的液体进行加热。
另外，在反射板13的外周面上安装有温度传感器17。温度传感器17可以利用白金测温电阻元件、热敏电阻等温测电阻元件、热电偶。温度传感器17与调温器21电连接。
灯加热器16也可以是水银灯加热器或者卤素灯加热器，并由夹具16a支承在壳体11的外侧。在灯加热器16的电极16e上连接有电源22(参照图2)，灯加热器16利用来自于该电源22的电力来点亮，从而利用其放射光对流过管14内的液体进行加热。在由灯加热器16和电源22构成的电路中设有断路器23，断路器23与调温器21电连接起来。反射板13的温度变得比规定的基准温度高时，从调温器21向断路器23输出信号，输入了该信号的断路器23切断从电源22向灯加热器16的电力的供给。由此，如下述那样抑制圆筒管15被过度地加热。
在具有上述结构的液体加热单元10中，来自灯加热器16的放射光透过由石英形成的圆筒管15，然后透过由PFA形成的管14而被流过管14内的液体吸收。由此，液体被加热。利用设在管14的流出管14o上的温度传感器来监视液体的温度，并通过对从电源22向灯加热器16供给的电力进行调整将液体的温度控制为规定的温度。由此，能够向连接有液体加热单元10的液处理装置等供给规定的温度的液体。
这里，在放射光透过圆筒管15时，因为构成圆筒管15的石英虽然极少地吸收但是也吸收放射光，所以圆筒管15也被加热。由于灯加热器自身的温度达到大约800℃～大约1000℃，因此有可能圆筒管15也被加热到该程度的温度。因为石英的耐热温度是1500℃左右，所以圆筒管15几乎不会由热引起变形、破损等。然而，因为构成管14的PFA的熔点是315℃左右，所以在被加热到1000℃左右的圆筒管15的作用下管14被加热时，也有可能在管14上产生变形或者破损。因此，为了保护管14，优选监视管14的温度。然而，即使想要用温度传感器对被来自于灯加热器16的放射光照射、且使该放射光透过的管14的温度进行测量也不能准确地测量。另外，在用温度传感器测量圆筒管15的温度时，也同样难以进行准确的温度测量。
然而，采用本实施方式的液体加热单元10，利用以包围管14的方式配置的安装在反射板13的外周面上的温度传感器17来测量反射板13的温度，从而能够对管14、比管14还靠近灯加热器16且能够被加热到更高温的圆筒管15的温度进行监视。即、通过将调温器21的基准温度设定为比PFA的熔点低例如10℃～30℃的温度，从而在反射板13的温度超过基准温度时，利用断路器23来切断向灯加热器16的电力供给。由此，能够抑制圆筒管15以至于管14被过度地加热。
另外，因为设在比管14靠内侧的位置且靠近灯加热器16的圆筒管15的温度比管14、反射板13的温度还高，所以也可以求得圆筒管15的温度与反射板13的温度之间的相关关系，并根据该相关关系来决定上述的基准温度。但是，在本实施方式中，圆筒管15由石英制作，难以测量被来自灯加热器16的放射光加热的石英制的圆筒管15的温度。因此，优选用如下所述的方法预先获取圆筒管15的温度与反射板13的温度之间的相关关系：一边利用灯加热器16对流过管14的液体进行加热一边测量反射板13的温度，在该温度稳定之后，熄灭灯加热器16，然后用预先设置的温度传感器等对刚熄灯之后的圆筒管15的温度进行测量，并将该测量温度作为圆筒管15的温度。这样一来，能够通过用安装在反射板13上的温度传感器17监视反射板13的温度而掌握温度比管14还高的圆筒管15的温度例如变为比PFA的熔点还低10℃～30℃的温度。
另外，在液体加热单元10中，因为管14被卷绕在圆筒管15上，所以管14不会弯曲地与灯加热器16相接触，从而灯加热器16不会发生破损等。另外，即使在万一从管14中泄漏出液体的情况下，也由于圆筒管15配置在灯加热器16的周围，因此泄漏的液体不会落到灯加热器16上，从而能够防止灯加热器16的破损。
另外，在液体加热单元10中，因为以包围液体流过的管14的方式设置反射板13，所以由于透过管14(或者其间隙)的来自灯加热器16的放射光被反射板13反射而向管14照射，因此能够更加有效地加热液体。
第1实施方式的变形例1
参照图3说明第1实施方式的液体加热单元10的变形例1。图3是表示变形例1的液体加热单元10a的剖视图。如图所示，液体加热单元10a与液体加热单元10的不同点在于液体流过的管14a双重螺旋状地卷绕在圆筒管15上，而在其他的结构方面与液体加热单元10实质上相同。在使用对于来自灯加热器16的放射光的吸收率低的液体的情况下，因为采用这样双重螺旋状地卷绕的管14a而变得易于吸收放射光，所以可以有效地加热液体。
另外，在变形例1的液体加热单元10中，也能够利用安装在反射板13的外周面上的温度传感器17来测量反射板13的温度，从而通过该测量来监视管14a以及圆筒管15的温度。于是，能够在反射板13的温度超过规定的基准温度时，切断向灯加热器16的电力的供给。即、利用变形例1的液体加热单元10a也能够提供与液体加热单元10相同的效果。
第1实施方式的变形例2
下面，参照图4说明第1实施方式的液体加热单元10的变形例2。图4是表示变形例2的液体加热单元10b的剖视图。如图所示，液体加热单元10b具有液槽18来替代液体加热单元10中的管14。除该点之外，液体加热单元10b具有与液体加热单元10实质上相同的结构。液槽18具有由呈圆环形状的上表面以及下表面封堵起来的双重圆筒管的形状，由例如PFA制作。另外，在下表面以及上表面上分别设有液体的流入管18i以及流出管18o。液体从流入管18i流入液槽18，并在液槽18中被灯加热器16加热到规定的温度，然后从流出管18o流出。在液槽18的内侧的空间中贯穿有圆筒管15，从而液槽18被圆筒管15从内侧保持。
在这样构成的液体加热单元10b中，能够利用安装在反射板13的外周面上的温度传感器17来测量反射板13的温度，从而通过该测量来监视液槽18以及圆筒管15的温度。于是，能够在反射板13的温度超过规定的基准温度时切断向灯加热器16的电力的供给。即、采用变形例2的液体加热单元10b也能够提供与液体加热单元10相同的效果。
第2实施方式
接下来，参照图5和图6说明本发明的第2实施方式的液处理装置。如图5所示，本实施方式的液处理装置100包括第1实施方式的液体加热单元10、与液体加热单元10的管14(参照图1或者图2)一起形成闭合的液体流路的循环管线40、设在循环管线40的途中而使液体在液体加热单元10以及循环管线40内循环的泵46、设在比泵46靠上游侧的位置的存储罐46t。另外，在液处理装置100中设有从循环管线40分支出来的多条供给管线30、对应于多条供给管线30而设置的与各供给管线30相连接的多个液处理单元50、分别从多条供给管线30经由三通阀38a而分支的多条返回管线35。另外，在各返回管线35上与三通阀38a相邻接地设有开闭阀38b。
另外，各返回管线35互相汇合而在泵46的上游侧与循环管线40连接。在该连接点的上游设有第1溢流阀39b、另一方面，在该连接点的上游的循环管线40上设有第2溢流阀39a。利用第1溢流阀39b以及第2溢流阀39a，在返回管线35a中的液体的压力被控制为压力低于循环管线40中的液体的压力。另外，优选在循环管线40、供给管线30、返回管线35上设置隔热构件从而减少在它们中流过的液体的温度下降。
三通阀38a以择一地形成液体从循环管线40向液处理单元50流动的第1路径、液体从循环管线40向返回管线35流动的第2路径的方式进行切换。另外，开闭阀38b在三通阀38a形成第1路径时关闭，而在三通阀38a形成第2路径时打开。这样，通过三通阀38a与开闭阀38b协作，液体被从循环管线40经由供给管线30向液处理单元50供给而被利用于液处理，在液处理单元50中不进行液处理时，液体从供给管线30经由返回管线35再次向循环管线40返回。
如图6的(a)所示，液处理单元50也可以是例如单张式的晶圆清洗单元。在图示的例子中，液处理单元50包括保持处理对象即晶圆W并旋转的基座52S、向在基座52S上由支承销52P支承的晶圆W供给液体的分配器62、对基座52S以及分配器62进行收容的壳体54。
分配器62具有沿着大致水平方向延伸的臂62A、保持臂62A并使其旋转的轴62S。如图6的(b)所示，轴62S在未图示的驱动机构的作用下转动时，臂62A能够在基座52S上的晶圆W的大致中央的上方的第1位置以及比基座52S靠外侧的上方的第2位置之间移动。另外，在臂62A的顶端形成有通孔，在该通孔中结合有从循环管线40分支出来的供给管线30的喷射部30T。
臂62A移动到上述的第1位置时，三通阀38a以及开闭阀38b形成上述的第1路径，从而从供给管线30的喷射部30T向晶圆W供给液体。这时，基座52S使晶圆W旋转，从而供给到晶圆W的液体在伴随旋转而产生的离心力的作用下朝向外侧在晶圆W的表面上流动。利用该流动和液体所具有的溶解性来清洗晶圆W的表面。
再次参照图5，液处理装置包括对液处理单元50、三通阀38a、开闭阀38b等液处理装置100的构成零件或者构件进行控制的控制部45。另外，控制部45与插入在液体加热单元10的管14的流出管14o(参照图2)中的温度传感器电连接，从而对流过管14的液体的温度(即、在液体加热单元10的出口处的温度)进行监视。该温度变得比在液处理单元50中的处理所需要的温度低时，控制部45以停止液处理单元50的动作、并且使三通阀38a以及开闭阀38b形成第2路径(循环管线40→供给管线30→返回管线35)的方式进行控制。由此，能够避免在处理效果(清洗效果)低的状态下处理(清洗)晶圆W的这种情况。
另外，控制部45能够只根据在液体加热单元10的出口处的温度来判断是继续液处理单元50的动作还是停止液处理单元50的动作。即、在液体加热单元10中的液体的温度由液体加热单元10的管14的流出管14o的温度传感器(未图示)、调温器21、灯加热器16、其电源22进行控制。另外，由液体加热单元10的温度传感器17测量的反射板13的温度超过基准温度时，向灯加热器16的电力的供给被切断，该动作也在液体加热单元10中进行控制。因而，即使在向液体加热单元10的灯加热器16的电力的供给被切断的情况下，在液体加热单元10的出口处的液体的温度处于在液处理单元50中的处理所需要的温度范围内时，液处理单元50也可以继续动作。另外，在液体加热单元10的出口处的液体的温度维持为在液处理单元50中的处理所需要的温度范围的期间，测量液体加热单元10的反射板13的温度，并在判断出其温度变得比规定的基准温度低的温度时可以恢复向灯加热器16的电力的供给，从而也能够继续在液处理单元50中的处理。
另外，也可以在液体加热单元10的出口处的液体的温度维持为液处理单元50中的处理所需要的温度范围的期间，测量液体加热单元10的反射板13的温度，并在该温度变为比规定的基准温度还低的温度的情况下，不是在反射板13的温度变为低的温度的时刻立即恢复向灯加热器16的电力的供给，而是在判断出液体加热单元10的出口处的液体的温度变为只比在液处理单元50中的处理所需要的温度范围的下限高出规定的温度的温度(或者比该温度范围的下限低的温度)的时刻，恢复向灯加热器16的电力的供给。在这种情况下的规定的温度可以是例如1℃～5℃。
另外，液体的温度不限于在液体加热单元10的出口处进行测量，也可以在入口处进行测量，或者也可以在管14内的规定的位置进行测量。
另外，虽然省略图示，但是在液处理装置100中可以将用于对液处理单元50所耗费的液体进行补充的补充管线与循环管线40相连接。优选将补充管线相对于存储罐46t设置。另外，也可以在循环管线40上设有缓冲槽，将补充管线与缓冲槽连接。这样一来，即使通过补充管线补充室温左右的液体也能够防止液体温度的下降。
下面，适当地参照图1和图5等说明以上述那样构成的液处理装置100的动作(液处理方法)。
首先，通过启动泵46，使液体在液体加热单元10的管14以及循环管线40的内部循环。从电源22向液体加热单元10的灯加热器16供给电力，灯加热器16点亮并发出放射光。该放射光透过圆筒部15与管14并被流过管14内的液体吸收，由此，液体被加热。利用设在管14的流出管14o(参照图1或者图2)上的未图示的温度传感器来测量被加热的液体的温度。根据该测量结果控制电源22，从而将液体的温度维持为规定的温度、即维持为高于在液处理单元50中进行的处理所需要的温度的温度。在此期间，液处理装置100的三通阀38a以及开闭阀38b形成从循环管线40经由供给管线30以及返回管线35而返回循环管线40的路径(第2路径)，从而流过循环管线40的液体的一部分流过第2路径。
确认液体的温度维持为规定的温度之后，在规定的时刻，利用控制部45来控制三通阀38a以及开闭阀38b，从而向液处理单元50供给液体。在液处理单元50中，在控制部45的控制下，分配器62的臂62A移动到在基座52S上由支承销52P保持的晶圆W的大致中央的上方，然后从臂62A的顶端(30T)向晶圆W供给液体而处理(清洗)晶圆W。在液处理单元50中的处理(清洗)结束时，三通阀38a以及开闭阀38b进行切换，从而液体流过第2路径，由此，停止向液处理单元50的液体的供给。然后，输出在液处理单元50中处理完毕的晶圆W，并输入下一个晶圆W时，再次开始处理(清洗)。以这样的方式在液处理装置100中进行晶圆W的处理。
在晶圆的液处理期间，在液体加热单元10中，通过测量反射板13的温度来监视管14和/或圆筒部15的温度，在反射板13超过基准温度的情况下，利用断路器23切断向灯加热器16的电力的供给。即使在被切断的情况下，在液体的温度维持为规定的温度以上的期间，在液处理装置100中的液处理也不中断而是继续进行，在变为比规定的温度低的时刻，液处理单元50的动作停止。
上面，参照若干个实施方式说明了本发明，但本发明不是被限定于公开的实施方式，能够参照添附的权利要求书进行多种变形或者改变。
例如，第2实施方式的液处理装置100也可以具有液体加热单元10a、10b来替代液体加热单元10。另外，在液处理装置100中的液处理单元50不限于单张式的晶圆清洗单元，可以是批量式的清洗槽。另外，由本发明的实施方式的液体加热单元进行加热并被利用于晶圆的处理的液体不限于IPA或者DIW，当然可以是为了干燥晶圆而使用的液体、在半导体或者平板显示器(FPD)的制造工艺中加热而使用的药液。另外，作为被处理体的晶圆W不限于半导体晶圆，也可以是FPD用的玻璃基板。

Claims (14)

1.一种液体加热单元，其中，其包括：
灯加热器，其放射出放射光；
圆筒构件，其具有能够供上述灯加热器在内部空间中贯穿的圆筒形状，由可透过上述放射光的材料形成；
液体流通部，其沿着上述圆筒构件的外周部配置，利用上述放射光来加热流过内部的液体；
反射板，其从外侧覆盖上述液体流通部，用于反射上述放射光；
第1温度传感器，其安装在上述反射板的外部。
2.根据权利要求1所述的液体加热单元，其中，
上述液体流通部具有比上述圆筒构件的耐热温度低的熔点、比上述圆筒构件对上述放射光的透射率高的透射率。
3.根据权利要求1或2所述的液体加热单元，其中，
上述液体流通部是螺旋状地卷绕在上述圆筒构件的外周部的管，该管由四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物形成。
4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的液体加热单元，其中，
液体加热单元还具有与上述第1温度传感器电连接的调温器；
上述调温器在上述反射板的由上述第1温度传感器测量的温度超过规定的基准温度时发出信号。
5.根据权利要求4所述的液体加热单元，其中，
液体加热单元还具有断路器，该断路器设在向上述灯加热器供给电力的电力供给线路上，通过输入上述信号来切断向上述灯加热器的电力供给。
6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的液体加热单元，其中，
液体加热单元还具有第2温度传感器，该第2温度传感器设在上述液体流通部上，测量被上述放射光加热的液体的温度。
7.一种液处理装置，其中，其包括：
权利要求1至6中的任意一项所述的液体加热单元；
与上述液体加热单元的上述液体流通部相连接的主供给管线；
从上述主供给管线分支出来的供给管线；
连接有上述供给管线，并利用该供给管线所供给的液体来对被处理体进行处理的处理单元。
8.根据权利要求7所述的液处理装置，其中，
液处理装置还具有控制部，该控制部对被上述液体加热单元加热的液体的温度是否处于上述处理单元的处理所需要的温度范围内进行判断。
9.一种液处理装置，其中，其包括：
权利要求5所述的液体加热单元；
与上述液体加热单元的上述液体流通部相连接的主供给管线；
从上述主供给管线分支出来的供给管线；
连接有上述供给管线，并利用从该供给管线供给的液体来处理被处理体的处理单元；
即使在上述反射板的由上述第1温度传感器测量的温度超过规定的基准温度而利用上述断路器切断向上述灯加热器的电力供给的情况下，在利用上述控制部判断出被上述液体加热单元加热的液体的温度处于上述处理单元的处理所需要的温度范围内时，也继续上述处理单元的动作。
10.一种液处理方法，其中，其包括：
向上述权利要求1所述的液体加热单元供给用于被处理体的处理的液体并将该液体加热到规定的温度的步骤；
对被上述液体加热单元加热到规定的温度的上述液体的温度进行测量的步骤；
将被上述液体加热单元加热到规定的温度的上述液体向用于处理上述被处理体的处理单元供给的步骤。
11.根据权利要求10所述的液处理方法，其中，
液处理方法还包括如下所述的步骤：
即使在上述反射板的由上述第1温度传感器测量的温度超过规定的基准温度情况下，由上述控制部判断出被上述液体加热单元加热的液体的温度处于上述处理单元的处理所需要的温度范围内时，也继续上述处理单元的动作。
12.根据权利要求10或者11所述的液处理方法，其中，
液处理方法还包括在上述液体加热单元的上述反射板的温度比规定的基准温度高的情况下、切断向上述灯加热器的电力的供给的步骤。
13.根据权利要求12所述的液处理方法，其中，
液处理方法还包括以下步骤：
在上述切断的步骤之后、利用上述第1温度传感器来测量上述反射板的温度的步骤；
对在上述测量的步骤中测量到的上述反射板的温度是否低于上述规定的基准温度进行判断的步骤；
在上述判断的步骤中判断为反射板的温度比上述规定的基准温度低时、恢复向上述灯加热器的电力的供给的步骤。
14.根据权利要求12所述的液处理方法，其中，
液处理方法还包括以下步骤：
在上述切断的步骤之后、利用上述第1温度传感器来测量上述反射板的温度的步骤；
对在测量上述反射板的温度的步骤中测量到的温度是否为上述基准温度以下进行判断的第1判断步骤；
在上述第1判断步骤中判断出上述测量到的温度为上述基准温度以下时、对被上述液体加热单元加热的液体的温度是否为比上述处理单元的处理所需要的温度范围的下限只高出规定的温度的温度以下进行判断的第2判断步骤；
在上述第2判断步骤中判断出上述液体的温度为只高出上述规定的温度的温度以下的情况下、恢复向上述液体加热单元的灯加热器的电力的供给的步骤。
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