JP2000304353A - 液体加熱装置 - Google Patents
液体加熱装置Info
- Publication number
- JP2000304353A JP2000304353A JP11112123A JP11212399A JP2000304353A JP 2000304353 A JP2000304353 A JP 2000304353A JP 11112123 A JP11112123 A JP 11112123A JP 11212399 A JP11212399 A JP 11212399A JP 2000304353 A JP2000304353 A JP 2000304353A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- heat exchange
- exchange tube
- temperature
- insertion space
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】液体加熱装置（ラインヒータ）自体の小型化
を可能とし、構造がシンプルで製造容易であり、コ
ストダウンを図ることができ、管理温度を２００℃〜
３００℃という中温度に設定できるので安全であり、
接液部分の温度が直接管理可能となり安全性が向上し、
内容液の洩れの発生がなく、加熱手段の事故による
内容液の金属汚染の発生もない、ようにした液体加熱装
置を提供する。 【解決手段】一端部を液体入口とし他端部を液体出口と
した長尺の熱交換チューブの中を流動する液体を赤外線
加熱手段によって加熱する液体加熱装置であって、該長
尺の熱交換チューブを赤外線を透過する材料によって形
成するとともにコイル状に巻回して内部に挿通空間を形
成し、該挿通空間に該赤外線加熱手段を挿通設置するよ
うにした。
を可能とし、構造がシンプルで製造容易であり、コ
ストダウンを図ることができ、管理温度を２００℃〜
３００℃という中温度に設定できるので安全であり、
接液部分の温度が直接管理可能となり安全性が向上し、
内容液の洩れの発生がなく、加熱手段の事故による
内容液の金属汚染の発生もない、ようにした液体加熱装
置を提供する。 【解決手段】一端部を液体入口とし他端部を液体出口と
した長尺の熱交換チューブの中を流動する液体を赤外線
加熱手段によって加熱する液体加熱装置であって、該長
尺の熱交換チューブを赤外線を透過する材料によって形
成するとともにコイル状に巻回して内部に挿通空間を形
成し、該挿通空間に該赤外線加熱手段を挿通設置するよ
うにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造等の技
術分野における洗浄工程やエッチング工程等に使用され
る液体を高温に加熱する際に用いられる液体加熱装置に
関する。
術分野における洗浄工程やエッチング工程等に使用され
る液体を高温に加熱する際に用いられる液体加熱装置に
関する。
【０００２】
【関連技術】この種の液体加熱装置は、一般にラインヒ
ータと通称されている。このラインヒータとしては、従
来から、図３及び図４に示したような２つのタイプが知
られている。
ータと通称されている。このラインヒータとしては、従
来から、図３及び図４に示したような２つのタイプが知
られている。
【０００３】図３は、従来の第１のタイプのラインヒー
タを示す概略説明図である。この第１の従来例のライン
ヒータ２０は、上下のマニホールド２２，２４と該上下
のマニホールド２２，２４を接続する複数の熱交換チュ
ーブ２６ａ，２６ｂ，２６ｃと、該熱交換チューブ２６
ａ，２６ｂ，２６ｃの外周面に直接巻き付けられたニク
ロム線等の加熱体２８ａ，２８ｂ，２８ｃとを有してい
る。
タを示す概略説明図である。この第１の従来例のライン
ヒータ２０は、上下のマニホールド２２，２４と該上下
のマニホールド２２，２４を接続する複数の熱交換チュ
ーブ２６ａ，２６ｂ，２６ｃと、該熱交換チューブ２６
ａ，２６ｂ，２６ｃの外周面に直接巻き付けられたニク
ロム線等の加熱体２８ａ，２８ｂ，２８ｃとを有してい
る。
【０００４】下部マニホールド２４には液体入口３０、
上部マニホールド２２には液体出口３２がそれぞれ設け
られている。液体入口３０から導入される液体は熱交換
チューブ２６ａ〜２６ｃ内を流動する間にニクロム線２
８ａ〜２８ｃによって熱交換チューブ２６ａ〜２６ｃの
外面側から加熱され、この加熱された液体は液体出口３
２より排出される。
上部マニホールド２２には液体出口３２がそれぞれ設け
られている。液体入口３０から導入される液体は熱交換
チューブ２６ａ〜２６ｃ内を流動する間にニクロム線２
８ａ〜２８ｃによって熱交換チューブ２６ａ〜２６ｃの
外面側から加熱され、この加熱された液体は液体出口３
２より排出される。
【０００５】また、図４は、従来の第２のタイプのライ
ンヒータを示す概略説明図である。この第２の従来例の
ラインヒータ４０は、中空部４２を有する石英製の熱交
換円筒管４４と、該中空部４２に挿通設置された赤外線
ヒータ４６とを有している。
ンヒータを示す概略説明図である。この第２の従来例の
ラインヒータ４０は、中空部４２を有する石英製の熱交
換円筒管４４と、該中空部４２に挿通設置された赤外線
ヒータ４６とを有している。
【０００６】該熱交換円筒管４４の一端部の下面側には
液体入口４８、また他端部の上面側には液体出口５０が
それぞれ設けられている。液体入口４８から導入される
液は、該熱交換円筒管４４内を流動する間に赤外線ヒー
タ４６によって中空部４２側、即ち内面側から加熱さ
れ、この加熱された液体は液体出口５０より排出され
る。
液体入口４８、また他端部の上面側には液体出口５０が
それぞれ設けられている。液体入口４８から導入される
液は、該熱交換円筒管４４内を流動する間に赤外線ヒー
タ４６によって中空部４２側、即ち内面側から加熱さ
れ、この加熱された液体は液体出口５０より排出され
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た第１の従来例のラインヒータ２０の場合、上下のマニ
ホールド２２，２４と熱交換チューブ２６ａ〜２６ｃと
は溶接によって接続されているが、その溶接部からの内
容液の洩れが発生し易いという問題がある。
た第１の従来例のラインヒータ２０の場合、上下のマニ
ホールド２２，２４と熱交換チューブ２６ａ〜２６ｃと
は溶接によって接続されているが、その溶接部からの内
容液の洩れが発生し易いという問題がある。
【０００８】また、熱交換チューブ２６ａ〜２６ｃは通
常ポリ四フッ化エチレン（商標名：テフロン）で製造さ
れている。この熱交換チューブ２６ａ〜２６ｃに直接ニ
クロム線２８ａ〜２８ｃを巻き付けているために、空炊
き又は過昇温が発生した際にニクロム線２８ａ〜２８ｃ
が熱交換チューブ２６ａ〜２６ｃを溶かして、内容液の
洩れを発生させるとともに熱交換チューブ２６ａ〜２６
ｃ内部にニクロム線２８ａ〜２８ｃ等の加熱体の材料が
入り込んで内容液を金属汚染してしまう事故が多発して
しまう。
常ポリ四フッ化エチレン（商標名：テフロン）で製造さ
れている。この熱交換チューブ２６ａ〜２６ｃに直接ニ
クロム線２８ａ〜２８ｃを巻き付けているために、空炊
き又は過昇温が発生した際にニクロム線２８ａ〜２８ｃ
が熱交換チューブ２６ａ〜２６ｃを溶かして、内容液の
洩れを発生させるとともに熱交換チューブ２６ａ〜２６
ｃ内部にニクロム線２８ａ〜２８ｃ等の加熱体の材料が
入り込んで内容液を金属汚染してしまう事故が多発して
しまう。
【０００９】熱交換チューブ２６ａ〜２６ｃの表面温度
を管理して、上記した事故を回避する試みもなされる
が、ニクロム線２８ａ〜２８ｃを巻いた熱交換チューブ
２６ａ〜２６ｃは通常数十本もあるので、全ての熱交換
チューブ２６ａ〜２６ｃの表面温度を管理するために
は、熱交換チューブ２６ａ〜２６ｃの本数の温度センサ
の取付と管理が必要となり、それだけコストアップにな
るという不利がある。
を管理して、上記した事故を回避する試みもなされる
が、ニクロム線２８ａ〜２８ｃを巻いた熱交換チューブ
２６ａ〜２６ｃは通常数十本もあるので、全ての熱交換
チューブ２６ａ〜２６ｃの表面温度を管理するために
は、熱交換チューブ２６ａ〜２６ｃの本数の温度センサ
の取付と管理が必要となり、それだけコストアップにな
るという不利がある。
【００１０】上記した第２の従来例のラインヒータ４０
の場合、内容液の洩れや内容液の汚染の問題はないもの
の、赤外線ヒータ４６の加熱効率を高めるためには、熱
交換円筒管４４の中空部４２の径を小さくし、赤外線ヒ
ータ４６と流動する液体との距離を可能な限り短くする
ために、該熱交換円筒管４４の中空内壁の温度が非常に
高温になってしまうが、スペース的に温度センサーの取
付も難しいので中空内壁の表面温度を管理することは不
可能であり、温度管理なしで加熱しているのが現状であ
る。
の場合、内容液の洩れや内容液の汚染の問題はないもの
の、赤外線ヒータ４６の加熱効率を高めるためには、熱
交換円筒管４４の中空部４２の径を小さくし、赤外線ヒ
ータ４６と流動する液体との距離を可能な限り短くする
ために、該熱交換円筒管４４の中空内壁の温度が非常に
高温になってしまうが、スペース的に温度センサーの取
付も難しいので中空内壁の表面温度を管理することは不
可能であり、温度管理なしで加熱しているのが現状であ
る。
【００１１】本発明は、上記した従来技術の問題点に鑑
みなされたもので、液体加熱装置（ラインヒータ）自
体の小型化を可能とし、構造がシンプルで製造容易で
あり、コストダウンを図ることができ、管理温度を
２００℃〜３００℃という中温度に設定できるので安全
であり、接液部分の温度が直接管理可能となり安全性
が向上し、内容液の洩れの発生がなく、加熱手段の
事故による内容液の金属汚染の発生もない、ようにした
液体加熱装置を提供することを目的とする。
みなされたもので、液体加熱装置（ラインヒータ）自
体の小型化を可能とし、構造がシンプルで製造容易で
あり、コストダウンを図ることができ、管理温度を
２００℃〜３００℃という中温度に設定できるので安全
であり、接液部分の温度が直接管理可能となり安全性
が向上し、内容液の洩れの発生がなく、加熱手段の
事故による内容液の金属汚染の発生もない、ようにした
液体加熱装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の液体加熱装置は、一端部を液体入口とし他
端部を液体出口とした長尺の熱交換チューブの中を流動
する液体を赤外線加熱手段によって加熱する液体加熱装
置であって、該長尺の熱交換チューブを赤外線を透過す
る材料によって形成するとともにコイル状に巻回して内
部に挿通空間を形成し、該挿通空間に該赤外線加熱手段
を挿通設置したことを特徴とする。
に、本発明の液体加熱装置は、一端部を液体入口とし他
端部を液体出口とした長尺の熱交換チューブの中を流動
する液体を赤外線加熱手段によって加熱する液体加熱装
置であって、該長尺の熱交換チューブを赤外線を透過す
る材料によって形成するとともにコイル状に巻回して内
部に挿通空間を形成し、該挿通空間に該赤外線加熱手段
を挿通設置したことを特徴とする。
【００１３】上記長尺の熱交換チューブはフッ素樹脂に
よって形成されており、ポリ四フッ化エチレン（商標
名：テフロン）が特に好適である。
よって形成されており、ポリ四フッ化エチレン（商標
名：テフロン）が特に好適である。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を添
付図面中、図１及び図２に基づいて説明する。この発明
の実施の形態は本発明を例示的に示すもので、本発明の
技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能なことは
いうまでもない。
付図面中、図１及び図２に基づいて説明する。この発明
の実施の形態は本発明を例示的に示すもので、本発明の
技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能なことは
いうまでもない。
【００１５】図１は本発明の液体加熱装置を概略的に示
すもので、（ａ）は側面的概略説明図、（ｂ）は正面的
概略説明図である。
すもので、（ａ）は側面的概略説明図、（ｂ）は正面的
概略説明図である。
【００１６】本発明の液体加熱装置２は、一端部を液体
入口４とし、他端部を液体出口６とした長尺の熱交換チ
ューブ８を有している。該熱交換チューブ８は、図１に
示したように、コイル状に巻回され、内部に挿通空間１
０が形成されている。該熱交換チューブ８のコイル状の
巻回の態様は、図１に示した例では、１回巻きした場合
を示したが、２回巻、３回巻等の複数巻とすることもで
きる。
入口４とし、他端部を液体出口６とした長尺の熱交換チ
ューブ８を有している。該熱交換チューブ８は、図１に
示したように、コイル状に巻回され、内部に挿通空間１
０が形成されている。該熱交換チューブ８のコイル状の
巻回の態様は、図１に示した例では、１回巻きした場合
を示したが、２回巻、３回巻等の複数巻とすることもで
きる。
【００１７】該挿通空間１０には、赤外線加熱手段、例
えば赤外線ヒータ１２が挿通設置されている。液体入口
４から導入される液は、該熱交換チューブ８内を流動す
る間に該赤外線加熱手段１２によって挿通空間１０側、
即ち内面側から加熱され、この加熱された液体は液体出
口６より排出される。１４は該熱交換チューブ８の挿通
空間１０の内面８ａの適宜位置に設けられた表面温度検
出センサーである。
えば赤外線ヒータ１２が挿通設置されている。液体入口
４から導入される液は、該熱交換チューブ８内を流動す
る間に該赤外線加熱手段１２によって挿通空間１０側、
即ち内面側から加熱され、この加熱された液体は液体出
口６より排出される。１４は該熱交換チューブ８の挿通
空間１０の内面８ａの適宜位置に設けられた表面温度検
出センサーである。
【００１８】本発明の液体加熱装置２は、赤外線加熱手
段１２による赤外線の誘導加熱を利用して、装置の安全
性、耐久性、信頼性を向上させかつ低コスト化を実現し
たものである。赤外線誘導加熱を利用するためには、赤
外線加熱手段１２と熱交換チューブ８の内面８ａとを所
定間隔を介して対向せしめる必要がある。この間隔は赤
外線加熱手段１２の加熱能力や熱交換チューブ８の太
さ、厚さや巻回数等によって変更することはいうまでも
ないが、３０〜８０ｍｍ程度の範囲で選択すれば充分で
ある。
段１２による赤外線の誘導加熱を利用して、装置の安全
性、耐久性、信頼性を向上させかつ低コスト化を実現し
たものである。赤外線誘導加熱を利用するためには、赤
外線加熱手段１２と熱交換チューブ８の内面８ａとを所
定間隔を介して対向せしめる必要がある。この間隔は赤
外線加熱手段１２の加熱能力や熱交換チューブ８の太
さ、厚さや巻回数等によって変更することはいうまでも
ないが、３０〜８０ｍｍ程度の範囲で選択すれば充分で
ある。
【００１９】該熱交換チューブ８は、赤外線を透過する
材料によって形成される必要がある。この材料として
は、耐熱性、耐薬品性等の観点からフッ素樹脂が好適で
あり、その中でも、ポリ四フッ化エチレン（商標名：テ
フロン）が最も好ましい。
材料によって形成される必要がある。この材料として
は、耐熱性、耐薬品性等の観点からフッ素樹脂が好適で
あり、その中でも、ポリ四フッ化エチレン（商標名：テ
フロン）が最も好ましい。
【００２０】本発明の液体加熱装置２においては、熱交
換チューブ２の過昇温を防止しかつ内容液の液温を所定
温度に制御する必要がある。この温度制御について、図
２によって説明する。図２は本発明の液体加熱装置２に
おける全体的温度制御を示すブロック図である。
換チューブ２の過昇温を防止しかつ内容液の液温を所定
温度に制御する必要がある。この温度制御について、図
２によって説明する。図２は本発明の液体加熱装置２に
おける全体的温度制御を示すブロック図である。
【００２１】図２において、液体加熱装置２における熱
交換チューブ８の液体入口４は、配管Ｒ１によって、ポ
ンプＰを介して温水槽１６と連通されており、温水槽１
６内の液体Ｗが液体入口４から熱交換チューブ８内に導
入され赤外線加熱手段１２によって加熱されるようにな
っている。また、液体出口６も配管Ｒ２によって温水槽
１６と連通されており、加熱された液体Ｗが温水槽１６
に排出される。また、赤外線加熱手段１２は配線Ｌ１，
Ｌ２によって電源Ｅと電気的に接続されている。配線Ｌ
１には、温度調節計１８及び過昇温防止用温度調節計１
９が直列に配置されている。
交換チューブ８の液体入口４は、配管Ｒ１によって、ポ
ンプＰを介して温水槽１６と連通されており、温水槽１
６内の液体Ｗが液体入口４から熱交換チューブ８内に導
入され赤外線加熱手段１２によって加熱されるようにな
っている。また、液体出口６も配管Ｒ２によって温水槽
１６と連通されており、加熱された液体Ｗが温水槽１６
に排出される。また、赤外線加熱手段１２は配線Ｌ１，
Ｌ２によって電源Ｅと電気的に接続されている。配線Ｌ
１には、温度調節計１８及び過昇温防止用温度調節計１
９が直列に配置されている。
【００２２】温水槽１６内には温度調節用センサ１７が
配置されている。該温度調節用センサ１７は温度調節計
１８に配線Ｌ３によって接続されている。温水槽１６内
の液温を、例えば８０℃に調節するように設定する場合
には、該温度調節用センサ１７によって８０℃から上昇
したことが検知されると、温度調節計１８からの指令に
よって赤外線加熱手段１２がオフとなって熱交換チュー
ブ８への赤外線誘導加熱が停止する。反対に、温度調節
センサ１７によって８０℃から下降したことが検知され
ると、温度調節計１８からの指令によって赤外線加熱手
段１２がオンとなって熱交換チューブ８への赤外線誘導
加熱が再開される。このようにして、温水槽１６内の液
温は８０℃に維持される。
配置されている。該温度調節用センサ１７は温度調節計
１８に配線Ｌ３によって接続されている。温水槽１６内
の液温を、例えば８０℃に調節するように設定する場合
には、該温度調節用センサ１７によって８０℃から上昇
したことが検知されると、温度調節計１８からの指令に
よって赤外線加熱手段１２がオフとなって熱交換チュー
ブ８への赤外線誘導加熱が停止する。反対に、温度調節
センサ１７によって８０℃から下降したことが検知され
ると、温度調節計１８からの指令によって赤外線加熱手
段１２がオンとなって熱交換チューブ８への赤外線誘導
加熱が再開される。このようにして、温水槽１６内の液
温は８０℃に維持される。
【００２３】過昇温防止用温度調節計１９は、前記した
熱交換チャーブ８の内面８ａに取り付けられた表面温度
検出センサ１４と配線Ｌ４によって電気的に接続されて
いる。この過昇温防止用温度調節計１９は、熱交換チュ
ーブ８の熱による溶解を防止するために、熱交換チュー
ブ８の内面８ａの過昇温を防ぐために設けられている。
例えば、熱交換チューブ８がポリ四フッ化エチレン（商
標名：テフロン、融点：３００〜３１０℃）で製造され
ている場合には、３００℃を超えた温度となると溶け出
すので、３００℃まで過昇温しないことが必要となる。
熱交換チャーブ８の内面８ａに取り付けられた表面温度
検出センサ１４と配線Ｌ４によって電気的に接続されて
いる。この過昇温防止用温度調節計１９は、熱交換チュ
ーブ８の熱による溶解を防止するために、熱交換チュー
ブ８の内面８ａの過昇温を防ぐために設けられている。
例えば、熱交換チューブ８がポリ四フッ化エチレン（商
標名：テフロン、融点：３００〜３１０℃）で製造され
ている場合には、３００℃を超えた温度となると溶け出
すので、３００℃まで過昇温しないことが必要となる。
【００２４】熱交換チューブ８の内面８ａが３００℃に
達しないように設定する場合には、表面温度検出センサ
１４が例えば、５０℃の余裕を見て、２５０℃となった
ことを検知すると、過昇温防止用温度調節計１９からの
指令によって赤外線加熱手段１２がオフとなって熱交換
チューブ８への赤外線誘導加熱が停止する。このよう
に、表面温度検出センサ１４が２５０℃を検知すると赤
外線誘導加熱は停止するので、熱交換チューブ８の内面
８ａの表面温度が３００℃に達することは未然に防止さ
れ、熱交換チューブ８が熱で溶けるという事故は完全に
なくなる。なお、通常の場合は、熱交換チューブ８の内
面８ａの温度は２５０℃というような高温になることは
ないので、過昇温防止用温度調節計１９からの赤外線加
熱手段１２に対する指令はオンとなっており、温水槽１
６の液温を８０℃に維持するための温度調節計１８から
の指令によって赤外線加熱手段１２のオンオフは行われ
ることとなる。
達しないように設定する場合には、表面温度検出センサ
１４が例えば、５０℃の余裕を見て、２５０℃となった
ことを検知すると、過昇温防止用温度調節計１９からの
指令によって赤外線加熱手段１２がオフとなって熱交換
チューブ８への赤外線誘導加熱が停止する。このよう
に、表面温度検出センサ１４が２５０℃を検知すると赤
外線誘導加熱は停止するので、熱交換チューブ８の内面
８ａの表面温度が３００℃に達することは未然に防止さ
れ、熱交換チューブ８が熱で溶けるという事故は完全に
なくなる。なお、通常の場合は、熱交換チューブ８の内
面８ａの温度は２５０℃というような高温になることは
ないので、過昇温防止用温度調節計１９からの赤外線加
熱手段１２に対する指令はオンとなっており、温水槽１
６の液温を８０℃に維持するための温度調節計１８から
の指令によって赤外線加熱手段１２のオンオフは行われ
ることとなる。
【００２５】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明の液体加熱装
置によれば、液体加熱装置（ラインヒータ）自体の小
型化を可能とし、構造がシンプルで製造容易であり、
コストダウンを図ることができ、管理温度を２００
℃〜３００℃という中温度に設定できるので安全であ
り、接液部分の温度が直接管理可能となり安全性が向
上し、内容液の洩れの発生がなく、加熱手段の事故
による内容液の金属汚染の発生もない、という効果が達
成される。
置によれば、液体加熱装置（ラインヒータ）自体の小
型化を可能とし、構造がシンプルで製造容易であり、
コストダウンを図ることができ、管理温度を２００
℃〜３００℃という中温度に設定できるので安全であ
り、接液部分の温度が直接管理可能となり安全性が向
上し、内容液の洩れの発生がなく、加熱手段の事故
による内容液の金属汚染の発生もない、という効果が達
成される。
【図１】 本発明の液体加熱装置を概略的に示すもの
で、（ａ）は側面的概略説明図、（ｂ）は正面的概略説
明図である。
で、（ａ）は側面的概略説明図、（ｂ）は正面的概略説
明図である。
【図２】 本発明の液体加熱装置における全体的温度制
御を示すブロック図である。
御を示すブロック図である。
【図３】 従来の第１のタイプのラインヒータを示す概
略説明図である。
略説明図である。
【図４】 従来の第２のタイプのラインヒータを示す概
略説明図である。
略説明図である。
２：液体加熱装置、４，３０，４８：液体入口、６，３
２，５０：液体出口、８：熱交換チューブ、８ａ：内
面、１０：挿通空間、１２：赤外線ヒータ、赤外線加熱
手段、１４：表面温度検出、１６：温水槽、１７：温度
調節用センサ、１８：温度調節計、１９：過昇温防止用
温度調節計、２０：ラインヒータ、２２，２４：マニホ
ールド、２６ａ，２６ｂ，２６ｃ：熱交換チューブ、２
８ａ，２８ｂ，２８ｃ：加熱体、４０：ラインヒータ、
４２：中空部、４４：熱交換円筒管、４６：赤外線ヒー
タ、Ｅ：電源、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４：配線、Ｐ：ポ
ンプ、Ｒ１，Ｒ２：配管、Ｗ：液体。
２，５０：液体出口、８：熱交換チューブ、８ａ：内
面、１０：挿通空間、１２：赤外線ヒータ、赤外線加熱
手段、１４：表面温度検出、１６：温水槽、１７：温度
調節用センサ、１８：温度調節計、１９：過昇温防止用
温度調節計、２０：ラインヒータ、２２，２４：マニホ
ールド、２６ａ，２６ｂ，２６ｃ：熱交換チューブ、２
８ａ，２８ｂ，２８ｃ：加熱体、４０：ラインヒータ、
４２：中空部、４４：熱交換円筒管、４６：赤外線ヒー
タ、Ｅ：電源、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４：配線、Ｐ：ポ
ンプ、Ｒ１，Ｒ２：配管、Ｗ：液体。
Claims (4)
- 【請求項１】 一端部を液体入口とし他端部を液体出口
とした長尺の熱交換チューブの中を流動する液体を赤外
線加熱手段によって加熱する液体加熱装置であって、該
長尺の熱交換チューブを赤外線を透過する材料によって
形成するとともにコイル状に巻回して内部に挿通空間を
形成し、該挿通空間に該赤外線加熱手段を挿通設置した
ことを特徴とする液体加熱装置。 - 【請求項２】 前記長尺の熱交換チューブがフッ素樹脂
によって形成されていることを特徴とする請求項１記載
の液体加熱装置。 - 【請求項３】 前記フッ素樹脂がポリ四フッ化エチレン
であることを特徴とする請求項２記載の液体加熱装置。 - 【請求項４】 前記熱交換チューブの過昇温防止機構が
設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれ
か１項記載の液体加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11212399A JP3963610B2 (ja) | 1999-04-20 | 1999-04-20 | 液体加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11212399A JP3963610B2 (ja) | 1999-04-20 | 1999-04-20 | 液体加熱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000304353A true JP2000304353A (ja) | 2000-11-02 |
| JP3963610B2 JP3963610B2 (ja) | 2007-08-22 |
Family
ID=14578779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11212399A Expired - Fee Related JP3963610B2 (ja) | 1999-04-20 | 1999-04-20 | 液体加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3963610B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007017098A (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Tokyo Electron Ltd | 流体加熱装置 |
| JP2008512635A (ja) * | 2004-09-08 | 2008-04-24 | イーピー テクノロジー エービー | 温度制御弁を有する熱交換器 |
| KR101036509B1 (ko) * | 2010-09-30 | 2011-05-24 | 정광호 | 탄소히터를 이용한 온수생성장치 |
| JP2012057904A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Tokyo Electron Ltd | 液体加熱ユニット、これを備える液処理装置、および液処理方法 |
| JP6263295B1 (ja) * | 2017-04-07 | 2018-01-17 | 株式会社セラ | 流体加熱装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10512735B2 (en) * | 2016-09-30 | 2019-12-24 | Neonatal Product Group, Inc. | Fluid warming device |
-
1999
- 1999-04-20 JP JP11212399A patent/JP3963610B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4695142B2 (ja) * | 2004-09-08 | 2011-06-08 | イーピー テクノロジー エービー | 温度制御弁を有する熱交換器 |
| JP2008512635A (ja) * | 2004-09-08 | 2008-04-24 | イーピー テクノロジー エービー | 温度制御弁を有する熱交換器 |
| KR101123994B1 (ko) * | 2005-07-08 | 2012-03-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 유체 가열 장치 |
| JP4743495B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2011-08-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 流体加熱装置 |
| JP2007017098A (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Tokyo Electron Ltd | 流体加熱装置 |
| JP2012057904A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Tokyo Electron Ltd | 液体加熱ユニット、これを備える液処理装置、および液処理方法 |
| CN102401465A (zh) * | 2010-09-13 | 2012-04-04 | 东京毅力科创株式会社 | 液体加热单元、具有该单元的液处理装置和液处理方法 |
| TWI422267B (zh) * | 2010-09-13 | 2014-01-01 | Tokyo Electron Ltd | And a liquid heating unit including the liquid processing device and the liquid treatment method |
| KR101367701B1 (ko) | 2010-09-13 | 2014-02-27 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 액체 가열 유닛, 이것을 포함하는 액처리 장치 및 액처리 방법 |
| US8670656B2 (en) | 2010-09-13 | 2014-03-11 | Tokyo Electron Limited | Liquid heating unit, liquid processing apparatus including the same, and liquid processing method |
| CN102401465B (zh) * | 2010-09-13 | 2014-09-24 | 东京毅力科创株式会社 | 液体加热单元、具有该单元的液处理装置和液处理方法 |
| KR101036509B1 (ko) * | 2010-09-30 | 2011-05-24 | 정광호 | 탄소히터를 이용한 온수생성장치 |
| JP6263295B1 (ja) * | 2017-04-07 | 2018-01-17 | 株式会社セラ | 流体加熱装置 |
| JP2018181506A (ja) * | 2017-04-07 | 2018-11-15 | 株式会社セラ | 流体加熱装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3963610B2 (ja) | 2007-08-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4835365A (en) | De-ionized fluid heater and control system | |
| US5872890A (en) | Cartridge heater system | |
| US4410791A (en) | Electric instant water heater | |
| KR100519358B1 (ko) | 온수 공급을 위한 순간 가열 장치 및 이를 구비한 냉장고 | |
| JP2005515397A (ja) | 迅速応答電気熱交換器 | |
| US5054108A (en) | Heater and method for deionized water and other liquids | |
| JP2000304353A (ja) | 液体加熱装置 | |
| JP2000028199A (ja) | 水ヒ―タ―及びヒ―ティングエレメント | |
| JPH0949660A (ja) | 流体加熱ヒーターユニット | |
| US11280078B2 (en) | Hot water system for bidet comprising flow path guide tank and hot water mode method using the same | |
| JPS6026240A (ja) | 電気瞬間湯沸器 | |
| JPH0674557A (ja) | 純水加温装置 | |
| KR20200084726A (ko) | 나선형 히팅 파이프 및 이를 포함하는 온풍기 | |
| JPH06221677A (ja) | ガス加熱装置 | |
| JPH10281583A (ja) | 流体加熱冷却装置 | |
| JPH089028B2 (ja) | 超純水加熱装置 | |
| KR20170123985A (ko) | 유도가열작동부가 구비된 순간온수장치 | |
| US2744184A (en) | Electric water heater | |
| KR200219771Y1 (ko) | 열매체유를 이용한 전기보일러 | |
| KR200366098Y1 (ko) | 급탕용 히터장치 | |
| EP1118051B1 (en) | Component heater system for use in manufacturing process | |
| JP2920184B2 (ja) | 流体加熱ヒーター | |
| KR20050002732A (ko) | 급탕용 히터조립체 | |
| JP3798138B2 (ja) | 流体流量検出装置および燃焼装置 | |
| JP2000035248A (ja) | 薬液加熱装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051220 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061214 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061225 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070126 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070517 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070522 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100601 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110601 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120601 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120601 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130601 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |