JP2012057904A - 液体加熱ユニット、これを備える液処理装置、および液処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】放射光を放射するランプヒータと、前記ランプヒータを内部空間に挿通可能な円筒形状を有し、前記放射光を透過する材料で形成される円筒部材と、前記円筒部材の外周部に沿って配置され、前記放射光によって内部を流れる液体を加熱する液体通流部と、前記液体通流部を外側から覆い、前記放射光を反射する反射板と、前記反射板の外部に取り付けられる第1の温度センサとを備える液体加熱ユニットが開示される。
【選択図】図2
Description
前記反射板の外部に取り付けられる第1の温度センサと、を備える液体加熱ユニットが提供される。
(第1の実施形態)
図1および図2を参照すると、本発明の第1の実施形態による液体加熱ユニット10は、筐体11と、筐体11の内面に取り付けられた取り付け治具12により保持されてほぼ円筒状の形状を有する反射板13(13a、13b)と、反射板13の内面側に配置され、スパイラル状に巻かれたチューブ14と、スパイラル状のチューブ14の内側に設けられる円筒管15と、円筒管15のほぼ中心の軸に沿って、筐体11の外側にまで延びるランプヒータ16とを備える。
なお、液体は、たとえばイソプロピルアルコール(IPA)、脱イオン水(DIW)などであって良い。
図3を参照しながら、第1の実施形態による液体加熱ユニット10の変形例1について説明する。図3は、変形例1の液体加熱ユニット10aを示す断面図である。図示のとおり、液体加熱ユニット10aは、液体が流れるチューブ14aが二重螺旋状に円筒管15に巻き回されている点で液体加熱ユニット10と異なり、他の構成において液体加熱ユニット10と実質的に同一である。ランプヒータ16からの反射光に対する吸収率が低い液体を用いる場合には、このように二重螺旋状に巻き回されたチューブ14aによれば、反射光を吸収しやすくなるため、効率よく液体を加熱することができる。
次に、図4を参照しながら、第1の実施形態による液体加熱ユニット10の変形例2について説明する。図4は、変形例2の液体加熱ユニット10bを示す断面図である。図示のとおり、液体加熱ユニット10bは、液体加熱ユニット10におけるチューブ14に代わり、液槽18を有している。この点を除き、液体ユニット10bは、液体加熱ユニット10と実質的に同一の構成を有している。液槽18は、円環形状を有する上面および下面によって封止された二重円筒管の形状を有し、たとえばPFAで作製されている。また、上面および下面には、それぞれ液体の流入管18iおよび流出管19oが設けられている。液体は、流入管18iから液槽18へ流入し、液槽18においてランプヒータ16により所定の温度に加熱され、流出管18oから流出する。液槽18の内側の空間には円筒管16が挿通されており、液槽18は円筒管16により内側から保持されている。
続けて、図5および図6を参照しながら、本発明の第2の実施形態による液処理装置について説明する。図5に示すとおり、本実施形態による液処理装置100は、第1の実施形態による液体加熱ユニット10と、液体加熱ユニット10のチューブ14(図1または図2参照)とともに閉じた液体流路を形成する循環ライン40と、循環ライン40の途中に設けられ、液体加熱ユニット10および循環ライン40内で液体を循環させるポンプ46と、ポンプ46よりも上流側に設けられる貯留タンク46tとを有している。また、液処理装置100には、循環ライン40から分岐した複数の供給ライン30と、複数の供給ライン30に対応して設けられ、各供給ライン30が接続される複数の液処理ユニット50と、複数の供給ライン30のそれぞれから三方バルブ38aを介して分岐する複数の戻りライン35とが設けられている。さらに、各戻りライン35には、三方バルブ38aに隣接して開閉バルブ38bが設けられている。
まず、ポンプ46を起動することにより、液体加熱ユニット10のチューブ14および循環ライン40の内部に液体を循環させる。液体加熱ユニット10のランプヒータ16へ電源22から電力が供給され、ランプヒータ16が点灯し、放射光が発せられる。この放射光は、円筒部16とチューブ14を透過し、チューブ14内を流れる液体に吸収され、これにより液体が加熱される。加熱された液体の温度は、チューブ14の流出管14o(図1または図2参照)に設けられた図示しない温度センサにより測定される。この測定結果に基づいて電源22が制御されて、液体の温度が所定の温度、すなわち、液処理ユニット50にて行われる処理に必要な温度より高い温度に維持される。この間、液処理装置100の三方バルブ38aおよび開閉バルブ38bは、循環ライン40から供給ライン30および戻りライン35を経由して循環ライン40に戻る経路(第2の経路)を形成しており、循環ライン40を流れる液体の一部は第2の経路を流れている。
Claims (14)
- 放射光を放射するランプヒータと、
前記ランプヒータを内部空間に挿通可能な円筒形状を有し、前記放射光を透過する材料で形成される円筒部材と、
前記円筒部材の外周部に沿って配置され、前記放射光によって内部を流れる液体を加熱する液体通流部と、
前記液体通流部を外側から覆い、前記放射光を反射する反射板と、
前記反射板の外部に取り付けられる第1の温度センサと
を備える液体加熱ユニット。 - 前記液体通流部が、前記円筒部材の耐熱温度よりも低い融点と、前記円筒部材の前記放射光に対する透過率よりも高い透過率を有する、請求項1に記載の液体加熱ユニット。
- 前記液体通流部が、前記円筒部材の外周部に螺旋状に巻かれる、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体で形成されるチューブである、請求項1または2に記載の液体加熱ユニット。
- 前記第1の温度センサと電気的に接続される温度調整器を更に備え、
前記温度調整器は、前記第1の温度センサにより測定される前記反射板の温度が所定の基準温度を超えたときに信号を発する、請求項1から3のいずれか一項に記載の液体加熱ユニット。 - 前記ランプヒータへ電力を供給する電力供給ラインに設けられ、前記信号を入力し、前記ランプヒータへの電力供給を遮断する遮断器を更に備える、請求項4に記載の液体加熱ユニット。
- 前記流体通流部に設けられ、前記放射光によって加熱される液体の温度を測定する第2の温度センサを更に備える、請求項1から5のいずれか一項に記載の液体加熱ユニット。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の液体加熱ユニットと、
前記液体加熱ユニットの前記液体通流部と接続される主供給ラインと、
前記主供給ラインから分岐する供給ラインと、
前記供給ラインが接続され、当該供給ラインから供給される液体により被処理体を処理する処理ユニットと
を備える液処理装置。 - 前記液体加熱ユニットにより加熱される液体の温度が、前記処理ユニットにおける処理に必要な温度範囲内にあるか否かを判断する制御部を更に備える、請求項7に記載の液処理装置。
- 請求項5に記載の液体加熱ユニットと、
前記液体加熱ユニットの前記液体通流部と接続される主供給ラインと、
前記主供給ラインから分岐する供給ラインと、
前記供給ラインが接続され、当該供給ラインから供給される液体により被処理体を処理する処理ユニットと
を備え、
前記第1の温度センサにより測定される前記反射板の温度が所定の基準温度を超え、前記遮断器により前記ランプヒータへの電力供給が遮断された場合でも、前記液体加熱ユニットにより加熱される液体の温度が、前記液処理ユニットにおける処理に必要な温度範囲内であると前記制御部により判断されたときには、前記液処理ユニットの動作が継続される、液処理装置。 - 請求項1に記載の液体加熱ユニットへ被処理体の処理に利用される液体を供給し、当該液体を所定の温度に加熱するステップと、
前記液体加熱ユニットにより所定の温度に加熱された前記液体の温度を測定するステップと、
前記液体加熱ユニットにより所定の温度に加熱された前記液体を、前記被処理体を処理する処理ユニットへ供給するステップと、
を含む液体処理方法。 - 前記第1の温度センサにより測定される前記反射板の温度が所定の基準温度を超えた場合でも、前記液体加熱ユニットにより加熱される液体の温度が、前記液処理ユニットにおける処理に必要な温度範囲内であると前記制御部により判断されたときに、前記液処理ユニットの動作を継続するステップを更に含む、請求項10に記載の液体処理方法。
- 前記液体加熱ユニットにおける前記反射板の温度が所定の基準温度よりも高い場合に、前記ランプヒータへの電力の供給を遮断するステップを更に含む、請求項10または11に記載の液体処理方法。
- 前記遮断するステップの後に、前記第1の温度センサにより前記反射板の温度を測定するステップと、
前記測定するステップにおいて測定される前記反射板の温度が前記所定の基準温度よりも低いか否かを判断するステップと、
前記判断するステップにおいて、反射板の温度が前記所定の基準温度よりも低いと判断されてときに、前記ランプヒータへの電力の供給を再開するステップと
を更に含む、請求項12に記載の液体処理方法。 - 前記遮断するステップの後に、前記第1の温度センサにより前記反射板の温度を測定するステップと、
前記反射板の温度を測定するステップにおいて測定された温度が前記基準温度以下であるか否かを判断する第1の判断ステップと、
前記第1の判断ステップにおいて、前記測定された温度が前記基準温度以下であると判断された場合に、前記液体加熱ユニットにより加熱される液体の温度が、前記液処理ユニットにおける処理に必要な温度範囲の下限よりも所定の温度だけ高い温度以下か否かを判断する第2の判断ステップと、
前記第2の判断ステップにおいて、前記液体の温度が、前記所定の温度だけ高い温度以下と判断された場合に、前記液体加熱ユニットの前記ランプヒータへの電力の供給を再開するステップを更に含む、請求項12に記載の液体処理方法。
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