CN109863024B - 脱模膜 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的为提供非有机硅系脱模膜，其能够确保层叠于脱模膜的脱模层上的被转印膜的良好的涂布性、表面平滑性，并且雾度值较低。为了实现上述目的，本发明具有以下的构成。即，脱模膜，其为在基材膜的一个面具有脱模层的脱模膜，脱模层含有非有机硅系化合物作为主成分，并且脱模层的表面粗糙度SRa(A)小于10nm，脱模膜的与具有脱模层的面相反的面的表面粗糙度SRa(B)小于10nm。

Description

脱模膜
技术领域
本发明涉及脱模膜。详细而言，涉及使用非有机硅系化合物的脱模膜。
背景技术
脱模膜是出于对陶瓷电容器、硬盘驱动器、半导体器件等精密电子设备的制造工序中使用的粘合剂层的表面进行保护的目的而使用的。
此外，脱模膜也作为制造粘合片时的承载膜使用。
此外，脱模膜作为将生坯(green sheet)、光学用树脂片材等成型时的承载膜使用。
脱模膜中通常设置有以提高剥离性为目的的脱模层。
脱模膜的脱模层中一般使用有机硅系化合物，但在与精密电子设备等相关的用途中使用有机硅系化合物时，脱模层中包含的低分子量有机硅系化合物会转移至粘合剂层而在精密电子设备中残留，有可能使精密电子设备产生故障。
基于此，已知有在脱模层中使用非有机硅系化合物的脱模膜。作为非有机硅系化合物，例如，已知长链烷基系化合物、烯烃系树脂、氟系树脂、橡胶系脱模剂。以下，有时将在脱模层中使用非有机硅系化合物的脱模膜称为“非有机硅系脱模膜”。
此外，提出了使非有机硅系脱模膜的脱模层表面的中心面平均粗糙度SRa小、并使与具有脱模层的面相反的面的中心面平均粗糙度SRa较大的方案(专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2003-300283号公报
发明内容
发明要解决的课题
从确保层叠于脱模膜的脱模层上的被转印膜(例如粘合剂层、陶瓷层、光学用树脂层等被转印膜)的良好的涂布性、表面平滑性这样的观点考虑，优选脱模层表面平滑。
然而，如专利文献1那样，在非有机硅系脱模膜中，脱模膜的与具有脱模层的面相反的面的表面粗糙度较大时(即相反面成为粗糙状态时)，有时产生下述不良情况：例如相反面的凹凸形状、突起形状转印至脱模层、或损伤脱模层，另外，转印至层叠于脱模层上的被转印膜、或损伤转印膜，等等。
此外，使脱模膜的与具有脱模层的面相反的面的表面粗糙度较大时，脱模膜的雾度值可能升高。若脱模膜的雾度值升高，则存在例如变得难以适用于光学用途这样的问题。
因此，本发明的目的在于提供非有机硅系脱模膜，其能够确保层叠于脱模膜的脱模层上的被转印膜的良好的涂布性、表面平滑性，并且雾度值较低。
用于解决课题的手段
本发明中，上述目的是通过以下的发明而实现的。
[1]脱模膜，其为在基材膜的一个面具有脱模层的脱模膜，脱模层含有非有机硅系化合物作为主成分，并且脱模层的表面粗糙度SRa(A)小于10nm，脱模膜的与具有脱模层的面相反的面的表面粗糙度SRa(B)小于10nm。
[2]如[1]所述的脱模膜，其中，基材膜的厚度小于30μm。
[3]如[1]或[2]所述的脱模膜，其中，脱模膜的雾度值小于1.5％。
[4]如[1]～[3]中任一项所述的脱模膜，其中，基材膜为3层层叠结构。
[5]如[4]所述的脱模膜，其中，基材膜为由A层/B层/A层构成的3层层叠结构。
[6]如[4]或[5]所述的脱模膜，其中，基材膜为3层层叠结构，两侧的表面层的厚度均为0.1～2.0μm。
[7]如[4]～[6]中任一项所述的脱模膜，其中，基材膜为3层层叠结构，两侧的表面层均含有平均粒径为0.2～0.7μm的粒子。
[8]如[1]～[7]中任一项所述的脱模膜，其中，上述非有机硅系化合物为长链烷基化合物。
[9]如[1]～[8]中任一项所述的脱模膜，其中，脱模层表面的剥离力为7N/50mm以下。
[10]如[1]～[9]中任一项所述的脱模膜，其中，脱模层的表面自由能在20～35mJ/m2的范围内。
[11]如[1]～[10]中任一项所述的脱模膜，其中，脱模层为至少含有长链烷基化合物及三聚氰胺化合物的热固性组合物的固化层。
[12]如[1]～[10]中任一项所述的脱模膜，其中，脱模层为至少含有长链烷基化合物的活性能量射线固化性组合物的固化层。
[13]如[12]所述的脱模膜，其中，长链烷基化合物为分子中具有烯键式不饱和基团和长链烷基的化合物。
发明的效果
根据本发明，能够提供非有机硅系脱模膜，其能够确保层叠于脱模层上的被转印膜的良好的涂布性、表面平滑性，并且雾度值较低。
具体实施方式
本发明的脱模膜在基材膜的一个面具有脱模层，所述脱模层含有非有机硅系化合物作为主成分。本发明的脱模膜优选仅在基材膜的一个面、即仅一面具有脱模层。
此处，所谓有机硅系化合物，是指一直以来作为有机硅系脱模剂通常已知的有机硅系化合物。
所谓有机硅，是指包含下述主链的聚合物，所述主链是具有有机基团(例如烷基、苯基等)的硅与氧交替地键合而成的。例如，具有二甲基聚硅氧烷作为基本骨架的有机硅系化合物广为人知。
本发明中的脱模层含有非有机硅系化合物作为主成分。所谓非有机硅系化合物，是指上述的有机硅系化合物以外的化合物。本发明的非有机硅系化合物中包括非有机硅系脱模剂、非有机硅系粘合剂树脂、非有机硅系交联剂等。
所谓脱模层含有非有机硅系化合物作为主成分，是指相对于脱模层的固态成分总量100质量％，含有50质量％以上的非有机硅系化合物。优选相对于脱模层的固态成分总量100质量％而含有60质量％以上的非有机硅系化合物，更优选含有70质量％以上，进一步优选含有80质量％以上，尤其优选含有90质量％以上。上限为100质量％。本发明中的脱模层最优选不包含有机硅系化合物。
关于脱模层中可作为非有机硅系化合物而含有的非有机硅系脱模剂，可举出氟树脂、橡胶系树脂、聚烯烃树脂、烷基化三聚氰胺甲醛树脂、长链烷基化合物等。这些之中，优选长链烷基化合物、烷基化三聚氰胺甲醛树脂、聚烯烃树脂，进一步优选长链烷基化合物、烷基化三聚氰胺甲醛树脂，从涂布性、脱模性的观点考虑，尤其优选长链烷基化合物。
作为氟树脂，例如，可举出乙烯-四氟乙烯共聚物、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物、四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物、四氟乙烯-六氟丙烯-偏二氟乙烯共聚物等。
作为橡胶系树脂，例如，可举出丁二烯系、苯乙烯丁二烯系、氯丁二烯系、丁基系、乙烯·丙烯系、丙烯酸系的橡胶。
作为聚烯烃树脂，可举出聚乙烯、聚丙烯、聚丁烯、聚己烯的均聚物、它们的共聚物。
作为烷基化三聚氰胺甲醛树脂，可举出具有碳原子数6～20的烷基的烷基化三聚氰胺甲醛树脂。这些树脂例如可通过下述方式得到：向三聚氰胺单体中添加甲醛作为助剂，生成羟甲基化三聚氰胺，向生成的羟甲基中导入碳原子数6～20的烷基。
所谓长链烷基化合物，是指具有碳原子数为8以上的直链或支链的烷基(也称为长链烷基。)的化合物，具体而言，可举出含长链烷基的聚乙烯基树脂、含长链烷基的丙烯酸树脂、含长链烷基的聚酯树脂、含长链烷基的醚化合物、含长链烷基的胺化合物等。
长链烷基的碳原子数优选为8以上，更优选为10以上，尤其优选为12以上。长链烷基的碳原子数优选为30以下，更优选为28以下，尤其优选为25以下。
长链烷基化合物中，从剥离性良好这样的观点考虑，优选含长链烷基的聚乙烯基树脂、含长链烷基的丙烯酸树脂。
含长链烷基的聚乙烯基树脂可以通过使乙烯醇聚合物(包含聚乙酸乙烯酯的部分皂化物)、乙烯-乙烯醇聚合物(包含乙烯-乙酸乙烯酯共聚物的部分皂化物)或乙烯醇-丙烯酸共聚物(包含乙酸乙烯酯-丙烯酸共聚物的部分皂化物)、与含长链烷基的异氰酸酯化合物反应来合成。在该情况下，可以通过对含长链烷基的异氰酸酯化合物的添加量进行调节，使聚合物中含有羟基。使聚合物中含有羟基，从而能够通过与后述交联剂的并用来促进脱模层的交联，结果，能够稳定地减小剥离力。
作为含长链烷基的异氰酸酯化合物，可举出具有碳原子数为8以上的烷基的单异氰酸酯化合物，具体而言，可举出辛基异氰酸酯、壬基异氰酸酯、癸基异氰酸酯、十二烷基异氰酸酯、十四烷基异氰酸酯、十六烷基异氰酸酯、十八烷基异氰酸酯等。
含长链烷基的丙烯酸树脂可举出具有长链烷基的丙烯酸系单体或甲基丙烯酸系单体，例如，丙烯酸辛酯、甲基丙烯酸辛酯、丙烯酸月桂酯、甲基丙烯酸月桂酯、丙烯酸十八烷基酯、甲基丙烯酸十八烷基酯等的均聚物或共聚物。
作为上述共聚物中使用的其他单体，例如，可举出丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、苯乙烯等。
上述的长链烷基化合物市场有售，可以使用它们。作为市售品，可举出：中京油脂公司制的Resem系列的“K-256”、“N-137”、“P-677”、“Q-472”；Ashio产业(株)公司制的AshioResin系列的“RA-80”、“RA-95H”、“RA-585S”；LION SPECIALTY CHEMICALS(株)制的Peeloil系列的“HT”、“1050”、“1010”、“1070”、“406”；日本Vam·POVAL公司制的“ZF-15”、“ZF-15H”；日本催化剂公司制的Epomin“RP-20”；等等。
关于脱模层中可作为非有机硅系化合物而含有的非有机硅系粘合剂树脂，可举出聚氨酯树脂、丙烯酸树脂、聚酯树脂、三聚氰胺树脂、醇酸树脂、环氧树脂等。这些之中，优选聚氨酯树脂及三聚氰胺树脂。
关于脱模层中可作为非有机硅系化合物含有的非有机硅系交联剂，可举出环氧系交联剂、异氰酸酯系交联剂、噁唑啉系交联剂、碳二亚胺系交联剂、三聚氰胺系交联剂等。这些之中，从减小剥离力这样的观点考虑，可优选使用三聚氰胺系交联剂。
作为环氧系交联剂，例如，可举出乙二醇二缩水甘油醚、丙三醇聚缩水甘油醚、聚丁二烯二缩水甘油醚等。
作为异氰酸酯系交联剂，例如，可举出六亚甲基二异氰酸酯、异佛尔酮二异氰酸酯、甲苯二异氰酸酯、二苯基甲烷二异氰酸酯等。
作为噁唑啉系交联剂，例如，可举出2，2’-双(2-噁唑啉)、2，2’-亚乙基-双(4，4’-二甲基-2-噁唑啉)、2，2’-对亚苯基-双(2-噁唑啉)、双(2-噁唑啉基环己烷)硫醚等具有噁唑啉基的化合物、含噁唑啉基的聚合物。
作为碳二亚胺系交联剂，可举出对亚苯基-双(2，6-二甲苯基碳二亚胺)、四亚甲基-双(叔丁基碳二亚胺)、环己烷-1，4-双(亚甲基-叔丁基碳二亚胺)等具有碳二亚胺基的化合物、作为具有碳二亚胺基的聚合物的聚碳二亚胺。
用作三聚氰胺系交联剂的三聚氰胺化合物是指：对在三嗪环的3个碳原子上分别键合有氨基的所谓三聚氰胺[1，3，5-三嗪-2，4，6-三胺]的氨基施以各种改性而得到的化合物的总称，多个三嗪环稠合而成的物质也包括在内。作为改性的种类，优选对3个氨基的氢原子中的至少一个进行羟甲基化，进一步优选为用碳原子数为1～4的低级醇将羟甲基化三聚氰胺化合物的羟甲基进行部分或完全地醚化而得到的烷基醚化三聚氰胺化合物。
作为醚化中使用的醇，例如，可举出甲醇、乙醇、丙醇、丁醇。
三聚氰胺系交联剂可以使用市售品。作为市售品，例如，可举出：DIC(株)的SUPERBECKAMINE J-820-60、SUPER BECKAMINE J-821-60、SUPER BECKAMINE J-1090-65、SUPERBECKAMINE J-110-60、SUPER BECKAMINE J-117-60、SUPER BECKAMINEJ-127-60、SUPERBECKAMINE J-166-60B、SUPER BECKAMINEJ-105-60、SUPER BECKAMINE G840、SUPERBECKAMINE G821；三井化学(株)的U-VAN 20SB、U-VAN 20SE60、U-VAN 21R、U-VAN22R、U-VAN122、U-VAN 125、U-VAN 128、U-VAN 220、U-VAN 225、U-VAN 228、U-VAN 28-60、U-VAN 2020、U-VAN 60R、U-VAN 62、U-VAN 62E、U-VAN 360、U-VAN 165、U-VAN 166-60、U-VAN 169、U-VAN2061；住友化学(株)的Sumimal M-100、Sumimal M-40S、Sumimal M-55、Sumimal M-66B；日本Cytec Industries的CYMEL 303、CYMEL 325、CYMEL 327、CYMEL 350、CYMEL 370、CYMEL235、CYMEL 202、CYMEL 238、CYMEL 254、CYMEL 272、CYMEL 1130；(株)三和化学的NIKALACMS 17、NIKALAC MX15、NIKALAC MX430、NIKALAC MX600；Harima Chemicals，Inc.的BANCEMINESM-975、BANCEMINE SM-960；日立化成(株)的Melan 265、Melan 2650L等。
脱模层优选含有用于促进脱模层的固化的酸催化剂。作为酸催化剂，可举出硫酸、盐酸、硝酸、磷酸、对甲苯磺酸等。这些之中，可优选使用对甲苯磺酸。
作为脱模层的优选方式之一，可举出至少含有长链烷基化合物和交联剂的热固性组合物的固化层。长链烷基化合物及交联剂可以使用前述的化合物。热固性组合物优选进一步含有上述的酸催化剂。
就热固性组合物中的长链烷基化合物的含量而言，从减小脱模层表面的剥离力这样的观点考虑，相对于热固性组合物的固态成分总量100质量％，优选为30质量％以上，更优选为50质量％以上，尤其优选为70质量％以上。另一方面，若长链烷基化合物的含量过多，则存在脱模层的强度(硬度)降低、耐溶剂性、耐热性降低的情况，因此，长链烷基化合物的含量优选为98质量％以下，更优选为95质量％以下，尤其优选为90质量％以下。
就热固性组合物中的交联剂的含量而言，从减小剥离力这样的观点考虑，相对于热固性组合物的固态成分总量100质量％，优选为3质量％以上，更优选为5质量％以上，尤其优选为10质量％以上。另一方面，交联剂的含量过多时，脱模层表面的剥离力升高，因此交联剂的含量优选为50质量％以下，更优选为30质量％以下，尤其优选为20质量％以下。
作为热固性组合物中含有的交联剂，优选如上所述的三聚氰胺系交联剂。热固性组合物含有长链烷基化合物和三聚氰胺系交联剂的情况下，从减小脱模层的剥离力这样的观点考虑，三聚氰胺系交联剂以外的交联剂、例如异氰酸酯系交联剂的含量优选少于三聚氰胺系交联剂的含量。具体而言，三聚氰胺系交联剂以外的交联剂的含量相对于三聚氰胺系交联剂100质量份而言优选为90质量份以下，更优选为70质量份以下，尤其优选为50质量份以下。
就热固性组合物含有酸催化剂时的酸催化剂的含量而言，从减小剥离力这样的观点考虑，相对于热固性组合物的固态成分总量100质量％，优选在0.1～10质量％的范围内，更优选为0.3～5质量％以上，尤其优选在0.5～3质量％的范围内。
使热固性组合物固化时的条件(加热温度、时间)没有特别限定，加热温度优选为70℃以上，更优选为100℃以上，尤其优选为150℃以上。此外，加热温度优选为300℃以下。加热时间优选在3～300秒的范围内，更优选在5～200秒的范围内。
此外，作为脱模层的其他优选方式，可举出至少含有长链烷基化合物的活性能量射线固化性组合物的固化层。
活性能量射线固化性组合物含有通过活性能量射线而聚合、固化的化合物(以下，称为活性能量射线固化性化合物)。作为该活性能量射线固化性化合物，可举出分子中具有烯键式不饱和基团的化合物(单体、低聚物)。此处，作为烯键式不饱和基团，可举出丙烯酰基、甲基丙烯酰基、丙烯酰氧基、甲基丙烯酰氧基、烯丙基、乙烯基等。
活性能量射线固化性组合物中含有的长链烷基化合物可以是活性能量射线固化性化合物，也可以不是，但优选是活性能量射线固化性化合物。即，活性能量射线固化性组合物中含有的长链烷基化合物优选为分子中包含烯键式不饱和基团和长链烷基的化合物(以下，有时也称为“活性能量射线固化性长链烷基化合物(α)”)。此外，有时将不是活性能量射线固化性化合物的长链烷基化合物称为非固化性长链烷基化合物。
活性能量射线固化性组合物中含有的长链烷基化合物为非固化性长链烷基化合物的情况下，可以使用前述的长链烷基化合物。该情况下的活性能量射线固化性组合物必须含有分子中不具有长链烷基(碳原子数为8以上的烷基)的活性能量射线固化性化合物(以下，有时称为“其他活性能量射线固化性化合物(β)”)。关于其他活性能量射线固化性化合物(β)，详细如后文所述。
活性能量射线固化性组合物中，可以将活性能量射线固化性长链烷基化合物(α)、与非固化性长链烷基化合物或其他活性能量射线固化性化合物(β)并用。尤其优选的是，活性能量射线固化性组合物中，将活性能量射线固化性长链烷基化合物(α)与其他活性能量射线固化性化合物(β)并用。
以下，对活性能量射线固化性组合物含有活性能量射线固化性长链烷基化合物(α)的方式详细地进行说明。
需要说明的是，以下的说明中，所谓“(甲基)丙烯酸……酯”，是指“丙烯酸……酯”与“甲基丙烯酸……酯”的总称。
活性能量射线固化性长链烷基化合物(α)为分子中包含烯键式不饱和基团和长链烷基的化合物。长链烷基的碳原子数优选为8以上，更优选为10以上，尤其优选为12以上。长链烷基的碳原子数优选为30以下，更优选为28以下，尤其优选为25以下。
作为活性能量射线固化性长链烷基化合物(α)，例如，可举出(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸十五烷基酯、(甲基)丙烯酸十六烷基酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、(甲基)丙烯酸十九烷基酯、(甲基)丙烯酸二十烷基酯等。
尤其优选使用以下所示的活性能量射线固化性长链烷基化合物(α)。作为该化合物，例如，可举出使分子中分别具有一个以上的(甲基)丙烯酰基和羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物(a)、分子中具有两个以上的异氰酸酯基的多异氰酸酯化合物(b)、和碳原子数为8～30的高级醇(c)反应而得到的化合物。
作为上述(甲基)丙烯酸酯化合物(a)，例如，可举出(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、丙三醇单(甲基)丙烯酸酯、丙三醇二(甲基)丙烯酸酯、甲基丙烯酸2-羟基-3-丙烯酰氧基丙基酯、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基-2-羟基乙基邻苯二甲酸、2-甲基丙烯酰氧基乙基-2-羟基丙基邻苯二甲酸酯、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基-酸式磷酸酯、环氧(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇单丙烯酸酯、季戊四醇二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇单丙烯酸酯、二季戊四醇二丙烯酸酯、二季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、分子中具有2～30个的亚烷基氧基(例如，亚乙基氧基、亚丙基氧基、亚丁基氧基等)的(甲基)丙烯酸酯等。
上述化合物中，从使剥离力较小、并且提高耐热性这样的观点考虑，可优选使用(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、分子中具有2～30个的亚烷基氧基的(甲基)丙烯酸酯。
作为多异氰酸酯化合物(b)，例如，可举出六亚甲基二异氰酸酯、赖氨酸二异氰酸酯、萘二异氰酸酯、二苯基甲烷二异氰酸酯、联甲苯胺二异氰酸酯、甲苯二异氰酸酯、氢化甲苯二异氰酸酯、氢化二苯基甲烷二异氰酸酯、六亚甲基二异氰酸酯、异佛尔酮二异氰酸酯、苯二甲撑二异氰酸酯、氢化苯二甲撑二异氰酸酯等二异氰酸酯化合物、以及使这些各种二异氰酸酯化合物与水反应而得到的缩二脲型多异氰酸酯化合物、或者使各种二异氰酸酯化合物与三羟甲基丙烷等多元醇反应而得到的加成型多异氰酸酯化合物、或者使各种化合物进行异氰脲酸酯化而得到的多聚体等已知惯用的物质。
上述多异氰酸酯化合物中，优选分子量为50～500的化合物，更优选分子量为100～400的化合物，尤其优选分子量为130～300的化合物。例如，示例六亚甲基二异氰酸酯(分子量168)、二苯基甲烷二异氰酸酯(分子量250)作为优选的化合物。
作为高级醇(c)，例如，作为直链状高级醇，可举出辛醇、癸醇、月桂醇、十四烷醇、鲸蜡醇、十八醇十六醇混合物、硬脂醇、山嵛醇等，作为直链状不饱和高级醇，可举出油醇等，作为支链型高级醇，可举出2-己基癸醇、2-辛基十二烷基醇、2-癸基十四烷醇等。
作为高级醇(c)，可以使用市售品。例如，作为直链状饱和高级醇，可举出CONOL10WS、CONOL 1098、CONOL 1275、CONOL 20F、CONOL 20P、CONOL 1495、CONOL 1670、CONOL1695、CONOL 30CK、CONOL 30OC、CONOL 30RC、CONOL 30F、CONOL 30S、CONOL 30SS、CONOL30T、CONOL 2265、CONOL 2280(新日本理化株式会社制的商品名)、KALCOL 0898、KALCOL0880、KALCOL 1098、KALCOL 2098、KALCOL 4098、KALCOL 6098、KALCOL 8098、KALCOL200GD、KALCOL 2475、KALCOL 2474、KALCOL 2473、KALCOL 2463、KALCOL 2455、KALCOL2450、KALCOL 4250、KALCOL 6870、KALCOL 6850、KALCOL 8688、KALCOL 8665、KALCOL 220-80(花王(株)的商品名)，作为直链状不饱和高级醇，可举出RIKACOL 60B、RIKACOL 70B、RIKACOL 75BJ、RIKACOL 85BJ、RIKACOL 90B、RIKACOL 90BR、RIKACOL 90BHR、RIKACOL110BJ、UNJECOL 50A、UNJECOL 60AN、UNJECOL 70AN、UNJECOL 80AN、UNJECOL 85AN、UNJECOL90AN、UNJECOL 90NR、UNJECOL 90NHR(新日本理化(株)商品名)，作为支链型高级醇，可举出NJCOL 160BR、NJCOL 200A、NJCOL 240A(新日本理化(株)的商品名)等。
作为活性能量射线固化性组合物中可含有的其他活性能量射线固化性化合物(β)，例如，可举出(甲基)丙烯酸甲酯、乙基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、乙氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三乙二醇(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、双三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、双三羟甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、丙三醇丙氧基三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇单(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇单(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯六亚甲基二异氰酸酯氨基甲酸酯预低聚物、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯-甲苯二异氰酸酯氨基甲酸酯低聚物、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯-异佛尔酮二异氰酸酯氨基甲酸酯低聚物等。
上述化合物中，优选分子中具有2～7个烯键式不饱和基团的化合物，尤其优选分子中具有3～6个烯键式不饱和基团的化合物。
就活性能量射线固化性组合物中的长链烷基化合物(活性能量射线固化性长链烷基化合物(α)及非固化性长链烷基化合物的总量)的含量而言，从减小脱模层的剥离力这样的观点考虑，相对于活性能量射线固化性组合物的固态成分总量100质量％，优选为1质量％以上，更优选为5质量％以上，尤其优选为7质量％以上。另一方面，长链烷基化合物的含量过多时，存在脱模层的强度(硬度)降低、耐溶剂性、耐热性降低的情况，因此长链烷基化合物的含量优选为70质量％以下，更优选为50质量％以下，尤其优选为30质量％以下。
就活性能量射线固化性组合物中的其他活性能量射线固化性化合物(β)的含量而言，从提高脱模层的强度(硬度)、使耐溶剂性、耐热性提高这样的观点考虑，相对于活性能量射线固化性组合物的固态成分总量100质量％，优选为10质量％以上，更优选为20质量％以上，尤其优选为30质量％以上。另一方面，其他活性能量射线固化性化合物(β)的含量过多时，存在脱模层表面的剥离力升高的情况，因此其他活性能量射线固化性化合物(β)的含量优选为90质量％以下，更优选为80质量％以下，尤其优选为70质量％以下。
活性能量射线固化性组合物优选还含有光聚合引发剂。作为该光聚合引发剂的具体例，例如可以使用苯乙酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、对二甲基苯乙酮、对二甲基氨基苯丙酮、二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、4，4’-二氯二苯甲酮、4，4’-双二乙基氨基二苯甲酮、米蚩酮、苯偶酰、苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻异丙基醚、苯甲酰甲酸甲酯、对异丙基-α-羟基异丁基苯酮、α-羟基异丁基苯酮、2，2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、1-羟基环己基苯基酮等羰基化合物、一硫化四甲基秋兰姆、二硫化四甲基秋兰姆、噻吨酮、2-氯噻吨酮、2-甲基噻吨酮等硫化合物等。这些光聚合引发剂可以单独使用，也可以组合两种以上而使用。
此外，光聚合引发剂通常市面有售，可以使用它们。例如，可举出Ciba SpecialtyChemicals(株)制的Irgacure 184、Irgacure 907、Irgacure 379、Irgacure 819、Irgacure127、Irgacure 500、Irgacure 754、Irgacure 250、Irgacure 1800、Irgacure 1870、Irgacure OXE01、DAROCURTPO、DAROCUR 1173等、日本SiberHegner(株)制的SpeedcureMBB、Speedcure PBZ、Speedcure ITX、Speedcure CTX、Speedcure EDB、Esacure ONE、Esacure KIP150、Esacure KTO46等、日本化药(株)制的KAYACURE DETX-S、KAYACURE CTX、KAYACURE BMS、KAYACURE DMBI等。
上述光聚合引发剂的含量相对于活性能量射线固化性组合物的固态成分总量100质量％在0.1～10质量％的范围内是适当的，优选在0.5～8质量％的范围内。
作为用于使活性能量射线固化性组合物固化的活性能量射线，可举出紫外线、可见光线、红外线、电子束、β线、γ线等。这些活性能量射线中，优选紫外线及电子束，尤其优选使用紫外线。
作为用于照射紫外线的光源，没有特别限定，例如，可以使用紫外线荧光灯、低压汞灯、中压汞灯、高压汞灯、超高压汞灯、碳弧灯、金属卤化物灯、氙灯等。此外，也可以使用ArF准分子激光、KrF准分子激光、准分子灯或同步加速器放射光等。这些之中，优选使用超高压汞灯、高压汞灯、低压汞灯、碳弧、氙弧、金属卤化物灯。此外，照射紫外线时，若在低氧浓度下的气氛下、例如氧浓度为500ppm以下的气氛下进行照射，则能够效率良好地固化，因此优选。
紫外线的照射光量优选为50mJ/cm2以上，更优选为100mJ/cm2以上，尤其优选为150mJ/cm2以上。此外，紫外线的照射光量优选为2000mJ/cm2以下，更优选为1000mJ/cm2以下。
脱模层的厚度优选在10～1000nm的范围内，更优选在20～600nm的范围内，进一步优选在20～300nm的范围内，尤其优选在50～250nm的范围内。
从确保层叠于脱模膜的脱模层上的被转印膜的良好的涂布性这样的观点以及减小剥离力这样的观点考虑，脱模层的表面自由能优选在20～35mJ/m2的范围内，更优选在21～32mJ/m2的范围内，尤其优选在22～30mJ/m2的范围内。脱模层的表面自由能小于20mJ/m2时，存在被转印膜的涂布性变差的情况，另一方面，大于35mJ/m2时，存在剥离力升高的情况。
此处，表面自由能可以使用接触角计、例如协和界面科学(株)的“Drop MasterDM501”进行测定。详细如后文所述。
为了将脱模层的表面自由能调节在20～35mJ/m2的范围内，作为脱模层中含有的脱模剂，优选使用非有机硅系脱模剂，尤其优选使用长链烷基化合物。
就本发明的脱模膜而言，在基材膜的一个面具有脱模层，并且脱模层的表面粗糙度SRa(A)小于10nm。
此处，表面粗糙度SRa可以使用光干涉型显微镜、例如(株)Ryoka Systems制的“VertScan”进行测定。详细如后文所述。
脱模层的表面粗糙度SRa(A)为10nm以上时，产生下述不良情况：层叠于脱模层上的被转印膜(例如粘合剂层、陶瓷层、含有金属粒子的树脂层、光学用树脂层等被转印膜)的涂布性变差；或者被转印膜的平滑性降低；等等。此外，脱模层的表面粗糙度SRa(A)为10nm以上时，存在脱模膜的雾度值升高的倾向。
从上述观点考虑，脱模层的表面粗糙度SRa(A)进一步优选小于8nm，更优选小于7nm，尤其优选小于6nm。下限的表面粗糙度SRa(A)为0.1nm左右。
将脱模层的表面粗糙度SRa(A)控制为小于10nm的方法没有特别限定，例如，可举出：
(i)使脱模层不含有粒子(填料)；
(ii)在脱模层中含有粒子(填料)的情况下，调节粒径、含量；
(iii)使基材膜的层叠有脱模层的面(A)平滑；
等等。
上述的控制方法中，优选(i)及(iii)，尤其优选将(i)与(iii)组合。(iii)的详细内容在后文叙述。
此外，就本发明的脱模膜而言，重要的是，该脱模膜的与设置有脱模层的面相反的面(以下，有时称为“脱模膜的相反面”，或者简称为“相反面”)的表面粗糙度SRa(B)小于10nm。
脱模膜的相反面的表面粗糙度SRa(B)为10nm以上时，即相反面的表面状态为粗糙化倾向时，有时产生下述不良情况：相反面的粗糙状态(例如微细凹凸形状、微细突起形状)转印至脱模层或层叠于脱模层上的被转印膜而使平滑性降低；或者产生损伤；等等。此外，脱模膜的相反面的表面粗糙度SRa(B)为10nm以上时，存在脱模膜的雾度值升高的倾向。
本发明的脱模膜优选以辊对辊方式连续地生产，此外，在脱模膜的脱模层上层叠被转印膜的工序也优选以辊对辊方式连续地进行。但是，在这样的生产方式中，脱模层或被转印膜与相反面强烈地接触而受到相反面的表面状态的影响，因此优选相反面的表面平滑。即，脱模膜的相反面的表面粗糙度SRa(B)小于10nm是重要的。
从上述观点考虑，脱模膜的相反面的表面粗糙度SRa(B)进一步优选小于8nm，尤其优选小于7nm。此外，表面粗糙度SRa(B)优选为0.5nm以上，更优选为1.0nm以上，尤其优选为2.0nm以上。
本发明的脱模膜的相反面可以由基材膜自身构成，也可以由设置于基材膜上的涂布膜构成。
脱模膜的相反面由涂布膜构成时的涂布膜优选为平滑的树脂膜。此外，涂布膜可以具有防静电性、低聚物阻挡等功能。
更优选本发明的脱模膜的相反面由基材膜自身构成。即，更优选在脱模膜的相反面不具有涂布膜。即，就脱模膜的相反面而言，优选基材膜表面露出。
在脱模膜的相反面设置涂布膜时，有时产生涂布膜的成分转移至脱模层或被转印膜等不良情况。此外，原因还在于，有时由于设置涂布膜而导致生产率降低、成本上升。
本发明的脱模膜的雾度值优选小于1.5％。这样的低雾度的脱模膜例如适合于隔着脱模膜进行被转印膜的光学检查这样的光学用途。
脱模膜的雾度值进一步优选小于1.3％，更优选小于1.0％，尤其优选小于0.8％。下限的雾度值没有特别限定，为0.1％左右。
上述这样的低雾度的脱模膜可以通过下述手段实现：使用雾度值低的基材膜；或者使脱模层中不含有粒子；等等。关于雾度值低的基材膜，详细如后文所述。
本发明的脱模膜中使用的基材膜没有特别限定，作为构成基材膜的材料，例如，可以使用聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯树脂、聚丙烯、聚乙烯等聚烯烃树脂、二乙酰纤维素、三乙酰纤维素等纤维素树脂、聚砜树脂、聚醚醚酮树脂、聚醚砜树脂、聚苯硫醚树脂、聚醚酰亚胺树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂、丙烯酸树脂、环状烯烃树脂、聚碳酸酯树脂等各种树脂。
基材膜的厚度优选小于30μm，更优选小于25μm，尤其优选小于20μm。此外，基材膜的厚度优选为5μm以上，尤其优选为10μm以上。
通过使基材膜为较薄的膜，从而脱模膜的弯曲刚性变小，将脱模膜从被转印膜剥离时的剥离力相对减小，因此优选。
此外，通过使基材膜为薄膜，每单位长度的质量相对减小，因此能够使1个卷绕卷的最大长度进行长条化。通过使卷绕卷长条化，以辊对辊方式连续地生产脱模膜时、或者以辊对辊方式连续地将被转印膜层叠于脱模膜上式，可实现生产率提高。
另一方面，使基材膜为较薄的膜、并使1个卷绕卷的最大长度长条化时，会在卷绕卷的下卷部施加强的压力，因此，脱模膜的脱模层、层叠于脱模层上的被转印膜强烈地受到脱模膜的相反面的影响，但通过使脱模膜的相反面的表面粗糙度SRa(B)小于10nm，上述影响力减轻。
即，就本发明的脱模膜而言，使基材膜为较薄的膜、并使1个卷绕卷的最大长度长条化时，在实现生产率提高的方面是有益的。从上述观点考虑，1个卷绕卷的最大长度例如优选为3,000m以上，更优选为5,000m以上，尤其优选为10,000m以上。上限为30,000m左右。此外，卷绕卷的宽度方向长度没有特别限定，300～3,000mm左右是适当的，优选在500～2,000mm的范围内，尤其优选在700～1,700mm的范围内。
本发明中使用的基材膜优选为聚酯膜，尤其优选为经双轴拉伸的聚酯膜。上述聚酯膜中，优选聚对苯二甲酸乙二醇酯膜。
此处，所谓聚酯，优选至少70摩尔％以上为通过由以芳香族二羧酸和二醇作为主要构成成分的单体的聚合而得到的聚酯。
作为芳香族二羧酸，例如，优选对苯二甲酸、2，6-萘二甲酸等，尤其优选对苯二甲酸。这些酸成分可以仅使用一种，也可以并用两种以上，还可以共聚有一部分的间苯二甲酸等其他芳香族二羧酸、或脂肪酸。
此外，作为二醇成分，例如，可举出乙二醇、1，2-丙二醇、1，3-丙二醇、新戊二醇等。其中可优选使用乙二醇。这些二醇成分可以仅使用一种，也可以并用两种以上。
作为聚酯，优选可举出聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、及其共聚物、聚对苯二甲酸丁二醇酯及其共聚物、聚萘二甲酸丁二醇酯及其共聚物、以及聚对苯二甲酸己二醇酯及其共聚物、聚萘二甲酸己二醇酯及其共聚物等，尤其优选聚对苯二甲酸乙二醇酯。
聚酯可以使用以往已知的方法制造。例如，可以采用下述方法：使酸成分与二醇成分直接进行酯化反应，然后在减压下对该反应的生成物进行加热，一边除去剩余的二醇成分一边使其缩聚，由此进行制造的方法；使用二烷基酯作为酸成分，在其与二醇成分之间进行酯交换反应，然后与上述同样地进行缩聚，由此进行制造的方法；等等。此时，根据需要，也可以使用以往已知的碱金属、碱土金属、锰、钴、锌、锑、锗、钛化合物等作为反应催化剂。
本发明的脱模膜中，从将脱模层的表面粗糙度SRa(A)控制为小于10nm这样的观点考虑，基材膜的设置有脱模层的面的表面粗糙度SRa(1)优选小于10nm，更优选小于8nm，尤其优选小于7nm。此外，表面粗糙度SRa(1)优选为0.5nm以上，更优选为1nm以上，尤其优选为2nm以上。
此外，从将脱模膜的相反面的SRa(B)控制为小于10nm这样的观点考虑，基材膜的与设置有脱模层的面相反的面的SRa(2)优选小于10nm，更优选小于8nm，尤其优选小于7nm。此外，表面粗糙度SRa(1)优选为0.5nm以上，更优选为1nm以上，进一步优选为2nm以上，尤其优选为3nm以上。
此处，在脱模膜的相反面由基材膜自身构成的情况下，即在脱模膜的相反面未设置涂布膜的情况下，基材膜的相反面的表面粗糙度SRa(2)成为脱模膜的相反面的表面粗糙度SRa(B)。
如前文所述，本发明的脱模膜的雾度值优选小于1.5％，为了实现该目的，优选基材膜的雾度值小于1.5％。通过使用这样的雾度值低的基材膜，从而能够将脱模膜的雾度值抑制在低的水平。进一步优选基材膜的雾度值小于1.3％，更优选小于1.0％，尤其优选小于0.8％。下限的雾度值没有特别限定，为0.1％左右。
为了得到上述这样的、表面粗糙度SRa较小且低雾度的基材膜，优选抑制由基材膜中含有的粒子等所带来的对光线透过的阻碍、并抑制基材膜的表面粗糙度。为实现此目的，减小基材膜中含有的粒子的平均粒径、减少含量是有效的。另一方面，基材膜表面过于平滑化时，存在搬送性、卷绕性等加工性降低的情况，因此优选在维持加工性的同时抑制雾度值的上升。
从上述观点考虑，基材膜优选为3层层叠结构。并且，优选3层层叠结构的两侧的表面层均含有平均粒径为0.2～0.7μm的粒子。上述粒子的平均粒径进一步优选在0.2～0.6μm的范围内。上述粒子的平均粒径超过0.7μm时，基材膜的表面粗糙度SRa变大，存在脱模膜的表面粗糙度SRa(A)及SRa(B)成为10nm以上的情况。此外，存在雾度值也成为1.5％以上的情况。另一方面，上述粒子的平均粒径小于0.2μm时，存在搬送性、卷绕性等加工性降低的情况。
各表面层中的上述粒子的含量相对于各表面层的固态成分总量100质量％，优选在0.01～0.10质量％的范围内，更优选在0.02～0.08质量％的范围内。
此处，3层层叠结构优选为由A层/B层/A层或者A层/B层/C层组成的3层层叠结构。表面层即A层及C层中含有的粒子种类、平均粒径、含量可以相同，也可以不同。
A层/B层/A层的构成中，两侧的两个A层的厚度可以相同，也可以不同，优选相同，由此，可实现生产设备的简单化、生产率提高。
采用上述的3层层叠结构时，优选B层中实质上不含有粒子而在表面层(A层或C层)中含有粒子。此外，优选基材膜为3层层叠结构、且两侧的表面层(A层或C层)的厚度均为0.1～2.0μm，更优选为0.2～1.0μm，尤其优选为0.4～0.8μm。B层的厚度可根据基材膜的总厚度进行适当设定。
作为表面层(A层或C层)中含有的粒子，可以使用无机粒子、有机粒子。例如，可举出氧化硅、碳酸钙、氧化铝、硅酸铝、云母、粘土、滑石、硫酸钡等无机粒子、聚酰亚胺系树脂、烯烃或改性烯烃系树脂、交联聚苯乙烯系树脂、有机硅树脂等有机粒子。
上述粒子中，优选粒子形状接近球状、并且与聚酯的折射率之差较小的粒子，例如，可优选使用胶体二氧化硅、有机硅粒子、交联聚苯乙烯粒子等。其中，通过乳液聚合制备的、乙烯基苯/苯乙烯共聚交联粒子的粒子形状接近正球，粒径分布均匀，因此可尤其优选使用。
此外，优选在3层层叠结构的表面层(A层或C层)中，与上述粒子一同含有聚集氧化铝。此处，聚集氧化铝为数个至数百个一次粒子聚集而成的物质。形成聚集氧化铝的氧化铝的平均一次粒径优选在5～30nm的范围内，更优选在8～15nm的范围内。聚集氧化铝的平均二次粒径优选在0.01～0.20μm的范围内，更优选在0.02～0.15μm的范围内。
作为聚集氧化铝，可以采用通过以无水氯化铝作为原料并利用火焰水解法、或者通过醇铝的水解等而制造的物质。作为它们的晶型，已知δ型、θ型、γ型等，可尤其优选使用δ型氧化铝。关于这些聚集氧化铝，在聚酯树脂的情况下，通过在聚酯聚合时添加而供于使用，例如，以乙二醇(其为聚酯聚合时的原料的一部分)的浆料的形式，进行砂磨机等的粉碎、分散，并进行精密过滤，由此可得到平均二次粒径为0.01～0.20μm的聚集氧化铝。
在将通过这样的方式得到的聚集氧化铝添加于基材膜中的情况下，通过双轴拉伸而沿面方向配置，不形成实质的突起，对表面粗糙度的影响小，此外，由于透光性良好，因此能够抑制雾度值的上升。
此外，通过使表面层(A层或C层)中含有聚集氧化铝，基材膜表面的本底增强(日文：地肌補強)效果增大，耐磨损性提高。
各表面层(A层或C层)中的聚集氧化铝的含量相对于各表面层的固态成分总量100质量％，优选在0.1～1.0质量％的范围内，更优选在0.2～0.9质量％的范围内，尤其优选在0.6～0.8质量％的范围内。
接着，对作为基材膜尤其合适的双轴拉伸聚对苯二甲酸乙二醇酯膜的制造方法进行说明。
作为使聚酯含有粒子的方法，例如将粒子以规定比例以浆料的形式分散于作为二醇成分的乙二醇中，进行能够捕集95％以上的例如3μm以上的粗大粒子的高精度过滤后，在聚酯聚合完成前的任意阶段添加该乙二醇浆料。此处，添加粒子时，例如，若在不使合成时得到的水溶胶、醇溶胶暂时干燥的情况下添加粒子，则粒子的分散性良好，能够抑制粗大突起的产生，因此优选。另外，将粒子的水浆料直接与规定的聚酯粒料混合、并供给于排气式双螺杆混炼挤出机、从而捏合入聚酯中的方法也是有效的。
将通过这样的方式准备的含粒子的母粒料与实质上不含粒子等的粒料以规定的比例混合并干燥，然后供给于已知的熔融层叠用挤出机，使用过滤器对聚合物进行过滤。
接下来，从狭缝状的缝模呈片状挤出，在流延辊上使其冷却固化，制造未拉伸膜。即，使用1至3台的挤出机、1至3层的多歧管或合流块(例如具有矩形合流部的合流块)，根据需要进行层叠，将片材从喷嘴挤出，并使用流延辊进行冷却，制造未拉伸膜。在该情况下，从背压的稳定化及抑制厚度变动的观点考虑，在聚合物流路上设置静态混合器、齿轮泵的方法是有效的。
拉伸方法可以为同时双轴拉伸，也可以为逐次双轴拉伸。
逐次拉伸的情况下，最初的长度方向上的拉伸是重要的，拉伸温度为90～130℃，优选为105～120℃。拉伸温度低于90℃时，膜容易断裂，拉伸温度高于130℃时，膜表面容易受到热损伤，因此不优选。此外，从防止拉伸不均、及刮伤的观点考虑，拉伸优选分成两个阶段以上进行，关于总倍率，在长度方向上为3～4.5倍、优选为3.2～4.2倍，在宽度方向上为3.2～5.0倍、优选为3.9～4.5倍。为了实现作为目标的膜的断裂强度，可以选择合适的倍率，为了提高宽度方向的断裂强度，进一步优选将宽度方向的拉伸倍率设定为高于长度方向。不在上述温度、倍率范围时，会引起拉伸不均或膜断裂等问题，难以得到本发明的基材膜，因此不优选。再次纵向或横向拉伸后，于200～230℃、优选于210～230℃进行热固定0.5～20秒、优选1～15秒。特别是热固定温度低于200℃时，由于不会进行膜的结晶化，因此结构不稳定，无法获得作为目标的热收缩率等特性，不优选。然后，优选在长度及/或宽度方向上实施0.5～7.0％的松弛处理。
拉伸过程中，无法避免膜与辊的接触，尽可能抑制辊的周速与膜的速度差，并且作为拉伸辊，优选容易控制表面的粗糙度等的非粘合性的有机硅辊。也可以像现有技术这样使用陶瓷、Teflon(注册商标)以及金属辊，但存在仅膜表面被局部地加热而产生粘合、于膜表面产生损伤的情况，不优选。
本发明的脱模膜可通过在基材膜的一个面层叠脱模层而制造。脱模层通过下述方式形成：利用湿式涂覆法，将在溶剂中溶解或分散上述的脱模剂、粘合剂树脂、交联剂等而得到的涂布液涂布于基材膜上，使其干燥，并根据需要进行固化。
作为湿式涂覆法，例如，可举出逆式涂布法、喷涂法、棒涂法、凹版涂布法、棒涂法、模涂法、旋涂法、挤出涂布法、幕涂法等。
就本发明的脱模膜而言，从获得层叠于脱模层上的被转印膜的良好的剥离性这样的观点考虑，优选脱模层表面的剥离力较小，具体而言，优选为7N/50mm以下，更优选为5N/50mm以下，尤其优选为2N/50mm以下。剥离力过小时，存在被转印膜的涂布性降低、或者被转印膜在本来的剥离工序以外发生剥离的情况，因此剥离力优选为0.05N/50mm以上，更优选为0.10N/50mm以上，尤其优选为0.20N/50mm以上。
此处，脱模层表面的剥离力是与粘合胶带的剥离力。即，是在脱模膜的脱模层表面贴合粘合胶带、并将粘合胶带侧剥离成180°时的剥离力。该剥离力在后述的实施例中作为剥离力(1)进行评价。测定方法的详细内容在后文叙述。
如前文所述，优选构成本发明的脱模膜的基材膜的厚度较小。具体而言，优选小于30μm，更优选小于25μm，尤其优选小于20μm。由此，通过使基材膜为较薄的膜，脱模膜的弯曲刚性变小，将脱模膜从被转印膜剥离时的剥离力相对减小，因此优选。这一情况可以通过在脱模膜的脱模层表面贴合粘合胶带、并将脱模膜侧剥离成180°来进行确认。该剥离力在后述的实施例中作为剥离力(2)进行评价。测定方法的详细内容在后文叙述。
实施例
以下，利用实施例对本发明进行详细说明，但本发明并不限定于这些实施例。
[测定方法及评价方法]
(1)表面粗糙度SRa的测定
脱模膜或基材膜的表面粗糙度SRa使用光干涉型显微镜((株)Ryoka Systems公司制，VertScan2.0，型式：R5300 GL-Lite-AC)、在观察模式＝Wave模式、面校正＝4次、滤波器(filter)＝530nmWhite、物镜＝50倍、测定区域＝252.69×189.53μm的条件下进行表面形态观察而求出。关于测定，每一个水平进行10次，根据其平均值求出。
(2)脱模膜及基材膜的雾度值的测定
基于JIS K 7136(2000)，使用日本电色工业(株)制的浊度计“NDH-4000”，测定脱模膜的雾度值。测定时，以光入射脱模膜的脱模层表面的方式配置。
此外，基材膜的雾度值也基于JIS K 7136(2000)、使用日本电色工业(株)制的浊度计“NDH-4000”而测定。
(3)剥离力(1)的测定
使用自重为5kg的橡胶辊，在将丙烯酸系粘合胶带(日东电工(株)制的“No.31B”)的粘合面按压于脱模膜的脱模层表面的同时往返一次，使其贴合，于室温(23±2℃)放置24小时，然后用拉伸试验机，以300mm/min的速度，测定将粘合胶带侧剥离成180°时的剥离力。
(4)剥离力(2)的测定
针对基材膜的厚度不同的实施例1、14、比较例2、3，与上述的剥离力(1)的测定同样地操作，测定剥离力。但是，测定时，将脱模膜侧剥离成180°。
(5)各层的厚度
使用微采样系统(日立制FB-2000A)，利用FIB法(具体而言，基于“高分子表面加工学”(岩森晓著)p.118～119中所述的方法)制作脱模膜的截面观察用样品。使用透射电子显微镜(日立制H-9000UHRII)，使加速电压为300kV，对截面观察用样品的截面进行观察，测定基材膜及脱模层的厚度。
(6)基材膜中含有的粒子的平均粒径的测定
用电子显微镜(约2万～5万倍)对基材膜的截面进行观察，对从其截面照片中随机选择的30个的粒子各自的最大长度进行测量，将对它们进行算术平均而得到的值作为粒子的平均粒径。
(7)被转印膜的涂布性的评价
在距离实施例及比较例中制作的脱模膜(宽度为1000mm、卷长度为3000m的卷状脱模膜)的最下卷为100m的部位进行取样，准备3张20cm×30cm的片材样品。
在这些片材样品的脱模层上，各自以干燥膜厚成为2μm的方式用绕线棒涂布下述的被覆转印膜用涂布液(陶瓷浆料)并进行干燥，形成被转印膜。
<被转印膜用涂布液>
向钛酸钡(富士钛工业(株)的“HPBT-1”)100质量份、聚乙烯醇缩丁醛(积水化学(株)的“BL-1”)7质量份、邻苯二甲酸二丁酯2质量份、甲苯/甲基乙基酮(质量比1∶1)40质量份中加入玻璃珠，用喷射磨机混合·分散20小时，然后进行过滤，制备糊状的陶瓷浆料。
<被转印膜的涂布性评价>
将上述方式制作的样品的中央部切成尺寸15cm×20cm，作为评价样品。从评价样品的相反面照射1000勒克司的光，作为涂布性评价，对针孔的产生状况进行观察。对3张评价样品的针孔进行合计，按照以下的基准进行评价。
A：没有针孔的产生。
B：观察到1～2个针孔。
C：观察到3个以上的针孔。
(8)脱模层的表面自由能的测定
作为表面自由能及其各成分(色散力、极性力、氢键力)的值已知的三种液体，使用水、二碘甲烷、1-溴萘，在23℃、65％RH下，使用接触角计DropMasterDM501(协和界面科学(株)制)，测定各液体在脱模层上的接触角。针对一个测定面进行5次测定，将其平均值作为接触角(θ)。根据该接触角(θ)的值及各液体的已知值(基于Panzer的方法IV(记载于日本粘接协会志第15卷，第3号，第96页))的数值，使用由北崎·畑的式导入的下述式，计算各成分的值。
(γSd·γLd)1/2+(γSp·γLp)1/2+(γSh·γLh)1/2＝γL(1+cosθ)/2
此处，γLd、γLp、γLh分别表示测定液的色散力、极性力、氢键力各成分，θ表示测定液在测定面上的接触角，此外，γSd、γSp、γSh分别表示层叠膜表面的色散力、极性力、氢键力各成分的值，γL表示各液体的表面能。对将已知的值及θ代入上述式而得到联立方程式进行求解，由此求出测定面(脱模层表面)的三个成分的值。
如下述式所示，将求出的色散力成分的值、极性力成分的值与氢键力成分的值之和作为表面自由能(E)的值。
E＝γSd+γSp+γSh
[基材膜的制作]
制作宽度为1000mm、卷长度为3000m的卷状聚酯膜1～5。
<作为聚酯膜的原料的聚酯粒料a～e的制备>
(聚酯粒料a的制备)
在对苯二甲酸二甲酯(DMT)中加入相对于DMT 1摩尔而言为1.9摩尔的乙二醇、相对于DMT 100质量份而言为0.05质量份的乙酸镁·四水合物、和0.015质量份的磷酸，进行加热酯交换，得到酯交换反应产物a。接着，加入相对于DMT 100质量份而言为0.025质量份的三氧化二锑，进行加热升温，于真空下进行缩聚反应，得到特性粘度为0.62的聚酯粒料a。
(聚酯粒料b的制备)
使用砂磨机，对包含10质量％的6型-氧化铝作为聚集氧化铝的乙二醇进行粉碎、分散处理，进一步用捕集效率为95％的3μm过滤器进行过滤，得到乙二醇浆料。将其添加至与上述同样地制备的酯交换反应产物a中，接着加入三氧化二锑，进行缩聚反应，得到含有2质量％的聚集氧化铝的、特性粘度为0.62的聚酯粒料b。
(聚酯粒料c的制备)
在与上述同样地制备的聚酯粒料a中，加入平均粒径为0.45μm的乙烯基苯/苯乙烯共聚交联粒子的水浆料，使用排气式双螺杆混炼机，得到含有1质量％的上述交联粒子的聚酯粒料c。
(聚酯粒料d的制备)
在与上述同样地制备的聚酯粒料a中，加入平均粒径为0.20μm的乙烯基苯/苯乙烯共聚交联粒子的水浆料，使用排气式双螺杆混炼机，得到含有1质量％的上述交联粒子的聚酯粒料d。
(聚酯粒料e的制备)
在与上述同样地制备的聚酯粒料a中，加入平均粒径为0.80μm的乙烯基苯/苯乙烯共聚交联粒子的水浆料，使用排气式双螺杆混炼机，得到含有1质量％的上述交联粒子的聚酯粒料e。
<制造例1：聚酯膜1的制作>
按以下要点，制作由3层层叠结构(A层/B层/A层)构成的聚酯膜。
·A层：将聚酯粒料a、聚酯粒料b及聚酯粒料c混合作为原料，制备含有0.7质量％的聚集氧化铝、0.03质量％的二乙烯基苯/苯乙烯共聚交联粒子的聚酯A。
·B层：使用聚酯粒料a作为原料来制备聚酯B。
将上述中制备的聚酯A及B各自于160℃减压干燥8小时，然后供给至各自的挤出机，于275℃熔融挤出，用5μm的过滤器进行高精度过滤，然后利用矩形的3层用合流块进行合流层叠，制成由聚酯A/聚酯B/聚酯A构成的3层层叠。然后，介由保持于285℃的缝模，在冷却辊上采用静电施加流延法缠绕在表面温度为25℃的流延鼓上，进行冷却固化，得到未拉伸层叠膜。使用逐次双轴拉伸机，针对该未拉伸层叠膜，于110℃分别在长度方向上拉伸3.7倍、在宽度方向上拉伸4.1倍(以总倍率计为15.2倍)，然后再次于180℃在宽度方向上拉伸1.05倍，在恒定长度下，于220℃热处理3秒。然后在长度方向上施加1％的松弛处理，在宽度方向上施加2％的松弛处理，得到总厚度为16μm的双轴拉伸聚酯膜(聚酯膜1)。
该聚酯膜1的两面的聚酯A层的厚度各自为0.6μm，B层的厚度为14.8μm。此外，聚酯膜1的表面粗糙度SRa(1)及SRa(2)各自为6nm，雾度值为0.4％。
<制造例2：聚酯膜2的制作>
在聚酯膜1的制作中，两面的聚酯A层的厚度各自变更为0.6μm，B层的厚度变更为36.8μm，除此以外，与聚酯膜1同样地操作，制作总厚度为38μm的聚酯膜2。
该聚酯膜2的表面粗糙度SRa(1)及SRa(2)各自为6nm，雾度值为0.5％。
<制造例3；聚酯膜3的制作>
除了在聚酯膜1的制作中将聚酯粒料c变更为聚酯粒料d以外，与聚酯膜1同样地操作，制作聚酯膜3。
该聚酯膜3的总厚度为16μm，两面的聚酯A层的厚度各自为0.6μm，B层的厚度为14.8μm。该聚酯膜3的表面粗糙度SRa(1)及SRa(2)各自为4nm，雾度值为0.3％。
<制造例4：聚酯膜4的制作>
按以下要点，制作由3层层叠结构(A层/B层/C层)构成的聚酯膜。
·A层：作为A层的原料，将聚酯粒料a、聚酯粒料b及聚酯粒料c混合，制备含有0.7质量％的聚集氧化铝、0.03质量％的二乙烯基苯/苯乙烯共聚交联粒子的聚酯A。
·B层：作为B层的原料，使用聚酯粒料a，制备聚酯B。
·C层：作为C层的原料，将聚酯粒料a、聚酯粒料b及聚酯粒料e混合，制备含有0.7质量％的聚集氧化铝、0.13质量％的二乙烯基苯/苯乙烯共聚交联粒子的聚酯C。
将上述中制备的聚酯A、B及C各自于160℃减压干燥8小时，然后，供给于各自的挤出机，于275℃熔融挤出，用5μm的过滤器进行高精度过滤，然后用矩形的3层用合流块进行合流层叠，制成由聚酯A/聚酯B/聚酯C构成的3层层叠。然后，介由保持于285℃的缝模，在冷却辊上采用静电施加流延法缠绕在表面温度25℃的流延鼓上，进行冷却固化，得到未拉伸层叠膜。使用逐次双轴拉伸机，针对该未拉伸层叠膜，于110℃分别在长度方向上拉伸3.7倍、在宽度方向拉伸4.1倍(以总倍率计为15.2倍)，然后再次于180℃在宽度方向上拉伸1.05倍，在恒定长度下，于220℃热处理3秒。然后在长度方向上施加1％的松弛处理，在宽度方向上施加2％的松弛处理，得到总厚度为16μm的双轴拉伸聚酯膜(聚酯膜4)。
该聚酯膜4的两面的聚酯A层及C层的厚度各自为0.6μm，B层的厚度为14.8μm。此外，聚酯膜4的A层的表面粗糙度SRa(1)为6nm，C层的表面粗糙度SRa(2)为15nm，雾度值为1.5％。
<聚酯膜5>
使用东丽(株)的聚酯膜(“lumirror(注册商标)”R80)。该聚酯膜的总厚度为38μm，表面粗糙度SRa(1)为7nm，表面粗糙度SRa(2)为25nm，雾度值为9.0％。
<聚酯膜6>
使用东丽(株)的聚酯膜(“lumirror(注册商标)”R75X)。该聚酯膜的总厚度为38μm，表面粗糙度SRa(1)及SRa(2)各自为25nm，雾度值为5.0％。
[实施例1]
用凹版涂布机，在聚酯膜1的一个面(表面粗糙度SRa(1)的面)上涂布下述的脱模层涂布液p1(热固性组合物)，于100℃预干燥，然后于160℃加热干燥，形成脱模层，制作脱模膜。脱模层的厚度为100nm。
<脱模层涂布液p1>
·脱模剂：以固态成分换算计10质量份的长链烷基化合物(LION SPECIALTYCHEMICALS(株)的“Peeloil”1050)
·交联剂：以固态成分换算计2.5质量份的三聚氰胺系交联剂(三井化学(株)的“U-VAN”28-60)
·酸催化剂：以固态成分换算计1.3质量份的对甲苯磺酸(TAYCA(株)的“TAYCACURE”AC-700)
·溶剂：甲苯400质量份，甲基乙基酮130质量份
[实施例2]
除了变更为下述的脱模层涂布液p2(热固性组合物)以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
<脱模层涂布液p2>
·脱模剂：以固态成分换算计10质量份的长链烷基化合物(LION SPECIALTYCHEMICALS(株)的“Peeloil”1050)
·交联剂：以固态成分换算计2.5质量份的三聚氰胺系交联剂(住友化学(株)的“Sumimal”M66-B)
·酸催化剂：以固态成分换算计1.3质量份的对甲苯磺酸(TAYCA(株)的“TAYCACURE”AC-700)
·溶剂：甲苯400质量份，甲基乙基酮130质量份
[实施例3]
除了变更为下述的脱模层涂布液p3(热固性组合物)以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
<脱模层涂布液p3>
·脱模剂：以固态成分换算计10质量份的长链烷基化合物(LION SPECIALTYCHEMICALS(株)的“Peeloil”1050)
·交联剂：以固态成分换算计2.5质量份的三聚氰胺系交联剂(DIC(株)的商品名“SUPER BECKAMINE G”821)
·酸催化剂：以固态成分换算计1.3质量份的对甲苯磺酸(TAYCA(株)的“TAYCACURE”AC-700)
·溶剂：甲苯400质量份，甲基乙基酮130质量份
[实施例4]
除了变更为下述的脱模层涂布液p4(热固性组合物)以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
<脱模层涂布液p4>
·脱模剂：以固态成分换算计10质量份的长链烷基化合物(LION SPECIALTYCHEMICALS(株)的“Peeloil”HT)
·交联剂：以固态成分换算计2.5质量份的三聚氰胺系交联剂(三井化学(株)的“U-VAN”28-60)
·酸催化剂：以固态成分换算计1.8质量份的对甲苯磺酸(TAYCA(株)的“TAYCACURE”AC-700)
·溶剂：甲苯400质量份，甲基乙基酮130质量份
[实施例5]
除了变更为下述的脱模层涂布液p5(热固性组合物)以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
<脱模层涂布液p5>
·脱模剂：以固态成分换算计10质量份的长链烷基化合物(LION SPECIALTYCHEMICALS(株)的“Peeloil”HT)
·交联剂：以固态成分换算计2.5质量份的三聚氰胺系交联剂(住友化学(株)的“Sumimal”M66-B)
·酸催化剂：以固态成分换算计1.8质量份的对甲苯磺酸(TAYCA(株)的“TAYCACURE”AC-700)
·溶剂：甲苯400质量份，甲基乙基酮130质量份
[实施例6]
除了变更为下述的脱模层涂布液p6(热固性组合物)以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
<脱模层涂布液p6>
·脱模剂：以固态成分换算计10质量份的长链烷基化合物(LION SPECIALTYCHEMICALS(株)的“Peeloil”HT)
·交联剂：以固态成分换算计2.5质量份的三聚氰胺系交联剂(DIC(株)的商品名“SUPER BECKAMINE G”821)
·酸催化剂：以固态成分换算计1.8质量份的对甲苯磺酸(TAYCA(株)的“TAYCACURE”AC-700)
·溶剂：甲苯400质量份，甲基乙基酮130质量份
[实施例7]
除了变更为下述的脱模层涂布液p7(热固性组合物)以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
<脱模层涂布液p7>
用甲苯将以固态成分换算计10质量份的长链烷基化合物(Ashio产业(株)的“Ashio Resin”RA-80)、以固态成分换算计2.5质量份的三聚氰胺系交联剂(三井化学(株)的“U-VAN”28-60)溶解，制备固态成分浓度为2.0质量％的涂布液。
[实施例8]
除了变更为下述的脱模层涂布液p8(热固性组合物)以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
<脱模层涂布液p8>
用甲苯将以固态成分换算计10质量份的长链烷基化合物(Ashio产业(株)的“Ashio Resin”RA-80)、以固态成分换算计2.5质量份的三聚氰胺系交联剂(住友化学(株)的“Sumimal”M66-B)溶解，制备固态成分浓度为2.0质量％的涂布液。
[实施例9]
除了变更为下述的脱模层涂布液p9(热固性组合物)以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
<脱模层涂布液p9>
用甲苯将以固态成分换算计10质量份的长链烷基化合物(Ashio产业(株)的“Ashio Resin”RA-80)、以固态成分换算计2.5质量份的三聚氰胺系交联剂(DIC(株)的商品名“SUPER BECKAMINEG”821)溶解，制备固态成分浓度为2.0质量％的涂布液。
[实施例10]
除了变更为下述的脱模层涂布液p10(热固性组合物)以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
<脱模层涂布液p10>
用甲苯将长链烷基化合物(Ashio产业(株)的“Ashio Resin”RA-95H)溶解，制备固态成分浓度为2.0质量％的涂布液。
[实施例11]
除了变更为下述的脱模层涂布液p11(热固性组合物)以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
<脱模层涂布液p11>
在具备搅拌机、氮气导入管、冷凝管、橡胶隔膜的四颈瓶中，加入甲基丙烯酸十八烷基酯70质量份、丙烯酸丁酯25质量份、丙烯酸5质量份及甲苯150质量份，对体系内进行氮置换。在氮气流下，向其中加入2，2-偶氮二异丁腈0.4质量份，于60℃加热，进行24小时聚合反应，得到丙烯酸系聚合物的粘稠溶液。该丙烯酸系聚合物包含甲基丙烯酸十八烷基酯与丙烯酸丁酯与丙烯酸的无规共聚物，在侧链具有十八烷基作为长链烷基，并且具有羧基作为官能团，数均分子量为9.6万。
相对于由该丙烯酸系聚合物形成的粘稠溶液100质量份，配合甲苯二异氰酸酯的三羟甲基丙烷衍生物2质量份作为交联剂、和二月桂酸二丁基锡0.1质量份作为催化剂，良好地混合，制备涂布液。
[实施例12]
除了变更为下述的脱模层涂布液p12(热固性组合物)以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
<脱模层涂布液p12>
用甲苯400质量份和甲基乙基酮130质量份将10质量份的下述长链烷基化合物溶解而制备。
<长链烷基化合物的合成>
在四颈瓶中加入二甲苯200质量份、十八烷基异氰酸酯600质量份，在搅拌下进行加热。从二甲苯开始回流的时间点起，以10分钟的间隔，经约2小时每次少量地添加聚乙烯醇(平均聚合度为500，皂化度为88摩尔％)100质量份。
在添加聚乙烯醇结束后，进一步进行2小时回流，结束反应。将反应混合物冷却至约80℃，然后加入至甲醇中，结果反应生成物以白色沉淀的形式析出，因此，将该沉淀过滤，加入二甲苯140质量份，进行加热而使其完全溶解，然后再次加入甲醇而使其沉淀，重复数次这样的操作，然后用甲醇洗涤沉淀，进行干燥粉碎而得到。
[实施例13]
除了变更为下述的脱模层涂布液p13(热固性组合物)以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
<脱模层涂布液p13>
将以固态成分换算计10质量份的烷基化三聚氰胺甲醛树脂(三羽研究所制，商品名“RP-30”；1分子中具有5～6个直链辛基的三聚氰胺与甲醛的加成缩合物、即直链辛基化三聚氰胺甲醛树脂)溶解于甲苯/甲基乙基酮混合溶液(混合质量比3∶1)中，然后，添加以固态成分换算计0.3质量份的对甲苯磺酸(TAYCA(株)的“TAYCACURE”AC-700)，制备固态成分浓度为3质量％的涂布液溶液。
[实施例14]
除了在实施例1中将聚酯膜1变更为聚酯膜2以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
[实施例15]
除了在实施例1中将聚酯膜1变更为聚酯膜3以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
[实施例16]
用凹版涂布机，在聚酯膜1的一个面(表面粗糙度SRa(1)的面)上涂布下述的脱模层涂布液p14(活性能量射线固化性组合物)，于100℃进行干燥，然后照射300mJ/cm2的紫外线，使其固化，形成脱模层，制作脱模膜。脱模层的厚度为200nm。
<脱模层涂布液p14>
添加下述合成的活性能量射线固化性长链烷基化合物25质量份、作为其他活性能量射线固化性化合物的二季戊四醇六丙烯酸酯(DAICEL-CYTEC(株)的商品名“DPHA”)75质量份、光聚合引发剂(Ciba Specialty Chemicals(株)制Irgacure184)10质量份，并升温至100℃，然后混合1小时，得到活性能量射线固化性组合物。用甲苯与异丙醇的混合溶剂(甲苯∶IPA＝3∶1(质量比))使该组合物成为4质量％的固态成分浓度，制备涂布液。
<活性能量射线固化性长链烷基化合物的合成>
向配有搅拌机及温度计的烧瓶中，加入作为具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物(a)的丙烯酸2-羟基乙酯(日本催化剂(株)的“BHEA”100质量份、作为多异氰酸酯化合物(b)的二苯基甲烷二异氰酸酯(Nippon Polyurethane(株)的“Millionate MT”)240质量份、作为高级醇(c)的硬脂醇(新日本理化(株)的“CONOL 30SS”)26质量份，升温至100℃，保温反应7小时，IR测定的结果确认了异氰酸酯基消失，结束反应。
[实施例17]
除了变更为下述的脱模层涂布液p15(活性能量射线固化性组合物)以外，与实施例16同样地操作，制作脱模膜。
<脱模层涂布液p15>
加入下述合成的活性能量射线固化性长链烷基化合物15质量份、作为其他活性能量射线固化性化合物的二季戊四醇六丙烯酸酯(DAICEL-CYTEC(株)的商品名“DPHA”)85质量份、光聚合引发剂(Ciba Specialty Chemicals(株)制Irgacure184)10质量份，并升温至100℃，然后混合1小时，得到活性能量射线固化性组合物。用甲苯与异丙醇的混合溶剂(甲苯∶IPA＝3∶1(质量比))使该组合物成为4质量％的固态成分浓度，制备涂布液。
<活性能量射线固化性长链烷基化合物>
向配有搅拌机及温度计的烧瓶中，加入作为具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物(a)的丙烯酸2-羟基乙酯(日本催化剂(株)的“BHEA”100质量份、作为多异氰酸酯化合物(b)的六亚甲基二异氰酸酯(日本聚氨酯(株)的商品名“HDI”)86质量份、作为高级醇(c)的硬脂醇(新日本理化(株)的“CONOL 30SS”)46质量份，升温至100℃，保温反应7小时，IR测定的结果确认了异氰酸酯基消失，结束反应。
[比较例1]
除了在实施例1中将聚酯膜1变更为聚酯膜4以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
[比较例2]
除了在实施例1中将聚酯膜1变更为聚酯膜5以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
[比较例3]
除了在实施例1中将聚酯膜1变更为聚酯膜6以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
[比较例4]
除了变更为下述的脱模层涂布液p16(热固性组合物)以外，与实施例1同样地操作，制作脱模膜。
<脱模层涂布液p16>
将作为加成反应型的固化性有机硅树脂的KS847H(信越化学工业(株)制)40质量份、作为固化剂的PL-50T(信越化学工业(株)制)0.4质量份混合于甲苯500质量份、正庚烷500质量份中。
[评价]
关于由上述制作的实施例及比较例的脱模膜，按照上述的测定方法及评价方法进行评价。将其结果示于表1。
[表1]
Figure BDA0002037647950000371

Claims (9)

1.脱模膜，其为在基材膜的一个面具有脱模层的脱模膜，脱模层含有非有机硅系化合物作为主成分，
所述非有机硅系化合物为长链烷基化合物，长链烷基化合物为分子中具有烯键式不饱和基团和长链烷基的化合物，
脱模层为至少含有长链烷基化合物及三聚氰胺化合物的热固性组合物的固化层、或者至少含有长链烷基化合物的活性能量射线固化性组合物的固化层，
并且脱模层的表面粗糙度SRa(A)小于8nm，脱模膜的与具有脱模层的面相反的面的表面粗糙度SRa(B)小于10nm，并且，脱模层的表面自由能在20～35mJ/m2的范围内。
2.如权利要求1所述的脱模膜，其中，基材膜的厚度小于30μm。
3.如权利要求1所述的脱模膜，其中，脱模膜的雾度值小于1.5％。
4.如权利要求1～3中任一项所述的脱模膜，其中，基材膜为3层层叠结构。
5.如权利要求4所述的脱模膜，其中，基材膜为由A层/B层/A层构成的3层层叠结构。
6.如权利要求4所述的脱模膜，其中，基材膜为3层层叠结构，两侧的表面层的厚度均为0.1～2.0μm。
7.如权利要求4所述的脱模膜，其中，基材膜为3层层叠结构，两侧的表面层均含有平均粒径为0.2～0.7μm的粒子。
8.如权利要求1所述的脱模膜，其中，脱模层表面的剥离力为7N/50mm以下。
9.如权利要求1所述的脱模膜，其中，脱模层的表面自由能在21～32mJ/m2的范围内。
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