CN103376059A - 光学检测装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及光学检测装置，将由易变形的材料形成的检测片以精密地固定的状态进行视觉检测，从而能够提高检测速度，实现更加稳定、准确的检测，包括：检测载物台，其在上表面沿着边缘形成向下方凹入的放置槽，贯通上述放置槽和下表面而形成流路，并且由光透过性材质形成，供上述检测片装载；固定框架，其支撑上述检测载物台的侧面或者下表面；多孔陶瓷材质的吸附面板，其插入到上述检测载物台的放置槽而被固定；真空组件，其向上述流路施加真空压来吸附上述吸附面板上的检测片；背光单元，其从上述检测载物台的下方，向检测载物台上的检测片照射光；拍摄单元，其配置于上述检测载物台的上方，获得装载于上述检测载物台上的检测片的图像。

Description

光学检测装置
技术领域
本发明涉及光学检测装置，更详细地涉及在获得由易弯曲的材质形成的检测片的影像的过程中，通过将检测片的变形最小、维持平滑度来能够进行更加迅速、准确的检测的光学检测装置。
背景技术
一般来讲，各种显示装置正处在逐渐向大型化发展的趋势，相比之下，产品的厚度却逐渐变薄。如同上述的显示装置通常通过利用光学摄像头的视觉检测（Vision Inspection）来检测不良与否。
为了执行如同上述的视觉检测，就必须设置移送检测对象物的移送单元、及为进行检测而固定检测对象物的固定单元。
尤其，在对薄膜材料即具有软性的膜、形成有孔的基板等的表面检测中，固定单元的平滑度被提为非常重要的事项。作为在进行检测的过程中确保检测片的平滑度的固定单元，以往有过在两层的透明玻璃基板之间配置检测片、或者在外围加工孔并向上述孔施加真空吸附力来吸附固定检测片的方法。
真空吸盘装置是通过吸收基板和吸盘装置之间的空气形成负压（negative pressure）来真空吸附基板的技术。因该装置用强负压致密地吸附基板整个面，所以对易弯曲的基板也能够抑制弯曲地进行吸附。但是，在上述的情况下，存在因检测片的歪曲或翘起现象导致无法确保平面度，产生无法检测的区域的问题。
发明内容
本发明用于解决上述的现有技术中的问题，其目的在于，提供将由易变形的材料形成的检测片以精密地固定的维持平面的状态进行视觉检测，由此能够提高检测速度，实现更加稳定、准确的检测的光学检测装置。
用于解决上述问题的根据本发明的一实施例的光学检测装置，包括：检测载物台，其在上表面沿着边缘形成向下方凹入的放置槽，贯通上述放置槽和下表面而形成流路，并且由光透过性材质构成，供上述检测片装载；固定框架，其支撑上述检测载物台的侧面或者下表面；多孔陶瓷材质的吸附面板，其插入到上述检测载物台的放置槽而被固定；真空组件，其向上述流路施加真空压来吸附上述吸附面板上的检测片；背光单元，其从上述检测载物台的下方，向检测载物台上的检测片照射光；以及拍摄单元，其配置于上述检测载物台的上方，获得装载于上述检测载物台上的检测片的图像。
根据本发明的优选实施例，上述真空组件包括：真空软管，其一端与上述检测载物台的流路相连接；以及真空泵，其与上述真空软管的另一端连接来施加真空压。
根据本发明的优选实施例，形成于上述检测载物台的放置槽的深度、和插入于上述放置槽的吸附面板的厚度形成为相同，使上述检测载物台和吸附面板的上表面平滑地连接成同一平面。
根据本发明的优选实施例，上述放置槽在上述检测载物台的上表面的边角处形成台阶来进行固定。
根据本发明的优选实施例，上述陶瓷面板的放置槽包括：边缘部，该边缘部沿着上述检测载物台的边缘形成；以及横截部，该横截部横穿中心部而成，以连通上述边缘部。
根据本发明的优选实施例，上述吸附面板形成有回避区间，真空压力不传递到该回避区间以使吸附力不施加到所装载的检测片。
根据本发明的光学检测装置，将由易变形的材料形成的检测片的边缘面用微细且均匀的吸附力精密地固定的状态来进行视觉检测，从而具有能够提高检测速度、实现更加准确的检测的效果。
并且，将施加到检测片的物理冲击最小化、可增加吸附力，因而具有可防止检测片损伤及变形，能够使检测进行得更加稳定的效果。
附图说明
图1是根据本发明的一实施例的光学检测装置的立体图。
图2是根据本发明的一实施例的光学检测装置的使用状态图。
图3是根据本发明的再一实施例的光学检测装置的俯视图。
图4是根据本发明的一实施例的光学检测装置的剖视图。
图5是根据本发明的另一实施例的光学检测装置的剖视图。
附图标记
100：检测载物台
101：边缘部
102：横截部
110：放置槽
120：流路
200：固定框架
300：吸附面板
310：回避区间
400：真空组件
410：真空软管
420：真空泵
500：背光单元
600：拍摄单元
700：主体
具体实施方式
以下，参照附图对本发明进行详细说明。在这里，对相同的结构使用相同的附图标记，并省略重复的说明、对有可能不必要地使本发明的要旨不明确的公知功能及结构的详细说明。本发明的实施形态是为了向本发明所属技术领域的普通技术人员更完整地说明本发明而提供的。因此，为了更加明确地说明，可对附图中的要素的形状以及大小等进行夸大说明。
图1是根据本发明的一实施例的光学检测装置的立体图，图2是根据本发明的一实施例的光学检测装置的使用状态图。
根据本发明的一实施例的光学检测装置，通过真空吸附来固定由易弯曲的材料形成的检测片10，并且用于进行视觉检测，包括：检测载物台100，其在上表面沿着边缘形成向下方凹入的放置槽110，贯通上述放置槽110和下表面而形成有流路120，并且由光透过性材质构成，装载上述检测片10；固定框架200，其支撑上述检测载物台100的侧面或者下表面；吸附面板300，其插入到上述检测载物台100的放置槽110而被固定，该吸附面板300为多孔陶瓷材质；真空组件400，其向上述流路120施加真空压来吸附上述吸附面板300上的检测片10；背光单元500，其从上述检测载物台100的下方，向检测载物台100上的检测片10照射光；拍摄单元600，其配置于上述检测载物台100的上方，获得装载于上述检测载物台100的检测片10的图像。
本发明中所指的检测片10可相当于薄片、形成有孔的基板、纸、布、薄板、薄膜等公知的多种板形材料。
上述检测载物台100由光透过性材质形成，在上表面沿着边缘形成向下方凹入的放置槽110，贯通上述放置槽110和下表面形成多个流路120，并且在上表面放置用于检测的上述检测片10。
检测载物台100应由如玻璃、丙烯酸等透明材料构成，以能够使配置于上述检测载物台100的下方的背光单元500的光透过。并且，优选地，上述检测载物台100的形状包括正方形、长方形、圆形等，与要进行检测的检测片10的形状相对应。作为一例，当检测片10为正方形形状时，上述检测载物台100同样以正方形形状形成。虽然原则上在一个检测载物台100上检测一个检测片10，但为了提高检测速度，可在一个检测载物台100装载多个检测片10来进行检测。在后者的情况下，上述检测载物台100的大小或形状应形成得留有富余，以能够装载多个检测片10。
另一方面，在上述检测载物台100的上表面的边缘形成有向下方凹入的放置槽110，并且贯通上述放置槽110和下表面而形成流路120。上述放置槽110为用于放置下面将要说明的吸附面板300的空间，流路120起到用于向上述吸附面板300施加真空压的通路的作用。上述放置槽110和流路120的宽度相互不同，优选地，流路120的宽度比放置槽110的宽度窄，可连接成阶梯形，以在流路120和放置槽110之间形成台阶部。作为一例，上述放置槽110可沿着正方形检测载物台100的边缘形成正方形形态，虽然可以形成使所有放置槽110连接成一个而在内部形成封闭空间的结构，但也可以形成多个放置槽110按照每个区间封闭各放置槽110之间的结构。
固定框架200起到支撑上述检测载物台100的侧面或者下面、来将上述检测载物台100连接至主体700的作用。固定框架200可以形成夹具（jig）之类的结构，可在台形态的主体700固定上述检测载物台100。作为参考，在上述主体700的中心部可形成供上述检测载物台100插入的空间。
吸附面板300由多孔陶瓷材料形成，插入上述检测载物台100的放置槽110而被固定。上述吸附面板300可形成为与放置槽110的形状相对应，而被插入到放置槽110。作为一例，上述放置槽110为长方形形状，上述吸附面板300同样为长方形形状。因此，吸附面板300在上述检测载物台100的上表面沿着边缘向外部露出，检测片10可通过上述露出的吸附面板300而被固定。在上述吸附面板300以多孔陶瓷材料形成的情况下，通过向形成于陶瓷的微细的空隙吸入空气来在吸附面板300的上表面产生吸附力，可通过上述吸附力来固定检测片10。
根据本发明的优选实施例，形成于上述检测载物台100的放置槽110的深度D、和插入到上述放置槽110中的吸附面板300的厚度T形成为相同，使上述检测载物台100和吸附面板300的上表面平滑地连接成平面。
即，上述吸附面板300和检测载物台100未连接成平面的情况下，可能发生搭载于其上表面的检测片10的形状变形或者吸附力降低等的问题。因此，将吸附面板300和检测载物台100连接成平面，以避免产生如上所述的问题。
真空组件400起到向上述流路120施加真空压来吸附上述吸附面板300上的检测片10的功能。当上述真空组件400与流路120连接而施加真空压力，插入在上述放置槽110中的吸附面板300就会产生吸附力。
根据本发明的优选实施例，上述真空组件400可包括：真空软管410，其一端与上述检测载物台100的流路120相连接；真空开闭阀和真空泵420，其与上述真空软管410的另一端相连接，并施加真空压。因此，启动上述真空泵420，流路120和放置槽110中的空气就通过上述真空软管410流出，并产生真空压力，由此在吸附面板300产生吸附力。
背光单元500配置于上述检测载物台100的下方，起到向上述检测载物台100上的检测片10照射光的光源的作用。
因此，从上述背光单元500照射的光，通过检测载物台100，透过装载于检测载物台100上表面的检测片10输入到拍摄单元600，由此可检测检测片10是否不良。作为一例，可检测上述检测片10上开设有多个孔或膜上形成的图案部的形状以及上述孔是否正确开设于准确的位置或该形状的图像是否不良。
拍摄单元600配置于上述检测载物台100的上方，用于获得装载于上述检测载物台100的检测片10的图像，其包括照相机。通过从上述拍摄单元600获得的图像来执行图像分析，并可判别不良与否。
图3是根据本发明的再一实施例的光学检测装置的俯视图，图4是根据本发明的一实施例的光学检测装置的剖视图。
根据本发明的优选实施例，上述放置槽110在上述检测载物台100的上表面边角处形成台阶。
在如上所述的情况下，吸附面板300的一侧面被检测载物台100的放置槽110所支撑，但是另一侧面被固定框架200或者主体700所支撑。如上所述，在放置槽110形成于边角的情况下，由于能够最大限度地利用检测载物台100的面积，因而具有可固定多种大小的检测片10来进行检测的效果。
图5是根据本发明的另一实施例的光学检测装置的剖视图。
根据本发明的优选实施例，上述放置槽110包括：边缘部101，该边缘部101沿着上述检测载物台100的边缘形成；横截部102，该横截部102横穿中心部而成，以连通上述边缘部101。
作为一例，上述放置槽110可由边缘部101和横截部102构成，其中，边缘部101沿着检测台100的边缘形成，呈正方形；横截部102将上述正方形边缘部101的相对的面连接起来，呈将边缘部101的内部空间划分为4个空间的“十”字形形状。在上述情况下，在边缘部101和横截部102的各放置槽110中，都形成有与下表面贯通的流路120，放置槽110中插入吸附面板300，并与真空组件400相连接，由此能够产生吸附力。
因此，可以在一个检测台100上固定多个检测片10并执行检测，即使是一个检测片10，在不需要检测的区域形成于中心部的情况下，由于能够固定中心部，因而能够更稳定地固定检测片10。
根据本发明的优选实施例，上述吸附面板300形成有回避区间，该回避区间没有真空压力的传递，使吸附力不会施加到所裁载的检测片10。
上述回避区间为不受真空压的影响的区域，不产生吸附力。上述回避区间可通过对吸附面板300的空隙进行封闭的特殊处理或者在吸附面板300的上表面粘贴胶带等的方法来形成，并且也可以是不形成放置槽110由此也不形成吸附面板300的区间。如上所述的回避区间是为了应对由于在检测片10的、进行固定的边缘面形成微细孔而不能吸入的情况而具备的。因此，对小型或者连大型薄板，也可按照大小来使用，对从数微米到数毫米厚度的薄片产品也可通过真空吸附来维持平面度，可避开薄片形产品的外围的孔或标志来制作而使用。
并且，根据产品，对中央有非检测区域的情况下，也可采用在中间部粘贴陶瓷片或者连接成分离型的方法，适用于符合表面色度光学检测的黑色或者白色等多种颜色，具有可在陶瓷粒子的小粒子缝隙中，没有因槽造成的产品的损伤或者因光反射造成的折射地，维持微米程度以内的均匀的平面度的效果。
如上所述，本发明的光学检测装置，通过将由易变形的材料形成的检测片10的边缘面用微细且均匀的吸附力精密地固定的状态进行视觉检测，从而具有能够提高检测速度、并形成更加准确的检测的优点。
并且，将施加到检测片10的物理冲击最小化、可增加吸附固定力，因而具有可防止检测片10损伤及变形，能够使检测进行得更加稳定的优点。
以上说明仅仅是例示性地说明了本发明的技术思想，在本发明所属技术领域的普通技术人员可在不脱离本发明的本质特征的范围内进行各种修改、变更及置换。因此，在本发明中公开的实施例及附图是用于说明本发明，而不是限定本发明的技术思想，本发明的技术思想的范围并不被限定于这种实施例及附图。本发明的保护范围应通过权利要求范围来解释，在与其同等的范围内的所有技术思想应解释为均包括在本发明的权利要求范围内。

Claims (6)

1.一种光学检测装置，利用真空吸附固定由易弯曲的材料形成的检测片，用于进行视觉检测，其特征在于，
包括：
检测载物台，其在上表面沿着边缘形成向下方凹入的放置槽，贯通上述放置槽和下表面而形成流路，并且由光透过性材质构成，供上述检测片装载；
固定框架，其支撑上述检测载物台的侧面或者下表面；
多孔陶瓷材质的吸附面板，其插入到上述检测载物台的放置槽而被固定；
真空组件，其向上述流路施加真空压来吸附上述吸附面板上的检测片；
背光单元，其从上述检测载物台的下方，向检测载物台上的检测片照射光；以及
拍摄单元，其配置于上述检测载物台的上方，获得装载于上述检测载物台上的检测片的图像。
2.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，
上述真空组件包括：
真空软管，其一端与上述检测载物台的流路连接；以及
真空泵，其与上述真空软管的另一端连接来施加真空压。
3.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，
形成于上述检测载物台的放置槽的深度、和插入于上述放置槽的吸附面板的厚度形成为相同，使上述检测载物台和吸附面板的上表面平滑地连接成平面。
4.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，
上述放置槽在上述检测载物台的上表面的边角处形成为台阶状。
5.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，
上述放置槽包括：
边缘部，该边缘部沿着上述检测载物台的边缘形成；以及
横截部，该横截部横穿中心部而成，以连通上述边缘部。
6.根据权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，
上述吸附面板形成有回避区间，真空压力不传递到该回避区间以使吸附力不施加到所装载的检测片。
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103983350A (zh) * 2014-05-13 2014-08-13 保定维特瑞交通设施工程有限责任公司 测试交通显示单元平行光轴发光强度变化的装置
CN104134761A (zh) * 2014-07-29 2014-11-05 四川虹视显示技术有限公司 一种半自动化oled封装线检测装置及检测方法
CN104297156A (zh) * 2014-09-29 2015-01-21 北京凌云光技术有限责任公司 图像检测设备及吸风展平装置
CN105486689A (zh) * 2015-12-23 2016-04-13 苏州精濑光电有限公司 光学检测机
CN104134761B (zh) * 2014-07-29 2017-01-04 四川虹视显示技术有限公司 一种半自动化oled封装线检测装置及检测方法
CN106501276A (zh) * 2016-10-17 2017-03-15 安徽华东光电产业研究院有限公司 光学检测中对平板显示屏背光源施加压力的装置和方法
CN107023738A (zh) * 2017-04-10 2017-08-08 安徽江南春包装科技有限公司 一种花纸印刷裂纹检测用固定装置
CN109030437A (zh) * 2018-07-04 2018-12-18 中山出入境检验检疫局检验检疫技术中心 一种黄曲霉毒素的检测装置及检测方法
CN109030387A (zh) * 2018-07-13 2018-12-18 湖南文理学院 一种可快速检测服装色差的检测装置
CN109668830A (zh) * 2019-01-11 2019-04-23 安徽惠邦生物工程有限公司 一种试剂检测载物台
CN112858326A (zh) * 2019-11-28 2021-05-28 英泰克普拉斯有限公司 柔性显示器检查装置及利用此的柔性显示器检查方法

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101659048B1 (ko) 2014-07-28 2016-09-23 한국기계연구원 플렉시블 디바이스 와피지 패널 표면 검사 장치 및 방법
CN104483323B (zh) * 2014-12-17 2017-06-13 湖南乐福地医药包材科技有限公司 一种自动灯检台
KR101748583B1 (ko) * 2015-08-04 2017-06-21 크루셜머신즈 주식회사 프로브핀 본딩 장치
JP6391732B2 (ja) * 2017-02-22 2018-09-19 ユニオンコミュニティー シーオー エルティディＵｎｉｏｎｃｏｍｍｕｎｉｔｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ 二重弾性構造を備えた判子スキャナ及びその方法
CN107367852A (zh) * 2017-08-31 2017-11-21 合肥福映光电有限公司 一种用于辅助背光模组检查治具的压力装置
KR102105479B1 (ko) * 2018-09-05 2020-04-28 (주)지엘테크 광학장치 흡착판용 다공플레이트 및 이를 포함하는 광학장치용 흡착판
KR102207321B1 (ko) 2019-10-01 2021-01-26 주식회사 디월드 시트 광학 검사장치
CN110672629A (zh) * 2019-11-07 2020-01-10 江苏上达电子有限公司 一种避免外观检查时cof产品产生背面划伤的方法
CN112693896B (zh) * 2020-12-22 2022-12-20 苏州科韵激光科技有限公司 一种显示面板玻璃载台
KR102533981B1 (ko) 2020-12-30 2023-05-19 주식회사 아우라프리시젼 마이크로 비아홀 검사 장치
KR102509440B1 (ko) 2020-12-30 2023-03-14 주식회사 아우라프리시젼 마이크로 비아홀 검사 장치
KR102523159B1 (ko) 2020-12-30 2023-04-18 주식회사 아우라프리시젼 마이크로 비아홀 검사 장치
KR102620388B1 (ko) * 2021-11-17 2024-01-03 다래비젼주식회사 백라이트 진공흡착 모듈
KR102667582B1 (ko) * 2021-11-30 2024-05-22 다래비젼주식회사 백라이트 진공흡착 모듈 검사 장치
KR102612030B1 (ko) * 2021-12-15 2023-12-08 다래비젼주식회사 백라이트 진공흡착 모듈용 부품 자동검사장치과 이의 자동검사방법

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5701180A (en) * 1994-02-16 1997-12-23 Cmd Corporation Apparatus and method for detecting a formation in a sheet material
JP2004294739A (ja) * 2003-03-27 2004-10-21 Pentax Corp 光学処理装置、基板固定装置および基板固定方法
CN1670511A (zh) * 2004-03-17 2005-09-21 中国印钞造币总公司 用于检测片状材料透射图像质量的调试台
CN1690698A (zh) * 2004-04-23 2005-11-02 大日本网目版制造株式会社 光学式外观检查方法以及光学式外观检查装置
CN101221920A (zh) * 2007-12-25 2008-07-16 中国电子科技集团公司第四十五研究所 晶片吸附机构
CN201126816Y (zh) * 2007-12-25 2008-10-01 中国电子科技集团公司第四十五研究所 多孔陶瓷承片台
CN201257599Y (zh) * 2008-09-05 2009-06-17 申科滑动轴承股份有限公司 一种真空吸盘
JP2010160039A (ja) * 2009-01-08 2010-07-22 National Printing Bureau 印刷物の品質検査方法及び品質検査装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6282343A (ja) * 1985-10-07 1987-04-15 Hitachi Electronics Eng Co Ltd 光学式表面欠陥検査装置
JPH01121738A (ja) * 1987-11-05 1989-05-15 Hitachi Electron Eng Co Ltd 表面検査装置用シート吸着テーブル
JP3053104B2 (ja) * 1990-05-18 2000-06-19 株式会社日立製作所 薄板保持装置
JPH0715111A (ja) * 1993-06-22 1995-01-17 Hitachi Ltd グリーンシートの製造方法及びその装置並びにグリーンシートの欠陥検出方法及びその装置
JP2000173464A (ja) 1998-12-10 2000-06-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd シャドウマスクの検査装置
JP4312990B2 (ja) 2002-02-20 2009-08-12 株式会社日本マイクロニクス 液晶表示パネルの検査テーブル
JP2004028793A (ja) 2002-06-26 2004-01-29 Sony Corp 薄膜の物性値測定装置
KR100494146B1 (ko) * 2002-07-16 2005-06-13 주식회사 하이닉스반도체 파티클검사장치의 다용도 홀더 및 그를 이용한 검사방법
JP2005309332A (ja) * 2004-04-26 2005-11-04 Fujitsu Ltd 貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法
TW200940684A (en) * 2008-03-10 2009-10-01 Nikon Corp Fluorescent film, film-forming method therefor, multilayer dielectric film, optical element, optical system, imaging unit, instrument for measuring optical characteristics, method of measuring optical characteristics, exposure apparatus, exposure met
TWM421499U (en) * 2011-07-13 2012-01-21 Univ Nat Taiwan Science Tech Optical inspection system

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5701180A (en) * 1994-02-16 1997-12-23 Cmd Corporation Apparatus and method for detecting a formation in a sheet material
JP2004294739A (ja) * 2003-03-27 2004-10-21 Pentax Corp 光学処理装置、基板固定装置および基板固定方法
CN1670511A (zh) * 2004-03-17 2005-09-21 中国印钞造币总公司 用于检测片状材料透射图像质量的调试台
CN1690698A (zh) * 2004-04-23 2005-11-02 大日本网目版制造株式会社 光学式外观检查方法以及光学式外观检查装置
CN101221920A (zh) * 2007-12-25 2008-07-16 中国电子科技集团公司第四十五研究所 晶片吸附机构
CN201126816Y (zh) * 2007-12-25 2008-10-01 中国电子科技集团公司第四十五研究所 多孔陶瓷承片台
CN201257599Y (zh) * 2008-09-05 2009-06-17 申科滑动轴承股份有限公司 一种真空吸盘
JP2010160039A (ja) * 2009-01-08 2010-07-22 National Printing Bureau 印刷物の品質検査方法及び品質検査装置

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103983350A (zh) * 2014-05-13 2014-08-13 保定维特瑞交通设施工程有限责任公司 测试交通显示单元平行光轴发光强度变化的装置
CN103983350B (zh) * 2014-05-13 2016-06-01 保定维特瑞交通设施工程有限责任公司 测试交通显示单元平行光轴发光强度变化的装置
CN104134761B (zh) * 2014-07-29 2017-01-04 四川虹视显示技术有限公司 一种半自动化oled封装线检测装置及检测方法
CN104134761A (zh) * 2014-07-29 2014-11-05 四川虹视显示技术有限公司 一种半自动化oled封装线检测装置及检测方法
CN104297156A (zh) * 2014-09-29 2015-01-21 北京凌云光技术有限责任公司 图像检测设备及吸风展平装置
CN105486689B (zh) * 2015-12-23 2018-01-23 苏州精濑光电有限公司 光学检测机
CN105486689A (zh) * 2015-12-23 2016-04-13 苏州精濑光电有限公司 光学检测机
CN107655899A (zh) * 2015-12-23 2018-02-02 苏州精濑光电有限公司 光学检测机
CN106501276A (zh) * 2016-10-17 2017-03-15 安徽华东光电产业研究院有限公司 光学检测中对平板显示屏背光源施加压力的装置和方法
CN106501276B (zh) * 2016-10-17 2019-03-12 安徽华东光电产业研究院有限公司 光学检测中对平板显示屏背光源施加压力的装置和方法
CN107023738A (zh) * 2017-04-10 2017-08-08 安徽江南春包装科技有限公司 一种花纸印刷裂纹检测用固定装置
CN109030437A (zh) * 2018-07-04 2018-12-18 中山出入境检验检疫局检验检疫技术中心 一种黄曲霉毒素的检测装置及检测方法
CN109030387A (zh) * 2018-07-13 2018-12-18 湖南文理学院 一种可快速检测服装色差的检测装置
CN109668830A (zh) * 2019-01-11 2019-04-23 安徽惠邦生物工程有限公司 一种试剂检测载物台
CN109668830B (zh) * 2019-01-11 2021-08-24 安徽惠邦生物工程有限公司 一种试剂检测载物台
CN112858326A (zh) * 2019-11-28 2021-05-28 英泰克普拉斯有限公司 柔性显示器检查装置及利用此的柔性显示器检查方法
CN112858326B (zh) * 2019-11-28 2024-06-07 英泰克普拉斯有限公司 柔性显示器检查装置及利用此的柔性显示器检查方法

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