JPS6282343A - 光学式表面欠陥検査装置 - Google Patents
光学式表面欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPS6282343A JPS6282343A JP22328385A JP22328385A JPS6282343A JP S6282343 A JPS6282343 A JP S6282343A JP 22328385 A JP22328385 A JP 22328385A JP 22328385 A JP22328385 A JP 22328385A JP S6282343 A JPS6282343 A JP S6282343A
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- Japan
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- suction
- inspected
- porous
- porous member
- sheet
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の１洋紹１な説明
［産業１・、の利用分野］
本発明は、表面検査装置に関する。史に詳細には、本発
明は゛１′導体ウエノ・、ホトマスク、磁気ディスクな
どのような薄エワの／−ト状物を全面均に吸イ“を出来
る吸着テーブル（または１°〔空チセノク）をイｌ−す
る測定テーブルを備えた表面検査装置に関する。
明は゛１′導体ウエノ・、ホトマスク、磁気ディスクな
どのような薄エワの／−ト状物を全面均に吸イ“を出来
る吸着テーブル（または１°〔空チセノク）をイｌ−す
る測定テーブルを備えた表面検査装置に関する。
［従来技術］
印刷回路のパターン、゛１１導体用ウエノヘ、ホトマス
ク、磁気ディスクなど、精密船上表面の微細欠陥（例え
ば、人物、パターンの断線、シ９−ト、突起、欠け、そ
の他の傷及びピンホール等）の外観検査はこれまで１１
視検査に頼ってきたが、検査員の確保及び訓練を要する
１・１、検査結果も安定した基をが得られにくいという
問題がある。また、最近のパターンの高密度化および／
または電ｒ・技術の高細密化（高集積化）に伴い、品質
に対する安上は益々厳しくなってきている。特に、゛１
″導体製造プロセスにおける異物管理は市堺で、Ｊｌ。
ク、磁気ディスクなど、精密船上表面の微細欠陥（例え
ば、人物、パターンの断線、シ９−ト、突起、欠け、そ
の他の傷及びピンホール等）の外観検査はこれまで１１
視検査に頼ってきたが、検査員の確保及び訓練を要する
１・１、検査結果も安定した基をが得られにくいという
問題がある。また、最近のパターンの高密度化および／
または電ｒ・技術の高細密化（高集積化）に伴い、品質
に対する安上は益々厳しくなってきている。特に、゛１
″導体製造プロセスにおける異物管理は市堺で、Ｊｌ。
常に厳しい管理が請求されている。
この問題点を解決するため、従来の１１視検査に代わっ
て、レーザ光により表面検査を自動的に１１・う装置が
使用されている。しかし、このような装置において、印
刷基板、゛１１導体用ウエノ・、ホトマスフ、磁気ディ
スクなどのような薄厚のシート状物を吸ｉｔ固定させる
ための吸着テーブルはつぎのような欠点をイ１″してい
る。シート状物を吸着するための小直径の１゛Ｌ空吸引
孔を多数機械的に穿孔配設しているので、孔ので（る部
分と無い部分とで吸着力に差が生じたり、被検査物がノ
ートの様に薄い場合、ソートにたわみ、または、“そり
”などの変形をＩｊえていた。また、シート１−のピン
ホールを穴埋め処理したのち前記の吸着テーブルにのせ
てｒ〔空吸引すると、この穴埋め箇所が吸着テーブルの
Ｊｏ〔空吸引孔の部分に一致した場合、該真空吸引によ
り穴埋材が抜き取られて１１びピンホールが生じてしま
う。更に、吸着テーブル取付部などに不完全吸着部の発
生することがあった。このような不均一吸着および変形
は表面自動検査装置による異物等の検査結果を１ｉＺｌ
らせる原因となる。別の問題点として、このような小直
径の１℃空吸引孔を多数配設することは加圧１・、極め
て困難であり、実用性に欠ける。
て、レーザ光により表面検査を自動的に１１・う装置が
使用されている。しかし、このような装置において、印
刷基板、゛１１導体用ウエノ・、ホトマスフ、磁気ディ
スクなどのような薄厚のシート状物を吸ｉｔ固定させる
ための吸着テーブルはつぎのような欠点をイ１″してい
る。シート状物を吸着するための小直径の１゛Ｌ空吸引
孔を多数機械的に穿孔配設しているので、孔ので（る部
分と無い部分とで吸着力に差が生じたり、被検査物がノ
ートの様に薄い場合、ソートにたわみ、または、“そり
”などの変形をＩｊえていた。また、シート１−のピン
ホールを穴埋め処理したのち前記の吸着テーブルにのせ
てｒ〔空吸引すると、この穴埋め箇所が吸着テーブルの
Ｊｏ〔空吸引孔の部分に一致した場合、該真空吸引によ
り穴埋材が抜き取られて１１びピンホールが生じてしま
う。更に、吸着テーブル取付部などに不完全吸着部の発
生することがあった。このような不均一吸着および変形
は表面自動検査装置による異物等の検査結果を１ｉＺｌ
らせる原因となる。別の問題点として、このような小直
径の１℃空吸引孔を多数配設することは加圧１・、極め
て困難であり、実用性に欠ける。
［発明が解決しようとする問題点コ
従って、）２（板、ウェハ、ホトマスクなどのような薄
い／−ト状物をシートの全面で吸着し高い面精度を達成
でき、しかも、シートに何らの変形も牛しない吸着テー
ブルの開発か強く求められてきた。史に、ピンホールを
ｐめ穴埋処理したシートについても真空吸引により該穴
埋箇所に＋ＩＧびピンホールが発生しない吸着テーブル
を開発する７堡かある。
い／−ト状物をシートの全面で吸着し高い面精度を達成
でき、しかも、シートに何らの変形も牛しない吸着テー
ブルの開発か強く求められてきた。史に、ピンホールを
ｐめ穴埋処理したシートについても真空吸引により該穴
埋箇所に＋ＩＧびピンホールが発生しない吸着テーブル
を開発する７堡かある。
［問題点を解決するための丁段コ
小Ｉｔ：ｌ径の真空吸引孔を機械加しにより多数配置役
した吸着テーブルに代えて、多孔質部材からなる吸着テ
ーブルを使用することにより１）ＩＩ記の問題点を全て
解決できる表面検査装置を提供するもであって、その１
段としては、吸着テーブルの吸着面が多孔質部材からな
る測定テーブルを１亥表面検査装置に組込むことである
。
した吸着テーブルに代えて、多孔質部材からなる吸着テ
ーブルを使用することにより１）ＩＩ記の問題点を全て
解決できる表面検査装置を提供するもであって、その１
段としては、吸着テーブルの吸着面が多孔質部材からな
る測定テーブルを１亥表面検査装置に組込むことである
。
［作用］
前記多孔質部材は多孔質通気性の鉱物、セラミ７りまた
は全屈から構成されている。このような多孔質部材を使
用すると、１”〔空吸引した場合、吸ンｉ曲の全曲で／
−トが吸着され、かつ、支持される。その結束、高い＋
（ｓｉ精度が達成される。従来の機械加ｒ−による小直
径１°〔空吸引孔と異なり、本発明の多孔質吸着部材の
気孔の直径は数トミクロン程度の極めて微小なものであ
る。そのため、シートにたわみ、または、°“そり”の
ような変形が生しることはない。四に、ピンホールを穴
埋処理したシートを載置した場合でも該穴埋箇所を破壊
して＋Ｉｒびピンホールを発生させるようなこともない
。
は全屈から構成されている。このような多孔質部材を使
用すると、１”〔空吸引した場合、吸ンｉ曲の全曲で／
−トが吸着され、かつ、支持される。その結束、高い＋
（ｓｉ精度が達成される。従来の機械加ｒ−による小直
径１°〔空吸引孔と異なり、本発明の多孔質吸着部材の
気孔の直径は数トミクロン程度の極めて微小なものであ
る。そのため、シートにたわみ、または、°“そり”の
ような変形が生しることはない。四に、ピンホールを穴
埋処理したシートを載置した場合でも該穴埋箇所を破壊
して＋Ｉｒびピンホールを発生させるようなこともない
。
従って、従来の機械用Ｉユによる小直径真空吸引孔を有
する吸着テーブルの場合、このテーブルの構造に起因す
る検査ミスが多発していたが、例えば、レーザ光などに
よる光学式表面検査装置に本発明の多孔質部材からなる
吸着テーブルを打する測定テーブルを使用すれば、吸７
ｔテーブルに起因する外乱要因を受けることなく極めて
高い精度で印刷回路のパターン、ホトマスク、゛ヒ導体
ウェハ。
する吸着テーブルの場合、このテーブルの構造に起因す
る検査ミスが多発していたが、例えば、レーザ光などに
よる光学式表面検査装置に本発明の多孔質部材からなる
吸着テーブルを打する測定テーブルを使用すれば、吸７
ｔテーブルに起因する外乱要因を受けることなく極めて
高い精度で印刷回路のパターン、ホトマスク、゛ヒ導体
ウェハ。
磁気ディスクなどの精密加］二表面の微細欠陥を検査で
きる。このようにして検査精度が向−１−するため、結
果的に良品の歩留りも向−１−する。
きる。このようにして検査精度が向−１−するため、結
果的に良品の歩留りも向−１−する。
また、本発明で使用する多孔質部材は、従来のような゛
γ孔機械加１゛、を必堡としないので、その本来の・１
４而度が損なわれることはない。史に、本発明で使用す
る多孔質部材は経時変化が少ないという特徴も何する。
γ孔機械加１゛、を必堡としないので、その本来の・１
４而度が損なわれることはない。史に、本発明で使用す
る多孔質部材は経時変化が少ないという特徴も何する。
そして、７隻に応じて多孔質部材の表面を研磨すること
により吸着面のｌ白変を常に・定に保つことが容易にで
きる。このように、本発明で使用する多孔質部材からな
る吸着テーブルは従来の機械穿孔による真空吸引孔を有
する吸着テーブルに比べて、その・１ｉ、而度が極めて
高いので、検査中に被検査物を傷つけたりすることがな
い。
により吸着面のｌ白変を常に・定に保つことが容易にで
きる。このように、本発明で使用する多孔質部材からな
る吸着テーブルは従来の機械穿孔による真空吸引孔を有
する吸着テーブルに比べて、その・１ｉ、而度が極めて
高いので、検査中に被検査物を傷つけたりすることがな
い。
［実施例］
以ド、本発明の具体例について図面を参照しながら史に
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第１図は本発明の表面検査装置における多孔質吸？゛ト
部材からなる吸着テーブルを介する測定テーブルの斜視
図である。
部材からなる吸着テーブルを介する測定テーブルの斜視
図である。
第２図は第１図に小された測定テーブルのＩＩ−ｚ線に
沿った断面図である。
沿った断面図である。
第３図は本発明の表面検査装置による検査１３１ｆ’ｌ
！を示す概念図である。
！を示す概念図である。
第１図において、測定テーブル１の［，而には多孔質部
材からなる吸着テーブル３が載置されている。測定テー
ブルのド部には真空吸引のための排気パイプ５および該
パイプを測定テーブルの排気［−１と連通させるための
Ｌ Ｉ’ｉ！ｌエルボ７が配設されている。測定テーブ
ルｌは適当な支持り段９により支持台１１に支持されて
いる。
材からなる吸着テーブル３が載置されている。測定テー
ブルのド部には真空吸引のための排気パイプ５および該
パイプを測定テーブルの排気［−１と連通させるための
Ｌ Ｉ’ｉ！ｌエルボ７が配設されている。測定テーブ
ルｌは適当な支持り段９により支持台１１に支持されて
いる。
多孔質部材は多孔質通気性の鉱物、セラミックまたは金
属から構成されている。多孔質通気性の鉱物としては、
例えば、浮石のような火山岩があげられる。多孔質セラ
ミックは通常の無機化学または窯業技術者に周知である
。多孔質金属は例えば、焼結金属合金などがあげられる
。所望の気孔度が容易に得られるので焼結金属合金が多
孔質部材として特に好ましい。所望の気孔度を有する焼
結金属合金は通常の粉末冶金法により容易に調製できる
。本発明で使用出来る焼結金属合金としては、例えば、
ステンレス粉末を多孔質状に焼結させたものなとか挙げ
られる。ステンレス粉末の多孔質あ°５結体の気孔径を
例えば、３０ ｕ −５０μとする。＋ｒｎ １７度加
重もステンレスのため・１／曲度５０／Ｌとすることか
できる。
属から構成されている。多孔質通気性の鉱物としては、
例えば、浮石のような火山岩があげられる。多孔質セラ
ミックは通常の無機化学または窯業技術者に周知である
。多孔質金属は例えば、焼結金属合金などがあげられる
。所望の気孔度が容易に得られるので焼結金属合金が多
孔質部材として特に好ましい。所望の気孔度を有する焼
結金属合金は通常の粉末冶金法により容易に調製できる
。本発明で使用出来る焼結金属合金としては、例えば、
ステンレス粉末を多孔質状に焼結させたものなとか挙げ
られる。ステンレス粉末の多孔質あ°５結体の気孔径を
例えば、３０ ｕ −５０μとする。＋ｒｎ １７度加
重もステンレスのため・１／曲度５０／Ｌとすることか
できる。
多孔質部材の１’／み自体は本発明の必須“易性ではな
い。従って、自己支持性かあり、シート古・をその１−
而に載置して１“〔空吸引力を付加された場合にも破壊
されない程度の機械的強度を維持出来るような厚みであ
ればよい。このような厚みは当業者か容易に決定できる
。
い。従って、自己支持性かあり、シート古・をその１−
而に載置して１“〔空吸引力を付加された場合にも破壊
されない程度の機械的強度を維持出来るような厚みであ
ればよい。このような厚みは当業者か容易に決定できる
。
また、吸着テーブルの形状ならびに大きさも本発明の必
須安住ではない。検査装置の用途に応して吸着テーブル
の形状ならびに大きさを変化させることができる。
須安住ではない。検査装置の用途に応して吸着テーブル
の形状ならびに大きさを変化させることができる。
第２図に示されるように、多孔質部材からなる吸着テー
ブル３は測定テーブル１の内部に適当な深さまでｌ“１
人し棚部１３により支持される。吸着テーブル３の中央
部にたわみが牛しることを防（為に適当な支持部材１５
を使用することもできる。
ブル３は測定テーブル１の内部に適当な深さまでｌ“１
人し棚部１３により支持される。吸着テーブル３の中央
部にたわみが牛しることを防（為に適当な支持部材１５
を使用することもできる。
測定テーブルｌの内部に１″１人せず外部に露出してい
る多孔質部材の外周側壁面からも空気が吸引されノート
の吸着固定効果を損なう恐れがあるので、多孔質部材の
露出外周側壁面は適当なｔｌ＋Ｉ・、材１７でンーリン
グ処理しておくことか好ましい。
る多孔質部材の外周側壁面からも空気が吸引されノート
の吸着固定効果を損なう恐れがあるので、多孔質部材の
露出外周側壁面は適当なｔｌ＋Ｉ・、材１７でンーリン
グ処理しておくことか好ましい。
測定テーブル１のト都には、吸７ｉテーブル３と測定テ
ーブル１とにより画成される閉塞空間をυ１゜気導路１
９として空気をυ［気するための排気［１２１が配設さ
れている。この排気１１２１はＬｇエルボ７を経て排気
パイプ５に接続され、更に、この１）Ｆ気パイプ５はＪ
Ｔ、空ポンプ（図示されていない）に接続される。
ーブル１とにより画成される閉塞空間をυ１゜気導路１
９として空気をυ［気するための排気［１２１が配設さ
れている。この排気１１２１はＬｇエルボ７を経て排気
パイプ５に接続され、更に、この１）Ｆ気パイプ５はＪ
Ｔ、空ポンプ（図示されていない）に接続される。
本発明の表面検査装置を使用して例えば、異物検査等を
行う場合、第２図に小されるように、多孔質部材からな
る吸着テーブル３のト、面にシート状の被検査物２３を
載置し、！゛〔空ポンプ（図示されていない）で該多孔
質部材を通して吸気し、この吸引力により前記／−ト状
被検査物２３を前記吸７ｔテーブル３の１一端面に密着
固定せしめ、その後、レーザ光等のような適当な光学的
丁一段により被検査物の表面を検査する。
行う場合、第２図に小されるように、多孔質部材からな
る吸着テーブル３のト、面にシート状の被検査物２３を
載置し、！゛〔空ポンプ（図示されていない）で該多孔
質部材を通して吸気し、この吸引力により前記／−ト状
被検査物２３を前記吸７ｔテーブル３の１一端面に密着
固定せしめ、その後、レーザ光等のような適当な光学的
丁一段により被検査物の表面を検査する。
第３図は本発明の表面検査装置によるＶｄ物検出原理を
説明するための概念図である。第３図に／Ｊ＜されるよ
うに、Ｐ偏光レーザ光、Ｓ偏光レーザ光をそれぞれ直交
させて破検合物表面に！！（１射する。
説明するための概念図である。第３図に／Ｊ＜されるよ
うに、Ｐ偏光レーザ光、Ｓ偏光レーザ光をそれぞれ直交
させて破検合物表面に！！（１射する。
このときパターンエｌジからの散乱光は偏光ツノ向が変
化しないで、両者ともＳ偏光として対物レンズ２５に入
る。 方異物からの散乱光は異物表面が微小な凹凸を自
するため、それぞれの偏光力量が変化しＰ偏光成分を多
く含んだ光として入る。
化しないで、両者ともＳ偏光として対物レンズ２５に入
る。 方異物からの散乱光は異物表面が微小な凹凸を自
するため、それぞれの偏光力量が変化しＰ偏光成分を多
く含んだ光として入る。
そこで対物レンズの後側にＳ偏光を遮光する偏光板２７
を設け、通過した光を光電素ｒ２９で検出すればＶｄ物
からの散乱光のみが検出できる。
を設け、通過した光を光電素ｒ２９で検出すればＶｄ物
からの散乱光のみが検出できる。
［発明の効果コ
以１−説明したように、本発明の表面検査装置は吸７ｔ
テーブルの吸着面が多孔質部材からなる測定テーブルを
（ｒすることを特徴とする。
テーブルの吸着面が多孔質部材からなる測定テーブルを
（ｒすることを特徴とする。
前記多孔質部材は多孔質通気性の鉱物、セラミックまた
は金属から構成されている。このような多孔質部材を使
用すると、真空吸引した場合、吸（Ｙｔ而の全面でノー
トが吸？７され、かつ、支持される。その結果、高い面
精度が達成される。従来の機械側１゛による小直径１°
【空吸引孔とソｄなり、本発明の多孔質部材の気孔の直
径は数トミクロン程度の極めて微小なものである。その
ため、シートにたわみ、または、“１そり９のような変
形が生じることはない。史に、ピンホールを穴埋処理し
たシートを載置した場合でも該穴埋１７．１所を破壊し
てＩＩ）びピンホールを発生させるようなこともない。
は金属から構成されている。このような多孔質部材を使
用すると、真空吸引した場合、吸（Ｙｔ而の全面でノー
トが吸？７され、かつ、支持される。その結果、高い面
精度が達成される。従来の機械側１゛による小直径１°
【空吸引孔とソｄなり、本発明の多孔質部材の気孔の直
径は数トミクロン程度の極めて微小なものである。その
ため、シートにたわみ、または、“１そり９のような変
形が生じることはない。史に、ピンホールを穴埋処理し
たシートを載置した場合でも該穴埋１７．１所を破壊し
てＩＩ）びピンホールを発生させるようなこともない。
従って、従来の機械側［′、による小直径真空吸引孔を
有する吸着テーブルの場合、このテーブルの構造に起因
するＩミスが多発していたが、例えば、レーザ光などに
よる光学式表面検査装置に本発明の多孔質部材からなる
吸着テーブルを有する測定テーブルを使用すれば、吸着
テーブルに起因する外乱要因を受けることな（極めて高
い精度で印刷回路のパターン、ホトマスク、 ！ｌ’＝
導体ウェハ、＆ｉ気ディスクなどの精密加Ｉニ表面の微
細欠陥を検査できる。このようにして検査精度が向１−
するため、結果的に良品の歩留りも向トする。
有する吸着テーブルの場合、このテーブルの構造に起因
するＩミスが多発していたが、例えば、レーザ光などに
よる光学式表面検査装置に本発明の多孔質部材からなる
吸着テーブルを有する測定テーブルを使用すれば、吸着
テーブルに起因する外乱要因を受けることな（極めて高
い精度で印刷回路のパターン、ホトマスク、 ！ｌ’＝
導体ウェハ、＆ｉ気ディスクなどの精密加Ｉニ表面の微
細欠陥を検査できる。このようにして検査精度が向１−
するため、結果的に良品の歩留りも向トする。
また、本発明で使用する多孔質部材は、従来のような％
孔機械加にを２安としないので、その本来の゛１′而度
白変なわれることはない。更に、本発明で使用する多孔
質部材は経時変化か少ないという特徴もイｊする。そし
て、必°畏に応して多孔質ｆｆ１ｓ材の表面を研磨する
ことにより吸Ｉｔ面の甲白変を常に−・定に保つことが
容易にできる。このように、本発明で使用する多孔質部
材からなる吸着テーブルは従来の機械穿孔による↓“〔
空吸引孔を有する吸着テーブルに比べて、その・１１而
度が極めて高いので、検杏中に被検査物を傷つけたりす
ることかない。
孔機械加にを２安としないので、その本来の゛１′而度
白変なわれることはない。更に、本発明で使用する多孔
質部材は経時変化か少ないという特徴もイｊする。そし
て、必°畏に応して多孔質ｆｆ１ｓ材の表面を研磨する
ことにより吸Ｉｔ面の甲白変を常に−・定に保つことが
容易にできる。このように、本発明で使用する多孔質部
材からなる吸着テーブルは従来の機械穿孔による↓“〔
空吸引孔を有する吸着テーブルに比べて、その・１１而
度が極めて高いので、検杏中に被検査物を傷つけたりす
ることかない。
第１図は本発明の表面検査装置における多孔質部材から
なる吸着テーブルをイｒする測定テーブルの斜視図であ
る。 第２図は第１図に示された測定テーブルの２−ＩＩ線に
沿った断面図である。 第３図は本発明の表面検査装置による検ＡＪ京理を示す
概念図である。 １・・・４！＋１定テーブル ３・・・吸７ｔテーブル
５・・・υ１゜気バイブ ７・・・Ｌ型エルボ ９・
・・支持手段 １１・・・支持台 １３・・・支Ｆ、’
ｊａ １５・・・支持部材 １７・・・ｌ−ｌ ＋１
・材 １９・・・排気導路 ２１・・・排気ｔ、−’＋
２３・・・被検査物 ２５・・・対物レンズ ２７
・・・偏光板２９・・・光電素」′・ 特１．１出願人 １’、ｌ ｌγ゛１１ｉｒエンジニアリング株式会社代
理人 弁理ト 梶 山 拮 是 弁理１− 山 木 富り男 第２図
なる吸着テーブルをイｒする測定テーブルの斜視図であ
る。 第２図は第１図に示された測定テーブルの２−ＩＩ線に
沿った断面図である。 第３図は本発明の表面検査装置による検ＡＪ京理を示す
概念図である。 １・・・４！＋１定テーブル ３・・・吸７ｔテーブル
５・・・υ１゜気バイブ ７・・・Ｌ型エルボ ９・
・・支持手段 １１・・・支持台 １３・・・支Ｆ、’
ｊａ １５・・・支持部材 １７・・・ｌ−ｌ ＋１
・材 １９・・・排気導路 ２１・・・排気ｔ、−’＋
２３・・・被検査物 ２５・・・対物レンズ ２７
・・・偏光板２９・・・光電素」′・ 特１．１出願人 １’、ｌ ｌγ゛１１ｉｒエンジニアリング株式会社代
理人 弁理ト 梶 山 拮 是 弁理１− 山 木 富り男 第２図
Claims (4)
- （１）吸着テーブルの吸着面が多孔質部材からなる測定
テーブルを有することを特徴とする表面検査装置。 - （２）前記多孔質部材は多孔質通気性の金属から構成さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載
の表面検査装置。 - （３）前記多孔質通気性の金属は焼結金属合金であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第２項に記載の表面検査
装置。 - （４）前記焼結金属合金はアルミニウ粉末の多孔質状焼
結体であることを特徴とする特許請求の範囲第３項に記
載の表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22328385A JPS6282343A (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | 光学式表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22328385A JPS6282343A (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | 光学式表面欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6282343A true JPS6282343A (ja) | 1987-04-15 |
Family
ID=16795700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22328385A Pending JPS6282343A (ja) | 1985-10-07 | 1985-10-07 | 光学式表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6282343A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01260350A (ja) * | 1988-04-12 | 1989-10-17 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | グリーンシート検査装置の吸着テーブル |
| JPWO2008053929A1 (ja) * | 2006-11-02 | 2010-02-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 微小構造体の検査装置、微小構造体の検査方法及び基板保持装置 |
| JP2013228356A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Gigavis Co Ltd | 光学検査装置 |
| WO2019181652A1 (ja) * | 2018-03-23 | 2019-09-26 | 株式会社ナノテム | 多孔質パッド、真空チャック装置及び多孔質パッドの平面形成方法 |
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