KR102620388B1 - 백라이트 진공흡착 모듈 - Google Patents

Abstract

본 발명은 검사대상물이 일체화된 백라이트와 다공질 진공흡착면에 안착되어 이탈이나 들뜸으로 인한 비전 검사의 오류를 방지하도록 다공질 진공흡착부에는 진공 펌프에서 발생한 진공을 연결하는 것과 검사 대상물이 안착되는 다공질 진공흡착면 하부에 검사를 위한 백라이트를 체결하여 조명을 발산함으로써 카메라 촬영시 명확한 비전검사를 수행할 수 있도록 하는 것을 목적을 위해 상단에 검사대상물을 세팅하는 다공질흡착부(10)와 그 하단에 백라이트부(20)가 밀착되어 결합되어 있으며, 상기 다공질흡착부(10)와 백라이트부(20)를 상,중,하단부(15)(17)(19)에 의해 밀폐하는 구조이고, 검사카메라(미도시)와 중심 얼라인하기 위해 미세조정하는 미세조절이송부(30)와 이송하는 가이드레일부(40) 및 이송부(50)로 결합되어 구성되는 것을 통해 검사대상물이 일체화된 백라이트와 다공질 진공 흡착면에 안착되어 이탈이나 들뜸으로 인한 비전 검사의 오류를 방지하는 효과와 검사 대상물이 안착되는 다공질 진공흡착면 하부에 검사를 위한 백라이트를 체결하여 조명을 발산함으로써 카메라 촬영 시 명확한 비전검사를 수행할 수 있는 효과가 있다.

Description

백라이트 진공흡착 모듈{Backlight vacuum adsorption module}

본 발명은 백라이트 진공흡착 모듈에 관한 것으로 보다 구체적으로는 검사대상물이 일체화된 백라이트와 다공질 진공흡착면에 안착되어 이탈이나 들뜸으로 인한 비전 검사의 오류를 방지하도록 다공질 진공흡착부에는 진공 펌프에서 발생한 진공을 연결하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 검사 대상물이 안착되는 다공질 진공흡착면 하부에 검사를 위한 백라이트를 체결하여 조명을 발산함으로써 카메라 촬영시 명확한 비전검사를 수행할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.

최근 반도체, 디스플레이 제조 공정에서 요구하는 박막화에 따라 고정밀, 고정도의 흡착척이 이슈화되고 있어 기존의 금속 진공척에서 해결하지 못한 부분을 다공질 세라믹(Porous ceramic)을 활용한 진공척으로 해결할 수 있다

다공질 세라믹(Porous ceramic)은 기존의 흡착판과는 다르게 세라믹의 소결방식을 활용하여 소재 자체로 무수한 기공을 자체적으로 가지게 만드는 세라믹 소결체이다. 세라믹 소재의 특성상 높은 기공율을 갖고 있으면서도 고강도의 성질을 유지하고 있어 고정밀, 고정도의 흡착에 매우 유리하다. 또한, 소재 자체의 높은 경도로 인해 가공후 표면 조도가 좋으며, 이로 인해 흡착 후 제품의 표면에 손상을 최소화할 수 있다.

다공질 세라믹은 최근 각종 필터, 고온 내화물, 고온로 치구(KILN FURNITURE), 흡수재, 흡음재, 경량구조재, 단열재 등 각종 산업의 기초재료로서 광범위하게 사용되는 소재이다.

한편, 백라이트(Backlight)는 액정표시장치(Liquid crystal display;LCD) 뒤에서 빛을 내는 발광체 부분으로 음극선관 등과는 달리 LCD 스스로는 빛을 내지 못하기 때문에 은은한 빛을 내는 앰비언트 라이트 같은 조명을 필요로 한다. 패널 앞에서 빛을 비추는 프론트라이트와 달리 LCD 패널의 뒤쪽에서 빛을 비춘다.

일반적으로 Back Light을 이용한 비전 검사 시 검사 대상물을 진공 흡착 이송하여 Back Light 상면 기구부에 검사 대상물 이송 안착을 한다.

이와 관련된 선행기술로서, 백라이트 유닛 검사 장치에 관한 기술이 공지되어 있는데, 상기한 선행기술은 백라이트 유닛 검사장치(1000)는 이동 지그(100); 위치이동장치(200); 가압장치(300); 검사카메라(400) 및 제어장치(500);를 포함한다. 상기 이동 지그(100)는 백라이트 유닛(Backligt Unit)인 안착되어져 지지되는 공간으로써, 본 발명의 이동 지그(100)에 안착되는 백라이트 유닛(B)은 선행되어진 조립 고정을 통해 몰드 페리임 상에 제1확산필름,제1프리즘필름. 제2프리즘필름, 제2확산필름, 차광필름, 보호 필름 등 각종 필름 시트들이 순차적으로 적층되어 조립되어진 대상이다. 본 발명의 백라이트 유닛 검사장치(1000)를 통한 검사 공정 상에서 백라이트 유닛(B)를 지지 안착시켜 이동을 통해 백라이트 유닛(B)의 위치 또한 변화시키기 위한 이동 지그(100)는 구체적으로 백라이트 유닛(B)이 안착되기 위한 안착홈(115)이 형성된 제1안착부(110)와 지그 상면에 백라이트 유닛으로부터 탈리된 보호시트(S)가 놓이는 부분에 해당하는 제2안착부(120)로 구분된다. 이는 검사 공정을 수행하기 위해 보호시트(S)는 백라이트 유닛(B)으로부터 분리되어져야하고, 검사 공정이 완료된 후 백라이트 유닛(B)이 외부로 제공될 경우에는 다시 보호시트(S)가 재 부착되어야 함에 따라 본 발명의 백라이트 유닛 검사장치(1000)에 사용되는 이동 지그(100)는 도2 및 도5에 도시된 바와 같이 2개의 영역으로 분할되어 동시에 상호 근접한 위치에서 검사 공정을 이동함이 바람직하다. 여기서, 제1안착부(110) 및 제2안착부(120)에는 진공 흡착을 통해 각각에 놓여진 대상물(B, S)의 위상을 고정하기 위한 복수의 제1진공홀(110H) 및 제2진공홀(120H)이 마련되고, 이와 같은 각각의 진공홀(110H, 120H)은 진공이젝터(Vacuum Ejector)의 형태로 마련되는 흡착모듈(600)과 연결되어 진다. 다시 말해, 도5에 도시된 바와 같이 제1안착부(110)의 안착홈(115)에 놓여진 백라이트 유닛(B)은 제1흡착모듈(610)이 연결된 복수의 제1진공홀(110H)을 통해 공기를 흡입함에 따라 진공 흡착력을 제공 받아 제1안착부(110)에 고정 설치되며, 제2안착부(120)에 놓여진 보호시트(S)는 제2흡착모듈(620)이 연결된 복수의 제2진공홀(120H)을 통해 공기를 흡입함에 따라 진공 흡착력을 제공 받아 제2안착부(120)에 고정 설치된다. 또한, 제1안착부(110)의 주변부(정확하게는 안착홈(115)에 놓여진 백라이트 유닛(B)의 LED 소자와 같은 발광소

자에 연결되어 전원인가를 위한 전선구조를 갖춘 유연성 재질의 인가부가 위치하는 주변부)에는 백라이트 유닛(B)의 LED 소자와 같은 발광소자에 전원을 인가하기 위하 인가부의 전도성 핀부재와 접촉할 수 있는 점등부(130)가 마련된다. 이러한 점등부(130)는 각각의 검사 공정이 백라이트 유닛(B)의 발광이 이루어진 상태에서 이루어지도록 하여 검사 장치를 이루는 구성 내 별도의 광 제공 수단이 요구되지 않도록 한다. 위치이동장치(200)는 이동 지그(100)의 하측 일부와 연결되어 이동 지그(100)를 일정 안내 레일을 따라 임의의위치(구체적으로는 검사위치 각각)에 위치하도록 이동시킬 수 있는 구동요소로써, 도6에 도시된 바와 같이 회전테이블 형태의 작업판 상에서 이동 지그(100)를 회전시키기 위한 회전판(200) 등이 이에 해당될 수 있다. 따라서 이동 지그(100)는 위치이동장치(200)를 통해 최초 백라이트 유닛이 안착되는 위치로부터 적어도 하나 이상의 검사위치(TP1, TP2, TP3, TP4 등)로 각각 순차 진행하며 이동될 수 있다. 더 나아가 위치이동장치(200)는 검사가 완료된 이동 지그(100)를 백라이트 유닛(B)에 보호시트(S)를 재 부착시키기 위한 위치 및 보호시트(S)가 재 부착된 백라이트 유닛(B)을 언로딩(Unloading)시키기 위한 위치 등으로 연장 이동시킬 수도 있다. 우선, 가압을 통한 비전 검사가 이루어지는 제1검사위치(TP1)에서의 가압장치(300) 및 검사카메라(400)가 있다. 가압장치(300)는 위치이동장치(200)를 통해 제1검사위치(TP1)로 이동된 이동 지그(100) 상면에 밀폐된 상태의 일정 공간(AT)을 형성하게 되는데, 해당 공간(AT) 내에는 백라이트 유닛(B)이 위치하게 된다. 그 후, 가압장치(300)는 밀폐된 상태의 일정 공간(AT)에 공기압을 공급하여 백라이트 유닛(B)을 가압하게 된다.

그러나 선행기술은 이동지그(100)내에 위치하는 백라이트 유닛(B)과 보호시트(S)를 검사하기 위해 작업자가 세팅시 또는 이동시 검사대상물이 이탈되거나 들뜸으로 인해 검사의 정확성을 확보할 수 없는 문제점과 별도의 가압장치(300)를 사용해야 하는 번거로움과 상기 가압장치(300)의 가입 시 검사대상물의 가압 불균형으로 인해 검사대상물이 불균형적으로 가압되어 검사카메라(400)의 검사 과정에서의 검사 결과의 정확성을 보증할 수 없는 또 다른 문제점이 예상된다.

공개특허공보 제10-2017-0099198호(공개일 2017.08.31.)

본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 도출된 것으로 검사대상물이 일체화된 백라이트와 다공질 진공 흡착면에 안착되어 이탈이나 들뜸으로 인한 비전 검사의 오류를 방지하는 목적을 그 해결과제로 한다.

또한, 본 발명은 검사 대상물이 안착되는 다공질 진공흡착면 하부에 검사를 위한 백라이트를 체결하여 조명을 발산함으로써 카메라 촬영 시 명확한 비전검사를 수행할 수 있는 목적과 카메라 심도와 관련기구 구성물에 대한 제약 조건을 근본적으로 해소하는 것을 그 해결과제로 한다.

발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시 예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다.

또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.

상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 백라이트와 다공질 진공흡착부가 일체화된 백라이트 진공흡착 모듈로서, 상단에 검사대상물을 세팅하는 다공질흡착부와, 그 하단에 백라이트부가 밀착되어 결합되어 있으며, 상기 다공질흡착부와 상기 백라이트부)를 상,중,하단부에 의해 밀폐하는 구조이고, 검사카메라와 중심이 얼라인하기 위해 미세조절하는 미세조절이송부와 이송하는 가이드레일부 및 이송부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명은 포러스 세라믹에 의해 기공이 형성된 다공질판과, 그 하단에 상기 다공질판을 지지하여 광을 확산하는 제1 확산판이 상단부와 결합되는 다공질 흡착부;, 상기 상단부 하단에는 LED를 확산하는 제 2확산판이 LED 하우징에 의해 결합하는 백라이트부;, 상기 백라이트부가 내장되고 진공을 형성하도록 밀폐된 중단부와 하단부;, 상기 백라이트부를 선회하게 하는 선회테이블이 X축이송슬라이드와 결합되고, Y축이송슬라이드와 Y축이송고정대를 따라 미세 조정하도록 하여 이송하는 미세조절이송부;, 상기 미세조절이송부가 전후가이드레일몸체와 결합되어 전후가이드레인을 따라 이송하는 가이드레일부;, 상기 전후가이드레일몸체를 전후 슬라이드 이송하는 이송부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 상기 다공질판에 형성된 기공은 40~50㎛이나 바람직하게는 45㎛ 인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명은 상기 다공질판은 상기 상단부와 접착제로 1차 접착한 후 상기 제1 확산판은 상기 상단부와 볼트로 체결하여 고정하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에서 상기 백라이트부는 스피드콘 피팅와 소음기가 구비되며, 상기 백라이트부의 LED 하우징 상부에는 공기가 누설되지 않도록 패킹이 구비되는 것을 특징한다.

또한, 본 발명에서 상기 이송부에는 기계적 수단 또는 전기적 수단을 선택적으로 구비하는 것을 특징한다.

상기한 바와 같이, 본 발명은 검사대상물이 일체화된 백라이트와 다공질 진공 흡착면에 안착되어 이탈이나 들뜸으로 인한 비전 검사의 오류를 방지하는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 검사 대상물이 안착되는 다공질 진공흡착면 하부에 검사를 위한 백라이트를 체결하여 조명을 발산함으로써 카메라 촬영 시 명확한 비전검사를 수행할 수 있는 효과가 있다.

상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.

도 1은 종래 기술인 백라이트 유닛 검사장치를 도시하는 도면.
도 2는 본 발명의 백라이트 진공흡착모듈의 사시도.
도 3는 본 발명의 백라이트 진공흡착모듈의 정면도.
도 4은 본 발명의 백라이트 진공흡착모듈의 평면도.
도 5는 본 발명의 백라이트 진공흡착모듈의 단면도.
도 6는 본 발명의 백라이트 진공흡착모듈의 백라이트 도면.
도 7은 본 발명의 백라이트 진공흡착모듈의 실시예 도면

전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다.

본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.

이하에서 구성요소의 "상부 (또는 하부)" 또는 구성요소의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 구성요소의 상면 (또는 하면)에 접하여 배치되는 것뿐만 아니라, 상기 구성요소와 상기 구성요소 상에 (또는 하에) 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성이 개재될 수 있음을 의미할 수 있다.

또한 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 상기 구성요소들은 서로 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 다른 구성요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있는 것으로 이해되어야 할 것이다.

본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계들을 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.

명세서 전체에서, "A 및/또는 B" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, A, B 또는 A 및 B를 의미하며, "C 내지 D" 라고 할 때, 이는 특별한 반대되는 기재가 없는 한, C 이상이고 D 이하인 것을 의미한다.

이하에서는, 본 발명의 몇몇 실시 예에 따른 백라이트 진공흡착모듈을 설명하도록 한다.

도 2는 본 발명의 백라이트 진공흡착모듈의 사시도이고, 도 3은 본 발명의 백라이트 진공흡착모듈의 정면도이고, 도 4는 본 발명의 백라이트 진공흡착모듈의 평면도이고, 도 5는 본 발명의 백라이트 진공흡착모듈의 단면도이고, 도 6은 본 발명의 백라이트 진공흡착모듈의 백라이트 도면이고, 도 7은 본 발명의 백라이트 진공흡착모듈의 실시예 도면이다.

도 1, 도 5를 참조하면, 본 발명은 상단에 검사대상물을 세팅하는 다공질흡착부(10)와 그 하단에 백라이트부(20)가 밀착되어 결합되어 있으며, 상기 다공질흡착부(10)와 백라이트부(20)를 상,중,하단부(15)(17)(19)에 의해 밀폐하는 구조이고, 검사카메라(C)와 중심이 얼라인하기 위해 미세조정하는 미세조절이송부(30)와 이송하는 가이드레일부(40) 및 이송부(50)로 결합되어 구성된다.

구체적으로 본 발명은 포러스 세라믹에 의해 기공이 형성된 다공질판(11)과, 그 하단에 상기 다공질판(11)을 지지하여 광을 확산하는 제1 확산판(13)이 상단부(15)와 결합되는 다공질 흡착부(10);, 상기 상단부(13) 하단에는 LED를 확산하는 제 2확산판(23)이 LED 하우징(21)에 의해 결합하는 백라이트부(20);, 상기 백라이트부(20)가 내장되고 진공을 형성하도록 밀폐된 중단부(20)와 하단부(19);, 상기 백라이트부(20)를 전우 이송가능하게 하는 선회테이블(31)이 X축이송슬라이드(33)와 결합되고, Y축이송슬라이드(37)와 Y축이송고정대(39)를 따라 미세 조정하도록 하여 이송하는 미세조절이송부(30);, 상기 미세조절이송부(30)가 전후가이드레일몸체(41)와 결합되어 전후가이드레인(45)을 따라 이송하는 가이드레일부(40);, 상기 전후가이드레일몸체(41)를 전후 슬라이드 이송하는 이송부(50)를 포함하는 것을 특징으로 하는 백라이트 진공흡착 모듈 구성이다.

또한 본 발명은 상기 다공질판(11)에 형성된 기공은 40~50㎛이나 바람직하게는 45㎛ 인 것을 특징으로 하는 구성이다.

또한 본 발명에서 상기 다공질판(11)은 상기 상단부(15)와 접착제로 1차 접착한 후 상기 제1 확산판(13)은 상기 상단부(15)와 볼트로 체결하여 고정하는 구성이다

또한 본 발명의 상기 백라이트부(20)는 스피드콘 피팅(25)와 소음기(27)가 더 구비되는 구성이다.

또한 본 발명에서 상기 백라이트부(20)의 LED 하우징(21) 상부에는 공기가 누설되지 않도록 패킹(29)이 구비되는 구성이다.

또한 본 발명의 상기 이송부(50)에는 기계적 수단 또는 전기적 수단을 선택적으로 구비되는 구성이다.

또한 본 발명의의 상기 미세조절이송부(30)는 상기 백라이트부(20)를 선회하게 하는 선회테이블(31)은 Θ축 조절레버(32)에 의해 조절되고, X축이송슬라이드(33)는 X축조절레버)35)에 의해 조절되며, Y축이송슬라이드(37)는 Y축조절레버(36)에 의해 미세 조정하는 구성이다.

이하에서 본 발명의 작동관계를 도 2 내지 도 7을 기준으로 설명하기로 한다.

본 발명은 상단에 검사대상물을 세팅하는 다공질흡착부(10)와 그 하단에 백라이트부(20)가 밀착되어 결합되어 있으며, 상기 다공질흡착부(10)와 백라이트부(20)를 상,중,하단부(15)(17)(19)에 의해 밀폐하는 구조이고, 검사카메라(C)와 중심이 얼라인되기 위해 미세조정하는 미세조절이송부(30)와 이송하는 가이드레일부(40) 및 이송부(50)로 결합되어 작동된다.

구체적으로 도 4를 참조하면, 본 발명에서 다공질 흡착부(10)는 포러스 세라믹에 의해 기공이 형성된 다공질판(11)과, 그 하단에 상기 다공질판(11)을 지지하여 광을 확산하는 제1 확산판(13)이 상단부(15)와 결합된다.

상기 다공질판(11)에 형성된 기공은 40~50㎛이나 바람직하게는 45㎛ 로 유지하는 것이 바람직한데, 그 이유는 다공질판(11)의 기공(약 45㎛)을 선정한 이유는 첫째, 다공질판(11)에 형성된 기공의 직경이 5㎛ 기공보다 작을 경우에는 다공질판(11)의 강도는 견고해지나 Back Light의 투과성은 어두워지는 약점이 있고, 둘째, 다공질판(11)에 형성된 기공의 직경이 45㎛ 기공보다 클 경우에는 다공질판(11)의 강도는 약해지는 단점이 있지만 Back Light의 투과성은 좋아지는 강점이 있으므로, 셋째, 다공질판(11)에 형성된 기공의 직경이 45㎛ 기공인 경우 다공질판(11)의 강도 및 Back Light 투과성에서 상기한 약점을 강점으로 변경할 수 있는 가장 적정한 기준수치임이 실험을 통해 확인하였다.

또한 본 발명에서 상기 다공질판(11)은 상기 상단부(15)와 접착제로 1차 접착한 후 상기 제1 확산판(13)은 상기 상단부(15)와 볼트로 체결하여 고정하는 구성을 통해 상기 다공질판(11)이 상기 상단부(15)와 밀착되어 들뜸 현상을 방지하였고, 상기 제1 확산판(13)와 일체화함으로써 다공질판(11)의 기공을 통해 조명을 발산함으로써 검사대상물의 형상을 투명하고 명확하게 검사될 수 있는 작용효과가 있다.

또한 본 발명의 상기 백라이트부(20)는 스피드콘 피팅(25)와 소음기(27)가 구비되는 구성인데 상기 스피드콘 피팅(25)은 LED에서 발생하는 열과 소음을 해소하기 위한 것으로 스피드콘 피팅(25)을 통해 백라이트를 냉각시키고 소음기(27)를 통해 소음을 저감하는 작용효과가 있다.

또한 본 발명에서 상기 백라이트부(20)의 LED 하우징(21) 상부에는 공기가 누설되지 않도록 패킹(29)이 구비되는 구성이다.

또한, 본 발명에서 상기 백라이트부(20)는 상부 카메라(미 도시)와의 연광성에서 백라이트의 밝기 조절은 LED 컨트롤러(미도시)에서 검사 대상물의 특성에 따라 설정할 수 있다. 즉, 검사 대상물의 검사 항목에 따라 1) 백라이트 조명만 사용할 수 있고, 2) 백라이트 조명과 상부 고해상도 카메라에 설치된 조명(미도시)을 동시에 사용할 수 있으며, 3) 상부 고해상도 카메라에 설치된 조명(미도시)만을 선택적으로 사용할 수 있다.

또한 본 발명의 상기 이송부(50)에는 기계적 수단 또는 전기적 수단을 선택적으로 사용할 수 있는데, 기계적 수단으로는 작업자가 직접 핸들을 사용하거나 공유압을 용용한 실린더 이송방식이 있으며, 전기적 수단은 리니어 모터 등을 이용한 버튼구동방식이 있다.

또한, 본 발며의 상기 미세조절이송부(30)는 상기 백라이트부(20)를 선회하게 하는 선회테이블(31)은 Θ축 조절레버(32)에 의해 조절되고, X축이송슬라이드(33)는 X축조절레버(35)에 의해 조절되며, Y축이송슬라이드(37)는 Y축조절레버(36)에 의해 측정대상물의 중심과 카메라의 중심이 일치할 수 있도록 X축, Y축, Θ축을 각각 또는 병행하여 미세 조정하게 된다.

이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다.

아울러 앞서 본 발명의 실시 예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야

함은 당연하다.

10 다공질흡착부,
11 다공질판
13 제1 확산판
20 백라이트부
21 LED 하우징
23 제2 확산판
25 스피드콘 피팅
27 소음기
29 패킹
30 미세조절이송부
31 선회테이블
32 Θ축조절레버
33 X축이송슬라이드
35 X축조절레버
36 Y축조절레버
37 Y축이송슬라이드
39 Y축이송고정대
40 가이드레인부 50 이송부
41 전후가이드레일몸체
45 전후가이드레인‘
50 이송부
C 카메라

Claims (8)

1. 상단에 검사대상물을 세팅하도록 포러스 세라믹에 의해 45㎛ 기공이 형성된 다공질판(11)과, 그 하단에 상기 다공질판(11)을 지지하여 광을 확산하는 제1 확산판(13)이 상단부(15)와 결합되고, 상기 다공질판(11)은 상기 상단부(15)와 접착제로 1차 접착한 후 상기 제1 확산판(13)은 상기 상단부(15)와 볼트로 체결하여 고정하는 다공질흡착부(10)와;,
   상기 상단부(15) 하단에는 LED를 확산하는 제 2확산판(23)이 LED 하우징(21)에 의해 결합되고, 상기 LED 하우징(21) 상부에는 공기가 누설되지 않도록 패킹(29)이 구비되며, 상기 LED 하우징(21) 하부에는 스피드콘 피팅(25)와 소음기(27)가 구비되는 백라이트부(20)와;,
   상기 백라이트부(20)가 내장되고 밀착되어 진공을 형성하도록 밀폐된 중단부(17)와 하단부(19)가 결합되어 있으며, 상기 다공질흡착부(10)와 상기 백라이트부(20)를 상,중,하단부(15)(17)(19)에 의해 밀폐하는 구조이고,
   검사카메라(C)와 중심 얼라인하기 위해 상기 백라이트부(20)를 선회하게 하는 선회테이블(31)이 Θ축 조절레버(32)에 의해 조절되고, X축조절레버(35)에 의해 조절되는 X축이송슬라이드(33)와 결합되고, Y축조절레버(36)에 의해 조절되는 Y축이송슬라이드(37)와 Y축이송고정대(39)를 따라 미세 조정하도록 하여 이송하는 미세조절이송부(30)와;,
   상기 미세조절이송부(30)가 전후가이드레일몸체(41)와 결합되어 전후가이드레일(45)을 따라 이송하는 가이드레일부(40)와;,
   기계적 수단을 선택적으로 구비하여 상기 전후가이드레일몸체(41)를 전후 슬라이드 이송하는 이송부(50)를 포함하는 것을 특징으로 하는 백라이트 진공흡착 모듈.
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