CN102540459B - 光学扫描装置 - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510652401.XA CN105137597B (zh) | 2010-12-22 | 2011-12-21 | 光学扫描装置 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010286758A JP5736766B2 (ja) | 2010-12-22 | 2010-12-22 | 光走査装置 |
| JP2010-286758 | 2010-12-22 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510652401.XA Division CN105137597B (zh) | 2010-12-22 | 2011-12-21 | 光学扫描装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102540459A CN102540459A (zh) | 2012-07-04 |
| CN102540459B true CN102540459B (zh) | 2016-03-16 |
Family
ID=46316397
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201110433559.XA Active CN102540459B (zh) | 2010-12-22 | 2011-12-21 | 光学扫描装置 |
| CN201510652401.XA Active CN105137597B (zh) | 2010-12-22 | 2011-12-21 | 光学扫描装置 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510652401.XA Active CN105137597B (zh) | 2010-12-22 | 2011-12-21 | 光学扫描装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US8654426B2 (https=) |
| JP (1) | JP5736766B2 (https=) |
| CN (2) | CN102540459B (https=) |
Families Citing this family (77)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5293668B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2013-09-18 | パナソニック株式会社 | 光学反射素子 |
| JPWO2011161943A1 (ja) * | 2010-06-24 | 2013-08-19 | パナソニック株式会社 | 光学反射素子 |
| WO2013111265A1 (ja) * | 2012-01-24 | 2013-08-01 | パイオニア株式会社 | アクチュエータ |
| WO2013114857A1 (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-08 | パナソニック株式会社 | 圧電アクチュエータデバイスとその製造方法 |
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| US9778549B2 (en) * | 2012-05-07 | 2017-10-03 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Optical element |
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| JP7181448B2 (ja) * | 2018-03-30 | 2022-12-01 | ミツミ電機株式会社 | アクチュエータ及び光走査装置 |
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| JP6591135B1 (ja) | 2018-05-11 | 2019-10-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学デバイス |
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| CN112204450B (zh) | 2018-06-12 | 2022-03-29 | 奥林巴斯株式会社 | 光偏转器 |
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| CN112602000A (zh) | 2018-08-31 | 2021-04-02 | 松下知识产权经营株式会社 | 光学反射元件 |
| JP7193719B2 (ja) * | 2018-12-21 | 2022-12-21 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
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2010
- 2010-12-22 JP JP2010286758A patent/JP5736766B2/ja active Active
-
2011
- 2011-12-20 US US13/330,767 patent/US8654426B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-12-21 CN CN201110433559.XA patent/CN102540459B/zh active Active
- 2011-12-21 CN CN201510652401.XA patent/CN105137597B/zh active Active
-
2014
- 2014-01-27 US US14/164,334 patent/US8837029B2/en active Active
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| CN101135774A (zh) * | 2006-08-29 | 2008-03-05 | 富士通株式会社 | 微振荡元件 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20120162739A1 (en) | 2012-06-28 |
| JP2012133242A (ja) | 2012-07-12 |
| US20140139898A1 (en) | 2014-05-22 |
| CN105137597B (zh) | 2018-01-02 |
| JP5736766B2 (ja) | 2015-06-17 |
| US8837029B2 (en) | 2014-09-16 |
| CN105137597A (zh) | 2015-12-09 |
| CN102540459A (zh) | 2012-07-04 |
| US8654426B2 (en) | 2014-02-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |