CN102540459B - 光学扫描装置 - Google Patents

光学扫描装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102540459B
CN102540459B CN201110433559.XA CN201110433559A CN102540459B CN 102540459 B CN102540459 B CN 102540459B CN 201110433559 A CN201110433559 A CN 201110433559A CN 102540459 B CN102540459 B CN 102540459B
Authority
CN
China
Prior art keywords
mentioned
mirror
optical scanning
scanning device
support portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201110433559.XA
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Other versions
CN102540459A (zh
Inventor
山田司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsumi Electric Co Ltd
Original Assignee
Mitsumi Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsumi Electric Co Ltd filed Critical Mitsumi Electric Co Ltd
Priority to CN201510652401.XA priority Critical patent/CN105137597B/zh
Publication of CN102540459A publication Critical patent/CN102540459A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102540459B publication Critical patent/CN102540459B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/0858Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/101Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
CN201110433559.XA 2010-12-22 2011-12-21 光学扫描装置 Active CN102540459B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510652401.XA CN105137597B (zh) 2010-12-22 2011-12-21 光学扫描装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010286758A JP5736766B2 (ja) 2010-12-22 2010-12-22 光走査装置
JP2010-286758 2010-12-22

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510652401.XA Division CN105137597B (zh) 2010-12-22 2011-12-21 光学扫描装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102540459A CN102540459A (zh) 2012-07-04
CN102540459B true CN102540459B (zh) 2016-03-16

Family

ID=46316397

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201110433559.XA Active CN102540459B (zh) 2010-12-22 2011-12-21 光学扫描装置
CN201510652401.XA Active CN105137597B (zh) 2010-12-22 2011-12-21 光学扫描装置

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510652401.XA Active CN105137597B (zh) 2010-12-22 2011-12-21 光学扫描装置

Country Status (3)

Country Link
US (2) US8654426B2 (https=)
JP (1) JP5736766B2 (https=)
CN (2) CN102540459B (https=)

Families Citing this family (77)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5293668B2 (ja) * 2010-03-30 2013-09-18 パナソニック株式会社 光学反射素子
JPWO2011161943A1 (ja) * 2010-06-24 2013-08-19 パナソニック株式会社 光学反射素子
WO2013111265A1 (ja) * 2012-01-24 2013-08-01 パイオニア株式会社 アクチュエータ
WO2013114857A1 (ja) * 2012-01-31 2013-08-08 パナソニック株式会社 圧電アクチュエータデバイスとその製造方法
US9690094B2 (en) 2014-03-13 2017-06-27 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Optical device and manufacturing method thereof
US9778549B2 (en) * 2012-05-07 2017-10-03 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Optical element
JP5934615B2 (ja) * 2012-09-11 2016-06-15 スタンレー電気株式会社 光偏向器
JP6049364B2 (ja) * 2012-09-11 2016-12-21 スタンレー電気株式会社 光偏向器
JP6052100B2 (ja) * 2012-09-27 2016-12-27 ミツミ電機株式会社 圧電アクチュエータ及び光走査装置
JP2014126725A (ja) * 2012-12-27 2014-07-07 Funai Electric Co Ltd 走査ミラー装置
JP5976132B2 (ja) * 2013-02-08 2016-08-23 パイオニア株式会社 アクチュエータ
JP5873836B2 (ja) 2013-05-31 2016-03-01 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 光偏向器、その製造方法及び光走査装置
WO2015004710A1 (ja) * 2013-07-08 2015-01-15 パイオニア株式会社 アクチュエータ
JP6261923B2 (ja) * 2013-09-17 2018-01-17 スタンレー電気株式会社 光偏向ミラー及びこれを用いた光偏向器
JP6289957B2 (ja) * 2014-03-25 2018-03-07 スタンレー電気株式会社 光偏向器
JP6451078B2 (ja) * 2014-05-13 2019-01-16 株式会社デンソー 光走査装置
JP6287584B2 (ja) * 2014-05-27 2018-03-07 株式会社Jvcケンウッド Mems光スキャナ
JP6424477B2 (ja) * 2014-06-05 2018-11-21 株式会社豊田中央研究所 Mems装置
JP6459422B2 (ja) 2014-11-17 2019-01-30 株式会社リコー 光偏向器、光走査装置、画像形成装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ及びレーザレーダ
JP6516516B2 (ja) * 2015-03-16 2019-05-22 スタンレー電気株式会社 光偏向器
JP6390508B2 (ja) * 2015-05-07 2018-09-19 株式会社デンソー 光走査装置
DE102015209030B4 (de) * 2015-05-18 2023-06-07 Robert Bosch Gmbh Mikromechanische Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer mikromechanischen Vorrichtung
JP6476296B2 (ja) * 2015-07-27 2019-02-27 京セラ株式会社 ミラーデバイス
DE102015216811B4 (de) * 2015-09-02 2023-06-29 Robert Bosch Gmbh Schwenkvorrichtung für einen Mikrospiegel
JP2017116842A (ja) * 2015-12-25 2017-06-29 株式会社リコー 光偏向器及び画像投影装置
ITUA20162170A1 (it) * 2016-03-31 2017-10-01 St Microelectronics Srl Dispositivo mems oscillante intorno a due assi e dotato di un sistema di rilevamento di posizione, in particolare di tipo piezoresistivo
TWI638419B (zh) * 2016-04-18 2018-10-11 村田製作所股份有限公司 一種掃描鏡設備與其製造方法
JP2016186660A (ja) * 2016-07-19 2016-10-27 パイオニア株式会社 アクチュエータ
JP6880385B2 (ja) * 2016-09-28 2021-06-02 ミツミ電機株式会社 光走査装置
JP6788186B2 (ja) * 2016-09-29 2020-11-25 ミツミ電機株式会社 光走査装置及び光走査装置の製造方法
JP6814076B2 (ja) 2017-03-14 2021-01-13 浜松ホトニクス株式会社 光モジュール
JP6974696B2 (ja) * 2017-04-28 2021-12-01 ミツミ電機株式会社 光走査装置
WO2019009392A1 (ja) 2017-07-06 2019-01-10 浜松ホトニクス株式会社 光学デバイス
JP6514804B1 (ja) 2017-07-06 2019-05-15 浜松ホトニクス株式会社 光学デバイス
TWI785068B (zh) * 2017-07-06 2022-12-01 日商濱松赫德尼古斯股份有限公司 光學裝置
JP6503151B1 (ja) 2017-07-06 2019-04-17 浜松ホトニクス株式会社 光学デバイス
CN110799883B (zh) 2017-07-06 2022-04-12 浜松光子学株式会社 光学装置
WO2019009393A1 (ja) 2017-07-06 2019-01-10 浜松ホトニクス株式会社 光学デバイス及びその製造方法
JP7112876B2 (ja) 2017-07-06 2022-08-04 浜松ホトニクス株式会社 光学デバイス
EP3667394B1 (en) 2017-08-10 2025-08-13 Hamamatsu Photonics K.K. Mirror device
EP3712673B1 (en) 2017-11-15 2023-11-08 Hamamatsu Photonics K.K. Optical device production method
JP6753449B2 (ja) * 2017-11-24 2020-09-09 株式会社村田製作所 走査反射器システム
JP6585147B2 (ja) * 2017-12-01 2019-10-02 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータ装置
KR20200095458A (ko) * 2017-12-01 2020-08-10 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 액추에이터 장치
US11635615B2 (en) * 2017-12-21 2023-04-25 Mitsumi Electric Co., Ltd. Actuator, optical scanning device, and manufacturing methods
JP6959525B2 (ja) * 2017-12-21 2021-11-02 ミツミ電機株式会社 光走査装置
JP7053296B2 (ja) * 2018-02-09 2022-04-12 スタンレー電気株式会社 2次元光偏向器
JP7132481B2 (ja) * 2018-02-23 2022-09-07 ミツミ電機株式会社 アクチュエータ及び光走査装置
JP7089157B2 (ja) * 2018-03-02 2022-06-22 ミツミ電機株式会社 アクチュエータ及び光走査装置
JP7121258B2 (ja) * 2018-03-14 2022-08-18 ミツミ電機株式会社 光走査装置
JP7181448B2 (ja) * 2018-03-30 2022-12-01 ミツミ電機株式会社 アクチュエータ及び光走査装置
JP7021435B2 (ja) * 2018-04-18 2022-02-17 ミツミ電機株式会社 ミラー駆動装置、光走査制御装置及びミラー駆動方法
JP6591135B1 (ja) 2018-05-11 2019-10-16 浜松ホトニクス株式会社 光学デバイス
KR20210007947A (ko) * 2018-05-11 2021-01-20 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 광학 디바이스
CN112204450B (zh) 2018-06-12 2022-03-29 奥林巴斯株式会社 光偏转器
JP6652163B2 (ja) * 2018-08-09 2020-02-19 株式会社リコー Memsミラー、memsスキャナ、ヘッドアップディスプレイ、及び車両
US10858243B2 (en) 2018-08-13 2020-12-08 Microsoft Technology Licensing, Llc Backside reinforcement structure design for mirror flatness
CN112602000A (zh) 2018-08-31 2021-04-02 松下知识产权经营株式会社 光学反射元件
JP7193719B2 (ja) * 2018-12-21 2022-12-21 ミツミ電機株式会社 光走査装置
JP7227464B2 (ja) * 2018-12-27 2023-02-22 ミツミ電機株式会社 光走査装置
US11204493B2 (en) 2019-03-07 2021-12-21 Microsoft Technology Licensing, Llc Display device having scanning mirror system
US11175491B2 (en) * 2019-04-25 2021-11-16 Microsoft Technology Licensing, Llc Non-resonant microelectromechanical systems scanner with piezoelectric actuators
JP7363177B2 (ja) * 2019-08-07 2023-10-18 株式会社リコー 光偏向器、光走査システム、画像投影装置、画像形成装置、レーザレーダ
JP7563091B2 (ja) * 2019-11-27 2024-10-08 株式会社リコー 光偏向器、偏向装置、物体認識装置、画像投影装置、及び移動体
JP2021189366A (ja) * 2020-06-03 2021-12-13 船井電機株式会社 振動素子
JP7455976B2 (ja) 2020-07-16 2024-03-26 富士フイルム株式会社 光走査装置、及びマイクロミラーデバイスの駆動方法
US11747611B2 (en) 2020-12-16 2023-09-05 Stmicroelectronics (Research & Development) Limited Compact line scan mems time of flight system with actuated lens
US12164103B2 (en) 2020-12-16 2024-12-10 STMicroelectronics (Research &Develoment) Limited Compact line scan MEMS time of flight system with actuated lens
JP7587994B2 (ja) * 2021-01-28 2024-11-21 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータデバイスの製造方法
CN112698506B (zh) * 2021-03-22 2021-06-29 深圳市火乐科技发展有限公司 振镜及投影仪
EP4323647A1 (en) * 2021-04-14 2024-02-21 Cambridge Mechatronics Limited Sma actuator assembly
CN115469447B (zh) * 2021-06-10 2025-05-30 西安知微传感技术有限公司 多折扭转梁及包括该多折扭转梁的非线性减弱的mems扭转镜
JP7612035B2 (ja) * 2021-09-30 2025-01-10 パイオニア株式会社 光走査装置及びセンサ装置
CN118435098A (zh) * 2021-12-08 2024-08-02 松下知识产权经营株式会社 光学反射元件
US20250224607A1 (en) * 2022-03-29 2025-07-10 Kyocera Corporation Electromagnetic wave deflection device and electromagnetic wave scanning device
US20230384581A1 (en) * 2022-05-26 2023-11-30 Microsoft Technology Licensing, Llc Piezoelectrically-actuated resonant scanning mirror
JP2024060686A (ja) * 2022-10-20 2024-05-07 スタンレー電気株式会社 光偏向器

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101135774A (zh) * 2006-08-29 2008-03-05 富士通株式会社 微振荡元件

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001249300A (ja) * 2000-03-06 2001-09-14 Anritsu Corp 光スキャナ
JP2001264672A (ja) 2000-03-15 2001-09-26 Olympus Optical Co Ltd 光偏光素子および光偏光素子の製造方法
KR100486716B1 (ko) * 2002-10-18 2005-05-03 삼성전자주식회사 2-d 액튜에이터 및 그 제조방법
JP2004325578A (ja) * 2003-04-22 2004-11-18 Fujitsu Ltd 偏向ミラー
CN2639915Y (zh) * 2003-09-12 2004-09-08 清华大学 一种mems扫描微镜
JP4416117B2 (ja) * 2004-04-19 2010-02-17 株式会社リコー 偏向ミラー、光走査装置及び画像形成装置
CN100367070C (zh) * 2004-08-24 2008-02-06 先进纽微系统公司 具有分散铰链和多个支撑附件的微机电系统扫描镜
CN100451725C (zh) * 2005-01-05 2009-01-14 日本电信电话株式会社 反射镜器件、反射镜阵列、光开关及其制造方法
CA2536722A1 (en) * 2005-02-16 2006-08-16 Jds Uniphase Inc. Articulated mems structures
KR100813257B1 (ko) * 2006-07-04 2008-03-13 삼성전자주식회사 스캔 장치 및 그 방법
JP5252687B2 (ja) * 2008-01-18 2013-07-31 スタンレー電気株式会社 光偏向器
JP5168659B2 (ja) * 2008-11-27 2013-03-21 株式会社リコー 可動板構造体及び光走査装置
JP5444968B2 (ja) * 2009-05-11 2014-03-19 ミツミ電機株式会社 アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101135774A (zh) * 2006-08-29 2008-03-05 富士通株式会社 微振荡元件

Also Published As

Publication number Publication date
US20120162739A1 (en) 2012-06-28
JP2012133242A (ja) 2012-07-12
US20140139898A1 (en) 2014-05-22
CN105137597B (zh) 2018-01-02
JP5736766B2 (ja) 2015-06-17
US8837029B2 (en) 2014-09-16
CN105137597A (zh) 2015-12-09
CN102540459A (zh) 2012-07-04
US8654426B2 (en) 2014-02-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102540459B (zh) 光学扫描装置
JP5967145B2 (ja) 光走査装置
US8422109B2 (en) Optical reflection element
CN102422521B (zh) 致动器及使用致动器的光扫描装置
US8537450B2 (en) Two-dimensional scanning and reflecting device
KR20120120482A (ko) 가동 구조체 및 그것을 사용한 마이크로 미러 소자
CN104570335B (zh) 光扫描仪、图像显示装置、头戴式显示器以及平视显示器
JP2008139886A (ja) 2次元マイクロ光スキャナー
JP5333286B2 (ja) 光スキャナーおよび画像形成装置
JP2019159134A (ja) 光走査装置
JP6052341B2 (ja) 光走査装置
CN107870416B (zh) 光扫描装置
JP5751132B2 (ja) 2次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置
JP7035305B2 (ja) 光スキャナー、画像表示装置、ヘッドマウントディスプレイおよびヘッドアップディスプレイ
JP6233396B2 (ja) 光走査装置
JP2007183574A (ja) 揺動体装置及び光偏向器
JP2014202801A (ja) 光学反射素子
JP6287584B2 (ja) Mems光スキャナ
US20250355239A1 (en) Vibration module and optical deflector
Sakata et al. Asymmetrical Mems Mirror for Compact-Size and Wide Field-of-View AR Display Equipment
JP6515638B2 (ja) 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP5720747B2 (ja) アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置
JP2016045433A (ja) 光走査装置及び光走査装置の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant