JPWO2011161943A1 - 光学反射素子 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の実施の形態1における光学反射素子に関して、図面を用いて説明する。
これは、段差構造部24を含む折り返し部17の厚みが、直線部16の幅W1よりも大きくなると、段差構造部24を設けない従来の構造よりも第二振動部14a,14bの共振周波数が低下してしまうためである。
本実施の形態では、折り返し部26の下部全面に段差構造部27を設けたが、一部に設けてもよい。段差構造部27を一部に設ける際は、図8に示す図7のA方向正面図のごとく、段差構造部27は、折り返し部26の中心線(二等分線:B−BB)を挟んで対象に設ける。
11 固定枠
12a,12b 第一振動部
13 可動枠
14a,14b 第二振動部
15 ミラー部
16,16a,16b,25,25a,25b 直線部
17,26 折り返し部
24,27 段差構造部
S1 Y軸方向の振動軸
S2 X軸方向の振動軸
Claims (5)
- 固定枠と、
前記固定枠の内側に一端が接続された一対の第一振動部と、
前記一対の第一振動部の他端と接続、支持された回動可能な可動枠と、
前記可動枠の内側に一端が接続されるとともに、前記一対の第一振動部に略直交するように配設した一対の第二振動部と、
前記一対の第二振動部の他端と接続、支持された回動可能なミラー部とを備え、
前記第二振動部は複数の直線部と折り返し部とからなるミアンダ形状とするとともに、
前記折り返し部の一部に段差構造部を設けた光学反射素子。 - 前記第一振動部は複数の直線部と折り返し部とからなるミアンダ形状とするとともに、
前記第一振動部の前記折り返し部の一部に段差構造部を設けた請求項1に記載の光学反射素子。 - 前記段差構造部は、
前記折り返し部の中点(二等分点)を含む請求項1または請求項2のいずれか1項に記載の光学反射素子。 - 少なくとも前記段差構造部の一部は、前記直線部と異なる材料からなる請求項3に記載の光学反射素子。
- 前記段差構造部は、蒸着、スパッタ、ディップにより設けられた請求項4に記載の光学反射素子。
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