JP2005518657A - 外装コーテッドmems素子 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、接触界面が延性金属でコートされているシリコン微小部品またはMEMS素子である。この外装コーテイングを有するシリコン微小部品またはMEMS素子は、大いにより強く、破損しにくく、かつ欠けにくい。MEMS素子の外装コーテイングは、部分的外装コーテイング、または全体的外装コーテイングを含むことができる。全体的外装コーテイングは、素子全体を金属でコーテイングすることを含み、一方、部分的外装コーテイングは、MEMS素子の、ツーリング装置と最も頻繁に接触するような所望の部位だけを金属でコーテイングすることを含む。
図1は、スライダーの試験に有用なシリコンMEMS素子の平面図である。外側フレーム12、数個の内部スプリング14、2個の円形ピンホール16、およびつまみ18を含むMEMS素子10が図1に示される。MEMS素子10は、試験中にスライダー20を保持するためのクランプとして機能する。スライダー20は、MEMS素子10に一時的にクランプ可能であり、スライダー20はデイスク上を流され、試験され、クランプを解かれ、続いてMEMS素子10から取り除かれてもよい。
12 外側フレーム
14 インナースプリング
16 ピンホール
18 つまみ
30 ウエーハ基板
32 シード層
34 外装コーテイング層
40 ウエーハ
42 関心領域
44 フォトレジスト
46 シード層
48 ビーム
50 延性材料
Claims (20)
- シリコン製の微小電子機械部品であって、
機械的応力を受ける部品上の形体、と
形体の強度を増す手段とを含む部品。 - 形体の強度を増す手段が、形体を延性材料でコーテイングすることを含む請求項1に記載の部品。
- 延性材料が金属を含む請求項2に記載の部品。
- 形体の強度を増す手段が、部品を延性材料でコーテイングすることを含む請求項1に記載の部品。
- 延性材料が金属を含む請求項4に記載の部品。
- シリコン製の微小部品であって、
機械的応力を受ける微小部品上の形体、と
微小部品の強度を増すために形体をコーテイングする延性材料とを含む微小部品。 - 延性材料が金属を含む請求項6に記載の微小部品。
- 形体をコートするために金属の能力を助長するシード層をさらに含む請求項7に記載の微小部品。
- 金属が約10ミクロンの厚みをもつ請求項7に記載の微小部品。
- 形体をコーテイングする延性材料が、機械的応力を受ける形体付近でシリコンを欠けまたは破損から護る請求項6に記載の微小部品。
- 微小部品の全表面を実質的にコーテイングする延性材料をさらに含む請求項6に記載の微小部品。
- 微小電子機械部品上の領域の強度を増す方法であって、
微小電子機械部品をシリコンから形成すること、と
機械的応力を受ける部品上の選択された領域を延性材料でコーテイングすることとを含む方法。 - 部品をシリコンから形成することが、シリコンウエーハから複数の部品を形成することを含む請求項12に記載の方法。
- 部品を延性材料でコーテイングすることが、部品の予め選択された領域を金属でコーテイングすることを含む請求項13に記載の方法。
- 部品の予め選択された領域を金属でコーテイングすることが:
部品にフォトレジストを塗布し金属が適用されるであろう領域を定めること;
部品上にシード層を堆積させること;
フォトレジストを除去して、金属が適用されるであろう領域のみにシード層が残るようにすること;及び
シード層に金属コーテイングを適用すること;
を含む請求項14に記載の方法。 - シード層に金属コーテイングを適用することが、化学蒸着法を用いることを含む請求項15に記載の方法。
- シード層に金属コーテイングを適用することが、電気メッキ法を用いることを含む請求項15に記載の方法。
- シード層に金属コーテイングを適用することが、スパッタリング法を用いることを含む請求項15に記載の方法。
- 金属コーテイングを適用することが、約10ミクロンまでの厚みに金属コーテイングを適用することを含む請求項15に記載の方法。
- 金属コーテイングを適用することが、約20ミクロンまでの厚みに金属コーテイングを適用することを含む請求項15に記載の方法。
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