CN102482098A - 碳纳米管和氢的同时制造方法以及碳纳米管和氢的同时制造装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，是使用含有碳原子和氢原子并且在加热状态下被分解的碳源、和用于由该碳源生成碳纳米管和H2的催化剂，在反应器中配置的加热状态的支承体上合成所述碳纳米管，同时从所述碳源合成所述H2的碳纳米管和氢的同时制造方法，具有如下合成工序：通过使含所述碳源的原料气体在担载有所述催化剂的所述支承体上流通，在所述支承体上合成所述碳纳米管，同时在气流中合成所述H2。

Description

碳纳米管和氢的同时制造方法以及碳纳米管和氢的同时制造装置
技术领域
本发明涉及碳纳米管和氢的同时制造方法以及碳纳米管和氢的同时制造装置。更详细地说，本发明涉及用于低成本且大规模地大量生产具有各种结构的碳纳米管，同时制造氢的制造方法以及该制造方法中使用的碳纳米管和氢的同时制造装置。
背景技术
碳纳米管是具有将石墨烯片卷绕为筒状的结构、具有纵横比非常大的一维结构的材料(参照非专利文献1)。碳纳米管已知具有机械上优异的强度和柔软性、半导体的或金属的导电性以及化学上也非常稳定的性质。关于碳纳米管的制造方法，已报道了电弧放电法、激光蒸发法、化学气相生长法(以下称为CVD(Chemical Vapor Deposition)法。)等。特别地，CVD法是作为适合大量合成、连续合成、高纯度化的合成方法已受到关注的合成法(参考斋藤理一郎、篠原久典共编“碳纳米管の基礎と応用(碳纳米管的基础和应用)”培风馆、2004年发行)。
特别地，已确认单层碳纳米管(以下称为“SWCNT”)通过卷绕方式、其直径来显示金属的性质、半导体的性质，期待着在电气电子元件等中的应用。SWCNT的合成中，使纳米管生长的催化剂CVD法(例如，参照非专利文献2)已成为了主流。该催化剂CVD法以金属的纳米粒子作为催化剂。而且，边供给气体的碳源，边在高温下将碳源热分解，从催化剂的金属的纳米粒子使纳米管生长。此时，在气相分散状态(A方法)下使用纳米粒子的催化剂进行制造。此外，还有在基板担载状态(B方法)下使用纳米粒子的催化剂的方法。A方法和B方法各自具有长处和短处。
[关于现有的SWCNT制造法]
将气相分散催化剂的A方法的概要示于图14。该方法中，向外热式反应器，同时吹入催化剂源和碳源，进行了纳米管的合成。作为分类为该A方法的代表性的合成方法，有HiPco法(例如，参照非专利文献3)等。该A方法能够有效地利用反应器的3维空间。但是，催化剂与反应气体相伴，因此催化剂在反应器内滞留的时间变短，并且催化剂混入生成物的纳米管中。此外，催化剂的纳米粒子小，为几nm，凝聚快，因此难以提高催化剂的空间浓度，每1L反应器容积的纳米管合成速度为1g/日左右。
将基板担载催化剂的B方法的概要示于图15。该B方法是将催化剂在基板上担载，向催化剂上供给碳源，在催化剂上使纳米管生长。SuperGrowth法(例如，参照非专利文献4)等分类为该B方法，是其代表性的合成方法。该B方法能够高速生长。例如，进行了2.5mm/10分钟的高速生长(非专利文献4)。此外，将催化剂固定在基板上，由此能抑制催化剂混入合成的纳米管中。但是，反应器只能利用平面的2维空间，因此反应器内的空间利用比A方法差。
此外，B方法中，用于合成的纳米管的分离的分离工序是必用的。在大量生产纳米管的情形下，带有催化剂的基板的反复使用是必不可少的，该技术尚未确立。B方法中代替基板而将粒子用于催化剂的固定，通过流动床来合成碳纳米管的专利文献大量存在。例如，专利文献1中公开了管状碳物质的制造装置。其中，公开了连续生成碳纳米管的流动床反应炉(参考专利文献1的段落[0007])。
此外，作为使用了流动床的碳纳米管的制造技术，有CoMoCAT(注册商标)制法(URL：http://www.ou.edu/engineering/nanotube/comocat.html)。该制造技术是使含有钴(Co)等VIII族系金属、钼(Mo)等VIa族系金属的催化剂与含碳气体接触来制造碳纳米管的方法，美国Oklahoma大学开发，South-WestNanotechnologies公司已实用化。专利文献2～10是涉及该碳纳米管的制造技术的美国专利，是美国Oklahoma大学所有的专利的一览。
这些采用流动床的合成方法中，在多孔二氧化硅等支承体粒子上担载催化剂，合成纳米管，从流动床装置将纳米管与支承体粒子一起取出，用酸等将支承体粒子和催化剂溶解，回收纳米管。但是，将带有催化剂粒子的支承体粒子用完后丢弃，从纳米管将支承体·催化剂除去的工序复杂，并且操作为间歇式，生产率不高，因此SWCNT的价格为5万日元/g以上，价格非常高。
此外，近年来，作为清洁能源，氢(H2)的需要日益高涨。因此，在研究高效率地制造氢的方法。作为以往的氢的制造方法，一般是以烃为原料，通过水蒸气重整反应进行制造的方法(例如，参照专利文献11和12)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2003-286015号公报
专利文献2：美国专利第6,333,016号、“Method of Producing Nanotubes(制造纳米管的方法)”
专利文献3：美国专利第6,413,487号、“Method and Apparatus forProducing Nanotubes(制造纳米管的方法和装置)”
专利文献4：美国专利第6,919,064号、“Process and Apparatus forProducing Single-Walled Carbon Nanotubes(制造单壁碳纳米管的工艺和装置)”
专利文献5：美国专利第6,955,800号、“Method and Apparatus forProducing Single-Walled Carbon Nanotubes(制造单壁碳纳米管的方法和装置)”
专利文献6：美国专利第6,962,892号、“Metallic Catalytic Particle forProducing Single-Walled Carbon Nanotubes(制造单壁碳纳米管的金属催化剂颗粒)”
专利文献7：美国专利第6,994,907号、“Carbon Nanotube ProductComprising Single-Walled Carbon Nanotubes(含有单壁碳纳米管的碳纳米管产品)”
专利文献8：美国专利第7,094,386号、“Method of ProducingSingle-Walled Carbon Nanotubes/Ceramic Composites(制造单壁碳纳米管/陶瓷组合物的方法)”
专利文献9：美国专利第7,153,903号、“Carbon Nanotube-FilledComposites Prepared by In-situ Polymerization(利用原地聚合制备的填充有碳纳米管的组合物)”
专利文献10：美国专利第7,279,247号、“Carbon Nanotube Pastes andMethods of Use(使用的碳纳米管糊和方法)”
专利文献11：日本特开平8-225302号公报
专利文献12：日本专利第3035038号
非专利文献
非专利文献1：S.Iijima，Nature 354，56(1991).
非专利文献2：H.Dai，A.G.Rinzler，P.Nikolaev，A.Thess，D.T.Colbert，and R.E.Smalley，Chem.Phys.Lett.260，471(1996).
非专利文献3：HiPco法：M.J.Bronikowski，P.A.Willis，D.T.Colbert，K.A.Smith，and R.E.Smalley，J.Vac.Sci.Technol.A 19，1800(2001).
非专利文献4：K.Hata，D.N.Futaba，K.Mizuno，T.Namai，M.Yumura，and S.Iijima，Science 306，1362(2004).
发明内容
发明要解决的课题
市场上，SWCNT的交易值比贵金属价格高。SWCNT的高价格成为了向利用SWCNT的机械的特长、导电特性的应用中进军的大的瓶颈。如果以大规模和低成本制造碳纳米管成为可能，则能够期待各种应用能够急速地实现。因此，碳纳米管的制造技术的革新和制造成本的低价格化是必须的。对于B方法的使用支承体的碳纳米管的合成法，在低温下担载催化剂，提高温度来合成碳纳米管，降低温度来回收碳纳米管。
由于该温度的升降耗费大量的时间，因此生产率极低。对于A方法的不使用支承体的催化剂喷雾合成，由于全部同时进行催化剂担载、碳纳米管的生长、碳纳米管的回收，因此温度恒定。对于该A方法，催化剂和碳纳米管都在气相中浮游，与从反应器排出的气体流一起流出。由于催化剂浮游，因此具有不能使催化剂的数密度增加，而且碳纳米管和催化剂被混合而回收的缺点。
专利文献1中，设置各自的供给部来供给流动化用的气体、碳源气体、催化剂原料气体。专利文献1中，似乎以连续供给这三种气体为前提，对于气体的切换操作，没有任何提及。此外，对于专利文献1的方法，由于催化剂附着于碳纳米管，因此杂质混入生成物。此外，对于专利文献1的方法，不能将在流动床残留的碳析出物除去而蓄积。结果在大量得到碳纳米管前，作为流动化介质的粒子被碳覆盖，不能使用。
这样，对于以往的流动床的制造方法，不能制造纯度高的碳纳米管。而且，生产率低。由于同时进行碳纳米管合成和催化剂担载，因此催化剂的高度控制也困难。
另一方面，对于专利文献11和12中记载的氢的制造方法，存在如下问题：为了制造氢，需要大量的能量，同时在氢制造时产生二氧化碳、一氧化碳。
本发明是在上述的技术背景的基础上完成的，实现下述的目的。即，本发明的目的在于，提供能够以大规模和低成本制造碳纳米管，同时能够制造氢(H2)的碳纳米管和氢的同时制造方法和同时制造装置。
本发明的另一目的在于，提供碳纳米管和氢的同时制造方法，其通过将基板担载催化剂向CVD反应器的3维空间展开，从而同时具有气相分散催化剂和基板担载催化剂的长处。
本发明的又一目的在于，提供碳纳米管和氢的同时制造方法，其将反应器保持在加热状态，同时碳纳米管和氢的生成为伪连续的，具体使用支承体，反复进行催化剂的担载、碳纳米管的生长、氢的合成、碳纳米管的回收、氢的回收。
用于解决课题的手段
为了实现所述目的，本发明提供碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，是使用含有碳原子和氢原子并且在加热状态下被分解的碳源、和用于由该碳源生成碳纳米管和H2的催化剂，在反应器中配置的加热状态的支承体上合成所述碳纳米管，同时从所述碳源合成所述H2的碳纳米管和氢的同时制造方法，其具有如下合成工序：通过使含所述碳源的原料气体在担载有所述催化剂的所述支承体上流通，在所述支承体上合成所述碳纳米管，同时在气流中合成所述H2。根据该制造方法，能够以大规模和低成本制造碳纳米管，同时能够制造氢(H2)。制造碳纳米管时的碳源中的主要构成要素为碳原子和氢原子，根据本发明，前者变化为碳纳米管，后者变化为H2，都能够作为有用物回收。
本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法中，从提高反应器的单位容积的碳纳米管和氢(H2)的生产率的观点出发，优选所述合成工序中的所述原料气体的供给量是每1m3所述反应器的容积为0.01～100m3/s。
本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法中，从兼顾使大量的碳源反应而提高碳纳米管和氢(H2)的收率和使碳源高速地流通而提高碳纳米管和氢(H2)的生产率的观点出发，优选所述支承体在该支承体的内部或周围具有宽0.03mm以上30mm以下的气体流路。
本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法中，从兼顾使大量的碳源反应而提高碳纳米管和氢(H2)的收率和使碳源高速地流通而提高碳纳米管和氢(H2)的生产率的观点出发，优选所述支承体为具有从粉末状、珠状、蜂窝状、多孔状、纤维状、管状、丝状、网状、格子状、海绵状、板状和层状中选择的1种形状的结构物。
本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法中，从兼顾使大量的碳源反应而提高碳纳米管和氢(H2)的收率和使碳源高速地流通而提高碳纳米管和氢(H2)的生产率的观点出发，优选所述支承体为粉末状或珠状，在流动床状态下进行所述合成工序。
本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法中，优选所述催化剂包含载体层和催化剂粒子。此时，优选所述催化剂粒子包含从V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Mo、W和Au中选择的至少一种元素。此外，优选所述载体层包含从Si、Al、Mg、Zr、Ti、O、N、C、Mo、Ta和W中选择的至少一种元素。
本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法中，优选所述支承体的原料包含从Si、Al、Mg、Zr、Ti、O、N、C、Mo、Ta和W中选择的至少一种元素。此外，还优选支承体也能够兼有作为催化剂载体的作用，担载有所述催化剂的所述支承体是使催化剂粒子担载到兼有催化剂载体的作用的所述支承体而成的。
关于本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法，优选地，在所述合成工序前，具有通过使成为所述催化剂的原料的催化剂原料在加热状态的所述支承体上流通从而在所述支承体上担载所述催化剂的催化剂担载工序。
关于本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法，优选地，具有：分离工序，其通过使分离气体在合成了所述碳纳米管的所述支承体上流通，从而将所述碳纳米管从所述支承体分离到所述分离气体中；和除去工序，其通过使氧化气体在将所述碳纳米管分离后的所述支承体上流通，从而将所述支承体上残留的碳氧化除去；在将所述支承体保持在加热状态的情况下通过切换向所述反应器供给的气体来反复进行碳纳米管和氢的同时制造方法中的各工序。此时，本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法，优选地，具有：从由所述反应器排出的排出气体中回收碳纳米管的碳纳米管回收工序、和从所述排出气体中回收H2的氢回收工序。
关于本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法，优选地，在所述合成工序前具有如下的催化剂担载工序：使成为所述催化剂的原料的催化剂原料在所述支承体上附着，将附着有所述催化剂原料的所述支承体导入所述反应器中，在所述反应器中对附着有所述催化剂原料的所述支承体进行加热处理，使所述催化剂担载于所述支承体上。此外，本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法，优选地，在所述合成工序前具有将担载有所述催化剂的所述支承体导入所述反应器的导入工序。
在具有这些催化剂担载工序或导入工序的情况下，关于本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法，优选地，在所述合成工序后，具有从所述反应器中回收合成了所述碳纳米管的所述支承体的支承体回收工序，反复进行碳纳米管和氢的同时制造方法中的各工序。此时，关于本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法，优选具有：从合成了所述碳纳米管的所述支承体上将碳纳米管分离回收的碳纳米管回收工序、和从由所述反应器排出的排出气体中回收H2的氢回收工序。
此外，在具有这些催化剂担载工序或导入工序的情况下，关于本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法，优选地，具有：分离工序，其通过使分离气体在合成了所述碳纳米管的所述支承体上流通，从而将所述碳纳米管从所述支承体分离到所述分离气体中；和支承体回收工序，从所述反应器中回收将所述碳纳米管分离后的所述支承体；反复进行碳纳米管和氢的同时制造方法中的各工序。此时，关于本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法，优选地，具有：从由所述反应器排出的排出气体中回收碳纳米管的碳纳米管回收工序、和从所述排出气体中回收H2的氢回收工序。
本发明还提供碳纳米管和氢的同时制造装置，其特征在于，具有：碳源供给装置，其供给含有碳原子和氢原子并且在加热状态下被分解的碳源；催化剂反应装置，其通过在支承体上担载的催化剂将所述碳源分解，在所述支承体上合成碳纳米管，同时在气流中合成H2；碳纳米管回收装置，其从所述催化剂反应装置回收所述碳纳米管；和H2回收装置，其从所述催化剂反应装置回收所述H2。根据该制造装置，能够以大规模和低成本制造和回收碳纳米管，同时能够制造和回收氢(H2)。
在本发明的碳纳米管和氢的同时制造装置中，优选地，所述碳纳米管回收装置是在将所述碳纳米管保持在所述支承体上的状态下将所述碳纳米管与所述支承体一起回收，所述H2回收装置从由所述催化剂反应装置排出的排出气体中回收所述H2。
此外，关于本发明的碳纳米管和氢的同时制造装置，优选地，还具有供给将所述碳纳米管从所述支承体分离到气流中的分离气体的分离气体供给装置，所述碳纳米管回收装置是从由所述催化剂反应装置排出的排出气体中回收所述碳纳米管，所述H2回收装置从所述排出气体中回收所述H2。此时，本发明的碳纳米管和氢的同时制造装置，优选地，还具有供给除去碳的氧化气体的氧化气体供给装置，所述碳残留在分离了所述碳纳米管的所述支承体上。
关于本发明的碳纳米管和氢的同时制造装置，优选地，还具有在气体状态下向所述支承体上供给成为所述催化剂的原料的催化剂原料的催化剂原料供给装置。
此外，关于本发明的碳纳米管和氢的同时制造装置，优选地，还具有将担载有成为所述催化剂的原料的催化剂原料的所述支承体供给到所述催化剂反应装置的支承体供给装置。
此外，关于本发明的碳纳米管和氢的同时制造装置，优选地，还具有将担载有所述催化剂的所述支承体供给到所述催化剂反应装置的支承体供给装置。
关于本发明的碳纳米管和氢的同时制造装置，优选地，还具有对所述碳源、所述分离气体、所述催化剂原料、所述氧化气体和所述支承体中的任2个以上的供给进行切换的切换装置。
[用语的定义]
对本发明的说明书、权利要求中使用的用语进行定义。
“碳纳米管”是指具有将石墨烯片卷为筒状的结构的微细的结构物。
“支承体”是用于将催化剂、催化剂载体(载体层)(定义后述)等保持在反应器中的结构体，由固体材料制成。关于催化剂，例如能够通过使催化剂的原料气化，使该气体原料接触支承体上而担载。或者，催化剂能够通过使催化剂的原料在支承体上附着，进行加热处理而担载于支承体。
所谓“催化剂”，在支承体上担载，是指一般的催化剂。向“催化剂”供给碳源而合成碳纳米管时，“催化剂”发挥碳纳米管的合成的中介、促进、效率化等作用，由此由碳材料合成碳纳米管。此外，通过“催化剂”的作用合成碳纳米管的同时，也合成氢(H2)。“催化剂”是指具有装进碳源、吐出碳纳米管和氢的作用的材料。此外，“催化剂”是指具有纳米级的大小的纳米粒子。
所谓“催化剂载体”(载体层)，是催化剂的纳米粒子附着的材料。“催化剂载体”在支承体上形成，在其上担载金属的纳米粒子的催化剂。支承体也能够兼有催化剂载体的功能。
“碳纳米管的合成”，是指碳在催化剂上边形成管状的结构边生长。作为碳纳米管的合成的同义词，使用“碳纳米管的生长”。
“原料气体”，是包含含有碳原子和氢原子并且在加热状态下被分解的碳源的气体，例如，由碳源和载气构成。
“反应器”，是其中配置了支承体的装置，是将用于供给催化剂载体的原料、催化剂的原料、包含碳源的原料气体、载气、分离气体等气体流的供给管、用于排出合成后的气体流的排出管连接的密闭装置。
气体流的“切换”是指将催化剂载体的原料、催化剂的原料、包含碳源的原料气体、分离气体、氧化气体等在时间上分开地供给到反应器。
所谓碳纳米管和氢的制造方法中的“各工序”，至少包括合成工序，此外，在进行催化剂担载工序、支承体导入工序、支承体和碳纳米管的分离工序、支承体上的残留碳的除去工序、支承体回收工序、碳纳米管回收工序、氢回收工序的情况下，也包括这些工序。
“反复”是指将制造碳纳米管和氢的一连串的工序，即催化剂载体的担载、催化剂的担载、担载有催化剂的支承体的导入、碳纳米管和氢的合成、支承体的回收、碳纳米管的分离和回收、氢的回收、在支承体上残留的碳的除去等中实施的工序作为一个周期，将该周期反复进行。进行催化剂担载工序的情况下，至少将催化剂的担载和碳纳米管及氢的合成在时间上分开，包括碳纳米管的分离和回收，反复进行。
“碳纳米管的分离”是指例如通过分离气体流将催化剂上合成的碳纳米管从催化剂和支承体分离。再有，原料气体也能够兼作分离气体。此外，从反应器中将碳纳米管附着的状态的支承体回收后，从支承体可进行碳纳米管的分离。
“碳纳米管的回收”，例如，通过所述分离气体流将碳纳米管从支承体分离的情况下，是指从由反应器排出的分离气体流(排出气体)只将碳纳米管分离、回收。
“氢的回收”是指使原料气体流通，进行了碳纳米管和氢的合成后，从由反应器排出的排出气体中只将氢分离、回收。
“支承体的再生”是指对于由于碳纳米管和氢的生产而劣化、不活性化或消耗的支承体上担载的催化剂，在生产中定期地或不定期地进行处理，使催化剂功能再现。具体地，由于催化剂粒子的碳化、氧化等，催化剂功能降低时，通过氧化处理从催化剂粒子将碳除去后，通过还原处理使催化剂粒子成为还原状态，使催化剂功能再现。不过，存在催化剂粒子粗大化而残留的问题，催化剂的再生存在限制。因此，支承体的再生处理中包括以下定义的“催化剂的再担载”。
“催化剂的再担载”是指在粗大化的催化剂粒子上担载、被覆载体，再重新担载催化剂粒子。通过进行催化剂的再担载，能够在支承体上反复合成碳纳米管。
发明的效果
根据本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法，产生以下的效果。即，根据本发明的碳纳米管和氢的同时制造方法，能够以大规模和低成本制造碳纳米管，同时能够高效率地制造氢。此外，本发明的制造方法，由于能够使用每单位体积的面积大的支承体，因此空间利用率高，适合碳纳米管的大规模生产。此外，这样的支承体的结构抑制压力损失，适合高速地输送气体。因此，能够通过不恒定的气体脉冲乃至恒定的气体流容易地将碳纳米管从支承体分离·回收，并且抑制催化剂混入生成的碳纳米管。
此外，通过提供催化剂在支承体上的再担载方法，可以反复合成碳纳米管和氢。由于在使支承体为加热状态的情况下担载催化剂，使碳纳米管生长并且合成氢，将碳纳米管和氢回收，使该循环反复，因此不必每次进行合成和回收时就升降反应器的温度，能够节约其时间，能够大幅度提高生产率，同时能够抑制与温度的升降相伴的能量消耗。
此外，对于本发明的制造方法，通过将支承体放置在加热气氛中，反复进行所述的周期，从而能够改善如现有技术那样使气相中浮游的催化剂和碳纳米管与排出气体一起流出。因此，使以下缺点得到改进：由于催化剂浮游而不能使催化剂的数密度增加，另外将碳纳米管与催化剂混合地回收。而且，与以往的制造技术相比，碳纳米管的生产效率飞跃性地提高。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式的碳纳米管和氢的同时制造装置的概要的概略图。
图2是表示本发明的实施方式的支承体上形成的纳米粒子的催化剂的概要的概念图，图2的(a)是支承体为粒子的情形，图2的(b)是支承体为固定基板的情形。
图3是图示合成碳纳米管和氢时的工艺流程的图。
图4是图示合成碳纳米管和氢时的工艺流程的图。
图5是表示本发明的实施方式的碳纳米管和氢的同时制造装置的另一例的概略图。
图6是本发明的实施例1中使用的立置型CVD装置的概念图。
图7的(a)～(g)为实施例1中的碳纳米管附着的氧化铝珠粒的扫描型电子显微镜照片。
图8是实施例1中合成的碳纳米管的透射型电子显微镜像。
图9为实施例1中合成的单层碳纳米管的热重量测定结果。
图10的(a)～(c)为实施例2中的碳纳米管附着的氧化铝珠粒的扫描型电子显微镜照片。
图11的(a)～(b)为实施例3中的碳纳米管附着的氧化铝珠粒的扫描型电子显微镜照片。
图12的(a)～(m)为实施例4中回收的碳纳米管的照片。
图13是实施例4中合成的碳纳米管的透射型电子显微镜像。
图14是表示在气相分散状态(A方法)下使用纳米粒子催化剂制造碳纳米管的概要的图(现有技术)。
图15是表示在基板担载状态(B方法)下使用纳米粒子催化剂制造碳纳米管的概要的图(现有技术)。
具体实施方式
以下根据情况边参照附图边对本发明的优选实施方式详细说明。应予说明，附图中，对同一或相当部分标记同一符号，省略重复的说明。此外，附图的尺寸比率并不限于图示的比率。
本发明的制造方法，是通过在支承体上使原料气体流通，从而进行碳纳米管的生成和氢的合成，同时制造碳纳米管和氢。
此外，本发明的优选的制造方法，是将反应器的温度保持在高温，通过反复进行碳纳米管的合成和分离回收、氢的合成和回收以及催化剂的再担载，伪连续合成碳纳米管和氢。具体地，使用支承体，反复进行催化剂担载、碳纳米管生长、碳纳米管的分离以及氢的合成和回收，伪连续地制造碳纳米管和氢。
以下对构成本发明的碳纳米管和氢的制造方法的主要要素，按各要素分别说明。
[一般]
本发明的碳纳米管和氢的制造方法，是通过使用担载了催化剂的支承体，在该支承体上使原料气体流通，从而进行碳纳米管和氢的合成(合成工序)的方法。此外，本发明的碳纳米管和氢的制造方法的优选的一个实施方式是优选在将支承体保持在加热状态下进行在支承体上的催化剂担载(催化剂担载工序)、碳纳米管和氢的合成(合成工序)、碳纳米管的分离(分离工序)、碳纳米管的回收(碳纳米管回收工序)、氢的回收(氢回收工序)的方法，更优选是反复进行各工序的方法。应予说明，作为支承体，可准备预先担载了催化剂的支承体，这种情况下，可省略催化剂担载工序。本发明并不是连续地进行催化剂担载、碳纳米管和氢的合成、碳纳米管的回收、氢的回收的连续式。所述的优选的本发明的制造方法，边切换气体流，边使改变各工序来反复进行碳纳米管和氢的合成，也称为伪连续合成。本发明中，优选采用热CVD法合成碳纳米管。该热CVD法是通过使成为高温而气化的原料在其蒸气的气相中或基材表面进行化学反应，从而形成固体材料的方法。
作为热CVD法，已知从基材、反应容器壁以热能的形式给予使该化学反应发生的能量的方法。特别地，优选根据使用的支承体的状态的不同，改变支承体的设置的方法。将蜂窝状、多孔状、纤维状、管状、丝状、网状、格子状、海绵状、板状、层状等的结构物用于支承体时，将支承体固定在反应器内而设置，加热到高温。向其表面供给催化剂原料等，在支承体的表面进行催化剂的担载，然后供给碳源等，进行碳纳米管和氢的合成。
将粉末状、珠状等的粒子用于支承体的情形下，在反应器内填充粒子。通过使催化剂原料、碳源等的气体在由该粒子形成的粒子层中流通，从而在固定床状态乃至流动床状态的粒子表面进行催化剂的担载、碳纳米管的合成。特别是在流动床热CVD法的情形下，支承体粒子通过载气等形成了在反应器内流动化的状态。将催化剂原料、碳源等供给于该气氛，在支承体的表面进行催化剂的担载、碳纳米管的合成。这种情况下，作为支承体，能够使用具有不与这些气体流一起从反应器排出的程度的重量的粒子。
在流动床热CVD法的情形下，也能够采取将在支承体粒子上生长的碳纳米管与支承体粒子一起回收的方法、通过分离气体流将在支承体粒子上生长的碳纳米管从支承体粒子分离并从排出气体中分离·回收的方法、和在支承体粒子上生长的碳纳米管边生长边剥离而同时进行合成和分离的方法的任一种。另一方面，由于氢常常在气流中合成，因此从排出气体分离·回收。作为反应器，能够使用气流床反应器、固定床反应器、移动床反应器、流动床反应器等。优选将催化剂的担载和碳纳米管的合成在时间上分开进行。由此，能够抑制催化剂和/或催化剂原料等混入生成物。供给到反应器的碳源、催化剂源、载体源、氧化气体、和载气的全部或其一部分能够在常温下供给到反应器。此外，供给到反应器的碳源、催化剂源、载体源、氧化气体和载气的全部或其一部分也能够在加热了的状态下供给。此外，可通过与从反应器排出的排出气体的热交换，将供给的气体加热。通过将供给的气体加热，能够防止支承体的温度的下降。
在采用通过分离气体流将碳纳米管从支承体粒子分离的工序的情形下，在碳纳米管的分离后，通过支承体的氧化处理，将没有完全分离的碳纳米管、作为副产物的石墨·无定形碳等残留碳除去后，能够进行催化剂的再担载。此外，通过分离气体将合成的碳纳米管从支承体分离后，可采用旋风分离器式、过滤器式、热泳式、涤气器式等回收手段进行回收。
此外，合成的氢(H2)含于排出气体中，并被从反应器排出。该排出气体中含有的氢能够采用一般的氢回收方法分离、回收。作为氢回收方法，可例示膜分离法、化学吸附法、物理吸附法、深冷分离法、吸附剂法等。这些中，作为氢回收方法，优选膜分离法。作为膜分离法中使用的氢分离膜，可例示多孔材料、钯、合金系等形成的膜。氢的回收可在碳纳米管的分离回收前进行，也可在碳纳米管的分离回收后进行。
此外，本发明的制造方法中，可采用如下方法：采用液相担载法乃至气相担载法使催化剂原料附着于支承体，进行烧成，从而使支承体担载催化剂。这种情况下，烧成可在反应器中进行，也可另外准备烧成炉，在反应器外进行催化剂在支承体上的担载后，将担载有该催化剂的支承体导入反应器内。
此外，本发明的制造方法中，未必在反应器中将碳纳米管从支承体分离。即，可从反应器中将碳纳米管附着的状态的支承体回收，在反应器外将碳纳米管从支承体分离、回收。此时的分离方法并无特别限定。
[反应温度]
所述的各工序及其反复，优选在将支承体保持在100℃以上、1200℃以下的温度的状态下进行。更优选在各工序及其反复中，支承体的温度的变动为500℃以下。使支承体的温度的优选的下限为100℃是意在催化剂的担载、碳纳米管的分离等工序中，不将液体状态的水导入反应器内。这是因为，如果使用液体状态的水，为了整合碳纳米管合成条件，时间上和热上的损失变得非常大。使支承体的温度的优选的上限为1200℃是意在成为碳源热分解而成为煤的温度以下。该温度因碳源的种类而异。此外，从更高效率地合成碳纳米管和氢的观点出发，更优选将支承体保持在600℃以上、1000℃以下的温度。
在此例示几个热分解的温度。碳源为反应性低的芳香族、甲烷的情形下，热分解的温度为1200℃左右。在其他的烷烃的情形下，热分解的温度为1000℃左右。在反应性高的醇、烯烃、炔烃的情形下，热分解的温度为900℃左右。优选支承体的温度变动小，由于残留碳的燃烧等，产生500℃以下程度的变动。500℃以下程度的温度变动在时间上的损失也小。此外，从更高效率地合成碳纳米管和氢的观点出发，更优选将支承体的温度变动控制在100℃以下。
[反应时间]
反复进行所述的各工序的情形下，其重复的周期可为10秒以上10小时以内即可。重复的周期中的碳纳米管和氢的合成时间为重复周期的时间的10％以上、99.99％以下。重复的周期中的碳纳米管的分离和催化剂再担载的时间为几十秒即可。碳纳米管和氢的合成的时间范围根据使碳纳米管的长度成为何种程度的目的而变化。如果合成时间长，能够合成长的碳纳米管。该合成时间由材料的种类、必要的碳纳米管的长度确定，但并不限定于所述的值。同样地，碳纳米管的分离、催化剂的再担载、支承体的再生所需的时间由材料的种类、加热温度等决定，因此并不限定于所述的值。
[支承体]
对于支承体，能尽可能地使支承体的表面积增大即可。但是，将比1μm小的微细结构形成于支承体，即使增大支承体的表面积，碳纳米管将微细结构迅速地闭塞，而且难以从微细结构内回收碳纳米管，因此不具有实质的效果。因此，优选支承体在其内部或周围具有宽0.03mm以上30mm以下的气体流路。
即，对于宽0.03mm以上30mm以下的流路，保持露出的支承体的表面积大，同时容易用小的阻力使气体流通，碳纳米管的回收也容易。如上所述，支承体每单位体积的表面积大为宜，具体地，作为将比1μm小的微细结构形成的表面除外的表面，优选具有0.1mm2/mm3以上的比表面积的表面。此外，支承体最优选具有1mm2/mm3以上1000mm2/mm3以下的比表面积的支承体。此外，支承体可以是例如作为使截面形状为四边形的四方管并列的结构已知的蜂窝结构。
在蜂窝结构以外，支承体可以是将多个板材并列的结构、将波形的板材并列的结构、将截面矩形的方管并列的结构的支承体等。此外，支承体可以是多孔状、纤维状、管状、丝状、网状、格子状、海绵状、板状、层状等结构的支承体，可将这些支承体固定在反应器中而利用。此外，支承体可以是粉末状、珠状等的粒子。在粒子的情形下，填充到反应器中，在固定床状态乃至流动床状态下使用。特别地，如果在流动床状态下使用，能够均一地混合，而且在碳纳米管合成中乃至合成后利用粒子间的摩擦能够将碳纳米管从粒子分离，因此特别优选。
出于耐热性、耐腐蚀性、耐化学品性、机械强度特性等良好的原因，优选将陶瓷用于支承体的材料。可将包含从O、N、C、Si、Al、Zr和Mg中选择的1种以上元素的公知的氧化物系、氮化物系、碳化硅系等陶瓷用于支承体。但是，支承体并不限于陶瓷，可使用包含从W、Ta、Mo、Ti、Al、Fe、Co和Ni中选择的1种以上元素的金属或合金构成的金属原料、碳。特别地，支承体最优选为氧化铝珠粒乃至氧化锆珠粒。
所述的支承体的加热采用以下的方法进行即可。通过将支承体加热，从而使催化剂高温化，供给含碳源的原料气体，进行碳纳米管和氢的合成。支承体的加热能够采用将该支承体直接加热或间接加热的手段进行。特别优选使用将支承体配置在加热到高温的加热炉内的手段。具体地，本发明中，采用热CVD法合成碳纳米管。该热CVD法是通过在气体、或者将液体原料气化后其蒸气的气相中、或者在基材表面的化学反应形成薄膜的方法。
作为热CVD法，已知从基材、反应容器壁以热能的形式给予使该化学反应发生的能量的方法。该加热方法可以是通过加热炉将反应器全体加热，从而合成碳纳米管的加热方法。此外，还可以通过将支承体通电加热，从而合成碳纳米管。即，可代替采用加热炉加热反应器全体而通过将支承体通电加热而合成碳纳米管。
[载体及其供给]
催化剂载体(载体层)包含从Si、Al、Mg、Zr、Ti、O、N、C、Mo、Ta和W中选择的1种以上的元素。例如，催化剂载体可由SiO2、Al2O3、MgO等氧化物、Si3N4、AlN等氮化物、SiC等碳化物形成。特别优选Al2O3-SiO2的复合氧化物。将催化剂载体的原料在气体状态下供给于反应器。催化剂载体的原料为常温的液体或固体的情形下，也可使其气体化，在气体状态下供给于反应器。供给的气体状态的催化剂载体的原料，接触支承体上而担载，在支承体上形成催化剂载体。
此外，通过加热炉加热整个反应器时，也可将常温的液体或固体的催化剂载体的原料直接供给到反应器内。利用加热的反应器的热使这些原料蒸发。由此，作为气体状态的原料供给于支承体。此外，也可同时担载催化剂载体和催化剂。催化剂载体的平均膜厚是1nm以上100nm以下为宜。催化剂载体的再担载，与所述的催化剂载体的担载同样地，将气体状态的催化剂载体的原料供给于加热气氛而进行。此外，催化剂载体的再担载也可通过同时担载催化剂载体和催化剂而进行。
此外，也可在反应器外在支承体粒子上形成载体层乃至载体原料的层。例如，在使用Al2O3载体的情况下，使用硝酸盐、醋酸盐、氯化物、氢氧化物等含Al的盐的水溶液，使支承体粒子浸渍于水溶液，乃至将水溶液涂布于支承体粒子后，进行干燥，从而能够在支承体粒子上形成载体原料的层。通过将形成了载体原料层的支承体粒子导入高温的反应器内，能够将载体原料层热分解，形成Al2O3载体层。此外，也可使用反应器之外的其他高温容器，将载体原料层预先热分解后，将支承体粒子导入反应器内。此外，也可使用铝的醇盐的醇溶液，形成载体原料的层。
催化剂的成分中可包含从V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Mo、W和Au中选择的1种以上的元素。此外，催化剂在所述的催化剂载体(载体层)或兼作催化剂载体的支承体上形成。催化剂的大小，优选直径为0.4nm以上15nm以下。催化剂优选为Fe或Co。
作为催化剂载体和催化剂的组合，从碳纳米管的生产率的观点出发，优选催化剂载体为Al2O3，催化剂为Fe。此外，从高效率地得到直径小的碳纳米管的观点出发，优选催化剂载体为Al2O3，催化剂为Co。
本发明的催化剂的制作如下所述进行。本发明的催化剂能够通过使催化剂的原料成为气体，使其接触支承体上，从而担载。在气体状态下将催化剂供给到反应器。催化剂也能够通过将常温的液体或固体的原料供给到反应器，利用反应器内的加热气氛的热使原料蒸发而供给。催化剂通过使催化剂的原料成为气体的气体原料接触支承体上而担载。在支承体不具有担载催化剂的功能的情形下，将催化剂载体担载在支承体上，在担载的催化剂载体上担载催化剂。
此外，也可在反应器外在支承体粒子上的载体层上形成催化剂粒子乃至催化剂原料的层。例如，在将Fe粒子用于催化剂的情形下，通过使用硝酸盐、醋酸盐、氯化物、氢氧化物等含Fe的盐的水溶液，使支承体粒子浸渍于水溶液，乃至在支承体粒子涂布水溶液后，进行干燥，能够在支承体粒子上的载体层上形成催化剂原料的层。通过将形成了催化剂原料层的支承体粒子导入高温的反应器内，从而能够将催化剂原料层热分解而形成Fe催化剂粒子。此外，也可使用反应器之外的其他高温容器，预先将催化剂原料层热分解后，在反应器内导入支承体粒子。此外，还能够通过使用载体原料和催化剂原料的混合溶液，从而在支承体粒子上同时担载载体和催化剂。
在支承体具有担载催化剂的功能的情况下，在支承体上直接担载催化剂。此外，催化剂的再担载也能够通过同时担载催化剂载体和催化剂而进行。在再担载前，优选对担载有催化剂的支承体进行再生处理。支承体的再生处理能够定期地或不定期地进行。支承体的再生处理可伴有用于将分离时残留的碳纳米管、副产物的石墨·无定形碳除去的氧化处理。在合成的碳纳米管的分离时，大量催化剂残留在载体上。
如果继续碳纳米管和氢的合成，催化剂的纳米粒子有时粗大化而失去催化剂功能。此外，如果催化剂的纳米粒子粗大化，有时在催化剂上合成的碳纳米管的特性发生变化。因此，通过在失活的催化剂上担载催化剂载体，进而担载催化剂，从而进行担载有催化剂的支承体的功能的再生。所述氧化处理可以是使含氧作为元素的气体在加热状态的支承体上流通的方法。
如果采用所述方法进行支承体的再生处理，进行催化剂载体和催化剂的再担载，则将催化剂载体和催化剂以足够的厚度多层化，催化剂的活性得以维持乃至改善的同时，碳纳米管从支承体的分离也变得容易。因此，通过采用本发明的方法反复进行碳纳米管和氢的合成，以高生产率制造碳纳米管和氢成为可能。
[碳源及其供给]
碳源含有碳原子和氢原子，在加热状态下将其分解。碳源可包含从炔·烯(烯烃)、烷烃(链烷烃)、醇类、醚类、醛类、酮类、芳香族烃、热分解性高分子和石油中选择的1种以上。这些中，碳源优选为炔烃、烯烃、烷烃和芳香族烃这样的只由碳原子和氢原子组成的烃，更优选反应性高的乙炔。碳源可在气体状态下供给到反应器内。碳源也可将常温的液体或固体的原料供给到反应器，通过反应器内的加热气氛的热使原料蒸发而供给。碳源可作为只由碳源组成的气体供给，也可与载气等气体混合而供给。
通过使含碳源的原料气体在优选0.001MPa(0.01大气压)～1.013MPa(10大气压)下在支承体上流通来进行热CVD法。具体地，通过将含碳源的气体在0.001MPa(0.01大气压)～1.013MPa(10大气压)下向所述的催化剂送气，从而进行碳纳米管和氢的合成。此时，优选将碳源蒸气混合于氢、氩、氮等载气，向所述的催化剂送气。
[生成物]
合成的碳纳米管的直径为0.4nm以上10nm以下即可。碳纳米管的直径由催化剂的种类、其大小决定，并不限于该值。碳纳米管的长度由合成时间决定，在需要短的碳纳米管的用途的情形下，将合成时间缩短。在需要长的碳纳米管的用途的情形下，延长合成时间。
碳纳米管可以是单层的碳纳米管，也可由多个层构成。碳纳米管可由1层以上10层以下的层构成。本发明的碳纳米管和氢的制造方法能够制造各种结构的碳纳米管，是适合制造SWCNT的方法。此外，对于本发明的制造方法，通过控制催化剂的大小、成分，能够制造各种结构的碳纳米管。对于以往的制造方法，难以高效率地生产SWCNT，但根据本发明的制造方法，能够飞跃地改善SWCNT的生产率。
[分离·回收]
合成的碳纳米管层叠或滞留在催化剂、催化剂载体、支承体等的表面或附近，因此有必要将其分离而只回收碳纳米管乃至与支承体一起回收。
在反应器内进行碳纳米管的分离的情形下，合成的碳纳米管在催化剂、催化剂载体、支承体等的表面或附近层叠或滞留，因此通过非恒定的气体脉冲或恒定的分离气体流将碳纳米管分离为宜。所谓非恒定的气体脉冲，是指对于氩、氮等非活性气体的流速以一定周期制作脉冲状的流动。所谓恒定的气体流，是指流速一定的非活性气体流乃至碳源气体流。利用分离气体流产生的动压将支承体上的碳纳米管分离。具有密度、速度的流体所具有的动能具有压力的维数，其为动压。从包含利用该动压分离的碳纳米管的气体，采用适当的回收手段，能够回收碳纳米管。作为回收手段，能够使用过滤器、旋风分离器等。在过滤器的情况下，能够用过滤器过滤包含利用该动压分离的碳纳米管的气体，在过滤器上捕集碳纳米管。
在旋风分离器的情形下，从包含利用该动压分离的碳纳米管的气体，通过旋风分离器式的分离器，利用其惯性力之差，能够将碳纳米管分离、回收。此外，也能够使包含分离的碳纳米管的气体与液体接触，将碳纳米管捕集到液体中。此外，还能够使包含分离的碳纳米管的气体，利用气体流，与比气体流的温度低的固体壁或液体壁接触，利用热泳捕集碳纳米管。
此外，在反应器外进行碳纳米管的分离的情形下，从反应器中将碳纳米管附着的状态的支承体回收，从支承体进行碳纳米管的分离。支承体为多孔状、纤维状、管状、丝状、网状、格子状、海绵状、板状、层状等结构的情形下，通过机械操作将支承体从反应器取出即可。支承体为粉末状、珠状等粒子的情形下，能够采用利用气体流使支承体从反应器向上方流出的方法、利用重力使支承体从反应器向下方流出的方法、通过机械操作将支承体取出的方法等。对从在反应器外取出的支承体分离碳纳米管的方法并无特别限定。
[制造工序]
本发明的碳纳米管和氢的制造方法的概要如下所述。本发明的特征在于，能够大量地制造碳纳米管，与此同时也能够制造氢。首先，准备比表面积大的固体的支承体(第1工序)。然后，在支承体上担载催化剂载体(第2工序)。支承体也能够兼作催化剂载体。除了供给载体原料蒸气来将催化剂载体的层成膜的方法以外，例如，也可将支承体的表面直接作为载体利用，也可对支承体的表面进行氧化处理等，制作氧化层，其兼作催化剂载体。
然后，在催化剂载体上担载纳米粒子的催化剂(第3工序)。将该支承体上的催化剂加热，作为原料气体，边供给在载气等中混合的作为挥发性化合物的碳源边使碳纳米管生长，同时合成氢(第4工序)。在碳纳米管和氢的合成后，将非活性气体等分离气体送风，将在支承体、催化剂、催化剂载体等的表面或附近堆积或滞留的碳纳米管分离(第5工序)。将该分离气体以按一定周期反复的脉冲状送风或者以一定速度送风。然后，采用适当的回收手段将分离的碳纳米管回收(第6工序)。进而，采用适当的回收手段将排出气体中所含的氢回收(第7工序)。
然后，将附着有纳米粒子的催化剂的支承体再生(第8工序)。即，为了反复利用支承体，进行支承体上的催化剂的再担载。不过，该支承体的再生可按定期或不定期的间隔进行。换言之，该支承体的再生优选根据需要进行。反复多次进行碳纳米管的合成、回收后，催化剂的催化功能降低时，进行该支承体的再生为宜。然后，以所述的周期加热支承体上的催化剂，边供给碳源边进行碳纳米管的生长和氢的合成(第4工序)。这样，将带有纳米粒子催化剂的支承体再生，伪连续地进行碳纳米管和氢的合成。
此外，在所述的第5工序中，可将在支承体、催化剂、催化剂载体等的表面或附近堆积或滞留的碳纳米管与支承体一起在反应器外回收(第5工序)。采用适当的手段从在反应器外回收的支承体将碳纳米管分离·回收(第6工序)。进而，采用适当的回收手段将排出气体中所含的氢回收(第7工序)。
然后，将预先担载有催化剂原料乃至催化剂粒子的支承体导入加热状态的反应器内(第8工序)。即，通过与支承体一起更换催化剂，使催化剂的功能再生。然后，以所述的周期将支承体上的催化剂加热，边供给碳源边进行碳纳米管的生长和氢的合成(第4工序)。这样，反复进行带有纳米粒子催化剂的支承体的导入和回收，伪连续地进行碳纳米管和氢的合成。这样的制造方法中，通过在温度恒定的情况下，与支承体一起回收碳纳米管，供给新的支承体，从而能够获得良好的生产率。此外，由于将催化剂固定在支承体上，因此能够容易地进行碳纳米管和带有催化剂的支承体的分离。此外，与支承体一起回收碳纳米管的情形下，也将支承体的导入与碳纳米管和H2的同时制造在时间上切换进行。即，在供给催化剂原料使催化剂附着在支承体上的情形下，在将催化剂原料附着的支承体供给到反应器的情形下，在将担载有催化剂粒子的支承体供给到反应器的情形下，由于都是将制作催化剂粒子的工序和合成碳纳米管的工序在时间上分开，因此得到的碳纳米管的纯度提高、催化剂的高度控制等成为可能。
以上的第1～第8工序是本发明的制造方法的优选的一个实施方式，但如前所述，本发明的制造方法也可采用其他实施方式。
包含所述的第1～第8工序的制造方法，能够与背景技术中说明的将A方法和B方法组合的合成方法对位。即，是通过使用比表面积大的支承体来制作B方法的担载催化剂，模拟地从二维空间向三维空间展开的方法。进而，在时间上将催化剂担载、合成、分离的工序加以切换而进行，反复进行。在该切换、反复时，将支承体保持在加热状态。因此，能够大体上连续地，严密地说伪连续地制造碳纳米管。
在包含使用在所述的反应器内通过分离气体将碳纳米管分离的方法的第1～第8工序的制造方法中，在支承体为加热状态的情况下，在时间上切换地供给碳源、和催化剂原料和/或碳除去气体流。如果这样切换气体流，能够防止催化剂混入生成物的碳纳米管。此外，碳源、催化剂原料都从1个供给部供给成为可能。因此，能够减少气体供给用的供给管的数目，能够对成本削减作出贡献。本发明中，如后述的实施例1中所示，将杂质控制在1％以下。
实施例1中，担载平均膜厚15nm的载体层和平均膜厚1.5nm的催化剂后，使约0.5mm的长度的碳纳米管生长。在碳纳米管的分离时，催化剂几乎残留在支承体上，将碳以外的杂质控制在1％以下。
以下边参照附图边对本发明的实施方式进行具体说明。再有，以下中，对进行包含使用在所述的反应器内通过分离气体分离碳纳米管的方法的第1～第8工序的本发明的碳纳米管和氢的制造方法时优选的碳纳米管和氢的同时制造装置进行说明。图1是表示用于制造碳纳米管和氢的本发明的实施方式的碳纳米管和氢的同时制造装置的概要的概略图。如图1中所示，本发明的碳纳米管和氢的同时制造装置，包括立置地设置的反应器1、加热器4、旋风分离器7、氢回收装置10。反应器1是用于合成碳纳米管和氢的反应器。反应器1的上部的直径变粗，下部由多孔板2分隔。多孔板2中设置有多个孔。
在反应器1的下部连接有用于供给气体的供给管5。从供给管5供给气体，通过多孔板2的孔，向反应器1内供给。作为该气体，供给载体原料蒸气、催化剂原料蒸气、碳源等原料气体，而且还供给氢、氩、氮等载气。但是，将其他的供给管设置在反应器的侧部、上部，能够供给所述的原料气体、载气等的一部分。
在反应器1的上部连接有从反应器1排出的气体用的排出管6。在该反应器1中填充支承体的粒子3而配置。如图1中所示，用点表示在反应器1中配置的粒子3。以将反应器1的外侧覆盖的方式，设置有加热器4。如果驱动加热器4，其会发热，通过热传导将粒子3加热，加热到规定的温度。如图1中所示，旋风分离器7用于从由反应器1排出的气体分离碳纳米管。如图1中所示，氢回收装置10用于从分离了碳纳米管的排出气体对氢进行分离、回收。
与反应器1连接的排出管6，与旋风分离器7连接。由此，将来自反应器1的排出气体供给到旋风分离器7。如果在粒子3被加热的状态下，使载体原料蒸气和催化剂原料蒸气流通，则在粒子3上形成催化剂。将带有催化剂的粒子3的概念图示于图2的(a)。如图2的(a)中所示，在粒子3上形成层状的载体(载体层)14和一部分被载体14添埋的形式的球状的催化剂15。催化剂15为纳米粒子，其粒径为约0.4nm～15nm。由于将粒子3加热，因此也将其上形成的载体14和催化剂15加热。
如果向其供给碳源，在催化剂15合成碳纳米管并生长。此外，在合成碳纳米管的同时合成氢。碳源蒸气从反应器1的下方与氢、氩、氮等载气一起作为原料气体输送，在规定时间期间供给碳源，合成碳纳米管和氢。在碳纳米管和氢的合成后，将碳纳米管从粒子3分离、回收。为了将碳纳米管从粒子3分离，从供给管5向反应器1内供给分离气体而进行。该分离气体的风速必须为将碳纳米管从粒子3，即催化剂15分离的程度的强度。
分离气体的供给，通过交替地反复分离气体的供给、供给的停止而进行，即以脉冲状送气。此外，碳纳米管越生长得长，越能够以小的风速分离，因此能够以恒定流速使原料气体流通，将生长得长的碳纳米管从粒子分离。此外，也能够使碳纳米管合成时的气体具有分离气体的功能。与分离气体相伴的碳纳米管，通过旋风分离器7将碳纳米管回收。从供给到旋风分离器7的气体，利用其惯性力之差，能够将碳纳米管分离、回收。从旋风分离器7的第1排出口8排出分离气体，从第2排出口9排出碳纳米管。
进而，如果在反应器1内不是固定床状态而是流动床状态下进行碳纳米管的合成，由于粒子3之间碰撞时的摩擦，碳纳米管剥离，因此在合成时能够恒定地将碳纳米管分离而优选。此外，可在合成后高速地将分离气体通气，使流动化状态剧烈，从而将碳纳米管定期地乃至不定期地分离。被分离、与气流相伴的碳纳米管通过旋风分离器7被回收。
与碳纳米管同时合成的氢，在碳纳米管的分离回收前或者碳纳米管的分离回收后被回收。例如，使碳纳米管合成时的原料气体具有分离气体的功能，边进行碳纳米管的合成边进行碳纳米管的分离的情况下，碳纳米管与含氢的排出气体相伴，被输送到旋风分离器7而回收，接着将与碳纳米管分离的排出气体输送到氢回收装置10，将氢回收。另一方面，分别进行利用原料气体的供给的碳纳米管和氢的合成以及利用分离气体的供给的碳纳米管的分离的情况下，将供给原料气体进行了合成后的排出气体在含有氢的状态下输送到氢回收装置10，将氢回收，接着通过分离气体的供给，将碳纳米管与分离气体相伴地输送到旋风分离器7而回收。
图3中示出了合成碳纳米管和氢时的工艺流程。作为整体，包括支承体的准备、载体的担载、催化剂的担载、碳纳米管和氢的合成、碳纳米管的分离、碳纳米管的回收、氢的回收以及催化剂的再生的工序。对各工序详细说明。
根据支承体和催化剂中使用何种支承体和催化剂，存在各种变形的实施方式。本实施方式是使用珠状的粒子作为支承体的实例。碳纳米管的合成中，支承体的比表面积是左右生产率的较大要素。但是，即使用纳米级的微细结构使比表面积变大，但由成为气体原料的扩散限速、即反应的气体原料与支承体接触的速度，决定反应速度，因此只能利用表面的一部分。
此外，纳米级的微细结构存在如下问题：被生长的碳纳米管闭塞，迅速地丧失功能，而且在微细孔内形成的碳纳米管的回收困难。此外，也难以通过支承体使气体流通。因此，有必要用与气体界面薄膜同程度的尺寸级的结构体使比表面积发挥作用，同时确保气体的流路。以往将1张基板用于支承体。基板具有二维结构，气体流路的确保也容易，但只能利用反应器中的3维空间的极少的一部分。因此，通过不是基板而是粒子，填充到反应器中，从而能够在确保气体流路的同时使表面积增加。
例如，如果填充N3个直径d的粒子，则表面积为πd2N3，与设置了1张直径为Nd的圆板时的表面积πN2d2/4相比，能够增加到4N倍。从该观点出发，珠状的粒子具有理想的结构。粒子由直径0.2mm～2mm程度的陶瓷构成，其比表面积在将直径记为d时为(πd2)/(πd3/6)＝6/d[mm2/mm3]，d＝0.5[mm]时为12[mm2/mm3]。另一方面，粒子间的间隙与粒径相同程度，因此能够充分地确保0.03mm以上30mm以下的气体流路宽。
[载体和催化剂的担载]
将填充了粒子作为支承体的反应器加热后，使载体原料蒸气流通，以覆盖支承体的方式使载体堆积。也能够使支承体具有载体的功能，此时不必担载载体。接下来，使催化剂原料蒸气流通，担载成为催化剂的纳米粒子。再有，也能够同时供给载体原料蒸气和催化剂原料蒸气，同时担载载体和催化剂。
此时，催化剂在载体上偏析，仍在载体上形成催化剂纳米粒子。再有，也能够在支承体粒子为固定床状态下进行载体和催化剂的担载，但如果在支承体粒子为流动床状态下进行载体和催化剂的担载，则将支承体粒子均一地混合，因此也能够将载体和催化剂均一地担载，更优选。
再有，可如图4那样，使成为催化剂的原料的载体原料和催化剂原料附着在支承体上，在反应器中进行加热处理，从而使催化剂担载在支承体上。此外，准备对附着有载体原料和催化剂原料的支承体进行活性化处理而担载有催化剂的支承体，可将其填充到反应器内。这种情况下，不需要在反应器内进行使催化剂担载于支承体的催化剂担载工序。再有，作为使载体原料和催化剂原料附着在支承体上的方法，可在溶解这些原料而得到的溶液中浸渍支承体后加以干燥，也可将溶解这些原料而得到的溶液涂布于支承体后加以干燥。此外，也可采用物理蒸镀法、溅射法、CVD法等使气体状的载体原料和催化剂原料附着在支承体上。此外，可使支承体兼有载体的功能，使催化剂原料直接附着在支承体上，也可在支承体上直接担载催化剂粒子。
[支承体上的碳纳米管和氢的合成]
如果在加热后的、担载有催化剂的支承体上使碳源蒸气流通，则能够在支承体上合成碳纳米管，同时能够合成氢。也能够在支承体粒子为固定床状态下进行碳纳米管和氢的合成，如果在支承体粒子为流动床状态下进行碳纳米管和氢的合成，则将支承体粒子均一地混合，因此能够均一地合成碳纳米管，同时能够高效率地合成氢，所以更优选。
[从支承体的碳纳米管的分离]
合成的碳纳米管与担载催化剂的分离通过供给分离气体而进行。分离气体可以是以一定速度、一定时间期间将对合成为非活性的气体反复进行供给和停止的方法、即以脉冲状使其变化而供给的气体脉冲或者连续的以一定流速供给的分离气体。此外，可将对碳纳米管合成为活性的气体用作分离气体。此外，如果不是固定床状态而是在流动床状态下进行碳纳米管的合成，由于粒子之间碰撞时的摩擦，碳纳米管剥离，因此在合成时能够恒定地将碳纳米管分离，所以更优选。此外，可通过在合成后将分离气体高速地通气而使流动化状态剧烈，从而将碳纳米管定期地乃至不定期地分离。
[从支承体的碳纳米管的分离]
合成的碳纳米管与担载催化剂的分离通过供给分离气体而进行。分离气体可以是以一定速度、一定时间期间将对合成为非活性的气体反复进行供给和停止的方法、即以脉冲状使其变化而供给的气体脉冲或者连续的以一定流速供给的分离气体。此外，可将对碳纳米管合成为活性的气体用作分离气体。此外，如果不是固定床状态而是在流动床状态下进行碳纳米管的合成，由于粒子之间碰撞时的摩擦，碳纳米管剥离，因此在合成时能够恒定地将碳纳米管分离，所以更优选。此外，可通过在合成后将分离气体高速地通气而使流动化状态剧烈，从而将碳纳米管定期地乃至不定期地分离。
再有，碳纳米管从支承体的分离未必在反应器内进行，可将碳纳米管附着的状态的支承体从反应器中回收后，进行碳纳米管从支承体的分离。此时的分离方法并无特别限定。此外，这种情况下，下述的碳纳米管的回收也在反应器外进行。
[碳纳米管的回收]
将分离并且与气流相伴的碳纳米管回收。关于该回收，能够采用各种方法。例如，能够用过滤器将包含分离的碳纳米管的气体过滤，将碳纳米管捕集到过滤器上。此外，利用旋风分离器，能够将碳纳米管从其他的气体分离。
[氢的回收]
将合成后从反应器排出的排出气体中含有的氢(H2)回收。该排出气体中含有的氢能够采用一般的氢回收方法加以分离、回收。作为氢回收方法，可例示膜分离法、化学吸附法、物理吸附法、深冷分离法、吸附剂法等。这些中，作为氢回收方法，优选膜分离法。作为在膜分离法中使用的氢分离膜，可例示多孔材料、钯、合金系等形成的膜。此外，在图3的工艺流程中，使氢的回收在碳纳米管的回收之后，但氢的回收也可在碳纳米管的分离和回收前进行。
[催化剂的再担载]
与碳纳米管和氢的合成相伴失活的催化剂的再生，是对碳纳米管的大量合成、连续的生产、低价格化重要的要素技术。失活的原因首先可例示作为催化剂的金属纳米粒子的氧化、碳化，但这些失活的催化剂通过将催化剂氧化后进行还原，能够回复到高活性的金属状态。但是，如果更长时间地利用催化剂，发生作为催化剂的金属纳米粒子的数目减少、粒径增加的粗大化，难以将粗大化的金属纳米粒子再次微细化。
关于本实施方式，通过再担载催化剂，从而能够将支承体反复利用。为此，首先，将合成的碳纳米管从催化剂分离。然后，进行将残留的碳纳米管、作为副产物的石墨·无定形碳除去的氧化处理。氧化处理后，使载体原料蒸气流通，以将失活的粗大的催化剂粒子覆盖的方式使载体堆积。进而，使催化剂原料蒸气流通，在载体上再担载活性的微细的催化剂粒子。
再有，也能够同时供给载体原料蒸气和催化剂原料蒸气，同时再担载载体和催化剂。此时，催化剂在载体上偏析，仍在载体上形成催化剂粒子。再有，也能够在支承体粒子为固定床状态下进行载体和催化剂的再担载，但如果在支承体粒子为流动床状态下进行载体和催化剂的再担载，则将支承体粒子均一地混合，因此也能够将载体和催化剂均一地再担载，因此更优选。如图3中所示，氧化处理、载体的再担载可根据需要进行。
此外，在将碳纳米管附着的状态的支承体从反应器中回收的情况下，重新将支承体导入反应器中，进行催化剂的担载。此时，可如图4那样将预先担载有催化剂的支承体导入，还可在分离了碳纳米管后的支承体上担载催化剂原料乃至催化剂后再次导入反应器。
[关于反复操作]
通过在催化剂的再担载完成的支承体上使碳源蒸气流通，从而能够再次开始碳纳米管和氢的合成。对于碳纳米管和氢的合成、碳纳米管的分离和回收、氢的回收、支承体的氧化处理、载体和催化剂的再担载的反复操作的周期，使碳纳米管和氢的合成所占的时间延长，这是碳纳米管生产率提高的关键。如果在支承体粒子为固定床状态下进行碳纳米管和氢的合成，则随着碳纳米管生长得长，碳源蒸气无法到达支承体上的催化剂，碳纳米管和氢的合成速度降低。
此时，有必要稍早地进行碳纳米管从支承体的分离。另一方面，如果在支承体粒子为流动床状态下进行碳纳米管和氢的合成，由于支承体粒子间的碰撞时的摩擦，碳纳米管从支承体粒子剥离。因此，碳源蒸气向支承体粒子上的催化剂粒子的供给良好，能够持续碳纳米管和氢的合成直至催化剂失活，因此更优选。依赖于操作和合成条件等，但氧化处理和载体·催化剂的再担载可进行1秒以上10分钟以下。
另一方面，碳纳米管和氢的合成优选持续10秒以上10小时以下。因此，反复操作的周期优选为10秒以上10小时以下，优选将周期的10％以上99.99％以下的时间用于碳纳米管和氢的合成。再有，反复操作的周期与碳纳米管和氢的合成所占的时间比例并不限定所述内容。
图5是用于制造碳纳米管和氢的本发明的碳纳米管和氢的同时制造装置的另一实例的概略图。图5是固定床CVD的情形的本发明的碳纳米管和氢的同时制造装置的概要。反应器21与上述同样地由横置型的圆筒构成。将支承体的粒子23聚集在舟皿22中，配置在反应器21内。其他的动作与上述的本发明的碳纳米管和氢的同时制造装置同样，省略其说明。此外，图2的(b)中示出了支承体为固定基板3的情形的催化剂15。
实施例
接下来通过实施例对本发明的实施方式进行详细说明。
(实施例1)
对本发明的实施例1进行说明。其中，使用氧化铝珠粒作为支承体，在其上担载有Al2O3载体。Al2O3载体在氧化铝珠粒上溅射成膜。氧化铝珠粒为直径0.5mm。Al2O3载体(载体层)的平均膜厚为15nm。而且，在Al2O3载体上担载有Fe作为催化剂。该担载采用溅射担载进行。在Al2O3载体上担载的Fe，平均膜厚为1.5nm。将该支承体装入反应器中，边将1.1体积％C2H2/26体积％H2/0.06体积％H2O/Ar余量的常压的原料气体供给到反应器中，边在流动床状态下合成碳纳米管和氢。
反应器是图6中所示的石英玻璃制的反应器，是既能够作为固定床也能够作为流动床利用的立置型CVD反应器。反应器内的反应部分的温度为820℃。常压的原料气体的供给是以每1m3反应器的容积为6.7m3/s(按室温换算为1.8m3/s)的供给量进行10分钟，合成了碳纳米管和氢。将碳纳米管和氢合成后，将碳纳米管附着的氧化铝珠粒从反应器取出，将碳纳米管回收。图7(a)～(g)是碳纳米管附着的氧化铝珠粒的扫描型电子显微镜照片。本实施例中，由于将溅射法用于催化剂的担载，因此只在氧化铝珠粒的半面担载有催化剂。因此，碳纳米管只在氧化铝珠粒的半面生成。根据本实施例，在流动床中进行了碳纳米管的合成，结果合成的碳纳米管能够合成到高0.5mm。在10分钟的合成时间期间，每1m3反应器容积，供给13kg的C2H2，能够合成每1m3反应器容积为8.0kg的碳纳米管。在供给的13kg的C2H2中含12kg的碳原子和1kg的氢原子，但能够将其中的65％转化为碳纳米管和H2。图8是合成的碳纳米管的透射型电子显微镜像。能够合成直径3nm左右的单层碳纳米管。图9是单层碳纳米管的热重量测定结果。气氛气体使用了空气。400℃以下的重量减少是无定形碳的燃烧产生的，无定形碳的混入为5wt％以下。600℃前后的重量减少是由单层碳纳米管的燃烧产生的，700℃以上残留的重量是催化剂的混入产生的。催化剂的混入为1wt％以下。
(实施例2)
对本发明的实施例2进行说明。其中，使用氧化铝珠粒作为支承体。通过使氧化铝珠粒浸渍于硝酸铝水溶液后，进行干燥·烧成，从而在氧化铝珠粒上担载了Al2O3载体。通过将担载有Al2O3载体的氧化铝珠粒浸渍于硝酸铁水溶液后，进行干燥·烧成，从而在氧化铝珠粒上的Al2O3载体上担载了Fe粒子。将该支承体装入反应器，边将1.1体积％C2H2/26体积％H2/0.06体积％H2O/Ar余量的常压的原料气体供给到反应器，边在流动床状态下合成了碳纳米管和氢。
反应器是图6中所示的石英玻璃制的反应器，是既能够作为固定床也能够作为流动床利用的立置型CVD反应器。反应器内的反应部分的温度为820℃。常压的原料气体的供给是以每1m3反应器的容积为6.7m3/s(按室温换算为1.8m3/s)的供给量进行10分钟，合成了碳纳米管和氢。将碳纳米管和氢合成后，将碳纳米管附着的氧化铝珠粒从反应器取出，将碳纳米管回收。图10(a)～(c)是碳纳米管附着的氧化铝珠粒的扫描型电子显微镜照片。本实施例中，由于将溶液浸渍法用于催化剂的担载，因此在氧化铝珠粒的整个面担载有催化剂。因此，碳纳米管在氧化铝珠粒的整个面生成。根据本实施例，在流动床中进行了碳纳米管的合成，结果合成的碳纳米管能够合成到高0.2mm。
(实施例3)
对本发明的实施例3进行说明。其中，使用氧化铝珠粒作为支承体。氧化铝珠粒为直径0.5mm。反应器是图6中所示的石英玻璃制的反应器，是既能够作为固定床也能够作为流动床利用的立置型CVD反应器。将氧化铝珠粒导入反应器内后，将反应器加热到820℃并保持。以Ar作为载气，将异丙醇铝蒸气3分钟导入反应器内，将Al2O3载体层担载到氧化铝珠粒上。其次，以Ar作为载气，将二茂铁蒸气1分钟导入反应器内，将Fe催化剂粒子担载到Al2O3载体层上。
接下来，通过向在高温的反应器中保持的、担载有催化剂的氧化铝珠粒上，供给原料气体，从而进行了碳纳米管和氢的同时合成。常压的原料气体的供给是以每1m3反应器的容积为6.7m3/s(按室温换算为1.8m3/s)的供给量进行10分钟，合成了碳纳米管和氢。将碳纳米管和氢合成后，将碳纳米管附着的氧化铝珠粒从反应器取出，将碳纳米管回收。图11(a)～(b)是碳纳米管附着的氧化铝珠粒的扫描型电子显微镜照片。本实施例中，由于将CVD法用于催化剂的担载，因此在氧化铝珠粒的整个面担载有催化剂。因此，碳纳米管在氧化铝珠粒的整个面生成。根据本实施例，在流动床中进行了碳纳米管的合成，结果合成的碳纳米管能够合成到高0.2mm。
(实施例4)
对本发明的实施例4进行说明。其中，使用氧化铝珠粒作为支承体。氧化铝珠粒为直径0.5mm。反应器是图6中所示的石英玻璃制的反应器，是既能够作为固定床也能够作为流动床利用的立置型CVD反应器。将氧化铝珠粒导入反应器内后，将反应器加热到820℃并保持。以Ar作为载气，将异丙醇铝蒸气1分钟导入反应器内，将Al2O3载体层担载到氧化铝珠粒上。其次，以Ar作为载气，将二茂铁蒸气1分钟导入反应器内，将Fe催化剂粒子担载到Al2O3载体层上。
接下来，通过向在高温的反应器中保持的、担载有催化剂的氧化铝珠粒上，供给原料气体，从而进行了碳纳米管和氢的同时合成。常压的原料气体的供给是以每1m3反应器的容积为6.7m3/s(按室温换算为1.8m3/s)的供给量进行10分钟，合成了碳纳米管和氢。将碳纳米管和氢合成后，导入分离气体，从氧化铝珠粒将碳纳米管分离，再从排出气体将碳纳米管分离·回收。
接下来，将含氧的Ar气体作为氧化气体，10分钟导入反应器内，将在分离了碳纳米管的氧化铝珠粒上残留的碳氧化·除去。接下来，以Ar作为载气，将异丙醇铝蒸气1分钟导入反应器内，将Al2O3载体再担载到氧化铝珠粒上，再以Ar作为载气，将二茂铁蒸气1分钟导入反应器内，将Fe催化剂粒子再担载到Al2O3载体上。这以后，采用同样的操作，在将反应器保持在820℃的加热状态的情况下，进行了碳纳米管和氢的合成、从支承体的碳纳米管的分离·回收、支承体上的残留碳的除去、在支承体上的载体·催化剂的再担载。
图12(a)～(m)为回收的碳纳米管的照片。随着反复次数增加，碳纳米管的量增加，用6次碳纳米管就充满(图12(g))。从回收器将碳纳米管取出，如果继续伪连续合成，接下来用2次(第8次)回收器就已充满(图12(i))。以后每反复操作2次回收器就充满(图12(k)、(m))。反复操作1次，就能合成每1m3反应器容积为8.7kg的碳纳米管。每1m3反应器容积供给的13kg的C2H2中包含12kg的碳原子和1kg的氢原子，但能够将其中的70％转化为碳纳米管和H2。图13是合成的碳纳米管的透射型电子显微镜像。能够合成包含单层碳纳米管的直径5～10nm左右的碳纳米管。
产业上的利用可能性
本发明的碳纳米管和氢的制造方法，能够进行碳纳米管的大量生产，能够使其制造成本也大幅度降低。因此，本发明中制造的碳纳米管的用途，在透明电极、半导体薄膜、锂离子电池的电极材料、燃料电池的电极材料、双电层电容器的电极材料、复合聚合物的填充材料、电子发射枪、场致发射显示器、显微镜探针、气体吸藏材料等中的应用受到关注。特别地，本发明中制造的单层碳纳米管的用途，在透明电极、锂离子电池的电极材料、双电层电容器的电极材料等中的应用受到关注。此外，根据本发明的碳纳米管和氢的制造方法，能够同时制造氢，因此其制造成本也能够大幅度地降低。即，由于能够在制造碳纳米管的过程中制造氢，因此实质上不需要制造成本，只用回收成本就能够得到氢。
附图标记的说明
1、21...反应器，2...多孔板，3...支承体(粒子、固定基板)，4、24...加热器，7...旋风分离器，10...氢回收装置，14...载体，15...催化剂，22...舟皿。

Claims (27)

1.一种碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，
是使用含有碳原子和氢原子并且在加热状态下被分解的碳源、和用于由该碳源生成碳纳米管和H2的催化剂，在反应器中配置的加热状态的支承体上合成所述碳纳米管，同时从所述碳源合成所述H2的碳纳米管和氢的同时制造方法，具有如下合成工序：
通过使含所述碳源的原料气体在担载有所述催化剂的所述支承体上流通，在所述支承体上合成所述碳纳米管，同时在气流中合成所述H2。
2.如权利要求1所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，
所述合成工序中所述原料气体的供给量是每1m3所述反应器的容积为0.01～100m3/s。
3.如权利要求1或2所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，
所述支承体在该支承体的内部或周围具有宽0.03mm以上30mm以下的气体流路。
4.如权利要求1～3中任一项所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，
所述支承体是具有从粉末状、珠状、蜂窝状、多孔状、纤维状、管状、丝状、网状、格子状、海绵状、板状和层状中选择的1种形状的结构物。
5.如权利要求4所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，
所述支承体为粉末状或珠状，在流动床状态下进行所述合成工序。
6.如权利要求1～5中任一项所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，
所述催化剂包含载体层和催化剂粒子。
7.如权利要求6所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，
所述催化剂粒子包含从V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Mo、W和Au中选择的至少一种元素。
8.如权利要求6或7所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，
所述载体层包含从Si、Al、Mg、Zr、Ti、O、N、C、Mo、Ta和W中选择的至少一种元素。
9.如权利要求1～5中任一项所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，
所述支承体的原料包含从Si、Al、Mg、Zr、Ti、O、N、C、Mo、Ta和W中选择的至少一种元素。
10.如权利要求6～9中任一项所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，
所述支承体兼有所述载体层的作用，将所述催化剂粒子直接担载到该支承体上。
11.如权利要求1～10中任一项所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，
在所述合成工序前，具有通过使成为所述催化剂的原料的催化剂原料在加热状态的所述支承体上流通从而在所述支承体上担载所述催化剂的催化剂担载工序。
12.如权利要求1～11中任一项所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，具有：
分离工序，其通过使分离气体在合成了所述碳纳米管的所述支承体上流通，从而将所述碳纳米管从所述支承体分离到所述分离气体中；和
除去工序，其通过使氧化气体在将所述碳纳米管分离后的所述支承体上流通，从而将所述支承体上残留的碳氧化除去；
在将所述支承体保持在加热状态的情况下通过切换向所述反应器供给的气体来反复进行碳纳米管和氢的同时制造方法中的各工序。
13.如权利要求12所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，
具有从由所述反应器排出的排出气体中回收碳纳米管的碳纳米管回收工序、和
从所述排出气体中回收H2的氢回收工序。
14.如权利要求1～10中任一项所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，
在所述合成工序前具有如下的催化剂担载工序：使成为所述催化剂的原料的催化剂原料在所述支承体上附着，将附着有所述催化剂原料的所述支承体导入所述反应器中，在所述反应器中对附着有所述催化剂原料的所述支承体进行加热处理，使所述催化剂担载于所述支承体上。
15.如权利要求1～10中任一项所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，
在所述合成工序前具有将担载有所述催化剂的所述支承体导入所述反应器的导入工序。
16.如权利要求14或15所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，
在所述合成工序后，具有从所述反应器中回收合成了所述碳纳米管的所述支承体的支承体回收工序，
反复进行碳纳米管和氢的同时制造方法中的各工序。
17.如权利要求16所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，具有：
从合成了所述碳纳米管的所述支承体上将碳纳米管分离回收的碳纳米管回收工序、和
从由所述反应器排出的排出气体中回收H2的氢回收工序。
18.如权利要求14或15所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，具有：
分离工序，其通过使分离气体在合成了所述碳纳米管的所述支承体上流通，从而将所述碳纳米管从所述支承体分离到所述分离气体中；和
支承体回收工序，从所述反应器中回收将所述碳纳米管分离后的所述支承体；
反复进行碳纳米管和氢的同时制造方法中的各工序。
19.如权利要求18所述的碳纳米管和氢的同时制造方法，其特征在于，具有：
从由所述反应器排出的排出气体中回收碳纳米管的碳纳米管回收工序、和
从所述排出气体中回收H2的氢回收工序。
20.一种碳纳米管和氢的同时制造装置，其特征在于，具有：
碳源供给装置，其供给含有碳原子和氢原子并且在加热状态下被分解的碳源；
催化剂反应装置，其通过在支承体上担载的催化剂将所述碳源分解，在所述支承体上合成碳纳米管，同时在气流中合成H2；
碳纳米管回收装置，其从所述催化剂反应装置回收所述碳纳米管；和
H2回收装置，其从所述催化剂反应装置回收所述H2。
21.如权利要求20所述的碳纳米管和氢的同时制造装置，其特征在于，
所述碳纳米管回收装置是在将所述碳纳米管保持在所述支承体上的状态下将所述碳纳米管与所述支承体一起回收，
所述H2回收装置从由所述催化剂反应装置排出的排出气体中回收所述H2。
22.如权利要求20所述的碳纳米管和氢的同时制造装置，其特征在于，
还具有供给将所述碳纳米管从所述支承体分离到气流中的分离气体的分离气体供给装置，
所述碳纳米管回收装置是从由所述催化剂反应装置排出的排出气体中回收所述碳纳米管，
所述H2回收装置从所述排出气体中回收所述H2。
23.如权利要求22所述的碳纳米管和氢的同时制造装置，其特征在于，
还具有供给除去碳的氧化气体的氧化气体供给装置，所述碳残留在分离了所述碳纳米管的所述支承体上。
24.如权利要求20～23中任一项所述的碳纳米管和氢的同时制造装置，其特征在于，
还具有在气体状态下向所述支承体上供给成为所述催化剂的原料的催化剂原料的催化剂原料供给装置。
25.如权利要求20～23中任一项所述的碳纳米管和氢的同时制造装置，其特征在于，
还具有将担载有成为所述催化剂的原料的催化剂原料的所述支承体供给到所述催化剂反应装置的支承体供给装置。
26.如权利要求20～23中任一项所述的碳纳米管和氢的同时制造装置，其特征在于，
还具有将担载有所述催化剂的所述支承体供给到所述催化剂反应装置的支承体供给装置。
27.如权利要求20～26中任一项所述的碳纳米管和氢的同时制造装置，其特征在于，
还具有对所述碳源、所述分离气体、所述催化剂原料、所述氧化气体和所述支承体中的任2个以上的供给进行切换的切换装置。
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