CN102472711B - 基板检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板检查装置。该基板检查装置能够迅速且正确地判断安装在面板基板周缘部的电子部件的安装状态的好坏，也能够容易地应对面板的大型化。该基板检查装置包括：移动台(1)，其使隔着各向异性导电膜安装有电子部件的透明的面板基板(10)(工件W)移动至预定的检查位置并定位；摄像部件(2)，其从安装有电子部件的面的背面侧透过上述基板(10)拍摄检查对象部位；线性驱动部件(3)，其用于使该摄像部件(2)沿着各检查对象部位滑动；信息处理部件，其用于判断上述拍摄到的检查对象部位的安装状态的好坏；以至少一个基板端部向侧方突出的状态，将基板(10)载置在上述移动台(1)的上表面(1a)，在上述摄像部件(2)的附近配设从下侧支承自上述移动台(1)突出的基板(10)的端部的固定台(4)。

Description

基板检查装置

技术领域

本发明涉及一种在液晶显示面板等平板且透明的面板基板的周缘部隔着各向异性导电膜安装有电子部件、组件等的电路板的检查装置。

背景技术

近年来，在制造液晶显示(LCD)面板、等离子体显示面板(PDP)、有机EL显示器等平板显示器面板(FDP)的过程中，在将驱动用IC等搭载在形成于该面板基板的周缘部的电极上的情况下等，在透明(玻璃)基板上的电极焊盘上安装芯片状的电子部件(IC、LSI等)、组件等时，采用隔着各向异性导电膜(ACF)粘贴该电子部件等并将它们之间电连接的方法。

在上述采用了ACF的芯片安装工序中，TAB方式和COG方式通常都按照向面板(元件)基板粘贴ACF-安装IC芯片-压接-检查压接状态的顺序进行，该工序(生产线)也由配置成一列的基板装载机、基板清洗装置、ACF粘贴装置、芯片安装压接装置、基板检查装置构成。

另外，在采用了该芯片安装方法的情况下，作为判断上述驱动用IC等的安装状态好坏的方法，公知有采用微分干涉观察的方法。具体地讲，利用微分干涉显微镜等从IC芯片等的安装方向的背面侧(透光侧)观察安装有该IC芯片等的透明面板基板的电极部位，计数因被各向异性导电膜中的导电性粒子推压而形成在电极上的“压痕”数量，在压痕数量较多的情况下，判断为安装状态良好。

而且，作为自动地判断上述IC芯片等的安装状态好坏的方法，提出有通过使用CCD摄像机等的摄像部件观察(对比)压接部位而将导电性粒子的鼓起状态的形状、个数作为条件来判断的方法(专利文献1)、通过与预先测量、存储的压接部位的标准图像数据进行比较(图案匹配)而判断压痕的强弱、数量、错位、异物混入等的方法(专利文献2)等。

另外，本申请人也在日本特愿2008-53642中提出了电子部件检查方法及其所采用的装置，即，通过预先存储检查时的最佳焦距，利用该存储的最佳焦距的数据预测下一次之后检查时的最佳焦距，能够缩短摄像部件的对焦所需要的时间。

自动地判断这些IC芯片等的安装状态的装置(基板检查装置)均组装在上述那种芯片安装工序的最终过程部分，包括：台(移动台)，其用于载置由输送臂等从工序的上游侧移送(供给)来的芯片安装完毕的面板基板；以及带有微分干涉显微镜功能的摄像部件，其用于从该面板基板的背面侧拍摄上述芯片安装部分。另外，上述移动台构成为能够在X、Y、Z三个轴上独立地控制，并且绕沿着该Z轴的θ轴旋转自由，上述移动台能够使上述面板基板迅速地移动到上述摄像部件能够正确地拍摄到芯片的安装位置的位置(position)。

在此，上述移动台的上表面形成为平坦的圆形或者方形等，在其表面设有用于固定所载置的面板基板的吸附部件。另外，上述带有微分干涉显微镜功能的摄像部件为了从芯片安装面的背面侧(透光侧)观察安装有该芯片的透明面板基板的电极部位，在上述面板基板以其安装面朝上的方式载置在移动台上的情况下，上述摄像部件配置在比该移动台靠下侧。相反，在上述面板基板以其安装面朝下的方式载置在移动台上的情况下，上述摄像部件配置在比该移动台靠上侧。

另外，为了迅速地拍摄(检查)多个部位，包括多组上述带有微分干涉显微镜功能的摄像部件的检查装置也很多，这些摄像部件构成为能够在沿X方向或者Y方向设置的导轨上滑动。

但是，在上述那种自动地判断IC芯片等的安装状态的基板检查装置中，以面板基板的安装面朝上的方式载置在移动台上并用于从装置下侧拍摄安装部位(通常是显示面板的周缘部，在本申请中是检查对象部位)的类型的基板检查装置在该移动台中使用比检查对象基板面积较小的移动台，使得用于载置面板基板的移动台不会遮盖检查对象部位。

另外，在移动台为方形等并相对较大的情况下，为了防止该移动台与摄像部件接触，并更加易于从芯片安装部位的装置下侧进行拍摄操作，有时也采取这样的方法，即，在将检查对象基板载置在移动台上时，将该检查对象基板自移动台的上表面中心向摄像部件侧偏移地载置，使包含上述检查对象部位的检查对象端部自移动台的缘部突出。

专利文献1：日本特开2003-269934号公报

专利文献2：日本特开2005-227217号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，如上所述，在以其检查对象部位(端部)从移动台向侧方突出(横向延伸)的状态载置面板基板的基板检查装置中，在检查时摄像部件进行对焦(焦点)时，产生以下的问题。

1)面板基板产生翘曲、应变的问题

即，为了获得检查对象部位的微分干涉图像而采用的摄像部件(CCD摄像机、微分干涉显微镜等)的焦深(景深)为±几十μm左右，相对于此，作为检查对象的液晶显示(LCD)面板、等离子体显示面板(PDP)、有机EL显示器等平板显示器面板通常使用大尺寸的玻璃基材形成，因此，由制造时的加热、压迫、张力导致分别沿面板的宽度(长边)方向产生相对较大的(几百μm以上)翘曲、应变。上述面板基板的中央部利用之前说明的吸附部件等吸附、固定在平坦的上述移动台的上表面，但作为检查对象部位的端部(缘部)自该移动台向空中(侧方)像凸缘那样地延伸，因此，无法矫正每个面板各不相同的翘曲、应变，会导致拖延上述摄像部件的对焦作业。

2)面板基板的振动的收敛要花费时间的问题

即，近年来特别是鉴于对基板检查迅速化的要求，载置有上述面板基板的移动台大多以相对较高的速度驱动，存在当定位结束且上述移动台停止之后该面板的微细振动仍然不会收敛这样的现象。特别是在仅将中央部固定在移动台上的面板基板中，作为检查对象部位的端部(缘部)的振动的收敛要花费时间。该微细的振动不仅与上述翘曲、应变同样地导致拖延上述摄像部件的对焦作业，也会导致降低该检查对象部位的安装状态好坏判断的精度。

这些问题存在随着面板基板的尺寸越大越为显著的倾向，鉴于今后平板显示器面板的越发大型化，有可能成为更深刻的问题。另外，在面板基板的大型化下，也需要与此相结合，将载置侧的移动台更换为大型的移动台，若仍然继续使用小面积的移动台，则无法以较好的平衡支承该大型的面板基板，会导致增大该缘部的翘曲、应变。

本发明即是鉴于该情况而做成的，其目的在于提供一种能够迅速且正确地判断安装在面板基板周缘部的电子部件的安装状态好坏、从而能够容易地适应面板的大型化的基板检查装置。

用于解决问题的方案

为了达到上述目的，本发明的第1技术方案提供一种基板检查装置，其包括：移动台，其用于将透明的面板基板载置在该移动台的上表面而移动至预定的检查位置，并对该基板进行定位，该面板基板在端部附近的多个位置隔着各向异性导电膜安装有电子部件；摄像部件，其用于从检查对象部位的安装有电子部件的一面的背面侧透过上述基板拍摄安装有该电子部件的该检查对象部位，并获取该部位的微分干涉图像；线性驱动部件，其用于使该摄像部件沿着定位在上述检查位置的基板的各检查对象部位滑移；以及信息处理部件，其用于根据由上述摄像部件得到的图像数据来判断拍摄到的检查对象部位的安装状态的好坏；以包含上述检查对象部位的至少一个基板端部向上述移动台的侧方突出的状态，将上述基板载置在上述移动台的上表面，在上述摄像部件的附近配设有固定台，该固定台用于从下侧支承自上述移动台突出的基板端部。

另外，本发明的第2技术方案根据上述基板检查装置，特别是，上述固定台形成为沿着上述摄像部件的滑动方向延伸的棒状。

另外，本发明的第3技术方案是根据上述基板检查装置，特别是，上述固定台包括用于吸附固定上述面板基板的吸附部件。

发明的效果

本发明的基板检查装置对在基板的周缘部安装有电子部件等的面板基板以其安装部位自移动台向侧方突出的状态进行处理，其中，通过在面板基板的下侧且摄像部件附近的位置设置用于以从下表面侧抵接于上述面板基板的突出部位的方式支承该面板基板的固定台，来谋求包含上述面板基板的检查对象部位在内的端部位置的稳定化，从而提高基板检查的再现性和精度。

即，关于本发明的基板检查装置，不是将自以移动台向侧方突出的方式配置的面板基板的端部(检查对象部位)保持原样，而是利用作为稳定的基台的固定台从下侧支承该面板基板的端部，因此，即使使移动台移动而更换基板，也能够每次都将这些面板基板的检查对象部位安放在相同的位置(高度)。

另外，由于上述面板基板的端部是以在靠近其缘部的位置从下侧抬起的方式被支承，因此，能矫正每个面板各不相同(带有差异)的端部的翘曲、应变，并吸收由于上述移动台的移动而产生的振动，从而能够迅速地收敛该振动。因而，本发明的基板检查装置能够将这些翘曲、振动等对检查带来的不良影响抑制到最小限度，从而能够提高安装状态检查的再现性和精度。

另外，由于面板基板的检查对象部位每次都安放在相同的位置，因移动台的移动而产生的振动也迅速地收敛，因此，该基板检查装置的从安放面板到进入摄像作业的待机时间较短，并且，拍摄时对焦所花费的时间也较短。因而，本发明的基板检查装置能够使这些一连串的检查作业(工序)比以往更加高速化。

并且，关于该基板检查装置，由于面板基板被上述移动台和固定台这两点支承，因此，即使是大型(大面积)的基板也能够稳定地进行支承。因而，本发明的基板检查装置也能够容易地应对面板的大型化。

另外，在本发明的基板检查装置中，其中，上述固定台形成为沿着上述摄像部件的滑动方向延伸的棒状，由此能够在整个宽度中一并支承面板基板的检查对象端部，较为理想。并且，通过使该棒状的固定台的长度大于作为检查对象可设想到的最大尺寸的面板基板的长度，而无需更换上述移动台等就能够容易地应对各种尺寸的面板基板。

而且，在本发明的基板检查装置中，其中，特别是上述固定台包括用于吸附固定上述面板基板的吸附部件，由此能够牢固且可靠地固定上述面板基板的检查对象端部。另外，由于吸附固定面板基板的检查对象端部，因此，具有如下优点：能够以一定程度矫正每个面板的各不相同的翘曲、应变，并且也能够迅速地收敛上述移动台停止之后的面板的振动。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式的基板检查装置的主要部分结构的立体图。

图2是表示在第1实施方式的基板检查装置上安放有作为检查对象的面板基板的状态的侧视图。

图3是示意地表示本发明的第2实施方式的基板检查装置的结构和动作的图。

具体实施方式

接着，根据附图详细说明本发明的实施方式。但是，本发明并不限定于该实施方式。

图1是本发明的第1实施方式的基板检查装置的主要部分的结构图，图2是表示在该基板检查装置上安放有作为检查对象的面板基板的状态的图。另外，将粘贴装置内(及工序内)的基板的流动方向设为X方向、将与该X方向正交的装置内的深入方向设为Y方向、将装置的上下(天头地脚)方向设为Z方向地进行说明。另外，配设在移动台1和固定台4的上表面的吸附部件(面板固定部件)省略图示抽吸泵、成为空气流路的配管等。

本实施方式的基板检查装置加入配置在将芯片状电子部件、组件等隔着各向异性导电膜安装在工件W(液晶显示面板、电路基板等)上的工序(生产线)的一部分中，作为整个工序，按照装载机→基板清洗装置→各向异性导电膜粘贴装置(ACF转印)→芯片压接装置(COG或FPC的临时压接、正式压接)→基板检查装置(AOI)→卸载机的顺序构成。

第1实施方式的基板检查装置使用后述的输送臂等，将利用位于工序的上游侧(图1中的左侧)的各向异性导电膜粘贴装置及芯片压接装置(省略图示)在面板基板10的一个端部附近的预定位置安装有多个IC芯片(驱动器IC)11而成的LCD面板(工件W)导入到装置主体内，并将该LCD面板移载并吸附、固定在带有吸盘的移动台1上，之后，使该移动台1移动到预定的检查位置，利用带有微分干涉显微镜功能的摄像部件2拍摄载置于移动台1的上表面1a的面板基板10上的上述芯片安装部位。另外，在该基板检查装置上设有位于面板基板10的下侧、用于支承该基板10的检查对象部位的固定台4。

移动台1能够在X、Y、Z三个轴上独立地控制，且绕沿着该Z轴的θ轴旋转自由地构成。在XY两方向上分别设有用于引导搭载有上述移动台1的基台的导轨，该驱动采用伺服电动机(省略图示)。另外，移动台1包括能够调节Z轴方向高度的伺服电动机、及用于控制绕沿着该Z轴的θ轴的旋转的伺服电动机。

另外，移动台1的面板载置面(上表面1a)形成为比作为检查对象的面板基板10小的面积，为了容易地自后述的芯片安装部位的背面侧进行摄像作业，设置成能够以面板基板10的检查对象部位(端部10a)自移动台1向侧方突出(横向延伸)的状态载置。另外，该上表面1a形成为大致平坦，在其表面配置有具有用于与上述吸附部件连通的狭缝、吸气孔等的吸盘。

如图2所示，摄像部件2是将物镜部2a、包括微分干涉棱镜和带有同轴落射照明的镜体的微分干涉显微镜部2b、以及具有图像数据输出功能的CCD摄像机部2c组合而成，针对面板基板10，能够从安装有IC芯片11的面的背面侧对每个预定的点拍摄其放大图像。另外，微分干涉显微镜部2b具有这样的特征，即，能够利用上述微分干涉棱镜将被摄体的折射率、厚度的变化转换为干涉色的变化、明暗的对比来进行观察。而且，上述照明的光源适合采用热量放射较少的蓝色发光二极管。

另外，摄像部件2配置在线性驱动部件3上，该线性驱动部件3能够沿着定位于上述检查位置的基板的各检查对象部位在导轨上沿X方向滑动，通过反复移动和拍摄，从安装在上述面板基板10的一个端部10a附近的预定位置的IC芯片11的端子(电极)部的背面侧依次检查安装在上述面板基板10的一个端部10a附近的预定位置的IC芯片11的端子(电极)部。

而且，上述线性驱动部件3采用能够高速移动的线性伺服驱动器(省略图示)。并且，线性驱动部件3包括用于沿Z方向(上下方向)调节摄像部件2的高度来进行对焦的Z方向调整部件3a。该Z方向调整部件3a采用能够以微米(μm)单位调整摄像部件2的高度的线性步进驱动器。

本实施方式的基板检查装置的特征在于，如上所述，在面板基板10的下侧且摄像部件2附近的位置配设有用于支承上述面板基板10的检查对象部位(端部10a)的固定台4。该固定台4配置在上述移动台1和摄像部件2之间，从下表面侧抵接并支承上述面板基板10中的自移动台1向侧方突出的部位且为除检查对象部位之外的位置。另外，在该固定台4的上表面4a上也与上述移动台1同样地配置有之前说明的具有用于与吸附部件连通的狭缝、吸气孔等的吸盘。

接着，对使用上述结构的基板检查装置来检查LCD面板等面板基板10(工件W)的过程进行说明。

在上述结构的基板检查装置中，首先，利用输送臂等将作为检查对象的芯片安装完毕的面板基板10从工序的上游侧导入到装置内，以其上表面1a位于面板基板10的大致中央部的方式载置在移动台1上。然后，利用移动台上表面1a的吸盘吸附、固定面板的中央部，并成为作为该检查对象部位的端部10a自移动台1向侧方(Y方向)突出的状态。

之后，利用移动台1支承着面板中央部，同时将该面板基板10在Z方向上抬起一些，利用上述移动台1的XY移动，如图2中的双点划线所示地使其移动至面板基板10的IC芯片11安装部面对摄像部件2的物镜部2a上方的检查位置。然后，利用另外设置的CCD摄像机等面板位置确认部件识别面板基板10上的对准标记等，微调至移动台1的XY方向位置及θ轴的旋转角正确的位置，之后，使移动台1下降，将面板基板10定位在正确的检查位置(图2中的实线状态)。

此时，面板基板10的检查对象部位即端部10a(芯片安装部位)在靠近上述摄像部件2的位置被固定台4从面板下侧支承，并被设置在其上表面4a的上述吸盘吸附、固定，使面板基板10可靠地定位。

接着，使摄像部件2与其基台一同在线性驱动部件3上沿X方向滑动，对每个预定的点进行对焦(焦点)，拍摄其放大图像。另外，将拍摄到的图像数据(微分干涉图像)传送到未图示的信息处理部件，判断拍摄到的检查对象部位的安装状态的好坏。

另外，在上述信息处理部件中，利用预先设定的与检查项目相对应的预定的运算程序转换从摄像部件2输入的图像数据(例如转换为基于256等级的亮度标度的亮度分布数据)，将其与针对每个检查项目设定的基准数据相比较，将不符合该基准的数据检测为不良。

另外，在上述信息处理部件中，作为以下说明的、用于对焦(焦点)的校准系统的一个环节，设有最佳焦距计算部及其最佳焦距存储部。即，采用该系统，在依次检查上述LCD面板等面板基板10时，在检查之前，在相同的检查点对该最初的面板基板10反复进行多次用于对焦的拍摄，根据得到的图像数据计算最佳焦距，并依照该值沿Z方向调节摄像部件2(的物镜2a)来进行对焦，在该状态下进行用于检查的拍摄，并且，在上述信息处理部件中存储该对焦时计算的最佳焦距。

而且，搭载有这样的系统，即，在下一次之后的检查过程中，不是根据另外设定的基准值、随机的值锁定焦距，而是依照预定的运算法则由该存储的最佳焦距导出预测最佳焦距，依照该距离确定摄像部件2在Z方向上的初始位置，自该位置自动地进行对焦。

另外，在逐一地反复检查的过程中，能够每次存储对焦时的最佳焦距，由该存储的最佳焦距掌握作为检查对象的面板基板10的形状的差异倾向，因此，只要自上一次之前存储的最佳焦距的差异提取恒定的倾向，加上与该差异相对应的校正而导出预测最佳焦距，就能够更迅速地依照反复检查来与作为对象的芯片安装部位的差异倾向相应地进行对焦。

利用上述结构，在本实施方式的基板检查装置中，由于是以在靠近面板基板10的端部10a的缘部的位置从下侧抬起的方式支承面板基板10的端部10a，因此，能够抑制每个面板各不相同(带有差异)的端部10a的翘曲、应变，并且，能够每次都可靠地将作为检查对象部位的面板基板10的端部10a安装在相同的位置(高度)。

另外，因上述移动台1的移动而产生的振动被固定台4迅速地吸收，传递到面板基板端部10a的振动也较少，因此，本实施方式的基板检查装置能够将这些翘曲、振动等对检查带来的不良影响抑制到最小限度，提高安装状态检查的再现性和精度。

而且，面板基板10的检查对象部位每次都安放在相同的位置，由移动台1的移动所产生的振动也迅速地收敛，因此，该基板检查装置从安装面板到进入摄像作业的待机时间较短，并且，利用用于进行上述对焦(焦点)的校准系统，拍摄时对焦所花费的时间也较短。因而，本实施方式的基板检查装置能够使这些一连串的检查作业(工序)比以往更加高速化。

另外，关于该基板检查装置，由于上述固定台4能够吸附固定面板基板10的端部10a，因此，具有能够以某种程度矫正每个面板各不相同的翘曲、应变这样的优点。

另外，由于上述固定台4形成为沿着摄像部件2的滑动方向延伸的棒状，因此，能够在整个宽度中一并支承面板基板10的检查对象端部，较为理想。并且，通过使该棒状的固定台4的长度大于作为检查对象可设想到的最大尺寸的面板基板10的长度，而无需更换上述移动台1等就能够容易地应对各种尺寸的面板基板10。

接着，作为第2实施方式，说明本发明的基板检查装置作为实际的芯片安装工序(生产线)的一部分而加入的例子。

图3是示意地表示本发明的第2实施方式的基板检查装置的结构和动作的图。

本实施方式的基板检查装置也加入配置在将芯片状电子部件、组件等隔着各向异性导电膜安装在工件W上的工序(生产线)的一部分中，该基板检查装置(AOI)在工序的上游侧(图3中的左侧)使用输送臂12将在工件W的预定位置安装有多个芯片状电子部件、组件等的平板显示器面板(FDP)导入到装置主体内，在将该平板显示器面板移载并吸附、固定在带有吸盘的移动台1、1′上之后，使该移动台1、1′移动到预定的检查位置，利用带有微分干涉显微镜功能的摄像部件2、2′拍摄载置于移动台1、1′的上表面的FDP上的上述芯片安装部位。

另外，在该基板检查装置中并列设有两行检查线，能够同时平行地检查两个工件W。因此，该移动台(1、1′)和摄像部件(2、2′)装备有两组(两套)。另外，虽然与第1实施方式同样地也设有用于从下侧支承工件W的检查对象端部的固定台(4)，但是并非按照这些检查线而分别形成，而是作为共用的棒状固定台5形成于两个检查线。

接着，说明该基板检查装置(AOI)的动作(工件流程)。

基板检查装置使用输送臂12，将利用位于工序上游侧(图3中的左侧)的各向异性导电膜粘贴装置和芯片压接装置(省略图示)在平板显示器面板(FDP)的预定位置安装有多个芯片状电子部件、组件等而成的工件W导入到装置主体内(A→B位置或者A→B′位置)，将该工件W移载到能够沿XY两个方向移动且能够调节Z方向的高度并能够绕θ轴旋转的、带有吸盘的移动台1、1′上，之后，利用移动台1上表面的吸盘吸附、固定各面板的中央部(B、B′位置)。

然后，由中央部支承着各面板，同时将这些面板沿Z方向抬起一些，使上述移动台1、1′沿XY方向滑动，移动至工件W的芯片安装部面对各摄像部件2、2′的滑动位置上方的位置。利用未图示的CCD摄像机等面板位置确认部件识别工件W上的对准标记等，微调至各移动台1、1′的XY方向位置及θ轴的旋转角正确的位置，之后，使移动台1、1′下降，将各工件W定位在正确的检查位置(图3中的C、C′位置)。

此时，与上述第1实施方式同样，工件W的检查对象部位即其端部(芯片安装部位)在靠近上述摄像部件2、2′的位置被棒状固定台5从面板下侧支承，并被设置在其上表面的吸盘吸附、固定，使各工件W可靠地定位。

接着，使各摄像部件2、2′与其基台一同在线性驱动部件(省略图示)上沿X方向滑移，并由各摄像部件2、2′独自地对预定的点进行对焦(焦点)，拍摄各检查对象部位的放大图像。另外，将拍摄到的图像数据(微分干涉图像)传送到未图示的信息处理部件，判断拍摄到的检查对象部位的芯片安装状态的好坏。

另外，检查对象部位并不仅限定为工件W的一边。在检查形成于工件W的另一个边的安装部位的情况下，解除上述棒状固定台5的吸附，将面板沿Z方向抬起一些，之后，利用移动台1的移动和θ轴旋转来安放新的检查对象端部。另外，利用上述面板位置确认部件识别工件W上的对准标记等，微调至各移动台1、1′的XY方向位置和θ角度正确的位置，之后，使移动台1、1′再次下降，将各工件W定位在新的检查位置。然后，重复该操作，直到对检查对象的各边检查完为止。

若完成对工件W的全部检查对象部位的判断，则确定与该工件W相关的芯片安装状态的综合判断，并存储在上述信息处理部件中。然后，各工件解除被棒状固定台5的吸附，返回到移动台1、1′的初始待机位置即B、B′位置，再次移载到输送臂12上，并移送至作为工序的下游侧(图3中的右侧)的判断待机位置(D位置)。

之后，将被上述信息处理部件判断为“良品(Good)”的工件W保持原样地交接到工序下游侧的卸载机，进而进行后处理等加工。另外，将被上述信息处理部件判断为“不良品(NG)”的工件W收纳集中在设置于该基板检查装置的下游侧的多段式不良品架(NG支架)13上，进行废弃或再利用(图3中的F位置)。

利用上述结构，本实施方式的基板检查装置能够抑制每个工件W各不相同的翘曲、应变，并且，能够每次都可靠地将工件的检查对象端部安放在相同的位置(高度)。另外，能够防止上述各移动台1、1′的振动传递到工件W，从而能够提高安装状态检查的再现性和精度。

而且，在本实施方式的基板检查装置中，由于移动台1、1′的移动而产生的振动被迅速地收敛，从安放工件W到进入摄像作业的待机时间较短，而且，用上述检查线的双重化，能够更高效地检查基板。

另外，在本实施方式的基板检查装置中，由于上述固定台5形成为沿着摄像部件2、2′的滑动方向延伸的棒状，因此能够在整个宽度中一并支承工件W的检查对象端部。并且，该棒状的固定台5无需更换上述移动台1、1′等就能够容易地应对各种尺寸的面板。

另外，采用上述第2实施方式的基板检查装置，能够利用棒状固定台5的吸附将以往在IC芯片的压接下可看到200μm～400μm左右的LCD组件端部的翘曲降低至100μm以下。

在上述2个实施方式中，表示了在各检查线中各设置1个摄像部件2(2′)的例子，但该摄像部件2也可以在各检查线中配设多个。在每个检查线中(沿X方向)设置多个摄像部件2的情况下，优选的是，使它们的配置间隔与安装在上述工件W或面板基板10上的芯片等的安装间隔匹配。若使间隔同步，则能够使这些摄像部件同时并行并同时拍摄多个部位，因此，能够在更短时间内完成检查。

另外，上述摄像部件2不仅可以沿X方向设置，也可以沿Y方向单独设置或者沿Y方向设置多个。利用该结构，作为整体能够在非常短的时间内完成检查。另外，理所当然在上述沿Y方向设置的摄像部件2的附近也设有用于支承该工件W或面板基板10的检查对象(Y方向)端部的固定台。

产业上的可利用性

本发明的基板检查装置适合对在液晶显示(LCD)面板、等离子体显示面板(PDP)、有机EL显示器等大型的透明玻璃基板上隔着各向异性导电膜(ACF)压接有芯片状的电子部件(IC、LSI等)、组件等的面板进行检查。

附图标记说明

1移动台；1a上表面；2摄像部件；3线性驱动部件；4固定台；10面板基板。

Claims (3)

1.一种基板检查装置，其特征在于，包括：

移动台，其用于将透明的面板基板载置在该移动台的上表面而移动至预定的检查位置，并对该基板进行定位，该面板基板在端部附近的多个位置隔着各向异性导电膜安装有电子部件；

摄像部件，其用于从检查对象部位的安装有电子部件的一面的背面侧透过上述基板拍摄安装有该电子部件的该检查对象部位，并获取该部位的微分干涉图像；

线性驱动部件，其用于使该摄像部件沿着定位在上述检查位置的基板的各检查对象部位滑移；以及

信息处理部件，其用于根据由上述摄像部件得到的图像数据来判断拍摄到的检查对象部位的安装状态的好坏；

以包含上述检查对象部位的至少一个基板端部向上述移动台的侧方突出的状态，将上述透明的面板基板载置在上述移动台的上表面，

在上述摄像部件的附近配设有固定台，该固定台用于从下侧支承自上述移动台突出的基板端部，

上述信息处理部件具有校准系统，该校准系统包括：最佳焦距计算部，其根据从上述摄像部件得到的图像数据计算上述摄像部件的最佳焦距；以及最佳焦距存储部，其用于存储计算出的上述最佳焦距；上述信息处理部件由存储在上述最佳焦距存储部中的上述最佳焦距并依照预定的运算法则导出预测最佳焦距，依照该导出的结果确定上述摄像部件的焦距的初始位置，在第二次以后的检查中，从上述初始位置开始上述摄像部件的对焦。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

上述固定台形成为沿着上述摄像部件的滑动方向延伸的棒状。

3.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其特征在于，

上述固定台包括用于吸附固定上述面板基板的吸附部件。

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