CN105278131B - 基板表面颗粒物的间隔式检测方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板表面颗粒物的间隔式检测方法，通过控制Y向工作台(4)带动基板承载平台(5)与基板(7)沿Y向做往复运动，基板(7)沿Y向每完全通过影像传感器(31)下方一次，控制影像检测系统(3)沿X向移动大于基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的距离，且设定前、后两块受检测的基板(7)的检测区域不同，在检测机台数量固定的情况下，能够降低每片基板的检测用节拍时间，提高检测效率，且对同一批基板的检测能够覆盖基板的所有区域；在抽检频率固定的情况下，可以减少检测机台采购数量，降低生产成本。

Description

基板表面颗粒物的间隔式检测方法
技术领域
本发明涉及基板检测技术领域，尤其涉及一种基板表面颗粒物的间隔式检测方法。
背景技术
液晶显示器(LCD，Liquid Crystal Display)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用，如：液晶电视、移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。
现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(Backlight Module)。液晶显示面板的结构是由一彩色滤光片基板(Color Filter，CF)、一薄膜晶体管阵列基板(Thin Film Transistor Array Substrate，TFT ArraySubstrate)以及一配置于两基板间的液晶层(Liquid Crystal Layer)所构成，其工作原理是通过在两片基板上施加驱动电压来控制液晶层的液晶分子的旋转，将背光模组的光线折射出来产生画面。
一般用于制造彩色滤光片基板、及薄膜晶体管阵列基板的衬底基板为玻璃基板。玻璃基板是由玻璃熔炉熔解并模压为平面状，然后经一次性按规格切割的工序制造后，继续在玻璃加工线上运输加工。在玻璃基板的加工线上，将玻璃基板再次裁切成符合不同显示器规格的尺寸，并对裁切成形的四个锋利的边缘进行研磨。上述玻璃基板的成形、运输、裁切、研磨等一连串操作中，会因各种因素在玻璃基板表面上附着灰尘颗粒物、有机颗粒物、或无机颗粒物等，对玻璃基板表面造成污染，因此需要对玻璃基板表面进行检测，对颗粒物进行计数，区分玻璃基板是否洁净，以决定玻璃基板是否可以投入后续制作彩色滤光片基板或薄膜晶体管阵列基板的工序。
目前，绝大部分液晶显示面板的制造厂商采用东丽(TORAY)株式会社出产的检测机台对玻璃基板表面的颗粒物进行整面式检测，此种检测方式的节拍时间较长，产能消化能力低，效率不高。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基板表面颗粒物的间隔式检测方法，能够降低每片基板的检测用节拍时间，提高检测效率，并可以减少检测机台采购数量，降低生产成本。
为实现上述目的，本发明提供一种基板表面颗粒物的间隔式检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1、提供基板表面颗粒物检测机台；
所述基板表面颗粒物检测机台包括一X向横梁、支撑并固定所述X向横梁的两Z向立柱、安装于所述X向横梁上能够沿X向往复运动与静止的影像检测系统、于所述X向横梁下方设置于两Z向立柱之间并能够沿Y向往复运动与静止的Y向工作台、及固定于所述Y向工作台上的基板承载平台；
所述影像检测系统具有一影像传感器、与一镭射发光器，所述影像传感器与镭射发光器均朝向基板承载平台；
步骤2、将同一批待检测基板的其中一片基板固定于所述基板承载平台上；
步骤3、设定对所述一片基板的检测区域，控制Y向工作台带动基板承载平台与基板沿Y向做往复运动，所述基板沿Y向每完全通过所述影像传感器下方一次，控制所述影像检测系统沿X向移动大于所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的距离，所述镭射发光器发光，所述影像传感器对通过其下方的部分基板表面的颗粒物进行扫描、检测，直至完成对该一片基板的设定的检测区域的检测；
步骤4、将检测完毕的基板取下，然后将同一批待检测基板的其中另一片基板固定于所述基板承载平台上；
步骤5、设定对所述另一片基板的检测区域，使得前、后两块受检测的基板的检测区域不同；然后控制Y向工作台带动基板承载平台与基板沿Y向做往复运动，所述基板沿Y向每完全通过所述影像传感器下方一次，控制所述影像检测系统沿X向移动大于所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的距离，所述镭射发光器发光，所述影像传感器对通过其下方的部分基板表面的颗粒物进行扫描、检测，直至完成对该另一片基板的设定的检测区域的检测；
步骤6、重复步骤4与步骤5，直至将所述同一批待检测基板抽检完。
所述基板为玻璃基板，所述玻璃基板用作液晶显示面板的彩色滤光片基板、或薄膜晶体管阵列基板的衬底基板。
所述影像传感器为一电荷耦合元件。
所述步骤3与步骤5中控制所述影像检测系统沿X向移动的距离是所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的2倍。
所述步骤3与步骤5中控制所述影像检测系统沿X向移动的距离是所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的3倍。
所述影像检测系统、与Y向工作台均通过伺服电机配合直线导轨实现运动。
所述步骤3与步骤5中控制所述影像检测系统沿X向移动的距离通过控制伺服电机的角位移的方式、光栅尺读数方式、或镭射光测距方式来实现。
通过制造执行系统或所述基板表面颗粒物检测机台的集成制造信息系统来设定前、后两块受检测的基板的检测区域不同。
本发明的有益效果：本发明提供的一种基板表面颗粒物的间隔式检测方法，通过控制Y向工作台带动基板承载平台与基板沿Y向做往复运动，基板沿Y向每完全通过影像传感器下方一次，控制影像检测系统沿X向移动大于基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的距离，且设定前、后两块受检测的基板的检测区域不同，在检测机台数量固定的情况下，能够降低每片基板的检测用节拍时间，提高检测效率，且对同一批基板的检测能够覆盖基板的所有区域；在抽检频率固定的情况下，可以减少检测机台采购数量，降低生产成本。
附图说明
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图中，
图1为本发明的基板表面颗粒物的间隔式检测方法的流程图；
图2为本发明的基板表面颗粒物的间隔式检测方法中基板表面颗粒物检测机台的立体结构示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图1，本发明提供一种基板表面颗粒物的间隔式检测方法，包括如下步骤：
步骤1、提供基板表面颗粒物检测机台。
如图2所示，所述基板表面颗粒物检测机台包括一X向横梁1、支撑并固定所述X向横梁1的两Z向立柱2、安装于所述X向横梁1上能够沿X向往复运动与静止的影像检测系统3、于所述X向横梁1下方设置于两Z向立柱2之间并能够沿Y向往复运动与静止的Y向工作台4、及固定于所述Y向工作台4上的基板承载平台5。
所述影像检测系统3具有一影像传感器31、与一镭射发光器32，所述影像传感器31与镭射发光器32均朝向基板承载平台5。
具体地，所述影像检测系统3、与Y向工作台4均通过伺服电机配合直线导轨实现运动。
所述影像传感器31为一电荷耦合元件(Charge Coupled Device，CCD)。
步骤2、将同一批待检测基板的其中一片基板7固定于所述基板承载平台5上。
具体地，所述基板7为玻璃基板，所述玻璃基板用作液晶显示面板的彩色滤光片基板、或薄膜晶体管阵列基板的衬底基板。
同一批待检测基板中各片基板表面的颗粒物附着情况通常是基本相同的。
步骤3、设定对所述一片基板7的检测区域，控制Y向工作台4带动基板承载平台5与基板7沿Y向做往复运动，所述基板7沿Y向每完全通过所述影像传感器31下方一次，控制所述影像检测系统3沿X向移动大于所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的距离，所述镭射发光器32发光，所述影像传感器31对通过其下方的部分基板7表面的颗粒物进行扫描、检测，直至完成对该一片基板7的设定的检测区域的检测。
具体地，控制所述影像检测系统3沿X向移动的距离通过控制伺服电机的角位移的方式、光栅尺读数方式、或镭射光测距方式来实现。
以Y向工作台4带动基板承载平台5与基板7沿Y向做一次往复运动为例，详细的工作过程为首先控制所述影像检测系统3保持静止，所述Y向工作台4带动基板承载平台5与基板7沿Y向正向运动，使所述基板7在Y向上的前端、后端先后完全通过所述影像传感器31下方，所述镭射发光器32发光，所述影像传感器31进行扫描、检测；然后控制所述Y向工作台4静止，所述影像检测系统3沿X向移动大于所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的距离；接着控制所述影像检测系统3保持静止，所述Y向工作台4带动基板承载平台5与基板7沿Y向负向运动，使所述基板7在Y向上的后端、前端先后完全通过所述影像传感器31下方，所述镭射发光器32发光，所述影像传感器31进行扫描、检测。
步骤4、将检测完毕的基板7取下，然后将同一批待检测基板的其中另一片基板7固定于所述基板承载平台5上。
步骤5、设定对所述另一片基板7的检测区域，使得前、后两块受检测的基板7的检测区域不同；然后控制Y向工作台4带动基板承载平台5与基板7沿Y向做往复运动，所述基板7沿Y向每完全通过所述影像传感器31下方一次，控制所述影像检测系统3沿X向移动大于所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的距离，所述镭射发光器32发光，所述影像传感器31对通过其下方的部分基板7表面的颗粒物进行扫描、检测，直至完成对该另一片基板7的设定的检测区域的检测。
具体地，该步骤5通过制造执行(Manufacturing Execution System，MES)系统或所述基板表面颗粒物检测机台的集成制造信息(Computer Integrated Manufacturing，CIM)系统来设定前、后两块受检测的基板7的检测区域不同。
步骤6、重复步骤4与步骤5，直至将所述同一批待检测基板抽检完。
优选的，控制所述影像检测系统3沿X向移动的距离是所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的2倍或3倍。
以控制所述影像检测系统3沿X向移动的距离是所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的2倍为例，假设将每片基板7表面沿X向划分为若干行，每行宽度均等于所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度，则所述步骤3检测的是所述一片基板7的第1行、第3行、第5行等奇数行，相较于现有的逐行整面式检测方式能够将检测所述一片基板7的节拍时间缩短至1/2；而所述步骤5不同于步骤3，检测的是所述另一片基板7的第2行、第4行、第6行等偶数行，相较于现有的逐行整面式检测方式能够将检测所述另一片基板7的节拍时间缩短至1/2。另外，由于同一批待检测基板中各片基板表面的颗粒物附着情况通常是基本相同的，对于同一批待检测基板，在控制所述影像检测系统3沿X向移动的距离是所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的2倍的情况下，通过连续对两片基板的检测即能够覆盖基板的所有区域，检测的全面性与准确度并不亚于逐行整面式检测方式。
同理，以控制所述影像检测系统3沿X向移动的距离是所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的3倍为例，相较于现有的逐行整面式检测方式能够将检测一片基板7的节拍时间缩短至1/3。对于同一批待检测基板，在控制所述影像检测系统3沿X向移动的距离是所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的3倍的情况下，通过连续对三片基板的检测即能够覆盖基板的所有区域。
综上所述，本发明的基板表面颗粒物的间隔式检测方法，通过控制Y向工作台带动基板承载平台与基板沿Y向做往复运动，基板沿Y向每完全通过影像传感器下方一次，控制影像检测系统沿X向移动大于基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的距离，且设定前、后两块受检测的基板的检测区域不同，在检测机台数量固定的情况下，能够降低每片基板的检测用节拍时间，提高检测效率，且对同一批基板的检测能够覆盖基板的所有区域；在抽检频率固定的情况下，可以减少检测机台采购数量，降低生产成本。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。

Claims (8)

1.一种基板表面颗粒物的间隔式检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1、提供基板表面颗粒物检测机台；
所述基板表面颗粒物检测机台包括一X向横梁(1)、支撑并固定所述X向横梁(1)的两Z向立柱(2)、安装于所述X向横梁(1)上能够沿X向往复运动与静止的影像检测系统(3)、于所述X向横梁(1)下方设置于两Z向立柱(2)之间并能够沿Y向往复运动与静止的Y向工作台(4)、及固定于所述Y向工作台(4)上的基板承载平台(5)；
所述影像检测系统(3)具有一影像传感器(31)、与一镭射发光器(32)，所述影像传感器(31)与镭射发光器(32)均朝向基板承载平台(5)；
步骤2、将同一批待检测基板的其中一片基板(7)固定于所述基板承载平台(5)上；
步骤3、设定对所述一片基板(7)的检测区域，控制Y向工作台(4)带动基板承载平台(5)与基板(7)沿Y向做往复运动，所述基板(7)沿Y向每完全通过所述影像传感器(31)下方一次，控制所述影像检测系统(3)沿X向移动大于所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的距离，所述镭射发光器(32)发光，所述影像传感器(31)对通过其下方的部分基板(7)表面的颗粒物进行扫描、检测，直至完成对该一片基板(7)的设定的检测区域的检测；
步骤4、将检测完毕的基板(7)取下，然后将同一批待检测基板的其中另一片基板(7)固定于所述基板承载平台(5)上；
步骤5、设定对所述另一片基板(7)的检测区域，使得前、后两块受检测的基板(7)的检测区域不同；然后控制Y向工作台(4)带动基板承载平台(5)与基板(7)沿Y向做往复运动，所述基板(7)沿Y向每完全通过所述影像传感器(31)下方一次，控制所述影像检测系统(3)沿X向移动大于所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的距离，所述镭射发光器(32)发光，所述影像传感器(31)对通过其下方的部分基板(7)表面的颗粒物进行扫描、检测，直至完成对该另一片基板(7)的设定的检测区域的检测；
步骤6、重复步骤4与步骤5，直至将所述同一批待检测基板抽检完。
2.如权利要求1所述的基板表面颗粒物的间隔式检测方法，其特征在于，所述基板(7)为玻璃基板，所述玻璃基板用作液晶显示面板的彩色滤光片基板、或薄膜晶体管阵列基板的衬底基板。
3.如权利要求1所述的基板表面颗粒物的间隔式检测方法，其特征在于，所述影像传感器(31)为一电荷耦合元件。
4.如权利要求1所述的基板表面颗粒物的间隔式检测方法，其特征在于，所述步骤3与步骤5中控制所述影像检测系统(3)沿X向移动的距离是所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的2倍。
5.如权利要求1所述的基板表面颗粒物的间隔式检测方法，其特征在于，所述步骤3与步骤5中控制所述影像检测系统(3)沿X向移动的距离是所述基板表面颗粒物检测机台自身设定的检测宽度的3倍。
6.如权利要求1所述的基板表面颗粒物的间隔式检测方法，其特征在于，所述影像检测系统(3)、与Y向工作台(4)均通过伺服电机配合直线导轨实现运动。
7.如权利要求6所述的基板表面颗粒物的间隔式检测方法，其特征在于，所述步骤3与步骤5中控制所述影像检测系统(3)沿X向移动的距离通过控制伺服电机的角位移的方式、光栅尺读数方式、或镭射光测距方式来实现。
8.如权利要求1所述的基板表面颗粒物的间隔式检测方法，其特征在于，通过制造执行系统或所述基板表面颗粒物检测机台的集成制造信息系统来设定前、后两块受检测的基板(7)的检测区域不同。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107390393B (zh) * 2017-07-24 2020-09-22 惠州高视科技有限公司 一种液晶模组缺陷检测后的复判分层方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0735696A (ja) * 1993-07-23 1995-02-07 Sharp Corp 粒子凝集検出除去装置
JPH07325041A (ja) * 1994-06-02 1995-12-12 Mitsubishi Electric Corp 微小異物の位置決め方法、分析方法、これに用いる分析装置およびこれを用いた半導体素子もしくは液晶表示素子の製法
CN101900691A (zh) * 2009-05-22 2010-12-01 康宁股份有限公司 玻璃板检查系统
CN202133842U (zh) * 2011-05-26 2012-02-01 苏州弗士达科学仪器有限公司 液晶面板的光电性能自动检测平台
CN102472711A (zh) * 2009-07-15 2012-05-23 有限会社共同设计企画 基板检查装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0735696A (ja) * 1993-07-23 1995-02-07 Sharp Corp 粒子凝集検出除去装置
JPH07325041A (ja) * 1994-06-02 1995-12-12 Mitsubishi Electric Corp 微小異物の位置決め方法、分析方法、これに用いる分析装置およびこれを用いた半導体素子もしくは液晶表示素子の製法
CN101900691A (zh) * 2009-05-22 2010-12-01 康宁股份有限公司 玻璃板检查系统
CN102472711A (zh) * 2009-07-15 2012-05-23 有限会社共同设计企画 基板检查装置
CN202133842U (zh) * 2011-05-26 2012-02-01 苏州弗士达科学仪器有限公司 液晶面板的光电性能自动检测平台

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