CN103075970A - 测长装置直交度补偿方法及使用该方法的测长装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种测长装置直交度补偿方法及使用该方法的测长装置,所述方法包括以下步骤:步骤1、提供测量机台及数个对位标记,所述测量机台包括机架、安装于机架上的矩形测量平台、设于测量平台上方的测定显微镜及安装于机架上且连接测定显微镜的激光器;步骤2、将对位标记安装于测量平台上,并记录该些对位标记对应测量平台坐标系的坐标,以作为参考坐标值;步骤3、通过测定显微镜读取该些对位标记对应测量平台坐标系的实际坐标值,并将该实际坐标值与参考坐标值进行对比;步骤4、如果实际坐标值与参考坐标值之间存在偏差,补正该实际坐标值,使得该实际坐标值等于参考坐标值。

Description

测长装置直交度补偿方法及使用该方法的测长装置
技术领域
本发明涉及测量领域,尤其涉及一种测长装置直交度补偿方法及使用该方法的测长装置。
背景技术
液晶显示装置(LCD,Liquid Crystal Display)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点,得到了广泛的应用。现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示器,其包括液晶显示面板及背光模组(backlight module)。液晶面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板中放置液晶分子,通过给玻璃基板的电路通电来控制液晶分子改变方向,将背光模组的光线折射出来产生画面。
请参阅图1,所述液晶显示面板一般包括:TFT(薄膜晶体管)基板100、与TFT基板100相对贴合设置的CF基板300及设于TFT基板100与CF基板300之间的液晶500,TFT基板100一般包括基板102及形成于基板102上的薄膜晶体管阵列104,该薄膜晶体管阵列104通过光照制程形成于基板102上,在形成薄膜晶体管阵列104的时候,为了保证对每一个像素单元的尺寸精度,需要对每一个像素单元的尺寸进行测量。
请参阅图2及图3,在TFT基板100与CF基板300进行贴合时,为了保证贴合精度,一般现在TFT基板100与CF基板300的角落位置分别设置对齐标记,一般的,在TFT基板100的四个角落位置设置十字形第一标记120,在CF基板300的对应四角落位置设置第二标记320,每一第二标记320均包括四个标记块322,该四个标记快322分别对称设置,当TFT基板100与CF基板300贴合后,所述第二标记320与第一标记120完全对应,这时,每一第二标记320的四个标记快322分别位于与该一第二标记320对应的第一标记120的四个角落设置,该第一与第二标记120、320在形成时需要通过测长装置进行测量,以保证配合精度,TFT基板100与CF基板300贴合后,也需要通过测长装置进行检测,以保证第一与第二标记120、320精密配合。
综上所述,可见,测长装置在液晶显示面板制作过程中具有极其重要的作用,为液晶显示面板生产不可或缺的设备。
请参阅图4,现有的测长装置一般为激光测长装置,其包括:测量机台500及电性连接于该测量机台500的操作系统(未图示),所述测量机台500包括机架502安装于机架502上的平台504、安装于平台504上相对两侧的导轨506、可滑动安装于导轨506上的横梁508、可滑动安装于横梁508上的测定显微镜510及安装于机架502上且连接测定显微镜510的激光器512,测量时,操作系统控制测量机台500读取置于平台504上的待测物体(未图示)上的某两测量点的坐标,并将读取的两坐标值传送给操作系统,操作系统根据该两坐标值进行运算,进而确定量测量点之间的长度,具体如下:
请参阅图5,其中,X-Y为测定坐标系,Xt-Yt为平台坐标系,Xc-Yc为测定显微镜坐标系,那么,测定点A的坐标(X,Y)=(Xt+Xc,Yt+Yc)。
用于液晶显示面板制程中的测长装置,其平台504上安装有数个支撑针542,液晶显示面板(未图示)承载于该些支撑针542上,以导轨506的长度方向为Y轴方向,以横梁508的长度方向为X方向,所以横梁508必须垂直导轨506,但在实际测量过程中,横梁508在相对导轨506滑动时,横梁508与导轨506的直交度会出现偏差(如图6所示),进而导致测量结果误差,进而影响后续制程。
发明内容
本发明的目的在于提供一种测长装置直交度补偿方法,其通过在测量机台的测量平台四角设置对位标记,在测量前先通过对位标记的参考坐标与测量坐标进行对比,以确定测量机台的直交度,有效保证测量精度。
本发明的另一目的在于提供一种测长装置,其通过在测量平台四角设置对位标记,监测横梁与导轨的直交度,进而保证测量精度
为实现上述目的,本发明提供一种测长装置直交度补偿方法,包括以下步骤:
步骤1、提供测量机台及数个对位标记,所述测量机台包括机架、安装于机架上的矩形测量平台、设于测量平台上方的测定显微镜及安装于机架上且连接测定显微镜的激光器;
步骤2、将对位标记安装于测量平台上,并记录该些对位标记对应测量平台坐标系的坐标,以作为参考坐标值;
步骤3、通过测定显微镜读取该些对位标记对应测量平台坐标系的实际坐标值,并将该实际坐标值与参考坐标值进行对比;
步骤4、如果实际坐标值与参考坐标值之间存在偏差,补正该实际坐标值,使得该实际坐标值等于参考坐标值。
所述步骤1提供的对位标记为四个,分别安装于测量平台的四个角落位置。
所述步骤1提供的测量机台还包括安装于测量平台上且位于测量平台相对两侧的第一与第二导轨、安装于该第一与第二导轨上的横梁及动力系统,该横梁沿该第一与第二导轨长度方向滑动设置,所述测定显微镜滑动安装于该横梁上,该动力系统包括数个直线电机,分别用于驱动横梁在第一与第二导轨上的滑动及测定显微镜在横梁上的滑动。
所述测量平台由玻璃制成,其上均布数个孔部,数个支撑针由该些孔部延伸于测量平台外,用于支撑待测量液晶显示面板。
所述测量机台还包括安装于机架上的石定磐,该石定磐由大理石制成,所述测量平台装于该石定磐上。
所述测量机台还包括设于机架与石定磐之间的防震装置及气浮系统。
本发明还提供一种测长装置,包括:测量机台及安装于测量机台上的四个定位标记,所述测量机台包括机架、安装于机架上的矩形测量平台、设于测量平台上方的测定显微镜及安装于机架上且连接测定显微镜的激光器,所述定位标记分别安装于测量平台的四个角落位置。
所述测量机台还包括安装于测量平台上且位于测量平台相对两侧的第一与第二导轨、安装于该第一与第二导轨上的横梁及动力系统,该横梁沿该第一与第二导轨长度方向滑动设置,所述测定显微镜滑动安装于该横梁上,该动力系统包括数个直线电机,分别用于驱动横梁在第一与第二导轨上的滑动及测定显微镜在横梁上的滑动。
所述测量平台由玻璃制成,其上均布数个孔部,数个支撑针由该些孔部延伸于测量平台外,用于支撑待测量液晶显示面板。
所述测量机台还包括安装于机架上的石定磐、设于机架与石定磐之间的防震装置及气浮系统,该石定磐由大理石制成,所述测量平台装于该石定磐上。
本发明的有益效果:本发明测长装置直交度补偿方法及使用该方法的测长装置,其通过在测量平台上设置对位标记,在测量前先读取对位标记的坐标值,并将该坐标值与该对位标记的设定坐标值进行对比,出现偏差时自动补正,以保证X轴与Y轴的直交度,进而保证测量的精度。
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容,请参阅以下有关本发明的详细说明与附图,然而附图仅提供参考与说明用,并非用来对本发明加以限制。
附图说明
下面结合附图,通过对本发明的具体实施方式详细描述,将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
附图中,
图1为液晶显示面板的结构示意图;
图2为TFT基板与CF基板的分解示意图;
图3为TFT基板的第一标记与CF基板的第二标记的对位配合示意图;
图4为现有的测长装置的结构示意图;
图5为测长装置测量坐标原理图;
图6为测长装置的直交度出现偏差时的俯视示意图;
图7为本发明测长装置直交度补偿方法的流程图;
图8为本发明测长装置的结构示意图;
图9为本发明测长装置的俯视示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果,以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图7至图9,本发明提供一种测长装置直交度补偿方法,包括以下步骤:
步骤1、提供测量机台20及数个对位标记40,所述测量机台20包括机架22、安装于机架22上的矩形测量平台24、设于测量平台24上方的测定显微镜26及安装于机架22上且连接测定显微镜26的激光器28。
所述测量机台20还包括安装于测量平台24上且位于测量平台24相对两侧的第一与第二导轨242、244及安装于该第一与第二导轨242、244上的横梁246,该横梁246沿该第一与第二导轨242、244长度方向滑动设置,所述测定显微镜26滑动安装于该横梁246上,进而使得该测定显微镜26可分别沿第一与第二导轨242、244长度方向及横梁246长度方向滑动,进而形成测定坐标系的X1轴与Y1轴,优选的,该成测定坐标系与测量平台的坐标系重合,其中,第一与第二导轨242、244长度方向为测定坐标系的Y1轴方向,横梁246长度方向为测定坐标系的X1轴方向。
在本实施例中,所述测量平台24由玻璃制成,其上均布数个孔部240,数个支撑针248由该些孔部240延伸于测量平台24外,用于支撑待测量液晶显示面板(未图示)。
所述测量机台20还包括安装于机架22上的石定磐23,所述测量平台24装于该石定磐23上,在本实施例中,所述石定磐23由大理石制成,其平整度好,且不易变形,利于保证测量精度的稳定性。
值得一提的是,所述测量机台20还包括设于机架22与石定磐23之间的防震装置(未图示),以缓冲外力,保证测量精度。
所述测量机台20还包括气浮系统(未图示)及动力系统(未图示),所述气浮系统用以悬浮横梁246及测定显微镜26,以减小横梁246相对于第一与第二导轨242、244之间的摩擦力及测定显微镜26相对于悬浮横梁246之间的摩擦力;所述动力系统包括数个直线电机,分别用于驱动横梁246在第一与第二导轨242、244上的滑动及测定显微镜26在横梁246上的滑动。
所述气浮系统与动力系统的具体构架可通过现有技术实现,在此不作赘述。
步骤2、将对位标记40安装于测量平台24上,并记录该些对位标记对应测量平台坐标系的坐标,以作为参考坐标值。
在本实施例中,所述对位标记40为四个,分别安装于测量平台24的四个角落位置,优选的,设定一对位标记的坐标值为(X1:0,Y1:0)。
步骤3、通过测定显微镜26读取该些对位标记40对应测量平台坐标系的实际坐标值,并将该实际坐标值与参考坐标值进行对比。
步骤4、如果实际坐标值与参考坐标值之间存在偏差,补正该实际坐标值,使得该实际坐标值等于参考坐标值。
以对位标记(X1:0,Y1:0)为例,实际坐标值(X1:0,Y1:3),与参考坐标值(X1:0,Y1:0)之间存在偏差,补正该实际坐标值(X1:0,Y1:3),使得该实际坐标值(X1:0,Y1:3)等于参考坐标值(X1:0,Y1:0),进而保证测量精度。
请参阅图8及图9,本发明还提供一种测长装置,其包括:测量机台20及安装于测量机台20上的四个定位标记40,所述测量机台20包括机架22、安装于机架22上的矩形测量平台24、设于测量平台24上方的测定显微镜26及安装于机架22上且连接测定显微镜26的激光器28。
所述测量机台20还包括安装于测量平台24上且位于测量平台24相对两侧的第一与第二导轨242、244及安装于该第一与第二导轨242、244上的横梁246,该横梁246沿该第一与第二导轨242、244长度方向滑动设置,所述测定显微镜26滑动安装于该横梁246上,进而使得该测定显微镜26可分别沿第一与第二导轨242、244长度方向及横梁246长度方向滑动,进而形成测定坐标系的X1轴与Y1轴,优选的,该成测定坐标系与测量平台的坐标系重合,其中,第一与第二导轨242、244长度方向为测定坐标系的Y1轴方向,横梁246长度方向为测定坐标系的X1轴方向。
在本实施例中,所述测量平台24由玻璃制成,其上均布数个孔部240,数个支撑针248由该些孔部240延伸于测量平台24外,用于支撑待测量液晶显示面板(未图示)。
所述测量机台20还包括安装于机架22上的石定磐23,所述测量平台24安装于该石定磐23上,在本实施例中,所述石定磐23由大理石制成,其平整度好,且不易变形,利于保证测量精度的稳定性。
值得一提的是,所述测量机台20还包括设于机架22与石定磐23之间的防震装置(未图示),以缓冲外力,保证测量精度。
所述测量机台20还包括气浮系统(未图示)及动力系统(未图示),所述气浮系统用以悬浮横梁246及测定显微镜26,以减小横梁246相对于第一与第二导轨242、244之间的摩擦力及测定显微镜26相对于悬浮横梁246之间的摩擦力;所述动力系统包括数个直线电机,分别用于驱动横梁246在第一与第二导轨242、244上的滑动及测定显微镜26在横梁246上的滑动。
所述气浮系统与动力系统的具体构可通过现有技术实现,在此不作赘述。
综上所述,本发明测长装置直交度补偿方法及使用该方法的测长装置,其通过在测量平台上设置对位标记,在测量前先读取对位标记的坐标值,并将该坐标值与该对位标记的设定坐标值进行对比,出现偏差时自动补正,以保证X轴与Y轴的直交度,进而保证测量的精度。
以上所述,对于本领域的普通技术人员来说,可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形,而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种测长装置直交度补偿方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1、提供测量机台及数个对位标记,所述测量机台包括机架、安装于机架上的矩形测量平台、设于测量平台上方的测定显微镜及安装于机架上且连接测定显微镜的激光器;
步骤2、将对位标记安装于测量平台上,并记录该些对位标记对应测量平台坐标系的坐标,以作为参考坐标值;
步骤3、通过测定显微镜读取该些对位标记对应测量平台坐标系的实际坐标值,并将该实际坐标值与参考坐标值进行对比;
步骤4、如果实际坐标值与参考坐标值之间存在偏差,补正该实际坐标值,使得该实际坐标值等于参考坐标值。
2.如权利要求1所述的测长装置直交度补偿方法,其特征在于,所述步骤1提供的对位标记为四个,分别安装于测量平台的四个角落位置。
3.如权利要求1所述的测长装置直交度补偿方法,其特征在于,所述步骤1提供的测量机台还包括安装于测量平台上且位于测量平台相对两侧的第一与第二导轨、安装于该第一与第二导轨上的横梁及动力系统,该横梁沿该第一与第二导轨长度方向滑动设置,所述测定显微镜滑动安装于该横梁上,该动力系统包括数个直线电机,分别用于驱动横梁在第一与第二导轨上的滑动及测定显微镜在横梁上的滑动。
4.如权利要求1所述的测长装置直交度补偿方法,其特征在于,所述测量平台由玻璃制成,其上均布数个孔部,数个支撑针由该些孔部延伸于测量平台外,用于支撑待测量液晶显示面板。
5.如权利要求1所述的测长装置直交度补偿方法,其特征在于,所述测量机台还包括安装于机架上的石定磐,该石定磐由大理石制成,所述测量平台装于该石定磐上。
6.如权利要求1所述的测长装置直交度补偿方法,其特征在于,所述测量机台还包括设于机架与石定磐之间的防震装置及气浮系统。
7.一种测长装置,其特征在于,包括:测量机台及安装于测量机台上的四个定位标记,所述测量机台包括机架、安装于机架上的矩形测量平台、设于测量平台上方的测定显微镜及安装于机架上且连接测定显微镜的激光器,所述定位标记分别安装于测量平台的四个角落位置。
8.如权利要求7所述的测长装置,其特征在于,所述测量机台还包括安装于测量平台上且位于测量平台相对两侧的第一与第二导轨、安装于该第一与第二导轨上的横梁及动力系统,该横梁沿该第一与第二导轨长度方向滑动设置,所述测定显微镜滑动安装于该横梁上,所述动力系统包括数个直线电机,分别用于驱动横梁在第一与第二导轨上的滑动及测定显微镜在横梁上的滑动。
9.如权利要求7所述的测长装置,其特征在于,所述测量平台由玻璃制成,其上均布数个孔部,数个支撑针由该些孔部延伸于测量平台外,用于支撑待测量液晶显示面板。
10.如权利要求7所述的测长装置,其特征在于,所述测量机台还包括安装于机架上的石定磐、设于机架与石定磐之间的防震装置及气浮系统,该石定磐由大理石制成,所述测量平台装于该石定磐上。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103292709A (zh) * 2013-05-24 2013-09-11 深圳市华星光电技术有限公司 测长机日常检测与自动补正方法
WO2015066976A1 (zh) * 2013-11-06 2015-05-14 深圳市华星光电技术有限公司 用于检测误差并引导误差校正的系统及方法
WO2015100788A1 (zh) * 2013-12-30 2015-07-09 深圳市华星光电技术有限公司 探针膜厚测量机坐标补正方法及装置
CN109166474A (zh) * 2018-10-10 2019-01-08 京东方科技集团股份有限公司 一种显示模组以及贴合精度检测方法
CN109597282A (zh) * 2018-12-25 2019-04-09 福建华佳彩有限公司 一种提升tft-lcd面板对组精度的方法
CN112518395A (zh) * 2020-11-11 2021-03-19 中国铁建重工集团股份有限公司 一种f型钢找正定位方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07260472A (ja) * 1994-03-22 1995-10-13 Nikon Corp ステージ装置の直交度測定方法
CN1464969A (zh) * 2001-06-29 2003-12-31 奥林巴斯光学工业株式会社 坐标检测装置
CN2619259Y (zh) * 2003-06-04 2004-06-02 东捷半导体科技股份有限公司 液晶基板检测的激光标示机构
CN1808055A (zh) * 2005-01-18 2006-07-26 奥林巴斯株式会社 坐标检测装置及被检测体检查装置
CN1871562A (zh) * 2003-10-23 2006-11-29 住友重机械工业株式会社 载物台装置
WO2009037875A1 (ja) * 2007-09-19 2009-03-26 Hitachi Kokusai Electric Inc. 線幅測定装置の検査方法
CN102237262A (zh) * 2010-04-30 2011-11-09 奥林巴斯株式会社 处理装置、处理系统以及坐标校正方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07260472A (ja) * 1994-03-22 1995-10-13 Nikon Corp ステージ装置の直交度測定方法
CN1464969A (zh) * 2001-06-29 2003-12-31 奥林巴斯光学工业株式会社 坐标检测装置
CN2619259Y (zh) * 2003-06-04 2004-06-02 东捷半导体科技股份有限公司 液晶基板检测的激光标示机构
CN1871562A (zh) * 2003-10-23 2006-11-29 住友重机械工业株式会社 载物台装置
CN1808055A (zh) * 2005-01-18 2006-07-26 奥林巴斯株式会社 坐标检测装置及被检测体检查装置
WO2009037875A1 (ja) * 2007-09-19 2009-03-26 Hitachi Kokusai Electric Inc. 線幅測定装置の検査方法
CN102237262A (zh) * 2010-04-30 2011-11-09 奥林巴斯株式会社 处理装置、处理系统以及坐标校正方法

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103292709A (zh) * 2013-05-24 2013-09-11 深圳市华星光电技术有限公司 测长机日常检测与自动补正方法
WO2014187012A1 (zh) * 2013-05-24 2014-11-27 深圳市华星光电技术有限公司 测长机日常检测与自动补正方法
CN103292709B (zh) * 2013-05-24 2015-09-09 深圳市华星光电技术有限公司 测长机日常检测与自动补正方法
US9470518B2 (en) 2013-05-24 2016-10-18 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Daily checking and calibrating method of length measuring machine
WO2015066976A1 (zh) * 2013-11-06 2015-05-14 深圳市华星光电技术有限公司 用于检测误差并引导误差校正的系统及方法
WO2015100788A1 (zh) * 2013-12-30 2015-07-09 深圳市华星光电技术有限公司 探针膜厚测量机坐标补正方法及装置
CN109166474A (zh) * 2018-10-10 2019-01-08 京东方科技集团股份有限公司 一种显示模组以及贴合精度检测方法
US11073483B2 (en) 2018-10-10 2021-07-27 Chengdu Boe Optoelectronics Technology Co., Ltd. Display device and bonding accuracy detection method
CN109597282A (zh) * 2018-12-25 2019-04-09 福建华佳彩有限公司 一种提升tft-lcd面板对组精度的方法
CN109597282B (zh) * 2018-12-25 2020-11-24 福建华佳彩有限公司 一种提升tft-lcd面板对组精度的方法
CN112230523A (zh) * 2018-12-25 2021-01-15 福建华佳彩有限公司 基于标准片的提升tft-lcd面板对组精度的方法
CN112230522A (zh) * 2018-12-25 2021-01-15 福建华佳彩有限公司 基于测长仪的提升tft-lcd面板对组精度的方法
CN112230522B (zh) * 2018-12-25 2022-06-07 福建华佳彩有限公司 基于测长仪的提升tft-lcd面板对组精度的方法
CN112230523B (zh) * 2018-12-25 2023-04-07 福建华佳彩有限公司 基于标准片的提升tft-lcd面板对组精度的方法
CN112518395A (zh) * 2020-11-11 2021-03-19 中国铁建重工集团股份有限公司 一种f型钢找正定位方法

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