CN110887435B

CN110887435B - 一种检测平台

Info

Publication number: CN110887435B
Application number: CN201911225186.XA
Authority: CN
Inventors: 叶林伟; 夏东劼; 胡海强; 杨丽萍; 刘洪涛
Original assignee: China Building Materials Intelligent Automation Research Institute Co ltd
Current assignee: China Building Materials Intelligent Automation Research Institute Co ltd
Priority date: 2019-12-04
Filing date: 2019-12-04
Publication date: 2021-07-27
Anticipated expiration: 2039-12-04
Also published as: CN110887435A

Abstract

本发明公开一种检测平台，它包括基台与设置在基台上的移动检测装置，其中，移动检测装置包括检测机架与布置于检测机架上的若干线性模组；基台包括基台架和布置在基台上的拍正机构、拍正基准机构、边角检测机构、平面补偿机构。本发明具有初定位与精确定位两个过程，定位精度较高，并且可同时完成对平板直线度误差、垂直度误差与平面度误差三者的检测，填补了对大尺寸、超薄平板平面度误差检测的技术空白，可广泛地应用于各种大尺寸板材平面度误差检测领域。

Description

一种检测平台

技术领域

本发明涉及平面度检测技术领域，特别是涉及一种检测平台。

背景技术

随着近代科学技术的发展，工业上对各种平面板材的需求量越来越大，对其要求也越来越高，尤其是在液晶显示器制造领域，液晶显示器研究的飞速发展对其所需的玻璃基板的制造提出了更高的要求，在性能方面，高性能显示器的制造工艺中往往包括多次精密光刻，这就要求基板外形尺寸具有较高的加工精度，其中最重要的是对于基板平面度误差和厚度方面的要求，这两个要素是极其重要的，例如，有源LCD二基板精度不能保证，则构成的池空间，即二基板间距就会产生误差，直接影响到电场和像素，使得显示器的灰度和色彩不均匀，对于平面度低的基板在光刻的过程中也带来许多问题，曝光时不能在整个平面上聚焦，这会导致其内部的微电路出现各种问题。

基于上述现象，目前人们对于平板的平面度检测主要有水平仪法、自准直仪法、光轴法、液面法等方法，但是这些方法无法满足对于大尺寸、超薄玻璃平面度误差的大批量自动化检测的要求，所以，设计出一种用于大批量全自动检测大尺寸、超薄平板平面度误差的设备是本领域技术人员亟需解决的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种检测平台，以解决上述现有技术存在的问题，定位精度高，可以同时完成对平板的直线度误差、垂直度误差与平面度误差三者的检测。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：本发明提供一种检测平台，包括设置于基台上的移动检测装置，所述基台包括基台架和布置在所述基台上的拍正机构、拍正基准机构、边角检测机构和平面补偿机构，所述移动检测装置包括检测机架与布置与所述检测机架上的若干线性模组；

盛放待测平板的托架放入所述基台架上的所述移动检测装置与所述基台之间的检测空间内，待测平板位于所述检测机架上，在托架接触到所述平面补偿机构之前，所述拍正机构即已经开始动作，所述拍正机构以拍正基准机构作为基准对待测平板及其托架的位置进行初步定位；当托架放置在所述平面补偿机构上之后，所述拍正机构发生第二次动作，在平面补偿机构的辅助作用下拍正机构对托架及待测平板进行微调定位，当拍正机构的两次定位动作完成时，所述边角检测机构与移动检测装置开始后续的检测工作；若干所述线性模组用于采集被测平板上的数据点。

优选的，所述基台架为框架结构，所述拍正基准机构设置在所述基台架上表面的一侧侧边上，所述拍正基准机构包括拍正基准安装架与设置在拍正基准安装架上的若干万向球单元；所述万向球单元包括万向球安装座与装设在万向球安装座内的万向球，并且若干所述万向球上距离拍正基准安装架安装面最远点均与同一竖直平面相切。

优选的，所述拍正机构包括大气缸拍正机构，所述大气缸拍正机构包括拍正架、设置在拍正架上的大拍正气缸与导向杆，导向杆与大拍正气缸的推杆端部还连接有拍正折弯槽，拍正折弯槽的槽内设置有若干呈一字形排布的拍正辊轮；大气缸拍正机构分别固定地设置在基台架上拍正基准机构所在边的一侧临边与对边上的中部位置处。

优选的，所述拍正机构还包括微调拍正机构，所述微调拍正机构包括微调拍正安装架、设置在微调拍正安装架上的微调气缸、设置在微调拍正气缸的推杆端部的微调拍正辊；所述微调拍正气缸的侧壁设置在微调拍正安装架的上安装面上，微调拍正气缸的推杆与微调拍正辊之间还设有微调拍正辊安装板；整个微调拍正机构分别设置在基台架上拍正基准机构所在边与大气缸拍正机构所在边上。

优选的，所述边角检测机构包括分别设置在基台架上大气缸拍正机构所在边上的几组千分表部件，其中，千分表部件包括仪表气缸架一、侧面装设在仪表气缸安装架一上安装面上的仪表推进气缸一，仪表推进气缸一的推杆端部连接有仪表架一，仪表架一的顶部设有用于装设千分表的紧定夹口一，紧定夹口一内装设有千分表一；在千分表一的正上方设有按键气缸一，按键气缸一与仪表架一之间设置有按键气缸安装架一；设置在基台架同一边上的几组千分表部件中千分表的测量顶头所在直线与设置在其临边上的几组千分表的测量顶头所在直线相垂直，且几组千分表处于同一水平面上。

优选的，所述边角检测机构还包括一组设置在基台架上与拍正基准机构所在边相邻且与大气缸拍正机构所在边相对的一侧侧面上的可升降千分表部件；可升降千分表部件包括升降气缸与用于装设升降气缸的升降气缸安装架，升降气缸的推杆端部连接有双面安装板，双面安装板的另一面上连接有仪表推进气缸二，仪表推进气缸二的推杆端部连接有仪表架二，仪表架二的顶部设有用于装设千分表的紧定夹口二，紧定夹口二内装设有千分表二；在千分表二的正上方设有按键气缸二，按键气缸二与仪表架二之间设置有按键气缸安装架二。

优选的，所述基台架上可升降千分表部件所在的一侧侧面上还设有止动气缸。

优选的，所述平面补偿机构包括若干组设置于基台架上的平面补偿器，所述平面补偿器包括若干浮动气缸，浮动气缸的缸体固定在基台架上，浮动气缸顶部的活动端连接有水平平板。

优选的，所述检测机架为由若干型材搭建而成的矩形框架结构；检测机架上侧一组对边的型材上设有两条相互平行的线性模组一与线性模组二，线性模组一与线性模组二的滑块通过一根型材相连接，并且该型材上还设有线性模组三；线性模组三的滑块上还设有线性模组四，线性模组四的滑块上设置有检测头；检测头在线性模组一至四的作用下可在XYZ三个方向上任意移动。

本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：

本发明的检测平台，应用于大尺寸平板的平面度检测，填补了对大尺寸、超薄平板平面度误差检测的技术空白；可同时完成对平板直线度误差、垂直度误差与平面度误差三者的检测；还具有初定位与精确定位两个过程，定位精度较高。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明的一种整体结构示意图；

图2是本发明中大气缸拍正机构的结构示意图；

图3是本发明中微调拍正机构的结构示意图；

图4是本发明中止动气缸的结构示意图；

图5是本发明中拍正基准机构示意图；

图6是本发明中千分表部件的结构示意图；

图7是本发明中可升降千分表部件的结构示意图；

图8是本发明中平面补偿机构的结构示意图；

其中，1、基台；1-1、基台架；1-2、拍正机构；1-2-1、大气缸拍正机构；1-2-1-2、大拍正气缸；1-2-1-3、导向杆；1-2-1-4、拍正折弯架；1-2-1-5、拍正辊轮；1-2-2、微调拍正机构；1-2-2-1、微调拍正安装架；1-2-2-2、微调气缸；1-2-2-3、微调拍正辊；1-2-2-4、微调拍正辊安装板；1-2-3、止动气缸；1-2-3-4、止动辊；1-3、拍正基准机构；1-3-1、拍正基准安装架；1-3-2、万向球单元；1-3-2-1、万向球安装座；1-3-2-2、万向球；1-4；、边角检测机构；1-4-1、千分表部件；1-4-1-1、仪表气缸架一；1-4-1-2、仪表推进气缸一；1-4-1-3、仪表架一；1-4-1-4、紧定夹口一；1-4-1-5、千分表一；1-4-1-6、按键气缸；1-4-1-7、气缸安装架；1-4-2、可升降千分表部件；1-4-2-1升降气缸；1-4-2-2、升降气缸安装架；1-4-2-3、双面安装板；1-4-2-4、仪表推进气缸二；1-4-2-5、仪表架二；1-4-2-6、紧定夹口二；1-4-2-7、千分表二；1-4-2-8、按键气缸；1-4-2-9、按键气缸安装架；1-5、平面补偿机构；1-5-1、平面补偿器；1-5-1-1、浮动气缸；1-5-1-2、平板；2、移动检测装置；2-1、检测机架；2-2、线性模组一；2-3、线性模组二；2-4、线性模组三；2-5、线性模组四；2-5-1、检测头。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

如图1-8所示，本发明提供一种检测平台，它由移动检测装置2与基台1两大部分组成，如图1，移动检测装置2装设在基台1上，本发明在工作时需要将盛放待测平板的托架放置到基台1与移动检测装置2之间的检测空间内，如图1所示，A口为托架进口。

如图1中所示，移动检测装置2，它包括检测机架2-1、在检测机架2-1上设置的线性模组一2-2、线性模组二2-3、线性模组三2-4与线性模组四2-5和一个检测头2-5-1所组成，其整个检测机架2-1为由铝型材搭建而成的矩形框架结构。检测机架2-1上侧一组对边的型材上设有两条相互平行的线性模组一2-2与线性模组二2-3，即线性模组一2-2与线性模组二2-3分别对应地装设在一边型材上，线性模组一2-2与线性模组二2-3的滑块通过一根型材相连接，该型材与两滑块共同构成了一个移动副，除此之外，该型材上还设有线性模组三2-4；线性模组三2-4的滑块上还设有线性模组四2-5，线性模组四2-5为竖直设置，即其滑块可以在竖直方向上运动，线性模组四2-5的滑块上设置有检测头2-5-1；显而易见地，检测头2-5-1在线性模组一至四的作用下可在XYZ三个方向上任意移动，检测头2-5-1的作用是检测并采集被测平板上的数据点的空间坐标。

基台1由基台架1-1与设置在基台架1-1上的各种功能性机构所组成，在基台架1-1上共装设有拍正机构1-2、拍正基准机构1-3、边角检测机构1-4和平面补偿机构1-5四大机构，其中：

(1)拍正机构1-2，它由大气缸拍正机构1-2-1、微调拍正机构1-2-2和止动气缸1-2-3三部分所组成。

大气缸拍正机构1-2-1，它由拍正架1-2-1-1、大拍正气缸1-2-1-2、两根导向杆1-2-1-3、拍正折弯槽1-2-1-4与四个拍正辊轮1-2-1-5几个部分所组成，如图2所示，大拍正气缸1-2-1-2装设在拍正架1-2-1-1上，两根导向杆1-2-1-3与大拍正气缸1-2-1-2推杆的端部与拍正折弯槽1-2-1-4相连接，拍正辊轮1-2-1-5呈一字形均匀地装设在拍正折弯槽1-2-1-4内。整个大气缸拍正机构1-2-1分别设置在基台架1-1上图示的几条侧边上。

大气缸拍正机构1-2-1的功能是初定位。如技术方案中所述，本发明在实际应用中，首先需要借助搬运设备将盛放待测平板的托架放入基台架1-1上移动检测装置2与基台1之间的检测空间内，在托架接触到平面补偿机构1-5之前，拍正机构1-2即已经开始动作，在此时发生动作的就是大气缸拍正机构1-2-1，大气缸拍正机构1-2-1中的拍正辊轮1-2-1-5在气缸推杆的作用下向外伸出对盛放待测平板的托架进行初定位，初定位完成后托架方可放置在平面补偿机构1-5上，在此过程中，机构内部的导向杆1-2-1-3起到辅助导向的作用。

微调拍正机构1-2-2，它由微调拍正安装架1-2-2-1、微调气缸1-2-2-2、微调拍正辊1-2-2-3与微调拍正辊安装板1-2-2-4四部分所组成，如图3所示，微调气缸1-2-2-2装设在微调拍正安装架1-2-2-1上，微调气缸1-2-2-2的推杆通过微调拍正安装板1-2-2-4与微调拍正辊1-2-2-3相连接，如图示，整个微调拍正机构1-2-2布置在基台架1-1上除A口所在侧以外的其他三边上。

微调拍正机构1-2-2的作用是大气缸拍正机构1-2-1完成初定位后在平面补偿机构1-5的辅助作用下对托架进行进一步的精确定位。进行精确定位的目的是为保证后续各种检测过程具有较高的精度。

止动气缸1-2-3，它布置在A口所在侧基台架1-1的中部偏下位置处。实际工作中：在盛放平板的托架自A口被放置到检测位的过程中，止动气缸1-2-3上的止动辊1-2-3-4会在气缸推杆的作用下降至安全位，其目的是避免在此过程中对托架造成干涉，与此同时，也对止动辊1-2-3-4自身起到了保护作用，当对托架的放置动作完成后，止动辊1-2-3-4会自安全位升至工作位，对已就位的托架起到止挡作用，以保证后续的测量工作顺利进行。止动气缸1-2-3的作用是待托架进入到预定位置后弹起并对其进行止挡，其目的是保证后续精确定位的进行。

(2)拍正基准机构1-3，如图5，它由拍正基准安装架1-3-1与装设在其上的四个万向球单元1-3-2所组成，每个万向球单元1-3-2都由万向球安装座1-3-2-1与装设在其中的一个万向球1-3-2-2所组成，四个万向球单元1-3-2-2呈一字型等距均匀地装设在拍正基准安装架1-3-1上；并且所有万向球均处于同一竖直平面内，该平面即为拍正定位的基准平面。拍正基准机构1-3为后续的拍正定位提供了一个竖直方向上的基准面，该基准面是由若干个万向球的顶点所确定的。

(3)边角检测机构1-4，如图1所示，它由设置在基台1上大气缸拍正机构1-2-1所在边上的几组千分表部件1-4-1和设置在A口侧基台架1-1侧壁中部的两个可升降千分表部件1-4-2所组成，边角检测机构1-4的功能有如下两种：1)对被测平板的几条边进行检测，以评估每条边的直线度误差是否符合规定；2)对被测平板的几组临边进行综合检测，以评估每组临边的垂直度误差是否符合规定。

其中：千分表部件1-4-1，如图6所示，它由仪表气缸架一1-4-1-1、侧面设置在仪表气缸架一1-4-1-1上安装面上的仪表推进气缸一1-4-1-2，仪表推进气缸一1-4-1-2的推杆端部连接有仪表架一1-4-1-3，仪表架一1-4-1-3的顶部设有用于装设千分表的紧定夹口一1-4-1-4，紧定夹口一1-4-1-4内装设有千分表一1-4-1-5；在千分表一1-4-1-5的正上方还设置有按键气缸一1-4-1-6，按键气缸一1-4-1-6与仪表架一1-4-1-3之间设置有按键气缸安装架一1-4-1-7。上述的几组千分表部件中，设置在基台同一边上的几组千分表1-4-1-5的测量顶头所在直线与设置在其临边上的几组千分表的测量顶头所在的直线相互垂直，并且这些前分表处于同一水平面上。在上述的千分表部件结构中，仪表推进气缸的作用是在一系列精确定位动作完成后将千分表自安全位推至测量位；按键气缸的作用是对千分表上的一些功能按键进行触按操作。在实际工作时，处于同一侧边上的千分表部件其功能是对平板侧边的直线度误差进行检测；处于两相邻侧边上的千分表部件其功能是对平板一组相邻侧边的垂直度误差进行检测。

可升降千分表部件1-4-2，如图7所示，它由升降气缸1-4-2-1、升降气缸安装架1-4-2-2、双面安装板1-4-2-3和上述千分表部件1-4-1中的部分结构所组成，更具体地，升降气缸1-4-2-1装设在升降气缸安装架1-4-2-2上，升降气缸1-4-2-1的推杆端部与双面安装板1-4-2-3连接，与上述千分表部件相同，仪表架二1-4-2-5的顶部开设有用于夹持千分表的紧定夹口1-4-2-6，千分表二1-4-2-7就装设在该紧定夹口内，按键气缸按键气缸二1-4-2-8布置在千分表二1-4-2-7的上方，按键气缸二1-4-2-8通过它与仪表架二1-4-2-5之间布置的按键气缸安装架1-4-2-9固定。在实际工作中，装设可升降千分表部件的这一侧是托架进口侧，在将托架放入检测位置的过程中，可升降千分表部件可以将千分表二降至安全位置，起到了保护作用，待开始检测时再将千分表二升至测量位置。

(4)平面补偿机构1-5，如图8所示，它由两组于基台上设置的平面补偿器1-5-1所组成，两组平面补偿器1-5-1于平面上相互平行设置，每组平面补偿器1-5-1都由4个于基台架上呈一字形均匀等距设置的浮动气缸1-5-1-1所组成，浮动气缸1-5-1-1的顶部的活动端连接有用于盛放托架的水平平板1-5-1-2。

注意，本领域一般技术人员应该知晓，上述内容中平面补偿器1-5-1的结构只是本实施例介绍的一种情况，除此之外，本发明中的平面补偿器1-5-1还可以是其他合理结构，例如，两组平面补偿器1-5-1于基台上交叉布置，或者浮动气缸1-5-1-1于基台1上为圆周等距均匀布置，其顶部活动端连接的水平平板1-5-1-2为圆环形等等，任何合理的布置方式均在本发明所保护的范围内。

本发明的一般工作过程如下：

首先，需要对边角检测机构1-4中的千分表部件1-4-1与可升降千分表部件1-4-2进行调试、校零，使得处于基台1上拍正基准机构1-3所在边及其对边侧的几个千分表在测量位时测量顶头共线并且该直线平行于拍正基准机构1-3所确定的基准平面，同样地，处于拍正基准机构1-3邻边上的几个千分表在测量位置时测量顶头也共线，并且该直线垂直于拍正基准机构1-3所确定的平面；显而易见地，在测量过程中，每两条相邻的边上千分表的测量顶头所确定的直线都相互垂直，上述的这些几何关系保证了边角检测机构对待测平板垂直度误差检测的精确度；待调试、校准完成后需使千分表退至安全位置，以免损坏。

其次，需要将盛放待测平板的托架自A口侧送入移动检测装置2与基台1中间的检测区域中，并将托架放置在平面补偿机构1-5上，在这个过程中，几个大气缸拍正机构1-2-1开始动作，在推杆的作用下各拍正辊轮1-2-1-5到达预设位置，各拍正辊轮1-2-1-5、拍正基准机构1-3与止动气缸1-2-3对托架提供了四个方向上的约束，使得托架在放置到平面补偿器1-5-1上时就以完成了初步定位。

初步定位完成后，微调拍正机构1-2-2开始动作，在平面补偿器1-5-1的辅助下，微调拍正辊1-2-2-3在微调气缸1-2-2-2的作用下对托架进行精确定位，在这个过程中，平面补偿器1-5-1为托盘提供了低阻力的微小调节余量，值得注意的是，在微调拍正的过程中托架的底面与平面补偿器1-5-1之间不存在相对滑动。

初步定位与精确定位完成后，移动检测装置2与边角检测机构1-4开始动作，移动检测装置2上的检测头2-5-1在线性模组一2-2至线性模组四2-5的作用下在空间XYZ三个方向上移动对被测平板上的各预设点进行检测以计算被测板的平面度误差；与此同时，各个千分表在仪表气缸、升降气缸1-4-2-1的作用下被推至测量位，对被测平板各边的直线度与每组邻边的垂直度进行检测。

此后，当一系列检测动作完成后，各千分表自测量位置退至安全位置，各拍正机构复位，止动气缸1-2-3动作，将止动辊1-2-3-1自工作位置推至安全位置。

最终，将托架自检测位取出，至此，整个检测过程结束。

本发明中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims

1.一种检测平台，其特征在于：包括设置于基台上的移动检测装置，所述基台包括基台架和布置在所述基台上的拍正机构、拍正基准机构、边角检测机构和平面补偿机构，所述移动检测装置包括检测机架与布置与所述检测机架上的若干线性模组；

盛放待测平板的托架放入所述基台架上的所述移动检测装置与所述基台之间的检测空间内，待测平板位于所述检测机架上，在托架接触到所述平面补偿机构之前，所述拍正机构即已经开始动作，所述拍正机构以拍正基准机构作为基准对待测平板及其托架的位置进行初步定位；当托架放置在所述平面补偿机构上之后，所述拍正机构发生第二次动作，在平面补偿机构的辅助作用下拍正机构对托架及待测平板进行微调定位，当拍正机构的两次定位动作完成时，所述边角检测机构与移动检测装置开始后续的检测工作；若干所述线性模组用于采集被测平板上的数据点；

所述基台架为框架结构，所述拍正基准机构设置在所述基台架上表面的一侧侧边上，所述拍正基准机构包括拍正基准安装架与设置在拍正基准安装架上的若干万向球单元；所述万向球单元包括万向球安装座与装设在万向球安装座内的万向球，并且若干所述万向球上距离拍正基准安装架安装面最远点均与同一竖直平面相切；

所述拍正机构包括大气缸拍正机构，所述大气缸拍正机构包括拍正架、设置在拍正架上的大拍正气缸与导向杆，导向杆与大拍正气缸的推杆端部还连接有拍正折弯槽，拍正折弯槽的槽内设置有若干呈一字形排布的拍正辊轮；大气缸拍正机构分别固定地设置在基台架上拍正基准机构所在边的一侧临边与对边上的中部位置处；

所述拍正机构还包括微调拍正机构，所述微调拍正机构包括微调拍正安装架、设置在微调拍正安装架上的微调气缸、设置在微调拍正气缸的推杆端部的微调拍正辊；所述微调拍正气缸的侧壁设置在微调拍正安装架的上安装面上，微调拍正气缸的推杆与微调拍正辊之间还设有微调拍正辊安装板；整个微调拍正机构分别设置在基台架上拍正基准机构所在边与大气缸拍正机构所在边上。

2.根据权利要求1所述的检测平台，其特征在于：所述边角检测机构包括分别设置在基台架上大气缸拍正机构所在边上的几组千分表部件，其中，千分表部件包括仪表气缸架一、侧面装设在仪表气缸安装架一上安装面上的仪表推进气缸一，仪表推进气缸一的推杆端部连接有仪表架一，仪表架一的顶部设有用于装设千分表的紧定夹口一，紧定夹口一内装设有千分表一；在千分表一的正上方设有按键气缸一，按键气缸一与仪表架一之间设置有按键气缸安装架一；设置在基台架同一边上的几组千分表部件中千分表的测量顶头所在直线与设置在其临边上的几组千分表的测量顶头所在直线相垂直，且几组千分表处于同一水平面上。

3.根据权利要求2所述的检测平台，其特征在于：所述边角检测机构还包括一组设置在基台架上与拍正基准机构所在边相邻且与大气缸拍正机构所在边相对的一侧侧面上的可升降千分表部件；可升降千分表部件包括升降气缸与用于装设升降气缸的升降气缸安装架，升降气缸的推杆端部连接有双面安装板，双面安装板的另一面上连接有仪表推进气缸二，仪表推进气缸二的推杆端部连接有仪表架二，仪表架二的顶部设有用于装设千分表的紧定夹口二，紧定夹口二内装设有千分表二；在千分表二的正上方设有按键气缸二，按键气缸二与仪表架二之间设置有按键气缸安装架二。

4.根据权利要求3所述的检测平台，其特征在于：所述基台架上可升降千分表部件所在的一侧侧面上还设有止动气缸。

5.根据权利要求1所述的检测平台，其特征在于：所述平面补偿机构包括若干组设置于基台架上的平面补偿器，所述平面补偿器包括若干浮动气缸，浮动气缸的缸体固定在基台架上，浮动气缸顶部的活动端连接有水平平板。

6.根据权利要求1所述的检测平台，其特征在于：所述检测机架为由若干型材搭建而成的矩形框架结构；检测机架上侧一组对边的型材上设有两条相互平行的线性模组一与线性模组二，线性模组一与线性模组二的滑块通过一根型材相连接，并且该型材上还设有线性模组三；线性模组三的滑块上还设有线性模组四，线性模组四的滑块上设置有检测头；检测头在线性模组一至四的作用下可在XYZ三个方向上任意移动。