CN109597282B - 一种提升tft-lcd面板对组精度的方法 - Google Patents

一种提升tft-lcd面板对组精度的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109597282B
CN109597282B CN201811589654.7A CN201811589654A CN109597282B CN 109597282 B CN109597282 B CN 109597282B CN 201811589654 A CN201811589654 A CN 201811589654A CN 109597282 B CN109597282 B CN 109597282B
Authority
CN
China
Prior art keywords
data
measuring instrument
glass substrate
length measuring
lcd panel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201811589654.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109597282A (zh
Inventor
不公告发明人
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujian Huajiacai Co Ltd
Original Assignee
Fujian Huajiacai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujian Huajiacai Co Ltd filed Critical Fujian Huajiacai Co Ltd
Priority to CN202011094215.6A priority Critical patent/CN112230523B/zh
Priority to CN202011094112.XA priority patent/CN112230522B/zh
Priority to CN201811589654.7A priority patent/CN109597282B/zh
Publication of CN109597282A publication Critical patent/CN109597282A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109597282B publication Critical patent/CN109597282B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
    • G03F9/7088Alignment mark detection, e.g. TTR, TTL, off-axis detection, array detector, video detection
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/7085Detection arrangement, e.g. detectors of apparatus alignment possibly mounted on wafers, exposure dose, photo-cleaning flux, stray light, thermal load

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

本发明涉及面板对组技术领域,特别涉及一种提升TFT‑LCD面板对组精度的方法,通过对基准的测长仪机台进行校正操作,得到校正数据后,以校正数据为调整目标对第一测长仪机台和第二测长仪机台进行校正,将校正后的测长仪机台对玻璃基板进行对位,从而缩小第一测长仪机台与第二测长仪机台间量测机差所造成的误差,提升Array玻璃基板与CF玻璃基板对组精度,进而提升TFT‑LCD面板对组精度。

Description

一种提升TFT-LCD面板对组精度的方法
技术领域
本发明涉及面板对组技术领域,特别涉及一种提升TFT-LCD面板对组精度的方法。
背景技术
现今,TFT-LCD面板厂对组方式普遍为整大片玻璃对组,且Array基板和CF基板图形控制方式皆以测长仪机台量测监控再补偿至曝光机台制作,若不同测长仪机台间机差过大将造成对组异常。目前测长仪机台间机差校正方式皆以一般0度量测作为调整依据,此方校正方式易忽略量测机台坐标象限的差异及Array基板和CF基板对组时呈镜像关系的影响。因此,特别有必要提供一种提升TFT-LCD面板对组精度的方法。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是:提供一种提升TFT-LCD面板对组精度的方法,可有效缩小测长仪机台的量测机差及图形镜像造成的差异。
为了解决上述技术问题,本发明采用的技术方案为:
一种提升TFT-LCD面板对组精度的方法,包括以下步骤:
S1、对基准的测长仪机台进行校正操作,得到校正数据;
S2、根据所述校正数据分别对第一测长仪机台以及第二测长仪机台进行校正;
S3、使用校正后的第一测长仪机台对Array玻璃基板进行对位,使用校正后的第二测长仪机台对CF玻璃基板进行对位;
S4、将步骤S3得到的Array玻璃基板和CF玻璃基板进行对组,得到TFT-LCD面板。
本发明的有益效果在于:通过对基准的测长仪机台进行校正操作,得到校正数据后,以校正数据为调整目标对第一测长仪机台和第二测长仪机台进行校正,将校正后的测长仪机台对玻璃基板进行对位,从而缩小第一测长仪机台与第二测长仪机台间量测机差所造成的误差,提升Array玻璃基板与CF玻璃基板对组精度,进而提升TFT-LCD面板对组精度。
附图说明
图1为根据本发明的一种提升TFT-LCD面板对组精度的方法的步骤流程图。
具体实施方式
为详细说明本发明的技术内容、所实现目的及效果,以下结合实施方式并配合附图予以说明。
本发明最关键的构思在于:提供一种提升TFT-LCD面板对组精度的方法,缩小Array测长仪机台与CF测长仪机台间机差所造成的误差,提升TFT-LCD面板对组精度。
请参照图1,本发明提供的技术方案:
一种提升TFT-LCD面板对组精度的方法,包括以下步骤:
S1、对基准的测长仪机台进行校正操作,得到校正数据;
S2、根据所述校正数据分别对第一测长仪机台以及第二测长仪机台进行校正;
S3、使用校正后的第一测长仪机台对Array玻璃基板进行对位,使用校正后的第二测长仪机台对CF玻璃基板进行对位;
S4、将步骤S3得到的Array玻璃基板和CF玻璃基板进行对组,得到TFT-LCD面板。
从上述描述可知,本发明的有益效果在于:通过对基准的测长仪机台进行校正操作,得到校正数据后,以校正数据为调整目标对第一测长仪机台和第二测长仪机台进行校正,将校正后的测长仪机台对玻璃基板进行对位,从而缩小第一测长仪机台与第二测长仪机台间量测机差所造成的误差,提升Array玻璃基板与CF玻璃基板对组精度,进而提升TFT-LCD面板对组精度。
进一步的,步骤S1具体为:
S11、以基准的测长仪机台的标准片中心点为旋转中心,将所述标准片旋转至预设初始位置后进行量测,得到第一数据;
S12、以预设方向为旋转方向,将所述标准片旋转180度至目标位置后进行量测,得到第二数据;
S13、判断是否需要对所述标准片进行多次旋转量测;
S14、若否,根据镜像关系,计算所述第一数据和第二数据的平均值,得到取平均值后的第三数据;
S15、将所述第三数据作为基准的测长仪机台的校正数据。
由上述描述可知,由于测长仪机台量测时的机差会造成对组异常,通过对基准的测长仪机台进行校正操作,得到校正数据,将量测时的机差将为最低,提升Array玻璃基板与CF玻璃基板对组精度。
进一步的,所述预设初始位置为基准的测长仪机台的0度所对应的位置。
由上述描述可知,将预设初始位置设置为基准的测长仪机台的0度所对应的位置,方便测长仪机台量测校正数据的计算。
进一步的,所述预设方向为顺时针方向。
由上述描述可知,将预设方向设置为顺时针方向,能够减少标准片旋转过程的偏移差,提升TFT-LCD面板对组精度。
进一步的,步骤S13还包括:
S131、若是,则将所述标准片旋转180度至所述预设初始位置后进行量测,得到第四数据;
S132、比较所述第四数据和第一数据是否一致;
S133、若是,计算所述第一数据和第二数据的平均值,得到取平均值后的第三数据。
由上述描述可知,通过比较量测得到的第四数据和第一数据,判断在标准片旋转过程中是否发生位置偏移,可减小校正数据的误差。
进一步的,步骤S133还包括:
若否,则发出测长仪机台异常的提示信息。
由上述描述可知,当测长仪机台异常时,通过发出异常提示信息,能够及时将异常信息反馈给工作人员,通知工作人员尽快对故障机台进行维修,从而有效提高工作时的安全性。
进一步的,步骤S4具体为:
将步骤S3得到的Array玻璃基板和CF玻璃基板进行对组;
判断Array玻璃基板和CF玻璃基板是否存在对组异常;
若是,则返回步骤S1。
进一步的,若Array玻璃基板和CF玻璃基板不存在对组异常,则得到TFT-LCD面板。
请参照图1,本发明的实施例一为:
一种提升TFT-LCD面板对组精度的方法,包括以下步骤:
S1、对基准的测长仪机台进行校正操作,得到校正数据;具体为:
以基准的测长仪机台的标准片中心点为旋转中心,将所述标准片旋转至预设初始位置后进行量测,得到第一数据;所述预设初始位置为基准的测长仪机台的0度所对应的位置;
以预设方向为旋转方向,将所述标准片旋转180度至目标位置后进行量测,得到第二数据;所述预设方向为顺时针方向;
判断是否需要对所述标准片进行多次旋转量测;
若不需要对所述标准片进行多次旋转量测,根据镜像关系,计算所述第一数据和第二数据的平均值,得到取平均值后的第三数据;将所述第三数据作为基准的测长仪机台的校正数据。
若需要对所述标准片进行多次旋转量测,则将所述标准片旋转180度至所述预设初始位置后进行量测,得到第四数据;比较所述第四数据和第一数据是否一致;
若所述第四数据和第一数据一致,则计算所述第一数据和第二数据的平均值,得到取平均值后的第三数据。若述第四数据和第一数据不一致,则发出测长仪机台异常的提示信息。
S2、根据所述校正数据分别对第一测长仪机台以及第二测长仪机台进行校正;
S3、使用校正后的第一测长仪机台对Array玻璃基板进行对位,使用校正后的第二测长仪机台对CF玻璃基板进行对位;
S4、将步骤S3得到的Array玻璃基板和CF玻璃基板进行对组,得到TFT-LCD面板。具体为:
将步骤S3得到的Array玻璃基板和CF玻璃基板进行对组;
判断Array玻璃基板和CF玻璃基板是否存在对组异常;
若Array玻璃基板和CF玻璃基板存在对组异常,则返回步骤S1;若Array玻璃基板和CF玻璃基板不存在对组异常,将Array玻璃基板和CF玻璃基板进行贴合,进而得到TFT-LCD面板。
综上所述,本发明提供的一种提升TFT-LCD面板对组精度的方法,通过对基准的测长仪机台进行校正操作,得到校正数据后,以校正数据为调整目标对第一测长仪机台和第二测长仪机台进行校正,将校正后的测长仪机台对玻璃基板进行对位,从而缩小第一测长仪机台与第二测长仪机台间量测机差所造成的误差,提升Array玻璃基板与CF玻璃基板对组精度,进而提升TFT-LCD面板对组精度。
以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等同变换,或直接或间接运用在相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (7)

1.一种提升TFT-LCD面板对组精度的方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、对基准的测长仪机台进行校正操作,得到校正数据;
S2、根据所述校正数据分别对第一测长仪机台以及第二测长仪机台进行校正;
S3、使用校正后的第一测长仪机台对Array玻璃基板进行对位,使用校正后的第二测长仪机台对CF玻璃基板进行对位;
S4、将步骤S3得到的Array玻璃基板和CF玻璃基板进行对组,得到TFT-LCD面板;
步骤S1具体为:
S11、以基准的测长仪机台的标准片中心点为旋转中心,将所述标准片旋转至预设初始位置后进行量测,得到第一数据;
S12、以预设方向为旋转方向,将所述标准片旋转180度至目标位置后进行量测,得到第二数据;
S13、判断是否需要对所述标准片进行多次旋转量测;
S14、若否,根据镜像关系,计算所述第一数据和第二数据的平均值,得到取平均值后的第三数据;
S15、将所述第三数据作为基准的测长仪机台的校正数据。
2.根据权利要求1所述的提升TFT-LCD面板对组精度的方法,其特征在于,所述预设初始位置为基准的测长仪机台的0度所对应的位置。
3.根据权利要求1所述的提升TFT-LCD面板对组精度的方法,其特征在于,所述预设方向为顺时针方向。
4.根据权利要求1所述的提升TFT-LCD面板对组精度的方法,其特征在于,步骤S13还包括:
S131、若是,则将所述标准片旋转180度至所述预设初始位置后进行量测,得到第四数据;
S132、比较所述第四数据和第一数据是否一致;
S133、若是,计算所述第一数据和第二数据的平均值,得到取平均值后的第三数据。
5.根据权利要求4所述的提升TFT-LCD面板对组精度的方法,其特征在于,步骤S133还包括:
若否,则发出测长仪机台异常的提示信息。
6.根据权利要求1所述的提升TFT-LCD面板对组精度的方法,其特征在于,步骤S4具体为:
将步骤S3得到的Array玻璃基板和CF玻璃基板进行对组;
判断Array玻璃基板和CF玻璃基板是否存在对组异常;
若是,则返回步骤S1。
7.根据权利要求6所述的提升TFT-LCD面板对组精度的方法,其特征在于,若Array玻璃基板和CF玻璃基板不存在对组异常,则得到TFT-LCD面板。
CN201811589654.7A 2018-12-25 2018-12-25 一种提升tft-lcd面板对组精度的方法 Active CN109597282B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011094215.6A CN112230523B (zh) 2018-12-25 2018-12-25 基于标准片的提升tft-lcd面板对组精度的方法
CN202011094112.XA CN112230522B (zh) 2018-12-25 2018-12-25 基于测长仪的提升tft-lcd面板对组精度的方法
CN201811589654.7A CN109597282B (zh) 2018-12-25 2018-12-25 一种提升tft-lcd面板对组精度的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811589654.7A CN109597282B (zh) 2018-12-25 2018-12-25 一种提升tft-lcd面板对组精度的方法

Related Child Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011094112.XA Division CN112230522B (zh) 2018-12-25 2018-12-25 基于测长仪的提升tft-lcd面板对组精度的方法
CN202011094215.6A Division CN112230523B (zh) 2018-12-25 2018-12-25 基于标准片的提升tft-lcd面板对组精度的方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109597282A CN109597282A (zh) 2019-04-09
CN109597282B true CN109597282B (zh) 2020-11-24

Family

ID=65963410

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811589654.7A Active CN109597282B (zh) 2018-12-25 2018-12-25 一种提升tft-lcd面板对组精度的方法
CN202011094215.6A Active CN112230523B (zh) 2018-12-25 2018-12-25 基于标准片的提升tft-lcd面板对组精度的方法
CN202011094112.XA Active CN112230522B (zh) 2018-12-25 2018-12-25 基于测长仪的提升tft-lcd面板对组精度的方法

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011094215.6A Active CN112230523B (zh) 2018-12-25 2018-12-25 基于标准片的提升tft-lcd面板对组精度的方法
CN202011094112.XA Active CN112230522B (zh) 2018-12-25 2018-12-25 基于测长仪的提升tft-lcd面板对组精度的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (3) CN109597282B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110488512B (zh) * 2019-06-11 2021-12-24 惠科股份有限公司 一种显示面板测量设备的补正方法和补正系统
CN114415476B (zh) * 2022-01-18 2024-07-09 京东方科技集团股份有限公司 标准片及其制备方法、机差校准方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010191059A (ja) * 2009-02-17 2010-09-02 Hitachi High-Technologies Corp 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法
CN103075970A (zh) * 2012-12-27 2013-05-01 深圳市华星光电技术有限公司 测长装置直交度补偿方法及使用该方法的测长装置
CN103292709A (zh) * 2013-05-24 2013-09-11 深圳市华星光电技术有限公司 测长机日常检测与自动补正方法
CN203274635U (zh) * 2013-06-03 2013-11-06 武汉钢铁(集团)公司 用于测长仪上对标准板装夹和精密定位的校准装置
CN106249446A (zh) * 2016-07-20 2016-12-21 武汉华星光电技术有限公司 测试平台及具有所述测试平台的测长机

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001257159A (ja) * 2000-03-13 2001-09-21 Hitachi Ltd 位置合わせ方法および位置合わせ制御システム

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010191059A (ja) * 2009-02-17 2010-09-02 Hitachi High-Technologies Corp 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法
CN103075970A (zh) * 2012-12-27 2013-05-01 深圳市华星光电技术有限公司 测长装置直交度补偿方法及使用该方法的测长装置
CN103292709A (zh) * 2013-05-24 2013-09-11 深圳市华星光电技术有限公司 测长机日常检测与自动补正方法
CN203274635U (zh) * 2013-06-03 2013-11-06 武汉钢铁(集团)公司 用于测长仪上对标准板装夹和精密定位的校准装置
CN106249446A (zh) * 2016-07-20 2016-12-21 武汉华星光电技术有限公司 测试平台及具有所述测试平台的测长机

Also Published As

Publication number Publication date
CN112230522A (zh) 2021-01-15
CN112230523B (zh) 2023-04-07
CN112230523A (zh) 2021-01-15
CN109597282A (zh) 2019-04-09
CN112230522B (zh) 2022-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109597282B (zh) 一种提升tft-lcd面板对组精度的方法
CN103292709B (zh) 测长机日常检测与自动补正方法
CN108132558B (zh) 对位检测方法及显示装置
US9104264B2 (en) Information processing apparatus and control method of information processing apparatus
CN102478815B (zh) 计算机数控机床工作台和相关联探针的自动校准和补偿
TW201520702A (zh) 對準誤差補償方法、系統,及圖案化方法
US20230401988A1 (en) Brightness correcting method of display panel and brightness correcting device
US8638438B2 (en) Self-calibrated alignment and overlay target and measurement
JPH03114125A (ja) 電子線描画装置
CN115685694A (zh) 套刻误差的修正方法及装置、晶圆的对准检测方法及装置
CN107340614B (zh) 检测或补正位置系统及其方法
JP2019162692A (ja) ロボットの位置情報復元方法
CN107621245B (zh) 一种量测机点位自动补正方法及装置
CN108519726B (zh) 一种曝光图案的补正方法和装置、曝光设备
US10215628B2 (en) Image calibrating method and device of testing apparatus for thin film transistor substrate
CN107978540B (zh) 用于量测机台的自动调校方法和系统
US20220406636A1 (en) Monitor wafer measuring method and measuring apparatus
US20150109596A1 (en) Method and system for achieving automatic compensation in glass substrate exposure process
US8219348B2 (en) Method for calibrating and/or correcting a display device having a needle, the needle being able to move in rotation about an axis of rotation
KR100984271B1 (ko) 마스크 검사장치의 캘리브레이션 방법
JP5082506B2 (ja) 校正支援装置、校正支援方法、プログラム、および記録媒体
CN110057330B (zh) 一种线宽测量方法和线宽测量系统
KR102045234B1 (ko) 디스플레이 합착 얼라인 검증 방법
KR100510592B1 (ko) 오버레이 장비에서의 티아이에스 보정 방법
CN106324892B (zh) 一种用于制备显示基板的曝光系统及曝光控制方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant