CN110057330B - 一种线宽测量方法和线宽测量系统 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种线宽测量方法和线宽测量系统，所述线宽测量方法包括以下步骤：获取待测产品的工艺类型；根据所述待测产品的工艺类型对所述线宽测量机进行机差调整；采用机差调整后的线宽测量机对所述待测产品进行线宽测量。线宽测量机对不同工艺类型的待测产品进行线宽测量前都进行了相应的机差调整，及时消除机差对测量结果的影响，保证了不同工艺类型的待测产品的产险判断，提高了不同工艺类型的待测产品的品质。

Description

一种线宽测量方法和线宽测量系统

技术领域

本申请涉及线宽测量机的技术领域，尤其涉及一种线宽测量方法和线宽测量系统。

背景技术

显示面板生产流程中，检测是一道不可缺少的程序，关系到最终产品的品质问题，其中尤以线宽(Critical Dimension，CD)量测更为重要。显示面板的产量过大，单一的线宽测量机不能满足需求，两台或多台以上的机台则不可避免的存在机差。

一般在线宽测量过程中，同一个线宽测量机包括多个不同的测量工序，同一个测量工序对应有多种不同工艺类型的产品，对于不同工艺类型的产品，同一个测量工序建立的测量方法都是直接参考标准产品测量时的参数。然而，线宽测量机的同一测量工序涉及到的工艺类型不同，外加实际图形的量测差异，导致机台间不能及时消除机差，影响产险判断，造成产品的品质异常。因此，急需对线宽测量机的测量方法进行优化，以降低机差因素在线宽测量中的影响。

发明内容

本申请实施例提供一种线宽测量方法和线宽测量系统，以解决线宽测量机在同一测量条件下对不同工艺类型的产品进行线宽测量导致的机差较大、影响产险判断以及造成产品的品质异常的问题。

本申请实施例提供了一种线宽测量方法，包括以下步骤：

获取待测产品的工艺类型；

根据所述待测产品的工艺类型对所述线宽测量机进行机差调整；

采用机差调整后的线宽测量机对所述待测产品进行线宽测量。

进一步的，所述根据所述待测产品的工艺类型对所述线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：

获取与所述待测产品的工艺类型相同的测试产品；

设置所述线宽测量机的初始测量条件；

采用所述线宽测量机对所述测试产品进行测量，并根据测量结果对所述线宽测量机进行机差调整。

进一步的，所述设置所述线宽测量机的初始测量条件，包括以下步骤：

检测所述线宽测量机中是否预存有测量条件；

若是，则获取所述测量条件，并将所述测量条件作为初始测量条件设置所述线宽测量机；

若否，则获取所述线宽测量机在不同测量条件下对同一测试产品进行测量的测量数据，选取差值最小的两个测量数据，并将选取的任意一个测量数据所对应的测量条件作为初始测量条件来设置所述线宽测量机。

可选的，所述测量条件包括光源类型、光源强度以及聚焦方式。

可选的，所述线宽测量机的状态包括脱机状态和联机状态；

所述采用所述线宽测量机对所述测试产品进行测量，并根据测量结果对所述线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：

采用脱机状态下的线宽测量机对所述测试产品进行循环测量，并在每次测量后根据测量结果对所述线宽测量机进行机差调整，直到所述测量结果位于误差范围内；

将所述线宽测量机的状态转换为联机状态，采用联机状态下的线宽测量机对所述测试产品进行测量，并判断测量结果是否位于误差范围内；

若是，则完成所述线宽测量机的机差调整；

若否，则调整所述初始测量条件，将所述线宽测量机的状态转换为脱机状态，重新对所述线宽测量机进行机差调整。

进一步的，所述在每次测量后根据测量结果对所述线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：

采用标准测量机对所述测试产品进行测量，获得标准测量数据；

在每次测量后计算所述测量结果与所述标准测量数据之间的差值，并根据所述差值对所述线宽测量机进行机差调整。

进一步的，所述根据所述差值对所述线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：

判断所述差值是否位于预设阈值范围内；

若是，则完成所述线宽测量机的机差调整；

若否，则根据所述差值对所述线宽测量机进行机差调整。

可选的，所述线宽测量方法还包括以下步骤：

获取所述待测产品的测量数据；

判断所述待测产品的测量数据是否在误差范围内；

若是，则采用所述线宽测量机继续对相同工艺类型的其他待测产品进行测量；

若否，则重新对所述线宽测量机进行机差调整，直到所述测量数据位于误差范围内。

可选的，所述测试产品的数量至少为两个。

本申请实施例还提供了一种线宽测量系统，能够实现上述线宽测量方法的所有流程，所述线宽测量系统包括：

工艺类型获取模块，用于获取待测产品的工艺类型；

机差调整模块，用于根据所述待测产品的工艺类型对所述线宽测量机进行机差调整；

线宽测量模块，用于采用机差调整后的线宽测量机对所述待测产品进行线宽测量。

本申请的有益效果为：本申请中，根据待测产品的工艺类型对线宽测量机进行机差调整，使得线宽测量机对不同工艺类型的待测产品进行线宽测量前都进行了相应的机差调整，避免了不同工艺类型的待测产品采用相同的测量条件测量时因为不同膜层的灰阶不同引起的机差问题，及时消除了机差对测量结果的影响，保证了不同工艺类型的待测产品的产险判断，提高了不同工艺类型的待测产品的品质。

附图说明

下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1为本申请实施例提供的一种线宽测量方法的流程示意框图；

图2为本申请实施例提供的另一种线宽测量方法的流程示意框图；

图3为本申请实施例提供的一种线宽测量系统的示意图。

具体实施方式

这里所公开的具体结构和功能细节仅仅是代表性的，并且是用于描述本申请的示例性实施例的目的。但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，并且不应当被解释成仅仅受限于这里所阐述的实施例。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

这里所使用的术语仅仅是为了描述具体实施例而不意图限制示例性实施例。除非上下文明确地另有所指，否则这里所使用的单数形式“一个”、“一项”还意图包括复数。还应当理解的是，这里所使用的术语“包括”和/或“包含”规定所陈述的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在，而不排除存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。

下面结合附图和实施例对本申请作进一步说明。

如图1所示，本申请实施例提供了一种线宽测量方法，包括以下步骤：

S101：获取待测产品的工艺类型。

具体的，待测产品包括设置有信号走线的基板，不同的待测产品中的信号走线的制作工艺类型以及线宽都存在差异，在线宽测量前会对根据工艺类型对待测产品分类。

S102：根据待测产品的工艺类型对线宽测量机进行机差调整。

具体的，线宽包括信号走线的宽度，也包括相邻的两条信号走线之间的间距。对每一种工艺类型的待测产品，在测量线宽之前都需要对线宽测量机进行机差调整，且线宽测量机的台数包括多台，每一台线宽测量机在测量之前都要进行机差调整。机差调整就是对线宽测量机做补偿处理，使线宽测量机的测量数据位于允许的误差范围内。

S103：采用机差调整后的线宽测量机对待测产品进行线宽测量。

具体的，机差调整后的线宽测量机测得的数据更准确，对于每一种工艺类型的待测产品，线宽测量机进行相应的机差调整后，对应的相同工艺类型的待测产品将依次投入各个线宽测量机进行线宽测量。

另外，每一个线宽测量机都有多种不同的测量工序，每一种测量工序对应的测量方法不同，本申请的线宽测量方法均是指在同一个线宽测量机的同一测量工序下进行机差调整和线宽测量，以下不再强调。

对于不同工艺类型的待测产品，不同的膜层有不同的灰阶，若采用相同条件的线宽测量机进行线宽测量，机差(测量结果的误差值)较大，严重影响产险判断并影响待测产品的品质。本实施例中，根据待测产品的工艺类型对线宽测量机进行机差调整，使得不同工艺类型的待测产品在采用线宽测量机进行线宽测量前都对线宽测量机进行了相应的机差调整，及时消除机差对测量结果的影响，保证了不同工艺类型的待测产品的产险判断，提高了不同工艺类型的待测产品的品质。

本实施例可选的，步骤S102具体包括以下步骤：

获取与待测产品的工艺类型相同的测试产品；

设置线宽测量机的初始测量条件；

采用线宽测量机对测试产品进行测量，并根据测量结果对线宽测量机进行机差调整。

本实施例中，线宽测量机在机差调整前需要设置初始测量条件和初始补偿值，其中，初始测量条件包括光源类型、光源强度以及聚焦方式等，且初始补偿值一般默认为零，也可以选择一个参考补偿值作为初始补偿值。具体的，初始测量条件和初始补偿值只是预设的，实际的测量条件和补偿值会根据线宽测量机的机差调整进行调整。每一种工艺类型的待测产品在进行测量前都要从中获取至少两个测试产品采用初始测量条件设置后的线宽测量机进行测量，并根据测量结果对线宽测量机进行机差调整。测试产品和待测产品的工艺类型相同避免了因工艺类型不同造成的测量结果误差大，测试产品的数量至少为2个，保证了线宽测量机的机差调整更准确有效，可以适用于相同工艺类型的不同待测产品。

本实施例可选的，设置线宽测量机的初始测量条件，包括以下步骤：

检测线宽测量机中是否预存有测量条件；

若是，则获取测量条件，并将测量条件作为初始测量条件设置线宽测量机；

若否，则获取线宽测量机在不同测量条件下对同一测试产品进行测量的测量数据，选取差值最小的两个测量数据，并将选取的任意一个测量数据所对应的测量条件作为初始测量条件来设置线宽测量机。

本实施例中，线宽测量机对产品测量时会将对应的测量条件和补偿值存储在机台系统中。若线宽测量机在此之前对其他产品采用过相同工序进行线宽测量，则在该线宽测量机上存储有对应的测量条件，该测量条件可以作为初始测量条件设置线宽测量机，且对应该测量条件还存储有补偿值，该补偿值可以作为初始补偿值设置在线宽测量机上。若线宽测量机为崭新的机器或者在该工序下没有测量过其他产品，则需要设置线宽测量机在不同测量条件下对同一测试产品进行测量获得对应的测量数据，选取差值最小的两个测量数据，并将选取的任意一个测量数据所对应的测量条件作为初始测量条件来设置线宽测量机。以光源强度的获取为例，选择一个光源类型，设置线宽测量机在从弱到强依次变化的多个不同光源强度下对同一测试产品进行测量获得对应的测量数据，则可以选择差值最小的两个相邻的测量数据，并选取这两个相邻的测量数据中的任意一个测量数据所对应的光源强度作为初始测量条件来设置线宽测量机。其中，测量条件包括光源类型、光源强度以及聚焦方式等。

本实施例可选的，线宽测量机的状态包括脱机状态和联机状态；其中，脱机状态时，线宽测量机的测量数据不会上传系统，测量结果不影响产品的产险判断，联机状态时，线宽测量机的测量数据实时上传系统，测量结果作为产品的产险判断的依据；

采用线宽测量机对测试产品进行测量，并根据测量结果对线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：

采用脱机状态下的线宽测量机对测试产品进行循环测量，并在每次测量后根据测量结果对线宽测量机进行机差调整，直到测量结果位于误差范围内；

将线宽测量机的状态转换为联机状态，采用联机状态下的线宽测量机对测试产品进行测量，并判断测量结果是否位于误差范围内；

若是，则完成线宽测量机的机差调整；

若否，则调整初始测量条件，将线宽测量机的状态转换为脱机状态，重新对线宽测量机进行机差调整。

具体的，在脱机状态下对线宽测量机进行机差调整之前，以及在联机状态下对线宽测量机进行机差调整之后，都需要认真检查线宽测量机设定的测量条件是否正确，另外，与测量条件一同需要检查的还有对应的产品命名、测量允许误差范围等。测量条件以程序代码的形式存储在线宽测量机上，两次对测量条件进行确认可以避免人为因素造成的测量条件错误，提高机差调整的准确性。

另外，若联机状态下的测量结果不在误差范围内，则要对初始测量条件做调整，然后将线宽测量机的状态转换为脱机状态，重复上述在脱机状态下对线宽测量机进行机差调整的过程，当脱机状态下的测量结果位于误差范围内后，再将线宽测量机的状态转换为联机状态，重复联机状态下对线宽测量机进行机差调整的过程，当联机状态下的测量结果还是不在误差范围内时，则循环上述机差调整过程，直至联机状态下的测量结果位于误差范围内。其中，误差范围包括±0.05um，当然不同产品对误差范围的要求不同，在此不对误差范围做限制。

本实施例中，先在脱机状态下对线宽测量机进行机差调整，调整后的测量结果位于误差范围后，再在联机状态下对线宽测量机进行机差调整，避免了同一个产品在不同环境(例如不同测量时间以及线宽测量机所处的不同状态等)下测量时产生测量误差。

本实施例可选的，在每次测量后根据测量结果对线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：

采用标准测量机对测试产品进行测量，获得标准测量数据；

在每次测量后计算测量结果与标准测量数据之间的差值，并根据差值对线宽测量机进行机差调整。

具体的，根据差值对线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：

判断差值是否位于预设阈值范围内；

若是，则完成线宽测量机的机差调整；

若否，则根据差值对线宽测量机进行机差调整。

本实施例中，以标准测量机测得的标准测量数据作为参考标准，将线宽测量机测得的测量结果与标准测量数据的差值是否在预设阈值范围内作为机差调整的依据。当然，本实施例还可以以外厂设备用小片的线宽数据作为参考标准，将线宽测量机测得的测量结果与外厂设备用小片的线宽数据的差值是否在预设阈值范围内作为机差调整的依据。具体的，每次机差调整后，线宽测量机对测试产品进行线宽测量时，将上述差值与实际测得的线宽值进行叠加得到测量结果。具体的，本申请实施例中所述的误差范围也是根据标准测量机测得的标准测量数据或者外厂设备用小片的线宽数据来确定的。

本实施例可选的，线宽测量方法还包括以下步骤：

获取待测产品的测量数据；

判断待测产品的测量数据是否在误差范围内；

若是，则采用线宽测量机继续对相同工艺类型的其他待测产品进行测量；

若否，则重新对线宽测量机进行机差调整，直到测量数据位于误差范围内。

具体的，本申请实施例中所述的误差范围也是根据标准测量机测得的标准测量数据或者外厂设备用小片的线宽数据来确定的。若待测产品的测量数据不满足误差要求时，需要重新将对应的线宽测量机依次转换到上述脱机状态和联机状态对线宽测量机进行机差调整，直到测量结果在误差范围内后，再次采用该线宽测量机对相同工艺类型的待测产品进行线宽测量。

本实施例中，当线宽测量机经过机差调整达到所有测试产品的测量结果在脱机和联机状态下都位于允许的误差范围内后，将与测试产品工艺类型相同的待测产品投入到各个联机状态下的线宽测量机上进行线宽测量得到测量数据，并定时监控测量数据，即定时获取待测产品的测量数据，检查测量数据是否满足误差要求，并根据检查结果判断是否重新对线宽测量机进行机差调整，保证了所有待测产品的品质。

如图2所示，本申请实施例还提供了一种线宽测量方法，包括以下步骤：

S201：获取待测产品的工艺类型。

S202：获取与待测产品的工艺类型相同的测试产品。

S203：设置线宽测量机的初始测量条件。

S204：分别在脱机状态下和联机状态下对线宽测量机做机差调整。

具体的，步骤S204包括：

采用脱机状态下的线宽测量机对测试产品进行循环测量，并在每次测量后根据测量结果对线宽测量机进行机差调整，直到测量结果位于误差范围内；

将线宽测量机的状态转换为联机状态，采用联机状态下的线宽测量机对测试产品进行测量，并判断测量结果是否位于误差范围内；

若是，则完成线宽测量机的机差调整；

若否，则调整初始测量条件，将线宽测量机的状态转换为脱机状态，重新对线宽测量机进行机差调整。

具体的，若联机状态下的测量结果不在误差范围内，则要对初始测量条件做调整，然后将线宽测量机的状态转换为脱机状态，重复上述在脱机状态下对线宽测量机进行机差调整的过程，当脱机状态下的测量结果位于误差范围内后，再将线宽测量机的状态转换为联机状态，重复联机状态下对线宽测量机进行机差调整的过程，当联机状态下的测量结果还是不在误差范围内时，则循环上述机差调整过程，直至联机状态下的测量结果位于误差范围内。其中，误差范围包括±0.05um，当然不同产品对误差范围的要求不同，在此不对误差范围做限制。

S205：采用机差调整后的线宽测量机对待测产品进行线宽测量。

S206：定时获取待测产品的测量数据，并根据测量数据对线宽测量机做机差调整。

具体的，步骤S206包括：

获取待测产品的测量数据；

判断待测产品的测量数据是否在误差范围内；

若是，则采用线宽测量机继续对相同工艺类型的其他待测产品进行测量；

若否，则重新对线宽测量机进行机差调整，直到测量数据位于误差范围内。

本实施例中，测试产品的数量至少包括两个，根据待测产品的工艺类型对线宽测量机分别在脱机状态下和联机状态下进行多次机差调整，使得不同工艺类型的待测产品在采用线宽测量机进行线宽测量前都对线宽测量机进行相应的机差调整，及时消除了机差对测量结果的影响，保证了不同工艺类型的待测产品的产险判断，提高了不同工艺类型的待测产品的品质。

如图3所示，本申请实施例还提供了一种线宽测量系统1，能够实现上述线宽测量方法的所有流程，线宽测量系统1包括：

工艺类型获取模块2，用于获取待测产品的工艺类型；

机差调整模块3，用于根据待测产品的工艺类型对线宽测量机进行机差调整；

线宽测量模块4，用于采用机差调整后的线宽测量机对待测产品进行线宽测量。

本实施例中，根据待测产品的工艺类型对线宽测量机进行机差调整，使得不同工艺类型的待测产品在采用线宽测量机进行线宽测量前都对线宽测量机进行了相应的机差调整，及时消除机差对测量结果的影响，保证了不同工艺类型的待测产品的产险判断，提高了不同工艺类型的待测产品的品质。

综上所述，虽然本申请已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本申请，本领域的普通技术人员，在不脱离本申请的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本申请的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (9)

1.一种线宽测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

获取待测产品的工艺类型；

根据所述待测产品的工艺类型对线宽测量机进行机差调整；

采用机差调整后的线宽测量机对所述待测产品进行线宽测量；

其中，所述根据所述待测产品的工艺类型对线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：

获取与所述待测产品的工艺类型相同的测试产品；

设置所述线宽测量机的初始测量条件；

采用所述线宽测量机分别在脱机状态下以及联机状态下，对所述测试产品进行测量，并根据测量结果对所述线宽测量机进行机差调整。

2.如权利要求1所述的线宽测量方法，其特征在于，所述设置所述线宽测量机的初始测量条件，包括以下步骤：

检测所述线宽测量机中是否预存有测量条件；

若是，则获取所述测量条件，并将所述测量条件作为初始测量条件设置所述线宽测量机；

若否，则获取所述线宽测量机在不同测量条件下对同一测试产品进行测量的测量数据，选取差值最小的两个测量数据，并将选取的任意一个测量数据所对应的测量条件作为初始测量条件来设置所述线宽测量机。

3.如权利要求2所述的线宽测量方法，其特征在于，所述测量条件包括光源类型、光源强度以及聚焦方式。

4.如权利要求1所述的线宽测量方法，其特征在于，所述采用所述线宽测量机分别在脱机状态下以及联机状态下，对所述测试产品进行测量，并根据测量结果对所述线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：

采用脱机状态下的线宽测量机对所述测试产品进行循环测量，并在每次测量后根据测量结果对所述线宽测量机进行机差调整，直到所述测量结果位于误差范围内；

将所述线宽测量机的状态转换为联机状态，采用联机状态下的线宽测量机对所述测试产品进行测量，并判断测量结果是否位于误差范围内；

若是，则完成所述线宽测量机的机差调整；

若否，则调整所述初始测量条件，将所述线宽测量机的状态转换为脱机状态，重新对所述线宽测量机进行机差调整。

5.如权利要求4所述的线宽测量方法，其特征在于，所述在每次测量后根据测量结果对所述线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：

采用标准测量机对所述测试产品进行测量，获得标准测量数据；

在每次测量后计算所述测量结果与所述标准测量数据之间的差值，并根据所述差值对所述线宽测量机进行机差调整。

6.如权利要求5所述的线宽测量方法，其特征在于，所述根据所述差值对所述线宽测量机进行机差调整，包括以下步骤：

判断所述差值是否位于预设阈值范围内；

若是，则完成所述线宽测量机的机差调整；

若否，则根据所述差值对所述线宽测量机进行机差调整。

7.如权利要求1所述的线宽测量方法，其特征在于，所述线宽测量方法还包括以下步骤：

获取所述待测产品的测量数据；

判断所述待测产品的测量数据是否在误差范围内；

若是，则采用所述线宽测量机继续对相同工艺类型的其他待测产品进行测量；

若否，则重新对所述线宽测量机进行机差调整，直到所述测量数据位于误差范围内。

8.如权利要求1至7任意一项所述的线宽测量方法，其特征在于，所述测试产品的数量至少为两个。

9.一种线宽测量系统，能够实现如权利要求1至8任一项所述的线宽测量方法，其特征在于，所述线宽测量系统包括：

工艺类型获取模块，用于获取待测产品的工艺类型；

机差调整模块，用于根据所述待测产品的工艺类型对所述线宽测量机进行机差调整；

线宽测量模块，用于采用机差调整后的线宽测量机对所述待测产品进行线宽测量。

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