CN115856745A - 测试设备、校准方法、装置、芯片测试方法和存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种自动测试设备、校准方法、装置、芯片测试方法和存储介质，其中，自动测试设备包括电源通道和测量通道，且自动测试设备与测量设备连接，该自动测试设备的校准方法首先利用测量设备对自动测试设备的电源通道进行校准，然后控制电源通道产生校准后的电压标准值，再利用测量通道和测量设备对该电压标准值进行测量，以得到两个电压测量值，然后将两个电压测量值的差作为测量通道的补偿值，以对测量通道的实际测量值进行补偿校准。由此，该实施例中自动测试设备的校准方法能够提高自动测试设备的测试精度。

Description

测试设备、校准方法、装置、芯片测试方法和存储介质

技术领域

本发明涉及芯片测试技术领域，尤其涉及一种测试设备、校准方法、装置、芯片测试方法和存储介质。

背景技术

随着电子通讯技术飞速发展和集成电路制造工艺的不断改进,新材料及数字信号处理技术的不断进步，带有高精度电压基准源的SOC(System On Chip，系统级芯片)芯片广泛应用于智能电网等信号采集处理系统,以实现对电网状态和信息进行实时采集与监控，很多场景下电源基准源的设计精度会达到200uV。

在相关技术中，为了满足量产测试的需要，需要自动测试设备ATE(AutomaticTest Equipment，自动试验设备)能够提供高于200uV精度的电压源信号及高于200uV的电压测量精度。但目前用于批量测试生产的自动测试设备普遍达不到200uV的电压源信号及200uV电压测量精度，产业界最高端的ATE测试机设备，其电压源信号的精度也都是mV级别，普遍是2mV-5mV的官方指标，其电压测量的精度也都是mV级别，普遍是1mV-3mV的官方指标。而如果芯片设计厂商需要按照200uV精度的设计规格进行量产测试，将面临市面上可供选择的ATE测试机难以满足其要求的窘境。另外，市面上用于量产测试的ATE测试机的实际精度都是需要周期性对ATE测试机自身进行校准才可以达到上述官方指标，通常校准周期在六到十二个月，导致自动测试设备信号校准很可能会失效，大大降低了自动测试设备信号精度。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的第一个目的在于提出一种自动测试设备的校准方法，通过外接高精度仪表及控制电路对自动测试设备进行预校准，以提高自动测试设备信号精度。

本发明的第二个目的在于提出一种芯片测试方法。

本发明的第三个目的在于提出一种计算机可读存储介质。

本发明的第四个目的在于提出一种自动测试设备。

本发明的第五个目的在于提出一种自动测试设备的校准装置。

为达上述目的，本发明第一方面示例提出了一种自动测试设备的校准方法，所述自动测试设备包括至少一个电源通道和至少一个测量通道，所述自动测试设备与测量设备连接，所述方法包括：控制所述至少一个电源通道根据初始电压编程值产生电压初始值；通过所述测量设备对所述电压初始值进行测量以得到第一电压测量值；获取电压预设值，并根据所述电压预设值与所述第一电压测量值对所述初始电压编程值进行调整以使所述至少一个电源通道产生电压标准值，所述电压标准值与所述电压预设值之间的第一差值处于预设差值范围内；控制所述至少一个电源通道产生所述电压标准值；通过所述测量设备和每个所述测量通道分别对所述电压标准值进行测量以得到第二电压测量值和第三电压测量值；确定所述第二电压测量值和所述第三电压测量值之间的第二差值，并根据所述第二差值对每个所述测量通道的实际测量值进行补偿校准。

本发明实施例的自动测试设备与测量设备连接，该自动测试设备的校准方法首先利用测量设备对自动测试设备的电源通道进行校准，然后控制电源通道产生校准后的电压标准值，再利用测量通道和测量设备对该电压标准值进行测量，以得到两个电压测量值，然后将两个电压测量值的差作为测量通道的补偿值，以对测量通道的实际测量值进行补偿校准。由此，该实施例中自动测试设备的校准方法能够提高自动测试设备的测试精度。

在本发明的一些示例中，控制所述至少一个电源通道产生所述电压标准值，包括：控制所述至少一个电源通道产生第一电压；对所述第一电压进行分压处理以得到所述电压标准值。

在本发明的一些示例中，在控制所述至少一个电源通道产生所述电压标准值后，所述方法还包括：控制每个所述电源通道顺序导通，并通过所述测量设备和每个所述测量通道分别对处于导通状态的所述电源通道所产生的电压标准值进行测量以得到所述第二电压测量值和所述第三电压测量值。

在本发明的一些示例中，根据所述第二差值对每个所述测量通道的实际测量值进行补偿校准，包括：获取所述测量通道的实际测量值；将所述实际测量值与所述第二差值的和值作为所述测量通道的最终测量值。

在本发明的一些示例中，所述预设差值范围为±200uV。

在本发明的一些示例中，所述测量设备为高精度数字万用表。

为达上述目的，本发明第二方面示例提出了一种芯片测试方法，该芯片测试方法根据上述所述的校准方法对自动测试设备进行校准；在确定所述自动测试设备校准正常时，则根据所述自动测试设备对所述芯片进行测试。

本示例的芯片测试方法通过上述示例中自动测试设备的校准方法，能够提高芯片测试的精度。

为达上述目的，本发明第三方面示例提出了一种计算机可读存储介质，其上存储有自动测试设备的校准程序，该自动测试设备的校准程序被处理器执行时实现根据上述实施例所述的自动测试设备的校准方法。

本实施例的计算机可读存储介质通过处理器执行存储在其上的自动测试设备的校准程序，能够提高自动测试设备信号精度。

为达上述目的，本发明第四方面示例提出了一种自动测试设备，其上存储有自动测试设备的校准程序，该自动测试设备的校准程序被处理器执行时实现根据上述实施例所述的自动测试设备的校准方法。

本示例的自动测试通过处理器执行存储在其上的自动测试设备的校准程序，能够提高自动测试设备信号精度。

为达上述目的，本发明第五方面示例提出了一种自动测试设备的校准装置，所述自动测试设备包括至少一个电源通道、至少一个测量通道和控制单元，所述自动测试设备与测量设备连接，所述控制单元用于：控制所述至少一个电源通道根据初始电压编程值产生电压初始值；通过所述测量设备对所述电压初始值进行测量以得到第一电压测量值；获取电压预设值，并根据所述电压预设值与所述第一电压测量值对所述初始电压编程值进行调整以使所述至少一个电源通道产生电压标准值，所述电压标准值与所述电压预设值之间的第一差值处于预设差值范围内；控制所述至少一个电源通道产生所述电压标准值；通过所述测量设备和每个所述测量通道分别对所述电压标准值进行测量以得到第二电压测量值和第三电压测量值；确定所述第二电压测量值和所述第三电压测量值之间的第二差值，并根据所述第二差值对每个所述测量通道的实际测量值进行补偿校准。

本发明实施例的自动测试设备与测量设备连接，该自动测试设备的校准装置包括控制单元，控制单元首先控制测量设备对自动测试设备的电源通道进行校准，然后控制电源通道产生校准后的电压标准值，再利用测量通道和测量设备对该电压标准值进行测量，以得到两个电压测量值，然后将两个电压测量值的差作为测量通道的补偿值，以对测量通道的实际测量值进行补偿校准。由此，该实施例中自动测试设备的校准方法能够提高自动测试设备的测试精度。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

图1是根据本发明实施例的自动测试设备原理框架示意图；

图2是根据本发明一个实施例的自动测试设备的校准方法流程图；

图3是根据本发明一个具体实施例的自动测试设备的校准方法流程图；

图4是根据本发明另一个具体实施例的自动测试设备的校准方法流程图；

图5是根据本发明一个实施例的芯片测试方法流程图；

图6是根据本发明实施例的芯片量产测试应用示意图；

图7是根据本发明实施例的自动测试设备的结构框图；

图8是根据本发明一个实施例的自动测试设备的校准装置结构框图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

下面参考附图描述本发明实施例的自动测试设备、校准方法、装置、芯片测试方法和存储介质。

在一些示例中，芯片在量产测试中需要ATE测试机台的可编程电源通道提供0.825V的电压源且此电压精度要达到200uV的精度，同时还需要ATE测试机的测量通道PMU(Precision Measurement Unit，精密测量单元)能够以200uV的测量精度来测量芯片产生的0.825V基准电压。但产业界现有ATE测试机的电源精度和测量精度指标均无法满足此精度要求，因此，对于带有高精度信号、高精度测量需求的SOC芯片，常用的量产测试设备或实验仪表都存在一定的制约因素或缺点。本发明基于现有自动测试设备(ATE)，通过高精度数字万用表，对ATE可编程输出的DPS(Device Power Supply，设备电源)电源通道和PMU测量通道进行校准。校准的控制流程、硬件模块、数据保存均被直接设计在量产过程的软硬件环境中，可以满足量产测试需要的编程灵活性、大批量量产测试需要的高效性、减少人为干预的自动性。

本发明实施例自动测试设备包括至少一个DPS电源通道和至少一个PMU测量通道，自动测试设备与测量设备连接，测量设备可以是高精度数字万用表。

如图1所示，本发明系统包括量产测试主程序1、量产测试负载板(Load Board)2、量产测试设备3、高精度数字万用表4。其中量产测试主程序1包括预校准控制程序1.1、校准补偿算法1.2、校准补偿数据存储1.3、量产测试项程序1.4；量产测试负载板(Load Board)2包括运放比例分压模块2.1、多路信号控制模块2.2；量产测试设备3包括至少一个DPS电压通道3.1、至少一个PMU测量通道3.2。

具体地，参见图1，首先控制至少一个DPS电源通道根据初始电压编程值产生电压初始值，具体可以通过预校准控制程序1.1设置初始电压参数，该电压信号通过DPS电源通道3.1产生，并输入给运放比例分压模块2.1进行比例分压，分压后的电压信号输入多路信号控制模块2.2，预校准控制程序1.1可以设置多路信号控制模块2.2的切换控制，使分压后的电压信号经过正确的路径输入到高精度数字万用表4，通过测量设备高精度数字万用表4对电压初始值进行测量以得到第一电压测量值。将高精度数字万用表4的测量结果输入到校准补偿算法1.2进行补偿控制，以确定电压标准值与电压预设值之间的第一差值，然后根据电压标准值与电压预设值之间的第一差值，修改电源通道的编程值，可以理解的是，在修改完编程值之后，则可以继续利用高精度数字万用表测量DPS电源通道的输出电压，直至完成对当前DPS电源通道输出的电压与电压标准值之间的第一差值处于预设差值范围内，则更换其他DPS电源通道进行校准，直到完成对所有DPS电压通道3.1的校准，并将校准数据通过预校准控制程序1.1保存到校准补偿数据存储1.3中。在完成对DPS电源通道的校准之后，则可以控制DPS电源通道产生电压标准值，然后利用PMU测量通道和高精度数字万用表对该电压标准值进行测量，再根据PMU测量通道和高精度数字万用表所测量到的电压值计算第二差值并作为补偿数据存储在校准补偿数据存储1.3中，然后根据该第二差值对PMU测量通道所测量到的实际测量值进行补偿校准，则完成对当前PMU测量通道的测量，之后再对其他PMU测量通道进行测量，进而完成对所有PMU测量通道的校准。

当完成DPS电压通道3.1和PMU测量通道3.2的校准后，预校准控制程序1.1控制量产测试项程序1.4启动量产测试，量产测试项程序1.4调用校准补偿数据存储1.3中的校准补偿数据，在量产测试中对实际测量值进行补偿。本发明基于ATE测试机外接高精度数字万用表，即在每次量产测试前，利用精度更高数字万用表对精度较低的ATE测试机进行预测量和校准，将校准结果进行保存，并用于补偿之后在正常的量产测试的过程中，由ATE测试机测量出的结果，从而有效提高ATE测试机台精度的量产测试方法。该方法充分利用了数字万用表精度高和ATE测试机测试通道资源多的特性，将ATE测试机原本精度较低的测试通道经过校准后，近似达到数字万用表的等效精度。需要说明的是，整个校准过程在1分钟内完全自动执行完成，以便后续量产测试无缝衔接。

图2是根据本发明一个实施例的自动测试设备的校准方法流程图。

如图2所示，本发明提出了一种自动测试设备的校准方法，该自动测试设备的校准方法包括以下步骤：

S10，控制至少一个电源通道根据初始电压编程值产生电压初始值。

具体地，本实施例中的自动测试设备可以包括有多个电源通道，而在对其进行校准的时候，可以先控制所有的电源通道均根据初始电压编程值产生相应的电压初始值。可以理解的是，不同的电压编程值可以直接导致电源通道产生不同的电压值。举例而言，设置电压编程值为10，则电源通道可以产生0.9V电压，而当设置电源变成值为11，则电源通道可以产生1.0V电压。

S20，通过测量设备对电压初始值进行测量以得到第一电压测量值。

具体地，该实施例在控制电源通道根据初始电压编程值产生电压初始值时，则可以对该电压初始值进行测量，因为根据电压编程值产生的电压初始值与电源通道实际产生的电压值是具有一定误差的，本实施例通过测量设备对电源通道实际产生的电压值进行测量可以得到第一电压测量值。

S30，获取电压预设值，并根据电压预设值与第一电压测量值对初始电压编程值进行调整以使至少一个电源通道产生电压标准值，电压标准值与电压预设值之间的第一差值处于预设差值范围内。

具体地，电压预设值可以是控制电源通道产生的目标电压值，所以该电压预设值可以是预先存储在存储器中，在需要时进行调用。在调用了该电压预设值之后，则可以根据电压预设值与测量设备所测量的第一电压测量值进行比较，然后根据比较结果对电源通道所产生的电压进行调节。更具体地，可以通过调节决定电源通道产生电压大小的编程值，可以理解的是，通过调节编程值的大小，能够使得电源通道所产生的电压大小发生变化。举例而言，提高电压编程值，则可以提高电源通道所产生的电压值，而降低电压编程值，则可以降低电源通道所产生的电压值。通过调节电压编程值，使得电源通道可以产生电压标准值，而该电压标准值则与电压预设值之间的第一差值被调整在预设差值范围内，也就是说，当调节编程值使得电源通道所产生的电压值与电压预设值之间的差值在预设差值范围内的时候，则可以将当前该编程值确定为最终编程值，根据该最终编程值则可以使电源通道差生电压标准值。

其中，以被测芯片为0.825V±200uV的电压源参数为例，本示例选择泰瑞达UltraFlex测试机台为量产ATE测试设备，控制ATE测试机的所有电源通道DPS产生4.95V电压，将运放比例分压模块设置为1/6分压，所以在经过运放比例分压模块后，其中一个电源通道DPS根据初始电压编程值产生电压初始值0.825V，精度数字万用表先对ATE测试机的电源通道DPS根据初始编程值产生的电压进行测量，计算实际测量值与0.825V的差值，之后根据这个差值，重新改变电源通道DPS的编程值，再用高精度数字万用表继续测量新的电压值，继续计算新的测量值与0.825V的新差值，再根据这个新差值再次重新改变电源通道DPS的编程值，反复循环以上过程，直到高精度数字万用表测量到电源通道DPS实际产生的电压值在0.825V±200uV的误差之内，并保存当前电源通道DPS的编程值作为最终电源校准值，因为电源通道DPS根据这个电源校准值所产生的实际电压值是经过了测量精度小于±200uV的数字万用表的实际测量，且测量结果满足0.825V±200uV的误差以内。因此，在后续的量产测试过程中，该电源通道DPS所产生的实际电源值可以被认为满足±200uV的电压精度要求，从而完成高精度数字万用表对于ATE测试机的当前电源通道DPS的预校准过程。然后继续重复上述步骤以对ATE测试机的其他电源通道DPS进行预校准。

S40，控制至少一个电源通道产生电压标准值。

具体地，控制ATE测试机的电源通道DPS根据电源校准值产生0.825V电压，之后由ATE测试机的测量通道(PMU)和高精度数字万用表分别测量该电压，因为高精度数字万用表的测量精度小于±200uV，所以计算得出两个电压测量值的差值，并且保存该差值为ATE测试机的测量通道(PMU)测量误差补偿值。在后续在量产测试过程中，将测量通道(PMU)的实际测量值加上误差补偿值作为最终测量结果，可以认为该测量结果满足200uV的测量精度，从而完成高精度数字万用表对ATE测试机的测量通道(PMU)的预校准。

需要说明的是，为了提高校准过程的精度和校准效率，本发明中在量产测试电路板上加入了运放比例分压模块和控制模块，来保证电压样本信号的精确性以及实现一路高精度数字万用表对多路电源通道DPS和测量通道PMU进行串行校准时的切换控制功能。

在本发明的一些实施例中，控制至少一个电源通道产生电压标准值，如图3所示，包括以下步骤：

S301，控制至少一个电源通道产生第一电压。

S302，对第一电压进行分压处理以得到电压标准值。

具体地，可以选择超低噪声的运算放大器和高精度5K和1K电阻作为运放比例分压模块，如果电压标准值为0.825V，则首先可以控制ATE测试机的电源通道DPS产生4.95V电压，经过运放比例分压模块后，其中一个电源通道DPS根据初始电压编程值产生电压U＝1K/(5K+1K)*4.95V＝0.825V，将分压处理后的电压作为电压标准值电压标准值。

在本发明的一些实施例中，在控制至少一个电源通道产生电压标准值后，方法还包括：控制每个电源通道顺序导通，并通过测量设备和每个测量通道分别对处于导通状态的电源通道所产生的电压标准值进行测量以得到第二电压测量值和第三电压测量值。

具体地，本发明可以选择标贴低阻抗继电器作为多路信号控制模块，多路信号控制模块控制其中一路信号导通，其余信号关闭，然后利用高精度万用表和测量通道对该一路导通状态的电源通道所产生的电压标准值进行测量，测量完成后，多路信号控制模块就更换其他路信号导通，再利用高精度万用表和测量通道再对其他路电源通道所产生的电压标准值进行测量，并将所有测量通道所测量的结果与高精度万用表对应的测量结果之间的差值进行保存，以此类推，，完成对所有测量通道的预校准。

S50，通过测量设备和每个测量通道分别对电压标准值进行测量以得到第二电压测量值和第三电压测量值。

S60，确定第二电压测量值和第三电压测量值之间的第二差值，并根据第二差值对每个测量通道的实际测量值进行补偿校准。

具体地，通过控制ATE测试机的电源通道DPS根据电源校准值产生0.825V电压，之后由高精度数字万用表和ATE测试机的测量通道PMU分别测量该电压，通过测量设备高精度数字万用表对电压标准值进行测量以得到第二电压测量值，通过ATE测试机的测量通道PMU对电压标准值进行测量以得到第三电压测量值，确定第二电压测量值和第三电压测量值之间的第二差值，并根据第二差值对每个测量通道的实际测量值进行补偿校准。需要说明的是，因为高精度数字万用表的测量精度小于±200uV，所以计算得出两个电压测量值的差值，并且保存该差值为ATE测试机的测量通道PMU测量误差补偿值。在后续在量产测试过程中，将测量通道PMU的实际测量值加上误差补偿值作为最终测量结果，可以认为该测量结果满足200uV的测量精度，从而完成高精度数字万用表对ATE测试机的测量通道PMU的预校准。

在本发明的一些实施例中，根据第二差值对每个测量通道的实际测量值进行补偿校准，如图4所示，包括以下步骤：

S401，获取测量通道的实际测量值。

S402，将实际测量值与第二差值的和值作为测量通道的最终测量值。

具体地，通过高精度数字万用表获取测量通道的实际测量值，因为高精度数字万用表的测量精度小于±200uV，所以可以将实际测量值与第二差值的和值作为测量通道的最终测量值，并且在后续在量产测试过程中，将测量通道PMU的实际测量值加上误差补偿值作为最终测量结果，并可以认为该测量结果满足200uV的测量精度。

在本发明的一些实施例中，预设差值范围为±200uV。

具体地，因为高精度数字万用表的测量精度小于±200uV，而计算得出两个电压测量值的差值范围为±200uV，并且保存该差值为ATE测试机的测量通道PMU测量误差补偿值，在后续在量产测试过程中，将测量通道PMU的实际测量值加上误差补偿值作为最终测量结果，则可以认为该测量结果满足200uV的测量精度。

在本发明的一些实施例中，测量设备为高精度数字万用表。

具体地，可以选择安捷伦3458A高精度数字万用表作为本发明的校准仪表，该仪表可以提供一对差分电压测量通道。在校准后24小时内绝对电压测量精度可以达到0.6ppm，约±1uV；校准后一年内绝对电压测量精度可以达到8ppm，约±8uV。即使考虑到实际使用中温度对测量精度的影响，该仪表的在28摄氏度的工作环境中，相对电压精度可以达到42uV，综上安捷伦3458A可以满足本发明的需求。

综上，本发明实施例的校准方法通过外接高精度仪表及控制电路对自动测试设备进行预校准，以提高自动测试设备信号精度。

图5是根据本发明实施例的芯片测试方法流程图。

如图5所示，本发明提出了一种芯片测试方法，该芯片测试方法包括以下步骤：

S501，根据上述实施例所述的校准方法对自动测试设备进行校准。

S502，在确定自动测试设备校准正常时，则根据自动测试设备对芯片进行测试。

具体地，结合图1所示，当完成电压通道DPS3.1和测量通道PMU3.2的校准后，预校准控制程序1.1则可以控制量产测试项程序1.4启动量产测试，量产测试项程序1.4可以调用校准补偿数据存储1.3中的校准补偿数据，在量产测试中对实际测量值进行补偿，在确定自动测试设备校准正常时，则根据自动测试设备对芯片进行测试。

具体地，如图6所示，本发明的芯片测试应用在分为量产主程序启动(过程一)、ATE预校准(过程二)、量产测试(过程三)三个主要过程。过程一为启动量产测试主程序，此过程中决定是否在过程二中进行ATE预校准。过程二为ATE预校准过程，如在此过程中不执行预校准，则直接进入过程三的量产测试；如执行预校准，根据校准结果是否正常，由分为异常处理和数据调用，在校准正常后才会进入过程三量产测试，在ATE预校准过程中涉及的硬件包括量产测试设备、量产测试Loadboard、高精度数字万用表。过程三为使用校准后的ATE测试设备和校准数据进行对芯片进行量产测试，此过程涉及的硬件包括量产测试设备、量产测试Loadboard、量产测试芯片，则不需要再包括高精度数字万用表。

需要说明的是，过程二中的校准异常，有可能是硬件如测试负载板或者运放等出现异常，则可以进入异常处理，重新启动校准。

由此，本示例的芯片测试方法通过自动测试设备的校准方法，对自动测试设备进行校准，在确定自动测试设备校准正常时，则根据自动测试设备对芯片进行测试，进而能够提高芯片测试的精度。

进一步地，本发明还提出了一种计算机可读存储介质，其上存储有自动测试设备的校准程序，该自动测试设备的校准程序被处理器执行时实现根据上述实施例所述的自动测试设备的校准方法。

本实施例的计算机可读存储介质通过处理器执行存储在其上的自动测试设备的校准程序，能够提高自动测试设备信号精度。

图7是根据本发明实施例的自动测试设备的结构框图。

进一步的，本发明提出了一种自动测试设备60，包括存储器61和处理器62，存储器61上存储有自动测试设备的校准程序，该自动测试设备的校准程序被处理器62执行时实现根据上述实施例所述的自动测试设备的校准方法。

本示例的自动测试通过处理器执行存储在其上的自动测试设备的校准程序，能够提高自动测试设备信号精度。

图8是根据本发明一个实施例的自动测试设备的校准装置。

进一步地，如图8所示，本发明提出了一种实施例的自动测试设备的校准装置70，该实施例的自动测试设备的校准装置70包括至少一个电源通道3.1和至少一个测量通道3.2，自动测试设备的校准装置70包括控制单元701，自动测试设备分别与测量设备和控制单元连接，控制单元701用于控制至少一个电源通道3.1并根据初始电压编程值产生电压初始值；通过测量设备对电压初始值进行测量以得到第一电压测量值；获取电压预设值，并根据电压预设值与第一电压测量值对初始电压编程值进行调整以使至少一个电源通道3.1产生电压标准值，电压标准值与电压预设值之间的第一差值处于预设差值范围内；控制至少一个电源通道3.1产生电压标准值；通过测量设备和每个测量通道3.2分别对电压标准值进行测量以得到第二电压测量值和第三电压测量值；确定第二电压测量值和第三电压测量值之间的第二差值，并根据第二差值对每个测量通道的实际测量值进行补偿校准。

在本发明的一个实施例中，控制单元701还用于，控制至少一个电源通道产生第一电压；对第一电压进行分压处理以得到电压标准值。

在本发明的一个实施例中，控制单元701还用于，在控制至少一个电源通道产生电压标准值后，控制每个电源通道顺序导通，并通过测量设备和每个测量通道分别对处于导通状态的电源通道所产生的电压标准值进行测量以得到第二电压测量值和第三电压测量值。

在本发明的一个实施例中，控制单元701还用于，获取测量通道的实际测量值；将实际测量值与第二差值的和值作为测量通道的最终测量值。

在本发明的一个实施例中，预设差值范围为±200uV。

在本发明的一个实施例中，测量设备为高精度数字万用表。

综上，本发明实施例的自动测试设备与测量设备连接，该自动测试设备的校准装置包括控制单元，控制单元首先控制测量设备对自动测试设备的电源通道进行校准，然后控制电源通道产生校准后的电压标准值，再利用测量通道和测量设备对该电压标准值进行测量，以得到两个电压测量值，然后将两个电压测量值的差作为测量通道的补偿值，以对测量通道的实际测量值进行补偿校准。由此，该实施例中自动测试设备的校准方法能够提高自动测试设备的测试精度。

需要说明的是，本发明实施例的自动测试设备的校准装置中未披露的细节，请参照本发明实施例的自动测试设备的校准方法中所披露的细节，具体这里不再赘述。

另外，本发明实施例的自动测试系统的其他构成及作用对本领域的技术人员来说是已知的，为减少冗余，此处不做赘述。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，本发明实施例中所使用的“第一”、“第二”等术语，仅用于描述目的，而不可以理解为指示或者暗示相对重要性，或者隐含指明本实施例中所指示的技术特征数量。由此，本发明实施例中限定有“第一”、“第二”等术语的特征，可以明确或者隐含地表示该实施例中包括至少一个该特征。在本发明的描述中，词语“多个”的含义是至少两个或者两个及以上，例如两个、三个、四个等，除非实施例中另有明确具体的限定。

在本发明中，除非实施例中另有明确的相关规定或者限定，否则实施例中出现的术语“安装”、“相连”、“连接”和“固定”等应做广义理解，例如，连接可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体，可以理解的，也可以是机械连接、电连接等；当然，还可以是直接相连，或者通过中间媒介进行间接连接，或者可以是两个元件内部的连通，或者两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，能够根据具体的实施情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种自动测试设备的校准方法，其特征在于，所述自动测试设备包括至少一个电源通道和至少一个测量通道，所述自动测试设备与测量设备连接，所述方法包括：

控制所述至少一个电源通道根据初始电压编程值产生电压初始值；

通过所述测量设备对所述电压初始值进行测量以得到第一电压测量值；

获取电压预设值，并根据所述电压预设值与所述第一电压测量值对所述初始电压编程值进行调整以使所述至少一个电源通道产生电压标准值，所述电压标准值与所述电压预设值之间的第一差值处于预设差值范围内；

控制所述至少一个电源通道产生所述电压标准值；

通过所述测量设备和每个所述测量通道分别对所述电压标准值进行测量以得到第二电压测量值和第三电压测量值；

确定所述第二电压测量值和所述第三电压测量值之间的第二差值，并根据所述第二差值对每个所述测量通道的实际测量值进行补偿校准。

2.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，控制所述至少一个电源通道产生所述电压标准值，包括：

控制所述至少一个电源通道产生第一电压；

对所述第一电压进行分压处理以得到所述电压标准值。

3.根据权利要求2所述的校准方法，其特征在于，在控制所述至少一个电源通道产生所述电压标准值后，所述方法还包括：

控制每个所述电源通道顺序导通，并通过所述测量设备和每个所述测量通道分别对处于导通状态的所述电源通道所产生的电压标准值进行测量以得到所述第二电压测量值和所述第三电压测量值。

4.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，根据所述第二差值对每个所述测量通道的实际测量值进行补偿校准，包括：

获取所述测量通道的实际测量值；

将所述实际测量值与所述第二差值的和值作为所述测量通道的最终测量值。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的校准方法，其特征在于，所述预设差值范围为±200uV。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的校准方法，其特征在于，所述测量设备为高精度数字万用表。

7.一种芯片测试方法，其特征在于，包括：

通过上述权利要求1-6中任一项所述的校准方法对自动测试设备进行校准；

在确定所述自动测试设备校准正常时，则根据所述自动测试设备对所述芯片进行测试。

8.一种计算机可读存储介质，其特征在于，其上存储有自动测试设备的校准程序，该自动测试设备的校准程序被处理器执行时实现根据权利要求1-7中任一项所述的自动测试设备的校准方法。

9.一种自动测试设备，其特征在于，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的自动测试设备的校准程序，所述处理器执行所述自动测试设备的校准程序时，实现根据权利要求1-7中任一项所述的自动测试设备的校准方法。

10.一种自动测试设备的校准装置，其特征在于，所述自动测试设备包括至少一个电源通道和至少一个测量通道，所述校准装置包括控制单元，所述自动测试设备分别与测量设备和所述控制单元连接，所述控制单元用于：

控制所述至少一个电源通道根据初始电压编程值产生电压初始值；通过所述测量设备对所述电压初始值进行测量以得到第一电压测量值；获取电压预设值，并根据所述电压预设值与所述第一电压测量值对所述初始电压编程值进行调整以使所述至少一个电源通道产生电压标准值，所述电压标准值与所述电压预设值之间的第一差值处于预设差值范围内；控制所述至少一个电源通道产生所述电压标准值；通过所述测量设备和每个所述测量通道分别对所述电压标准值进行测量以得到第二电压测量值和第三电压测量值；确定所述第二电压测量值和所述第三电压测量值之间的第二差值，并根据所述第二差值对每个所述测量通道的实际测量值进行补偿校准。

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