JP2014106220A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板100に作動用電圧Voを供給する第1電源部11と、基板100に作動用電圧Voを供給している状態で基板100から得られる電気的パラメータに基づいて基板100についての機能検査を実行する検査部13とを備え、プローブ22および第1電源部11の間と基準電位との間に接続されるコンデンサ16と、プローブ22および第1電源部11の間と基準電位との間にコンデンサ16を接続した接続状態および接続していない非接続状態を切り替える切り替え部17と、切り替え部17を制御する制御部20とを備え、制御部20は、機能検査としての静的機能検査を検査部13が実行する際には切り替え部17を制御してコンデンサ16を非接続状態に維持させ、機能検査としての動的機能検査を検査部13が実行する際には切り替え部17を制御してコンデンサ16を接続状態に維持させる。
【選択図】図1
Description
11 第1電源部
12 第2電源部
13 検査部
16 コンデンサ
17 切り替え部
20 制御部
21 プローブユニット
22 プローブ
100 基板
Sc 指示信号
Vc 充電用電圧
Vo 作動用電圧
Claims (5)
- 検査対象に作動用電力を供給する第1電源部と、前記検査対象に前記作動用電力を供給している状態で当該検査対象から得られる電気的パラメータに基づいて当該検査対象についての機能検査を実行する検査部とを備えた検査装置であって、
前記検査対象に前記作動用電力を供給するための接続端子および前記第1電源部の間と基準電位との間に接続されるコンデンサと、前記接続端子および前記第1電源部の間と前記基準電位との間に前記コンデンサを接続した接続状態および接続していない非接続状態を切り替える切り替え部と、当該切り替え部を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記機能検査としての静的機能検査を前記検査部が実行する際には前記切り替え部を制御して前記コンデンサを前記非接続状態に維持させ、前記機能検査としての動的機能検査を前記検査部が実行する際には前記切り替え部を制御して前記コンデンサを前記接続状態に維持させる検査装置。 - 前記コンデンサに充電用電力を供給する第2電源部を備え、
前記制御部は、前記静的機能検査の実行後に前記動的機能検査が実行されるときに、前記静的機能検査の実行時に前記第2電源部を制御して前記非接続状態の前記コンデンサに前記充電用電力を供給させて当該コンデンサを充電させる請求項1記載の検査装置。 - 前記検査部は、前記作動用電力が供給されて前記検査対象が待機状態となっているときに測定した前記電気的パラメータとしての物理量の測定値に基づく当該検査対象の良否検査を前記静的機能検査として実行する請求項1または2記載の検査装置。
- 前記検査部は、前記作動用電力が供給されている状態において予め規定された電気的処理の実行を指示する指示信号に応じて前記検査対象が当該電気的処理を実行したときの前記電気的パラメータとしての処理結果に基づく当該検査対象の良否検査を前記動的機能検査として実行する請求項1から3のいずれかに記載の検査装置。
- 検査対象に作動用電力を供給している状態で当該検査対象から得られる電気的パラメータに基づいて当該検査対象についての機能検査を実行する検査方法であって、
前記機能検査としての静的機能検査を実行する際には、前記検査対象に前記作動用電力を供給するための接続端子および前記作動用電力を供給する第1電源部の間と基準電位との間にコンデンサを接続していない非接続状態に維持し、前記機能検査としての動的機能検査を実行する際には、前記接続端子および前記第1電源部の間と前記基準電位との間に前記コンデンサを接続した接続状態に維持する検査方法。
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