CN102237262A - 处理装置、处理系统以及坐标校正方法 - Google Patents

处理装置、处理系统以及坐标校正方法 Download PDF

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Abstract

一种能够在减轻生产效率低下的同时自动校正制程中所登记的坐标与实际的坐标的偏差的处理装置、处理系统以及坐标校正方法，基板检查/测量装置(10)确定输送台(13)上载置的基板W中的模型的实际坐标，并将确定后的实际坐标登记到制程中(步骤S 114)，上述基板检查/测量装置(10)根据存储有基板W中的模型的检查/测量坐标的制程，对输送台(13)上载置的基板W中的模型进行检查/测量。

Description

处理装置、处理系统以及坐标校正方法
技术领域
本发明涉及一种处理装置、处理系统以及坐标校正方法。
背景技术
以往，例如在对具有玻璃基板等较宽的处理对象面的基板进行检查、测量等处理的处理装置中，在检查/测量处理对象面的特定位置时，根据制程(recipe)中所登记的坐标来移动载置基板的载置台以及检查/测量单元。但是，制程中所登记的对象图案的坐标与载置台上的实际的对象图案的坐标未必一致。因此，例如在下面所示的专利文献1中，将载置有基板的检测载置台的与距离载置台原点的移动量相应的移动校正量预先存储到基板移动时的制程中，对于同一品种的基板，按照对所确定的坐标数据附加移动校正量而得到的坐标数据来移动基板。
专利文献1：日本专利特开2002-107137号公报
发明内容
发明要解决的问题
然而，在上述现有技术中，当制程中所登记的对象图案的坐标偏离实际的对象图案的坐标时，需要以手动的方式来确定实际的坐标并求得移动校正量。因此，在现有技术中存在如下问题：容易增加处理工序和使工序复杂化、容易降低处理装置的生产效率。
因此本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种能够减轻生产效率低下的同时自动校正制程中所登记的坐标与实际的坐标的偏差的处理装置、处理系统以及坐标校正方法。
用于解决问题的方案
为了达成所涉及的目的，本发明的处理装置根据存储有载置台上载置的基板中的处理对象的坐标的制程来对上述基板中的上述处理对象执行规定处理，该处理装置的特征在于，具备：实际坐标确定单元，其确定上述载置台上载置的上述基板中的上述处理对象的实际坐标；以及实际坐标登记单元，其将通过上述实际坐标确定单元确定出的上述实际坐标登记到上述制程中。
另外，本发明的处理系统的特征在于，具备：处理装置，其根据存储有载置台上载置的基板中的处理对象的坐标的制程来对上述基板中的上述处理对象执行规定处理；以及网络，其与多个上述处理装置相连接，其中，上述处理装置具有：实际坐标确定单元，其确定上述载置台上载置的上述基板中的上述处理对象的实际坐标；实际坐标登记单元，其将通过上述实际坐标确定单元确定出的上述实际坐标登记到上述制程中；以及通信部，其向网络发送通过上述实际坐标登记单元登记有上述实际坐标的上述制程。
另外，本发明的坐标校正方法用于校正制程中所登记的上述处理对象在载置台上载置的上述基板上的坐标，其中，使用上述制程在对上述基板中的上述处理对象执行规定处理，上述坐标校正方法的特征在于，包括：实际坐标确定步骤，确定上述载置台上载置的上述基板中的上述处理对象的实际坐标；以及实际坐标登记步骤，将通过上述实际坐标确定步骤确定出的上述实际坐标登记到上述制程中。
发明的效果
根据本发明，确定载置台上所载置的基板中的处理对象的实际坐标并将该实际坐标登记到制程中，因此能够实现以下一种处理装置、处理系统以及坐标校正方法：其能够在减轻生产效率低下的同时自动校正制程中所登记的坐标与实际坐标的偏差。
附图说明
图1是表示实施方式的基板检查/测量系统的概要结构的示意图。
图2是表示实施方式的基板检查/测量装置的概要结构的外观图。
图3是表示实施方式中的输送台上的基板与检查/测量单元之间的关系的概要示意图。
图4是表示实施方式的基板检查/测量装置的制程生成动作的概要的流程图。
图5是用于说明实施方式的对准校正的概要图。
图6是表示实施方式中的模型搜索处理的具体例的流程图。
图7是表示实施方式中的外围搜索处理的具体例的流程图。
图8是用于说明实施方式中的模型引入处理的图。
图9是表示实施方式的基板检查/测量系统的概要结构的示意图。
图10是表示实施方式的检查/测量动作的概要的流程图。
附图标记说明
10、10A、10B、10C、10D、...：基板检查/测量装置；11：控制PC；11a：控制部；11b：处理部；11c：存储部；11d：通信部；12：载置台控制器；13：输送台；L13：检查/测量线；14：检查/测量单元；14a：构台；15A、15B、...：基板搬入搬出部；18：外壳；19：FFU：风机滤网单元(Fan Filter Units)；100：主机PC；110：网络；BL：位线(Bit line)；WL：字线(Wordline)；IG：检查/测量区域；MD：模型；D1：搬入/搬出方向；D2：长度方向；M1i、M1r、M2i、M2r：对准标记；Rcp：制程；W、Wi、Wr：基板。
具体实施方式
下面，与附图一起对用于实施本发明的方式进行详细说明。此外，在下面的说明中，每个附图只不过是在可能理解本发明的内容的程度上概要地表示了形状、大小以及位置关系，因而，本发明并不仅限定于各图中所例示的形状、大小以及位置关系。另外，在后述中例示的数值不过是本发明的优选例，因而，本发明并不限定于所例示的数值。
(一个实施方式)
首先，参照附图详细说明本发明的一个实施方式中的处理装置、处理系统、坐标校正方法以及坐标校正程序。此外，在下面的说明中，作为处理装置列举出检查/测量玻璃基板等基板的基板检查/测量装置。但是，并不限定于此，也能够应用以下的执行对基板处理的各种处理装置：例如利用激光照射等来修复基板中的缺陷部位的所谓修复装置等。
图1是表示本实施方式中的基板检查/测量系统的概要结构的示意图。如图1所示，基板检查/测量系统具备：一个以上基板检查/测量装置10A、10B、...(以下，将不需要进行区别时的基板检查/测量装置的符号设为10)；基板搬入搬出部15A、15B、...(以下，将不需要进行区别时的基板搬入搬出部的符号设为15)，其向基板检查/测量装置10A、10B、...搬入/搬出基板；网络110，其与一个以上基板检查/测量装置10以及一个以上基板搬入搬出部15相连接；以及主计算机(PC)100，其与网络110相连接。此外，网络110可以应用局域网(LAN)、因特网、以及专用线路等各种网络。
每个基板检查/测量装置10具备：输送台13，其输送作为检查/测量对象的基板；载置台控制器12，其对输送台13进行控制；检查/测量单元14，其在特定位置对输送台13上的基板进行检查/测量；以及控制计算机(PC)11，其对载置台控制器12和检查/测量单元14进行控制。控制PC 11具备：处理部11b，其处理由检查/测量单元14所获取的检查/测量结果(例如图像)；存储部11c，其存储图像数据、制程、各种程序以及参数等；通信部11d，其负责其它基板检查/测量装置10、基板搬入搬出部15以及主机PC 100之间的通信；以及控制部11a，其执行控制PC 11内的各部的动作、各种处理。
在制程中登记表示检查/测量对象(模型)相对于基板的位置的坐标(以下称为检查/测量坐标)、制程登记时的摄像的光量和倍率等信息来作为检查/测量时的参数。该制程例如通过网络110从主机PC 100或其它基板检查/测量装置10发送至各基板检查/测量装置10。即，在多个基板检查/测量装置10中制程是共享的。各基板检查/测量装置10预先将接收到或者获取到的制程存储到存储部11c中，根据需要而读出。
在此，利用附图来详细说明基板检查/测量装置10的概要结构。图2是表示本实施方式中的基板检查/测量装置的概要结构的外观图。如图2所示，在基板检查/测量装置10中，输送台13被固定在架台16上。架台16例如可以由组合了钢丝材料而形成的框架等构成。不过也可以使用块状的大理石等。另外，在架台16上固定有构台(gantry stage)14a，该构台14a能够使例如显微镜等检查/测量单元14保持沿着检查/测量线L13进行移动。也可以在架台16与设置面(例如地面)之间例如设置由弹簧、油压减震器等构成的振动吸收机构17。通过该结构能够抑制输送台13和检查/测量单元14的振动。这种基板检查/测量装置10例如可以收纳在由外壳18和风机过滤单元(FFU：Fan Filter Unit)19形成的净化室中。
接着，利用附图来详细说明输送台13上的基板W与检查/测量单元14之间的关系。图3是表示本实施方式中的输送台上的基板与检查/测量单元之间的关系的概要示意图。但是，在图3中简化地表示了输送台13。
如图3所示，输送台13上的基板W沿着搬入/搬出方向D1在输送台13上移动。在输送台13的上面例如设置有无数个孔。通过从该孔吹出空气能够使输送台13上的基板W不直接接触输送台13而移动(悬浮输送)。通过在控制PC 11的控制下进行动作的载置台控制器12来控制输送台13上的基板W的移动。例如，载置台控制器12被相邻地布置在输送台13的旁边，包括在控制PC11的控制下向搬入/搬出方向D1移动的输送单元(未图示)。例如基板W的端部或者中央部(重心位置)等至少一个部分被负载在输送单元上，从而使基板W按照控制PC 11的控制沿着搬入搬出方向D1在输送台13上移动。另外，也能够构成为如下的其它结构：在输送台13的上面设置多个驱动辊或者自由辊，通过该辊使输送台13上的基板W不直接接触输送台13而进行移动。
另一方面，检查/测量单元14沿着构台14a的长度方向D2移动的同时对输送台13上的基板W进行检查/测量，上述构台14a以其长度方向D2相对于搬入/搬出方向D1垂直的方式进行配置。从而，检查/测量单元14在检查/测量线L13上的某一位置上检查/测量基板W。通过安装在构台14a上的线性马达驱动机构或者安装在检查/测量单元14上的自走机构能够实现检查/测量单元14的移动。线性马达驱动机构或者自走机构的驱动由控制PC 11来控制。此外，构台14a自身也可以构成为相对于基板W向搬入/搬出方向D1和/或长度方向D2进行移动。在这种情况下，使构台14a发生移动的线性马达驱动机构或自走机构等移动机构由控制PC 11来控制。
在此，登记在制程中的检查/测量坐标中至少存在以下两种坐标：基于基板设计信息的坐标(以下称为设计坐标)和基板W上的实际坐标(以下称为实际坐标)。设计坐标是以基板W中的设计上的某一位置(例如对准标记位置)为原点的设计阶段的坐标。另一方面，实际坐标是以实际的基板W的某一位置(例如对准标记位置)为原点进行测量而得到的坐标。但是，通过取代直接包括实际坐标而将实际坐标相对于设计坐标的偏差量(例如后述的模型引入处理、外围搜索处理中的基板和检查/测量单元14的移动量，或者设计坐标与实际坐标的差等)作为校正量而预先登记在制程中，实质上也能够获得与登记实际坐标的情况相同的结构。
接着，利用附图详细说明本实施方式的基板检查/测量装置10的动作。在本实施方式的动作中包括生成制程的动作(制程生成动作)和使用制程来检查/测量基板的动作(检查/测量动作)。
图4是表示本实施方式的基板检查/测量装置的制程生成动作的概要的流程图。此外，在制程生成动作中所生成的制程中，表示检查/测量对象(模型)在基板上的位置的坐标(设计坐标)作为检查/测量坐标进行预先登记。在以下的说明中，主要关注基板检查/测量装置10的控制PC 11中的控制部11a的动作。
如图4所示，在本实施方式的制程生成动作中，控制部11a首先根据例如从外部的计算机等输入的基板设计信息将成为检查/测量对象的模型的设计坐标作为检查/测量坐标(设计坐标)登记到制程中(步骤S101)。此外，对于登记该检查/测量坐标(设计坐标)，既可以自动登记也可以通过用户的操作来手动登记。另外，制程既可以是预先生成好的文件(包含空文件)，也可以是在该步骤中新生成的文件。
接着，控制部11a按照来自主机PC 100的指示将基板W从基板搬入搬出部15搬入到输送台13上(步骤S102)，对该搬入的基板W进行机械地定位(基板对准)(步骤S103)。由此，大致调整基板W相对于载置台控制器12的输送单元的位置。接着，控制部11a将检查/测量单元14的光量和倍率切换为校正基板W相对于输送台13的位置偏移时、即进行对准校正时的光量和倍率(步骤S104)，接着，通过驱动载置台控制器12将基板W移动到输送台13上的规定位置(对准标记位置)(步骤S105)。接着，控制部11a适当驱动载置台控制器12和检查/测量单元14，由此来测量形成在基板W的对准标记，根据由该测量得到的对准标记的位置算出移动后基板W的实际的位置相对于基板W应有位置的偏移量，根据该偏移量对基板W的坐标系进行校正(对准校正)(步骤S106)。
基板W的坐标系的偏移由以下因素产生：载置基板W时的定位精度、载置台控制器12产生的移动的精度、在制作过程中由基板W自身产生的相对于设计尺寸的偏差、以及基板检查/测量装置10自身的变形等(X-Y轴的正交性、旋转度、各轴的伸缩、纵摇、偏转等)。因而，在步骤S106的对准校正中，对输送台13上载置的基板W自身的坐标系相对于控制PC 11控制下的坐标系的偏移进行校正。使用图5所示的例子来说明。图5是用于说明本实施方式的对准校正的概要图。在图5所示的例子中，在位于基板W的对角的角附近的规定位置处形成两个对准标记(M1、M2)。例如当将移动后的位于基板W应有位置时的基板设为基板Wi、将移动后的实际的基板W设为基板Wr时，控制部11a算出基板Wr的对准标记M1r相对于基板Wi的对准标记M1i的偏移量(Δx1，Δy1)，并且算出基板Wr的对准标记M2r相对于基板Wi的对准标记M2i的偏移量(Δx2，Δy2)。接着，控制部11a根据各对准标记(M1、M2)的偏移量(Δx1，Δy1)和(Δx2，Δy2)算出实际的基板Wr相对于理想的位置(基板Wi的位置)的x方向上的偏移量(Δx)、y方向上的偏移量(Δy)以及旋转量(θ)，根据该值(Δx、Δy、θ)来校正实际的基板Wr的坐标系。由此，能够校正由对准误差所致的偏移而产生的基板W自身的位置偏移。此外，在即使通过步骤S105的移动也不能由检查/测量单元14来拍摄对准标记的情况下，也可以通过进行后述的外围搜索处理(参照图7)来搜索对准标记。
返回到图4进行说明。当如上所述那样校正基板W的坐标系时，接着控制部11a判断是否通过未图示的输入部输入了自动校正用户登记到制程中的检查/测量坐标的指示(步骤S107)，当判断为没有输入的情况下(在步骤S107中显示“否”)，直接结束本动作。另一方面，在判断为输入了自动校正的指示的情况下(在步骤S107中显示“是”)，控制部11a将检查/测量单元14的光量和倍率切换为检查/测量时的光量和倍率(步骤S108)。接着，控制部11a选择在制程所登记的检查/测量坐标(设计坐标)中的一个(步骤S109)，接着，通过驱动载置台控制器12和检查/测量单元14使所选择的检查/测量坐标(设计坐标)移动到例如检查/测量区域的中央(步骤S110)。
接着，控制部11a执行搜索检查/测量对象的图案(模型)的模型搜索处理(步骤S111)。图6表示该模型搜索处理的具体例。如图6所示，在模型搜索处理中，控制部11a首先驱动检查/测量单元14来拍摄基板W的检查/测量区域(步骤S201)。此时，检查/测量单元14例如以与检查/测量时的光量和倍率相同的光量和倍率来测量基板W。接着，控制部11a通过处理部11b来解析步骤S201所获取的图像，由此来搜索该图像中是否包含有模型的图案(步骤S202)。在步骤S202的图案搜索的结果是图像中包含对象模型的图案的情况下(在步骤S203中显示“是”)，控制部11a返回至图4所示的动作。另一方面，在图像中不包含对象模型的图案的情况下(在步骤S203中显示“否”)，控制部11a执行外围搜索处理，该外围搜索处理对与包含选择中的检查/测量坐标的检查/测量区域相邻的外围区域进行模型搜索(步骤S204)。
在此，图7表示该外围搜索处理的具体例。如图7所示，在外围搜索处理中，控制部11a首先按照预先规定的顺序从以围住包含选定的检查/测量坐标的检查/测量区域的方式相邻的例如8个外围区域中任意选择一个外围区域，驱动载置台控制器12和检查/测量单元14，使其向所选择的外围区域移动，以反映该选择出的区域(步骤S301)。接着，控制部11a驱动检查/测量单元14来拍摄基板W的目前的检查/测量区域(步骤S302)。此时，检查/测量单元14例如以与检查/测量时的光量和倍率相同的光量和倍率来测量基板W。接着，控制部11a通过处理部11b来解析步骤S302所获取的图像，由此在该图像中搜索是否包含模型的图案(步骤S303)。在步骤S303的图案搜索的结果是图像中包含对象模型的图案的情况下(在步骤S304中显示“是”)，控制部11a返回到图6所示的动作。另一方面，在图像中不包含对象模型的图案的情况下(在步骤S304中显示“否”)，控制部11a判断是否完成了所有外围区域的搜索(步骤S305)，在未完成搜索的情况下(在步骤S305中显示“否”)，返回到步骤S301，并按照预先规定的顺序选择下一个外围区域。另一方面，在选择完所有外围区域的情况下(在步骤S305中显示“是”)，控制部11a返回到图6所示的动作。
返回到图6进行说明。如上所述那样，当确定与选择中的检查/测量坐标相应的模型时，控制部11a返回到图4所示的动作。接着，返回到图4进行说明。当结束步骤S111中的模型搜索处理时，接下来控制部11a执行模型引入处理，该模型引入处理是将检查/测量区域内所显示出的模型引入到该检查/测量区域的中央的处理(步骤S112)。具体地，例如图8所示的例子那样，控制部11a驱动载置台控制器12和检查/测量单元14以使图像中所包含的确定的模型MD(参照图8的(a))位于检查/测量区域IG的中央(参照图8的(b))。此外，图8是用于说明本实施方式中的模型引入处理的图。在图8中，BL例如是形成在基板W的位线，WL例如是形成在基板W的字线。因而，在该例中，将位线BL与字线WL相连接的节点部分的图案作为检查/测量对象的模型。
返回到图4进行说明。如利用图8进行说明那样，当将对象模型引入到检查/测量区域IG的中央时，接着，在引入后控制部11a将检查/测量单元14所拍摄的图像在处理部11b中进行解析，由此测量图像中的图案的线宽、叠加(步骤S113)，并且确定引入后的模型的实际坐标，将该实际坐标作为检查/测量坐标登记到制程中(步骤S114：实际坐标确定单元/确定步骤/确定处理、实际坐标登记单元/登记步骤/登记处理)。即，图1中的控制部11a确定引入后的模型的实际坐标，并作为将该实际坐标作为检查/测量坐标登记到制程中的实际坐标确定单元以及实际坐标登记单元而发挥作用。此时，也可以将通过解析而得到的线宽、叠加同时登记到制程中。接着，控制部11a判断对制程中所登记的所有的检查/测量坐标的校正是否结束(步骤S115)，已结束的情况下(在步骤S115中显示“是”)，结束本动作。另一方面，在没有结束的情况下(在步骤S115中显示“否”)，控制部11a返回到步骤S109，之后，执行相同的动作。
如上述那样生成的制程Rcp如图9所示通过网络110被发送到其它基板检查/测量装置10中共享。此时，如图9中如虚线所示，也可以经由与网络110相连接的主机PC100将制程Rcp分发到其它基板检查/测量装置10中。此外，图9是表示本实施方式中的基板检查/测量系统的概要结构的示意图。
接着，针对使用其它基板检查/测量装置10中所生成的制程来检查/测量基板W时的基板检查/测量装置10的动作，利用附图进行详细说明。图10是表示本实施方式的检查/测量动作的概要的流程图。此外，将各个基板检查/测量装置10设为存储有任一个基板检查/测量装置10中所生成的制程的装置。
如图10所示，在本实施方式的检查·测量动作中，控制部11a执行与图4的步骤S102～S106相同的动作，由此对从基板搬入搬出部15搬入的基板W进行对准校正(步骤S401～S405)。接着，控制部11a通过执行与图4的步骤S108～S115相同的动作，结束对制程中所登记的所有检查/测量坐标的校正(步骤S406～S413)。但是，在步骤S407所示的动作中，当制程中登记有两种检查/测量坐标(设计坐标和实际坐标)时，控制部11a选择实际坐标。另外，也可以省略步骤S411所示的动作。并且，在步骤S412中，引入后的模型的检查/测量坐标(实际坐标)不是被登记到制程中，而是暂时被存储到存储部11c(参照图1)等存储器中。
如上所述，当结束对制程中所登记的所有检查/测量坐标的校正时，接着，控制部11a在对制程中所登记的所有检查/测量坐标进行处理的过程中，例如判断是否未产生无法搜索模型等的误差(步骤S414)，当不存在误差时(在步骤S414中显示“是”)，将步骤S412中暂时存储的检查/测量坐标(实际坐标)登记到制程中(步骤S415)，之后结束本动作。另一方面，当在对任一个检查/测量坐标进行处理的过程中产生了误差时(在步骤S414中显示“否”)，控制部11a放弃在步骤S412中暂时存储在存储器等的检查/测量坐标(实际坐标)(步骤S416)，之后，结束本动作。这样，以对所有检查/测量坐标进行处理过程中不产生误差的情况为条件，将重新实际测量而得到的检查/测量坐标(实际坐标)登记到制程中，由此能够防止包含误差的检查/测量坐标被登记到制程中。此外，也可以省略步骤S416的动作。
如上所述，在本实施方式中，自动确定输送台13上载置的基板W中的模型的实际坐标，并将该实际坐标登记到制程中，因此能够在减轻生产效率低下的同时自动校正制程中所登记的坐标与实际坐标之间的偏差。
另外，多个基板检查/测量装置10共享如上所述的生成/校正后的制程，能够省略各基板检查/测量装置10中的制程的更新处理步骤(检查/测量坐标的校正/更新)，因此能够在减轻生产效率低下的同时自动校正制程中所登记的坐标与实际坐标之间的偏差。
另外，在上述实施方式中，通过在个人计算机、网站等计算机系统中执行预先准备的坐标校正程序能够实现基板检查/测量系统，上述坐标校正程序用于校正对载置台上载置的基板中的处理对象执行规定处理时所使用的制程中所登记的上述处理对象在上述基板上的坐标。在实施方式中，通过读出并执行规定的存储介质中所存储的坐标校正程序来实现基板检查/测量系统。在此，规定的存储介质除了包括柔性光盘、CD-ROM、MO光盘、DVD光盘、磁光盘、IC卡等“可搬用的物理介质”之外，还包括计算机系统内外所具备的硬盘驱动器、RAM、ROM等“固定用物理介质”，并且上述规定的存储介质还包括经由调制解调器而进行连接的公众线路、连接有其它计算机系统以及服务器的LAN/WAN之类的、在发送程序时短时间存储程序的“通信介质”等记录有可通过基板检查/测量系统读取的坐标校正程序的所有存储介质。
此外，从上述记载可知，上述实施方式仅是用于实施本发明的例子，本发明不仅限于该实施方式，根据设计等所进行的各种变更也在本发明的范围内，并且在本发明的范围内还能够具有其它各种实施方式。

Claims (5)

1.一种处理装置，该处理装置根据存储有载置台上载置的基板中的处理对象的坐标的制程来对上述基板中的上述处理对象执行规定处理，上述处理装置的特征在于，具备：
实际坐标确定单元，其确定上述载置台上载置的上述基板中的上述处理对象的实际坐标；以及
实际坐标登记单元，其将通过上述实际坐标确定单元确定出的上述实际坐标登记到上述制程中。
2.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，
上述制程登记有上述处理对象在上述基板中的设计坐标，
上述实际坐标登记单元将上述实际坐标与上述设计坐标之差登记到上述制程中，由此将上述实际坐标登记到该制程中。
3.根据权利要求1所述的处理装置，其特征在于，
还具备通信部，该通信部向网络发送通过上述实际坐标登记单元登记有上述实际坐标的上述制程。
4.一种处理系统，其特征在于，具备：
处理装置，其根据存储有载置台上载置的基板中的处理对象的坐标的制程来对上述基板中的上述处理对象执行规定处理；以及
网络，其与多个上述处理装置相连接，
其中，上述处理装置具有：
实际坐标确定单元，其确定上述载置台上载置的上述基板中的上述处理对象的实际坐标；
实际坐标登记单元，其将通过上述实际坐标确定单元确定出的上述实际坐标登记到上述制程中；以及
通信部，其向网络发送通过上述实际坐标登记单元登记有上述实际坐标的上述制程。
5.一种坐标校正方法，该坐标校正方法用于校正制程中所登记的处理对象在载置台上载置的基板上的坐标，其中，使用上述制程来对上述基板中的上述处理对象执行规定处理，上述坐标校正方法的特征在于，包括：
实际坐标确定步骤，确定上述载置台上载置的上述基板中的上述处理对象的实际坐标；以及
实际坐标登记步骤，将通过上述实际坐标确定步骤确定出的上述实际坐标登记到上述制程中。
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