JP2003185596A - 薄型板状体の撮像処理方法および撮像処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薄板基板などの薄型板状体の自重タワミによ
り取り込み画像がピンボケ状態となって、検査による欠
陥の検出性能などが低下することを防止できて、欠陥の
検出などを高精度に行える薄型板状体の撮像処理方法を
提供する。 【解決手段】 複数の撮像素子が所定の直線方向に配列
されたラインセンサカメラ８を薄型板状体からなる被撮
像物２の面状部に対向させて配置し、ラインセンサカメ
ラ８により被撮像物２の画像を取り込んで画像処理する
撮像処理方法において、被撮像物２を、ラインセンサカ
メラ８の撮像素子配列方向（Ｙ方向）と直交する方向
（Ｘ方向）に湾曲させて保持した状態で、ラインセンサ
カメラ８により撮像する。これにより、被撮像物２にお
けるラインセンサカメラ４８撮像素子配列方向のタワミ
量を低減させた状態で撮像できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶やＰＤＰ（プ
ラズマ・ディスプレイ・パネル）といった薄板基板のパ
ターン異常や異物などの欠陥を検出するためなどに適し
た薄型板状体の撮像処理方法および撮像処理装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】今日において、液晶、ＰＤＰといったデ
ィスプレイパネルの解像度が向上し、この種のパネル
（薄板基板）を形成する電極や、その他のパターンの微
細化が進んでいる。それに伴い、製造工程でのパターン
異常や異物の付着等によりパネルの歩留まりが低下し、
これらの不良原因によるロスコストがパネルのコストダ
ウンを阻害している。

【０００３】そこで、近年では、パネルを撮像するとと
もに、その撮像データから、パネル内の電極等のパター
ン欠陥や異物を、画像処理により検出する撮像検査装置
を導入し、この撮像検査装置を用いた検査において不良
と判定したパネルを修正して手直しを加えることにより
良品パネルに再生し、ロスコストを削減する取り組みが
なされている。

【０００４】図５は、このような撮像検査装置の一例と
して、ＰＤＰパネルの電極部分の欠陥検査に使用される
撮像検査装置を示す斜視図である。図５に示すように、
撮像検査装置は、基台１と、被検査物である薄板基板
（被検査パネルと称す）２を基台１上に保持する保持手
段としてのワークテーブル３と、基台１上に設けられた
Ｘ方向ガイド４に沿って駆動自在とされたＸ駆動台５
と、Ｘ駆動台５において、Ｘ方向に直交するＹ方向に移
動自在に支持され、モータにより回転駆動されるＹ駆動
軸６ａによりＹ方向に駆動されるＹ駆動台６と、被検査
パネル２に下方から光を照射させる透過照明部７と、画
像の取り込みを行うラインセンサカメラ８と、ラインセ
ンサカメラ８と被検査パネル２との距離を測定するオー
トフォーカスセンサ９と、このオートフォーカスセンサ
９で測定した距離データに基づいて、ラインセンサカメ
ラ８と被検査パネル２との距離をラインセンサカメラ８
の焦点深度内で一定に保つように調整するオートフォー
カス軸１０と、被検査パネル２の任意位置を拡大表示さ
せるレビューカメラ１１とを備えている。

【０００５】なお、透過照明部７は、Ｘ駆動台５におけ
る被検査パネル２よりも下方になる位置に取り付けられ
ている。また、Ｙ駆動台６にはラインセンサカメラ８、
オートフォーカスセンサ９、レビューカメラ１１が取り
付けられており、ラインセンサカメラ８はさらにオート
フォーカス軸１０により昇降可能に支持されている。

【０００６】ワークテーブル３は、Ｘ方向に沿うように
延設されており、被検査パネル２の両端部各辺を支持す
るように一対設けられ、被検査パネル２を載せる箇所が
ほぼ水平面となるように配設されている。

【０００７】ラインセンサカメラ８には撮像素子として
のＣＣＤ素子が横方向（Ｙ方向）に一列に配置されてお
り、一定周期でスキャンを行うことにより画像取り込み
を行う。図４はラインセンサカメラ８による画像取り込
みの原理を示す図である。図４において、１２はカメラ
駆動方向（Ｘ方向）と直角方向（Ｙ方向）に一列に並
び、ラインセンサカメラ８のＣＣＤ素子により取り込ま
れる個々の画素を示している。

【０００８】例えば、ラインセンサカメラ８の分解能が
５μｍ×５μｍであり、画素数が６０００画素とした場
合、ラインセンサカメラ８の固定状態で５μｍ×３０ｍ
ｍの領域の画像取り込みが可能となる。ラインセンサカ
メラ８のスキャン周期が２０ｋＨｚであれば、スキャン
方向の６０００画素については１／２０，０００秒で画
像取り込みが可能である。したがって、ラインセンサカ
メラ８をスキャン方向と直角方向（カメラ駆動方向：Ｘ
方向）に連続的に１００ｍｍ／ｓｅｃで駆動すれば、駆
動方向についても１／２０，０００秒での移動量が５μ
ｍとなり、画素１２の切れ間無く連続的に画像取り込み
が可能になる。つまり、１秒間で３０ｍｍ×１００ｍｍ
の画像を取り込むことができる。

【０００９】このような撮像検査装置を用いて、プラズ
マ・ディスプレイ・パネルの表面板における電極部分の
欠陥を検出する場合を例に挙げて説明する。図６はプラ
ズマ・ディスプレイ・パネルの表面板電極の概略図で、
図６（ａ）は背面板全体の電極構成図、図６（ｂ）は電
極部を拡大した電極詳細図である。

【００１０】ここで、図６（ａ）における１３は表面板
電極、図６（ｂ）における１３ａは電極部である。ま
ず、欠陥部の検出のために表面板電極１３の電極部１３
ａの画像を取り込む必要がある。ここで、電極部１３ａ
の領域は５０型のプラズマ・ディスプレイ・パネルで幅
６００ｍｍ、長さ１１００ｍｍ程度であり、ラインセン
サカメラ８のスキャン幅は、検出分解能にもよるが、一
般に３０ｍｍ程度である。したがって、図６（ａ）に示
すカメラ駆動方向（Ｘ方向）にラインセンサカメラ８を
走査すれば、一回の走査で電極幅６００ｍｍのうち１／
２０である３０ｍｍの画像の取り込みが可能である。

【００１１】このラインセンサカメラ８の走査はＸ駆動
台５を移動させることにより行う。そして、一回の走査
が完了すると、Ｙ駆動台６を移動させてラインセンサカ
メラ８のスキャン幅である３０ｍｍのピッチ送りを行
い、さらにＸ駆動台５の移動動作によってラインセンサ
カメラ８の走査を行い、このようなＸ駆動台５の走査と
Ｙ駆動軸６ａによるＹ駆動台６のピッチ送りとを２０回
繰り返すことにより、５０型プラズマ・ディスプレイ・
パネルの電極部１３ａ全体の画像を取り込むことが可能
である。

【００１２】画像取り込みを行った電極部１３ａの画像
の一例を図７（ａ）に示す。この例において、撮像検査
装置により検出すべき欠陥Ｚは、アイランド、突起とい
った正規のパターン以外の形状である。そこで、ライン
センサカメラ８にて取り込んだ画像に前処理を行い、正
規のパターンを消した後、残った画像について欠陥Ｚの
検出を行う。

【００１３】取り込んだ画像から正規のパターンを消去
する方法の一例としては、連続するパターンにおいて、
隣接したパターンとの画素の階調の差を求め、連続パタ
ーンのみを消去する方法が用いられている。この方法に
よって連続パターンを消去した例を図７（ｂ）に示す。
このようにして連続パターンを消去した画像を用いて欠
陥Ｚの検出を行う。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】上記のような撮像検査
装置を用いてプラズマ・ディスプレイ・パネルの電極部
１３ａの欠陥検出を行う場合、ラインセンサカメラ８に
より、電極部１３ａの鮮明な画像を撮像する必要があ
る。ラインセンサカメラ８で鮮明な画像を得るには、被
検査パネル２をラインセンサカメラ８の焦点深度内に保
持する必要がある。

【００１５】ラインセンサカメラ８の走査は、上述した
ようにＸ駆動台５を移動させながら行うが、この走査時
において常に、被検査パネル２がラインセンサカメラ８
の焦点深度内に入るようにすることが望ましい。したが
って、走査時においては、被検査パネル２とラインセン
サカメラ８との距離の測定をオートフォーカスセンサ７
により行い、ラインセンサカメラ８と被検査パネル２と
の距離（このオートフォーカスセンサ７の測定値）が常
に一定になるように、Ｘ駆動台５の移動動作に同期させ
てオートフォーカス軸１０を動作させるよう制御してお
り、これにより、オートフォーカス軸１０に取り付けら
れたラインセンサカメラ８を上下させて、被検査パネル
２の撮像箇所がラインセンサカメラ８の焦点深度内に位
置するよう図っている。

【００１６】この撮像検査装置の性能を高めるために
は、ラインセンサカメラ８により鮮明な画像を取り込む
必要があるが、電極部１３ａとそれ以外の部分のコント
ラスト比が高い鮮明な画像を取り込むには、透過照明部
７を用いて被検査パネル２の裏側から照明を当てると効
果的にコントラスト比の高い画像を得ることができる。
これは、プラズマ・ディスプレイ・パネルの電極部１３
ａは光を通さず、それ以外のガラス部分は、光の大部分
を通すため、ラインセンサカメラ８には、電極部１３ａ
は黒く、それ以外の部分は白い画像として取り込むこと
ができるからである。しかしながら、透過照明部７を用
いる場合、ワークテーブル３を電極部１３ａに掛かる部
分で保持すると透明照明９が影になり、鮮明な画像を取
り込むことができない。このため、被検査パネル２はパ
ネル全面の内、電極部１３ａがない端部をワークテーブ
ル３で保持しなければならない。他の方法としては、被
検査パネル２を透明なガラス基板で保持する方法が用い
られる場合もあるが、その場合、長時間の使用でガラス
基板に異物が付着して、欠陥Ｚと誤認識される危険性が
ある。

【００１７】図２に示すように、被検査パネル２の両側
（両辺部）をワークテーブル３で保持した場合、図８
（ａ）に示すように、被検査パネル２は自重によりパネ
ル中心に向かって自重タワミが発生する。自重タワミが
発生している状況でのラインセンサカメラ８の焦点深度
と被検査パネル２との関係の模式図を図８に示す。図８
（ａ）はラインセンサカメラ８と被検査パネル２との位
置関係を示す斜視図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＡ方向
から矢視した拡大図である。被検査パネル２が５０型の
プラズマ・ディスプレイ・パネルである場合、自重タワ
ミは中心部分で数ｍｍ程度となり、被検査パネル２の幅
が６００ｍｍ、自重タワミ量が２ｍｍ、ラインセンサカ
メラ８のＣＣＤ素子幅が３０ｍｍとすると、タワミを直
線近似した場合、ラインセンサカメラ８におけるＣＣＤ
素子幅３０ｍｍ間のタワミ量は、０．２ｍｍとなる。検
査分解能１０μｍ程度の欠陥を検出する場合のラインセ
ンサカメラ８の焦点深度は０．２ｍｍ程度であり、実際
の被検査パネル２のタワミ曲線は直線ではないため、被
検査パネル２の全面に渡ってはラインセンサカメラ８の
焦点深度内に入れることができず、高精細な画像を取り
込むことができなくなる。

【００１８】すなわち、図５に示すように、オートフォ
ーカスセンサ７により被検査パネル２とラインセンサカ
メラ８との距離を測定して、被検査パネル２がラインセ
ンサカメラ８の焦点深度内に入るようにオートフォーカ
ス軸１０を同期動作させながら画像を取り込む場合で
も、オートフォーカスセンサ７での測定点においてはラ
インセンサカメラ８の焦点に正確に合致させて撮像でき
るが、ラインセンサカメラ８のＣＣＤ素子の配列方向に
対して、上記のように被検査パネル２の自重タワミが発
生すると、オートフォーカスセンサ７での測定点から前
記ＣＣＤ素子の配列方向に前記タワミによる寸法差を生
じるため、ラインセンサカメラ８におけるＣＣＤ素子幅
３０ｍｍ間のタワミ量が、ラインセンサカメラ８の焦点
深度内に入らない恐れがあり、高精細な画像を取り込む
ことができずに、検査精度が低下してしまう。

【００１９】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、プラズマ・ディスプレイ用パネルにおいて電極など
の欠陥を検出するための検査などの撮像処理において、
薄板基板などの薄型板状体の自重タワミにより取り込み
画像がピンボケ状態（撮像ラインの箇所がラインセンサ
カメラの焦点深度内に入らないことによる取り込み画像
がぼける状態）となって、検査による欠陥の検出性能が
低下することなどを防止できて、欠陥の検出などの処理
を高精度に行うことができる薄型板状体の撮像処理方法
および撮像処理装置を提供することを目的とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明の撮像処理方法は、複数の撮像素子が所定の
直線方向に配列されたラインセンサカメラを薄型板状体
からなる被撮像物の面状部に対向させて配置し、前記ラ
インセンサカメラにより被撮像物の画像を取り込んで画
像処理する薄型板状体の撮像処理方法であって、被撮像
物を、前記ラインセンサカメラの撮像素子配列方向と直
交する方向に湾曲させて保持した状態で、前記ラインセ
ンサカメラにより撮像することを特徴とする。

【００２１】また、本発明の撮像処理装置は、複数の撮
像素子が所定の直線方向に配列されたラインセンサカメ
ラと、薄型板状体からなる被検査物を保持する保持手段
と、前記ラインセンサカメラにより取り込んだ被撮像物
の画像を処理する画像処理手段とを備え、前記ラインセ
ンサカメラを薄型板状体からなる被撮像物の面状部に対
向させて配置し、前記保持手段により被撮像物を、ライ
ンセンサカメラの撮像素子配列方向と直交する方向に対
して湾曲させて保持する構成としたことを特徴とする。

【００２２】これらの撮像処理方法ならびに撮像処理装
置によれば、薄板基板などの薄型板状体の自重タワミに
より取り込み画像がピンボケ状態となることを防止でき
る。

【００２３】

【発明の実施の形態】請求項１記載の発明は、複数の撮
像素子が所定の直線方向に配列されたラインセンサカメ
ラを薄型板状体からなる被撮像物の面状部に対向させて
配置し、前記ラインセンサカメラにより被撮像物の画像
を取り込んで画像処理する薄型板状体の撮像処理方法で
あって、被撮像物を、前記ラインセンサカメラの撮像素
子配列方向と直交する方向に湾曲させて保持した状態
で、前記ラインセンサカメラにより撮像することを特徴
とする。

【００２４】請求項２記載の発明は、請求項１に記載の
薄型板状体の撮像処理方法において、被撮像物である薄
型板状体は薄板基板であり、薄板基板を検査するために
撮像することを特徴とする。

【００２５】請求項３記載の発明は、請求項１または２
に記載の薄型板状体の撮像処理方法において、被撮像物
に光を照射して、被撮像物を透過する光をラインセンサ
カメラにより撮像することを特徴とする。

【００２６】請求項４記載の発明は、請求項１〜３の何
れかに記載の薄型板状体の撮像処理方法において、被撮
像物に対してラインセンサカメラをその撮像素子配列方
向と直交する方向に沿って相対的に移動させるととも
に、ラインセンサカメラ側に取り付けらたオートフォー
カスセンサによりラインセンサカメラから被検査物にお
けるラインセンサカメラ撮像範囲の所定点までの距離を
測定して、この測定距離に合わせてラインセンサカメラ
の位置を調整しながら、撮像することを特徴とする。

【００２７】本発明の請求項５記載の薄型板状体の撮像
処理装置は、複数の撮像素子が所定の直線方向に配列さ
れたラインセンサカメラと、薄型板状体からなる被検査
物を保持する保持手段と、前記ラインセンサカメラによ
り取り込んだ被撮像物の画像を処理する画像処理手段と
を備え、前記ラインセンサカメラを薄型板状体からなる
被撮像物の面状部に対向させて配置し、前記保持手段に
より被撮像物を、ラインセンサカメラの撮像素子配列方
向と直交する方向に対して湾曲させて保持する構成とし
たことを特徴とする。

【００２８】請求項６記載の発明は、請求項５に記載の
薄型板状体の撮像処理装置において、被撮像物である薄
型板状体は薄板基板であり、薄板基板の処理画像に基づ
いて薄板基板を検査する検査手段を備えたことを特徴と
する。

【００２９】請求項７記載の発明は、請求項５または６
に記載の薄型板状体の撮像処理装置において、ラインセ
ンサカメラにより撮像する被撮像物に対して光を照射し
て、ラインセンサカメラに被撮像物を通しての透過照明
を与える透過照明部を備えたことを特徴とする。

【００３０】請求項８記載の発明は、請求項５〜７の何
れかに記載の薄型板状体の撮像処理装置において、被撮
像物に対してラインセンサカメラをその撮像素子配列方
向と直交する方向に沿って相対的に移動させる移動手段
を備え、保持手段は、前記移動方向に延びる対となった
載せ台で構成され、載せ台の載せ面が前記移動方向に対
して湾曲する形状に形成されていることを特徴とする。

【００３１】請求項９記載の発明は、請求項５〜７の何
れかに記載の薄型板状体の撮像処理装置において、被撮
像物に対してラインセンサカメラをその撮像素子配列方
向と直交する方向に沿って相対的に移動させる移動手段
を備え、保持手段は、前記移動方向に延びる対となった
載せ台で構成され、載せ台には、前記移動方向に対して
湾曲する湾曲線に上端が沿うように突出された複数の載
置点が設けられていることを特徴とする。

【００３２】請求項１０記載の発明は、請求項５〜７の
何れかに記載の薄型板状体の撮像処理装置において、被
撮像物に対してラインセンサカメラをその撮像素子配列
方向と直交する方向に沿って相対的に移動させる移動手
段を備え、保持手段は、被検査物の前記移動方向に対し
て両端部となる両辺部またはその近傍箇所を保持する対
となった載せ台で構成され、これらの載せ台により被撮
像物を、ラインセンサカメラの撮像素子配列方向と直交
する方向に対して湾曲させて保持していることを特徴と
する。

【００３３】請求項１１記載の発明は、請求項８〜１０
の何れかに記載の薄型板状体の撮像処理装置において、
ラインセンサカメラ側に取り付けられ、ラインセンサカ
メラから被検査物におけるラインセンサカメラ撮像範囲
の所定点までの距離を測定する距離測定手段と、この距
離測定手段にて測定した距離に合わせてラインセンサカ
メラの位置を調整する位置調整手段とを備えたことを特
徴とする。

【００３４】上記請求項１記載の方法、ならびに、請求
項５記載の構成によれば、被撮像物が、ラインセンサカ
メラの撮像素子配列方向と直交する方向に湾曲させて保
持されるため、被撮像物が前記直交方向に直線状に沿う
形状に保持された場合と比較して、ラインセンサカメラ
の撮像素子配列方向に対しては被撮像物が曲がり難くな
り、その結果、被撮像物におけるラインセンサカメラ撮
像素子配列方向のタワミ量が低減され、この結果、ライ
ンセンサカメラの全ての撮像素子による被撮像物の撮像
箇所が全て焦点深度内に入ることとなって、高精細な画
像を取り込むことができる。

【００３５】したがって、このような構成や方法を、上
記請求項２記載の方法、ならびに、請求項６記載の構成
のように、被撮像物である薄型板状体が薄板基板であ
り、薄板基板を検査するために撮像する場合に適用した
場合には、薄板基板の高精細な画像を取り込むことがで
きて、良好に検査することができる。

【００３６】また、上記請求項３記載の方法、ならびに
請求項７記載の構成によれば、ラインセンサカメラによ
り被撮像物の透過画像を良好に得ることができる。ま
た、上記請求項４記載の方法によれば、被撮像物に対し
てラインセンサカメラをその撮像素子配列方向と直交す
る方向に沿って相対的に移動させて走査させる場合で
も、ラインセンサカメラの全ての撮像素子による被撮像
物の撮像箇所が全て焦点深度内に入ることとなって、高
精細な画像を取り込むことができる。

【００３７】また、上記請求項８〜１０記載の構成によ
れば、保持手段により、被撮像物を、ラインセンサカメ
ラの撮像素子配列方向と直交する方向に湾曲させた状態
で良好に保持することができる。

【００３８】また、上記請求項１１記載の構成によれ
ば、被撮像物に対してラインセンサカメラをその撮像素
子配列方向と直交する方向に沿って相対的に移動させて
走査させる場合でも、ラインセンサカメラの全ての撮像
素子による被撮像物の撮像箇所が全て焦点深度内に入る
こととなって、高精細な画像を取り込むことができる。

【００３９】以下、本発明の実施の形態について図面を
参照して説明する。図１は本発明の実施の形態に係る撮
像検査装置を示す図である。図１に示すように、この撮
像検査装置は、基台１と、被検査物である薄板基板（被
検査パネルと称す）２を基台１上に保持する保持手段と
してのワークテーブル２１と、基台１上に設けられたＸ
方向ガイド４に沿って駆動自在とされたＸ駆動台５と、
Ｘ駆動台５において、Ｘ方向に直交するＹ方向に移動自
在に支持され、モータにより回転駆動されるＹ駆動軸６
ａによりＹ方向に駆動されるＹ駆動台６と、被検査パネ
ル２に下方から光を照射させる透過照明部７と、画像の
取り込みを行うラインセンサカメラ８と、ラインセンサ
カメラ８と被検査パネル２との距離を測定するオートフ
ォーカスセンサ９と、このオートフォーカスセンサ７で
測定した距離データに基づいて、ラインセンサカメラ８
と被検査パネル２との距離、より正確にはラインセンサ
カメラ８と被検査パネル２におけるフォーカスセンサ７
の測定点との距離を、ラインセンサカメラ８の焦点深度
内で一定に保つように調整するオートフォーカス軸１０
と、被検査パネル２の任意位置を拡大表示させるレビュ
ーカメラ１１とを備えている。

【００４０】なお、透過照明部７は、Ｘ駆動台５におけ
る被検査パネル２よりも下方になる位置に取り付けられ
て、被検査パネル２に下方から光を照射させてラインセ
ンサカメラ８に被検査パネル２を通しての透過照明を与
えるようになっている。また、Ｙ駆動台６にはラインセ
ンサカメラ８、オートフォーカスセンサ９、レビューカ
メラ１１が取り付けられており、ラインセンサカメラ８
はさらにオートフォーカス軸１０により昇降可能に支持
されている。

【００４１】図４に示すように、ラインセンサカメラ８
には撮像素子としてのＣＣＤ素子が横方向（Ｙ方向）に
一列に配置されており、一定周期でスキャンを行うこと
により画像取り込みを行う。ラインセンサカメラ８によ
る画像取り込みの原理は、図４に示すような従来のもの
と同様とされており、カメラ駆動方向（Ｘ方向）と直角
方向（Ｙ方向）に一列に並ぶ個々の画素が、ラインセン
サカメラ８のＣＣＤ素子により取り込まれる。

【００４２】ラインセンサカメラ８の分解能が５μｍ×
５μｍであり、画素数が６０００画素とした場合、ライ
ンセンサカメラ８の固定状態で５μｍ×３０ｍｍの領域
の画像取り込みが可能となる。ラインセンサカメラ８の
スキャン周期が２０ｋＨｚであれば、スキャン方向の６
０００画素については１／２０，０００秒で画像取り込
みが可能である。したがって、ラインセンサカメラ８を
スキャン方向と直角方向（カメラ駆動方向：Ｘ方向）に
連続的に１００ｍｍ／ｓｅｃで駆動すれば、駆動方向に
ついても１／２０，０００秒での移動量が５μｍとな
り、画素１２の切れ間無く連続的に画像取り込みが可能
になる。つまり、１秒間で３０ｍｍ×１００ｍｍの画像
を取り込むことができる。この画像取り込みを行うため
に、ラインセンサカメラ８をＸ駆動台５により等速に移
動させる。

【００４３】被検査パネル２を保持するワークテーブル
２１は、Ｘ方向に延設されており、被検査パネル２のＹ
軸方向両端部となる各辺を支持するように一対設けられ
ている。そして特に、図２（ａ）に示すように、被検査
パネル２がラインセンサカメラ８の駆動方向、つまり、
Ｘ駆動台４の駆動方向（Ｘ方向）に対して上下に湾曲す
るように、ワークテーブル２１の載せ面２１ａが、Ｘ方
向に対して上下に湾曲する形状に形成されている。ま
た、この実施の形態では、ワークテーブル２１の載せ面
２１ａが、ワークテーブル２１の中心位置で被検査パネ
ル２が最も高くなる形状に形成されている。なお、図２
（ａ）に示すように、ワークテーブル２１の載せ面２１
ａにより被検査パネル２の端部全面を保持する構成とす
る代わりに、図２（ｂ）に示すように、ワークテーブル
２１として、Ｘ方向に対して湾曲する湾曲線に上端が沿
うように上方に柱状に延びる形状に突出された複数の分
割支持部材２１ｂを設けて、この分割支持部材２１ｂの
上端面により、被検査パネル２の両辺部を支持するよう
にしてもよい。

【００４４】上記構成において、透過照明部７により被
検査パネル２に下方から光を照射させた状態で、Ｘ駆動
台５を駆動させて被検査パネル２に対してラインセンサ
カメラ８をＸ方向に沿って一定速度で移動させて、ライ
ンセンサカメラ８により被検査パネル２を通した透過画
像を撮像しながら走査させる。また、Ｘ方向の走査が終
了すると、Ｙ方向にピッチ送りを行い、これらのＸ方向
の走査とＹ方向へのピッチ送りとを繰り返す。

【００４５】Ｘ方向の走査時、すなわち撮像時には、被
検査パネル２とラインセンサカメラ８との距離の測定を
オートフォーカスセンサ７により行い、ラインセンサカ
メラ８と被検査パネル２のオートフォーカスセンサ７に
よる距離測定点との距離（すなわちオートフォーカスセ
ンサ７の測定値）が焦点距離に一致するように、Ｘ駆動
台５の動作に同期させてオートフォーカス軸１０を動作
させる。

【００４６】この場合に、上記構成によれば、被検査パ
ネル２が、ラインセンサカメラ８の撮像素子配列方向と
直交するＸ方向に湾曲させて保持されるため、図５に示
すように被検査パネル２がＸ方向に水平となるように保
持した場合と比較して、ラインセンサカメラ８の撮像素
子配列方向であるＹ方向に対しては被検査パネル２が曲
がり難くなり、その結果、被検査パネル２におけるＹ方
向（ラインセンサカメラ撮像素子配列方向）のタワミ量
が低減される。したがって、上記のように、ラインセン
サカメラ８をＸ方向に走査させる場合でも、ラインセン
サカメラ８の全ての撮像素子による被撮像物の撮像箇所
が全て焦点深度内に確実に入ることとなって、被検査パ
ネル２としての薄板基板の自重タワミによる画像のピン
ボケを防止して、高精細な画像を取り込むことができ
る。この結果、被検査パネル２に対して高精細な画像を
取り込み、検査による欠陥検出を高精度に行うことがで
きるため、検査の信頼性が向上する。

【００４７】なお、この実施の形態においては、被検査
パネル２の中心部分を持ち上げて湾曲させる構成となっ
ているが、中心部分を下げて保持した場合でも、同様の
作用効果が得られる。

【００４８】また、上記構成においては、保持手段とし
てのワークテーブル２１により、被検査パネル２におけ
るＹ方向両端に位置する辺を支持した場合を述べたが、
これに限るものでなく、図３（ａ）、（ｂ）に示すよう
に、Ｙ方向に沿って延びる一対の載せ台２２にて、被検
査パネル２におけるＸ方向両端に位置する辺を支持して
もよい。ただし、この場合においてもは、被検査パネル
２をＸ方向に対してたるませるなどして湾曲する形状に
なるように配設する。この構成によっても、被検査パネ
ル２におけるＹ方向（ラインセンサカメラ撮像素子配列
方向）のタワミ量が低減されるので、上記実施の形態と
同様の作用効果を得ることができる。

【００４９】なお、上記撮像検査装置の構成ならびにそ
の撮像検査方法は、透過照明を必要とするなど、ワーク
テーブル全面で被検査パネル２を保持することができな
い構成の検査に特に有効であるが、これに限るものでは
ない。

【００５０】また、上記実施の形態においては、薄板基
板（被検査パネル２）に対する欠陥や異物などの検査を
行う場合を述べたが、これに限るものではなく、薄型板
状体を良好に撮像して、その撮像画像に基づいて処理を
するどのようなものにも適用でき、この場合には薄型板
状体の高精細な画像を取り込むことができるため、処理
も良好な信頼性を得ながらできるものである。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、薄
板基板などの薄型板状体を、ラインセンサカメラの撮像
素子配列方向と直交する方向に意図的に湾曲させて撮像
することにより、薄型板状体におけるラインセンサカメ
ラの撮像素子配列方向のタワミ量を低減させた状態で撮
像できるので、薄板基板などの薄型板状体の自重タワミ
による画像のピンボケを防止できて、パターン不良を高
精度に検出できるなど、良好な画像を用いて良好な処理
を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係る撮像検査装置の斜
視図である。

【図２】（ａ）および（ｂ）はそれぞれ同撮像検査装置
のワークテーブルにて被検査パネルを保持した状態を簡
略的に示した図である。

【図３】（ａ）および（ｂ）は本発明の他の実施の形態
に係る撮像検査装置のワークテーブルにて被検査パネル
を保持した状態を簡略的に示した斜視図および側面図で
ある。

【図４】ラインセンサカメラによる画像取り込みの原理
を示す図である。

【図５】従来の撮像検査装置の斜視図である。

【図６】プラズマ・ディスプレイ・パネルの表面板電極
を概略的に示すもので、（ａ）は背面板全体の電極構成
を示す図、（ｂ）は電極部を拡大した図である。

【図７】電極パターンの欠陥を抽出する原理を説明する
もので、（ａ）は電極部を示す図、（ｂ）は連続パター
ンを消去して欠陥の検出を行った状態を示す図である。

【図８】自重タワミが発生している状況でのラインセン
サカメラの焦点深度と被検査パネルとの関係を模式的に
示す図であり、（ａ）はラインセンサカメラと被検査パ
ネルとの位置関係を示す斜視図、（ｂ）は図８（ａ）の
Ａ方向から矢視した拡大図である。

【符号の説明】

２ 被検査パネル（被撮像物：薄板基板：薄型板
状体） ５ Ｘ駆動台 ６ Ｙ駆動台 ７ 透過照明部 ８ ラインセンサカメラ ９ オートフォーカスセンサ １０ オートフォーカス軸（位置調整手段） １２ 画素 ２１、２２ ワークテーブル（保持手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G051 AA51 AB02 BA01 CA20 CB02 CD07 DA07 EA11 EA12 EA16 ED02 ED08 ED11 5B047 AA11 BA02 BB02 BC14 BC30 5C054 AA01 CA04 CD03 CF07 CG02 CH02 EA01 EA05 FC12 FC15 GB11 HA05 5C061 BB03 BB05 CC09 EE21

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の撮像素子が所定の直線方向に配列
   されたラインセンサカメラを薄型板状体からなる被撮像
   物の面状部に対向させて配置し、前記ラインセンサカメ
   ラにより被撮像物の画像を取り込んで画像処理する薄型
   板状体の撮像処理方法であって、被撮像物を、前記ライ
   ンセンサカメラの撮像素子配列方向と直交する方向に湾
   曲させて保持した状態で、前記ラインセンサカメラによ
   り撮像することを特徴とする薄型板状体の撮像処理方
   法。
2. 【請求項２】 被撮像物である薄型板状体は薄板基板で
   あり、薄板基板を検査するために撮像することを特徴と
   する請求項１に記載の薄型板状体の撮像処理方法。
3. 【請求項３】 被撮像物に光を照射して、被撮像物を透
   過する光をラインセンサカメラにより撮像することを特
   徴とする請求項１または２に記載の薄型板状体の撮像処
   理方法。
4. 【請求項４】 被撮像物に対してラインセンサカメラを
   その撮像素子配列方向と直交する方向に沿って相対的に
   移動させるとともに、ラインセンサカメラ側に取り付け
   らたオートフォーカスセンサによりラインセンサカメラ
   から被検査物におけるラインセンサカメラ撮像範囲の所
   定点までの距離を測定して、この測定距離に合わせてラ
   インセンサカメラの位置を調整しながら、撮像すること
   を特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の薄型板状体
   の撮像処理方法。
5. 【請求項５】 複数の撮像素子が所定の直線方向に配列
   されたラインセンサカメラと、薄型板状体からなる被検
   査物を保持する保持手段と、前記ラインセンサカメラに
   より取り込んだ被撮像物の画像を処理する画像処理手段
   とを備え、前記ラインセンサカメラを薄型板状体からな
   る被撮像物の面状部に対向させて配置し、前記保持手段
   により被撮像物を、ラインセンサカメラの撮像素子配列
   方向と直交する方向に対して湾曲させて保持する構成と
   したことを特徴とする薄型板状体の撮像処理装置。
6. 【請求項６】 被撮像物である薄型板状体は薄板基板で
   あり、薄板基板の処理画像に基づいて薄板基板を検査す
   る検査手段を備えたことを特徴とする請求項５に記載の
   薄型板状体の撮像処理装置。
7. 【請求項７】 ラインセンサカメラにより撮像する被撮
   像物に対して光を照射して、ラインセンサカメラに被撮
   像物を通しての透過照明を与える透過照明部を備えたこ
   とを特徴とする請求項５または６に記載の薄型板状体の
   撮像処理装置。
8. 【請求項８】 被撮像物に対してラインセンサカメラを
   その撮像素子配列方向と直交する方向に沿って相対的に
   移動させる移動手段を備え、保持手段は、前記移動方向
   に延びる対となった載せ台で構成され、載せ台の載せ面
   が前記移動方向に対して湾曲する形状に形成されている
   ことを特徴とする請求項５〜７の何れかに記載の薄型板
   状体の撮像処理装置。
9. 【請求項９】 被撮像物に対してラインセンサカメラを
   その撮像素子配列方向と直交する方向に沿って相対的に
   移動させる移動手段を備え、保持手段は、前記移動方向
   に延びる対となった載せ台で構成され、載せ台には、前
   記移動方向に対して湾曲する湾曲線に上端が沿うように
   突出された複数の載置点が設けられていることを特徴と
   する請求項５〜７の何れかに記載の薄型板状体の撮像処
   理装置。
10. 【請求項１０】 被撮像物に対してラインセンサカメラ
    をその撮像素子配列方向と直交する方向に沿って相対的
    に移動させる移動手段を備え、保持手段は、被検査物の
    前記移動方向に対して両端部となる両辺部またはその近
    傍箇所を保持する対となった載せ台で構成され、これら
    の載せ台により被撮像物を、ラインセンサカメラの撮像
    素子配列方向と直交する方向に対して湾曲させて保持し
    ていることを特徴とする請求項５〜７の何れかに記載の
    薄型板状体の撮像処理装置。
11. 【請求項１１】 ラインセンサカメラ側に取り付けら
    れ、ラインセンサカメラから被検査物におけるラインセ
    ンサカメラ撮像範囲の所定点までの距離を測定する距離
    測定手段と、この距離測定手段にて測定した距離に合わ
    せてラインセンサカメラの位置を調整する位置調整手段
    とを備えたことを特徴とする請求項８〜１０の何れかに
    記載の薄型板状体の撮像処理装置。