JP2006090740A - 配線基板の検査方法、配線基板の製造方法及び配線基板の検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 上面にフィルドビア導体134sの頂面が露出した状態の被検査基板体において、基板主表面法線に対し、その片側から傾斜した角度で入射する照明光LBによりフィルドビア導体134sの頂面領域を照らしながら該頂面領域の画像を撮影する。そして、撮影された画像上の頂面領域に生ずる陰影情報に基づいて、フィルドビア導体134sの金属充填不良により生ずる凹状欠陥PFの発生状態を検査する。
【選択図】 図7
Description
ビルドアップ基板では、配線層間を電気的に接続するために、誘電体層の必要位置にこれを貫通するビアホールが形成され、ビアホールの内面はメッキによりビア導体が形成される。
金属配線層と高分子材料からなる誘電体層とが交互に積層されるとともに、誘電体層を挟んで積層方向に隣接する金属配線層間を、内部が金属充填されたフィルドビア導体により接続した構造の配線積層部を有する配線基板の検査方法であって、
上面にフィルドビア導体の頂面が露出した状態の被検査基板体において、基板主表面法線に対し、その片側から傾斜した角度で入射する照明光によりフィルドビア導体の頂面領域を照らしながら該頂面領域の画像を撮影し、撮影された画像上の頂面領域に生ずる陰影情報に基づいて、フィルドビア導体の金属充填不良により生ずる凹状欠陥の発生状態を検査することを特徴とする。
金属配線層と高分子材料からなる誘電体層とが交互に積層されるとともに、誘電体層を挟んで積層方向に隣接する金属配線層間を、内部が金属充填されたフィルドビア導体により接続した構造の配線積層部を有する配線基板又はその中間製品からなる被検査基板体を製造する基板製造工程と、
該被検査基板体を、上記本発明の検査方法により検査する検査工程と、
該検査の結果に基づいて被検査基板体を良品と不良品とに選別する選別工程と、
を有したことを特徴とする。
被検査基板体において、基板主表面法線に対し、その片側から傾斜した角度で入射する照明光によりフィルドビア導体の頂面領域を照らす照明装置と、
頂面領域の画像を撮影する撮影装置と、
画像の出力装置と、を備えたことを特徴とする。
図17は、本発明の検査方法、装置及び製造方法の対象となる配線基板100の断面構造を模式的に示すものである。該配線基板100は、耐熱性樹脂板(例えばビスマレイミド−トリアジン樹脂板)や、繊維強化樹脂板(例えばガラス繊維強化エポキシ樹脂)等で構成された板状コア102の両表面に、所定のパターンに配線金属層をなすコア導体層M1,M11がそれぞれ形成される。これらコア導体層M1,M11は板状コア102の表面の大部分を被覆する面導体パターンとして形成され、電源層又は接地層として用いられるものである。他方、板状コア102には、ドリル等により穿設されたスルーホール112が形成され、その内壁面にはコア導体層M1,M11を互いに導通させるスルーホール導体130が形成されている。また、スルーホール112は、エポキシ樹脂等の樹脂製穴埋め材131により充填されている。
(ラインセンサカメラ)
・ピクセル数:4096ピクセル/ライン
・分解能:5μm/ピクセル
・焦点距離:125mm
(ライン照明)
・ハロゲン光、集光距離100mmのレンズを使用。
以上の結果を表1に示す。
12 イメージプロセッシングユニット(画像情報生成手段)
13c ラインセンサカメラ(撮影装置)
22 外部記憶装置(判定結果記憶部)
25 照明装置
100 配線基板
L1,L2 配線積層部
134s フィルドビア導体
SB1,SB2‥ 被検査基板体
LB 照明光
PF 凹状欠陥
DA 陰影領域
W 大判基板ワーク
Claims (11)
- 金属配線層と高分子材料からなる誘電体層とが交互に積層されるとともに、前記誘電体層を挟んで積層方向に隣接する金属配線層間を、内部が金属充填されたフィルドビア導体により接続した構造の配線積層部を有する配線基板の検査方法であって、
上面に前記フィルドビア導体の頂面が露出した状態の被検査基板体において、基板主表面法線に対し、その片側から傾斜した角度で入射する照明光により前記フィルドビア導体の頂面領域を照らしながら該頂面領域の画像を撮影し、撮影された画像上の頂面領域に生ずる陰影情報に基づいて、前記フィルドビア導体の金属充填不良により生ずる凹状欠陥の発生状態を検査することを特徴とする配線基板の検査方法。 - 前記画像上の領域を、前記照明光による照度により、予め定められた閾値を境界として明領域と暗領域とに区分し、前記フィルドビア導体の前記頂面領域に現れている暗領域の面積又は寸法の情報に基づいて、前記凹状欠陥の形成程度に関する判定を行なう請求項1記載の配線基板の検査方法。
- 前記照明光の前記基板主表面法線に対する傾斜角度を20°以上80°以下に設定する請求項1又は請求項2に記載の配線基板の検査方法。
- 金属配線層と高分子材料からなる誘電体層とが交互に積層されるとともに、前記誘電体層を挟んで積層方向に隣接する金属配線層間を、内部が金属充填されたフィルドビア導体により接続した構造の配線積層部を有する配線基板又はその中間製品からなる被検査基板体を製造する基板製造工程と、
該被検査基板体を、請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の検査方法により検査する検査工程と、
該検査の結果に基づいて前記被検査基板体を良品と不良品とに選別する選別工程と、
を有したことを特徴とする配線基板の製造方法。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の検査方法に用いる装置であって、
前記被検査基板体において、基板主表面法線に対し、その片側から傾斜した角度で入射する照明光により前記フィルドビア導体の頂面領域を照らす照明装置と、
前記頂面領域の画像を撮影する撮影装置と、
前記画像の出力装置と、を備えたことを特徴とする配線基板の検査装置。 - 前記撮影装置は、前記被検査基板体上の撮影領域にて、面内の第一方向に定められた線状の撮影情報を取得するラインセンサカメラと、前記線状の撮影情報の取得位置を選択的に照明するライン照明と、前記撮影領域上にて前記ラインセンサカメラによる撮影位置を、前記面内にて前記第一の方向と直交する第二の方向に走査する撮影走査部と、該走査により順次得られた前記線状の撮影情報を面内に合成して、前記撮影領域に対応した二次元画像情報を得る画像情報生成手段と、を備える請求項5記載の配線基板の検査装置。
- 撮影された画像上の頂面領域に生ずる陰影情報に基づいて、前記フィルドビア導体の金属充填不良により生ずる凹状欠陥の発生状態を解析する検査解析部を有する請求項5又は請求項6に記載の配線基板の検査装置。
- 前記検査解析部は、
前記画像上の領域を、前記照明光による照度により、予め定められた閾値を境界として明領域と暗領域とに区分するとともに、前記フィルドビア導体の前記頂面領域に現れている暗領域の面積又は寸法を演算する暗領域演算手段と、
前記暗領域の面積又は寸法に基づいて、前記凹状欠陥の形成程度に関する判定を行なう判定手段とを有する請求項7記載の配線基板の検査装置。 - 前記判定手段は、前記暗領域の面積又は寸法が予め定められた基準値よりも大きい場合に、当該フィルドビア導体を不良として判定する請求項8記載の配線基板の検査装置。
- 前記フィルドビア導体の被検査基板体上の形成位置情報と、前記フィルドビア導体の良否判定結果とを対応付けて記憶する判定結果記憶部と、
出力領域上に設定された基板領域の、各フィルドビア導体に対応する位置に、前記良否判定結果をマッピング出力する判定結果出力部とを備える請求項9記載の配線基板の検査装置。 - 複数の前記被検査基板体が面内に被分離形態で一体化した大判の基板ワークを支持する基板ワーク支持部と、
前記撮影装置による撮影位置が、前記基板ワーク支持部上の複数の被検査基板体に対して順次移動するように、該基板ワーク支持部を前記撮影装置及び照明装置に対し相対移動させるワーク相対移動部とを備える請求項5ないし請求項10のいずれか1項に記載の配線基板の検査装置。
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