JP6461555B2 - バンプ検査装置 - Google Patents
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Description
本発明の別の目的は、TSVウエハのバンプ検査に好適なバンプ検査装置を実現することにある。
バンプが形成されているTSVウエハを支持すると共に第1の方向及び第1の方向と直交する第2の方向に移動可能なステージと、
第1の方向に延在するライン状の照明ビームを、ステージ上に配置したTSVウエハに向けて斜めの入射角で投射する光源装置と、
前記第1の方向に沿って配列された複数の受光素子を有し、ウエハ表面で正反射した正反射光を受光するように配置されたライセンス又はTDIセンサと、
前記ライセンス又はTDIセンサから出力される輝度信号を用いて、ウエハ表面で正反射した正反射光により形成される2次元輝度画像を形成し、形成された2次元輝度画像を用いて個々のバンプについて良否判定を行う信号処理装置とを具え、
前記TSVウエハは、ステージが第2の方向に移動することにより、第1の方向に延在するライン状の照明ビームにより2次元的に走査され、
前記2次元輝度画像は、ウエハ表面で正反射した正反射光により形成されるバンプの影の2次元像を含み、
前記信号処理装置は、
前記2次元輝度画像から、M及びNを正の整数とした場合に、バンプの影の2次元画像の高さ方向に配列されたM個の画素と幅方向に配列されたN個の画素により構成されるM×N個の画素ブロックとして構成されるバンプの影の2次元画像を検出するバンプ像検出手段、
検出された画素ブロックの画素の輝度値を用いて、バンプの影の2次元画像の高さを計測する第1の計測手段、及び、
計測された高さ出力を基準情報と比較して良否判定を行う良否判定手段を有し、
前記第1の計測手段は、
受光素子上に形成されたバンプの影の2次元画像の高さ方向の長さと当該受光素子から出力される輝度信号により形成される画素の輝度値との関係を規定した変換データ、
前記検出された画素ブロックの画素の輝度値を、前記変換データを用いてバンプの影の2次元画像の高さ方向の長さに変換する手段、及び、
変換された各画素のバンプの影の2次元画像の高さ方向の長さを、高さ方向にそって配列されたM個の画素について加算する手段を含むことを特徴とする。
L=2×(sin45°×H)+W/sin45°=√2×H+W/√2
従って、バンプの高さHは、以下の式で近似される。
H=(L−W/√2)/√2 (1)
上記(1)式より、バンプの高さHは、バンプの正反射方向から見たバンプ像の高さ方向の長さLと対応関係があり、バンプ像の高さLとバンプの影の幅(直径)Wを求めることにより計測することができる。従って、バンプ検査において、バンプの高さの絶対値を測定せず、バンプ像の高さLと影の幅Wについて検査を行い、検出された高さL及び幅Wを基準情報と比較し、所定の許容範囲内か否かを検査することにより、周囲のバンプとは異なる特異的なバンプを検出することができる。
2 ステージ
3 第1の位置センサ
4 第2の位置センサ
5 信号処理装置
6 検査光学系
7 照明光源
8 撮像レンズ
9 撮像装置(ラインセンサ)
10 共焦点光学系
11 レーザ
12 音響光学素子
13 ビームスプリッタ
14 振動ミラー
15 対物レンズ
16 ラインセンサ
Claims (9)
- TSVウエハに形成された多数のバンプを高速で検査するバンプ検査装置であって、
バンプが形成されているTSVウエハを支持すると共に第1の方向及び第1の方向と直交する第2の方向に移動可能なステージと、
第1の方向に延在するライン状の照明ビームを、ステージ上に配置したTSVウエハに向けて斜めの入射角で投射する光源装置と、
前記第1の方向に沿って配列された複数の受光素子を有し、ウエハ表面で正反射した正反射光を受光するように配置されたライセンス又はTDIセンサと、
前記ライセンス又はTDIセンサから出力される輝度信号を用いて、ウエハ表面で正反射した正反射光により形成される2次元輝度画像を形成し、形成された2次元輝度画像を用いて個々のバンプについて良否判定を行う信号処理装置とを具え、
前記TSVウエハは、ステージが第2の方向に移動することにより、第1の方向に延在するライン状の照明ビームにより2次元的に走査され、
前記2次元輝度画像は、ウエハ表面で正反射した正反射光により形成されるバンプの影の2次元像を含み、
前記信号処理装置は、
前記2次元輝度画像から、M及びNを正の整数とした場合に、バンプの影の2次元画像の高さ方向に配列されたM個の画素と幅方向に配列されたN個の画素により構成されるM×N個の画素ブロックとして構成されるバンプの影の2次元画像を検出するバンプ像検出手段、
検出された画素ブロックの画素の輝度値を用いて、バンプの影の2次元画像の高さを計測する第1の計測手段、及び、
計測された高さ出力を基準情報と比較して良否判定を行う良否判定手段を有し、
前記第1の計測手段は、
受光素子上に形成されたバンプの影の2次元画像の高さ方向の長さと当該受光素子から出力される輝度信号により形成される画素の輝度値との関係を規定した変換データ、
前記検出された画素ブロックの画素の輝度値を、前記変換データを用いてバンプの影の2次元画像の高さ方向の長さに変換する手段、及び、
変換された各画素のバンプの影の2次元画像の高さ方向の長さを、高さ方向にそって配列されたM個の画素について加算する手段を含むことを特徴とするバンプ検査装置。 - 請求項1に記載のバンプ検査装置において、前記信号処理装置は、さらに、検出された画素ブロックの画素の輝度値を用いて、バンプの影の2次元画像の幅を計測する第2の計測手段、及び、計測された幅出力を基準情報と比較して、検出されたバンプの影の2次元画像について良否判定を行う良否判定手段を有し、
前記第2の計測手段は、
受光素子上に形成されたバンプの影の2次元画像の幅方向の長さと当該受光素子から出力される輝度信号により形成される画素の輝度値との関係を規定した変換データ、
前記検出された画素ブロックの画素の輝度値を、前記変換データを用いてバンプの影の2次元画像の幅方向の長さに変換する手段、及び、
変換された各画素のバンプの影の2次元画像の幅方向の長さを、幅方向にそって配列されたN個の画素について加算する手段を含むことを特徴とするバンプ検査装置。 - 請求項1に記載のバンプ検査装置において、前記バンプ像検出手段の後段に、輝度反転手段が配置され、輝度反転したバンプの影の2次元画像が前記第1の計測手段に供給されることを特徴とするバンプ検査装置。
- 請求項2に記載のバンプ検査装置において、前記バンプ像検出手段の後段に、輝度反転手段が配置され、輝度反転したバンプの影の2次元画像が前記第1及び第2の計測手段に供給されることを特徴とするバンプ検査装置。
- 請求項1、2、3又は4に記載のバンプ検査装置において、前記第1の計測手段は、前記バンプの影の2次元画像又は輝度反転したバンプの影の2次元画像をプロジェクション処理により高さ方向に延在する1次元輝度データに変換するプロジェクション手段を有し、変換された1次元輝度データを用いてバンプの影の2次元画像の高さを計測することを特徴とするバンプ検査装置。
- 請求項1から5までのいずれか1項に記載のバンプ検査装置において、前記信号処理装置は、さらに、前記バンプの影の2次元画像からバンプの先端の湾曲度を検出する手段、及び検出された湾曲度について良否判定を行う第3の良否判定手段を有することを特徴とするバンプ検査装置。
- 請求項1から6までのいずれか1項に記載のバンプ検査装置において、前記信号処理装置は、検出したバンプの影の2次元画像のアドレスを検出する手段、及び、検出されたアドレスを基準アドレス情報と比較するアドレス比較手段をさらに有し、バンプの欠落情報を出力することを特徴とするバンプ検査装置。
- 請求項1から7までのいずれか1項に記載のバンプ検査装置において、前記信号処理装置は、前記2次元輝度画像から異物の像を検出する手段を有し、検出された異物の像のサイズ及び/又は形状から異物検出を行うことを特徴とするバンプ検査装置。
- TSVウエハに形成されたバンプを検査するバンプ検査装置であって、
バンプが形成されているTSVウエハを支持すると共に第1の方向及び第1の方向と直交する第2の方向に移動可能なステージと、
ステージの上方に配置した検査光学系と、
ステージの上方に配置され、バンプの高さ及び幅を含むバンプパラメータを計測する共焦点光学系と、
前記検査光学系から出力される輝度信号を用いて、ウエハ表面で正反射した正反射光により形成される2次元輝度画像を形成し、形成された2次元輝度画像から個々のバンプについて良否判定を行う信号処理装置とを具え
前記検査光学系は、前記第1の方向に延在するライン状の照明ビームを前記ステージ上に配置したTSVウエハに向けて斜めの入射角で投射する照明光源と、前記第1の方向に沿って配列された複数の受光素子を有し、ウエハ表面で正反射した正反射光を受光するように配置されたラインセンサ又はTDIセンサとを含み、
前記TSVウエハは、ステージが第2の方向に移動することにより、第1の方向に延在する照明ビームにより2次元的に走査され、
前記信号処理装置により形成される2次元輝度画像は、ウエハ表面で正反射した正反射光により形成されるバンプの影の2次元画像を含み、
前記信号処理装置は、
前記2次元輝度画像から、M及びNを正の整数とした場合に、バンプの影の2次元画像の高さ方向に配列されたM個の画素と幅方向に配列されたN個の画素により構成されるM×N個の画素ブロックとして構成されるバンプの影の2次元画像を検出するバンプ像検出手段、
検出された画素ブロックの画素の輝度値を用いて、バンプの影の2次元画像の高さを計測する第1の計測手段、及び、
計測された高さ出力を基準情報と比較して良否判定を行う良否判定手段を有し、
前記第1の計測手段は、
受光素子上に形成されたバンプの影の2次元画像の高さ方向の長さと当該受光素子から出力される輝度信号により形成される画素の輝度値との関係を規定した変換データ、
前記検出された画素ブロックの画素の輝度値を、前記変換データを用いてバンプ像の高さ方向の長さに変換する手段、及び、
変換された各画素のバンプ像の高さ方向の長さを、高さ方向にそって配列されたM個の画素について加算する手段を含むことを特徴とするバンプ検査装置。
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