JP6590429B1 - 共焦点顕微鏡、及びその撮像方法 - Google Patents
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Abstract
Description
11 照明光源
12 ハーフミラー
13 レンズ
14 スキャナ
15 レンズ
16 レンズ
17 対物レンズ
18 検出器
20 ステージ
30 基板
31 エッジ部
33 表面
34 裏面
40 移動機構
41 駆動機構
42 ガイド
50 処理装置
51 制御部
52 データ取得部
53 画像生成部
100 共焦点顕微鏡
110 ラインコンフォーカル光学系
OX 光軸
D エッジ位置
E エッジ位置
F 焦点
P エッジプロファイル
S 焦点面
Claims (12)
- 試料のエッジ部の概形を示す概形データを取得するデータ取得手段と、
前記試料のエッジ部を照明する照明光を発生する照明光源と、
光軸が前記試料の上面から傾いた斜め方向になるように配置され、前記照明光を試料のエッジ部に集光する第1の対物レンズと、
前記第1の対物レンズの視野において、前記試料の照明位置を走査する光スキャナと、
前記光軸から傾いた方向において前記試料に対する前記第1の対物レンズの相対的な位置を変化させることで、前記照明位置を前記試料のエッジ部の概形に沿って走査する走査機構と、
前記試料のエッジ部で反射して前記第1の対物レンズを通過した反射光を、コンフォーカル光学系を介して検出する光検出器と、を備えた共焦点顕微鏡。 - 前記走査機構による走査方向が、前記光スキャナによる走査方向と平行な成分を有している請求項1に記載の共焦点顕微鏡。
- 前記走査機構が、前記試料の概形に沿って、前記照明位置を連続的に走査している請求項1、又は2に記載の共焦点顕微鏡。
- 前記試料がノッチを有する半導体ウェハであり、
前記概形データが、前記半導体ウェハのノッチ部分の概形を示しており、
前記半導体ウェハのノッチを撮像する請求項1〜3のいずれか1項に共焦点顕微鏡。 - 前記第1の対物レンズよりも低倍率であり、前記ノッチ部分を一視野で観察できる第2の対物レンズを用いて、前記概形データが取得されている請求項4に記載の共焦点顕微鏡。
- 前記走査機構は、前記試料が載置された可動ステージを有している請求項1〜5のいずれか1項に記載の共焦点顕微鏡。
- 光軸が試料の上面から傾いた斜め方向に配置されている第1の対物レンズにより照明光を試料のエッジ部に集光し、コンフォーカル光学系を介して前記試料のエッジ部で反射した反射光を検出する共焦点顕微鏡による撮像方法であって、
前記試料のエッジ部の概形を示す概形データを取得するステップと、
走査機構が前記光軸から傾いた方向において前記試料に対する前記第1の対物レンズの相対的な位置を変化させることで、照明位置を前記試料の概形に沿って走査するとともに、光スキャナが前記第1の対物レンズの視野内で前記照明位置を走査するステップと、
前記走査機構、及び前記光スキャナの走査中に、前記試料のエッジ部で反射した反射光を検出器が検出するステップと、
前記検出器で検出された検出データに基づいて、共焦点画像を生成するステップと、を備えた撮像方法。 - 前記走査機構による走査方向が、前記光スキャナによる走査方向と平行な成分を有している請求項7に記載の撮像方法。
- 前記走査機構が、前記試料の概形に沿って、前記照明位置を連続的に走査している請求項7、又は8に記載の撮像方法。
- 前記試料がノッチを有する半導体ウェハであり、
前記概形データが、前記半導体ウェハのノッチ部分の概形を示しており、
前記半導体ウェハのノッチを撮像する請求項7〜9のいずれか1項に記載の撮像方法。 - 前記第1の対物レンズよりも低倍率であり、前記ノッチ部分を一視野で観察できる第2の対物レンズを用いて、前記概形データが取得されている請求項10に記載の撮像方法。
- 前記走査機構は、前記試料が載置された可動ステージを有している請求項7〜11のいずれか1項に記載の撮像方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113984515A (zh) * | 2021-10-18 | 2022-01-28 | 同济大学 | 一种利用共聚焦显微镜观察水力裂缝起裂与扩展的方法 |
WO2023171192A1 (ja) * | 2022-03-09 | 2023-09-14 | 株式会社東京精密 | 形状測定装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5479252A (en) * | 1993-06-17 | 1995-12-26 | Ultrapointe Corporation | Laser imaging system for inspection and analysis of sub-micron particles |
DE19713362A1 (de) * | 1997-03-29 | 1998-10-01 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Konfokale mikroskopische Anordnung |
JP4716686B2 (ja) | 2004-07-23 | 2011-07-06 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡装置 |
JP4850523B2 (ja) * | 2006-01-27 | 2012-01-11 | 大倉インダストリー株式会社 | 共焦点型顕微鏡 |
JP5846844B2 (ja) * | 2011-10-14 | 2016-01-20 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置 |
JP6800698B2 (ja) * | 2016-10-21 | 2020-12-16 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置および拡大観察装置の制御方法 |
JP6811950B2 (ja) | 2016-12-09 | 2021-01-13 | オリンパス株式会社 | 走査型共焦点顕微鏡装置、走査制御方法、及び、プログラム |
JP2018120057A (ja) * | 2017-01-24 | 2018-08-02 | オリンパス株式会社 | 観察装置 |
JP2018128532A (ja) * | 2017-02-07 | 2018-08-16 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡 |
JP7109130B2 (ja) * | 2018-04-04 | 2022-07-29 | 株式会社エビデント | 顕微鏡 |
JP6644282B2 (ja) * | 2018-08-02 | 2020-02-12 | レーザーテック株式会社 | 測定装置、及び測定方法 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113984515A (zh) * | 2021-10-18 | 2022-01-28 | 同济大学 | 一种利用共聚焦显微镜观察水力裂缝起裂与扩展的方法 |
CN113984515B (zh) * | 2021-10-18 | 2023-06-16 | 同济大学 | 一种利用共聚焦显微镜观察水力裂缝起裂与扩展的方法 |
WO2023171192A1 (ja) * | 2022-03-09 | 2023-09-14 | 株式会社東京精密 | 形状測定装置 |
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