JP4716686B2 - 顕微鏡装置 - Google Patents
顕微鏡装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4716686B2 JP4716686B2 JP2004216093A JP2004216093A JP4716686B2 JP 4716686 B2 JP4716686 B2 JP 4716686B2 JP 2004216093 A JP2004216093 A JP 2004216093A JP 2004216093 A JP2004216093 A JP 2004216093A JP 4716686 B2 JP4716686 B2 JP 4716686B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- observation
- sample
- optical system
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る顕微鏡装置の構成図である。
本実施形態は、レーザビームを複数のレンズやミラーで構成される第1の光学系(共焦点顕微鏡光学系)を通じて2次元に走査して試料(被写体)へ照射し、その試料からの光、例えば反射光から生成された高い解像度の共焦点画像(共焦点画像データ)と、第1の光学系の一部を共有する第2の光学系(顕微鏡光学系)を通してCCD等の撮像素子により撮像した、共焦点画像よりも低い解像度の被写体画像(画像データ)と、を得る顕微鏡装置である。
始めに、共焦点画像を得るための第1の光学系の構成をレーザビームの光路に沿って説明する。
第1の光学系は、レーザビーム2を照射するレーザ光源1と、レーザビーム2の照射を遮光するシャッタ23と、レーザビーム2を入射方向に応じて透過若しくは反射させるビームスプリッタ3と、レーザビーム2を所定方向(X軸方向)に走査するように反射するガルバノメータミラー4と、瞳伝送レンズ5,6と、前記所定方向と直交する方向(Y軸方向)にレーザビーム2を走査するように反射して、レーザビーム2を2次元的に走査(以下、2次元走査ビームと称する)させるガルバノメータミラー7と、瞳投影レンズ8と、結像レンズ9と、ビームスプリッタ18及び対物レンズ10と、を具備して構成される。
前述した被写体画像を得るための第2の光学系の構成についても同様にレーザビームの光路に沿って説明する。
まず、第2の光学系による試料11の解像度の低い被写体画像を撮像する。
光源22を駆動し、コントローラ16の制御部16bによりシャッタ24を開状態とし、シャッタ23を閉状態とする。
この2次元走査ビーム(レーザビーム2)は、瞳投影レンズ8、結像レンズ9、ビームスプリッタ18を介して対物レンズ10によりレーザスポットとして集光し、このレーザスポットで試料11の指定された観察領域上をX−Yの2次元方向に走査させる。
図3に示す変形例は、図1に示した第1の実施形態の構成に、試料11と対物レンズ10とを相対的に移動させる移動ステージ機構41や対物レンズ移動機構42を設けた構成である。
これらの3つの画像51a,51b,51cのうち、図5(a)は一番浅い深さ位置(例えば、表面)で取得した1枚目の画像51aを示し、図5(b)はさらに深い位置で取得した2枚目の画像51bを示し、図5(c)は、一番深い位置で取得した3枚目の画像51cをそれぞれ示している。
これらの画像51a,51b,51cは、それぞれ同じ位置に前述した共焦点画像53a,53b,53cを含んでいる。これらの共焦点画像53a,53b,53cは、光軸方向に対して焦点深度が浅いため、焦点位置以外の検出ビーム12は、共焦点用検出器15には届かず、画像として検出されることはない。
本実施形態の構成部位について、前述した第1の実施形態と同等の部位には同じ参照符号を付してその詳細な説明は省略する。
この第2の実施形態では、出射されるレーザビーム62の波長域が赤外線領域のレーザ光源61と、光源22とシャッタ24との間に可視光と赤外光の切り換え機能を有する波長域選択フィルタ25とが配設されている。
次に、第2の実施形態における変形例について説明する。
前述した第2の実施形態で説明した赤外光レーザビームにより共焦点画像データを取得する時には、その赤外光レーザビームは目に見えないため、試料11上のどの部分を走査しているかは確認できない。
本実施形態は、図9(a)に示すように、詳細に見たい観察画像71の画像領域72が1枚の観察可能範囲を超えている場合で、その他が例えば、図9(b)に示すような画像領域であった場合には、図9(c)に示すように、それらの画像を貼り合わせて1枚の合成画像(観察画像)を作成しようとしたものである。
本実施形態の構成部位について、前述した第1の実施形態と同等の部位には同じ参照符号を付してその詳細な説明は省略する。
本実施形態は、低い解像度の被写体画像をカメラではなく、共焦点用検出器15と同じ検出器83を用いた構成である。
この被写体画像(非共焦点画像)に共焦点画像を合成することにより、所望する箇所が高い解像度になっている合成画像(観察画像)を得ることができる。
Claims (4)
- 試料に光を照射し該試料からの光に基づく観察画像を生成する顕微鏡装置であって、
前記観察画像内で所望する観察領域を高い解像度にて画像を取得する第1の光学系と、
前記観察画像内の領域を前記第1の画像生成部の解像度よりも低い解像度にて画像を取得する第2の光学系と、
前記第2の光学系による前記観察画像内の領域で、前記第1の光学系による高い解像度の画像を取得したい領域を指示する領域指示部と、
前記第2の光学系による前記観察画像内の領域に、前記領域指示部で指示した前記第1の光学系による高い解像度の画像を、前記観察対象が同じ大きさとなるように嵌め込む画像処理部と、
を具備することを特徴とする顕微鏡装置。 - 新クレーム2
前記第1の光学系で取得される高い解像度の画像が、前記観察画像内にレーザービームを走査照射して得られる共焦点画像であることを特徴とする、請求項1記載の顕微鏡装置。 - 前記顕微鏡装置において、
対物レンズと前記試料を載置するステージとを光軸方向で相対的に移動可能なZ移動機構と、
前記対物レンズ又は前記ステージの位置をZ座標データとして検出するZ位置検出部と、
前記Z位置検出部により検出されたZ座標データに基づき、複数の観察画像を重ね合わせた3次元の合成画像を生成する3次元画像合成部と、
を備え、
前記対物レンズ又は前記ステージを光軸方向で移動させつつ、
前記Z座標データに基づき連続的に作成された観察画像同士を重ね合わせて1つの観察画像を作成することを特徴とする請求項1又は2に記載の顕微鏡装置。 - 前記顕微鏡装置において、
前記試料に赤外領域のレーザビームを照射するレーザ光源と、
前記被写体画像生成部に設けられた前記試料に光を照射する光源の前方の光路上に設けられた該光の通過する波長域を可視光域と赤外光域とのいずれかを選択する波長域選択フィルタと、
対物レンズと前記試料を載置するステージとを、光軸方向で相対的に移動可能なZ移動機構と、
をさらに具備し、
前記試料の表面の観察画像に加えて、該試料の深さ方向に少なくとも1つ以上の内部観察画像を作成することを特徴とする請求項2に記載の顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004216093A JP4716686B2 (ja) | 2004-07-23 | 2004-07-23 | 顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004216093A JP4716686B2 (ja) | 2004-07-23 | 2004-07-23 | 顕微鏡装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006039048A JP2006039048A (ja) | 2006-02-09 |
JP4716686B2 true JP4716686B2 (ja) | 2011-07-06 |
Family
ID=35904127
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004216093A Active JP4716686B2 (ja) | 2004-07-23 | 2004-07-23 | 顕微鏡装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4716686B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7567346B2 (en) * | 2006-03-01 | 2009-07-28 | General Electric Company | System and method for multimode imaging |
US8045263B2 (en) | 2006-06-30 | 2011-10-25 | The General Hospital Corporation | Device and method for wide-field and high resolution imaging of tissue |
JP5185704B2 (ja) * | 2007-12-26 | 2013-04-17 | オリンパス株式会社 | 生体観察装置 |
US8791427B2 (en) | 2007-12-26 | 2014-07-29 | Olympus Corporation | Biological-specimen observation apparatus |
WO2010140609A1 (ja) | 2009-06-02 | 2010-12-09 | 株式会社ニコン | 画像処理装置、プログラム、および、顕微鏡 |
JP2010286565A (ja) * | 2009-06-09 | 2010-12-24 | Olympus Corp | 蛍光観察装置 |
JP2012118126A (ja) * | 2010-11-29 | 2012-06-21 | Olympus Corp | 観察装置および観察方法 |
JP6009005B2 (ja) * | 2015-01-20 | 2016-10-19 | 株式会社キーエンス | 共焦点顕微鏡システム、画像処理方法および画像処理プログラム |
DE102019110869A1 (de) * | 2018-12-21 | 2020-06-25 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Mikroskop |
JP6590429B1 (ja) | 2018-12-25 | 2019-10-16 | レーザーテック株式会社 | 共焦点顕微鏡、及びその撮像方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61132917A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-20 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 顕微鏡装置 |
JPH06259533A (ja) * | 1993-03-05 | 1994-09-16 | Olympus Optical Co Ltd | 光学像再構成装置 |
JPH0997332A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | Shimadzu Corp | 顕微鏡の画像処理方法 |
JPH09133869A (ja) * | 1995-11-08 | 1997-05-20 | Olympus Optical Co Ltd | 共焦点走査型光学顕微鏡 |
JPH09281405A (ja) * | 1996-04-17 | 1997-10-31 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡システム |
JP2001024040A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-26 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体デバイス検査装置 |
JP2002214532A (ja) * | 2001-01-22 | 2002-07-31 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡 |
JP2003084203A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-19 | Nikon Corp | 顕微鏡装置 |
JP2003116874A (ja) * | 2001-10-10 | 2003-04-22 | Olympus Optical Co Ltd | 手術用顕微鏡装置 |
JP2003344779A (ja) * | 2002-05-29 | 2003-12-03 | Olympus Optical Co Ltd | 画像表示装置 |
JP2004191959A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-07-08 | Olympus Corp | 顕微鏡画像撮影装置 |
-
2004
- 2004-07-23 JP JP2004216093A patent/JP4716686B2/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61132917A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-20 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 顕微鏡装置 |
JPH06259533A (ja) * | 1993-03-05 | 1994-09-16 | Olympus Optical Co Ltd | 光学像再構成装置 |
JPH0997332A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | Shimadzu Corp | 顕微鏡の画像処理方法 |
JPH09133869A (ja) * | 1995-11-08 | 1997-05-20 | Olympus Optical Co Ltd | 共焦点走査型光学顕微鏡 |
JPH09281405A (ja) * | 1996-04-17 | 1997-10-31 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡システム |
JP2001024040A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-26 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体デバイス検査装置 |
JP2002214532A (ja) * | 2001-01-22 | 2002-07-31 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡 |
JP2003084203A (ja) * | 2001-09-12 | 2003-03-19 | Nikon Corp | 顕微鏡装置 |
JP2003116874A (ja) * | 2001-10-10 | 2003-04-22 | Olympus Optical Co Ltd | 手術用顕微鏡装置 |
JP2003344779A (ja) * | 2002-05-29 | 2003-12-03 | Olympus Optical Co Ltd | 画像表示装置 |
JP2004191959A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-07-08 | Olympus Corp | 顕微鏡画像撮影装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006039048A (ja) | 2006-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3917731B2 (ja) | レーザ走査顕微鏡 | |
JP5221614B2 (ja) | 3次元共焦点観察用装置及び観察焦点面変位・補正ユニット | |
JP4716686B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP4526988B2 (ja) | 微小高さ測定方法及びそれに用いる微小高さ測定装置並びに変位ユニット | |
KR20020084786A (ko) | 선형 선 스캐닝을 이용하는 공초점 영상 형성 장치 및 방법 | |
EP1882967B1 (en) | Scanning examination apparatus | |
JP2006171024A (ja) | 多点蛍光分光測光顕微鏡および多点蛍光分光測光方法 | |
JP2006023476A (ja) | 共焦点走査型顕微鏡 | |
JP2010072014A (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP2009036970A (ja) | カバーガラス、スライドガラス、プレパラート、観察方法、及び顕微鏡装置 | |
JP4725967B2 (ja) | 微小高さ測定装置及び変位計ユニット | |
JP5166770B2 (ja) | 3次元形状観察装置 | |
CN103299231A (zh) | 光扫描系统 | |
EP1806575B1 (en) | Examination apparatus | |
EP1684107B1 (en) | Examination method and examination-assisting tool | |
JP2021179608A (ja) | レーザー走査顕微鏡、レーザー走査顕微鏡システム及びレーザーアブレーションシステム | |
JPH1068901A (ja) | 2次元スキャナ装置 | |
JP4587693B2 (ja) | 生体観察装置 | |
JP4681834B2 (ja) | 生体観察装置 | |
JP3125124U (ja) | 赤外顕微鏡 | |
JP2008197283A (ja) | スリット走査共焦点顕微鏡、及び画像取得方法 | |
JP2014056078A (ja) | 画像取得装置、画像取得システム及び顕微鏡装置 | |
JP4713391B2 (ja) | 赤外顕微鏡 | |
JP6436862B2 (ja) | 顕微鏡および顕微鏡画像取得方法 | |
JP3265546B2 (ja) | 近接露光に適用される位置検出方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070706 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110104 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110302 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110322 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110329 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140408 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |