JP4713391B2 - 赤外顕微鏡 - Google Patents
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- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 51
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 41
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 37
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 19
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
測定範囲の制限は、試料からの反射光/透過光を集光する対物鏡の結像位置にアパーチャを配置し、測定範囲以外からの光を遮断することで行う。しかし、アパーチャを設けることで、試料を観察するための視野も同様に制限される。そのため、試料上の特定の微小部位を設定するのが困難であるという問題があった。
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、その目的は、簡単な構成で、試料像とアパーチャ像を同時に観察することが可能な赤外顕微鏡を提供することにある。
上記の赤外顕微鏡において、前記アパーチャと前記アパーチャ照射用光源との間の光路上に設置されたアパーチャ照射用ビームスプリッタを備え、前記アパーチャ照射用ビームスプリッタは赤外光を反射または透過するものであって、前記アパーチャを通過した試料からの前記赤外光を前記赤外光検出手段に導光しており、前記アパーチャ照射用ビームスプリッタは、赤外光を反射するときは可視光を透過し、赤外光を透過するときは可視光を反射するものであって、前記アパーチャ照射用可視光を前記試料へ導光しており、前記試料から前記アパーチャ照射用ビームスプリッタまでのアパーチャ照射用可視光の光路を前記赤外光の光路と同一の光路上に導光するのが好適である。
本発明にかかる赤外顕微鏡によれば、赤外光照射手段および試料照明用光源と試料との間の光路上に設置された照明用ビームスプリッタを備えているため、赤外光での測定時と可視光での観察時とで光路を機械的に切換える必要がなく、装置構成がコンパクトになる。また、赤外測定と可視観察とを同時に測定、もしくは短時間で測定と観察の切換えを行うことも可能となる。
本発明にかかる赤外顕微鏡によれば、アパーチャとアパーチャ照射用光源との間の光路上に設置されたアパーチャ照射用ビームスプリッタを備えているため、赤外光での測定時と、可視光によるアパーチャ像及び試料像の観察時とで光路を切換える必要がなく、装置構成がコンパクトになる。また、赤外測定と可視観察とを同時に測定、もしくは短時間で測定と観察の切換えを行うことも可能となる。
<透過測定>
図1は、本発明の実施形態にかかる赤外顕微鏡の概略構成図であり、透過測定における光路を示している。図1の赤外顕微鏡10は、赤外スペクトル測定機構として、赤外光照射手段12と、顕微手段(対物鏡14)と、アパーチャ16と、赤外光検出手段18と、を備える。赤外光照射手段12からの赤外光は試料の測定部位に照射され、試料からの透過光は対物鏡14によって集光される。アパーチャ16は、試料測定部位の対物鏡14による略結像位置に配置され、対物鏡14にて集光された赤外光のうち測定部位以外からの光を遮断する。赤外光検出手段18はアパーチャ16を介して試料の測定部位からの赤外透過光を検出する。
なお、ここでは照明用ビームスプリッタ32として、赤外光を反射、可視光を透過するものを用いたが、逆に赤外光を透過、可視光を反射するもの、いわゆるコールドミラー等を用いてもよい。この場合、赤外光照射手段12と試料照明用光源22との配置関係は逆になる。
なお、ここではアパーチャ照射用ビームスプリッタ36として、赤外光を反射、可視光を透過するものを用いたが、逆に赤外光を透過、可視光を反射するもの、いわゆるコールドミラー等を用いてもよい。この場合、アパーチャ照射用公転20と赤外光検出手段18との配置関係は逆になる。
本実施形態の赤外顕微鏡10は、試料を載置するステージ46と、対物鏡14(顕微手段)とステージ46との距離を変更する駆動手段48と、試料画像観察手段26にて観察された試料像及びアパーチャ像による情報に基き、駆動手段48を制御して焦点合わせを行なう制御手段50と、を備える。試料画像観察手段26にて検出された試料画像データは、データ処理手段40へと送られ、試料画像データの画像解析を行なう。制御手段50はデータ処理手段40に接続されており、画像解析の結果に基いて駆動手段48を制御し、焦点合わせを行う。すなわち、データ処理手段40では図2に示したような試料観察画像を基に、アパーチャ像とその周囲部分のコントラストを調べる。制御手段50は、データ処理手段40で求めたコントラストの情報を基に、駆動手段48を制御してステージ46と対物鏡14との距離を変更していく。そして、上記のコントラストが最大になった位置が焦点が合った位置であると判断し、ステージ46を停止する。
図3は、反射測定の場合の赤外顕微鏡の光路図を示す。図1に対応する部材には符号100を加え、詳しい説明を省略する。図3の赤外顕微鏡110は、赤外スペクトル測定機構として、赤外光照射手段112と、顕微手段(対物鏡114)と、アパーチャ116と、赤外光検出手段118と、を備える。さらに、試料像観察機構として、アパーチャ照射用光源120と、試料照明用光源122と、観察用ビームスプリッタ124と、試料画像観察手段126と、を備える。赤外光照射手段112(赤外光源128、分光器130)からの赤外光は、照射用ビームスプリッタ132により反射され、ミラー152、対物鏡114によって試料の測定部位に照射される。試料からの反射赤外光は対物鏡(顕微手段)114によって集光され、観察用ビームスプリッタ124にて反射され、アパーチャ116へと向う。アパーチャ116を通過した反射赤外光はアパーチャ照射用ビームスプリッタ136にて反射され、さらに集光鏡138で反射されて赤外光検出手段118にて検出される。検出信号は、データ処理手段140へと送られ、データ処理等が行なわれる。
12 赤外光照射手段
14 顕微手段(対物鏡)
16 アパーチャ
18 赤外光検出手段
20 アパーチャ照射用光源
22 試料照明用光源
24 観察用ビームスプリッタ
26 試料画像観察手段
Claims (1)
- 試料の測定部位に赤外光を照射する赤外光照射手段と、
前記試料の測定部位近傍に照明用可視光を照射する試料照明用光源と、
前記赤外光照射手段及び前記試料照明用光源と前記試料との間の光路上に照明用ビームスプリッタが設置され、該照明用ビームスプリッタは赤外光を反射または透過するものであって、前記赤外光を前記試料へ導光しており、前記照明用ビームスプリッタは赤外光を反射するときは可視光を透過し、赤外光を透過するときは可視光を反射するものであって、前記照明用可視光を前記試料へ導光しており、前記照明用ビームスプリッタから前記試料までの前記照明用可視光の光路を前記赤外光の光路と同一の光路上に導光する照明用ビームスプリッタと、
前記試料からの透過光もしくは反射光を集光する顕微手段と、
前記顕微手段にて集光された赤外光のうち測定部位以外からの光を遮断するアパーチャと、
前記アパーチャを介して前記試料の測定部位からの赤外透過光もしくは赤外反射光を検出する赤外光検出手段と、
前記アパーチャ及び前記顕微手段を介して前記試料に有彩色のアパーチャ照射用可視光を照射し、前記試料上に有彩色のアパーチャ像を投影するアパーチャ照射用光源と、
前記アパーチャと前記アパーチャ照射用光源との間の光路上にアパーチャ照射用ビームスプリッタが設置され、該アパーチャ照射用ビームスプリッタは赤外光を反射または透過するものであって、前記アパーチャを通過した試料からの前記赤外光を前記赤外光検出手段に導光しており、前記アパーチャ照射用ビームスプリッタは、赤外光を反射するときは可視光を透過し、赤外光を透過するときは可視光を反射するものであって、前記アパーチャ照射用可視光を前記試料へ導光しており、前記試料から前記アパーチャ照射用ビームスプリッタまでのアパーチャ照射用可視光の光路を前記赤外光の光路と同一の光路上に導光するアパーチャ照射用ビームスプリッタと、
前記試料からの可視反射光および/または可視透過光を前記顕微手段を介して観察し、前記試料照明用光源により照明された試料像および前記アパーチャ照射用光源からの照明により試料上に投影されたアパーチャ像を観察する画像検出器で構成された試料画像観察手段と、
前記顕微手段と前記アパーチャとの間の光路上に設置され、可視光を反射光と透過光の二光束に分割しており、前記アパーチャ照射用光源からの可視光を前記試料へ、前記試料からの可視光を前記試料画像観察手段へ、前記試料からの赤外光を前記アパーチャへ導光する観測用ビームスプリッタと、
前記試料を載置するステージと、
前記顕微手段と前記ステージとの距離を変更する駆動手段と、
前記画像検出器で構成された前記試料画像観察手段にて観察された試料像と有彩色のアパーチャ像とのコントラストを測定し、該コントラストが最大になるよう前記駆動手段を制御して焦点合わせを行なう制御手段と、を備えたことを特徴とする赤外顕微鏡
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006115097A JP4713391B2 (ja) | 2006-04-19 | 2006-04-19 | 赤外顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006115097A JP4713391B2 (ja) | 2006-04-19 | 2006-04-19 | 赤外顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007285945A JP2007285945A (ja) | 2007-11-01 |
JP4713391B2 true JP4713391B2 (ja) | 2011-06-29 |
Family
ID=38757849
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006115097A Active JP4713391B2 (ja) | 2006-04-19 | 2006-04-19 | 赤外顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4713391B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009128252A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 端面検査方法および端面検査装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0590350U (ja) * | 1990-12-29 | 1993-12-10 | 日本分光株式会社 | 顕微赤外スペクトル測定装置 |
JPH06347399A (ja) * | 1993-06-12 | 1994-12-22 | Horiba Ltd | 顕微式フーリエ変換赤外線分光光度計 |
JPH11316344A (ja) * | 1997-02-13 | 1999-11-16 | Spectra Tech Inc | 共焦点の顕微分光計システム |
JP2004212067A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-29 | Olympus Corp | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
-
2006
- 2006-04-19 JP JP2006115097A patent/JP4713391B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0590350U (ja) * | 1990-12-29 | 1993-12-10 | 日本分光株式会社 | 顕微赤外スペクトル測定装置 |
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JP2004212067A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-29 | Olympus Corp | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007285945A (ja) | 2007-11-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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