CN107389696B - 一种光学检测装置及光学检测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及光学检测技术领域,具体地指一种光学检测装置及光学检测方法。包括用于承载显示面板的面板载台和采集显示面板图像信息的图像摄取单元;所述的图像摄取单元悬置于面板载台上方,可沿平行显示面板的方向行进对显示面板进行扫描,其特征在于:所述的面板载台上设置有可驱动面板载台旋转使承载于面板载台上的显示面板转动一预设角度的旋转控制单元;所述的预设角度与图像摄取单元的行进扫描方向和转动后的显示面板的中轴线之间的夹角相等。本发明的光学检测方法简单、准确,能够快速的将制程异常和光学噪声造成的异常等区分开来,为后续工作提供了有效的指导,具有极大的推广价值。
Description
技术领域
本发明涉及光学检测技术领域,具体地指一种光学检测装置及光学检测方法。
背景技术
AOI(Automatic Optic Inspection,自动光学检测)是基于光学原理来对制造业生产中遇到的常见缺陷进行检测的技术。在液晶面板制造业中,可利用AOI设备对Panel(面板)进行检测。在检测时,先将显示面板放置在检测机载台上进行对位,对位完成后然后图像摄取单元沿显示面板的X轴向或是Y轴向对显示面板进行图像信息采集,电脑对原始照片进行图像处理,然后对处理后的图像进行图像分割,分离出目标。再将目标与缺陷参数(Defect Spec)(包括Size(尺寸)、Length(长度)、Contrast(对比度)、SEMU(塞穆指标))等进行对比。符合缺陷参数要求的目标会被AOI设备检出,被认为是缺陷。
现有技术的显示面板通常为方形结构,显示面板在检测机载台上对位通常是使显示面板长度方向和宽度方向上的两条中轴线沿X轴向或是Y轴向布置,即显示面板的两条中轴线与图像摄取单元的运动方向平行或是垂直。这样采集到的图像信息通常情况下会出现一些问题,由于显示面板上的制程异常通常都是与显示面板的中轴线平行或是垂直,成一排排或是一列列的方式排列,图像摄取单元在运行过程中,由于机械运动和图像摄取单元本身的光学噪声会在最后的图像信息上显示出来。显示面板中轴线方向与图像摄取单元运动方向一致,实际上就可能出现制程异常与图像摄取单元产生的光学噪声在最后得到的图像信息上重合,制程异常和光学噪声异常重合在一起,工作人员无法分别这部分异常是制程异常还是由于光学噪声造成的异常,无法对后续的补救工作产生指导效应。
发明内容
本发明的目的就是要解决上述背景技术提到的现有的光学检测技术可能无法分别制程异常和光学噪声异常造成误判或是漏检的问题,提供一种光学检测装置及光学检测方法。
本发明的技术方案为:一种光学检测装置,包括用于承载显示面板的面板载台和采集显示面板图像信息的图像摄取单元;所述的图像摄取单元悬置于面板载台上方,可沿平行显示面板的方向行进对显示面板进行扫描,其特征在于:所述的面板载台上设置有可驱动面板载台旋转使承载于面板载台上的显示面板转动一预设角度的旋转控制单元;所述的预设角度与图像摄取单元的行进扫描方向和转动后的显示面板的中轴线之间的夹角相等。
进一步的所述的旋转控制单元包括驱动面板载台旋转带动显示面板绕垂直显示面板的法线转动预设角度的旋转装置。
进一步的所述的法线垂直穿过显示面板的纵向中轴线和横向中轴线的交点。
进一步的所述的旋转装置包括安装在面板载台上的电动马达。
进一步的所述的预设角度为5~10°。
一种光学检测方法,用于检测显示面板,其特征在于:所述的检测方法包括以下步骤:
1)、提供一显示面板的光学检测装置,将显示面板放置在该检测装置的面板载台上;
2)、驱动该面板载台带动该显示面板旋转,使得该显示面板的中轴线与该检测装置的图像摄取单元的扫描方向呈一预设角度;
3)对显示面板进行扫描,获得显示面板的图像信息;
4)、分析经演算处理过的图像信息,若图像信息中存在与显示面板中轴线平行或垂直的异常,则为面板生产异常造成;若图像信息中存在与图像摄取单元扫描方向平行的异常则为该光学检测装置的光学噪声造成。
进一步的所述的步骤1)中,将显示面板放置在该检测装置的面板载台上的方法为:将显示面板放置于面板载台上,使显示面板的中轴线与图像摄取单元的行进扫描方向平行或是垂直。
进一步的所述光学检测装置的面板载台上设置有旋转控制单元,所述旋转控制单元用于驱动所述面板载台带动所述显示面板旋转。
进一步的所述显示面板围绕自身法线旋转,所述法线垂直穿过所述显示面板的纵向中轴线和横向中轴线的交点。
进一步的所述预设角度为5~10°。
本发明的优点有:1、检测出来的信息能够快速的将制程异常和光学噪声异常区分开来,能够明确异常的原因,对后续的补救措施具有良好的指导意义;
2、特别适用于对于某些有跟X轴或Y轴有因制程改善需求需调整些微角度的监测;
3、可为光学检测机提供大量监控及实时回馈问题,减少人员误判漏判风险。
本发明的光学检测方法简单、准确,能够快速的将制程异常和光学噪声造成的异常等区分开来,为后续工作提供了有效的指导,具有极大的推广价值。
附图说明
图1:对位时的检测机载台结构示意图;
图2:偏转后的检测机载台结构示意图;
图3:图像信息处理后的示意图;
图中:1—面板载台;2—马达;3—横向中轴线;4—纵向中轴线;5—生产异常;6—光学噪声异常;O—横向中轴线与纵向中轴线交点。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的详细说明。
如图1至图3,为对位时的检测机载台结构示意图。本实施例的光学检测装置,包括用于承载显示面板的面板载台1和采集显示面板图像信息的图像摄取单元;图像摄取单元悬置于面板载台上方,可沿平行显示面板的方向行进对显示面板进行扫描,通常图像摄取单元的运动扫描方向为沿横向方向或是纵向方向,如图中箭头所示;面板载台1上设置有可驱动面板载台旋转使承载于面板载台上的显示面板转动一预设角度θ的旋转控制单元;预设角度θ与图像摄取单元的行进扫描方向和转动后的显示面板的中轴线之间的夹角相等。
一般情况下,显示面板放置在光学检测装置的面板载台1上,与面板载台1的中轴线重合,包括沿其长度方向的中轴线和沿其宽度方向的中轴线,以图1的左右方向为横向方向,上下方向为纵向方向。显示面板沿其长度方向的中轴线为纵向中轴线4,沿其宽度方向的中轴线为横向中轴线3。
本发明对显示面板在面板载台1上的位置进行小角度的旋转,使得图像摄取单元的扫描方向与显示面板的中轴线呈现小角度的夹角,进而最终检测图像中的光学噪声异常6及生产异常5沿不同方向分布,实现了两种异常的快速区分。
于一实施例中,旋转控制单元包括驱动面板载台1旋转并带动显示面板绕垂直显示面板的法线转动预设角度的旋转装置;于一具体实施例中,法线垂直穿过显示面板的纵向中轴线4和横向中轴线3的交点O,即显示面板的中心,如此可以利用最小的空间实现面板载台1和显示面板的旋转。
于一具体实施例中,旋转装置包括安装在面板载台上的电动马达2,以实现面板载台1及显示面板的自由旋转。
于一较佳实施例中,上述的预设角度为5~10°,但不以此为限,实际操作中可根据生产需要对预设角度进行设置;通过使用者自己对偏转角度进行单独定义,有利于后续的结果分析。
本发明还提供一种光学检测方法,包括如下步骤,1、先将显示面板放置在光学检测装置的面板载台1上;
进一步地,需要对显示面板与面板载台1进行对位,对位的目的是使显示面板的横向中轴线3和纵向中轴线4与设定的图像摄取单元运动方向平行或是垂直;
2、驱动马达2使面板载台1旋转带动显示面板旋转,使显示面板绕穿过其中点的法线转动,转动角度为5~10°,根据使用者自行定义;
3、图像摄取单元沿横向方向或是纵向方向运动,扫描显示面板,获得显示面板的图像信息,然后将该信息发送到控制系统进行数据处理;
4、分析经演算处理过的图像信息,若图像信息中存在与显示面板中轴线平行或垂直的异常,则为面板生产异常5造成;若图像信息中存在与图像摄取单元扫描方向平行的异常则为该光学检测装置的光学噪声异常6造成,如图3所示。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
Claims (9)
1.一种光学检测装置,包括用于承载显示面板的面板载台(1)和采集显示面板图像信息的图像摄取单元;所述的图像摄取单元悬置于面板载台(1)上方,可沿平行显示面板的方向行进对显示面板进行扫描,其特征在于:所述的面板载台(1)上设置有可驱动面板载台(1)旋转使承载于面板载台(1)上的显示面板转动一预设角度的旋转控制单元;所述的预设角度与图像摄取单元的行进扫描方向和转动后的显示面板的中轴线之间的夹角相等;
所述旋转控制单元对显示面板在面板载台(1)上的位置进行预设角度的旋转,使得图像摄取单元的扫描方向与显示面板的中轴线呈现预设角度,进而最终检测图像中的光学噪声异常及生产异常沿不同方向分布,实现了两种异常的快速区分;
所述的旋转控制单元包括驱动面板载台(1)旋转带动显示面板绕垂直显示面板的法线转动预设角度的旋转装置。
2.如权利要求1所述的一种光学检测装置,其特征在于:所述的法线垂直穿过显示面板的纵向中轴线(4)和横向中轴线(3)的交点(O)。
3.如权利要求1所述的一种光学检测装置,其特征在于:所述的旋转装置包括安装在面板载台(1)上的电动马达(2)。
4.如权利要求1所述的一种光学检测装置,其特征在于:所述的预设角度为5~10°。
5.一种光学检测方法,用于检测显示面板,其特征在于:所述的检测方法包括以下步骤:
1)、提供一显示面板的光学检测装置,将显示面板放置在该检测装置的面板载台(1)上;
2)、驱动该面板载台(1)带动该显示面板旋转,使得该显示面板的中轴线与该检测装置的图像摄取单元的扫描方向呈一预设角度;
3)对显示面板进行扫描,获得显示面板的图像信息;
4)、分析经演算处理过的图像信息,若图像信息中存在与显示面板中轴线平行或垂直的异常,则为面板生产异常(5)造成;若图像信息中存在与图像摄取单元扫描方向平行的异常则为该光学检测装置的光学噪声异常(6)造成。
6.如权利要求5所述的光学检测方法,其特征在于:所述的步骤1)中,将显示面板放置在该检测装置的面板载台(1)上的方法为:将显示面板放置于面板载台(1)上,使显示面板的中轴线与图像摄取单元的行进扫描方向平行或是垂直。
7.如权利要求5所述的光学检测方法,其特征在于:所述光学检测装置的面板载台(1)上设置有旋转控制单元,所述旋转控制单元用于驱动所述面板载台(1)带动所述显示面板旋转。
8.如权利要求7所述的光学检测方法,其特征在于:所述显示面板围绕自身法线旋转,所述法线垂直穿过所述显示面板的纵向中轴线(4)和横向中轴线(3)的交点(O)。
9.如权利要求5所述的光学检测方法,其特征在于:所述预设角度为5~10°。
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CN102472711A (zh) * | 2009-07-15 | 2012-05-23 | 有限会社共同设计企画 | 基板检查装置 |
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