KR101256369B1 - 다수의 카메라를 이용한 평판 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법 - Google Patents

다수의 카메라를 이용한 평판 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 다수의 CCD 카메라를 이용하여 검사대상 패널의 고해상도 이미지를 획득한 후 결함을 자동으로 판정할 수 있는 다수의 CCD 카메라를 이용한 LCD 패널 검사장치에 관한 것이다. 본 발명의 장치는, 평판 디스플레이 패널에 테스트 패턴을 표시한 후 카메라 프레임의 카메라 어레이로 촬상하여 검사대상 평판 디스플레이 패널의 영상을 캡춰하는 디스플레이 패널 검사기, 및 상기 디스플레이 패널 검사기에서 캡춰된 영상을 처리하여 결함(Defect)을 검출하고 판정기준과 비교하여 자동 판정한 후 사용자 인터페이스(GUI)를 통해 표출하는 자동판정기로 구성되고, 디스플레이 패널 검사기는 전체 장비를 지지하고 카메라 어레이의 Z축 이송을 가능하게 하는 장비 프레임과, 검사대상 디스플레이 패널을 지지하기 위한 테스트 지그와, X-Y축상에서 카메라 모듈을 이송하여 카메라 어레이의 크기를 조정하기 위한 카메라 프레임과, 다수의 카메라 모듈로 이루어진 카메라 어레이와, 상기 카메라 프레임과 상기 카메라 어레이를 제어하여 검사대상을 정확하게 포커싱하도록 하는 카메라 제어부와, 상기 카메라 어레이에 의해 촬상된 영상을 캡춰하는 이미지 캡춰부와, 검사대상 디스플레이 패널에 검사패턴을 제공하는 패턴발생기와, 상기 자동판정기와 유/무선으로 통신하여 캡춰된 영상을 전송하는 통신부로 구성된다.

Description

다수의 카메라를 이용한 평판 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법{FLAT DISPLAY PANNEL TEST EQUIPMENT AND TEST METHOD USING MULTI CCD CAMERA}
본 발명은 비전(Vision)을 이용한 LCD 패널 검사 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다수의 CCD 카메라를 이용하여 검사대상 패널의 고해상도 이미지를 획득한 후 결함을 자동으로 판정할 수 있는 다수의 CCD 카메라를 이용한 LCD 패널 검사 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이(LCD, OLED, PDP 등)의 생산 현장에서는 생산된 디스플레이 패널을 작업자가 육안으로 검사하는 공정이 있는데, LCD 기술발전으로 인하여 검사해야 할 LCD 사이즈가 점점 증대되고, 고 해상도로 변해 감에 따라 작업자에 의한 육안검사가 어려운 실정에 있다. 즉, 생산된 LCD 패널의 오류를 검출하는 과정에서 점등이 된 LCD의 화면을 계속 보고 있으면 작업자의 눈이 피로하게 되어 생산성이 저하되고, 검사자의 개인차로 인해 불량 검출의 신뢰성이 떨어지는 문제점이 있다. 따라서 규격화된 수치를 이용하여 불량 검출에 대한 신뢰성을 높이는 동시에 생산 라인에서의 LCD 생산성을 증대하기 위해서는 비전(Vision)을 이용한 LCD 패널 검사장치가 필수적으로 요구된다.
LCD 패널 검사장치를 사용하여 영상을 수집하기 위해서는 카메라가 필수적으로 요구되는데, 종래에는 단일 카메라를 사용하여 해상도가 낮아 정밀한 검사가 불가능하고, 점차 LCD 패널의 사이즈가 대형화됨에 따라 사실상 검사가 어려워진 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 다수의 CCD 카메라를 이용하여 검사대상 패널의 고해상도 이미지를 획득한 후 결함을 자동으로 판정할 수 있는 다수의 CCD 카메라를 이용한 LCD패널 검사 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 장치는, 평판 디스플레이 패널에 테스트 패턴을 표시한 후 카메라 프레임의 카메라 어레이로 촬상하여 검사대상 평판 디스플레이 패널의 영상을 캡춰하는 디스플레이 패널 검사기, 및 상기 디스플레이 패널 검사기에서 캡춰된 영상을 처리하여 결함(Defect)을 검출하고 판정기준과 비교하여 자동 판정한 후 사용자 인터페이스(GUI)를 통해 표출하는 자동판정기로 구성된다
상기 디스플레이 패널 검사기는 전체 장비를 지지하고 카메라 어레이의 Z축 이송을 가능하게 하는 장비 프레임과, 검사대상 디스플레이 패널을 지지하기 위한 테스트 지그와, X-Y축상에서 카메라 모듈을 이송하여 카메라 어레이의 크기를 조정하기 위한 카메라 프레임과, 다수의 카메라 모듈로 이루어진 카메라 어레이와, 상기 카메라 프레임과 상기 카메라 어레이를 제어하여 검사대상을 정확하게 포커싱하도록 하는 카메라 제어부와, 상기 카메라 어레이에 의해 촬상된 영상을 캡춰하는 이미지 캡춰부와, 검사대상 디스플레이 패널에 검사패턴을 제공하는 패턴발생기와, 상기 자동판정기와 유/무선으로 통신하여 캡춰된 영상을 전송하는 통신부로 구성된다.
상기 카메라 프레임은 X-Y축 지지 프레임과, 카메라 모듈을 탑재시켜 지지하기 위한 카메라모듈 지지 바와, X축 모터와, 상기 X축 모터의 회전에 따라 상기 카메라모듈 지지 바 사이의 간격을 조정하기 위한 X축 슬라이더와, Y축 모터와, 상기 Y축모터의 회전에 따라 각 지지 바에 탑재된 카메라모듈 사이의 간격을 조정하기 위한 Y축 슬라이더로 구성되고, 각 카메라 모듈은 헤드부와 렌즈부로 이루어지며, 상기 헤드부는 카메라 링크케이블을 통해 카메라 컴퓨터와 연결되고 파워 케이블을 통해 외부로부터 직류전원을 입력받는 카메라 링크보드와, 외부로부터 입력된 직류전원으로 모듈에서 필요로 하는 전원을 제공하는 파워보드와, 오토 포커싱과 칼러 필터를 제어하기 위한 제어신호를 생성하고 이미지 데이터를 처리하여 상기 카메라 링크보드로 전달하는 FPGA보드와, 렌즈부를 통해 맺힌 이미지를 감지하기 위한 CCD 센서와, 상기 CCD 센서에 의해 감지된 이미지신호를 이미지 데이터를 변환하는 CCD보드와, 제어신호에 따라 오토 포커싱 모터와 칼러 필터 솔레노이드를 구동하기 위한 구동부와, 상기 구동부의 구동신호에 따라 렌즈부를 구동하여 오토 포커싱을 처리하는 오토 포커싱 모터와, 상기 구동부의 구동신호에 따라 칼러 필터를 구동하기 위한 칼러 필터 솔레노이드로 구성된다.
또한 자동판정기는 판정을 위한 기준 데이터를 저장하고 있는 판정기준 데이터베이스와, 상기 디스플레이 패널 검사기로부터 검사영상을 수신하기 위한 통신부와, 수신된 검사영상 데이터와 검사결과 데이터를 저장하기 위한 검사 데이터베이스와, 검사영상에서 결함을 검출하고 판정기준과 비교하여 자동 판정한 후 판정결과를 상기 검사 데이터베이스에 저장하는 판정부와, 사용자와 검사장치를 인터페이스하는 그래픽 유저 인터페이스로 구성된다.
또한 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 방법은, 검사대상 디스플레이 패널의 사이즈에 따라 카메라 어레이의 크기를 설정하는 단계; 카메라 프레임을 장비 프레임을 따라 Z축으로 하강시키면서 포커싱이 완료되기 전에 파인 포커스 에어리어(Fine Focus Area)를 지나면서 자동으로 패널 이미지 영상을 캡춰하고, 캡춰된 영상을 분석하여 포커싱된 이미지를 전송하는 단계; 캡춰된 카메라 어레이의 영상에서 중첩된 영상을 제거하는 단계; 자동 판정기로 검사영상을 전송하는 단계; 검사영상에서 결함을 검출하는 단계; 결함의 특징점을 추출하는 단계; 기준에 따라 결함을 분류하고, 판정하는 단계; 및 사용자 인터페이스(GUI)를 통해 검사정보를 제공하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 한다. 상기 결함을 분류하고, 판정하는 단계는 결함 유형을 도트, 라인, 에리어로 카테고리화하고, 통계적으로 결함을 분류하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 LCD 패널 검사 장치 및 방법은 17인치에서 수십인치에 이르는 다양한 사이즈의 LCD 패널을 고해상도로 정밀하게 검사할 수 있어 품질 향상에 기여할 수 있고, 비전 기술을 이용하여 자동으로 결함을 판정함으로써 검사공정의 균일성과 고속화를 가능하게 하여 생산성을 높일 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 LCD 패널 검사장치의 구성 블럭도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 LCD 패널 검사장치의 개략 구조도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 LCD 패널 검사장치의 외관 예,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 카메라 프레임의 평면 사시도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 카메라 프레임의 배면 사시도,
도 6은 본 발명에 적용되는 카메라 모듈의 예,
도 7은 도 6에 도시된 카메라 모듈의 헤드부 구성 블럭도,
도 8은 도 6에 도시된 카메라 모듈의 헤드부 구성 배치예,
도 9는 본 발명에 따라 카메라 어레이에 의해 캡춰된 영상 예,
도 10은 본 발명에 따른 LCD 패널 검사장치의 검사 순서도,
도 11은 본 발명에 따른 LCD 패널 검사장치의 GUI예이다.
도 12는 본 발명의 최초 Fine Focus 위치에서 이미지를 캡춰하여 Delay 시간을 단축하는 내용의 설명자료.
본 발명과 본 발명의 실시에 의해 달성되는 기술적 과제는 다음에서 설명하는 본 발명의 바람직한 실시예들에 의하여 보다 명확해질 것이다. 다음의 실시예들은 단지 본 발명을 설명하기 위하여 예시된 것에 불과하며, 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 LCD 패널 검사장치의 구성 블럭도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 LCD 패널 검사장치의 개략 구조도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 LCD 패널 검사장치의 외관 예이다.
본 발명의 실시예에 따른 LCD 패널 검사장치는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 테스트 지그(104) 위에 탑재된 LCD 패널(30)에 테스트 패턴을 표시한 후 카메라 프레임의 카메라 어레이로 촬상하여 검사대상 LCD 패널(30)의 영상을 캡춰하는 LCD 패널 검사기(100)와, LCD 패널 검사기(100)에서 캡춰된 영상을 처리하여 결함(Defect)을 검출하고 판정기준과 비교하여 자동 판정한 후 GUI를 통해 표출하는 자동판정기(200)로 구성된다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, LCD 패널 검사기(100)는 전체 장비를 지지하고 카메라 어레이(110a)의 Z축 이송을 가능하게 하는 장비 프레임(102)과, 검사대상 LCD 패널(30)을 지지하기 위한 테스트 지그(104)와, X-Y축상에서 카메라 모듈(10)을 이송하여 카메라 어레이(110a)의 크기를 조정하기 위한 카메라 프레임(110)과, 카메라 모듈(10)이 3×5=15개 배치된 카메라 어레이(110a)와, 카메라 프레임(110)과 카메라 어레이(110a)를 제어하여 검사대상을 정확하게 포커싱하도록 하는 카메라 제어부(120)와, 카메라 어레이(110a)에 의해 촬상된 영상을 캡춰하는 이미지 캡춰부(130)와, 검사대상 LCD패널(30)에 검사패턴을 제공하는 패턴발생기(140)와, 자동판정기(200)와 유/무선으로 통신하여 캡춰된 영상을 전송하는 통신부(150)로 구성된다. 여기서, 카메라 제어부(120)와 이미지 캡춰부(130)는 카메라 컴퓨터로 구현될 수 있다.
자동판정기(200)는 자동 판정 소프트웨어가 탑재된 일종의 컴퓨터로서, 판정을 위한 기준 데이터를 저장하고 있는 판정기준 데이터베이스(230)와, LCD패널 검사기(100)로부터 검사영상을 수신하기 위한 통신부(210)와, 수신된 검사영상 데이터와 검사결과 데이터를 저장하기 위한 검사 데이터베이스(220)와, 검사영상에서 결함을 검출하고 판정기준과 비교하여 자동 판정한 후 판정결과를 검사 데이터베이스(220)에 저장하는 판정부(240)와, 사용자와 검사장치를 인터페이스하는 그래픽 유저 인터페이스(GUI;250)로 구성된다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 카메라 프레임의 평면 사시도로서 카메라 어레이가 펼쳐진 상태를 나타내고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 카메라 프레임의 배면 사시도로서 카메라 어레이가 좁혀진 상태를 나타낸다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 카메라 프레임(110)은 X-Y축 지지 프레임(111)과, 3개의 카메라 모듈(10)을 탑재시켜 지지하기 위한 5개의 카메라모듈 지지 바(116)와, X축 모터(112)와, X축 모터(112)의 회전에 카메라모듈 지지 바(116) 사이의 간격을 조정하기 위한 X축 슬라이더(113)와, Y축 모터(114)와, Y축모터의 회전에 따라 각 지지 바에 탑재된 카메라 모듈 사이의 간격을 조정하기 위한 Y축 슬라이더(115)로 구성된다.
도 6은 본 발명에 적용되는 카메라 모듈의 예이고, 도 7은 도 6에 도시된 카메라 모듈의 헤드부 구성 블럭도이며, 도 8은 도 6에 도시된 카메라 모듈의 헤드부 구성 배치 예이다.
본 발명에 적용되는 카메라 모듈(10)은 도 6에 도시된 바와 같이 헤드부(12)와 렌즈부(14)로 이루어지고, 헤드부(12)는 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 카메라 링크케이블을 통해 카메라 컴퓨터와 연결되고 파워 케이블을 통해 외부로부터 직류전원을 입력받는 카메라 링크보드(121)와, 외부로부터 입력된 직류전원으로 모듈에서 필요로 하는 전원을 제공하는 파워보드(122)와, 오토 포커싱과 칼러 필터를 제어하기 위한 제어신호를 생성하고 이미지 데이터를 처리하여 카메라 링크보드로 전달하는 FPGA보드(123)와, 렌즈부(14)를 통해 맺힌 이미지를 감지하기 위한 CCD 센서(125)와, CCD 센서(125)에 의해 감지된 이미지신호를 이미지 데이터를 변환하는 CCD보드(124)와, 제어신호에 따라 오토 포커싱 모터와 칼러 필터 솔레노이드를 구동하기 위한 구동부(126)와, 구동부(126)의 구동신호에 따라 렌즈부(14)를 구동하여 오토 포커싱을 처리하는 오토 포커싱 모터(127)와, 구동부(126)의 구동신호에 따라 4가지 칼러 필터를 구동하기 위한 칼러 필터 솔레노이드(128)로 구성되어 휘점, 약휘점, 라인 결함 등의 이미지를 찾아내고 고해상도 이미지를 구현할 수 있게 한다.
도 9는 본 발명에 따른 LCD 패널 검사장치의 검사 순서도이고, 도 10은 본 발명에 따라 카메라 어레이에 의해 캡춰된 영상의 예이며, 도 11은 본 발명에 따른 LCD 패널 검사장치의 GUI 예이다.
본 발명의 LCD 패널 검사장치를 이용하여 LCD 패널을 검사하는 절차는 도 9에 도시된 바와 같이, 검사대상 LCD패널(30)의 사이즈에 따라 카메라 어레이(110a)의 크기를 설정하는 단계(S1)와, 카메라 프레임(110)을 장비 프레임(102)을 따라 Z축으로 하강시키면서 포커싱이 완료되기 전에 파인 포커스 에어리어(Fine Focus Area)를 지나면서 자동으로 패널 이미지 영상을 캡춰하는 단계(S2)와, 영상 캡춰가 완료되었는지 확인하는 단계(S3)와, 캡춰된 영상을 처리하는 단계(S4)와, 캡춰된 카메라 어레이의 영상에서 오버랩된 영상을 제거하는 단계(S5)와, 자동판정기(200)로 검사영상을 전송하는 단계(S6)와, 검사영상에서 결함을 검출하는 단계(S7)와, 결함의 특징점을 추출하는 단계(S8)와, 기준에 따라 결함을 분류하고 판정하는 단계(S9)와, GUI를 통해 검사정보를 제공하는 단계(S10)로 구성된다.
상기 결함을 분류하고 판정하는 단계(S9)는 결함 유형을 포인트(Pixel defect), 라인 Defect, 에리어 Defect(다수 Pixel), 부분 Defect, 얼룩(Mura)으로 카테고리화하고, 통계적으로 결함을 분류한다.
도 9를 참조하면, 카메라 모듈(10)이 3×5로 배열된 카메라 어레이(110a)의 사이즈는 카메라 프레임(110)의 X축 모터(112)와 Y축 모터(114)를 구동하여 조정할 수 있다. 즉, 검사대상 LCD패널(30)의 사이즈는 17인치부터 55인치 이상에 이르도록 다양한 사이즈를 갖고 있으므로 검사에 앞서 검사대상 LCD 패널(30)의 사이즈를 구해 패널 사이즈에 적합하도록 카메라 어레이(110a)의 사이즈를 설정한다(S1).
카메라 어레이의 사이즈 설정이 완료되면, Z축방향으로 하강시키면서 영상을 캡춰하여 포커싱 여부를 확인한다. 포커싱 단계는 Out Of Focus에서 Focus Range를 거쳐 Fine Focus 지점에서 자동으로 이미지를 캡춰하여 저장한다(S2,S3).
포커싱 완료 후 카메라 어레이(110a)에 의해 캡춰된 영상은 도 10에 도시된 바와 같이, 15개의 영상(P1~P15)으로 이루어지고 각 영상(P1~P15)은 수평방향의 인접 영상과 중첩되어 수평 중첩영상(W1)을 형성하고, 수직방향의 인접 영상과 중첩되어 수직 중첩영상(W2)을 형성한다. 그리고 이와 같은 15개의 영상(P1~P15)에서 중첩영상을 제거한 후 LCD 패널(30)에 해당하는 직사각형의 영상(LCD)을 추출한다(S4,S5)
이와 같이 전처리된 영상은 통신부(150,210)를 통해 자동판정기(200)로 전송되고, 자동판정기(200)에서는 전송된 검사 영상을 영상처리기술에 따라 처리하여 결함을 검출한다(S6,S7). 그리고 결함의 특징점을 추출한 후, 룰 베이스(Rule Base)나 통계처리(Statistical)를 통해 판단기준과 비교하여 결함 유형을 도트, 라인, 에리어 등으로 카테고리화하고, 결함 특징을 상세분석하여 미세한 결함까지 유형을 분류한다(S8,S9). 그리고 기준에 따라 결함을 분류 및 판정하여 결과를 검사 데이터베이스(220)에 저장하고, 도 11에 도시된 바와 같이, 그래픽 사용자 인터페이스(GUI)를 통해 사용자에게 검사정보를 제공한다(S10).
이상에서 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
10: 카메라 모듈 12: 헤드부
14: 렌즈부 30: 검사대상 LCD패널
100: LCD 패널 검사기 102: 장비 프레임
104: 테스트 지그 110: 카메라 프레임
110a: 카메라 어레이 120: 카메라 제어부
130: 이미지 캡춰부 140: 패턴 발생기
150: 통신부 200: 자동판정기
210: 통신부 220: 검사 DB
230: 판정기준 DB 240: 판정부
250: GUI

Claims (6)

  1. 평판 디스플레이 패널에 테스트 패턴을 표시한 후 카메라 프레임의 카메라 어레이로 촬상하여 검사대상 평판 디스플레이 패널의 영상을 캡춰하는 디스플레이 패널 검사기; 및
    상기 디스플레이 패널 검사기에서 캡춰된 영상을 처리하여 결함(Defect)을 검출하고 판정기준과 비교하여 자동 판정한 후 사용자 인터페이스(GUI)를 통해 표출하는 자동판정기로 구성되고,
    상기 디스플레이 패널 검사기는
    전체 장비를 지지하고 카메라 어레이의 Z축 이송을 가능하게 하는 장비 프레임과,
    검사대상 디스플레이 패널을 지지하기 위한 테스트 지그와,
    X-Y축상에서 카메라 모듈을 이송하여 카메라 어레이의 크기를 조정하기 위한 카메라 프레임과,
    다수의 카메라 모듈로 이루어진 카메라 어레이와,
    상기 카메라 프레임과 상기 카메라 어레이를 제어하여 검사대상을 정확하게 포커싱하도록 하는 카메라 제어부와,
    상기 카메라 어레이에 의해 촬상된 영상을 캡춰하는 이미지 캡춰부와,
    검사대상 디스플레이 패널에 검사패턴을 제공하는 패턴발생기와,
    상기 자동판정기와 유/무선으로 통신하여 캡춰된 영상을 전송하는 통신부로 구성된 다수의 카메라를 이용한 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 카메라 프레임은
    X-Y축 지지 프레임과, 카메라 모듈을 탑재시켜 지지하기 위한 카메라모듈 지지 바와, X축 모터와, 상기 X축 모터의 회전에 따라 상기 카메라모듈 지지 바 사이의 간격을 조정하기 위한 X축 슬라이더와, Y축 모터와, 상기 Y축모터의 회전에 따라 각 지지 바에 탑재된 카메라모듈 사이의 간격을 조정하기 위한 Y축 슬라이더로 구성된 것을 특징으로 하는 다수의 카메라를 이용한 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  3. 제1항에 있어서, 각 카메라 모듈은 헤드부와 렌즈부로 이루어지며,
    상기 헤드부는
    카메라 링크케이블을 통해 카메라 컴퓨터와 연결되고 파워 케이블을 통해 외부로부터 직류전원을 입력받는 카메라 링크보드와, 외부로부터 입력된 직류전원으로 모듈에서 필요로 하는 전원을 제공하는 파워보드와, 오토 포커싱과 칼러 필터를 제어하기 위한 제어신호를 생성하고 이미지 데이터를 처리하여 상기 카메라 링크보드로 전달하는 FPGA보드와, 렌즈부를 통해 맺힌 이미지를 감지하기 위한 CCD 센서와, 상기 CCD 센서에 의해 감지된 이미지신호를 이미지 데이터를 변환하는 CCD보드와, 제어신호에 따라 오토 포커싱 모터와 칼러 필터 솔레노이드를 구동하기 위한 구동부와, 상기 구동부의 구동신호에 따라 렌즈부를 구동하여 오토 포커싱을 처리하는 오토 포커싱 모터와, 상기 구동부의 구동신호에 따라 칼러 필터를 구동하기 위한 칼러 필터 솔레노이드로 구성된 것을 특징으로 하는 다수의 카메라를 이용한 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  4. 제1항에 있어서, 자동판정기는
    판정을 위한 기준 데이터를 저장하고 있는 판정기준 데이터베이스와, 상기 디스플레이 패널 검사기로부터 검사영상을 수신하기 위한 통신부와, 수신된 검사영상 데이터와 검사결과 데이터를 저장하기 위한 검사 데이터베이스와, 검사영상에서 결함을 검출하고 판정기준과 비교하여 자동 판정한 후 판정결과를 상기 검사 데이터베이스에 저장하는 판정부와, 사용자와 검사장치를 인터페이스하는 그래픽 유저 인터페이스로 구성된 것을 특징으로 하는 다수의 카메라를 이용한 평판 디스플레이 패널 검사장치.
  5. 검사대상 디스플레이 패널의 사이즈에 따라 카메라 어레이의 크기를 설정하는 단계;
    카메라 프레임을 장비 프레임을 따라 Z축으로 하강시키면서 포커싱이 완료되기 전에 파인 포커스 에어리어(Fine Focus Area)를 지나면서 자동으로 패널 이미지 영상을 캡춰하는 단계;
    영상 캡춰가 완료되었는지 확인하는 단계;
    캡춰된 영상을 처리하는 단계;
    캡춰된 카메라 어레이의 영상에서 오버랩된 영상을 제거하는 단계;
    자동 판정기로 검사영상을 전송하는 단계;
    검사영상에서 결함을 검출하는 단계;
    결함의 특징점을 추출하는 단계;
    기준에 따라 결함을 분류하고, 판정하는 단계; 및
    사용자 인터페이스(GUI)를 통해 검사정보를 제공하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 다수의 카메라를 이용한 평판 디스플레이 패널 검사방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 결함을 분류하고, 판정하는 단계는
    결함 유형을 포인트(Pixel defect), 라인 Defect, 에리어 Defect(다수 Pixel), 부분 Defect, 얼룩(Mura)으로 카테고리화하고, 통계적으로 결함을 분류하는 것을 특징으로 하는 다수의 카메라를 이용한 평판 디스플레이 패널 검사방법.
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