KR102139674B1 - 평판패널 검사 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평판패널 검사 방법에 관한 것으로, 영상을 촬영하는 단계와, 상기 이동면에 대해 이동이 완료됐는지를 판단하여 완료되지 않은 경우, 기 설정된 방향을 따라 상기 이동자를 통해 상기 광학모듈이 이동되는 단계와, 상기 판단결과 상기 이동면에 대해 이동이 완료된 경우, 다수의 영역에 대응되어 촬영된 다수의 영상을 이용하여 검사영상을 생성하는 단계와, 상기 검사영상에서 불량을 검출하는 단계를 포함하고, 상기 다수의 영상 각각은 20배율 내지 50배율을 가지는 고배율 영상인 것을 특징으로 한다.
이를 통해 고해상도를 가지는 평판패널에서의 정교한 패턴 불량을 검출할 수 있게 된다.

Description

평판패널 검사 방법{INSPECTION METHOD FOR FLAT PANEL}

본 발명은 평판패널 검사 방법에 관한 것으로, 특히 고해상도의 평판패널에 불량 유무를 검사할 수 있는 평판패널 검사 방법에 관한 것이다.

최근 정보화 시대에 발맞추어 디스플레이(display) 분야 또한 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응해서 박형화, 경량화, 저소비전력화 장점을 지닌 평판표시장치(flat panel display device : FPD)로서 액정표시장치(liquid crystal display device:LCD), 유기발광다이오드(organic light emitting diode:OLED) 표시장치 등이 우수한 성능을 가지며 널리 사용되고 있는 추세에 있다.

이러한 평판표시장치 중에서 액정표시장치는 액정의 광학적이방성(optical anisotropy)과 분극성질(polarization)에 의한 화상구현원리를 나타내는데, 동화상 표시에 유리하고 콘트라스트비(contrast ratio)가 비교적 큰 특징을 가진다.

이러한 액정표시장치는 서로 마주보는 제1기판 및 제2기판(substrate) 사이로 액정층을 개재하여 합착시킨 액정패널(liquid crystal panel)을 필수 구성요소로 하며, 액정패널 내의 전기장으로 액정분자의 배열방향을 변화시켜 투과율 차이를 구현한다.

하지만 액정패널은 자체 발광요소를 갖추지 못한 관계로 투과율의 차이를 화상으로 표시하기 위해서 별도의 광원을 요구하고, 이를 위해 액정패널의 배면에는 광원(光源)이 내장된 백라이트(backlight) 유닛이 배치된다.

한편, 유기발광다이오드 표시장치는 자발광소자를 이용함으로써, 비발광소자인 액정표시장치에 사용되는 백라이트 유닛을 필요로 않기 때문에 경량 박형이 가능한 특징을 가진다.

또한, 유기발광다이오드 표시장치는 액정표시장치에 비해 시야각 및 명암 대비비가 비교적 우수하며 응답속도가 빠르고, 낮은 소비전력을 소모하며 직류 저전압 구동이 가능하므로 구동회로의 제작 및 설계가 용이한 이점을 가진다. 또한, 내부 구성요소가 고체이기 때문에 외부충격에 강하고, 사용 온도범위도 넓은 장점을 가진다.

위와 같이 비교적 우수한 성능을 가지는 액정표시장치와 유기발광다이오드 표시장치는 사용자의 보다 다양한 요구에 발맞추어 휴대용 컴퓨터는 물론 데스크톱 컴퓨터 모니터 및 벽걸이형 텔레비전 등 그 사용영역이 넓어지면서 다양한 크기로 제작되고 있으며, 점차 고해상도 및 대면적화 되고 있는 추세에 있다.

이때, 액정표시장치의 핵심 요소인 액정패널은 제1기판에 게이트배선과 데이터배선과 박막트랜지스터(thin film transistor: TFT) 및 화소전극을 형성하는 제1기판 제조공정과, 제2기판에 블랙매트릭스와 컬러필터 및 공통전극을 형성하는 제2기판 제조공정과, 제1기판 및 제2기판을 합착하여 셀 단위로 절단하고, 셀 단위의 제1기판 및 제2기판 사이에 액정을 주입하여 단위 패널을 형성하는 셀(cell) 공정을 거침으로써 완성된다.

그리고 유기발광다이오드 표시장치의 핵심 요소인 유기발광다이오드패널은 제1기판에 패턴(pattern)을 형성하고 유기박막을 증착하는 제1기판 제조공정과, 제2기판에 봉지 공정을 진행하는 제2기판 제조공정 그리고 제1기판과 제2기판을 서로 합착시키는 합착 공정을 거침으로써 완성된다.

위와 같은 액정표시장치와 유기발광다이오드 표시장치의 각 제조공정에서는 패널검사장치를 이용하여 불량 유무를 판정하는 검사공정이 포함된다.

그러나, 점차 고해상도 및 대화면으로 구현되는 액정표시장치와 유기발광다이오드 표시장치를 검사하는데 어려움이 있다.

이를 보다 상세히 설명하기 위한 도면을 참조한다.

도 1a는 종래 패널검사장치에 의해 획득된 고배율 영상을 도시한 도면, 도 1b는 종래 패널검사장치에 의해 획득된 저배율 영상을 도시한 도면이다.

여기서, 패널검사장치에 포함되는 카메라 및 렌즈의 배율을 조절함으로써 저배율 영상 또는 고배율 영상을 획득할 수 있다.

한편, 패널검사장치를 통해 평판패널에 대해 검사를 진행할 시에는 획득한 영상 내에 반복패턴이 존재해야 반복패턴을 서로 비교함으로써 불량을 검출해낼 수 있다.

그런데 도 1a에 도시된 바와 같이, 고배율 영상을 획득할 경우 영상 내 반복패턴이 존재하지 않아 비교대상이 없어 불량을 검출해내기 힘든 문제점이 있다.

또한 도 1b에 도시된 바와 같이, 저배율 영상을 획득할 경우 영상 내 반복패턴은 존재하게 되지만 해상도가 낮아 정교한 패턴 불량을 검출하기가 힘들게 된다. 이로 인해 실제 발생된 불량을 검출하지 못하는 문제점이 있다.

따라서 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 고해상도 및대화면을 가지는 평판패널에 대해 불량 유무를 검사하고 리페어할 수 있는 평판패널 검사 방법을 제공하는데 있다.

이를 통해, 평판패널에 대한 불량 유무 검사시간을 줄이고, 보다 정확하게 불량을 검출하여 신뢰성 있는 평판표시장치를 구현할 수 있도록 하는 평판패널 검사 방법을 제공하는데 본 발명의 또 다른 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 다수의 영역으로 분할된 이동면을 가지는 고정자와, 상기 고정자와 연결된 이동자를 포함한 평면모터부와 광학모듈을 포함하는 평판패널 검사장치의 평판패널 검사 방법에 있어서, 영상을 촬영하는 단계와; 상기 이동면에 대해 이동이 완료됐는지를 판단하여 완료되지 않은 경우, 기 설정된 방향을 따라 상기 이동자를 통해 상기 광학모듈이 이동되는 단계와, 상기 판단결과 상기 이동면에 대해 이동이 완료된 경우, 다수의 영역에 대응되어 촬영된 다수의 영상을 이용하여 검사영상을 생성하는 단계와; 상기 검사영상에서 불량을 검출하는 단계를 포함하고, 상기 다수의 영상 각각은 20배율 내지 50배율을 가지는 고배율 영상인 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 다수의 영상 각각은 다각형 방안(polygon recipe)에 따라 평판패널에서의 위치를 확인할 수 있는 것을 특징으로 한다.

이때, 상기 다각형 방안은 상기 평판패널에 대한 각 층에 대한 패턴 및 패턴 형상정보와 패턴 및 패턴 형상에 대한 좌표 정보를 포함하는 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 검사영상은 상기 평판패널에 포함된 하나의 화소를 기준으로 양방향 비교가 가능한 영상으로, 적어도 3개의 화소를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 단계 중에서 상기 불량을 검출하는 단계는, 상기 검사영상에서 하나의 화소의 밝기와 반복 피치만큼 떨어진 화소의 밝기차이를 비교하는 단계와, 상기 검사영상에서 점이 있는지를 확인하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

이때, 상기 불량은 패턴의 단선과 단락, 그리고 휘점 및 암점 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 평판패널 검사 방법에 따르면, 고배율 영상을 조합하여 검사영상을 생성한 후, 피치비교를 통해 불량을 검출함으로써 고해상도를 가지는 평판패널에서의 정교한 패턴 불량을 정확하게 검출할 수 있게 된다.

또한, 자동검사를 통해 불량 유무 검사공정을 간소화하고, 이를 통해 공정비용 및 검사비용을 절감할 수 있게 된다.

나아가 보다 신뢰성 있는 평판표시장치를 구현할 수 있게 된다.

도 1a는 종래 패널검사장치에 의해 획득된 고배율 영상을 도시한 도면.
도 1b는 종래 패널검사장치에 의해 획득된 저배율 영상을 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 평판패널 검사 장치를 개략적으로 도시한 사시도.
도 3a 및 도 3b는 도 2에 도시된 평판패널 검사 장치의 단면과 평면을 보여주는 도면.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 평면모터 이동자의 움직임을 설명하기 위한 도면.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 평판패널 검사 방법을 도시한 흐름도.
도 6은 본 발명에 따라 촬영된 고배율 영상의 예를 보여주는 도면.
도 7은 본 발명에 따라 촬영된 고배율 영상이 평판패널 내에서의 위치를 확인하는 방법을 설명하기 위한 도면.
도 8은 도 6의 고배율 영상의 조합을 일예로써 보여주는 도면.
도 9는 도 8에 따라 생성된 검사영상을 일예로써 보여주는 도면.
도 10a는 도 9의 검사영상에서의 불량을 보여주는 도면.
도 10b는 도 9의 검사영상에서 검출된 불량을 설명하기 위한 도면.

이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.

여기서, 본 발명에 따른 평판패널은 고해상도를 가지는 액정표시장치에 포함되는 액정패널과 유기발광다이오드 표시장치에 포함되는 표시패널을 포함한다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 평판패널 검사 장치를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 3a 및 도 3b는 도 2에 도시된 평판패널 검사 장치의 단면과 평면을 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 평면모터 이동자의 움직임을 설명하기 위한 도면이다.
도시된 바와 같이, 평판패널 검사 장치(100)는 검사대상물이 안착되는 스테이지부(110)와, 스테이지부(110)에 안착된 검사대상물을 검사하기 위한 검사모듈(140)과, 검사모듈(140)을 이동시키는 이동부(160)를 포함한다.

삭제

여기서, 스테이지부(110)에는 검사대상물인 평판패널(G)이 안착되어 고정된다.

검사모듈(140)은 평면모터부(120)와, 평면모터부(120)와 연결된 광학모듈(130)을 포함한다.

여기서, 평면모터부(120)는 코일을 가지며 이동면이 형성된 고정자(121)와, 고정자(121)와 광학모듈(130) 사이에 위치되어 고정자(121)의 이동면을 따라 이동하는 이동자(127)를 포함한다.

여기서, 평면모터부(120)는 도면상에 나타내지는 않았지만 이동자(127)를 구동시키기 위한 구동부를 더 포함할 수 있다.

고정자(121)의 이동면(121a)은 촬영을 위한 다수의 영상 각각에 대응되는 다수 개의 촬상영역으로 분할되어 있으며, 이동자(127)는 다수 개의 촬상영역으로 분할된 이동면에 대해 X방향과 Y방향을 따라 이동하게 된다. 이를 통해 광학모듈(130)은 평판패널(G)에 대한 다수의 영상을 촬영(스캔)할 수 있게 된다.

광학모듈(130)은 검사대상물인 평판패널(G)을 촬영하여 디지털 이미지 데이터를 생성하는 카메라(미도시)와, 초점을 조절하는 대물렌즈를 포함하는 렌즈부(132)와, 카메라(미도시)와 렌즈부(132) 사이에 위치되어 빛의 일부분만을 반사시키는 빔 스플리터(beam splitter, 미도시) 및 디지털 이미지 데이터를 획득하기 위한 조명을 출사하는 조명부(미도시)를 포함할 수 있다.

여기서 카메라(미도시)는 빔 스플리터에 의해 획득한 이미지광을 집광하여 디지털 이미지 데이터로 전환하는 전하결합소자(charge coupled device:CCD)일 수 있다. 이때, 전하결합소자는 고속으로 작동하여 디지털 이미지 데이터를 고속으로 출력하는 이점이 있다.

이러한, 카메라(미도시)는 20배율 내지 50배율 범위를 가지는 고배율 영상을 촬영할 수 있다. 이때, 1배율의 해상도가 1㎛라 하면, 20배율의 해상도는 0.05㎛이다. 이를 부연 설명하면, 1배율에서는 1㎛크기 이하의 물체를 구분하기 힘든 반면, 20배율에서는 0.05㎛크기의 물체까지 구분할 수 있다.

이와 같은 구조를 가지는 광학 모듈(130)은, 노트북과 같은 휴대용 표시기기(미도시)와 연결될 수 있다.

여기서 휴대용 표시기기(미도시)는 평판패널(G)에서의 불량위치를 화면 상에 이미지화하여 나타냄으로써 작업자가 확인할 수 있도록 한다.

또한, 휴대용 표시기기(미도시)는 광학 모듈(130)을 통해 획득된 다수의 영상을 조합하여 피치비교 가능한 검사영상을 생성하고, 생성된 검사영역에서 패턴 간 피치비교를 진행함으로써 불량을 검출해낼 수 있다. 이는 컨트롤러의 역할로써 평판패널 검사장치에 포함되도록 구성할 수 있으며, 또는 휴대용 표시기기 내부에 포함된 컨트롤러를 통해 수행하도록 할 수 있다.

이동부(160)는 서로 마주보는 수직부(162)와, 이들을 서로 연결하는 수평부(164)로 구성된 갠트리(gantry)일 수 있다.

이때 이동부(160)의 수직부(162)에 대응해서는 레일(170a, 170b)이 형성되어 이동부(160)가 레일(170a, 170b)을 따라 Y방향으로 이동되며 광학모듈(130)을 포함한 검사모듈(140)을 이동시킬 수 있다.

또한 이동부(160)의 수평부(164)의 상부로는 고정자(121) 일 가장자리가 위치되어 고정자(121)가 이동부(160)의 수평부(164)를 따라 X방향으로 이동하며 광학모듈(130)을 이동시킬 수 있다.

이때, 광학모듈(130)은 이동부(160)를 통해 X방향 또는 Y방향을 따라 제1움직임으로 움직이고, 이동자(127)를 통해 고정자(121)의 이동면(121a) 내에서 X방향 또는 Y방향을 따라 제1움직임보다 작은 제2움직임으로 움직일 수 있다. 즉, 이동부(160)는 큰 움직임을 담당하고, 이동자(127)는 작은 움직임을 담당하는 것이다.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 평판패널 검사 장치의 동작 방법을 보여주는 흐름도으로, 도 2를 참조한다.

우선, 광학모듈(도 2의 130)을 이동시킨 후 영상을 촬영한다(S12, S14).

여기서, 광학모듈(도 2의 130)은 이동부(도 2의 160)를 통해 X방향 또는 Y방향을 따라 이동될 수 있으며, 또는 평면모터부(도 2의 120)의 이동자(도 2의 127)를 통해 X방향 또는 Y방향을 따라 이동될 수 있다.

이때, 전 작업(공정)을 통해 대략적인 불량 위치를 확인하고, 그 불량 위치 근처로 광학모듈(도 2의 130)이 이동된 것일 수 있으며, 또는 평판패널 전 영역에 대해 검사를 진행하기 위해 광학모듈(도 2의 130)이 이동된 것일 수 있다. 그리고, 광학모듈(도 2의 130)에 의해 획득된 영상은 20배율 내지 50배율 범위를 가지는 고배율 영상이다. 이때, 1배율의 해상도가 1㎛라 하면, 20배율의 해상도는 0.05㎛이다.

그리고, N영역을 가지는 고정자(도 2의 121)의 이동면(도 2의 121a)에 대해 이동자(도 2의 127)의 이동이 완료됐는지를 판단(S16)하여 완료되지 않은 경우, 기 설정된 방향을 따라 이동자(도 2의 127)를 움직여 광학모듈(도 2의 130)을 이동시킨다. 여기서 고정자(도 2의 121)의 이동면(도 2의 121a)은 하나의 영상에 대응되는 영역을 N영역 가진다. 이를 통해 광학모듈(도 2의 130)은 N영역 각각에 대응되는 N개의 영상을 획득할 수 있게 된다. 이때, 고정자(도 2의 121)의 이동면(도 2의 121a)은 배율 범위에 따라 개수를 달리하여 분할될 수 있다.

상기 S16단계에서 N영역에 대한 이동자(도 2의 127) 이동이 완료된 경우, 촬영한 N영상을 조합하여 피치비교(pitch compare) 가능한 검사영상을 생성한다(S18).

그리고 검사영상 내에서 인접 패턴을 비교하여 불량을 검출(S22, S24)하는데, 이때 방울 검출(blob detection)법을 적용하여 영상 내에 주변보다 더 어둡거나 더 밝은 영역이 있는지 또는 점이 있는지를 확인함으로써 불량을 검출한다.

이어 불량이 검출된 영역을 작업자가 확인하여 리페어를 진행할 수 있다(S24).

이하에서는 상기 전술한 단계에서 영상을 조합(S18)하여 비교한 후에 불량을 검출하는 방법(S22, S24)을 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.

도 6은 본 발명에 따라 촬영된 고배율 영상의 예를 보여주는 도면이고, 도 7은 본 발명에 따라 촬영된 고배율 영상이 평판패널 내에서의 위치를 확인하는 방법을 설명하기 위한 도면이며, 도 8은 도 6의 고배율 영상의 조합을 일예로써 보여주는 도면이고, 도 9는 도 8에 따라 생성된 검사영상을 일예로써 보여주는 도면이며, 도 10a는 도 9의 검사영상에서의 불량을 보여주는 도면이고, 도 10b는 도 9의 검사영상에서 검출된 불량을 설명하기 위한 도면이다.

우선, 도 7에 도시된 바와 같이 광학모듈(도 2의 130)에 의해 촬영된 N영상은 22개일 수 있다. 이는 일예로써 도시한 것이므로, 이에 한정되지 않고 20배율 내지 50배율에 따라 고정자(도 2의 121)의 이동면(도 2의 121a)을 분할함으로써 달라질 수 있다.

이와 같이 광학모듈(도 2의 130)에 의해 촬영된 22개의 영상을 조합함에 있어서 제품형상정보를 활용하는 다각형 방안(polygon recipe)을 적용함으로써 각각의 고해상도 조각영상의 배치 위치에 대한 기준값을 획득할 수 있다. 상기 다각형 방안은 평판패널을 설계할 당시에 미리 저장된 정보, 일예로 각 층에 대한 패턴 및 패턴 형상 정보와 패턴 및 패턴 형상에 대한 좌표 정보를 가지고 위치값을 획득하는 것이다.

즉, 도 6에 도시된 바와 같이 광학모듈(도 2의 130)에 의해 촬영된 9번째 영상(9)과 20번째 영상(20) 각각의 평판패널(도 2의 G)에서의 위치를 다각형 방안을 통해 확인할 수 있게 된다. 즉, 이러한 다각형 방안은 평판패널에 대한 자동검사를 가능하게 하며, 특히 고배율 영상 자동 검사를 가능하게 하는 이점이 있다.

그리고, 도 8에 도시된 바와 같이 22장의 영상 중에서 11장의 영상을 조합할 수 있는데, 11장의 영상을 조합할 시에는 다각형 방안을 통해 각 영상마다 중첩되는 부분을 확인하여, 도 9에 도시된 바와 같이 피치비교(pitch compare) 가능한 검사영상을 생성한다.

이러한 검사영상에는, 도 10a에 도시된 바와 같이 하나 이상의 불량이 포함될 수 있는데, 이때 검사영상은 사전 공정을 거쳐 불량으로 판별된 위치에 해당되는 영상일 수 있다.

한편, 설명의 편의를 위해 11장의 영상을 조합하는 것으로 설명하였지만, 영상 내 하나의 화소를 기준으로 2방향 비교가 가능한 영상을 확보하면 되므로, 도면 상에서 3장 내지 4장의 영상을 조합함으로써 검사영상을 생성할 수 있다. 이때, 2방향 비교가 가능한 영상은 각 화소별로 피치비교를 함에 따라 중앙의 화소를 기준으로 좌우로 인접한 화소가 존재하도록 해야하기 때문에 적어도 3개의 화소가 영상 내에 포함되도록 해야한다.

이러한 검사영상 내에서 동일하게 반복되는 패턴(화소)을 피치비교함으로써, 도 10b에 도시된 바와 같이 불량을 검출해낼 수 있다. 이때 불량은 배선(패턴)이 단선 또는 단락된 불량(b1, b2), 휘점 및 암점불량(a1, a2)이 포함될 수 있다.

여기서, 피치비교는 검출 대상 위치, 일예로 평판패널 내 하나의 화소의 밝기와 반복 피치만큼 떨어진 화소의 밝기 차이를 비교하는 것이다. 이러한 피치비교는 검사영상 내의 화소를 서로 비교함으로써 기준보다 더 어둡거나 더 밝은 영역을 검출하고, 또는 휘점 및 암점이 있는지를 확인하는 영상방울 검출(blob detection)법일 수 있다.

이러한 불량들 중에서 리페어 가능한 불량은 레이저를 통해 리페어함으로써 평판패널은 재사용될 수 있게 된다.

전술한 바와 같이 본 발명에 따른 평판패널 검사방법을 통하면 고배율 영상을 통해 정교한 패턴 불량을 검출할 수 있게 되므로, 나날이 고해상도화되고 있는 평판패널을 보다 쉽게 검사하며, 신뢰성 있는 검사를 진행할 수 있는 이점이 있다. 특히, 자동검사가 가능하므로 검사공정을 보다 축소시키며 비용을 절감할 수 있게 된다.

상기 본 발명의 실시예는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 자유로운 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 보호범위는 첨부된 특허청구범위 및 이와 균등한 범위 내에서의 본 발명의 변형을 포함한다.

100: 평판패널 검사 장치
110: 스테이지부 120: 평면모터부
121: 고정자 121: 이동면
127: 이동자 130: 광학모듈
160: 이동부

Claims (6)

1. 다수의 영역으로 분할된 이동면을 가지는 고정자와, 상기 고정자와 연결된 이동자를 포함한 평면모터부와 광학모듈을 포함하는 평판패널 검사장치의 평판패널 검사 방법에 있어서,
   불량 위치를 판별하는 제 1 단계와;
   상기 제 1 단계 이후, 반복되는 다수의 제 1 반복패턴이 구비된 상기 평판패널을 무작위로 촬영하여, 다수의 영상을 형성하는 제 2 단계와;
   상기 이동면에 대해 이동이 완료됐는지를 판단하여 완료되지 않은 경우, 기 설정된 방향을 따라 상기 이동자를 통해 상기 광학모듈이 이동되는 제 3 단계와;상기 판단결과 상기 이동면에 대해 이동이 완료된 경우, 다수의 영역에 대응되어 촬영된 상기 다수의 영상 중 상기 제 1 단계에서 판별된 불량 위치에 해당하는 일부 영상만을 조합하여, 검사영상을 생성하는 제 4 단계와;
   상기 제 4 단계 이후, 상기 검사영상에서 불량을 검출하는 제 5 단계를 포함하고,
   상기 다수의 영상 각각은 20배율 내지 50배율을 가지는 고배율 영상인 것을 특징으로 하며,
   상기 검사영상은 상기 다수의 제 1 반복패턴과 동일한 형상의 다수의 제 2 반복패턴을 포함하는 평판패널 검사 방법.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 다수의 영상 각각은 다각형 방안(polygon recipe)에 따라 상기 평판패널에서의 위치를 확인할 수 있는 것을 특징으로 하는 평판패널 검사 방법.
   
3. 제 2항에 있어서,
   상기 다각형 방안은 상기 평판패널에 대한 각 층에 대한 패턴 및 패턴 형상정보와 패턴 및 패턴 형상에 대한 좌표 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널 검사 방법.
   
4. 제 1항에 있어서,
   상기 검사영상은
   상기 평판패널에 포함된 하나의 화소를 기준으로 양방향 비교가 가능한 영상으로, 적어도 3개의 화소를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널 검사 방법.
   
5. 제 4항에 있어서,
   상기 불량을 검출하는 단계는,
   상기 검사영상에서 하나의 화소의 밝기와 반복 피치만큼 떨어진 화소의 밝기차이를 비교하는 단계와,
   상기 검사영상에서 점이 있는지를 확인하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널 검사 방법.
   
6. 제 5항에 있어서,
   상기 불량은 패턴의 단선과 단락, 그리고 휘점 및 암점 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판패널 검사 방법.
   

Images