CN102253550B - 检查液晶显示器件的方法和装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种检查液晶显示器件的方法和装置。该液晶显示器件在第一基板上形成有信号线图形，所述信号线图形包括形成在同一层的栅极线和公共电压线，以及与栅极线和公共电压线交叉并且其间具有栅极绝缘薄膜的数据线，该方法包括：将栅极线的一侧用第一导电装置短接，并将栅极线的另一侧保持电绝缘状态；将公共电压线的一侧用第二导电装置短接，并将数据线的另一侧保持电绝缘状态；在栅极线的所述一侧施加第一电压；在公共电压线的所述一侧施加不同于所述第一电压的第二电压；用一个磁性传感器沿栅极线和公共电压线的宽度方向扫描该第一基板上的信号线图形，以检测出栅极线和公共电压线之间的短路位置。

Description

检查液晶显示器件的方法和装置
本申请为申请号为：200410046200.7、申请日为：2004年6月2日、发明名称为“检查和修补液晶显示器件的方法和装置”的发明专利申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及到液晶显示器件，具体涉及到一种用来检查和修补液晶显示器件的装置和方法，能够降低次品率并提高生产效率和产量。
背景技术
一般来说，液晶显示器(LCD)要通过控制施加在液晶单元上的电场来控制液晶材料的光透射比，从而显示出理想的图像。液晶显示器按照驱动液晶的电场方向被划分成垂直电场型和水平电场型。
垂直电场型液晶显示器具有分别形成在上基板和下基板上的公共电极和象素电极，通过对公共电极和象素电极施加电压在液晶单元中形成垂直电场。垂直电场型液晶显示器具有高孔径比，但视角较窄。
水平电场型液晶显示器具有形成在同一基板上的公共电极和象素电极，通过对公共电极和象素电极施加电压为液晶单元形成水平电场。水平电场型液晶显示器具有约160°的宽视角。水平电场型液晶显示器的一个例子就是共平面开关(以下称为“IPS”)模式的液晶显示器件。
图1的平面图表示按照现有技术在共平面开关(IPS)模式的液晶显示器件中形成在下基板上的信号线和薄膜晶体管的一部分，而图2是图1中沿I-I’和II-II’线截取的下基板的截面图。在图1和2中，IPS模式的液晶显示器件包括按彼此交叉的方式形成在下玻璃基板45上的栅极线2和数据线4，二者之间有一个栅极绝缘薄膜46，形成在栅极线2和数据线4的各个交叉点上的薄膜晶体管(TFT)6，连接到TFT 6的漏极12上的象素电极14，与象素电极14交替布置在同一平面上的公共电极18，共同连接到多个公共电极18的公共电压线16，以及用来维持象素电压的存储电容20。液晶显示器件还包括具有滤色片(未表示)、一个黑色矩阵，以及在其上面形成的上偏振器的上基板。还要在下基板和上基板之间注入液晶材料。
TFT 6的栅极电极8被连接到栅极线2，并且对栅极线2提供扫描脉冲。在栅极线2的边沿链接一个连接到栅极驱动电路中扫描脉冲输出端子的栅极焊盘24。TFT 6的源极被连接到数据线4，而提供给液晶单元的象素电极14的数据电压被施加在数据线4上。在数据线4的边沿链接一个连接到数据驱动电路(未表示)中数据电压输出端子的数据焊盘30。
TFT 6响应栅极线2的扫描电压向象素电极14提供数据电压。TFT 6包括栅极8，源极10，漏极12，用来在源极10和漏极12之间形成一个沟道的有源层48，以及在有源层48与源极/漏极电极10和12之间形成欧姆接触的欧姆接触层50。
象素电极14通过贯穿一个钝化薄膜52的第一接触孔13连接到TFT 6的漏极12。象素电极14在其一侧被连接到漏极12，并且包括连接到漏极电极12并与其相邻的栅极线2平行形成的第一水平部分14A，以及与公共电压线16重叠形成的第二水平部分14B，还有与第一和第二水平部分14A和14B之间的数据线平行形成的一个指状部分14C。
公共电极18从公共电压线16起沿着与数据线14平行的方向延伸，使其与象素电极14的指状部分14C交替布置在同一个平面上。公共电极18与象素电极14相距预定的距离。
如果对数据线4提供数据电压，公共电压提供给公共电压线16和公共电极18，并且向栅极线2提供扫描电压，那么，TFT就会导通，数据电压通过TFT 6的源极10和漏极12被提供给象素电极14。此时就会在象素电极14和公共电极18之间提供一个电场，该电场基本上处在水平方向。液晶分子因介电各向异性会响应这一水平电场，对光形成调制作用。
存储电容20包括一个介电层，它具有栅极绝缘薄膜46，有源层48和欧姆接触层50，彼此面对将介电层夹在中间的存储电极22和公共电压线16，以及通过贯穿钝化薄膜52的第二接触孔21连接到存储电极22的象素电极14。
栅极焊盘24包括形成在栅极线2边沿上的下栅极焊盘电极26，以及通过贯穿栅极绝缘薄膜46和钝化薄膜52的第三接触孔27连接到下栅极焊盘电极26的上栅极焊盘电极28。
数据焊盘30包括形成在数据线4边沿上的下数据焊盘电极32，以及通过贯穿钝化薄膜52的第四接触孔33连接到下数据焊盘电极32的上数据焊盘电极34。
公共焊盘36包括形成在公共电压线16边沿上的下公共焊盘电极38，以及通过贯穿钝化薄膜52的第五接触孔39连接到下公共焊盘电极38的上公共焊盘电极40。
图3是按照现有技术对图1和2的液晶显示器件执行检查程序和修补程序的流程图。在图3中，在步骤S1和S2从基板柜中取出下玻璃基板45，并且用图4(下文要描述)中所示的检查夹具检查栅极线2和公共电极18有没有短路。
在步骤S3，如果在步骤S2确定基板45具有良好的质量，也就是下玻璃基板45中的栅极线2和公共电压线16没有短路，就将基板45传送到下一工序。另一方面，在步骤S6，在步骤S2被确定为相邻栅极线2和公共电压线16之间存在短路的有缺陷基板45被送回到再光刻工序。再光刻工序在一个对有缺陷基板45执行掩模工序的光刻设备中进行。再光刻工序包括光刻胶施加工序，掩模布置工序，曝光工序，显影工序，和湿法蚀刻工序，并且再次对栅极线2，栅极8，下栅极焊盘电极26，公共电压线16，公共电极18和下公共焊盘电极38执行构图。
或者是，在步骤S5，对步骤S2中确定有缺陷的基板45进行修补，通过的工序有图形检查工序，沿着栅极线2和公共电压线16的图形用显微镜严格检查这些图形。另外，在步骤S7执行一个激光器修补工序，用激光束切断在步骤S5的图形检查工序中被确定的短路点。经过步骤S5的图形检查工序的基板45可以送回到步骤S6的再光刻工序。
图4的示意性电路图表示一种检查夹具。在图4中，用个人计算机(PC)202控制一个测量万用表201，并且用多个开关SW从测量万用表201向探针销205提供电压。检查夹具还包括一个驱动电路板(未表示)，通过设置在下玻璃基板45(未表示)上的短路棒向栅极线2和公共电压线16提供检查电压。开关SW被形成在一个继电器矩阵板上，并且被连接在测量万用表201的输出线203与探针销205的输入线206之间，用来切换在测量万用表201和探针销205之间传输的信号。
探针销205被固定在一个能够升降的探针座204上。控制PC 202将从测量万用表201获得的测量数据提供给显示装置(未表示)。控制PC 202还要向检查夹具的驱动电路板提供检查所需的指令，例如是使用输入设备例如键盘或鼠标输入的操作员指令，控制开关的开关控制指令，以及支撑探针205的探针座204的升降指令。
当下玻璃基板45被装入检查夹具时，由驱动电路板提供的一个测试电压通过短路棒被提供给栅极线2和公共电压线16。此时将探针销205连接到下栅极焊盘电极26和下公共焊盘电极38。然后接通开关SW。如果检测到栅极线2和公共电压线16没有短路，栅极线2和公共电压线16的电阻值就会大于测量万用表201测得的一个预定参考值。然而，如果检测到栅极线2和公共电压线16有短路，由于导电异物或光刻工序中的缺陷，栅极线2和公共电压线16的电阻值就会小于一个预定参考值。这是因为在没有短路的栅极线2和公共电压线16之间没有形成电流路径，而是在短路的栅极线2和公共电压线16之间形成了电流路径。
在IPS模式的液晶显示器件中，栅极线2与相邻公共电压线16之间的距离如图1所示大约为3μm。在这样窄的宽度下，栅极线2和公共电压线16之间经常会发生短路。具体来说，实践中发现大约有30％的基板45经过第一掩模工序后存在短路缺陷，并且被送回到再光刻工序。另外，由于难以按图形检查工序迅速准确地确定短路位置，少数有缺陷基板45会被传送到激光器修补工序。因此，有缺陷基板被送回到光刻设备重复第一掩模工序，这样会延迟光刻工序并降低生产效率。这一问题会妨碍大型基板的制作。
发明内容
本发明对此提出了一种用来检查和修补液晶显示器件的方法和装置，能够基本上消除因现有技术的局限和缺点造成的这些问题。
本发明的目的是提供一种用来检查和修补液晶显示器件的装置和方法，能够降低缺陷率并提高生产效率和液晶显示器件的产量。
以下要说明本发明的附加特征和优点，一部分可以从说明书中看出，或者是通过对本发明的实践来学习。采用说明书及其权利要求书和附图中具体描述的结构就能实现并达到本发明的目的和其他优点。
为了实现本发明的上述和其他目的，本发明提供一种检查在第一基板上形成有信号线图形的液晶显示器件的方法，其中所述信号线图形包括形成在同一层的栅极线和公共电压线，以及数据线，所述数据线与所述栅极线和公共电压线交叉并且其间具有栅极绝缘薄膜，该方法包括：将所述栅极线的一侧用第一导电装置短接，并将所述栅极线的另一侧保持电绝缘状态；将所述公共电压线的一侧用第二导电装置短接，并将所述数据线的另一侧保持电绝缘状态；在所述栅极线的所述一侧施加第一电压；在所述公共电压线的所述一侧施加不同于所述第一电压的第二电压；用一个磁性传感器沿所述栅极线和公共电压线的宽度方向扫描该第一基板上的信号线图形，以检测出所述栅极线和公共电压线之间的短路位置。
按照本发明的另一方面，提供一种检查在第一基板上形成有信号线图形的液晶显示器件的方法，其中所述信号线图形包括形成在同一层的栅极线和公共电压线，以及数据线，所述数据线与所述栅极线和公共电压线交叉并且其间具有栅极绝缘薄膜，该方法包括：将所述栅极线和公共电压线的一侧用第一导电装置短接，并将所述栅极线和公共电压线的另一侧用第二导电装置短接；在所述栅极线和公共电压线的所述一侧施加第一电压；在所述数据线的所述一侧施加不同于所述第一电压的第二电压；用一个磁性传感器沿所述栅极线和公共电压线的宽度方向扫描该第一基板上的信号线图形，以检测出所述栅极线和公共电压线的开路位置；以及产生所述栅极线和公共电压线的开路位置的坐标数据。
按照本发明的再一方面，提供一种检查在第一基板上形成有信号线图形的液晶显示器件的装置，其中所述信号线图形包括形成在同一层的栅极线和公共电压线，以及数据线，所述数据线与所述栅极线和公共电压线交叉并且其间具有栅极绝缘薄膜，该装置包括：一第一导电装置，用来将所述栅极线的一侧短接，并将所述栅极线的另一侧保持电绝缘状态，其中所述第一导电装置接收第一电压；一第二导电装置，用来将所述公共电压线的一侧短接，并将所述公共电压线的另一侧保持电绝缘状态，其中所述第二导电装置接收不同于所述第一电压的第二电压；一磁性传感器，用来沿所述栅极线和公共电压线的宽度方向扫描形成在该第一基板上的信号线图形，以检测出所述栅极线和公共电压线之间的短路位置；和一传感器驱动电路，用来驱动该磁性传感器并产生所述栅极线和公共电压线之间的短路位置的坐标数据。
按照本发明的又一方面，提供一种检查在第一基板上形成有信号线图形的液晶显示器件的装置，其中所述信号线图形包括形成在同一层的栅极线和公共电压线，以及数据线，所述数据线与所述栅极线和公共电压线交叉并且其间具有栅极绝缘薄膜，该装置包括：一第一导电装置，用来将所述栅极线和公共电压线的一侧短接，其中所述第一导电装置接收第一电压；一第二导电装置，用来将栅极线和公共电压线的另一侧短接，其中所述第二导电装置接收第二电压；一磁性传感器，用来沿所述栅极线和公共电压线的宽度方向扫描该第一基板上的信号线图形，以检测出所述栅极线和公共电压线的开路位置；将该磁性传感器检测的信号线图形成像的一照相机；一传感器驱动电路，用来驱动该磁性传感器并产生所述栅极线和公共电压线的开路位置的坐标数据。
应该意识到以上的概述和下文的详细说明都是解释性的描述，都是为了进一步解释所要求保护的发明。
附图说明
所包括的用来便于理解本发明并且作为说明书一个组成部分的附图表示了本发明的实施例，连同说明书一起可用来解释本发明的原理。在附图中：
图1的平面图表示按照现有技术在共平面开关(IPS)模式的液晶显示器件中形成在下基板上的信号线和薄膜晶体管的一部分；
图2是图1中沿I-I’和II-II’线截取的下基板的截面图；
图3是按照现有技术的检查工序和修补工序的流程图；
图4的示意性电路图表示按照现有技术的一种检查夹具；
图5表示按照一个实施例检查和修补液晶显示器件的一种方法；
图6是按照一个实施例用来检查和修补液晶显示器件的一种装置的方框图；
图7表示图6中成线排列的照相机的一种结构；
图8表示图6中磁性传感器的操作；
图9和10的示意图表示用图6中所示的磁性传感器对信号线进行短路检测的一种方法；
图11的示意图表示用图6中所示的磁性传感器对信号线进行开路检测的一种方法；以及
图12的示意图表示用来检测信号线层间短路的一种方法。
具体实施方式
以下要以附图中所示为例具体描述本发明的最佳实施例。
图5表示按照一个实施例检查和修补液晶显示器件的一种方法。在图5中的步骤S71，在基板经过制造TPS液晶显示装置的一制造工序之后，可以从基板柜中取出一个基板。例如，在基板从基板柜中取出之前可以在基板上形成栅极线，栅极电极，下栅极焊盘电极，公共电压线，公共电极，和公共焊盘电极。
在步骤S72，用一个夹具将基板安放在一个台架上并进行检测。可以用夹具检测在基板上形成的信号线中的短路/开路点。如果在步骤S72检测出信号线中不存在短路/开路点，就可以在步骤S73将基板传送到下一工序。
然而，如果在步骤S72检测到短路/开路点，就需要在步骤S74用磁性传感器进一步检查基板。特别是磁性传感器有可能发现夹具在步骤S72对短路/开路点的错误检测，然后在步骤S73将基板传送到下一工序。然而，磁性传感器可能确认在相邻的栅极线和公共电压线之间存在短路/开路点，这时就可能认为基板是有缺陷基板。
或是，从基板柜中取出的基板有可能越过步骤S72中使用夹具的检查，而可以直接在步骤S74用磁性传感器检查，如图中虚线所示，这样能缩短检查时间。
在步骤S75，可以由自动操作程序或是检查人员将一成线排列的照相机或成面排列的照相机移动到磁性传感器检测到的短路/开路点。例如，检查人员可以用照相机拍摄到的图像通过视觉检查以进一步确认是否存在短路/开路点。
在步骤S76，可以由照相机和磁性传感器产生短路/开路点的坐标/位置。在步骤S77，可以将短路/开路点的坐标发送到激光器修补设备，根据检测的坐标修补短路/开路点。
图6是按照一个实施例用来检查和修补液晶显示器件的一种装置的方框图。在图6中，用来检查液晶显示器件的装置包括一个在上面支撑基板75的X-Y台架67。该装置可以包括一个检查夹具66，用来检测在基板75上形成的信号线是否存在短路点。具体的，检查夹具66可以包括用来接触基板75的焊盘区的探针销(未表示)。可以通过探针销对焊盘区施加电流，从中检测信号线的电阻。具体说可以将检测电流或电阻数据与预定的参考数据相比较，从中确定信号线有没有短路点。
随着装置对信号线中是否存在短路点或开路点及其坐标数据的检测，X-Y台架67还可以沿着X-轴和Y-轴移动基板75。特别是该装置可以包括一成线的摄影部件60和一成面的摄影部件63，用来收集有关基板75的不同观测信息，从中确定短路/开路点的坐标数据。成线的摄影部件60可以包括成线排列的照相机61和相应的图像处理器62。而成面的摄影部件63可以包括成面排列的照相机64和相应的图像处理器65。
该装置还可以包括一个磁性传感器处理器68，用一个感应场在信号线中精确检测短路点或开路点。磁性传感器处理器68可以包括磁性传感器69和传感器驱动器70。该装置还可以包括用来显示检测到的短路/开路点坐标数据的显示设备72，和一个用来存储坐标数据的存储器73。
可以包括一个控制该装置操作的控制器71，并可以连接到一个修补设备74，用来修补信号线中检测到的短路/开路点。例如，控制器71可以驱动X-Y台架67，允许磁性传感器69沿着X-轴方向和Y-轴方向扫描基板75。控制器71可以根据传感器驱动器70确定信号线的短路点和开路点，并且根据坐标数据控制成线的摄影部件60和成面的摄影部件63。或是可以沿着X-轴方向和Y-轴方向移动磁性传感器69，成线排列的照相机61和成面排列的照相机64对基板75进行扫描，同时基板75保持静止，不需要X-Y台架67。
控制器71还可以在预定程序或检查人员的控制下将坐标数据提供给显示装置72或是将坐标数据发送到修补设备74。控制器71可以利用标准的通信系统例如是RS-232将来自成线摄影部件60和传感器处理器68的短路/开路点坐标数据和信息发送修补设备74。修补设备74可以执行修补程序，根据控制器71提供的数据用激光束照射短路/开路点。
图7表示图6中成线排列的照相机的一种结构。在图7中，图6中所示的成线摄影部件60可以沿着纵向拍摄信号线。成线排列的照相机61可以具有成行设置的许多电荷耦合器件(CCD)61a，他们按照水平位移间隔(STR)沿X-轴扫描如图6所示的基板75上的信号线80。成线排列的照相机61能将从基板75入射的光变换成电信号。图像处理器62能接收这种电信号，放大该信号，将信号变换成数字信号，并且分析数字信号，根据成线排列的照相机61的水平位移间隔(STR)和垂直位移距离确定短路/开路点的坐标数据。可以将坐标数据和成线排列的照相机61拍摄的图像数据提供给如图6所示的控制器71，对这些数据进行存储，显示，或是用来按照预定的程序或是由检查人员进行修补。
另外，成面排列的照相机64可以包括一具有高倍率光学透镜和CCD的显微镜(未表示)，用来采集所需面积的放大图像。成面排列的照相机64能够将放大的拍摄图像变换成电信号，并将这种信号提供给图像处理器65。图像处理器65可以放大图像信号，将图像信号转换为数字信号，将数字数据提供给控制器71。控制器71能够在存储器73中存储放大的图像数据，并能在预定程序或检查人员的控制下将放大的图像数据提供给显示装置72，以便检查人员能够观测放大的图像。
图8表示图6中磁性传感器的操作。在图8中，图6所示的磁性传感器69可以包括常用的磁性传感器，例如是磁-阻(MR)传感器，巨磁-阻(GMR)传感器，磁通量闸门传感器和电感传感器。例如，MR传感器是一种通过用磁阻效应器件(一种MR器件)改变电压来检测磁场振动和磁体存在的磁性传感器。MR器件一般是用具有高电子迁移率的一种单晶体铟锡(InSn)薄膜构成的。如果有一个电流i流经信号线80，就会产生一个垂直于电流的电场，从而感应出一个磁场M。磁场M会改变MR器件的电阻。这样就能通过检测MR器件的电阻随电压的变化检测到信号线80的短路/开路点。还可以为MR器件附加稀土永磁体来改善检测灵敏度。
传感器驱动器70可以向磁性传感器69的MR器件提供驱动电流。传感器驱动器70还能放大由MR器件提供的电压，将其与预定的参考电压相比较，并向控制器71提供代表信号线中有没有短路/开路的数字信号。传感器驱动器70还能根据基板75对磁性传感器69的相对移动量或是磁性传感器69对基板75的相对移动量产生指示短路点或开路点位置的坐标数据。
在图9到12中，符号‘V’代表磁性传感器69检测到的电压，符号‘d’代表基板的长度。另外，用图2中所示形成在基板45上的一段栅极线2和公共电压线16示意性表示信号线。
图9和10的示意图表示用图6中所示的磁性传感器对信号线进行短路检测的一种方法。在图9中，可以对栅极线2一侧施加高电压Vh，而对相对一侧的公共电压线16施加低电压Vl。另外，高电压Vh可选择用作扫描脉冲的高栅极电压Vgh，而低电压Vl可以选择用作公共电压Vcom。
磁性传感器69可以按照非接触方式沿着跨栅极线2和公共电压线16的宽度方向(沿Y-轴的虚线所示)扫描栅极线2和公共电压线16。如果没有短路，就不会有电流从一侧流到另一侧，因为在栅极线2和公共电压线16之间不会形成电流通路。然而，如果在栅极线2和公共电压线16之间因图形缺陷和导电异物而存在短路点102，在栅极线2和公共电压线16之间就会有电流i流动，这样会造成磁性传感器69的检测电压V发生变化。
由短路点102上的电流i感应的电场会感应到磁性传感器69的MR器件。这样，磁性传感器69的MR器件的电阻就会因感应电场而降低，并且能按高电压检测到这一电阻。另外，如果栅极线2和公共电压线16没有短路，由于感应磁场被感应到磁性传感器69的MR器件，磁性传感器69具有高电阻。这样，当磁性传感器69扫描到没有短路的栅极线2和公共电压线16时，磁性传感器69所检测到的电压是一个低值。
控制器71可以将成线排列的照相机61移动到磁性传感器69检测到的短路点，然后沿着栅极线2和公共电压线16的纵向也就是X-轴移动成线排列的照相机62。如果成线排列的照相机62检测到短路点102，图像处理器62就根据X-轴方向和Y-轴方向的移动量向控制器71提供代表短路点102位置的坐标数据。
在图10中，高电压Vh可以施加在栅极线2的一侧，而低电压Vl可以施加在公共电压线16的同一侧。随着磁性传感器69沿着横跨栅极线2和公共电压线16的的宽度方向111y以非接触方式扫描栅极线2和公共电压线16，磁性传感器69会在短路点112上检测到较高电压Vy。磁性传感器69可以沿着纵向111x移动扫描基板，检测短路点112的坐标。具体地说，磁性传感器69沿着X-轴扫描，由于电流会通过栅极线2和公共电压线16流到短路点112，磁性传感器69会检测到电压Vx的变化，无需其他检查手段就能确定短路点112的坐标。
图11的示意图表示用图6中所示的磁性传感器对信号线进行开路检测的一种方法。在图11中，在栅极线2和公共电压线16两侧用短路线123a和123b或其他独立导电装置将两线短接。另外，可以在栅极线2和公共电压线16的一侧施加高电压Vh，而在栅极线2和公共电压线16的相对一侧施加低电压Vl。
磁性传感器69可以沿着Y-轴沿栅极线2和公共电压线16的宽度方向121以非接触方式扫描栅极线2和公共电压线16。如果没有开路点，电流i就会从一侧流到另一侧。这样，磁性传感器69就会在各个无缺陷栅极线2和公共电压线16处检测到电压V升高。然而，如果在公共电压线16中有一个开路点122，公共电压线16中就不会有电流流动。这样，磁性传感器69就会在开路的公共电压线16处检测到低电压。
控制器71可以将成线排列的照相机61移动到磁性传感器69检测到的开路线处，然后沿着栅极线2和公共电压线16的纵向也就是沿X-轴移动成线排列的照相机62。如果成线排列的照相机61检测到开路点122，图像处理器62就能根据x-轴方向和y-方向的移动量向控制器71提供指示开路点122位置的坐标数据。
图12的示意图表示用来检测信号线层间短路的一种方法。在图12中，栅极线2和公共电压线16的一侧可以用短路线133a或其他独立导电装置短接，而栅极线2和公共电压线16的另一侧保持电绝缘状态。另外，数据线4的一侧可以用短路线133b或其他独立导电装置短接，而数据线4的另一侧保持电绝缘状态。可以在栅极线2和公共电压线16的一侧施加高电压Vh，而在数据线4的一侧施加低电压Vl。
磁性传感器69可以沿着栅极线2与数据线4交叉的方向例如是Y-轴上的扫描方向131y以非接触方式扫描栅极线2和公共电压线16。在这一扫描过程中，电流(i)会在存在层间短路点132的栅极线2和公共电压线16之间流动。然而，电流(i)不会在不存在层间短路点132的栅极线2和公共电压线16之间流动。电流(i)的存在会导致MR器件中电阻的变化，并且用电压(V)能检测到这一电阻变化。
在Y-轴方向上检测到层间短路点132之后，磁性传感器69可以在X-轴上沿扫描方向131x以非接触方式扫描数据线4。在这一扫描过程中，电流(i)会通过存在层间短路点132的数据线4流动，而电流(i)不会通过不存在层间短路点132的数据线4流动。电流(i)的存在会导致MR器件中电阻的变化，并且用电压(V)能检测到这一电阻变化。因此，如果磁性传感器69沿着X-轴和Y-轴扫描，就能精确检测到层间短路点。
上述实施例中用来检查和修补液晶显示器件的装置和方法能检测到液晶显示器件的短路点和开路点。这样就能通过修补工序修复大多数有缺陷基板，并且尽量减少退回到再光刻工序的基板数量，以便减少再光刻工序的负担。这种检查和修补方法还能用成线排列的照相机和成面排列的照相机改善检测精度，并根据成线排列的照相机和磁性传感器检测到的数据迅速执行修补工序。这样就能降低液晶显示器件的次品率并提高液晶显示器件的生产效率和产量。
本领域的技术人员无需脱离本发明的原理或范围就能对本发明用来检查和修补液晶显示器件的装置和方法做出各种各样的修改和变更。因此，本发明的意图是要覆盖属于附带的权利要求书及其等效物范围内的所有修改和变更。

Claims (18)

1.一种检查在第一基板上形成有信号线图形的共平面开关模式液晶显示器件的方法,其中所述信号线图形包括形成在同一层的栅极线和公共电压线，以及数据线，所述数据线与所述栅极线和公共电压线交叉并且其间具有栅极绝缘薄膜，该方法包括：
将所述栅极线的一侧用第一导电装置短接，并将所述栅极线的另一侧保持电绝缘状态；
将所述公共电压线的一侧用第二导电装置短接，并将所述公共电压线的另一侧保持电绝缘状态；
在所述栅极线的所述一侧施加第一电压；
在所述公共电压线的所述一侧施加不同于所述第一电压的第二电压；
用一个磁性传感器沿所述栅极线和公共电压线的宽度方向扫描该第一基板上的信号线图形，以检测出所述栅极线和公共电压线之间的短路位置。
2.按照权利要求1的方法，其特征在于，进一步包括根据该磁性传感器与该第一基板之间的相对移动量产生所述栅极线和公共电压线之间的短路位置的坐标数据。
3.按照权利要求1的方法，其特征在于，进一步包括用照相机将所述信号线图形成像。
4.按照权利要求1的方法，其特征在于，进一步包括用显微镜将所述信号线图形成像。
5.按照权利要求1的方法，其特征在于，所述第一电压高于所述第二电压。
6.一种检查在第一基板上形成有信号线图形的共平面开关模式液晶显示器件的方法，其中所述信号线图形包括形成在同一层的栅极线和公共电压线，以及数据线，所述数据线与所述栅极线和公共电压线交叉并且其间具有栅极绝缘薄膜，该方法包括：
将所述栅极线和公共电压线的一侧用第一导电装置短接，并将所述栅极线和公共电压线的另一侧用第二导电装置短接；
在所述栅极线和公共电压线的所述一侧施加第一电压；
在所述栅极线和公共电压线的所述另一侧施加不同于所述第一电压的第二电压；
用一个磁性传感器沿所述栅极线和公共电压线的宽度方向扫描该第一基板上的信号线图形，以检测出所述栅极线和公共电压线的开路位置；以及
产生所述栅极线和公共电压线的开路位置的坐标数据。
7.按照权利要求6的方法，其特征在于，进一步包括根据该磁性传感器与该第一基板之间的相对移动量产生所述栅极线和公共电压线的开路位置的坐标数据。
8.按照权利要求6的方法，其特征在于，进一步包括用照相机将所述信号线图形成像。
9.按照权利要求6的方法，其特征在于，进一步包括用显微镜将所述信号线图形成像。
10.按照权利要求6的方法，其特征在于，所述第一电压高于所述第二电压。
11.一种检查在第一基板上形成有信号线图形的共平面开关模式液晶显示器件的装置，其中所述信号线图形包括形成在同一层的栅极线和公共电压线，以及数据线，所述数据线与所述栅极线和公共电压线交叉并且其间具有栅极绝缘薄膜，该装置包括：
一第一导电装置，用来将所述栅极线的一侧短接，并将所述栅极线的另一侧保持电绝缘状态，其中所述第一导电装置接收第一电压；
一第二导电装置，用来将所述公共电压线的一侧短接，并将所述公共电压线的另一侧保持电绝缘状态，其中所述第二导电装置接收不同于所述第一电压的第二电压；
一磁性传感器，用来沿所述栅极线和公共电压线的宽度方向扫描形成在该第一基板上的信号线图形，以检测出所述栅极线和公共电压线之间的短路位置；和
一传感器驱动电路，用来驱动该磁性传感器并产生所述栅极线和公共电压线之间的短路位置的坐标数据。
12.按照权利要求11的装置，其特征在于，该传感器驱动电路是根据该磁性传感器和该第一基板之间的相对移动量来产生所述坐标数据。
13.按照权利要求11的装置，其特征在于，进一步包括：
将该磁性传感器检测的信号线图形成像的照相机；以及
根据该照相机与该第一基板的相对移动量检测所述栅极线和公共电压线之间的短路位置的图像处理电路。
14.按照权利要求11的装置，其特征在于，进一步包括将所述信号线图形成像的显微镜。
15.按照权利要求11的装置，其特征在于，所述公共电压线与所述栅极线相邻布置并获得公共电压。
16.一种检查在第一基板上形成有信号线图形的共平面开关模式液晶显示器件的装置，其中所述信号线图形包括形成在同一层的栅极线和公共电压线，以及数据线，所述数据线与所述栅极线和公共电压线交叉并且其间具有栅极绝缘薄膜，该装置包括：
一第一导电装置，用来将所述栅极线和公共电压线的一侧短接，其中所述第一导电装置接收第一电压；
一第二导电装置，用来将栅极线和公共电压线的另一侧短接，其中所述第二导电装置接收第二电压；
一磁性传感器，用来沿所述栅极线和公共电压线的宽度方向扫描该第一基板上的信号线图形，以检测出所述栅极线和公共电压线的开路位置；
将该磁性传感器检测的信号线图形成像的一照相机；以及
一传感器驱动电路，用来驱动该磁性传感器并产生所述栅极线和公共电压线的开路位置的坐标数据。
17.按照权利要求16的装置，其特征在于，该传感器驱动电路是根据该磁性传感器和该第一基板之间的相对移动量来产生所述坐标数据。
18.按照权利要求16的装置，其特征在于，进一步包括：
将该磁性传感器检测的信号线图形成像的照相机；以及
根据该照相机与该第一基板的相对移动量检测所述栅极线和公共电压线的开路位置的图像处理电路。
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Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI270729B (en) * 2004-07-07 2007-01-11 Au Optronics Corp A conductive line structure
JP4688525B2 (ja) * 2004-09-27 2011-05-25 株式会社 日立ディスプレイズ パターン修正装置および表示装置の製造方法
KR101146525B1 (ko) * 2005-06-30 2012-05-25 엘지디스플레이 주식회사 기판 고정 지그 및 그 제조방법
KR20070038610A (ko) * 2005-10-06 2007-04-11 삼성전자주식회사 표시 장치의 수리 장치 및 수리 방법
KR101303737B1 (ko) * 2006-12-05 2013-09-04 엘지디스플레이 주식회사 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치
CN101650480B (zh) * 2008-08-11 2011-04-13 北京京东方光电科技有限公司 液晶面板中离子浓度的分析方法和装置
US20100181847A1 (en) * 2009-01-22 2010-07-22 Shen-Yu Huang Method for reducing supply voltage drop in digital circuit block and related layout architecture
KR20110027979A (ko) * 2009-09-11 2011-03-17 삼성모바일디스플레이주식회사 마스크 불량 검사 장치
TWI408382B (zh) * 2009-11-13 2013-09-11 成像裝置的檢測方法及系統
KR20120043850A (ko) 2010-10-27 2012-05-07 삼성전자주식회사 레이저 광학계 및 이를 가지는 리페어 장치 및 방법
JP5323906B2 (ja) * 2011-09-12 2013-10-23 シャープ株式会社 配線欠陥検出方法および配線欠陥検出装置
CN102645435A (zh) * 2012-04-19 2012-08-22 深圳市华星光电技术有限公司 基板的检测方法和装置
CN102723311B (zh) * 2012-06-29 2014-11-05 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板制作方法
KR20140094723A (ko) * 2013-01-21 2014-07-31 삼성디스플레이 주식회사 박막 트랜지스터 기판, 그것의 검사 방법 및 그것을 포함하는 액정 표시 장치
CN103293771B (zh) * 2013-06-26 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 液晶配向检查机及方法
CN103885216A (zh) 2014-02-10 2014-06-25 北京京东方显示技术有限公司 一种基板检测装置及方法
CN104570415B (zh) * 2014-12-05 2017-07-18 合肥鑫晟光电科技有限公司 金属线的修复方法及修复设备
CN104635113B (zh) 2015-02-09 2017-07-11 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种确定面板线路故障位置的方法及系统
CN105907329B (zh) * 2016-06-27 2019-01-11 京东方科技集团股份有限公司 粘合胶混合物、粘合胶检测装置、显示面板及制备方法
US10578937B2 (en) * 2016-12-21 2020-03-03 HKC Corporation Limited Method and apparatus of repairing transistor
JP2019184864A (ja) * 2018-04-12 2019-10-24 シャープ株式会社 表示装置
CN109545115A (zh) * 2018-12-04 2019-03-29 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 电性测试设备及电性测试设备十字线缺陷精确定位方法
CN114355690B (zh) * 2022-03-16 2022-05-24 惠科股份有限公司 阵列基板及显示装置
CN114879389A (zh) * 2022-05-23 2022-08-09 南京阿德庞斯信息科技有限公司 一种液晶显示器缺陷修复设备及其修复方法
CN115268128B (zh) * 2022-08-04 2023-08-22 苏州华星光电技术有限公司 阵列基板、显示面板及其缺陷修复方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5073754A (en) * 1990-07-24 1991-12-17 Photon Dynamics, Inc. Method and apparatus for testing LCD panel array using a magnetic field sensor
US5734158A (en) * 1995-04-24 1998-03-31 Advantest Corp. LCD panel test apparatus
US6429897B2 (en) * 1997-04-07 2002-08-06 Carl-Zeiss-Stiftung Confocal microscope with a motorized scanning table

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3246704B2 (ja) * 1995-02-27 2002-01-15 シャープ株式会社 配線基板の検査装置
US6107806A (en) * 1997-07-30 2000-08-22 Candescent Technologies Corporation Device for magnetically sensing current in plate structure
JP3510490B2 (ja) 1998-08-10 2004-03-29 三菱重工業株式会社 薄型表示装置用電極構造体の検査装置及びその検査方法
JP2002022789A (ja) 2000-07-05 2002-01-23 Oht Inc 検査装置及び検査方法
JP4562938B2 (ja) * 2001-03-30 2010-10-13 シャープ株式会社 液晶表示装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5073754A (en) * 1990-07-24 1991-12-17 Photon Dynamics, Inc. Method and apparatus for testing LCD panel array using a magnetic field sensor
US5734158A (en) * 1995-04-24 1998-03-31 Advantest Corp. LCD panel test apparatus
US6429897B2 (en) * 1997-04-07 2002-08-06 Carl-Zeiss-Stiftung Confocal microscope with a motorized scanning table

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Publication number Publication date
KR20040103998A (ko) 2004-12-10
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