CN101927444B - 缺陷修正方法以及装置 - Google Patents

Abstract

本发明实现改善带使用效率，大幅降低运转成本的缺陷修正方法以及装置。该缺陷修正装置，利用移动的研磨带修正或除去存在于工件表面的突起缺陷，其包括：保持工件的平台；研磨单元，对工件进行研磨处理；和第一移动机构，使研磨单元相对平台上的工件向与研磨带的移动方向即带移动方向正交的第一方向相对移动。研磨单元包括：研磨带移动机构，使研磨带移动；头端部，相对研磨单元向与带移动方向正交的方向移动地装配，使研磨带与工件表面抵接；和第二移动机构，使头端部相对研磨单元向与带移动方向正交且与第一方向相反的第二方向相对移动。在研磨处理中，相对突起缺陷仅研磨带沿着与带移动方向正交的方向位移，头端部相对突起缺陷维持静止状态。

Description

缺陷修正方法以及装置

技术领域

本发明涉及利用研磨带修正在彩色滤光片基板等各种工件的表面上存在的突起缺陷的缺陷修正方法以及装置。

背景技术

作为修正在FPD(平板显示器)用的玻璃基板等各种工件表面上存在的突起缺陷的方法，已经实用的方法有利用移动的研磨带修正突起缺陷的方法。在使用了该研磨带的缺陷修正方法中，一边使搭载有带移动机构的研磨单元仅下降预定量一边使研磨带移动，利用移动的研磨带研磨突起缺陷，对其进行修正以使突起缺陷成为容许高度以下。在该带研磨方法中，作为使研磨带与突起缺陷抵接的机构使用安装在研磨单元的前端的按压辊，一边从按压辊对突起缺陷作用预定的按压力一边使研磨带移动预定的长度(例如参照专利文献1)。作为另一突起缺陷修正方法，在研磨单元的前端设置可沿Z轴方向位移的中心销(head pin)，经由中心销将研磨带向突起缺陷按压，从而使研磨带移动(例如参照专利文献2)。

在上述现有的缺陷修正装置中，当进行突起缺陷的修正处理时，使研磨单元下降而使研磨带与突起缺陷抵接。同时，驱动卷筒而使研磨带移动，利用移动的研磨带研磨突起缺陷。当使研磨带移动预定的长度或移动预定的研磨时间后结束研磨，使研磨单元上升至预定的位置。紧接着，使研磨单元向另一个突起缺陷的位置移动，针对下一个缺陷进行修正处理。

专利文献1：日本特开平6-198554号公报

专利文献2：日本特开2007-253317号公报

在上述的利用了研磨带的缺陷修正方法中，能够以高精度修正或除去约数十μm的微小的突起缺陷，作为修正彩色滤光片基板的突起缺陷的装置非常有用。但是，由于每次进行研磨处理时都要卷绕预定长度的研磨带，因此存在带的使用效率低的缺点。图1是表示研磨处理后的研磨带的研磨痕迹的图。如图1所示，研磨带1的宽度约为3.81mm，与突起缺陷接触而进行研磨所利用的研磨区域2的宽度约为200μm左右。因此，剩余的大部分区域不用于研磨处理，存在带使用效率非常低，运转成本变高的缺点。

发明内容

本发明的目的在于实现改善带使用效率、使运转成本大幅度降低的缺陷修正装置以及缺陷修正方法。

本发明的缺陷修正装置，利用移动的研磨带对存在于工件表面的突起缺陷进行修正或将其除去，其特征在于，包括：

保持工件的平台；

研磨单元，其对工件进行研磨处理；和

第一移动机构，其使研磨单元相对于平台上的工件，向与作为研磨带的移动方向的带移动方向正交的第一方向相对移动，

上述研磨单元包括：

研磨带移动机构，其使上述研磨带移动；

头端部，其以能够相对于上述研磨单元沿着上述第一方向相对移动的方式装配，使上述研磨带与工件表面抵接；和

第二移动机构，其使上述头端部相对于研磨单元沿着上述第一方向相对移动，

在研磨处理中，上述研磨单元和头端部相互同步地沿着上述第一方向朝向相互相反的方向相对移动。

在本发明的缺陷修正装置中，在研磨处理中，不仅使研磨带移动，还使研磨单元和头端部向与带移动方向正交的方向移动。通过一边使研磨带移动一边使研磨单元向与带移动方向正交的方向移动，移动的研磨带一边向与带移动方向正交的方向相对移动一边与突起缺陷接触。即，研磨带的速度矢量相对于突起缺陷具有带移动方向的速度矢量成分和与带移动方向正交的方向的速度矢量成分。另一方面，使研磨带与突起缺陷抵接的头端部，由于相对于研磨单元向与研磨单元的移动方向相反的方向以相同速度相对移动，所以该头端部相对于突起缺陷被维持于静止状态。其结果，在研磨处理中，突起缺陷相对于移动的研磨带，沿着相对于其移动方向(前进方向)倾斜的方向接触。因此，在研磨带上，形成有以相对于研磨带的中心倾斜的角度(90°和0°以外的角度)交叉的研磨痕迹，可将研磨带的几乎整个表面用于研磨处理。

作为使研磨单元向与带移动方向正交的方向移动的方式，能够利用龙门结构体相对于工件的相对移动以及设置于龙门结构体的修正头相对于工件的相对移动，或者能够利用使研磨单元相对于修正头相对地向与带移动方向正交的方向移动的方式。

本发明的另一缺陷修正装置，利用移动的研磨带对存在于工件表面的突起缺陷进行修正或将其除去，其特征在于，包括：

保持工件的平台；

龙门结构体，其相对于平台沿着一个方向相对移动；

第一移动机构，其使龙门结构体移动；

修正头，其以能够向与上述龙门结构体的移动方向正交的方向移动的方式装配于上述龙门结构体；和

第二移动机构，其使修正头移动，

上述修正头包括对工件进行研磨处理的研磨单元和观察存在于工件的缺陷的光学头，

上述研磨单元包括：

研磨带移动机构，其使上述研磨带移动；

头端部，其使上述研磨带与工件表面抵接；

引导机构，其将上述头端部向与作为研磨带的移动方向的带移动方向正交的第一方向引导；和

第三移动机构，其使头端部沿着上述引导机构相对于研磨单元相对移动，

在研磨处理中，研磨单元通过上述第一移动机构或第二移动机构向与研磨带的移动方向正交的第一方向移动，上述头端部通过上述第三移动机构相对于研磨单元沿着上述第一方向向与研磨单元的移动方向相反的方向相对移动，

在研磨处理中，上述研磨单元和头端部相互同步地沿着上述第一方向朝向相互相反的方向相对移动，上述头端部相对于要修正的缺陷大致被维持于静止状态。

本发明的又一缺陷修正装置，利用移动的研磨带对存在于工件表面的突起缺陷进行修正或将其除去，其特征在于，包括：

保持工件的平台；

龙门结构体，其相对于平台沿着一个方向相对移动；和

修正头，其以能够相对于龙门结构体相对移动的方式装配，

上述修正头具有对工件进行研磨处理的研磨单元和使研磨单元沿着第一方向移动的第一移动机构，

上述研磨单元包括：

研磨带移动机构，其使上述研磨带沿着与上述第一方向正交的第二方向移动；

头端部，其以能够沿着上述第一方向相对移动的方式装配，使上述研磨带与工件表面抵接；和

第二移动机构，其使上述头端部沿着第一方向相对于研磨单元相对移动，

在研磨处理中，研磨带向第二方向移动，研磨单元和头端部相互同步地沿着上述第一方向朝向相互相反的方向相对移动，该头端部相对于要修正的缺陷大致被维持于静止状态。

本发明的带研磨装置，利用移动的研磨带对存在于工件表面的突起缺陷进行修正或将其除去，其特征在于，包括：

卷绕研磨带的卷起卷筒；收容有研磨带的供给卷筒；将上述卷起卷筒向卷起研磨带的方向驱动的第一旋转驱动机构；将上述供给卷筒向与卷起方向相反的倒卷方向驱动的第二旋转驱动机构；使研磨带与工件的表面抵接的头端部；和使头端部沿着与带移动方向正交的方向移动的头端部移动机构，

在上述研磨带一边与突起缺陷抵接一边移动的研磨处理中，上述头端部与上述研磨带的移动同步地，相对于移动的研磨带向与其移动方向正交的方向相对移动。

本发明的缺陷修正方法，其是利用移动的研磨带对存在于工件表面上的突起缺陷进行修正或将其除去的方法，其特征在于，包括：

使研磨单元下降，并使研磨带与突起缺陷抵接的工序，其中，该研磨单元搭载有使研磨带移动的研磨带移动机构、使研磨带与存在于工件表面的突起缺陷抵接的头端部、使头端部向与作为研磨带的移动方向的带移动方向正交的第一方向移动的头端部移动机构；

使研磨带移动对工件表面的突起缺陷进行修正的缺陷修正工序；和

在缺陷修正处理结束后，使上述研磨单元上升至预定的位置的工序，

在上述缺陷修正工序中，上述研磨带和头端部相互同步地，沿着上述第一方向朝向相互相反的方向相对移动。

根据本发明，在移动的研磨带与突起缺陷接触并对突起缺陷进行修正的研磨处理中，研磨带一边移动一边相对于突起缺陷向与带移动方向正交的方向相对移动，头端部相对于突起缺陷被维持于静止状态。因此，在研磨带上形成有如通过与突起缺陷的接触而倾斜地横穿那样的研磨痕迹。其结果，可将研磨带的几乎整个表面用于研磨处理，能大幅度降低缺陷修正装置的运转成本。

附图说明

图1是表示通过现有的缺陷修正方法被研磨带研磨的研磨痕迹的图。

图2是表示本发明缺陷修正装置的整体结构的图。

图3是表示修正头的一例的图。

图4是表示搭载于研磨单元上的带移动机构的一例的图。

图5是从研磨单元的带移动方向观察的线图方式的侧视图。

图6是表示形成于研磨带上的形成痕迹的图。

图7是表示本发明缺陷修正方法的算法的一例的流程图。

图8是表示本发明缺陷修正装置的修正头的变形例的图，是从正面方向观察的线图。

图9是从带移动方向观察图8所示的修正头的线图。

图10是表示本发明缺陷修正方法中的研磨带的倒卷方法的变形例的图。

符号说明

10...缺陷修正装置；11...架台；12...底座平台；13...工件；14...工件平台；15...修正头；16...龙门结构体(gantry)；18a、18b...Y轴轨道；19...滚珠丝杠机构；20电动机；21...旋转编码器；30...固定底座部件；40...研磨单元；41...可动底座部件；42...研磨带；43...供给卷筒；44...卷起卷筒；45...带盒；46...头端部(head tip)。

具体实施方式

图2是表示本发明缺陷修正装置的整体结构的图，图2(A)是线图方式俯视图，图2(B)是从龙门结构体的移动方向观察的侧视图。缺陷修正装置10具有架台11，在架台11上配置有底座平台12。在底座平台12上配置有支承工件13的工件平台14。在本例中，作为进行缺陷修正的工件，使用排列有RGB的彩色滤光片元件的彩色滤光片基板，修正存在于彩色滤光片基板13的表面上的突起缺陷。在工件平台14上搭载有真空吸附装置(未图示)，工件13通过真空吸附被保持在工件平台14上。

在底座平台12上配置有龙门结构体16，在该龙门结构体16上搭载有用于修正突起缺陷的修正头15。龙门结构体16具有X轴驱动机构以及Y轴驱动机构，根据从控制器(未图示)供给的缺陷的地址信息，驱动两个驱动机构，可使修正头15相对于工件13以二维方式移动并位于缺陷的正上方。龙门结构体16具有两个支承轴17a以及17b，将这两个支承轴可移动地安装在设置于底座平台12上的Y轴轨道18a以及18b上。作为Y轴驱动机构，例如能够使用线性电动机，龙门结构体16通过来自线性电动机的驱动力沿Y轴轨道移动。

龙门结构体16驱动X轴驱动机构而使修正头15沿X轴方向移动。作为X轴驱动机构的一例，使用滚珠丝杠机构19和电动机20。在电动机20上连结有旋转编码器21，用于检测修正头15的X轴方向的位置。被检测出的位置信息供给至控制器。如后文所述，在本例中，龙门结构体的X轴驱动机构也可以被用作在研磨处理过程中使研磨单元沿与带移动方向正交的方向移动的移动机构。因此，作为研磨过程中的研磨单元的与带移动方向正交的方向的位置信息，可使用从旋转编码器21输出的位置信息。

图3是表示修正头的一例的图。修正头具有与龙门结构体连结的固定底座部件30。在固定底座部件30上设有沿Z轴方向延伸的两个导轨31a以及31b，在上述导轨31a以及31b上可升降地连结有构成研磨单元40的可动底座部件41。在固定底座部件30上安装有Z轴驱动用的电动机32，在电动机32上连结有构成滚珠丝杠33的丝杠轴。在滚珠丝杠33的丝杠轴上可移动地装配有螺母，该螺母安装在可动底座部件41上。因此，可动底座部件41能够通过电动机32的驱动沿着Z轴方向自如地升降。另外，作为Z轴驱动装置，也可以使用电动机和滚珠丝杠的组合以外的各种驱动机构。

为了检测研磨单元的Z轴方向的位置，装配有作为位置检测装置的线性编码器34。在固定底座部件30上设有线性编码器的Z轴标尺35，在可动底座部件41上设有标尺头36。由标尺头读取的位置信息供给至控制器，用作研磨单元相对于基准坐标系的Z轴方向的位置信息。

在可动底座部件41上可更换地装配有带盒45，该带盒45包括卷绕有研磨带42的供给卷筒43和卷起卷筒(卷绕筒)44。研磨带42例如经由四个导向轮和头端部(中心销)46装配在两个卷筒之间，通过与卷筒连结的电动机来以预定的移动速度移动。

图4是用于说明搭载于研磨单元的研磨带移动机构的图。在构成研磨单元的可动底座部件41上，安装有作为旋转驱动装置的第一及第二的两个电动机47及48。第一电动机47驱动供给卷筒43，第二电动机48驱动卷起卷筒44。在配置于研磨带的移动路径中的导向轮上连结有旋转编码器(未图示)。通过该旋转编码器，计测研磨处理中的研磨带的移动长度并且计测研磨处理结束后的带卷起量(带卷绕量)。被计测出的带移动长度以及卷起量向控制器输出。控制器根据来自旋转编码器的输出信号控制研磨带的卷起量以及倒卷量。

在此，对研磨带的移动方向进行说明。在本说明书中，设研磨带的移动方向为从供给卷筒朝向卷起卷筒的方向。具体来说，在图2至图4所示的实施例中，研磨带沿作为龙门结构体的移动方向的Y方向移动。因此，与带移动方向正交的方向成为作为修正头的移动方向的X方向。

图5是用于说明搭载于研磨单元上的头端部的动作的从研磨带的移动方向一侧观察的线图方式侧视图。在可动底座部件41上设有沿X方向延伸的引导部件50。在引导部件50上可沿X方向移动地连结有头端部46。并且，在可动底座部件41上设置有头端部移动机构，该头端部移动机构使头端部46沿X方向移动。在本例中，作为头端部移动机构使用滚珠丝杠机构。滚珠丝杠机构包括安装在可动底座部件41上的第三电动机51、作为其旋转轴的丝杠轴52和与头端部46连结的螺母(未图示)。将研磨带42向突起缺陷53按压的头端部，能够通过引导部件50和滚珠丝杠机构沿X方向移动。并且，设有检测头端部在X方向上的位置的位置检测器(未图示)，将被检测出的头端部在X方向上的位置信息供给至控制器。作为位置检测器，例如可使用线性编码器。另外，作为头端部移动机构可利用各种驱动机构，例如也可以使用线性致动器、直动致动器。

接着，对设置于修正头的光学头进行说明。在可动底座部件41上，装配有用于测定突起缺陷的高度并观察突起缺陷的光学头55。光学头55具有由共焦光学系统构成的摄像装置。该摄像装置包括产生会聚了的线状光束的照明光学系统、通过线状光束扫描工件表面的扫描系统、和接受来自工件表面的反射光的线路传感器，通过利用会聚了的线状光束来扫描工件表面，拍摄工件表面的二维共焦图像。来自线路传感器的输出信号供给至控制器而作为图像信号，工件13表面的二维图像信号被输出并在监视器上显示工件表面的二维图像。因此，操作人员通过经由光学头观察突起缺陷的图像，能够掌握缺陷形状等的性状。并且，通过利用光学头55进行的观察，掌握被修正的突起缺陷的状态，判定由一次修正处理是否在容许范围内被修正，并通过观察结果判定为修正不充分时，能够针对同一突起缺陷进行再次修正处理。

作为共焦光学系统的特性，使照明光束的会聚点相对于工件表面连续地位移而进行Z轴扫描时，如果会聚点(焦点)位于试样表面上，则在受光元件上被检测出最大亮度值。因此，通过将焦点位于工件表面上时的位置信息和焦点位于突起缺陷表面上时的位置信息供给至信息处理装置来进行信号处理，能够计测突起缺陷的高度。

接着，说明研磨单元以及头端部相对于突起缺陷的相对移动。如上所述，在研磨处理中，包括研磨带移动机构及头端部的研磨单元40，通过修正头15的X方向移动，沿与带移动方向正交的第一方向移动。同时，将研磨带42向突起缺陷54按压的头端部46，相对于研磨单元相对地沿着X方向朝作为与第一方向相反的方向的第二方向以与研磨单元的移动速度相同的速度同步移动。因此，在突起缺陷的修正处理中，研磨带42相对于突起缺陷相对地沿着作为与带移动方向正交的方向的第一方向移动。并且，头端部46相对于研磨带沿着作为与第一方向相反的方向的第二方向相对移动，但相对于突起缺陷53则维持静止状态。即，由于通过头端部本身的第二方向的移动来抵消研磨单元的第一方向的移动，因而头端部相对于突起缺陷被维持于静止状态，仅研磨带相对于突起缺陷沿着与带移动方向正交的方向移动。

在本例的缺陷修正装置中，进行控制使得每次研磨处理中将研磨带卷起预定长度，研磨结束后倒卷预定长度并且将研磨单元和头端部返回到原来的位置，然后进行新的研磨处理。在本例中，设对研磨处理进行时间控制，设一次研磨处理时间中的研磨带的卷起量为d1，研磨处理后的倒卷量为d2，卷起量与倒卷量之差，作为一例设为300μm。即，根据经验掌握一次研磨处理中研磨带与突起缺陷接触的宽度至多为200μm左右。因此，把公差计算在内而将研磨处理期间的研磨带的宽度方向间隔设定为300μm。即，设定为d1-d2＝300μm。并且，在使用带宽度为3.81mm的研磨带的情况下，作为一例将研磨单元的与带移动方向正交的方向的移动量W设为3.4mm。

图6表示通过研磨处理形成于研磨带上的研磨的痕迹。其中，为使附图清楚，将研磨痕迹之间的间隔放大图示。研磨带开始与突起缺陷接触并且研磨带开始移动。研磨带开始移动的同时，研磨单元以及头端部的相对移动也开始。在此期间，研磨带移动带长d1并且沿与带移动方向正交的方向(X方向)移动距离W。其结果，在研磨带上，相对于带中心线L倾斜地形成有研磨的痕迹。伴随着研磨时间的结束，研磨单元以及头端部的相对移动也结束。当研磨时间结束时，用于倒卷的电动机驱动，将研磨带倒卷带长d2。并且，在带倒卷的期间，修正头以及头端部返回到原来的位置，研磨单元返回到研磨开始位置并且头端部也移动至开始位置。紧接着，修正头向下一个突起缺陷的地址位置移动，开始进行下一个突起缺陷的修正作业。这样，在本发明的缺陷修正装置中，由于通过研磨处理形成于研磨带上的研磨的痕迹相对于研磨带倾斜地形成，因而可将研磨带的几乎整个表面用于研磨处理。

接着，对本发明缺陷修正方法的算法进行说明。图7是表示本发明缺陷修正装置的修正算法的一例的流程图。在进行研磨前，利用由缺陷检查装置检测出的缺陷的地址信息，使修正头位于突起缺陷的正上方。紧接着，利用光学头观察要修正的突起缺陷并且测定突起缺陷的高度，设定研磨单元的下降量。

在步骤1中，利用缺陷的地址信息，使研磨单元位于要修正的突起缺陷的正上方，开始进行研磨带的下降。由光学头测定研磨单元的下降量。接着，延迟一点时间后开始研磨带的卷起(步骤2)。然后，在步骤3中，与研磨带的卷起的开始对应地开始进行研磨带与头端部的相对移动。即，使研磨单元与头端部同步地沿与带移动方向正交的方向相互朝相反方向以相同的速度移动。其中，在图7中，分别描述了研磨带卷起的开始(步骤2)和研磨头及头端部的相对移动的开始(步骤3)，但也可以同时开始进行上述步骤2和步骤3。

在步骤4中，判定是否经过了预定的研磨时间。在经过了预定的研磨时间的情况下，结束研磨处理(步骤5)。然后，停止研磨带的卷绕、研磨单元的下降以及研磨单元与头端部的相对移动。

在步骤6中，开始进行研磨单元的上升而使其返回到预定的待机位置。

在步骤7中，开始进行研磨带的倒卷，根据与卷绕电动机连结的旋转编码器的输出，倒卷带长d2。另外，研磨带的倒卷量是一例，可根据突起缺陷的特性、研磨目的以及等级等适当设定。

在步骤8中，与研磨带的倒卷对应，分别使研磨单元以及头端部向相反方向移动距离W，利用来自旋转编码器的输出使其移动至研磨开始位置。

在步骤9中，将光学头设定成位于被修正的突起缺陷的正上方，对修正处理后的突起缺陷进行评价。评价的结果，在能确认突起缺陷被修正的情况下，结束研磨处理，转移至下一个突起缺陷的修正。在研磨处理不充分的情况下，使研磨单元下降必要的距离而再次进行研磨。

图8及图9是表示本发明缺陷修正装置的变形例的图，图8是从正面观察研磨单元的线图方式侧视图，图9是从带移动方向观察修正头的线图方式侧视图。在上述实施例中，采用了通过设在龙门结构体上的修正头的X方向移动使研磨带向与带移动方向正交的方向移动的结构。相对于此，在本例中，通过使研磨单元相对于修正头相对移动来使研磨带向与带移动方向正交的方向移动。其中，对与在图2至图6中使用的部件相同的结构要素标注相同的标号并进行说明。在修正头15的固定底座部件30上安装有Z轴驱动用的电动机32。电动机32构成滚珠丝杠机构33，该滚珠丝杠的螺母固定在第一支承部件60上。因此，第一支承部件60沿着两个导轨31a及31b被引导，沿着Z轴方向升降，上述两个导轨31a及31b设置在固定底座部件30上，并沿Z轴方向延伸。在第一支承部件60上安装有在XY面内延伸的第二支撑部件61。

在第二支承部件61上装配有线性电动机62。线性电动机62的定子部件以可沿X轴方向延伸的方式固定在第二支承部件61上。并且，转子部件固定在在XY面内延伸的第三支承部件63上。在第三支承部件63上装配有构成研磨单元的可动底座部件41。如上所述，在可动底座部件41上装配有带移动机构以及头端部移动机构。

在第二支承部件61上装配有沿X轴方向延伸的两个导轨64a及64b。并且，在第三支承部件上安装有分别与导轨64a及64b卡合的滑块65a及65b。并且，在第三支承部件63上装配有线性标尺66，用于检测第三支承部件的X轴方向的位置，即研磨单元及研磨带的X轴方向的位置。线性标尺66的输出信号向控制器供给。当线性电动机62驱动时，支承带移动机构以及头端部移动机构的可动底座部件41沿X轴方向往复移动，研磨单元相对于修正头15沿X轴方向相对移动。并且，由线性标尺66检测研磨带及头端部的X轴方向的位置。

在修正突起缺陷时，根据缺陷的地址信息对头端部进行定位，以使其位于突起缺陷的正上方。紧接着，电动机32驱动而使研磨单元下降，开始进行突起缺陷的修正。同时，包括研磨带42的带移动机构沿着X轴方向开始向第一方向移动。并且，与带移动机构的X轴方向的移动同步，头端部46沿着X轴方向以相同的速度朝与第一方向相反的方向移动。其结果，研磨带相对于要进行修正的突起缺陷沿着与带移动方向正交的X轴方向移动，头端部相对于突起缺陷被维持于静止状态。这样，通过使研磨单元相对于修正头沿着X方向进行相对移动，能够使研磨带沿着与带移动方向正交的方向移动。

图10是表示带倒卷方法的变形例的图。在图10中，符号70表示研磨带，符号71表示形成于研磨带上的研磨痕迹。在上述的实施例中，设定成对应每次研磨处理，将研磨带倒卷预定长度并且将研磨单元及头端部返回到原来的位置，然后进行研磨处理。另一方面，如图10所示，在一次研磨处理后，不使研磨单元及头端部返回到原来的位置，而将刚进行研磨处理后的位置设为起始位置，使研磨带移动比研磨痕迹长的微小距离d3。将该状态设为起始状态，进行另一个突起缺陷的修正。此时，驱动用于倒卷的电动机，一边将研磨带倒卷预定长度一边使研磨单元下降来进行研磨处理。在研磨处理结束后，使研磨带仅移动微小距离d3，接着针对下一个突起缺陷进行研磨处理。在像这样进行研磨处理的情况下，也能够利用研磨带的大致整个表面。

Claims (17)

1.一种缺陷修正装置，利用移动的研磨带对存在于工件表面的突起缺陷进行修正或将其除去，其特征在于，包括：

保持工件的平台；

研磨单元，其对工件进行研磨处理；和

第一移动机构，其使研磨单元相对于平台上的工件，沿着与作为研磨带的移动方向的带移动方向正交的第一方向相对移动，

所述研磨单元包括：

研磨带移动机构，其使所述研磨带移动；

头端部，其以能够相对于所述研磨单元沿着所述第一方向相对移动的方式装配，使所述研磨带与工件表面抵接；和

第二移动机构，其使所述头端部相对于研磨单元沿着所述第一方向相对移动，

在研磨处理中，所述研磨单元和头端部相互同步地沿着所述第一方向朝向相互相反的方向相对移动。

2.如权利要求1所述的缺陷修正装置，其特征在于：

在研磨处理中，所述第一移动机构使研磨单元沿着第一方向相对于工件相对移动，所述第二移动机构使头端部沿着第一方向相对于研磨单元朝向与所述研磨单元的移动方向相反的方向相对移动，所述头端部相对于所述工件大致被维持于静止状态。

3.如权利要求1或2所述的缺陷修正装置，其特征在于，还包括：

相对于所述平台上的工件相对移动的龙门结构体；

使龙门结构体相对移动的移动机构；和

装配于龙门结构体的修正头，

所述研磨单元设置于所述修正头，

作为所述第一移动机构，使用使所述龙门结构体移动的移动机构，在研磨处理中，通过龙门结构体的移动，使研磨单元沿着所述第一方向移动。

4.如权利要求1或2所述的缺陷修正装置，其特征在于，还包括：

相对于所述平台上的工件相对移动的龙门结构体；

装配于龙门结构体并能够相对于工件相对移动的修正头；和

使修正头相对于工件相对移动的移动机构，

所述研磨单元设置于所述修正头，

作为所述第一移动机构，使用使所述修正头相对移动的移动机构，在研磨处理中，通过修正头的移动，使研磨单元沿着所述第一方向移动。

5.如权利要求1或2所述的缺陷修正装置，其特征在于，还包括：

相对于所述平台上的工件相对移动的龙门结构体；和

装配于龙门结构体的修正头，

所述研磨单元以能够相对于修正头相对移动的方式被支承，该研磨单元通过相对于修正头的相对移动而沿着所述第一方向移动。

6.如权利要求1或2所述的缺陷修正装置，其特征在于：

所述头端部具有与研磨带抵接的凸状的弯曲面。

7.如权利要求1或2所述的缺陷修正装置，其特征在于：

所述研磨带移动机构包括：卷绕被使用的研磨带的卷起卷筒；收容有未被使用的研磨带的供给卷筒；将卷起卷筒向卷起方向驱动的第一旋转驱动机构；和将供给卷筒向与所述卷起方向相反的倒卷方向驱动的第二旋转驱动机构，

当设研磨处理中通过第一旋转驱动机构的驱动而被卷绕的研磨带的卷起量为L1，设研磨处理结束后通过第二旋转驱动机构的驱动而被倒卷的倒卷量为L2时，设定为L1＞L2。

8.如权利要求1或2所述的缺陷修正装置，其特征在于：

在研磨处理结束的研磨带的表面上，形成有相对于研磨带的中心线成0°和90°以外的倾斜角度的研磨痕迹。

9.一种缺陷修正装置，利用移动的研磨带对存在于工件表面的突起缺陷进行修正或将其除去，其特征在于，包括：

保持工件的平台；

龙门结构体，其相对于平台沿着一个方向相对移动；

第一移动机构，其使龙门结构体移动；

修正头，其以能够沿着与所述龙门结构体的移动方向正交的方向移动的方式装配于所述龙门结构体；和

第二移动机构，其使修正头移动，

所述修正头包括对工件进行研磨处理的研磨单元和观察存在于工件的缺陷的光学头，

所述研磨单元包括：

研磨带移动机构，其使所述研磨带移动；

头端部，其使所述研磨带与工件表面抵接；

引导机构，其将所述头端部沿着与作为研磨带的移动方向的带移动方向正交的第一方向引导；和

第三移动机构，其使头端部沿着所述引导机构并相对于研磨单元相对移动，

在研磨处理中，研磨单元通过所述第一移动机构或第二移动机构沿着与研磨带的移动方向正交的第一方向移动，所述头端部通过所述第三移动机构相对于研磨单元沿着所述第一方向向与研磨单元的移动方向相反的方向相对移动，

在研磨处理中，所述研磨单元和头端部相互同步地沿着所述第一方向朝向相互相反的方向相对移动，所述头端部相对于要修正的缺陷大致被维持于静止状态。

10.一种缺陷修正装置，利用移动的研磨带对存在于工件表面的突起缺陷进行修正或将其除去，其特征在于，包括：

保持工件的平台；

龙门结构体，其相对于平台沿着一个方向相对移动；和

修正头，其以能够相对于龙门结构体相对移动的方式装配，

所述修正头具有对工件进行研磨处理的研磨单元和使研磨单元沿着第一方向移动的第一移动机构，

所述研磨单元包括：

研磨带移动机构，其使所述研磨带沿着与所述第一方向正交的第二方向移动；

头端部，其以能够沿着所述第一方向相对移动的方式装配，使所述研磨带与工件表面抵接；和

第二移动机构，其使所述头端部沿着第一方向相对于研磨单元相对移动，

在研磨处理中，研磨带向第二方向移动，研磨单元和头端部相互同步地沿着所述第一方向朝向相互相反的方向相对移动，该头端部相对于要修正的缺陷大致被维持于静止状态。

11.一种带研磨装置，利用移动的研磨带对存在于工件表面的突起缺陷进行修正或将其除去，其特征在于，包括：

卷绕研磨带的卷起卷筒；收容有研磨带的供给卷筒；将所述卷起卷筒向卷起研磨带的方向驱动的第一旋转驱动机构；将所述供给卷筒向与卷起方向相反的倒卷方向驱动的第二旋转驱动机构；使研磨带与工件的表面抵接的头端部；和使头端部沿着与带移动方向正交的方向移动的头端部移动机构，

在所述研磨带一边与突起缺陷抵接一边移动的研磨处理中，所述头端部与所述研磨带的移动同步地，相对于移动的研磨带沿着与其移动方向正交的方向相对移动。

12.如权利要求11所述的带研磨装置，其特征在于：

所述头端部移动机构包括：引导机构，其支承头端部并且将头端部沿着与带移动方向正交的方向引导；和移动机构，其使头端部沿着所述引导机构移动。

13.如权利要求12所述的带研磨装置，其特征在于：

所述第一旋转驱动机构、第二旋转驱动机构、引导机构和头端部移动机构装配于单一的支承部件，

在所述研磨处理中，所述头端部通过所述头端部移动机构，相对于所述支承部件沿着与带移动方向正交的方向相对移动。

14.一种缺陷修正方法，其是利用移动的研磨带对存在于工件表面的突起缺陷进行修正或将其除去的方法，其特征在于，包括：

使研磨单元下降，并使研磨带与突起缺陷抵接的工序，其中，该研磨单元搭载有使研磨带移动的研磨带移动机构、使研磨带与存在于工件表面的突起缺陷抵接的头端部、使头端部沿着与作为研磨带的移动方向的带移动方向正交的第一方向移动的头端部移动机构；

使研磨带移动，对工件表面的突起缺陷进行修正的缺陷修正工序；和

在缺陷修正处理结束后，使所述研磨单元上升至预定的位置的工序，

在所述缺陷修正工序中，所述研磨单元和头端部相互同步地，沿着所述第一方向朝向相互相反的方向相对移动。

15.如权利要求14所述的缺陷修正方法，其特征在于：

在所述研磨处理中，所述头端部相对于工件大致被维持于静止状态。

16.如权利要求14或15所述的缺陷修正方法，其特征在于：

所述研磨单元设置于修正头，该修正头能够移动地装配于龙门结构体，该龙门结构体能够相对于配置在平台上的工件相对移动，研磨单元在第一方向上的移动是通过龙门结构体相对于工件的相对移动或修正头相对于工件的相对移动来进行的。

17.如权利要求14或15所述的缺陷修正方法，其特征在于：

所述研磨单元设置于修正头，该修正头能够相对移动地装配于龙门结构体，该龙门结构体能够相对于配置在平台上的工件相对移动，研磨单元以能够相对于修正头在与带移动方向正交的方向上移动的方式装配，所述研磨单元在第一方向上的移动是通过研磨单元相对于修正头的相对移动来进行的。

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