JPH09267241A - 突起欠陥修正装置 - Google Patents
突起欠陥修正装置Info
- Publication number
- JPH09267241A JPH09267241A JP8109296A JP8109296A JPH09267241A JP H09267241 A JPH09267241 A JP H09267241A JP 8109296 A JP8109296 A JP 8109296A JP 8109296 A JP8109296 A JP 8109296A JP H09267241 A JPH09267241 A JP H09267241A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide roller
- guide shaft
- polishing tape
- corrected
- guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 加工能率が高く、しかも研磨テープの有効利
用度が高くて消費量が少ない突起欠陥修正装置を提供す
る。 【解決手段】 研磨テープを収納リール６からガイドロ
ーラー５ｂ又はガイド軸５ａを介して巻取りリール９へ
と送ると共にガイドローラー又はガイド軸の外周部にお
いてＸＹテーブル２に設置された基板１の表面上の突起
欠陥３に接触させることにより、突起欠陥を修正除去す
る突起欠陥修正装置において、ガイドローラ又はガイド
軸に対してガイドローラー又はガイド軸の軸方向と直交
し且つ基板の表面に沿う方向の超音波振動を与える超音
波振動子と、基板をガイドローラー又はガイド軸の軸方
向に研磨テープの幅の２分の１以下の片振幅で往復動さ
せる往復駆動手段とを備え、超音波振動子によってガイ
ドローラー又はガイド軸に超音波振動を与え且つ往復駆
動手段によって基板を往復動させながら突起欠陥を修正
除去するよう構成する。
用度が高くて消費量が少ない突起欠陥修正装置を提供す
る。 【解決手段】 研磨テープを収納リール６からガイドロ
ーラー５ｂ又はガイド軸５ａを介して巻取りリール９へ
と送ると共にガイドローラー又はガイド軸の外周部にお
いてＸＹテーブル２に設置された基板１の表面上の突起
欠陥３に接触させることにより、突起欠陥を修正除去す
る突起欠陥修正装置において、ガイドローラ又はガイド
軸に対してガイドローラー又はガイド軸の軸方向と直交
し且つ基板の表面に沿う方向の超音波振動を与える超音
波振動子と、基板をガイドローラー又はガイド軸の軸方
向に研磨テープの幅の２分の１以下の片振幅で往復動さ
せる往復駆動手段とを備え、超音波振動子によってガイ
ドローラー又はガイド軸に超音波振動を与え且つ往復駆
動手段によって基板を往復動させながら突起欠陥を修正
除去するよう構成する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は突起欠陥修正装置に
関し、特に、液晶表示基板に供せられる、カラーフィル
ター基板、透明電極基板、ガラス基板等の突起欠陥を修
正除去する場合に適用して有用なものであり、更には、
自動車のルームバックミラー用の板ガラスでも無反射コ
ーティング前の突起欠陥が問題となっているため、かか
る突起欠陥を修正除去する場合に適用しても有用であ
る。
関し、特に、液晶表示基板に供せられる、カラーフィル
ター基板、透明電極基板、ガラス基板等の突起欠陥を修
正除去する場合に適用して有用なものであり、更には、
自動車のルームバックミラー用の板ガラスでも無反射コ
ーティング前の突起欠陥が問題となっているため、かか
る突起欠陥を修正除去する場合に適用しても有用であ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、カラーフィルター基板の突起欠陥
修正装置として研磨テープを使用するものは、単に研磨
テープと基板との間に一方向の一定速度の相対運動を与
えることにより、基板表面上の突起欠陥を修正除去する
ものであった。
修正装置として研磨テープを使用するものは、単に研磨
テープと基板との間に一方向の一定速度の相対運動を与
えることにより、基板表面上の突起欠陥を修正除去する
ものであった。
【０００３】図５はかかる突起欠陥修正装置の構成図で
ある。同図に示すように、突起欠陥修正装置は、基板１
を設置するＸＹテーブル２と、研摩テープ４を収納リー
ル６から引出し補助ローラー７，ガイドローラー５及び
補助ローラ８を介して巻取りリール９で巻取るようにし
て矢印ａ方向に送る送り機構とを備えている。
ある。同図に示すように、突起欠陥修正装置は、基板１
を設置するＸＹテーブル２と、研摩テープ４を収納リー
ル６から引出し補助ローラー７，ガイドローラー５及び
補助ローラ８を介して巻取りリール９で巻取るようにし
て矢印ａ方向に送る送り機構とを備えている。
【０００４】そして、研摩テープ４を、前記送り機構に
よって矢印ａ方向に送ると共にガイドローラー５の外周
部においてＸＹテーブル２に設置された基板２の表面上
の突起欠陥３に所定の接触圧力で接触させることによ
り、突起欠陥３を研摩して修正除去する。
よって矢印ａ方向に送ると共にガイドローラー５の外周
部においてＸＹテーブル２に設置された基板２の表面上
の突起欠陥３に所定の接触圧力で接触させることによ
り、突起欠陥３を研摩して修正除去する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の突起欠陥修正装置では、加工能率が低く、また研磨
テープ４の有効利用度が低くて、研磨テープ交換頻度が
高い（消費量が多い）という問題がある。
来の突起欠陥修正装置では、加工能率が低く、また研磨
テープ４の有効利用度が低くて、研磨テープ交換頻度が
高い（消費量が多い）という問題がある。
【０００６】即ち、従来の突起欠陥修正装置では、加工
能率を上げるために突起欠陥３の修正研磨速度を大きく
すには、研摩テープ４の巻取り速度を速くして研磨テー
プ４の送り速度を速くする必要があるが、強度不足によ
るテープ寸断等の機械的な限界もあり、また、その分研
磨テープ４の消費量も多くなる。更に、図６に示すよう
に、一般に使用される研磨テープ４の幅Ｂは３.8ｍｍで
あるのに対して、突起欠陥３の幅ｂは一般に０.3ｍｍ以
下であるため、突起欠陥３を修正除去するために使用さ
れる研摩テープ４の領域は、図中に斜線で示す僅かな領
域１０だけである。このため、研摩テープ４の有効利用
度が低く、消費量が多い。
能率を上げるために突起欠陥３の修正研磨速度を大きく
すには、研摩テープ４の巻取り速度を速くして研磨テー
プ４の送り速度を速くする必要があるが、強度不足によ
るテープ寸断等の機械的な限界もあり、また、その分研
磨テープ４の消費量も多くなる。更に、図６に示すよう
に、一般に使用される研磨テープ４の幅Ｂは３.8ｍｍで
あるのに対して、突起欠陥３の幅ｂは一般に０.3ｍｍ以
下であるため、突起欠陥３を修正除去するために使用さ
れる研摩テープ４の領域は、図中に斜線で示す僅かな領
域１０だけである。このため、研摩テープ４の有効利用
度が低く、消費量が多い。
【０００７】従って本発明は上記従来技術に鑑み、加工
能率が高く、しかも研磨テープの有効利用度が高くて消
費量が少ない突起欠陥修正装置を提供することを課題と
する。
能率が高く、しかも研磨テープの有効利用度が高くて消
費量が少ない突起欠陥修正装置を提供することを課題と
する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する第１
の発明は、設置した被修正部材を研磨テープに対して前
記被修正部材の表面に沿う方向に相対的に移動可能なテ
ーブルと、前記研磨テープを収納リールからガイドロー
ラー又はガイド軸を介して巻取りリールへと送る送り機
構とを有し、前記研摩テープを前記送り機構によって送
ると共に前記ガイドローラー又はガイド軸の外周部にお
いて前記被修正部材の表面上の突起欠陥に接触させるこ
とにより、前記突起欠陥を修正除去する突起欠陥修正装
置において、前記ガイドローラー又はガイド軸に対して
前記ガイドローラー又はガイド軸の軸方向と略直交し且
つ前記被修正部材の表面に沿う方向の超音波振動を与え
る超音波振動子を備え、この超音波振動子によって前記
ガイドローラー又はガイド軸に超音波振動を与えながら
前記突起欠陥を修正除去することを特徴とする。
の発明は、設置した被修正部材を研磨テープに対して前
記被修正部材の表面に沿う方向に相対的に移動可能なテ
ーブルと、前記研磨テープを収納リールからガイドロー
ラー又はガイド軸を介して巻取りリールへと送る送り機
構とを有し、前記研摩テープを前記送り機構によって送
ると共に前記ガイドローラー又はガイド軸の外周部にお
いて前記被修正部材の表面上の突起欠陥に接触させるこ
とにより、前記突起欠陥を修正除去する突起欠陥修正装
置において、前記ガイドローラー又はガイド軸に対して
前記ガイドローラー又はガイド軸の軸方向と略直交し且
つ前記被修正部材の表面に沿う方向の超音波振動を与え
る超音波振動子を備え、この超音波振動子によって前記
ガイドローラー又はガイド軸に超音波振動を与えながら
前記突起欠陥を修正除去することを特徴とする。
【０００９】また、第２の発明は、設置した被修正部材
を研磨テープに対して前記被修正部材の表面に沿う方向
に相対的に移動可能なテーブルと、前記研磨テープを収
納リールからガイドローラー又はガイド軸を介して巻取
りリールへと送る送り機構とを有し、前記研摩テープを
前記送り機構によって送ると共に前記ガイドローラー又
はガイド軸の外周部において前記被修正部材の表面上の
突起欠陥に接触させることにより、前記突起欠陥を修正
除去する突起欠陥修正装置において、前記被修正部材を
前記ガイドローラー又はガイド軸の略軸方向に前記研磨
テープの幅の２分の１以下の片振幅で往復動させる往復
駆動手段を備え、この往復駆動手段によって前記被修正
部材を往復動させながら前記突起欠陥を修正除去するこ
とを特徴とする。
を研磨テープに対して前記被修正部材の表面に沿う方向
に相対的に移動可能なテーブルと、前記研磨テープを収
納リールからガイドローラー又はガイド軸を介して巻取
りリールへと送る送り機構とを有し、前記研摩テープを
前記送り機構によって送ると共に前記ガイドローラー又
はガイド軸の外周部において前記被修正部材の表面上の
突起欠陥に接触させることにより、前記突起欠陥を修正
除去する突起欠陥修正装置において、前記被修正部材を
前記ガイドローラー又はガイド軸の略軸方向に前記研磨
テープの幅の２分の１以下の片振幅で往復動させる往復
駆動手段を備え、この往復駆動手段によって前記被修正
部材を往復動させながら前記突起欠陥を修正除去するこ
とを特徴とする。
【００１０】また、第３の発明は、設置した被修正部材
を研磨テープに対して前記被修正部材の表面に沿う方向
に相対的に移動可能なテーブルと、前記研磨テープを収
納リールからガイドローラー又はガイド軸を介して巻取
りリールへと送る送り機構とを有し、前記研摩テープを
前記送り機構によって送ると共に前記ガイドローラー又
はガイド軸の外周部において前記被修正部材の表面上の
突起欠陥に接触させることにより、前記突起欠陥を修正
除去する突起欠陥修正装置において、前記ガイドローラ
又はガイド軸に対して前記ガイドローラー又はガイド軸
の軸方向と略直交し且つ前記被修正部材の表面に沿う方
向の超音波振動を与える超音波振動子と、前記被修正部
材を前記ガイドローラー又はガイド軸の略軸方向に前記
研磨テープの幅の２分の１以下の片振幅で往復動させる
往復駆動手段とを備え、前記超音波振動子によって前記
ガイドローラー又はガイド軸に超音波振動を与え且つ前
記往復駆動手段によって前記被修正部材を往復動させな
がら前記突起欠陥を修正除去することを特徴とする。
を研磨テープに対して前記被修正部材の表面に沿う方向
に相対的に移動可能なテーブルと、前記研磨テープを収
納リールからガイドローラー又はガイド軸を介して巻取
りリールへと送る送り機構とを有し、前記研摩テープを
前記送り機構によって送ると共に前記ガイドローラー又
はガイド軸の外周部において前記被修正部材の表面上の
突起欠陥に接触させることにより、前記突起欠陥を修正
除去する突起欠陥修正装置において、前記ガイドローラ
又はガイド軸に対して前記ガイドローラー又はガイド軸
の軸方向と略直交し且つ前記被修正部材の表面に沿う方
向の超音波振動を与える超音波振動子と、前記被修正部
材を前記ガイドローラー又はガイド軸の略軸方向に前記
研磨テープの幅の２分の１以下の片振幅で往復動させる
往復駆動手段とを備え、前記超音波振動子によって前記
ガイドローラー又はガイド軸に超音波振動を与え且つ前
記往復駆動手段によって前記被修正部材を往復動させな
がら前記突起欠陥を修正除去することを特徴とする。
【００１１】従って、上記第１の発明の突起欠陥修正装
置によれば、超音波振動子によってガイドローラー又は
ガイド軸に超音波振動を与えると、これに伴って研摩テ
ープも超音波振動する。このことによって、突起欠陥と
研磨テープとの間に被修正部材の表面に沿う方向の相対
的な超音波振動を与えることになるため、研磨テープ表
面の微小砥粒による突起欠陥の切削速度が大幅に高ま
る。
置によれば、超音波振動子によってガイドローラー又は
ガイド軸に超音波振動を与えると、これに伴って研摩テ
ープも超音波振動する。このことによって、突起欠陥と
研磨テープとの間に被修正部材の表面に沿う方向の相対
的な超音波振動を与えることになるため、研磨テープ表
面の微小砥粒による突起欠陥の切削速度が大幅に高ま
る。
【００１２】また上記第２の発明の突起欠陥修正装置に
よれば、往復駆動手段によって被修正部材を往復動させ
ることにより、突起欠陥の研摩テープと接する点の軌跡
が、従来のような研摩テープの長手方向に連続する直線
から同長手方向に連続する正弦波状の曲線となる。この
ことにより、研磨テープ表面が有効に活用される。
よれば、往復駆動手段によって被修正部材を往復動させ
ることにより、突起欠陥の研摩テープと接する点の軌跡
が、従来のような研摩テープの長手方向に連続する直線
から同長手方向に連続する正弦波状の曲線となる。この
ことにより、研磨テープ表面が有効に活用される。
【００１３】また上記第３の発明の突起欠陥修正装置に
よれば、往復駆動手段によって被修正部材を往復動さ
せ、且つ超音波振動子によって研摩テープを超音波振動
させることにより、突起欠陥の研摩テープと接する点の
軌跡が、前記正弦波状の曲線に前記長手方向の高周波成
分の振動（超音波振動）が重畳したような軌跡となり、
単に超音波振動を与えるだけの場合に比べて、常に研摩
テープの新生面が突起欠陥に接することになる。従っ
て、実質的な加工速度をより高めると同時に、研磨テー
プの有効利用度もより高めることができる。
よれば、往復駆動手段によって被修正部材を往復動さ
せ、且つ超音波振動子によって研摩テープを超音波振動
させることにより、突起欠陥の研摩テープと接する点の
軌跡が、前記正弦波状の曲線に前記長手方向の高周波成
分の振動（超音波振動）が重畳したような軌跡となり、
単に超音波振動を与えるだけの場合に比べて、常に研摩
テープの新生面が突起欠陥に接することになる。従っ
て、実質的な加工速度をより高めると同時に、研磨テー
プの有効利用度もより高めることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基ずき詳細に説明する。
に基ずき詳細に説明する。
【００１５】図１は本発明の実施の形態に係る突起欠陥
修正装置の構成図、図２は超音波振動子の構成を示す図
１のＡーＡ線矢視断面図、図３は超音波振動子の他の構
成を示す図１のＡーＡ線矢視断面図、図４は本発明の実
施の形態に係る突起欠陥修正装置の作用効果の説明図で
ある。
修正装置の構成図、図２は超音波振動子の構成を示す図
１のＡーＡ線矢視断面図、図３は超音波振動子の他の構
成を示す図１のＡーＡ線矢視断面図、図４は本発明の実
施の形態に係る突起欠陥修正装置の作用効果の説明図で
ある。
【００１６】図１に示すように、本実施の形態に係る突
起欠陥修正装置は、基板１を設置するＸＹテーブル２
と、研摩テープ４を収納リール６から引出し補助ローラ
ー７，ガイド軸５ａ（ガイドローラー５ｂについては後
述）及び補助ローラ８を介して巻取りリール９で巻取る
ようにして矢印ａ方向に送る送り機構とを備えている。
起欠陥修正装置は、基板１を設置するＸＹテーブル２
と、研摩テープ４を収納リール６から引出し補助ローラ
ー７，ガイド軸５ａ（ガイドローラー５ｂについては後
述）及び補助ローラ８を介して巻取りリール９で巻取る
ようにして矢印ａ方向に送る送り機構とを備えている。
【００１７】ＸＹテーブル２は、図示しない既存技術に
よる機構によって、図１中の左右方向（Ｘ方向）及び図
１の紙面に垂直な方向（Ｙ方向）に駆動位置決めされ、
また、研磨テープ４が矢印ａ方向に移動する際、Ｙ方向
（即ち、ガイド軸５ａの軸方向）に研磨テープ４の幅の
２分の１以下の片振幅で往復動されるよう構成されてい
る。
よる機構によって、図１中の左右方向（Ｘ方向）及び図
１の紙面に垂直な方向（Ｙ方向）に駆動位置決めされ、
また、研磨テープ４が矢印ａ方向に移動する際、Ｙ方向
（即ち、ガイド軸５ａの軸方向）に研磨テープ４の幅の
２分の１以下の片振幅で往復動されるよう構成されてい
る。
【００１８】研摩テープ５は、前記送り機構によって矢
印ａ方向に送られると共にガイドローラー５の外周部に
おいてＸＹテーブル２に設置された基板２の表面上の突
起欠陥３に所定の接触圧力で接触する。
印ａ方向に送られると共にガイドローラー５の外周部に
おいてＸＹテーブル２に設置された基板２の表面上の突
起欠陥３に所定の接触圧力で接触する。
【００１９】また、収納リール６と巻取りリール９は、
それぞれ図示しないモータ及び制御装置によってトルク
制御されており、研磨テープ４は、常時テンションを与
えられた状態で、ガイド軸５ａに巻角θで接触してい
る。
それぞれ図示しないモータ及び制御装置によってトルク
制御されており、研磨テープ４は、常時テンションを与
えられた状態で、ガイド軸５ａに巻角θで接触してい
る。
【００２０】ガイド軸５ａには、図２に示すように、超
音波振動子３１が設けられている。即ち、超音波振動子
３１は、右側振動子１２ａ，１３ａ、電極板１４ａ，１
５ａ、絶縁体１６、及び左側振動子１２ｂ，１３ｂ、電
極板１４ｂ，１５ｂを有してなるものであり、ガイド軸
５ａは、この超音波振動子３１を介して、ボルト１１に
よりフランジ７に取り付けられている。振動子１２ａ，
１３ａ，１２ｂ，１３ｂは、圧電素子であり、電圧を加
えることによって体積膨張する。
音波振動子３１が設けられている。即ち、超音波振動子
３１は、右側振動子１２ａ，１３ａ、電極板１４ａ，１
５ａ、絶縁体１６、及び左側振動子１２ｂ，１３ｂ、電
極板１４ｂ，１５ｂを有してなるものであり、ガイド軸
５ａは、この超音波振動子３１を介して、ボルト１１に
よりフランジ７に取り付けられている。振動子１２ａ，
１３ａ，１２ｂ，１３ｂは、圧電素子であり、電圧を加
えることによって体積膨張する。
【００２１】従って、左右の電極板１４ａ，１５ａと１
４ｂ，１５ｂとに、図示しない高周波電源によって異な
った位相の高周波電圧を加えると、ガイド軸５ａは、左
右の振動子１２ａ，１３ａと１２ｂ，１３ｂとの作用に
より、曲げ振動を受けて、矢印ｃ・ｄ方向（即ち、ガイ
ド軸５ａの軸方向と直交し且つ基板１の表面に沿う方
向）に超音波振動するようになっている。そして、巻角
θを充分大きくすると共に研磨テープ４のテンションも
充分大きくすることにより、研磨テープ４の突起欠陥３
と接触している部分も、ガイド軸５ａと一体となって超
音波振動する。
４ｂ，１５ｂとに、図示しない高周波電源によって異な
った位相の高周波電圧を加えると、ガイド軸５ａは、左
右の振動子１２ａ，１３ａと１２ｂ，１３ｂとの作用に
より、曲げ振動を受けて、矢印ｃ・ｄ方向（即ち、ガイ
ド軸５ａの軸方向と直交し且つ基板１の表面に沿う方
向）に超音波振動するようになっている。そして、巻角
θを充分大きくすると共に研磨テープ４のテンションも
充分大きくすることにより、研磨テープ４の突起欠陥３
と接触している部分も、ガイド軸５ａと一体となって超
音波振動する。
【００２２】ところで、上記の突起欠陥修正装置では、
回転しない固定のガイド軸５ａを備えているが、この理
由は、上記の如く接触方式の超音波振動子３１で超音波
振動を伝達する場合、転がり軸受け等が介在すると、超
音波振動が減衰してしまう可能性が高いからである。こ
のため、上記の如く固定のガイド軸５ａを備え、このガ
イド軸５ａ上を研磨テープ４が滑る構造とした。
回転しない固定のガイド軸５ａを備えているが、この理
由は、上記の如く接触方式の超音波振動子３１で超音波
振動を伝達する場合、転がり軸受け等が介在すると、超
音波振動が減衰してしまう可能性が高いからである。こ
のため、上記の如く固定のガイド軸５ａを備え、このガ
イド軸５ａ上を研磨テープ４が滑る構造とした。
【００２３】しかしながら、研磨テープ４の裏面にも砥
粒が付着していることもあり、ガイド軸５ａと研磨テー
プ４の裏面とが滑ることによって、ガイド軸５ａの磨耗
が懸念される。そこで、かかる懸念のない突起欠陥修正
装置の構成について、次に説明する。
粒が付着していることもあり、ガイド軸５ａと研磨テー
プ４の裏面とが滑ることによって、ガイド軸５ａの磨耗
が懸念される。そこで、かかる懸念のない突起欠陥修正
装置の構成について、次に説明する。
【００２４】この突起欠陥修正装置は、図１に示すよう
に、上記の突起欠陥修正装置におけるガイド軸５ａに代
えてガイドローラー５ｂを備えたものであり、このガイ
ドローラー５ｂに係る構成以外の部分は上記の突起欠陥
修正装置と同様である。
に、上記の突起欠陥修正装置におけるガイド軸５ａに代
えてガイドローラー５ｂを備えたものであり、このガイ
ドローラー５ｂに係る構成以外の部分は上記の突起欠陥
修正装置と同様である。
【００２５】図３に示すように、ガイドローラー５ｂ
は、転がり軸受け１８，１９を介してフランジ１７に回
転可能に支持されており、先端部が研磨テープ４の送り
に伴って連れ回りする。
は、転がり軸受け１８，１９を介してフランジ１７に回
転可能に支持されており、先端部が研磨テープ４の送り
に伴って連れ回りする。
【００２６】そして、このガイドローラー５ｂには、非
接触式の超音波振動子３２が設けられている。即ち、ガ
イドローラー５ｂの軸部分には円筒状の磁歪素子２０が
嵌合され、この磁歪素子２０の左右にはヨーク２１ａ，
２１ｂが配置され、これらのヨーク２１ａ，２１ｂには
コイル２２ａ，２２ｂが設けられ、更に、これらのコイ
ル２２ａ，２２ｂには高周波電源２３ａ，２３ｂが接続
されており、コイル２２ａ，２２ｂと高周波電源２３
ａ，２３ｂとによって、ヨーク２１ａ，２１ｂには、図
中に破線で示すような方向の磁界が発生するようになっ
ている。
接触式の超音波振動子３２が設けられている。即ち、ガ
イドローラー５ｂの軸部分には円筒状の磁歪素子２０が
嵌合され、この磁歪素子２０の左右にはヨーク２１ａ，
２１ｂが配置され、これらのヨーク２１ａ，２１ｂには
コイル２２ａ，２２ｂが設けられ、更に、これらのコイ
ル２２ａ，２２ｂには高周波電源２３ａ，２３ｂが接続
されており、コイル２２ａ，２２ｂと高周波電源２３
ａ，２３ｂとによって、ヨーク２１ａ，２１ｂには、図
中に破線で示すような方向の磁界が発生するようになっ
ている。
【００２７】従って、高周波電源２３ａ，２３ｂによっ
てコイル２２ａ，２２ｂに逆位相の高周波電圧をかける
と、磁歪素子２０は、図中の左右の部分で逆位相の高周
波の伸縮をする。この磁歪素子２０の伸縮は、ガイドロ
ーラー５ｂに曲げの超音波振動を引き起こす。その結
果、ガイドローラー５ｂの先端部は、矢印ｃ・ｄ方向
（即ち、ガイドローラー５ｂの軸方向と直交し且つ基板
１の表面に沿う方向）に超音波振動する。そして、上記
と同様に、研磨テープ４の突起欠陥３と接触している部
分も、ガイドローラー５ｂと一体となって超音波振動す
る。
てコイル２２ａ，２２ｂに逆位相の高周波電圧をかける
と、磁歪素子２０は、図中の左右の部分で逆位相の高周
波の伸縮をする。この磁歪素子２０の伸縮は、ガイドロ
ーラー５ｂに曲げの超音波振動を引き起こす。その結
果、ガイドローラー５ｂの先端部は、矢印ｃ・ｄ方向
（即ち、ガイドローラー５ｂの軸方向と直交し且つ基板
１の表面に沿う方向）に超音波振動する。そして、上記
と同様に、研磨テープ４の突起欠陥３と接触している部
分も、ガイドローラー５ｂと一体となって超音波振動す
る。
【００２８】次に、図４に基づき本実施の形態に係る突
起欠陥修正装置の作用効果について説明する。
起欠陥修正装置の作用効果について説明する。
【００２９】研磨テープ４を一定速度で送ると共に、Ｘ
Ｙテーブル２をＹ方向に往復動させて基板１を同方向に
往復動させ、、且つガイド軸５ａ又はガイドローラー５
ｂを矢印ｃ・ｄ方向に超音波振動させて研摩テープ４を
同方向に超音波振動させると、突起欠陥３の研摩テープ
４と接触する任意の点の軌跡は、従来研摩テープ４の長
手方向に連続する単なる直線であったのに対し、図４に
示すように、同長手方向に連続する正弦波状の曲線に同
長手方向の高周波成分の振動（超音波振動）が重畳した
ような軌跡３０となる。つまり、基板１の往復動によっ
て軌跡３０の主成分である正弦波状の曲線となり、この
正弦波状の曲線に、研摩テープ４の超音波振動による高
周波成分の振動が重畳される。
Ｙテーブル２をＹ方向に往復動させて基板１を同方向に
往復動させ、、且つガイド軸５ａ又はガイドローラー５
ｂを矢印ｃ・ｄ方向に超音波振動させて研摩テープ４を
同方向に超音波振動させると、突起欠陥３の研摩テープ
４と接触する任意の点の軌跡は、従来研摩テープ４の長
手方向に連続する単なる直線であったのに対し、図４に
示すように、同長手方向に連続する正弦波状の曲線に同
長手方向の高周波成分の振動（超音波振動）が重畳した
ような軌跡３０となる。つまり、基板１の往復動によっ
て軌跡３０の主成分である正弦波状の曲線となり、この
正弦波状の曲線に、研摩テープ４の超音波振動による高
周波成分の振動が重畳される。
【００３０】軌跡が正弦波状の曲線となることだけで
も、従来に比べて研摩テープ４の有効利用度が高まる。
一方、研摩テープ４が超音波振動することだけでも、突
起欠陥３と研磨テープ４との間に基板１の表面に沿う方
向の相対的な超音波振動を与えることになるため、研磨
テープ表面の微小砥粒による突起欠陥の切削速度が大幅
に高まる。
も、従来に比べて研摩テープ４の有効利用度が高まる。
一方、研摩テープ４が超音波振動することだけでも、突
起欠陥３と研磨テープ４との間に基板１の表面に沿う方
向の相対的な超音波振動を与えることになるため、研磨
テープ表面の微小砥粒による突起欠陥の切削速度が大幅
に高まる。
【００３１】そして、本実施の形態に係る突起欠陥修正
装置では、正弦波状の曲線に超音波振動が重畳したよう
な軌跡となるため、単に超音波振動を与えるだけの場合
に比べて、常に研摩テープ４の新生面が突起欠陥３に接
することになる。従って、実質的な加工速度をより高め
ると同時に、研磨テープの有効利用度もより高めること
ができる。
装置では、正弦波状の曲線に超音波振動が重畳したよう
な軌跡となるため、単に超音波振動を与えるだけの場合
に比べて、常に研摩テープ４の新生面が突起欠陥３に接
することになる。従って、実質的な加工速度をより高め
ると同時に、研磨テープの有効利用度もより高めること
ができる。
【００３２】以上のように、本実施の形態に係る突起欠
陥修正装置によれば、研摩テープ４の有効利用度を格段
と高めるだけでなく、加工能率を高めて突起欠陥修正時
間を短縮することもできる。従って、研摩テープの消費
量が少なく、且つ生産性が高い。
陥修正装置によれば、研摩テープ４の有効利用度を格段
と高めるだけでなく、加工能率を高めて突起欠陥修正時
間を短縮することもできる。従って、研摩テープの消費
量が少なく、且つ生産性が高い。
【００３３】なお、ここで研摩テープ４が超音波振動す
ることによる突起欠陥３の切削速度の増加について、具
体例を挙げて説明する。従来の突起欠陥修正装置では研
摩テープ送り速度の制約から研摩テープ表面の微小砥粒
による突起欠陥の切削速度が小さくなっている。例え
ば、従来の突起欠陥修正装置の研磨テープ送り速度は、
１ｍｍ／秒〜２５ｍｍ／秒である。これに対して、片振
幅３μｍ、周波数４０ＫＨｚの超音波振動を加えた場
合、最大切削速度は、０.003ｍｍ×４０×１０3 ×２π
／秒＝７５４ｍｍ／秒となり、従来の約３０倍の切削速
度となる。
ることによる突起欠陥３の切削速度の増加について、具
体例を挙げて説明する。従来の突起欠陥修正装置では研
摩テープ送り速度の制約から研摩テープ表面の微小砥粒
による突起欠陥の切削速度が小さくなっている。例え
ば、従来の突起欠陥修正装置の研磨テープ送り速度は、
１ｍｍ／秒〜２５ｍｍ／秒である。これに対して、片振
幅３μｍ、周波数４０ＫＨｚの超音波振動を加えた場
合、最大切削速度は、０.003ｍｍ×４０×１０3 ×２π
／秒＝７５４ｍｍ／秒となり、従来の約３０倍の切削速
度となる。
【００３４】
【発明の効果】以上、発明の実施の形態と共に具体的に
説明したように、本発明の突起欠陥修正装置によれば、
研摩テープに超音波振動を与えることにより、突起欠陥
の切削速度を大幅に高めることができる。
説明したように、本発明の突起欠陥修正装置によれば、
研摩テープに超音波振動を与えることにより、突起欠陥
の切削速度を大幅に高めることができる。
【００３５】また、被修正部材を往復動させることによ
り、研摩テープの有効利用度を高めることができる。
り、研摩テープの有効利用度を高めることができる。
【００３６】更には、研摩テープに超音波振動を与え且
つ被修正部材を往復動させることにより、実質的な加工
速度をより高めると同時に、研磨テープの有効利用度も
より高めることができる。
つ被修正部材を往復動させることにより、実質的な加工
速度をより高めると同時に、研磨テープの有効利用度も
より高めることができる。
【００３７】以上のことから、研摩テープの消費量が少
く、また、生産性が高い突起欠陥修正装置を提供するこ
とができる。
く、また、生産性が高い突起欠陥修正装置を提供するこ
とができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る突起欠陥修正装置の
構成図である。
構成図である。
【図２】超音波振動子の構成を示す図１のＡーＡ線矢視
断面図である。
断面図である。
【図３】超音波振動子の他の構成を示す図１のＡーＡ線
矢視断面図である。
矢視断面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る突起欠陥修正装置の
作用効果の説明図である。
作用効果の説明図である。
【図５】従来の突起欠陥修正装置の構成図である。
【図６】従来の突起欠陥修正装置の問題点の説明図であ
る。
る。
１ 基板 ２ ＸＹテーブル ３ 突起欠陥 ４ 研摩テープ ５ａ ガイド軸 ５ｂ ガイドローラー ６ 収納リール ９ 巻取りリール １１ ボルト １２ａ，１３ａ 右側振動子 １２ｂ，１３ｂ 左側振動子 １４ａ，１５ａ，１４ｂ，１５ｂ 電極板 １６ 絶縁体 ２０ 磁歪素子 ２１ａ，２１ｂ ヨーク ２２ａ，２２ｂ コイル ２３ａ，２３ｂ 高周波電源 ３１，３２ 超音波振動子
Claims (3)
- 【請求項１】 設置した被修正部材を研磨テープに対し
て前記被修正部材の表面に沿う方向に相対的に移動可能
なテーブルと、前記研磨テープを収納リールからガイド
ローラー又はガイド軸を介して巻取りリールへと送る送
り機構とを有し、前記研摩テープを前記送り機構によっ
て送ると共に前記ガイドローラー又はガイド軸の外周部
において前記被修正部材の表面上の突起欠陥に接触させ
ることにより、前記突起欠陥を修正除去する突起欠陥修
正装置において、 前記ガイドローラー又はガイド軸に対して前記ガイドロ
ーラー又はガイド軸の軸方向と略直交し且つ前記被修正
部材の表面に沿う方向の超音波振動を与える超音波振動
子を備え、この超音波振動子によって前記ガイドローラ
ー又はガイド軸に超音波振動を与えながら前記突起欠陥
を修正除去することを特徴とする突起欠陥修正装置。 - 【請求項２】 設置した被修正部材を研磨テープに対し
て前記被修正部材の表面に沿う方向に相対的に移動可能
なテーブルと、前記研磨テープを収納リールからガイド
ローラー又はガイド軸を介して巻取りリールへと送る送
り機構とを有し、前記研摩テープを前記送り機構によっ
て送ると共に前記ガイドローラー又はガイド軸の外周部
において前記被修正部材の表面上の突起欠陥に接触させ
ることにより、前記突起欠陥を修正除去する突起欠陥修
正装置において、 前記被修正部材を前記ガイドローラー又はガイド軸の略
軸方向に前記研磨テープの幅の２分の１以下の片振幅で
往復動させる往復駆動手段を備え、この往復駆動手段に
よって前記被修正部材を往復動させながら前記突起欠陥
を修正除去することを特徴とする突起欠陥修正装置。 - 【請求項３】 設置した被修正部材を研磨テープに対し
て前記被修正部材の表面に沿う方向に相対的に移動可能
なテーブルと、前記研磨テープを収納リールからガイド
ローラー又はガイド軸を介して巻取りリールへと送る送
り機構とを有し、前記研摩テープを前記送り機構によっ
て送ると共に前記ガイドローラー又はガイド軸の外周部
において前記被修正部材の表面上の突起欠陥に接触させ
ることにより、前記突起欠陥を修正除去する突起欠陥修
正装置において、 前記ガイドローラ又はガイド軸に対して前記ガイドロー
ラー又はガイド軸の軸方向と略直交し且つ前記被修正部
材の表面に沿う方向の超音波振動を与える超音波振動子
と、前記被修正部材を前記ガイドローラー又はガイド軸
の略軸方向に前記研磨テープの幅の２分の１以下の片振
幅で往復動させる往復駆動手段とを備え、前記超音波振
動子によって前記ガイドローラー又はガイド軸に超音波
振動を与え且つ前記往復駆動手段によって前記被修正部
材を往復動させながら前記突起欠陥を修正除去すること
を特徴とする突起欠陥修正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8109296A JPH09267241A (ja) | 1996-04-03 | 1996-04-03 | 突起欠陥修正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8109296A JPH09267241A (ja) | 1996-04-03 | 1996-04-03 | 突起欠陥修正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09267241A true JPH09267241A (ja) | 1997-10-14 |
Family
ID=13736755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8109296A Withdrawn JPH09267241A (ja) | 1996-04-03 | 1996-04-03 | 突起欠陥修正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09267241A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008093740A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Lasertec Corp | 突起欠陥補修装置 |
| KR100967418B1 (ko) * | 2008-05-06 | 2010-07-01 | 주식회사 두리정밀 | 리벳 돌기부 제거장치 |
| JP4505600B1 (ja) * | 2009-06-19 | 2010-07-21 | レーザーテック株式会社 | 欠陥修正方法及び装置 |
| JP2013539417A (ja) * | 2010-09-02 | 2013-10-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 工作機械 |
-
1996
- 1996-04-03 JP JP8109296A patent/JPH09267241A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008093740A (ja) * | 2006-10-06 | 2008-04-24 | Lasertec Corp | 突起欠陥補修装置 |
| KR100967418B1 (ko) * | 2008-05-06 | 2010-07-01 | 주식회사 두리정밀 | 리벳 돌기부 제거장치 |
| JP4505600B1 (ja) * | 2009-06-19 | 2010-07-21 | レーザーテック株式会社 | 欠陥修正方法及び装置 |
| CN101927444A (zh) * | 2009-06-19 | 2010-12-29 | 雷射科技股份有限公司 | 缺陷修正方法以及装置 |
| JP2011000678A (ja) * | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Lasertec Corp | 欠陥修正方法及び装置 |
| JP2013539417A (ja) * | 2010-09-02 | 2013-10-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 工作機械 |
| US9327377B2 (en) | 2010-09-02 | 2016-05-03 | Robert Bosch Gmbh | Machine tool, in particular hand-held machine tool |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2012005309A (ja) | 振動型駆動装置 | |
| JPH1132491A (ja) | 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 | |
| JP2008284683A (ja) | 基板の振動により基板のノッチを研磨する方法及び装置 | |
| JP2001218481A (ja) | 圧電駆動体、超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器 | |
| KR0158005B1 (ko) | 경면 폴리싱 장치 | |
| JPH05200659A (ja) | 超音波研磨装置 | |
| JP4197196B2 (ja) | 圧電アクチュエータもしくは超音波モータを利用したステージ及びこのステージを用いた電子機器、印刷装置 | |
| JPH09267241A (ja) | 突起欠陥修正装置 | |
| JP3434672B2 (ja) | 小型回転式アクチュエータ及び小型回転式アクチュエータの共振周波数補正方法 | |
| JP2011015552A (ja) | 駆動装置 | |
| JP4088061B2 (ja) | 振動切削方法および振動切削装置 | |
| JP4953892B2 (ja) | 超音波洗浄装置及び方法 | |
| US20040137830A1 (en) | Lapping method and lapping machine | |
| JP7311098B2 (ja) | 振動切削装置、振動装置および切削方法 | |
| JP2002301601A (ja) | 加工装置および加工方法 | |
| JP2001062700A (ja) | ワイヤソー | |
| JPH11138395A (ja) | 超音波振動テープ研磨装置 | |
| JPH1158206A (ja) | 研磨装置、及び研磨方法 | |
| JPH11291167A (ja) | 研磨装置及び研磨方法 | |
| JP3457972B2 (ja) | 表面研磨仕上装置 | |
| JP3616712B2 (ja) | 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器 | |
| KR100516807B1 (ko) | 초음파진동을 이용한 미세가공장치 | |
| JP7205163B2 (ja) | 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置、ロボットおよびプリンター | |
| JPH02212071A (ja) | 水晶素板ポリッシュ加工装置 | |
| JPH1148339A (ja) | 超音波溶着溶断装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030603 |