JP2008093740A - 突起欠陥補修装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨テープを収納する収納リール(8)と連結するテンションモータ(10)は、供給される駆動電流に応じて回転トルクを発生するDCモータで構成する。制御回路(30)は、研磨テープの走行速度を検出する第2のエンコーダ(19)からの出力に基づいてテープの走行速度を所定の速度に維持すると共に、テンションモータ(10)の回転速度を検出する第1のエンコーダ(14)からの出力に基づき研磨テープに作用するテンションが一定になるようにテンションモータの駆動電流を制御する。この結果、研磨テープの使用開始時から終了するまで良好な研磨性能が維持される。また、研磨終了後所定のテープ長だけ巻き戻してから次の突起欠陥を研磨するので、テープを空送りしても、研磨テープが無駄に消費される不具合が解消される。
【選択図】図1
Description
本発明の別の目的は、安定したテープ走行状態が維持されると共に研磨テープの利用効率が大幅に改善された突起欠陥補修装置を提供することにある。
前記研磨ヘッドは、
テープカセットが装着された際前記巻取りリールと連結し、研磨テープを巻取り方向に走行させる巻取りモータと、
テープカセットが装着された際前記収納リールと連結し、供給される駆動電流に応じて、研磨テープに対して巻取り方向とは反対の巻き戻し方向にテンションを作用させるテンションモータと、
研磨テープの走行速度を検出するテープ速度検出手段と、
前記テンションモータの回転速度を検出する回転速度検出手段とを有し、
前記制御手段は、前記テープ速度検出手段からの出力と回転速度検出手段からの出力とに基づいて、研磨テープに所定のテンションが作用するように、前記テンションモータに供給される駆動電流量を制御することを特徴とする。
前記研磨ヘッドは、
テープカセットが装着された際前記巻取りリールと連結し、研磨テープを巻取り方向に走行させる巻取りモータと、
テープカセットが装着された際前記収納リールと連結し、供給される駆動電流に応じて、研磨テープに対して巻取り方向とは反対の巻き戻し方向にテンションを作用させるテンションモータと、
研磨テープの走行速度を検出するテープ速度検出手段と、
前記テンションモータの回転速度を検出する回転速度検出手段と、
基板と研磨ヘッドとの間のギャップを検出してギャップ信号を発生するギャップ検出手段とを有し、
前記制御手段は、突起欠陥の補修に際し、研磨ヘッドを基板に向けて降下させた後、前記テンションモータ及び巻取りモータに駆動電流を供給して研磨テープの巻取り方向の走行を開始させ、突起欠陥の研磨が終了した後研磨ヘッドを所定の位置まで上昇させると共に研磨テープの走行を停止させ、その後、前記テンションモータに駆動電流を供給して研磨テープを所定のテープ長だけ巻き戻すように制御することを特徴とすることを特徴とする。
また、制御回路は、研磨処理が終了した後、空送りしたテープ長だけ巻き戻す構成を採用しているため、研磨テープの使用効率が格段に向上する。
r=v/ω (1)
研磨テープに作用するテンションT(N)は、テンションモータに作用するトルクをM(N・m)とすると、以下の式で与えられる。
T=M/r (2)
テンションモータから発生するトルクMは、摩擦の影響を無視すると、テンションモータに供給される電流量Iに比例し、以下の式で与えられる。
M=Km×I ここで、Kmは係数である。
上式より、テンションモータに供給される電流量Iは以下の式で与えられる。
I=(T・v/Km)/ω (3)
(3)式において、研磨テープに作用するテンションTは研磨性能の観点より定めた力所定の値に維持され、研磨テープの走行速度vも一定値に維持される。従って、研磨テープに作用するテンションTを、収納リールに残存する研磨テープのテープ径にかかわらず一定値に維持するためには、第1のエンコーダ14により検出されるテンションモータの角速度ωに反比例した駆動電流をテンションモータに供給すればよいことになる。上述した観点に基づき、本発明では、研磨テープの走行速度を第2のエンコーダ11により検出し、エンコーダからの出力に基づき一定の走行速度となるように制御すると共に、テンションモータの回転速度を第2のエンコーダ14により検出し、検出された回転速度情報に基づいて研磨テープに作用するテンションが所定の値に維持されるように制御する。
さらに、ギャップセンサ(図示せず)により検出されたギャップ情報(研磨ヘッドと基板との間の距離ないしギャップを示す情報)も制御回路30に供給し、駆動回路33により駆動信号を発生して昇降機構2の駆動を制御する。
ダンパが装着されていない場合いずれの走行速度でもエッジ傷が発生した。これに対して、ロータリダンパが装着された場合、エッジ傷の発生は皆無であった。このように、供給される駆動電流量に対応した回転トルクを発生するテンションモータにロータリダンパを装着した場合、エッジ傷の発生は皆無であり、エッジ傷の発生防止に対して極めて効果的である。
2 昇降機構
3 xyステージ
4 カラーフィルタ基板
5 ヘッド本体
6 テープカセット
7 研磨テープ
8 収納リール
9 巻取りリール
10 テンションモータ
11 巻取りモータ
12,13 プーリー
14 第1のエンコーダ
15 ロータリダンパ
16〜18 ガイドローラ
19 第2のエンコーダ
20 ヘッド先端部
30 制御回路
31〜33 駆動回路
Claims (5)
- 研磨テープを収納した収納リール及び研磨テープを巻き取る巻取りリールを有するテープカセットが装着される研磨ヘッドと、補修されるべき基板を支持するステージと、ステージ上に載置された基板に対して研磨ヘッドを昇降させる昇降機構と、研磨テープの走行を制御する制御手段とを具える突起欠陥補修装置において、
前記研磨ヘッドは、
テープカセットが装着された際前記巻取りリールと連結し、研磨テープを巻取り方向に走行させる巻取りモータと、
テープカセットが装着された際前記収納リールと連結し、供給される駆動電流に応じて、研磨テープに対して巻取り方向とは反対の巻き戻し方向にテンションを作用させるテンションモータと、
研磨テープの走行速度を検出するテープ速度検出手段と、
前記テンションモータの回転速度を検出する回転速度検出手段とを有し、
前記制御手段は、前記テープ速度検出手段からの出力と回転速度検出手段からの出力とに基づいて、研磨テープに所定のテンションが作用するように、前記テンションモータに供給される駆動電流量を制御することを特徴とする突起欠陥補修装置。 - 請求項1に記載の突起欠陥補修装置において、前記制御手段は、前記テンションモータに対して当該テンションモータの回転角速度ωに反比例する駆動電流が供給されるように制御することを特徴とする突起欠陥補修装置。
- 請求項1又は2に記載の突起欠陥補修装置において、前記テンションモータにはロータリダンパが装着されていることを特徴とする突起欠陥補修装置。
- 研磨テープを収納した収納リール及び研磨テープを巻き取る巻取りリールを有するテープカセットが装着される研磨ヘッドと、補修されるべき基板を支持するステージと、ステージ上に載置された基板に対して研磨ヘッドを昇降させる昇降機構と、研磨テープの走行を制御する制御手段とを具える突起欠陥補修装置において、
前記研磨ヘッドは、
テープカセットが装着された際前記巻取りリールと連結し、研磨テープを巻取り方向に走行させる巻取りモータと、
テープカセットが装着された際前記収納リールと連結し、供給される駆動電流に応じて、研磨テープに対して巻取り方向とは反対の巻き戻し方向にテンションを作用させるテンションモータと、
研磨テープの走行速度を検出するテープ速度検出手段と、
前記テンションモータの回転速度を検出する回転速度検出手段と、
基板と研磨ヘッドとの間のギャップを検出してギャップ信号を発生するギャップ検出手段とを有し、
前記制御手段は、突起欠陥の補修に際し、研磨ヘッドを基板に向けて降下させた後、前記テンションモータ及び巻取りモータに駆動電流を供給して研磨テープの巻取り方向の走行を開始させ、突起欠陥の研磨が終了した後研磨ヘッドを所定の位置まで上昇させると共に研磨テープの走行を停止させ、その後、前記テンションモータに駆動電流を供給して研磨テープを所定のテープ長だけ巻き戻すように制御することを特徴とする突起欠陥補修装置。 - 請求項4に記載の突起欠陥補修装置において、前記制御手段は、前記テープ速度検出手段からの出力信号に基づいて、研磨テープの走行開始後前記ギャップセンサから出力されるギャップ信号を受け取るまでの時間期間中に研磨テープが走行したテープ走行長を求め、研磨テープの走行を停止させた後、前記テンションモータに駆動電流を供給して研磨テープを前記テープ走行長だけ巻き戻すように制御することを特徴とする突起欠陥補修装置。
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