CN101456285A - 液滴喷出头及液滴喷出装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种尺寸精度及耐药品性优越，能够长期进行高品位的印字的可靠性高的液滴喷出头、及具备所述液滴喷出头的可靠性高的液滴喷出装置。喷墨式记录头(1)具有基板(20)、设置于其下表面且具备喷嘴孔(11)的喷嘴板(10)、和在基板(20)的上表面设置的密封片(30)，基板(20)和喷嘴板(10)借助接合膜(15)接合，基板(20)和密封片(30)借助接合膜(25)接合。这些各接合膜(15、25)是分别干燥含有硅酮材料的液态材料而成的。还有，若向这些各接合膜(15、25)赋予能量，则表面被活性化，由此在各接合膜(15、25)显示粘接性。通过该粘接性，接合基板(20)和喷嘴板(10)、基板(20)和密封片(30)。

Description

液滴喷出头及液滴喷出装置

技术领域

本发明涉及液滴喷出头及液滴喷出装置。

背景技术

例如，在喷墨打印机之类的液滴喷出装置中具备用于喷出液滴的液滴喷出头。作为这样的液滴喷出头，例如，知道的有具备与将墨液作为液滴喷出的喷嘴连通，收容墨液的墨液室(腔室)、和使该墨液室的壁面变形的驱动用压电元件的结构。

在这样的液滴喷出头的情况下，通过使驱动用压电元件伸缩，使墨液室的一部分(振动板)变位。由此，使墨液室的容积变化，从喷嘴喷出墨液液滴。

还有，这样的液滴喷出头通过利用粘接剂粘接形成有喷嘴的喷嘴板、和划分墨液室的基板之间而得以组装。

然而，在向喷嘴板、和基板之间供给粘接剂时，极其难以严格地控制粘接剂的供给量。因此，不能使供给的粘接剂的量均一，导致喷嘴板和基板的距离变得不均一。由此导致在液滴喷出头内设置的多个墨液室的各自的容积变得不均一，或导致在液滴喷出头每一个中墨液室的容积不均一。另外，液滴喷出头和印刷纸张等印字介质之间的距离变得不均一。进而，粘接剂有可能从接合部位渗出。由于这样的问题，导致液滴喷出头的尺寸精度降低，喷墨打印机的印字的品味降低。

另外，粘接剂长期暴露于在墨液室贮存的墨液中。若粘接剂这样被暴露于墨液中，则由于墨液中的有机成分，导致粘接剂变质、劣化。因此，有时墨液室的液密性降低，或粘接剂中的成分向墨液中析出。

另一方面，还知道利用固体接合法接合构成液滴喷出头的各部的方法。

固体接合是不夹着粘接剂等粘接剂层，直接接合部件之间的方法，例如，知道有扩散接合法、硅直接接合法、阳极接合法等。

然而，固体接合存在如下问题。

·能够接合的部件的材质受限制。

·在接合工序中伴随高温(例如，700～800℃左右)下的热处理。

·在接合工序中的气氛受限于减压气氛。

·不能部分地接合一部分区域。

【专利文献1】特开2007—62082号公报

发明内容

本发明的目的在于提供尺寸精度及耐药品性优越，能够长期进行高品味的印字的可靠性高的液滴喷出头、及具备所述液滴喷出头的可靠性高的液滴喷出装置。

这样的目的通过下述本发明来实现。

本发明的一种液滴喷出头，其特征在于，具有：

基板，其形成有贮存喷出液的喷出液贮存室；

喷嘴板，其以覆盖所述喷出液贮存室的方式设置于所述基板的一面，且具备将所述喷出液作为液滴喷出的喷嘴孔；

密封板，其以覆盖所述喷出液贮存室的方式设置于所述基板的另一面，

所述基板、和所述喷嘴板之间及所述基板、和所述密封板之间中的至少一方借助接合膜接合，

所述接合膜利用在干燥含有硅酮材料的液态材料的被膜后，向该被膜赋予能量而在所述被膜显示的粘接性，接合所述基板和所述喷嘴板之间及所述基板和所述密封板之间中的至少一方。

由此，得到尺寸精度及耐药品性优越，能够长期进行高品位的印字的可靠性高的液滴喷出头。

在本发明的液滴喷出头中，优选借助所述接合膜接合的接合区域中一部分区域预先由粘接剂临时固定，

所述接合膜接合所述接合区域的所述一部分区域以外的区域。

由此，得到能够容易地效率良好地制造的液滴喷出头。

在本发明的液滴喷出头中，优选接合所述接合区域的所述一部分区域以外的区域的所述接合膜是通过向由于所述临时固定而形成的所述喷出液贮存室内供给所述液态材料，使所述液态材料浸透所述接合区域的外侧部分，得到所述液态材料的被膜后，干燥该被膜，然后向该被膜赋予能量而形成的。

由此，能够使所述液态材料利用毛细管现象主动浸透所述接合区域的外侧部分，因此，能够简单地形成所述液态材料的被膜。其结果，与所述喷出液接触的部分对喷出液具有优越的耐久性，同时，不与喷出液接触的部分被粘接剂临时固定，因此，得到能容易地效率良好地制造的液滴喷出头。

在本发明的液滴喷出头中，优选所述硅酮材料的主骨架由聚二甲基硅氧烷构成。

所述化合物比较容易得到，且廉价，并且，通过向含有所述化合物的接合膜赋予能量，容易地切断构成化合物的甲基，其结果，能够使接合膜可靠地显示粘接性，因此，适合使用硅酮材料。

在本发明的液滴喷出头中，优选所述硅酮材料具有硅烷醇基。

由此，在干燥液态材料，得到接合膜时，邻接硅酮材料具有的羟基之间结合，使得得到的接合膜的膜强度优越。

在本发明的液滴喷出头中，优选所述接合膜的平均厚度为10～10000nm。

由此，得到防止接合了基板、喷嘴板及密封板的各部件的接合体的尺寸精度显著降低的情况，同时，能够更牢固地接合这些的接合膜。另外，由此，接合膜富有某种程度的弹性，因此，在接合部件之间时，接合膜作用为取入异物，从而能够防止接合界面的剥离。

在本发明的液滴喷出头中，优选所述基板、喷嘴板及密封板的至少与所述接合膜接触的部分以硅材料、金属材料或玻璃材料为主材料而构成。

由此，即使不对基板、喷嘴板及密封板的各部件实施表面处理，也能够提高各部件和接合膜的接合强度。

在本发明的液滴喷出头中，优选对所述基板、喷嘴板及密封板的与所述接合膜接触的面预先实施有提高与所述接合膜的密接性的表面处理。

由此，能够进一步提高基板、喷嘴板及密封板的各部件和接合膜的接合强度。

在本发明的液滴喷出头中，优选所述表面处理为等离子处理或紫外线照射处理。

由此，形成接合膜，因此，能够尤其最佳化各部件的表面。

在本发明的液滴喷出头中，优选所述能量的赋予通过向所述接合膜照射能量线而进行。

由此，能够对接合膜，比较简单地效率良好地赋予能量。

在本发明的液滴喷出头中，优选所述能量线为波长126～300nm的紫外线。

由此，赋予的能量被最佳化，因此，能够防止形成接合膜中的骨架的分子键被破坏必要以上的情况，同时，有选择地切断接合膜中表面附近的分子键。由此，能够防止接合膜的特性(机械特性、化学特性等)降低的情况，同时，能够使接合膜可靠地显示粘接性。

在本发明的液滴喷出头中，优选所述能量的赋予在大气气氛中进行。

由此，不需要对气氛的控制花费劳力和时间及成本，能够更简单地进行能量的赋予。

在本发明的液滴喷出头中，优选还具有：在将所述基板和所述喷嘴板之间及所述基板和所述密封板之间中的至少一方借助所述接合膜接合后，对所述接合膜进行提高接合强度的处理的工序。

由此，能够容易地实现接合基板、喷嘴板及密封板的各部件而成的接合体的接合强度的进一步的提高。

在本发明的液滴喷出头中，优选所述进行提高接合强度的处理的工序通过加热所述接合膜的方法及向所述接合膜赋予压缩力的方法中的至少一种方法来进行。

由此，能够容易地实现接合基板、喷嘴板及密封板的各部件而成的接合体的接合强度的进一步的提高。

在本发明的液滴喷出头中，优选所述密封板由层叠多个层而成的层叠体构成，

所述层叠体中的层中邻接的至少一组层的层间借助与所述接合膜相同的接合膜来接合。

由此，层叠体的尺寸精度变高，甚至，能够提高液滴喷出头的尺寸精度。

在本发明的液滴喷出头中，优选所述液滴喷出头还具有：振动机构，其设置于所述密封板的与所述基板相反的一侧，使所述密封板振动，

所述密封板和所述振动机构借助与所述接合膜相同的接合膜来接合。

由此，能够将振动机构引起的变形可靠地转换为密封板的变位、甚至，喷出液贮存室的容积变化。

在本发明的液滴喷出头中，优选所述振动机构包含压电元件。

由此，能够容易地控制在密封板产生的挠曲的程度。由此，能够容易地控制喷出液的液滴的大小。

在本发明的液滴喷出头中，优选所述液滴喷出头还具有：盒头，其设置于所述密封板的与所述基板相反的一侧，

所述密封板和所述盒头借助与所述接合膜相同的接合膜来接合。

由此，密封板和盒头的密接性变高。其结果，能够利用盒头，可靠地支撑密封板，能够可靠地防止密封板、基板及喷嘴板的扭曲或翘起等。

在本发明的液滴喷出头中，优选所述液滴喷出头使用于作为所述喷出液喷出与所述液态材料相同的液态材料的情况中。

由此，即使在喷出含有使树脂材料变质、劣化的溶剂(分散介质)的液态材料的情况下，也不伴随接合部的变质、劣化，因此，得到长期显示优越的耐久性的液滴喷出头。

在本发明的液滴喷出头中，优选由所述液滴喷出头喷出的所述液态材料含有甲苯或二甲苯。

甲苯及二甲苯对硅酮材料的溶解性优越，因此，通过使用这些溶剂(分散介质)，能够得到将硅酮材料均匀地溶解的均匀的液态材料，但是对树脂材料的侵蚀性高。另外，甲苯及二甲苯的常压常温下的挥发性优越，因此，在干燥工序中，能够在短时间内简单地挥发。还有，本发明的液滴喷出头可以优选使用稳定地贮存并且喷出这样的含有甲苯或二甲苯的液态材料的情况中。

本发明的液滴喷出装置，其特征在于，具备本发明的液滴喷出头。

由此，得到可靠性高的液滴喷出装置。

附图说明

图1是表示将本发明的液滴喷出头适用于喷墨式记录头的情况下的第一实施方式的分解立体图。

图2是图1所示的喷墨式记录头的剖面图。

图3是表示具备图1所示的喷墨式记录头的喷墨打印机的实施方式的概略图。

图4是用于说明喷墨式记录头的制造方法的图(纵向剖面图)。

图5是用于说明喷墨式记录头的制造方法的图(纵向剖面图)。

图6是用于说明喷墨式记录头的制造方法的图(纵向剖面图)。

图7是用于说明喷墨式记录头的制造方法的图(纵向剖面图)。

图8是表示第一实施方式的喷墨式记录头的其他结构例的剖面图。

图9是表示将本发明的液滴喷出头适用于喷墨式记录头的情况下的第二实施方式的剖面图。

图中：1—喷墨式记录头；10—喷嘴板；11—喷嘴孔；15、25、35、45a、45b、151、251、351、45b1—接合膜；152、252、352、45a2、45b2—粘接剂；20—喷出液贮存室形成基板；20’—母材；21—喷出液贮存室；22—喷出液供给室；23—贯通孔；30—密封片；31—液态材料；32—液态被膜；40—振动板；50—压电元件；51—压电体层；52—电极膜；53—凹部；60—盒头；61—喷出液供给路；70—贮存器；9—喷墨打印机；92—装置主体；921—托架；922—排纸口；93—头单元；931—墨盒；932—滑架；94—印刷装置；941—滑架马达；942—往返移动机构；943—滑架引导轴；944—同步带；95—供纸装置；951—供纸马达；952—供纸滚筒；952a—从动滚筒；952b—驱动滚筒；96—控制部；97—操作面板；P—记录纸张。

具体实施方式

以下，基于附图所示的适当实施方式详细说明本发明的液滴喷出头及液滴喷出装置。

<喷墨式记录头>

《第一实施方式》

首先，对将本发明的液滴喷出头适用于喷墨式记录头的情况下的第一实施方式进行说明。

图1是表示将本发明的液滴喷出头适用于喷墨式记录头的情况下的第一实施方式的分解立体图，图2是图1所示的喷墨式记录头的剖面图，图3是表示具备图1所示的喷墨式记录头的喷墨打印机的实施方式的概略图。还有，在以下的说明中，将图1及图2中的上侧称为“上”，将下侧称为“下”。

图1所示喷墨式记录头1(以下，称为“头1”)搭载于图3所示的喷墨打印机(本发明的液滴喷出装置)9。

图3所示的喷墨打印机9具备装置主体92，设置有：在上部后方设置记录纸张P的托架921、向下部前方排出记录纸张P的排纸口922、和在上部面的操作面板97。

操作面板97具备：例如由液晶显示器、有机EL显示器、LED灯构成，且显示错误消息等的显示部(未图示)、和由各种开关等构成的操作部(未图示。

另外，在装置主体92的内部主要具有：具备往返移动的头单元93的印刷装置(印刷机构)94；向印刷装置94送入一张张记录纸张P的供纸装置(供纸机构)95；控制印刷装置94及供纸装置95的控制部(控制机构)96。

通过控制部96的控制，供纸装置95将记录纸张P一张张间歇输送。该记录纸张P通过头单元93的下部附近。此时，头单元93在与记录纸张P的输送方向大致正交的方向上往返移动，进行对记录纸张P的印刷。即，头单元93的往返移动、和记录纸张P的间歇输送成为印刷中的主扫描及副扫描，进行喷墨方式的印刷。

印刷装置94具备：头单元93；成为头单元93的驱动源的滑架马达941；和接受滑架马达941的旋转，使头单元93往返移动的往返移动机构942。

头单元93具备：在其下部具备多个喷嘴孔11的头1；向头1供给墨液的墨盒931；搭载了头1及墨盒931的滑架932。

还有，作为墨盒931，通过使用填充有黄色、青色、品红、黑色(黑)这四色墨液的墨盒，能够进行彩色印刷。

往返移动机构942具有：将其两端支撑于框架(未图示)的滑架引导轴943；与滑架引导轴943平行地延伸的同步带(timing belt)944。

滑架932往返移动自如地支撑于滑架引导轴943，并且，固定于同步带944的一部分。

若通过滑架马达941的运行，借助滑轮，使同步带944正反向行进，则头单元93被滑架引导轴943引导，头单元93进行往返移动。还有，在该往返移动时，从头1适当喷出墨液，进行对记录纸张P的印刷。

供纸装置95具有：作为其驱动源的供纸马达951、和通过供纸马达951的运行而旋转的供纸滚筒952。

供纸滚筒952包括：夹着记录纸张P的路径(记录纸张P)，在上下对置的从动滚筒952a和驱动滚筒952b，驱动滚筒952b连结于供纸马达951。由此，供纸滚筒952将设置于托架921的多张记录纸张P朝向印刷装置94一张张送入。还有，代替托架921，也可以为将收容记录纸张P的供纸盒装配自如地装配的结构。

控制部96例如基于从个人计算机或数码相机等主机输入的印刷数据，控制印刷装置94或供纸装置95等而进行印刷。

控制部96均未图示，但主要具备：存储控制各部的控制程序等的存储器、驱动印刷装置94(滑架马达941)的驱动电路、驱动供纸装置95(供纸马达951)的驱动电路、及输入来自主机的印刷数据的通信电路；与这些电连接，进行各部中的各种控制的CPU。

另外，在CPU分别电连接例如能够检测墨盒931的墨液残留量、头单元93的位置等的各种传感器等。

控制部96经由通信电路，输入印刷数据，将其储存于存储器。CPU处理该印刷数据，基于该处理数据及来自各种传感器的输入数据，向各驱动电路输出驱动信号。印刷装置94及供纸装置95通过该驱动信号分别运行。由此，对记录纸张P进行印刷。

以下，参照图1及图2的同时，详述头1。

如图1及图2所示，头1具有：喷嘴板10；喷出液贮存室形成基板(基板)20；密封片30；在密封片30上设置的振动板40；在振动板40上设置的压电元件(振动机构)50及盒头60。另外，在本实施方式中，通过密封片30和振动板40的层叠体，构成密封板。还有，该头1构成压电喷墨式头。

在喷出液贮存室形成基板20(以下，简称为“基板20”)形成有贮存墨液的多个喷出液贮存室(压力室)21、和与各喷出液贮存室21连通，且向各喷出液贮存室21供给墨液的喷出液供给室22。

如图1及图2所示，各喷出液贮存室21及喷出液供给室22分别在俯视所述图的情况下呈大致长方形状，各喷出液贮存室21的宽度(短边)为比喷出液供给室22的宽度(短边)窄的宽度。

另外，各喷出液贮存室21相对于喷出液供给室22配置为呈大致垂直，各喷出液贮存室21及喷出液供给室22在俯视所述图的情况下，整体上呈梳状。

还有，喷出液供给室22在俯视所述图的情况下，除了如本实施方式所示为长方形状的结构以外，还可以例如为梯形状、三角形状或稻草包形状(胶囊形状)的结构。

作为构成基板20的材料，例如，可以举出单晶硅、多晶硅、无定形硅之类的硅材料、不锈钢、钛、铝之类的金属材料、石英玻璃、硅酸玻璃(石英玻璃)、碱金属硅酸盐玻璃、钠钙玻璃、钾碱石灰玻璃、铅(碱金属)玻璃、钡玻璃、硼硅酸玻璃之类的玻璃材料、氧化铝、二氧化锆、铁素体、氮化硅、氮化铝、氮化硼、氮化钛、碳化硅、碳化硼、碳化钛、碳化钨之类的陶瓷材料、石墨之类的碳材料、聚乙烯、聚丙烯、乙烯—丙烯共聚物、乙烯—醋酸乙烯共聚物(EVA)等聚烯烃、环状聚烯烃、改性聚烯烃、聚氯乙烯、聚偏氯乙烯、聚苯乙烯、聚酰胺、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚碳酸酯、聚—(4—(甲基戊烯—1)、离聚物、丙烯酸系树脂、聚甲基丙烯酸酯、丙烯腈—丁二烯—苯乙烯共聚物(ABS树脂)、丙烯腈—苯乙烯共聚物(AS树脂)、丁二烯—苯乙烯共聚物、聚甲醛、聚乙烯醇(PVA)、乙烯—乙烯醇共聚物(EVOH)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯(PBT)、聚环己烷对苯二甲酸酯(PCT)等聚酯、聚醚、聚醚酮(PEK)、聚醚醚酮(PEEK)、聚醚酰亚胺、聚缩醛(POM)、聚苯醚、改性聚苯醚、改性聚苯醚树脂(PBO)、聚砜、聚醚砜、聚苯硫醚(PPS)、聚芳酯、芳香族聚酯(液晶聚合物)、聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯、其他氟系树脂、苯乙烯系、聚烯烃系、聚氯乙烯系、聚氨酯系、聚酯系、聚酰胺系、聚丁二烯系、反式聚异戊二烯系、氟橡胶系、氯化聚乙烯系等各种热塑性弹性体、环氧树脂、酚醛树脂、尿素树脂、蜜胺树脂、芳族聚酰胺系树脂、不饱和聚酯、硅酮树脂、聚氨酯等、或以这些为主的共聚物、混合物体、聚合物合金等树脂材料、或组合这些的各材料的一种或两种以上的复合材料等。

另外，可以是对如上所述的材料实施了氧化处理(氧化膜形成)、镀敷处理、钝化处理、氮化处理等各种处理的材料。

其中，基板20的构成材料优选硅材料或不锈钢。这样的材料的耐药品性优越，因此，即使长期暴露于墨液中，也能够可靠地防止基板20变质、劣化的情况。另外，这些材料的加工性优越，因此，得到尺寸精度高的基板20。因此，喷出液贮存室21或喷出液供给室22的容积的精度变高，得到能够进行高品位的印字的头1。

另外，喷出液供给室22构成贮存器70的一部分，其作为与在后述盒头60设置的喷出液供给路61连通，向多个喷出液贮存室21供给墨液的共同的墨液室发挥功能。

另外，在喷出液贮存室21和喷出液供给室22的内表面预先实施亲水处理也可。由此，能够防止在喷出液贮存室21及喷出液供给室22贮存的墨液中含有气泡的情况。

另外，在基板20的下表面(与密封片30相反的一侧的面)借助接合膜15接合(粘接)喷嘴板10。

本发明的液滴喷出头在该接合膜15、及使用接合膜15接合基板20和喷嘴板10的方法上具有特征。

该接合膜15是干燥含有硅酮材料的液态材料而成的。

还有，若向该接合膜15赋予能量，则在该接合膜15中，表面(面向喷嘴板10的面)附近的分子键的一部分被切断，表面被活性化，由此在接合膜15显示粘接性。利用该粘接性，接合基板20和喷嘴板10。

还有，关于接合膜15在后详述。

以与各喷出液贮存室21对应的方式，在喷嘴板10分别形成(穿设)有喷嘴孔11。通过向该喷嘴孔11挤出在喷出液贮存室21贮存的墨液，能够将墨液作为液滴喷出。

另外，喷嘴板10构成各喷出液贮存室21或喷出液供给室22的内壁面的下表面。即，通过喷嘴板10、和基板20及密封片30，划分各喷出液贮存室21或喷出液供给室22。

作为构成这样的喷嘴板10的材料，例如，可以举出如上所述的硅材料、金属材料、玻璃材料、陶瓷材料、碳材料、树脂材料、或组合这些各材料的一种或两种以上的复合材料等。

其中，喷嘴板10的构成材料优选硅材料或不锈钢。这样的材料的耐药品性优越，因此，即使长时间暴露于墨液中，也能够可靠地防止喷嘴板10变质、劣化。另外，这些材料的加工性优越，因此，可得到尺寸精度高的喷嘴板10。因此，可得到可靠性高的头1。

还有，喷嘴板10的构成材料优选线膨胀系数在300℃以下的情况下为2.5～4.5[×10^-6/℃]左右。

另外，喷嘴板10的厚度不特别限定，但优选0.01～1mm左右。

另外，在喷嘴板10的下表面根据需要设置疏液膜(未图示)。由此，能够防止从喷嘴孔喷出的墨液向不意图的方向喷出的情况。

作为这样的疏液膜的构成材料，例如，可以举出具有显示疏液性的官能团的偶合剂或疏液性的树脂材料等。

作为偶合剂，例如，可以使用硅烷系偶合剂、钛系偶合剂、铝系偶合剂、锆系偶合剂、有机磷酸系偶合剂、甲硅烷基过氧化物系偶合剂等。

作为显示疏液性的官能团，例如，可以举出氟烷基、烷基、乙烯基、环氧基、苯乙烯基、甲基丙烯酰氧基等。

另一方面，作为疏液性的树脂材料，例如，可以举出聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯全氟烷基乙烯醚共聚物(PFA)、乙烯—四氟乙烯共聚物(ETFE)、全氟乙烯—丙烯共聚物(FEP)、乙烯—氯三氟乙烯共聚物(ECTFE)之类的氟系树脂等。

另外，在基板20的上表面借助接合膜25，接合(粘接)密封片30。

另外，密封片30构成各喷出液贮存室21或喷出液贮存室22的内壁面的上表面。即，通过密封片30、基板20及喷嘴板10，划分各喷出液贮存室21或喷出液贮存室22。还有，通过密封片30可靠地与基板20接合，确保各喷出液贮存室21或喷出液贮存室22的液密性。

作为构成密封片30的材料，例如，可以举出如上所述的硅材料、金属材料、玻璃材料、陶瓷材料、碳材料、树脂材料、或组合这些各材料的一种或两种以上的复合材料等。

其中，密封片30的构成材料优选聚苯硫醚(PPS)、芳族聚酰胺树脂之类的树脂材料、硅材料或不锈钢。这样的材料的耐药品性优越，因此，即使长期暴露于墨液中，也能够可靠地防止密封片30变质、劣化。因此，能够在喷出液贮存室21内及喷出液供给室22内长期贮存墨液。

接合这样的密封片30和基板20的接合膜25具有与所述接合膜15相同的接合功能(粘接性)。

即，接合膜25是干燥含有硅酮材料的液态材料而成的。

还有，若对该接合膜25赋予能量，则在该接合膜25中，表面(面向密封片30的面)附近的分子键的一部分被切断，表面被活性化，由此在接合膜25显示粘接性。利用该粘接性，接合基板20和密封片30。

还有，关于接合膜25，与所述接合膜15一同在后详述。

在密封片30的上表面借助接合膜35接合(粘接)振动板40。

作为构成振动板40的材料，例如，可以举出如上所述的硅材料、金属材料、玻璃材料、陶瓷材料、碳材料、树脂材料、或组合这些各材料的一种或两种以上的复合材料等。还有，通过振动板40可靠地接合密封片30，将在压电元件50产生的变形向密封片30的变位即各喷出液贮存室21的容积变化可靠地转换。

其中，振动板40的构成材料优选硅材料或不锈钢。这样的材料能够以高速弹性变形。因此，通过压电元件50使振动板40变位，能够使喷出液贮存室21的容积高速变形。其结果，能够以高精度喷出墨液。

接合这样的振动板40和密封片30的接合膜35只要是能够粘接密封片30和振动板40的膜，就可以由任意的材料构成，根据密封片30或振动板40的各构成材料适当选择，但例如，可以举出环氧系粘接剂、硅酮系粘接剂、尿烷系粘接剂之类的粘接剂、焊锡、钎料等。

另外，接合膜35可以不一定设置，省略也可。在这种情况下，密封片30和振动板40之间可以通过熔敷(焊接)、或硅直接接合、阳极接合之类的固体接合等直接接合法来接合(粘接)。

在本实施方式中，接合膜35具有与所述接合膜15相同的接合功能(粘接性)。

即，接合膜35是干燥含有硅酮材料的液态材料而成的。

还有，若向该接合膜35赋予能量，则在该接合膜35中，表面(面向振动板40的面)附近的分子键的一部分被切断，表面被活性化由此在接合膜35显示粘接性。利用该粘接性，接合密封片30和振动板40。

还有，关于接合膜35，与所述接合膜15及接合膜25一同在后详述。

另外，在本实施方式中，利用层叠密封片30和振动板40而成的层叠体，构成密封板，但该密封板可以为一层，也可以由三层以上的层层叠而成的层叠体构成。

还有，在由层叠三层以上的层而成的层叠体构成密封板的情况下，层叠体中的层中相邻的至少一组的层间只要由接合膜35接合，层叠体的尺寸精度就变高，甚至能够提高头1的尺寸精度。

在振动板40的上表面的一部分(在图2中，振动板40的上表面的中央部附近)借助接合膜45a，接合(粘接)压电元件(振动机构)50。

压电元件50包括：由压电材料构成的压电体层51、和向该压电体层51施加电压的电极膜52的层叠体。在这样的压电元件50中，通过经由电极膜52向压电体层51施加电压，在压电体层51产生对应于电压的变形(返压电效果)。该变形对振动板40及密封片30赋予挠曲(振动)，使喷出液贮存室21的容积变化。这样，通过压电元件50可靠地接合于振动板40，能够将在压电元件50产生的变形可靠地向振动板40及密封片30的变位、甚至各喷出液贮存室21的容积变化转换。

另外，压电体层51和电极膜52的层叠方向不特别限定，但可以为与振动板40平行的方向，也可以为正交的方向。还有，压电体层51和电极膜52的层叠方向相对于振动板40为正交的方向的情况下，将这样配置的压电元件50特别地称为MLP(Multi Layer Piezo)。若压电元件50为MLP，则能够增大振动板40的变位量，因此，具有墨液的喷出量的调节幅度大的优点。

在压电元件50中与接合膜45a邻接(接触)的面根据压电元件50的配置方法而不同，但可以为露出压电体层的面、露出电极膜的面、或露出压电体层和电极膜两者的面的任一种。

作为构成压电元件50中的压电体层51的材料，例如，可以举出钛酸钡、锆酸铅、钛酸锆酸铅、氧化锌、氮化铝、钽酸锂、铌酸锂、水晶等。

另一方面，作为构成电极膜52的材料，例如，可以举出Fe、Ni、Co、Zn、Pt、Au、Ag、Cu、Pd、Al、W、Ti、Mo、或含有这些的合金等各种金属材料。

接合这样的压电元件50和振动板40的接合膜45a只要是能够接合或粘接振动板40和压电元件50的膜，就可以由任意的材料构成，根据振动板40或压电元件50的各构成材料适当选择，但例如，可以举出环氧系粘接剂、硅酮系粘接剂、尿烷系粘接剂之类的粘接剂、焊锡、钎料等。

另外，接合膜45a不需要一定设置，省略也可。在这种情况下，振动板40和压电元件50之间可以利用熔敷(焊接)、硅直接接合、阳极接合之类的固体接合等直接接合法来接合(粘接)。

在本实施方式中，这些接合膜45a具有与所述接合膜15相同的接合功能(粘接性)。

即，接合膜45a是干燥含有硅酮材料的液态材料而成的。

还有，若向该接合膜45a赋予能量，则在该接合膜45a中，表面(面向压电元件50的面)附近的分子键的一部分被切断，表面被活性化，由此在接合膜45a显示粘接性。利用该粘接性，接合振动板40和压电元件50。

还有，关于接合膜45a，与上述的接合膜15、接合膜25及接合膜35一同在后叙述。

在此，所述振动板40具有：以包围与压电元件50对应的位置的方式形成为环状的凹部53。即，在与压电元件50对应的位置，振动板40的一部分隔着该环状凹部53孤立为岛状。

还有，接合膜45a分别设置于环状凹部53的内侧。

另外，压电元件50的电极膜52电连接于未图示的驱动IC。由此，能够利用驱动IC控制压电元件50的动作。

另外，在振动板40的上表面的一部分借助接合膜45b接合(粘接)盒头60。这样，通过盒头60可靠地与振动板40接合，能够加强由喷嘴板10、基板20、密封片30及振动板40的层叠体构成的所谓的腔体部分，能够可靠地抑制腔体部分的扭曲或翘起等。

作为构成盒头60的材料，例如，可以举出如上所述的硅材料、金属材料、玻璃材料、陶瓷材料、碳材料、树脂材料、或组合这些各材料的一种或两种以上的复合材料等。

其中，盒头60的构成材料，例如，优选聚苯硫醚(PPS)、杂一龙(ザイロン)之类的改性聚苯醚树脂(“杂一龙”是注册商标)或不锈钢。这些材料具备充分的刚性，因此，适合作为支撑头1的盒头60的构成材料。

接合这样的盒头60和振动板40的接合膜45b只要是能够接合或粘接振动板40和盒头60的膜，就可以由任意的材料构成，根据振动板40或盒头60的各构成材料而适当选择，但例如，可以举出环氧系粘接剂、硅酮系粘接剂、尿烷系粘接剂之类的粘接剂、焊锡、钎料等。

另外，接合膜45b不必一定设置，省略也可。在这种情况下，振动板40和盒头60之间可以利用熔敷(焊接)、硅直接接合、阳极接合之类的固体接合等直接接合法来接合(粘接)。

在本实施方式中，这些接合膜45b具有与所述接合膜15相同的接合功能(粘接性)。

即，接合膜45b是干燥含有硅酮材料的液态材料而成的。

还有，若向该接合膜45b赋予能量，则在该接合膜45b中，表面(面向盒头60的面)附近的分子键的一部分被切断，表面被活性化，由此在接合膜45b显示粘接性。利用该粘接性，接合振动板40和盒头60。

还有，关于接合膜45b，与所述接合膜15、接合膜25、接合膜35及接合膜45a一同在后详述。

另外，接合膜25、密封片30、接合膜35、振动板40及接合膜45b在与喷出液供给室22对应的位置具有贯通孔23。通过该贯通孔23，在盒头60设置的喷出液供给路61、和喷出液供给室22连通。还有，通过喷出液供给路61和喷出液供给室22，构成作为向多个喷出液贮存室21供给墨液的共同的墨液室发挥功能的贮存器70的一部分。

在这样的头1中，从未图示的外部喷出液供给机构取入墨液，在从贮存器70至喷嘴孔11为止，用墨液填充内部后，利用来自驱动IC的记录信号，运行与各喷出液贮存室21对应的各自的压电元件50。由此，利用压电元件50的返压电效果，在振动板40及密封片30产生挠曲(振动)。其结果，例如，各喷出液贮存室21内的容积收缩的情况下，各喷出液贮存室21内的压力瞬间变高，从喷嘴孔11将墨液作为液滴挤出(喷出)。

这样，在头1中，通过经由驱动IC向欲印刷的位置的压电元件50施加电压，即依次输入喷出信号，任意的文字能够印刷图像等。

还有，头1不限于如上所述的结构，例如，也可以为作为振动机构，用加热器代替压电元件50的结构(热方式)的头。这样的头构成为，通过用加热器加热墨液，使其沸腾，由此提高喷出液贮存室内的压力，从而将墨液从喷嘴孔11作为液滴喷出。

进而，作为振动机构的其他例子，可以举出静电促动器方式等。

还有，通过如本实施方式一样由压电元件构成振动机构，能够容易地控制在振动板40及密封片30产生的挠曲的程度。由此，能够容易地控制墨液的大小。

其次，各接合膜35、45a、45b可以不是如上所述的干燥含有硅酮材料的液态材料而成的接合膜，例如，用基于环氧系粘接剂、尿烷系粘接剂等的粘接或基于固体接合的接合来代替也可。

其次，对在母材20’上利用等离子聚合法制作接合膜15的方法、及包括该方法的制作头1的方法进行说明。

图4～图7是用于说明喷墨式记录头的制造方法的图(纵向剖面图)。还有，在以下的说明中，将图4～图7中的上侧称为“上”，将下侧称为“下”。

在本实施方式的头1的制造方法中，具有：在母材20’上形成接合膜25，借助该接合膜25接合母材20’和密封片30的工序；在密封片30上形成接合膜35，借助该接合膜35，接合密封片30和振动板40的工序；在接合膜25、密封片30、接合膜35及振动板40的一部分形成贯通孔23，并且，在振动板40的一部分形成凹部53的工序；在振动板40上形成接合膜45a，借助该接合膜45a接合振动板40和压电元件50的工序；在振动板40上形成接合膜45b，借助该接合膜45b，接合振动板40和盒头60的工序；对母材20’施加加工，形成基板20的工序；在基板20的与密封片30相反的一侧的面上形成接合膜15，借助该接合膜15，接合基板20和喷嘴板10的工序。

以下，对各工序依次进行说明。

[1]首先，作为用于制作基板20的母材，准备母材20’。母材20’通过在后述的工序中实施加工，能够成为基板20。

其次，如图4(a)所示，在母材20’上形成接合膜25。该接合膜25的形成方法与后述的接合膜15的形成方法相同。

[2]其次，对接合膜25赋予能量。由此，在接合膜25显示与密封片30的粘接性。还有，对接合膜25的能量的赋予可以通过后述的对接合膜15的能量的赋予方法相同的方法来进行。

[3]其次，准备密封片30。还有，以使显示粘接性而成的接合膜25和密封片30密接的方式，贴合母材20’和密封片30。由此，如图4(b)所示，母材20’和密封片30借助接合膜25接合(粘接)。

[4]其次，如图4(c)所示，在密封片30上形成接合膜35。该接合膜35的形成方法与后述的接合膜15的形成方法相同。

[5]其次，对接合膜35赋予能量。由此，在接合膜35显示与振动板40的粘接性。还有，对接合膜35的能量的赋予可以通过与后述的对接合膜15的能量的赋予方法相同的方法来进行。

[6]其次，准备振动板40。还有，以使显示粘接性而成的接合膜35和振动板40粘接的方式，贴合具备密封片30的母材20’和振动板40。由此，密封片30和振动板40借助接合膜35接合(粘接)。其结果，如图4(d)所示，接合母材20’、密封片30及振动板40。

[7]其次，如图4(e)所示，在各接合膜25、密封片30、接合膜35及振动板40中与头1的喷出液供给室22对应的位置形成贯通孔23。

另外，在振动板40中包围组装压电元件50的位置的环状区域形成凹部53。

贯通孔23及凹部53的形成可以组合使用干式蚀刻、反应性离子蚀刻、束蚀刻(beam etching)、光辅助蚀刻等物理蚀刻法、湿式蚀刻等化学蚀刻法等中的一种或两种以上。

[8]其次，如图4(f)所示，在振动板40上的组装有压电元件50的位置形成接合膜45a。该接合膜45a的形成方法也与后述的接合膜15的形成方法相同。

还有，在振动板40上的一部分区域部分地形成接合膜45a的情况下，例如，通过具有与应形成接合膜45a的区域对应的形状的窗部的掩模，将接合膜45a成膜即可。

[9]其次，对接合膜45a赋予能量。由此，在接合膜45a显示与压电元件50的粘接性。还有，对接合膜45a的能量的赋予可以通过与后述的对接合膜15的能量的赋予方法相同的方法来进行。

[10]其次，准备压电元件50。还有，以使显示粘接性而成的接合膜45a和压电元件50密接的方式，贴合振动板40和压电元件50。由此，振动板40和压电元件50借助接合膜45a接合(粘接)。其结果，如图5(g)所示，接合母材20’、密封片30、振动板40及压电元件50。

[11]其次，如图5(h)所示，在振动板40上的组装有盒头60的位置形成赋予能量前的状态的接合膜45b。该接合膜45b的形成方法与后述接合膜15的形成方法相同。

还有，在振动板40上的一部分区域部分地形成接合膜45b的情况下，例如，通过具有与应形成接合膜45b的区域对应的形状的窗部的掩模，将接合膜45b成膜即可。

[12]其次，对接合膜45b赋予能量。由此，在接合膜45b显示与盒头60的粘接性。还有，对接合膜45b的能量的赋予可以通过后述的对接合膜15的能量的赋予方法相同的方法来进行。

[13]其次，准备盒头60。还有，以使显示粘接性而成的接合膜45b和盒头60密接的方式，贴合振动板40和盒头60。由此，振动板40和盒头60借助接合膜45b接合(粘接)。其结果，如图5(i)所示，接合母材20’、密封片30、振动板40、压电元件50及盒头60。

[14]其次，将接合了密封片30、振动板40、压电元件50及盒头60的母材20’的上下倒置。还有，对母材20’的与密封片30相反的一侧的面实施加工，形成各喷出液贮存室21及喷出液供给室22。由此，由母材20’得到基板20(参照图6(j))。另外，喷出液供给室22使在接合膜25、密封片30、接合膜35及振动板40上形成的贯通孔23、及在盒头60设置的喷出液供给路61连通，形成贮存器70。

母材20’的加工方法例如可以使用如上所述的各种蚀刻法。

还有，在此，对通过对接合了密封片30、振动板40、压电元件50及盒头60的母材20’实施加工，形成各喷出液贮存室21及喷出液供给室22的情况进行说明，但在所述工序[1]的时点下预先在母材20’上设置各喷出液贮存室21及喷出液供给室22也可。

[15]其次，在基板20的与密封片30相反的一侧的面上接合喷嘴板10。以下，对接合基板20和喷嘴板10的方法进行详述。

还有，优选在基板20的接合喷嘴板10的面(形成接合膜15的面)预先实施提高与接合膜15的粘附性的表面处理。由此，能够进一步提高基板20和接合膜15之间的接合强度，最终能够提高基板20和喷嘴板10的接合强度。

作为所述表面处理，例如，可以举出溅射处理、等离子处理之类的物理表面处理、使用了氧等离子、氮等离子等的等离子处理、电晕放电处理、蚀刻处理、电子射线照射处理、紫外线照射处理、臭氧暴露处理之类的化学表面处理、或组合这些的处理等。通过实施这样的处理，清洁化基板20的将接合膜15成膜的区域，并且，能够活性化该区域。

另外，通过在这些各表面处理中也使用等离子处理，形成接合膜15时，能够尤其最佳化基板20的表面。

还有，在实施表面处理的基板20由树脂材料(高分子材料)构成的情况下，尤其适合使用电晕放电处理、氮等离子处理等。

另外，根据基板20的构成材料，即使实施如上所述的表面处理，接合膜15的接合强度也充分地变高。作为得到这样的效果的基板20的构成材料，例如，可以举出以各种金属系材料、各种硅系材料、各种玻璃系材料等为主材料的材料。

由这样的材料构成的基板20的表面被氧化膜覆盖，在该氧化膜的表面结合活性比较高的羟基。从而，若使用由这样的材料构成的基板20，则即使不实施上述表面处理，也能够使基板20和接合膜15牢固地粘附。

还有，在这种情况下，基板20的整体由上述材料构成即可，至少将接合膜15成膜的区域的表面附近由上述材料构成即可。

进而，在基板20的将接合膜15成膜的区域具有以下基团或物质的情况下，即使不实施上述表面处理，也能够充分地提高基板20和接合膜15的接合强度。

作为这样的基团或物质，例如，可以举出选自羟基、硫醇基、羧基、氨基、硝基、咪唑基之类的官能团、自由基、开环分子、双键、三键之类的不饱和键、F、Cl、Br、I之类的卤素、过氧化物中的至少一个基团或物质。

另外，优选适当选择进行上述各种表面处理，以得到具有上述基团或物质的表面。

另外，优选代替表面处理，在基板20的至少成膜接合膜15的区域预先形成中间层。

该中间层具有任意功能也可，例如，优选具有提高与接合膜15的粘附性的功能、缓冲性(缓冲性能)、缓和应力集中的功能等的中间层。通过借助这样的中间层，在基板20上将接合膜15成膜，能够提高基板20和接合膜15的接合强度，能够得到可靠性高的接合体即头1。

作为所述中间层的构成材料，例如，可以举出铝、钛之类的金属系材料、金属氧化物、硅氧化物之类的氧化物系材料、金属氮化物、硅氮化物之类的氮化物系材料、石墨、类金刚石(diamondlikecarbon)之类的碳系材料、硅偶合剂、硫醇系化合物、金属醇盐、金属卤化物之类的自组织膜材料等，可以组合使用这些中的一种或两种以上。

另外，在由这些各材料构成的中间层中，根据由氧化物系材料构成的中间层，尤其能够提高基板20和接合膜15之间的接合强度。

另一方面，优选在喷嘴板10的与接合膜15接触的区域也预先实施提高与接合膜15的粘附性的表面处理。由此，能够进一步提高喷嘴板10和接合膜15之间的接合强度。

还有，在该表面处理中可以适用与对基板20实施的如上所述的表面处理相同的处理。

另外，优选代替表面处理，在喷嘴板10的与接合膜15接触的区域预先形成具有提高与接合膜15的粘附性的功能的中间层。由此，能够进一步提高喷嘴板10和接合膜15之间的接合强度。

所述中间层的构成材料可以使用与在所述基板20形成的中间层的构成材料相同的材料。

还有，就基板20或喷嘴板10的所述表面处理及中间层的形成而言，可以对密封片30、振动板40、压电元件50及盒头60进行是不言而喻的。由此，能够进一步提高各部的接合强度。

[15—1]其次，向接合了密封片30、振动板40、压电元件50及盒头60的基板20的上表面供给液态材料31，如图6(k)所示，形成液态被膜32。

作为液态材料31的供给方法，例如，可以使用液滴喷出法(喷墨法)、旋涂法、网板印刷法等各种方法。

其中，根据液滴喷出法可知，能够向目的区域，例如，基板20的上表面的应形成接合膜15的面有选择地可靠供给液态材料31。

在此，液态材料31含有硅酮材料。

硅酮材料是具有聚有机硅氧烷骨架的化合物，通常是指主骨架(主链)部分主要由有机硅氧烷单元的重复构成的化合物，可以具有从主链的一部分突出的支链状结构，主链可以为呈环状的环状体，可以为主链的末端之间不连结的直链状。

例如，在具有聚有机硅氧烷骨架的化合物中，有机硅氧烷单元在其末端部具有由下述通式(1)表示的结构单元，在连结部具有由下述通式(2)表示的结构单元，另外，在支链部具有由下述通式(3)表示的结构单元。

【化1】

[式中，各R分别独立地表示取代或未取代的烃基，各Z分别独立地表示羟基或水解基，X表示硅氧烷残基，a表示0或1～3的整数，b表示0或1～2的整数，c表示0或1。]

还有，硅氧烷残基是指与具有借助氧原子邻接的结构单元的硅原子结合，形成硅氧烷键的取代基。具体来说为—O—(Si)结构(Si为具有邻接的结构单元的硅原子)。

在这样的硅酮材料中，聚有机硅氧烷骨架优选为呈直链状的物质即由上述通式(1)所示结构单元及上述通式(2)所示结构单元构成的物质。由此，在以下的工序中，以使含于液态材料中的硅酮材料之间互相缠绕的方式形成接合膜15，因此，得到的接合膜15的膜强度优越。

具体来说，作为具有所述结构的聚有机硅氧烷骨架的化合物，例如，可以举出由下述通式(4)表示的化合物。

【化2】

[式中，各R分别独立地表示取代或未取代的烃基，各Z分别独立地表示羟基或水解基，a表示0或1～3的整数，m表示0或1以上的整数，n表示0或1以上的整数。]

在上述通式(1)～上述通式(4)中，作为基团R(取代或未取代的烃基)，例如，可以举出甲基、乙基、丙基等烷基、环戊基、环己基等环烷基、苯基、甲苯基、联苯基等芳基、苄基、苯基乙基等芳烷基等。进而，可以举出这些基团的碳原子上结合的氢原子的一部分或全部被I)氟原子、氯原子、溴原子之类的卤素原子、II)环氧丙氧基之类的环氧基、III)甲基丙烯酰基之类的(甲基)丙烯酰基、IV)羧基、磺酰基之类的阴离子等取代的基团等。

另外，作为水解基，可以举出甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基等烷氧基、二甲基甲酮肟基、甲基乙基甲酮肟基等甲酮肟基、乙酸基等酰氧基、异丙烯氧基、异丁烯氧基等烯氧基等。

另外，在上述通式(4)中，m及n表示聚有机硅氧烷的聚合度，但m及n的总计(m+n)优选5～10000左右的整数，更优选50～1000左右的整数。通过设定为所述范围内，能够将液态材料31的粘度比较容易地设定在在后所示的适当的范围内。

在这样的硅酮材料中，尤其优选其主骨架由聚有机硅氧烷构成。即，在上述通式(4)中，各基团R优选甲基。所述化合物比较容易得到，且廉价，并且，在后工序中，通过向接合膜15赋予能量，甲基容易被切断，其结果，能够在接合膜15可靠地显示粘接性，因此，适合作为硅酮材料。

进而，硅酮材料优选具有硅烷醇基。即，在上述通式(4)中，各基团Z优选羟基。由此，在以下的工序中，干燥液态材料31后，最终得到接合膜15时，邻接的硅酮材料具有的羟基之间结合，从而得到的接合膜15的膜强度优越。进而，作为基板20，如上所述，使用羟基从其接合面(表面)23露出的基板的情况下，硅酮材料具备的羟基、和基板20具备的羟基结合，因此，不仅能够通过物理结合，而且还能够通过化学结合将硅酮材料结合于基板20。其结果，接合膜15牢固地结合于基板20的接合面。

另外，硅酮材料是比较富有柔软性的材料。因此，在后工序中，借助接合膜15，将喷嘴板10接合于基板20，得到头1时，例如，即使基板20和喷嘴板10的各构成材料使用相互不同的材料的情况下，也能够可靠地缓和伴随在基板20和喷嘴板10之间产生的热膨胀的应力。由此，在最终得到的头1中，能够可靠地防止发生剥离。

进而，硅酮材料的耐药品性优越，因此，可以在长期暴露于药品类等的部件的接合中有效的使用。具体来说，例如，制造使用容易侵蚀树脂材料的有机系墨液的工业用喷墨打印机的液滴喷出头时，若使用本发明所述的接合膜15，则能够可靠地提高其耐久性。另外，硅酮材料的耐热性也优越，因此，可以在暴露于高温下的部件的接合中有效的使用。

这样的液态材料31的粘度(25℃)通常优选0.5～200mPa·s左右，更优选3～20mPa·s左右。通过将液态材料的粘度设为所述范围，在以下的工序中干燥液态材料31时，能够使形成接合膜15所充分的量的硅酮材料含于液态材料31中。

另外，液态材料31如上所述地含有硅酮材料，但使硅酮材料单独地、呈液态地在目的粘度范围的情况下，能够将硅酮材料直接用作液态材料31。另外，硅酮材料单独地呈固态或高粘度的液态的情况下，作为液态材料31，可以使用硅酮材料的溶液或分散液。

作为用于溶解或分散硅酮材料的溶剂或分散介质，例如，可以使用氨、水、过氧化氢、四氯化碳、碳酸亚乙酯等无机溶剂或丁酮(MEK)、丙酮等酮系溶剂、甲醇、乙醇、异丁醇等醇系溶剂、二乙醚、二异丙醚等醚系溶剂、甲基溶纤剂等溶纤剂系溶剂、己烷、戊烷等脂肪族烃系溶剂、甲苯、二甲苯、苯等芳香族烃系溶剂、吡啶、吡嗪、呋喃等芳香族杂环化合物系溶剂、N，N—二甲基甲酰胺(DMF)等酰胺系溶剂、二氯甲烷、氯仿等卤化物系溶剂、醋酸乙酯、醋酸甲酯等酯系溶剂、二甲基亚砜(DMSO)、环丁砜等硫化物系溶剂、乙腈、丙腈、丙烯腈等腈系溶剂、甲酸、三氟乙酸等有机酸系溶剂之类的各种有机溶剂、或含有这些的混合溶剂等。

其中，溶剂(分散介质)优选含有甲苯或二甲苯。这些溶剂对硅酮材料的溶解性优越，因此，通过使用这些溶剂，能够得到均匀地溶解了硅酮材料的均匀的液态材料。由此，涂敷液态材料31而成的液态被膜32均匀，将其干燥的情况下，能够得到膜厚不均少的接合膜15。

另外，甲苯及二甲苯在常压常温下的挥发性优越，因此，在后述的干燥过程中，能够在短时间内简单地挥发。因此，在形成膜厚厚的接合膜15的情况下，也能够效率良好地形成。

[15—2]其次，放置或通过任意的干燥处理，干燥液态被膜32。由此，在基板20的上表面形成接合膜15。

这样的得到的液态材料31的干燥体形成为通过赋予能量而显示粘接性的接合膜15。这样的接合膜15例如作为硅酮材料使用具有硅烷醇基的硅酮材料的情况下，能够使硅酮材料具有的硅烷醇基之间，进而硅烷醇基和基板20具有的羟基可靠地结合，因此，形成的接合膜15的膜强度优越，能够将其牢固地结合于基板20。另外，接合膜15由硅酮材料构成，因此，热膨胀系数小。因此，能够抑制伴随温度变化的接合膜15的膨胀、收缩，并且，尤其在接合由硅材料构成的部件时，能够抑制伴随热膨胀率差的应力集中于接合界面的情况。从所述观点来说，根据接合膜15，能够可靠地接合基板20和喷嘴板10。

干燥液态被膜32的温度优选25℃以上，更优选25～100℃左右。

另外，干燥的时间优选0.5～48小时左右，更优选15～30小时左右。

进而，干燥时的气氛的压力可以为大气压下，但更优选减压下。具体来说，减压的程度优选133.3×10^-5～1333Pa(1×10^-5～10Torr)左右，更优选133.3×10^-4～133.3Pa(1×10^-4～1Torr)左右。由此，促进液态被膜32的干燥，并且，致密化接合膜15的膜密度，能够使接合膜15具有更优越的膜强度。

如上所述，通过适当设定形成接合膜15时的条件，能够实现形成的接合膜15的期望的膜强度等。

接合膜15的平均厚度优选10～10000nm左右，更优选50～5000nm左右。通过适当设定供给的液态材料的量，将形成的接合膜15的平均厚度设为所述范围内，能够防止接合了基板20和喷嘴板10的接合体的尺寸精度显著降低的情况，同时，能够更牢固地接合。

还有，在接合膜15的平均厚度小于所述下限值的情况下，可能得不到充分的接合强度。另一方面，在接合膜15的平均厚度大于所述上限值的情况下，接合体的尺寸精度可能降低。

另外，通过将接合膜15的平均厚度设为所述范围，接合膜15富有某种程度的弹性，因此，在后工序中，接合基板20和喷嘴板10时，即使颗粒等异物附着于与接合膜15接触的喷嘴板10的接合面，也用接合膜15包围该颗粒，接合接合膜15和喷嘴板10。因此，能够可靠地抑制或防止由于该颗粒存在所导致的接合膜15和喷嘴板10的界面中的接合强度降低，或在该界面发生剥离的情况。

另外，在本发明中，形成为供给液态材料，形成接合膜15的构成，因此，在基板20的接合面存在凹凸的情况下，虽然取决于所述凹凸的高度，但例如能够追随凹凸的形状，形成接合膜15。其结果，接合膜15吸收凹凸，其表面由大致平坦面构成。

[15—3]其次，向接合膜15赋予能量。

若向接合膜15赋予能量，则在该接合膜15中，表面附近的分子键的一部分被切断，表面被活性化，由此在表面附近显示与喷嘴板10的粘接性。

这样的状态的接合膜15能够基于化学键，与喷嘴板10牢固地接合。

在此，在本说明书中，表面被“活性化”的状态如下所述，即：除了如上所述地接合膜15的表面的分子键的一部分，具体来说，例如，聚二甲基硅氧烷骨架具备的甲基被切断，在接合膜15中产生未被末端化的结合键(以下，还称为“未结合键”或“悬空键”)的状态之外，包括该未结合键被羟基(OH基)末端化的状态、以及这些状态混在的状态，称为接合膜15被“活性化”的状态。

向接合膜15赋予的能量可以使用任意的方法来赋予，但例如，可以代表性举出向接合膜15照射能量线的方法、加热接合膜15的方法、对接合膜15赋予压缩力(赋予物理能量)的方法，另外，可以举出暴露(赋予等离子能量)于等离子的方法、将接合膜15暴露于臭氧气体(赋予化学能量)的方法等。由此，能够效率良好地活性化接合膜15的表面。另外，不将接合膜15中的分子结构切断为必要以上，因此，能够避免接合膜15的特性降低的情况。

在上述方法中，在本实施方式中，作为向接合膜15赋予能量的方法，尤其优选使用向接合膜15照射能量线的方法。所述方法可以对接合膜15比较简单且效率良好地赋予能量，因此，作为能量赋予方法适合使用。

其中，作为能量线，例如，可以举出紫外线、激光之类的光、X线、γ线之类的电磁波、电子射线、离子束之类的粒子线等、或组合2种以上这些能量线而成的能量线。

在这些能量线中，也尤其优选波长126～300nm左右的紫外线(参照图6(L))。根据所述紫外线可知，最佳化赋予的能量，因此，能够防止接合膜15中的形成骨架的分子键被破坏必要以上的情况，同时，能够有选择地切断接合膜15中表面附近的分子键。由此，能够防止接合膜15的特性(机械特性、化学特性等)降低，同时，能够在接合膜15可靠地显示粘接性。

另外，根据紫外线，能够在短时间内没有不均地处理广的范围，因此，效率良好地进行分子键的切断。进而，紫外线例如还具有能够由UV灯等简单的设备产生的优点。

还有，紫外线的波长更优选126～200nm左右。

另外，在使用UV灯的情况下，其输出根据接合膜15的面积而不同，但优选1mW/cm²～1W/cm²左右，更优选5mW/cm²～50mW/cm²左右。还有，在这种情况下，UV灯和接合膜15的间隔距离优选3～3000mm左右，更优选10～1000mm左右。

另外，照射紫外线的时间优选能够切断接合膜15的表面附近的分子键的程度的时间即能够切断在接合膜15的表面存在的分子键的程度的时间。具体来说，紫外线的光量根据接合膜15的构成材料等而略不同，但优选1秒～30分钟左右，更优选1秒～10分钟左右。

另外，紫外线在时间上连续照射为佳，但也可以间歇(脉冲状)照射。

另一方面，作为激光，例如，可以举出受激准分子激光器之类的脉冲振荡激光器(脉冲激光器)、二氧化碳激光器、半导体激光器之类的连续振荡激光器等。其中，优选使用脉冲激光器。在脉冲激光器中，接合膜15的被照射激光的部分难以经时积蓄热量，因此，能够可靠地防止积蓄的热量引起的接合膜15的变质、劣化。即，根据脉冲激光器，能够防止蓄积的热量的影响产生至接合膜15的内部。

另外，在考虑了热量的影响的情况下，优选脉冲激光器的脉冲宽度进量短。具体来说，优选脉冲宽度为1ps(微微秒)以下，更优选500fs(飞秒)以下。若将脉冲宽度设为所述范围内，则能够可靠地抑制伴随激光，在接合膜15产生的热量的影响。还有，脉冲宽度减小至所述范围内程度的脉冲激光器被称为“飞秒激光器”。

另外，激光的波长不特别限定，但例如，优选200～1200nm左右，更优选400～1000nm左右。

另外，激光的峰输出在脉冲激光器的情况下，根据脉冲宽度而不同，但优选0.1～10W左右，更优选1～5W左右。

进而，脉冲激光器的重复频率优选0.1～100kHz左右，更优选1～10kHz左右。通过将脉冲激光器的频率设为所述范围内，能够有选择地切断表面附近的分子键。

还有，这样的激光的各种条件优选照射激光的部分的温度适当调节为常温(室温)～600℃左右，更优选200～600℃左右，进而优选300～400℃左右。由此，能够防止照射了激光的部分的温度显著上升，有选择地切断表面附近的分子键。

另外，向接合膜15照射的激光优选将其焦点以对应于接合膜15的表面的状态沿该表面进行扫描。由此，由激光的照射产生的热量局部地蓄积在表面附近。其结果，能够使在接合膜15的表面存在的分子键有选择地脱离。

另外，对接合膜15的能量线的照射可以在任意的气氛中进行，具体来说，可以举出大气、氧之类的氧化性气体气氛、氢之类的还原性气体气氛、氮、氩之类的惰性气体气氛、或将这些气氛减压的减压(真空)气氛等，但尤其优选在大气气氛中(尤其，露点低的气氛下)进行。由此，在接合膜15的表面附近产生臭氧气体，更顺畅地进行表面的活性化。进而，在控制气氛时，不花费劳力和工时或成本，能够更简单地进行能量线的照射。

这样，根据照射能量线的方法可知，能够容易地对接合膜15有选择地赋予能量，因此，例如，能够防止能量的赋予引起的基板20的变质、劣化。

另外，根据照射能量线的方法可知，能够精度良好地且简单地调节赋予的能量的大小。因此，能够调节在接合膜15切断的分子键的量。通过这样调节切断的分子键的切断，能够容易地控制基板20和喷嘴板10之间的接合强度。

即，通过增大在表面附近切断的分子键的量，在接合膜15的表面附近产生更大量的活性键，因此，能够进一步提高在接合膜15显示的粘接性。另一方面，通过减少在表面附近切断的分子键的量，减少在接合膜15的表面附近产生的活性键，能够抑制在接合膜15显示的粘接性。

还有，为了调节赋予的能量的大小，例如，调节能量线的种类、能量线的输出、能量线的照射时间等条件即可。

进而，根据照射能量线的方法，能够在短时间内赋予能量，因此，能够效率更良好地进行能量的赋予。

[15—4]其次，准备喷嘴板10。还有，如图7(m)所示，以使接合膜15和喷嘴板10密接的方式，贴合基板20和喷嘴板10。由此，在所述工序[15—3]中，在接合膜15的表面显示对喷嘴板10的粘接性，因此，接合膜15和喷嘴板10化学性地结合。其结果，借助接合膜15接合基板20和喷嘴板10，得到如图7(n)所示的头1。

在此，如上所述地接合的基板20和喷嘴板10的各热膨胀率优选大致相等。若基板20和喷嘴板10的热膨胀率大致相等，则在贴合这些时，在其接合界面难以产生伴随热膨胀的应力。其结果，在最终得到的头1中，能够可靠地防止剥离等不妥善情况发生。

另外，基板20和喷嘴板10的各热膨胀率相互不同的情况下，也通过将贴合基板20和喷嘴板10时的条件最佳化为以下，能够以高的尺寸精度牢固地接合基板20和喷嘴板10。

即，基板20和喷嘴板10的热膨胀率相互不同的情况下，优选尽量在低温下进行接合。通过在低温下进行接合，能够进一步减小在接合界面产生的热应力。

具体来说，虽然取决于基板20和喷嘴板10的热膨胀率差，但优选在基板20和喷嘴板10的温度为25～50℃左右的状态下，贴合基板20和喷嘴板10，更优选在25～40℃左右的状态下贴合。在这样的温度范围的情况下，即使基板20和喷嘴板10的热膨胀率差大到一定程度，也能够充分地降低在接合界面产生的热应力。其结果，能够可靠地防止头1中的翘起或剥离等的发生。

另外，在这种情况下，基板20和喷嘴板10之间的热膨胀系数之差为5×10^-5/K以上的情况下，如上所述，尤其推荐尽量在低温下进行接合。还有，通过使用接合膜15，在上述低温下，也能够牢固地接合基板20和喷嘴板10。

另外，基板20和喷嘴板10优选刚性相互不同。由此，能够更牢固地接合基板20和喷嘴板10。

还有，在本实施方式中，如所述工序[15—3]及本工序[15—4]所示，对接合膜15赋予能量，在接合膜15的接合膜(表面)附近显示粘接性后，使基板20和喷嘴板10借助接合膜15接触，由此得到头1，但不限于此，使基板20和喷嘴板10借助接合膜15接触后，通过向接合膜15赋予能量而得到头1也可。即，倒置所述工序[15—3]及本工序[15—4]的顺序而得到头1也可。以这样的顺序实施各工序，得到头1的情况下，也得到与上述相同的效果。

在此，对在本工序中，接合具备接合膜15的基板20和具备接合膜15的喷嘴板10的机制进行说明。

例如，将在喷嘴板10的供与基板20的接合的区域露出羟基的情况作为例子进行说明，在本工序中，以使接合膜15和喷嘴板10接触的方式，贴合基板20和喷嘴板10时，在接合膜15的表面存在的羟基、和在喷嘴板10的所述区域存在的羟基通过氢键相互吸引，在羟基之间产生引力。推想为根据引力接合具备接合膜15的基板20和喷嘴板10。

另外，通过氢键相互吸引的羟基之间，根据温度条件等伴随脱水缩合而从表面被切断。其结果，在接合膜15和喷嘴板10的接触界面，结合有羟基的结合键之间结合。由此，推想为借助接合膜15基板20和喷嘴10更牢固地结合。

在基板20的接合膜15的表面或内部、及喷嘴板10的下表面或内部存在分别未被末端化的结合键即未结合键(悬空键)的情况下，贴合基板20和喷嘴板10时，这些未结合键之间再次结合。该再次结合以相互重合(互相缠绕)的方式复杂地发生，因此，在接合界面形成网络状结合。由此，尤其牢固地接合接合膜15和喷嘴板10。

还有，在所述工序[15—3]中被活性化的接合膜15的表面随着时间经过而其活性状态缓和。因此，在所述工序[15—3]结束后，优选尽早进行本工序[15—4]。具体来说，在所述工序[15—3]结束后，优选在60分钟内进行本工序[15—4]，更优选在5分钟以内进行。在所述时间内的情况下，接合膜15的表面维持充分的活性状态，因此，在本工序中贴合具备接合膜15的基板20和喷嘴板10时，能够在这些之间得到充分的接合强度。

换言之，活性化之前的接合膜15是干燥硅酮材料而得到的接合膜，因此，化学性比较稳定，耐气候性优越。因此，活性化之前的接合膜15适合长期保存。从而，若大量制造或购入具备那样的接合膜15的基板20，在进行本工序的贴合之前，仅对必要的个数进行所述工序[15—3]中记载的能量的赋予，则从头1的制造效率的观点来说有效。

在这样接合的基板20和喷嘴板10之间，优选其接合强度为5MPa(50kgf/cm²)以上，更优选10MPa(100kgf/cm²)以上。若为这样的接合强度，则能够充分地防止接合界面的剥离。然后，得到可靠性高的头1。

经过以上的工序，制作头1。

另外，在得到头1时或得到头1后，根据需要对该头1进行以下的两个工序([16A]及[16B])中的至少一个工序(提高头1的接合强度的工序)也可。由此，能够进一步提高头1的各部的接合强度。

[16A]向喷嘴板10和基板20相互靠近的方式对得到的头1加压。

由此，接合膜15的表面分别更接近喷嘴板10的表面及基板20的表面，能够进一步提高头1中的接合强度。

另外，通过对头1加压，压扁头1中的接合界面中残留的间隙，能够进一步扩大接合面积。由此，能够进一步提高头1中的接合强度。

还有，根据基板20及喷嘴板10的各构成材料或各厚度、接合装置等条件，适当调节该压力即可。具体来说，根据基板20及喷嘴板10的各构成材料或各厚度等而略不同，但优选0.2～10MPa左右，更优选1～5MPa左右。由此，能够可靠地提高头1的接合强度。还有，该压力大于所述上限值也无妨，但根据基板20及喷嘴板10的各构成材料，可能在基板20或喷嘴板10发生损伤等。

另外，加压的时间不特别限定，但优选10秒～30分钟左右。还有，加压的时间根据加压时的压力而适当变更即可。具体来说，对头1加压时的压力越高的情况下，即使加压的时间短，也能够提高接合强度。

[16B]加热得到的头1。

由此，能够进一步提高头1中的接合强度。

此时，加热头1时的温度比室温高，若小于头1的耐热温度，则不特别限定，但优选25～100℃左右，更优选50～100℃左右。若以所述范围的温度加热，则能够可靠地防止头1由于热而变质、劣化，同时，能够可靠地提高接合强度。

另外，加热时间不特别限定，但优选1～30分钟左右。

另外，在进行所述工序[16A]、[16B]两者的情况下，优选同时进行这些。即，优选对头1加压，同时，进行加热。由此，相辅相成地发挥加压所产生的效果、和加热所产生的效果，尤其能够提高头1的接合强度。

通过进行以上工序，能够容易地实现头1中的接合强度的进一步的提高。

还有，在上述中，对以使在基板20上成膜的接合膜15和喷嘴板10密接的方式，贴合基板20和喷嘴板10的情况进行了说明，但以使在喷嘴板10的下表面成膜的接合膜15和基板20密接的方式，贴合基板20和喷嘴板10也可。

另外，接合膜15如图8所示，在基板20和喷嘴板10两者上成膜也可。

图8是表示本实施方式的头的其他结构例的图。还有，在以下的说明中，将图8中的上侧称为“上”，将下侧称为“下”。

在图8所示的头1中，以使在基板20的下表面成膜的接合膜15、和在喷嘴板10的上表面成膜的接合膜15密接的方式，贴合基板20和喷嘴板10，由此接合(粘接)这些。

另外，与此相同地，在图8所示的头1中，以使在基板20的上表面成膜的接合膜25、和在密封片30的下表面成膜的接合膜25密接的方式，贴合基板20和密封片30，接合(粘接)这些。

进而，以使在密封片30的上表面成膜的接合膜35、和在振动板40的下表面成膜的接合膜35密接的方式，贴合密封片30和振动板40，由此接合(粘接)这些。

另外，以使在振动板40的上表面成膜的接合膜45a、和在压电元件50的下表面成膜的接合膜45a密接的方式，贴合振动板40和压电元件50，由此接合(粘接)这些。

进而，以使在振动板40的上表面成膜的接合膜45b、和在盒头60的下表面成膜的接合膜45b密接的方式，贴合振动板40和盒头60，由此接合(粘接)这些。

根据这样的结构的头1，能够尤其牢固地接合各部的界面。另外，在这样的头1中，被粘附体(例如，基板、喷嘴板、密封片、振动板、压电元件、盒头等)的材质难以对接合强度产生影响，因此，无论被粘附体的材质，均得到各部牢固地接合的可靠性高的头1。

还有，在这种情况下，例如，对接合膜15的能量的赋予分别对在基板20的下表面成膜的接合膜15、和在喷嘴板10的上表面成膜的接合膜15进行也可。

另外，这样的头1适合使用于在本发明中使用的液态材料31的喷出。

在此，液态材料31如上所述，含有硅酮材料、和用于溶解或分散该硅酮材料的溶剂(分散介质)。这样的溶剂可能导致树脂材料变质、劣化，因此，与液态材料31接触的粘接剂不能长期维持粘接性。因此，在用喷墨法喷出液态材料31的情况下，在以往存在由于使用于头的粘接剂变质、劣化，导致头的耐久性的问题。

针对此，作为喷出液态材料31的头，通过使用本发明的液滴喷出头，不伴随如上所述的粘接剂的变质、劣化，因此，得到长期显示优越的耐久性的头1。即，头1尤其适合使用于液态材料31的喷出。

还有，作为液态材料31，如上所述，优选使用含有硅酮材料、和作为溶解其的溶剂的甲苯或二甲苯的材料。然而，这些优选的溶剂富有对树脂材料的侵蚀性，因此，可能损伤头的耐久性。

对此，本发明的液滴喷出头还能够稳定地贮存并且喷出含有甲苯或二甲苯等对树脂材料的侵蚀性高的溶剂的液态材料。从所述观点来说，本发明的液滴喷出头可以尤其适合使用于液态材料31的喷出。

《第二实施方式》

其次，对将本发明的液滴喷出头适用于喷墨式记录头的情况的第二实施方式。

图9是表示将本发明的液滴喷出头适用于喷墨式记录头的情况下的实施方式的剖面图。还有，在以下的说明中，将图9中的上侧称为“上”，将下侧称为“下”。

以下，对液滴喷出头的第二实施方式进行说明，但以与所述第一实施方式的液滴喷出头的不同点为中心进行说明，关于相同的事项，省略其说明。

本实施方式的液滴喷出头除了各部件之间的接合部的结构不同以外，与所述第一实施方式相同。

即，图9所示的喷墨式记录头1与所述第一实施方式相同地具备：喷嘴板10、基板20、密封片30、振动板40、压电元件50及盒头60。

在此，喷嘴板10和基板20之间的接合区域中面向喷出液贮存室21的一侧的区域借助与接合膜15相同的结构的接合膜151接合。另一方面，喷嘴板10和基板20之间的接合区域中与面向喷出液贮存室21的一侧相反的一侧的区域借助接合膜152粘接。

另外，基板20和密封片30之间的接合区域中面向喷出液贮存室21的一侧的区域借助与接合膜25相同的结构的接合膜251接合。另一方面，基板20和密封片30之间的接合区域中与面向喷出液贮存室21的一侧相反的一侧的区域借助接合膜252粘接。

另外，密封片30和振动板40之间的接合区域中面向喷出液贮存室21的区域借助与接合膜35相同的结构的接合膜351接合。另一方面，密封片30和振动板40之间的接合区域中与面向贮存器70的一侧相反的一侧的区域借助接合膜352粘接。

另外，振动板40和压电元件50之间借助接合膜45a2粘接。

另外，振动板40和盒头60之间的接合区域中面向贮存器70的一侧的区域借助与接合膜45b相同的结构的接合膜45b1接合。另一方面，振动板40和盒头60之间的接合区域中与面向贮存器70的一侧相反的一侧的区域借助接合膜45b2粘接。

在这样的结构的头1中，各部的接合区域中面向贮存墨液的喷出液贮存室21或贮存器70的一侧的区域借助与所述第一实施方式的各接合膜15、25、35、45b相同的接合膜接合。因此，各接合区域得到显示对墨液优越的耐久性等与所述第一实施方式的头1相同的作用、效果。

另外，在本实施方式中，各部的接合区域中与面向喷出液贮存室21或贮存器70的一侧相反的一侧的区域借助粘接剂粘接。粘接剂具有固化前的粘性高，容易操作的优点，另一方面，对墨液的耐久性差。然而，在本实施方式中的头1中，粘接剂不暴露于墨液中，因此，能够防止所述粘接剂的缺点显现。还有，由于粘接剂的粘性高，能够进行构成头1的各部的临时固定。

即，在本实施方式的头1中，使用粘接剂，预先临时固定喷嘴板10、基板20、密封片30、振动板40、压电元件50及盒头60的各部的接合区域中的一部分区域后，将残留的区域借助与所述第一实施方式相同的结构的接合膜进行接合。根据这样的方法可知，能够容易且效率良好地进行头1的制造。

以下，对本实施方式的头1的制造方法进行说明。

[1]首先，准备喷嘴板10、基板20、密封片30、振动板40、压电元件50及盒头60。还有，用粘接剂临时固定这些各部的利用中与面向喷出液贮存室21或贮存器70的一侧相反的一侧的区域即未暴露于墨液的区域。由此，得到所述粘接剂152、252、352、45a2、45b2。还有，在各部的接合区域中未被粘接剂152、252、352、45a2、45b2临时固定的区域产生相当于粘接剂的厚度的量的距离的间隙。

作为粘接剂，例如，可以使用环氧系粘接剂、尿烷系粘接剂、硅酮系粘接剂等各种粘接剂。

[2]其次，向临时固定而成的头1的贮存器70及喷出液贮存室21供给液态材料31，将其填充。由此，液态材料31浸透在各部的接合区域产生的间隙，填充间隙。还有，该浸透现象利用毛细管现象来进行，因此，仅通过向贮存器70及喷出液贮存室21贮存液态材料31，能够由液态材料31简单且可靠地填充间隙。另外，毛细管现象的驱动力是间隙的距离越小而越大，因此，粘接剂152、252、352、45a2、45b2的厚度优选尽量薄。

[3]其次，与所述第一实施方式相同地，干燥浸透间隙的液态材料31。由此，得到所述接合膜151、251、351、45b1。

[4]其次，向各接合膜151、251、351、45b1赋予能量。由此，在各接合膜151、251、351、45b1显示粘接性，接合头1的各部。

如上所述地得到头1。

这样，在本实施方式的头1中，能够维持对墨液的优越的耐久性，同时，能够一并形成多个接合膜151、251、351、45b1，因此，能够大幅度简化制造工序。

另外，在头1的驱动中，液态材料31时常与各部的接合区域邻接，因此，即使在接合区域发生剥离或龟裂等，液态材料31也能够迅速地浸透所述剥离部分或龟裂。从而，还具有通过对那样的头1，定期进行所述工序[3]、[4]，能够容易地进行头1的修复的优点。

还有，粘接剂152、252、352、45a2、45b2中至少一个由粘接剂以外的各种接合膜来代替也可。作为这样的各种接合膜，例如，可以举出等离子接合膜、CVD膜、PVD膜等。

以上，基于图示的实施方式，说明本发明的液滴喷出头及液滴喷出装置，但本发明相对于这些。

例如，在制造本发明的液滴喷出头的方法中，不限定于所述实施方式的构成，工序的顺序可以倒置。另外，可以追加一个或两个以上任意的目的工序，删除不需要的工序也可。

【实施例】

其次，对本发明的具体实施例进行说明。

1.喷墨式记录头的制造

(实施例1)

<1>首先，准备不锈钢制喷嘴板、单晶硅制板状母材、聚苯硫醚树脂(PPS)制密封片、不锈钢制振动板、锆酸铅的烧结体构成的压电体层和烧成Ag糊剂而成的电极膜的层叠体构成的压电元件、和PPS制盒头。

其次，对母材进行利用氧等离子的表面处理。

其次，准备作为硅酮材料含有具有聚二甲基硅氧烷骨架的物质，作为溶剂含有甲苯及异丁醇的液态材料(信越化工工业公司制、[KR—251]：粘度(25℃)18.0mPa·s)，利用喷墨法，向母材上供给。由此，在母材上形成了液态被膜。

其次，通过在常温(25℃)下干燥该液态被膜24小时，在母材上形成平均厚度10μm的接合膜。

其次，在以下所示的条件下向得到的接合膜照射紫外线。

<紫外线照射条件>

·气氛气体的组成：大气(空气)

·气氛气体的温度：20℃

·气氛气体的压力：大气压(100kPa)

·紫外线的波长：172nm

·紫外线的照射时间：5分钟

另一方面，对密封片的单面进行利用氧等离子的表面处理。

其次，以使接合膜的照射紫外线的面、和密封片的实施了表面处理的面接触的方式，贴合母材和密封片。由此，得到母材和密封片的接合体。

<2>其次，在母材和密封片的接合体的密封片上与所述工序<1>相同地形成接合膜。

其次，向得到的接合膜与所述工序<1>相同地照射紫外线。另一方面，对振动板的单面进行利用氧等离子的表面处理。

还有，以使接合膜的照射紫外线的面、和振动板的实施了表面处理的面接触的方式，贴合接合体和振动板。由此，得到密封片及振动板的接合体。

<3>其次，在密封片、振动板及与这些邻接的接合膜中应形成头的喷出液供给室的位置形成贯通孔。另外，在振动板中包围组装压电元件的位置的环状区域形成贯通孔。还有，这些贯通孔分别通过蚀刻法来形成。

<4>其次，在接合了母材、密封片及振动板的接合体的振动板上的、组装压电元件的位置(环状贯通孔的内侧的区域)与所述工序<1>相同地形成接合膜。

其次，与所述工序<1>相同地，向得到的接合膜照射紫外线。另一方面，对压电元件的一面进行利用氧等离子的表面处理。

还有，以使接合膜的照射紫外线的面、和压电元件的实施了表面处理的面接触的方式，贴合接合体和压电元件。由此，得到母材、密封片、振动板及压电元件的接合体。

<5>其次，在接合有母材、密封片、振动板及压电元件的接合体中组装盒头的位置与所述工序<1>相同地将接合膜成膜。

其次，与所述工序<1>相同地，向得到的接合膜照射紫外线。另一方面，对盒头的接合面，进行利用氧等离子的表面处理。

还有，以使接合膜的照射紫外线的面、和盒头的实施了表面处理的面接触的方式，贴合接合体和盒头。由此，得到接合了母材、密封片、振动板、压电元件及盒头的接合体。

<6>其次，倒置得到的接合体的上下，利用蚀刻法，对母材的与接合了密封片的面相反的一侧的面实施加工。还有，在母材形成喷出液贮存室、和喷出液供给室，由此得到喷出液贮存室形成基板。

<7>其次，在喷出液贮存室形成基板上与所述工序<1>相同地将接合膜成膜。

其次，与所述工序<1>相同地，向得到的接合膜照射紫外线。另一方面，对喷嘴板的接合膜进行利用氧等离子的表面处理。

还有，以使接合膜的照射紫外线的面、和喷嘴板的实施了表面处理的面接触的方式，贴合喷出液贮存室形成基板和喷嘴板。由此，得到喷嘴板、母材、密封片、振动板、压电元件及盒头的接合体即喷墨式记录头。

<8>其次，用3MPa压缩得到的喷墨式记录头，同时，以80℃加热，维持15分钟。由此，提高喷墨式记录头的接合强度。

(实施例2)

如下所述，在接合界面的两侧将接合膜成膜，贴合各接合膜之间，除此之外，与所述实施例1相同地，制造喷墨式记录头。

具体来说，首先，与所述实施例1相同地，在母材上将接合膜成膜。

另外，在密封片上也同样将接合膜成膜。

其次，向母材上的接合膜、和密封片上的接合膜分别照射紫外线。

其次，以使各接合膜之间密接的方式，贴合母材和密封片。由此，接合母材和密封片。

另外，与此相同地，分别接合密封片和振动板之间、振动板和压电元件之间、振动板和盒头之间、喷出液贮存室形成基板和喷嘴板之间。

(实施例3)

制造图9所示的喷墨式记录头。

还有，在形成图9所示的接合膜151、251、351、45b1时，与实施例1相同地进行。

另外，作为图9所示的粘接剂152、252、352、45a2、45b2，使用环氧系粘接剂。

(比较例)

分别用环氧粘接剂粘接所有的接合部即喷嘴板和喷出液贮存室形成基板之间、母材和密封片之间、密封片和振动板之间、振动板和压电元件之间、振动板和盒头之间的各接合部，除此以外，与所述实施例1相同地，制造喷墨式记录头。

2.喷墨式记录头的评价

2.1 尺寸精度的评价

关于在各实施例及比较例得到的喷墨式记录头，分别测定尺寸精度。

其结果，在各实施例中得到的喷墨式记录头与在各比较例中得到的喷墨式记录头相比，均提高尺寸精度。

另外，将各喷墨式记录头安装到喷墨打印机，在印刷纸张上印字的结果，确认到安装在各实施例中得到的头的打印机与安装在各比较例中得到的头的打印机相比，印字品味优越。

2.2 耐药品性的评价

向在各实施例及比较例得到的喷墨式记录头填充作为溶剂含有甲苯及异丁醇的液态材料(信越化学工业公司制、[KR—251]：粘度(25℃)18.0mPa·s)，保持三周。然后，评价喷墨式记录头的状态。

其结果，在各实施例中得到的喷墨式记录头中确认到几乎没有向接合部的液态材料的浸入。相对于此，在比较例得到的喷墨式记录头中确认到向接合部的液态材料的浸入。

Claims (21)

1.一种液滴喷出头，其特征在于，具有：

基板，其形成有贮存喷出液的喷出液贮存室；

喷嘴板，其以覆盖所述喷出液贮存室的方式设置于所述基板的一面，且具备将所述喷出液作为液滴喷出的喷嘴孔；

密封板，其以覆盖所述喷出液贮存室的方式设置于所述基板的另一面，

所述基板和所述喷嘴板之间、所述基板和所述密封板之间中的至少一方借助接合膜接合，

所述接合膜利用在干燥含有硅酮材料的液态材料的被膜后向该被膜赋予能量而在所述被膜显示的粘接性，接合所述基板和所述喷嘴板之间、所述基板和所述密封板之间中的至少一方。

2.根据权利要求1所述的液滴喷出头，其中，

借助所述接合膜接合的接合区域中的一部分区域预先由粘接剂临时固定，

所述接合膜接合所述接合区域中的所述一部分区域以外的区域。

3.根据权利要求2所述的液滴喷出头，其中，

接合所述接合区域中的所述一部分区域以外的区域的所述接合膜是通过向利用所述临时固定而形成的所述喷出液贮存室内供给所述液态材料，使所述液态材料浸透所述接合区域的外侧部分，得到所述液态材料的被膜后，干燥该被膜，然后向该被膜赋予能量而形成的。

4.根据权利要求1所述的液滴喷出头，其中，

所述硅酮材料的主骨架由聚二甲基硅氧烷构成。

5.根据权利要求1所述的液滴喷出头，其中，

所述硅酮材料具有硅烷醇基。

6.根据权利要求1所述的液滴喷出头，其中，

所述接合膜的平均厚度为10～10000nm。

7.根据权利要求1所述的液滴喷出头，其中，

所述基板、喷嘴板及密封板的至少与所述接合膜接触的部分以硅材料、金属材料或玻璃材料为主材料而构成。

8.根据权利要求1所述的液滴喷出头，其中，

在所述基板、喷嘴板及密封板的与所述接合膜接触的面预先实施有提高与所述接合膜的密接性的表面处理。

9.根据权利要求8所述的液滴喷出头，其中，

所述表面处理为等离子处理或紫外线照射处理。

10.根据权利要求1所述的液滴喷出头，其中，

所述能量的赋予是通过向所述接合膜照射能量线的方法进行的。

11.根据权利要求9所述的液滴喷出头，其中，

所述能量线为波长126～300nm的紫外线。

12.根据权利要求1所述的液滴喷出头，其中，

所述能量的赋予在大气气氛中进行。

13.根据权利要求1所述的液滴喷出头，其中，

还具有：在将所述基板和所述喷嘴板之间、所述基板和所述密封板之间中的至少一方借助所述接合膜接合后，对所述接合膜进行提高接合强度的处理的工序。

14.根据权利要求13所述的液滴喷出头，其中，

所述进行提高接合强度的处理的工序是通过加热所述接合膜的方法及向所述接合膜赋予压缩力的方法中的至少一种方法来进行的。

15.根据权利要求1所述的液滴喷出头，其中，

所述密封板由层叠多个层而成的层叠体构成，

所述层叠体中的层中的邻接的至少一组层的层间是借助与所述接合膜相同的接合膜来接合的。

16.根据权利要求1所述的液滴喷出头，其中，

所述液滴喷出头还具有：振动机构，其设置于所述密封板的与所述基板相反的一侧，使所述密封板振动，

所述密封板和所述振动机构是借助与所述接合膜相同的接合膜来接合的。

17.根据权利要求16所述的液滴喷出头，其中，

所述振动机构包含压电元件。

18.根据权利要求1所述的液滴喷出头，其中，

所述液滴喷出头还具有：盒头，其设置于所述密封板的与所述基板相反的一侧，

所述密封板和所述盒头是借助与所述接合膜相同的接合膜来接合的。

19.根据权利要求1所述的液滴喷出头，其中，

所述液滴喷出头使用于作为所述喷出液喷出与所述液态材料相同的液态材料的情况中。

20.根据权利要求19所述的液滴喷出头，其中，

由所述液滴喷出头喷出的所述液态材料中含有甲苯或二甲苯。

21.一种液滴喷出装置，其特征在于，

具备权利要求1～20中任一项所述的液滴喷出头。

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