JP2007015238A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】連続印字等厳しい使用環境においても、接着剤の剥れによる混色等の不都合が生じることのない、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】複数の記録素子、吐出口、インク流路が形成されており、紫外線不透過性の記録素子基板と、支持部材が、エポキシ樹脂、エポキシ樹脂と熱反応可能なシランカップリング剤、光カチオン重合開始剤及び熱カチオン重合開始剤から成る接着剤により固定されるインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、記録素子基板と支持部材の少なくともどちらかに接着剤を塗布した後、接着剤を記録素子基板と支持部材の接合部からはみ出した状態にする工程と、接合部からはみ出した接着剤に紫外線を照射して接着剤の一部を硬化させた後、加熱により更に硬化を行う工程とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、支持部材は、接合面の紫外線の反射濃度が０．４以上のものを用いる。
【選択図】図１

Description

本発明は、記録液を記録媒体へ吐出して記録を行うインクジェット記録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録ヘッドに関する。

インクジェット記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録と様々な記録メディアに対して記録することが可能であって、記録時における騒音が殆ど生じないといった特徴を有している。

インクジェット記録装置の代表的なインク吐出方式として、電気熱変換素子を吐出エネルギー発生素子として用いた方式がある。この方式を用いたインクジェット記録ヘッドは、電気熱変換素子を加圧室内に設け、これに記録信号となる電気パルスを印加することにより記録液に熱エネルギーを与え、その時の記録液の相変化により生じる記録液の発泡時（沸騰時）の気泡圧力を記録液滴の吐出に利用したものである。

このような電気熱変換方式を用いたインクジェット記録ヘッドには、電気熱変換素子が配列されたシリコン基板に対して平行に記録液を吐出させる方式（エッジシュータ）のものと、電気熱変換素子が配列された基板に対して垂直に記録液を吐出させる方式（サイドシュータ）のものとがある。

図２は従来のインクジェット記録ヘッドカートリッジを示す。インクジェット記録カートリッジは、記録ヘッドH１００１及びインクタンクH１９００により構成されている（図３参照）。

図４はインクジェット記録カートリッジを図２とは違う方向から見た斜視図である。又、図５はインクジェット記録ヘッドの分解斜視図である。

記録素子ユニットH１００２はインク供給口H１１０２を有する第1のプレート（支持部材）H１２０１に第1の記録素子基板H１１００と第2の記録素子基板H１１０１が所定の位置合わせがされた状態で接合固定されている。

図６及び図７には記録素子基板の斜視図で、説明のため一部破断を含む形で示している。図６の記録素子基板はインク供給口が1つであり単色に対応するものである。図７に示す記録素子基板はインク供給口が３本有るので、３色まで異なるインクを用いることができるものである。

図８は、図７に対応する記録素子基板を支持部材上に搭載した状態を示す図であり、インク供給口の長手方向と直交する位置の断面図である。

図８に示すように、記録素子基板１０３の表面側に設けられている吐出ロプレート１０４には、記録液を吐出するための複数の吐出口１０４ａが、記録素子である吐出エネルギー発生素子（例えば、電気熱変換素子）１０５に対向する位置に２列に亘って開口され、２列で１組を成す吐出口列が構成されている。

記録液は支持部材１０１の記録液供給流路１０１ａより供給され、記録素子基板１０３の記録液供給口１０６を通り、吐出エネルギー発生素子に１０５に至り、ここで吐出のためのエネルギー（例えば、電気熱変換素子では、熱エネルギー）を受け発泡することにより吐出口１０４ａより吐出する。

記録液がスムースに供給されるためには、支持部材１０１と記録素子基板１０３との位置関係が設計された通りに配置されていなければならない。又、１つの支持基板１０１に複数の記録素子基板１０３を配置する場合、例えば多色のインクを用い、それぞれのインクに対応する記録素子基板を用いる場合には、記録素子基板同士の位置合わせが必要になる。

図９（ａ）〜（ｃ）、図１０（ｄ），（ｅ）、図１１（ｆ）は、従来のインクジェット記録ヘッドの製造方法の一例を説明するための断面図である。第１のプレートＨ１２００（支持部材）へ第１の記録素子基板Ｈ１１００を取り付ける工程を示している。尚、図９〜図１１は、第１の記録素子基板Ｈ１１００をインク供給口の長手方向で切断した断面を示している。

図９〜図１１において、符号Ｈ１０１は接着剤Ｈ１２０２を塗布する転写ピン、符号Ｈ１０６は記録素子基板を吸着し位置決めを行う真空吸着フィンガー、符号Ｈ１１０，Ｈ１１１は記録素子基板の位置を認識するためのＣＣＤカメラ、符号Ｈ１１２，Ｈ１１３は紫外線照射ノズルをそれぞれ示している。

第１のプレートＨ１２００（支持部材）へ、例えば、シリコン基板を用いて作られた第１の記録素子基板Ｈ１１００を取り付ける工程においては、先ず、図９（ａ）に示すように、転写ピンＨ１０１の転写面に接着剤Ｈ１２０２を塗布する。

続いて、同図（ａ）に示すように、転写ピンＨ１０１の転写面を第１のプレートＨ１２００に当接させる。そして、同図（ｃ）に示すように、転写ピンＨ１０１を第１のプレートＨ１２００から離すと、第１のプレートＨ１２００の接着個所に接着剤Ｈ１２０２が塗布される。塗布する量については記録素子基板と支持部材の隙間が完全に埋まる量が必要で、支持部材の表面平坦性が良好の時は薄く出きるし、表面がうねっていたり凹凸が大きい時にはそれを接着材で吸収する厚さが必要となるが、通常、０．５〜１００μm程度である。又、第１のプレートＨ１２００上の接着剤Ｈ１２０２は、第１の記録素子基板Ｈ１１００の当接する位置よりも外側にシフトした位置に転写されるようにしている。

次に、図１０（ｄ）に示すように、真空吸着フィンガーＨ１０６により第１の記録素子基板Ｈ１１００の吐出口Ｈ１１０７を形成するインク流路壁Ｈ１１０６の面を吸着把持して、ＣＣＤカメラＨ１１０，Ｈ１１１により第１の記録素子基板Ｈ１１００の不図示のアライメントマークを光学的に認識して、第１のプレートＨ１２００との位置合わせを行う。

続いて、同図（ｅ）に示すように、位置決めされた真空吸着フィンガーＨ１０６を下降させ、第１の記録素子基板Ｈ１１００を第１のプレートＨ１２００に当接させ且つ押圧する。接着剤Ｈ１２０２が同図に示すように第１の記録素子基板Ｈ１１００の長手方向の端部にはみ出した状態になる。

そして、図１１（ｆ）に示すように、第１のプレートＨ１２００に第１の記録素子基板Ｈ１１００を押圧した状態を保持しながら、紫外線照射ノズルＨ１１２，Ｈ１１３より、端部からはみ出た接着剤Ｈ１２０２に紫外線を照射し硬化させることで、第１のプレートＨ１２００上に第１の記録素子基板Ｈ１１００の位置を固定する。ここで、紫外線照射量としては、次の熱硬化が終了するまで動かない程度の強度が必要で通常１００〜１００００mW／ｃｍ^２が照射される。これで、支持部材と記録素子基板は位置が固定された状態になる。

次に、熱硬化することにより記録素子基板の影の部分を充分硬化させ、インクに対する耐性を向上させ接合工程が完結される。

又、位置合わせが必要な部材同士を貼り合せてインクジェット記録ヘッドを製造方法が幾つか開示されている。

例えば、特許文献１には、インクジェット記録ヘッド本体に紫外線を透過するオリフィスプレート（吐出口プレート）を紫外線・熱硬化併用型の接着剤で接着する方法が開示されている。ここでは、プリンタ本体の接着面に接着剤を塗布後、オリフィス板をアライメントした後、接着面に紫外線照射し、更に加熱することが開示されている。同様の方法が、特許文献２，３にも開示されている。

一般に、紫外線及び熱硬化併用型の接着剤は知られており、これを用いて２つの部材の位置合わせを短時間で行う方法として、２つの部材間に接着剤を塗布した後、互いに位置合わせを行い密着させ、接着剤に紫外線を照射することが行われている。上記特許文献１に記載のように部材が紫外線透過性の場合は部材越しに紫外線照射を行うことにより固定できるが、部材が紫外線不透過性ものである時は、部材を密着させた際に接着剤がはみでるように行い、はみでた接着剤に紫外線を照射することで固定し、その後、紫外線が照射しない部材の影になった部分は熱により硬化する。

又、接着性を向上する目的で接着剤にシランカップリング剤を添加することも行われている。

シランカップリング剤は分子内にエポキシ基のような有機物と結合し易い反応性の官能基と、加水分解によりシラノール基となり、更に基材の水酸基等と反応することで強力な接着力が得られる基を有するものである。有機物と基材と両方に反応する基を有することで、有機と無機の接着性が高められる。
特開平１１−１７９９２３号公報 特開平１１−１８８８７３号公報 米国特許第６，３５８，３５４号公報

しかし、本発明者らが検討した結果、シランカップリング剤の有機の基に接着剤の反応機構と同じものを用いた場合、即ち、紫外線でも熱でも有機の基の反応が進むシランカップリング剤を添加したものでは、紫外線照射後に熱硬化したものの接着性は、熱のみで硬化したものより接着性に劣ると言うことが明らかになった。この理由として、シランカップリング剤と基材の反応、即ち、シラノール基の反応は熱のみで進行し、紫外線照射では進行しないのに対して、シランカップリング剤の有機の基は紫外線で反応が進行するため、紫外線照射によりシランカップリング剤の動きが阻害され、その後の熱のよるシラノール基の反応が阻害されてしまうためと考えられる。

前示した公報には何れもシランカップリング剤を添加することについて開示されていない。又、特許文献１，２が紫外線透過性のものを用いているので、上記問題は全く記載がない。

紫外線不透過性の部材の場合には、部材からはみ出させた接着剤に紫外線照射するので、部材間の接着剤には直接紫外線が照射しないので上記問題は発生しないと考えらていたが、実際は部材の表面で反射した紫外線が部材間にも回り込むため接着性の低下が生じていた。
インクジェットヘッドの場合、記録素子基板が小さいく、接着部面積に対して紫外線も回り込む領域の比率が相対的に広い領域となるため、特に問題である。接着性の低下は、インクジェットヘッドの性能を維持する上で重要な性能であることは言うまでもない。特に、近年画像の耐候性向上や高画質化への要求は強く、より厳しい特性のインクが使用され、このようなインクは接着剤に対するアタックという点で、より厳しい傾向にある。

記録素子基板の接着性が低下すると、例えば連続使用した場合にインクが漏れるたり、多色の場合には混色するという重大な欠陥の生じる可能性がある。

本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、連続印字等厳しい使用環境においても、接着剤の剥れによる混色等の不都合が生じることのない、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドとその製造方法を提供することにある。

上記した課題を解決する手段として本発明では以下を挙げる。

少なくとも記録液を吐出するための複数の記録素子、吐出口、インク流路が形成されており、吐出口と反対面にはインク供給口が配置されている紫外線不透過性の記録素子基板と、記録素子基板を保持固定する支持部材が、エポキシ樹脂、エポキシ樹脂と熱反応可能なシランカップリング剤、光カチオン重合開始剤及び熱カチオン重合開始剤から成る接着剤により固定されるインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
記録素子基板と支持部材の少なくともどちらかに接着剤を塗布した後、互いに圧接し接着剤を記録素子基板と支持部材の接合部からはみ出した状態にする工程と、
接合部からはみ出した接着剤に紫外線を照射して接着剤の一部を硬化させた後、加熱により更に硬化を行う工程とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記支持部材は、接合面の紫外線の反射濃度が０．４以上のものを用いることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。

少なくとも記録液を吐出するための複数の記録素子、吐出口、インク流路が形成されており、吐出口と反対面にはインク供給口が配置されている紫外線不透過性の記録素子基板と、記録素子基板を保持固定する支持部材が、エポキシ樹脂、エポキシ樹脂と熱反応可能なシランカップリング剤、光カチオン重合開始剤及び熱カチオン重合開始剤から成る接着剤により固定されるインクジェット記録ヘッドであって、
記録素子基板と支持部材の少なくともどちらかに接着剤を塗布した後、互いに圧接し接着剤を記録素子基板と支持部材の接合部からはみ出した状態にする工程と、
接合部からはみ出した接着剤に紫外線を照射して接着剤の一部を硬化させた後、加熱により更に硬化を行う工程とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記支持部材は、接合面の紫外線の反射濃度が０．４以上のものを用いることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。

以上により、前記課題は解決する。

ここで、反射濃度とは、反射面に入射する光量をＩ0、反射面から反射される光量をＩとすると、反射濃度Ｄｒは以下で示される値である。
Ｄｒ＝Lｏｇ_１０（Ｉ０／Ｉ）
通常、反射面の法線に対して４５°の方向から光を当て反射面の垂直方向に反射される光を測定することで求められる。

反射率（％）はＩ／Ｉ０×１００で示されるので、反射濃度の高いということは（Ｉ０／Ｉ）が大きい、即ち反射率が小さいことを意味する。

以上説明したように、エポキシ樹脂、エポキシ樹脂と熱反応可能なシランカップリング剤、光カチオン重合開始剤及び熱カチオン重合開始剤から成る接着剤を用いて、記録素子基板と支持部材が固定されるインクジェット記録ヘッドにおいて、
支持部材は、接合面の紫外線の反射濃度が０．４以上のものを用いることにより、位置決め時の紫外線照射による接着剤の仮固定の際、記録素子基板の裏面に紫外線が不要に回り込むことがなく、その後の熱硬化時にシランカップリング剤のシラノール基の反応が阻害されることがないので十分な接着性が得られる。このため、連続印字等厳しい使用環境においても、接着剤の剥れによる混色等の不都合が生じることのない、信頼性の高いインクジェット記録ヘッド、該インクジェットヘッドを使用したインクジェット記録装置を提供することができる。

次に、本発明の実施の形態を説明する。

本発明の製造方法の手順は、後示する接着剤として特定の組成のものを用いることと支持部材として特定のものを用いる以外は従来の方法を採用することができる。

本発明で用いる支持部材としては、接合面の紫外線の光学的反射濃度が０．４以上のもの用いる。

材質としては、耐インク性の高いセラミックが挙げられる。特に、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）が挙げられる。又、シリコン（Ｓｉ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ジルコニア、窒化珪素（Ｓｉ_３Ｎ_４）、炭化珪素（ＳｉＣ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）等も良い。更に、変性ポリフェニレンオキサイド（ＧＥプラスチック社製品名：ノリル）、ポリエステルテレフタレート等の樹脂であっても良い。

又、接着面の接着性を向上させる目的で表面処理を行うことは有効である。表面処理の方法としては常圧若しくは減圧下で酸素やフッ素等のプラズマで処理する方法、コロナ放電処理、火炎処理、を挙げることができる。

本発明に用いる接着剤は、以下に述べる紫外線を照射しても熱を加えても硬化する紫外線・熱硬化併用型のもので、エポキシ樹脂、エポキシ樹脂と熱反応可能なシランカップリング剤、光カチオン重合開始剤及び熱カチオン重合開始剤から成る接着剤であり、インクに対して耐性があり転写性の優れたものを用いる。

エポキシ樹脂としては、接着剤を構成する樹脂は、光による仮止め工程での位置精度を出すために、光照射後瞬時に硬化可能なものが良い。光反応性に優れ、且つ、接着剤が流路を形成するために耐インク性が良好でなものが好ましい。光ラジカル重合は記録素子基板の仮硬化を行うには暗反応が少ないために都合が良いが、ラジカル重合性の良好なアクリル系樹脂はアルカリインクに対しては耐性が良好でない。一般にエポキシ樹脂は耐アルカリインク性、光反応性が良く、中でも脂環式エポキシ樹脂は光カチオン重合性も良好なため、本発明に最も適している。

脂環式エポキシ樹脂の具体例としては、少なくとも１個の脂環式環を有する多価アルコールのポリグリシジルエーテル又はシクロヘキセン、シクロペンテン環含有化合物を酸化剤でエポキシ化することによって得られるシクロヘキセンオキサイド構造含有化合物又は、シクロペンテンオキサイド構造含有化合物、又はビニルシクロヘキサン構造を有する化合物を酸化剤でエポキシ化することによって得られるビニルシクロヘキサンオキサイド構造含有化合物が挙げられる。

例えば、水素添加ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシシクロヘキシルカルボキシレート、３，４−エポキシ−１−メチルシクロヘキシル−３，４−エポキシ−１−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、６−メチル−３，４−エポキシシクロヘキシルメチル−６−メチル−３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、３，４−エポキシ−３−メチルシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシ−３−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、３，４−エポキシ−５−メチルシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシ−５−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル−５，５−スピロ−３，４−エポキシ）シクロヘキサン−メタジオキサン、ビス（３，４−エポキシシクロヘキシルメチル）アジペート、ビニルシクロヘキセンジオキサイド、４−ビニルエポキシシクロヘキサン、ビス（３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシルメチル）アジペート、３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシルカルボキシレート、メチレンビス（３，４−エポキシシクロヘキサン）、ジシクロペンタジエンジエポキサイド、エチレングリコールジ（３，４−エポキシシクロヘキシルメチル）エーテル、エチレンビス（３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、エポキシヘキサヒドロフタル酸ジオクチル、エポキシヘキサヒドロフタル酸ジ−２−エチルヘキシル等が挙げられる。

更に、硬化物の物性調整のために、上記脂環式エポキシ樹脂に、芳香族エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂、エポキシ変性ブタジエン樹脂、多価タカアルコール、酸無水物等を添加することが可能である。エポキシ変性ブタジエン樹脂としては、旭電化工業（株）製の商品名ＢＦ―１０００、日本曹達（株）製の商品名ＥＰＢ−１３、同ＥＰＢ−１０５４、更に日本石油化学（株）製の商品名Ｅ−７００−３．５、同Ｅ−７００−６．５、同Ｅ−１０００−３．５、同Ｅ−１０００−６．５、同Ｅ−１０００―８、同Ｅ−１８００−６．５等を混合しても良い。

芳香族エポキシ樹脂としては、少なくとも１個の芳香族環を有する多価フェノール、又はそのアルキレンオキサイド付加物のポリグリシジルエーテル、例えばビスフェノールＡ、ビスフェノールＦ、又、これらに更にアルキレンオキサイドを付加させた化合物のグリシジルエーテル、エポキシノボラック樹脂、ビスフェノールＡノボラックジグリシジルエーテル、ビスフェノールＦノボラックジグリシジルエーテル等が挙げられる。

脂肪族エポキシ樹脂の具体例としては、脂肪族多価アルコール又はそのアルキレンオキサイド付加物のポリグリシジルエーテル、脂肪族長鎖多塩基酸のポリグリシジルエステル、脂肪族長鎖不飽和炭化水素を酸化剤で酸化することによって得られるエポキシ含有化合物、グリシジルアクリレート又はグリシジルメタクリレートのホモポリマー、グリシジルアクリレート又はグリシジルメタクリレートのコポリマー等が挙げられる。

代表的な化合物として、１，４−ブタンジオールジグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、グリセリンのトリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンのトリグリシジルエーテル、ソルビトールのテトラグリシジルエーテル、ジペンタエルスリトールのヘキサグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールのジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールのジグリシジルエーテル等の多価アルコールのグリシジルエーテル、又、プロピレングリコール，グリセリン等の脂肪族多価アルコールに１種又は２種以上のアルキレンオキサイドを付加することによって得られるポリエーテルポリオールのポリグリシジルエーテル、脂肪族長鎖二塩基酸のジグリシジルエステルが挙げられる。更に、脂肪族高級アルコールのモノグリシジルエーテルやフェノール，クレゾール，ブチルフェノール、又、これらにアルキレンオキサイドを付加することによって得られるポリエーテルアルコールのモノグリシジルエーテル、高級脂肪酸のグリシジルエステル、エポキシ化大豆油、エポキシステアリン酸オクチル、エポキシステアリン酸ブチル、エポキシ化アマニ油等が挙げられる。

シランカップリング剤としては、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（βメトキシエトキシ）シラン、γ-（メタクリロイルオキシプロピル）トリメトキシシラン、γ-（メタクリロイルオキシプロピル）トリエトキシシラン、β-（3,4-エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、γ-イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、γ-メルカプトプロピルトリエトキシシラン、γ-メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ-クロロプロピルトリメトキシシラン、N-β（アミノエチル）γ-アミノプロピルトリメトキシシラン、N-β（アミノエチル）γ-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ-アミノプロピルトリエトキシシラン、N-フェニルーγアミノプロピルトリメトキシシラン等がある。

しかしながら、本発明の接着剤の硬化システムとしてカチオン重合触媒を用いることから、カチオン重合性を阻害するアミノ基等の求核性基を持つシランカップリング剤は好ましくない。

シランカップリング剤の添加量としては、先に挙げたエポキシ樹脂100重量部に対して、０．１〜２０重量部程度が好ましい。より好ましくは１〜１０重量部が好ましい。

光カチオン重合開始剤としては、芳香族オニウム塩［Ｊ．ＰＯＬＹＭＥＲ ＳＣＩ：Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ Ｎｏ. ５６ ３８３−３９５（１９７６）参照］、チバガイギー社より上市されているイルガキュアー２６１（登録商標）、旭電化工業より上市されてるＳＰ−１５０（商品名）、ＳＰ−１７０（商品名）等が挙げられる。

熱カチオン重合開始剤としては、三新化学工業より上市されているサンエイドSI-60L（商品名）、サンエイドSI-80L（商品名）、サンエイドSI-100L（商品名）、旭電化工業より上市されているＣＰ−６６（商品名）、ＣＰ−７７（商品名）或は芳香族オニウム塩と還元剤との併用（特願昭５４−１０２３９４号公報、Ｊ．ＰＯＬＹＭＥＲ ＳＣＩ：Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｅｄｉｔｉｏｎ Ｖｏ１１２１，９７−１０９（１９８３）参照）等が挙げられる。

これらのカチオン重合開始剤の添加量としては、エポキシ樹脂１００重量部に対して、０．０５〜１０重量部が好ましい。より好ましくは０．１〜５重量部が好ましい。これらの量より少ないと本来の重合開始剤としての効果が安定的に得られない。又、必要以上に用いるのはコストの面から好ましくないし、開始剤自体紫外線吸収性があるため深部の光硬化性が悪くなるという結果を生じる。
以下本発明の実施例について述べる。

支持部材として、アルミナA445（京セラ社製品名）を用い、インクジェット記録ヘッドを作製した。

365nmでの反射濃度は１．０８であった。

作製方法は、前示した方法により行った。接着剤は以下に示す組成のものを用い、支持部材上に図９で示される転写ピンで所定の位置に転写した。次に、シリコン製の記録素子基板を位置合わせをした状態で圧接し、記録素子基板よりはみだした接着材に向けて500mW／ｃｍ^２の照度で10秒間（照射量は５J／cm^２）照射した。この後、１１０℃で３時間加熱することにより、記録素子基板の影になる部分を完全に硬化させた。接着剤層の厚さは約１０μｍであった。この後、前示した方法に従いインクジェット記録ヘッドを完成させた。
接着剤の組成
本実施例で用いた接着剤（H1202）の処方を以下に示す。全て重量％を示す。
セロキサイド2021 50（脂環式エポキシ樹脂 ダイセルUCB社製）
エビコート807 50（ビスフェノールF型エポキシ樹脂 油化シェルエポキシ社製）
アデカオプトマーSP-170 2（光カチオン重合開始剤 旭電化社製）
アデカオプトロンCP-77 0.4（熱カチオン重合開始剤 旭電化社製）
A-187 3（シランカップリング剤 日本ユニカー社製）

支持部材として、アルミナA459K（京セラ社製品名、反射濃度0.85）を用いた他は実施例１と同様。

接着剤の組成
支持部材として、炭化珪素SC1000（京セラ社製品名、反射濃度0.81）を用いた他は実施例１と同様。

支持部材として、窒化アルミAN215（京セラ社製品名、反射濃度0.43）を用いた他は実施例１と同様。

支持部材として、ジルコニアZ-201N（京セラ社製品名、反射濃度1.04）を用いた他は実施例１と同様。

支持部材として、ノリルRN1300（ＧＥプラスチック社製品名、反射濃度1.49）を用い、接着面は減圧酸素プラズマ灰化処理を行った他は実施例１と同様。

支持部材として、ＰＥＴ ＦＲ515（デュポン社製品名、反射濃度1.34）を用い、接着面は減圧酸素プラズマ灰化処理を行った他は実施例１と同様。
＜比較例1＞
支持部材として、アルミナＡ476（京セラ社製品名、反射濃度0.08）を用い他は実施例１と同様。
［評価］
連続印字性
実施例1から7、比較例１で作成したインク供給ユニットを、キヤノン（株）社製 インクジェットプリンター BJF700を用いて連続にて5Ｘ108パルス印字を行った後、ノズルチェックパターンを印字し、混色の有無を確認した。
接着性
作製した記録ヘッドをBJF700のマゼンタインクに浸漬させ、且つ、密閉状態で100℃に100時間処理した後、記録素子基板の接着性を評価した。
剥れが確認される ×
剥れが確認されない ○
［評価結果］
下表に評価結果を示した。

以上の各実施形態において、記録方式として熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いたバブルジェット方式の特にサイドシュータ型について説明を行ってきたが、本願発明はそれに限定されるものではない。例えば電気機械変換体を用いたいわゆるピエゾ吐出方式、エッジシュータ型ヘッドといったタイプのインクジェットヘッドについても適用可能である。

本発明のインクジェット記録ヘッドの記録素子基板を支持部材上搭載した状態で示した断面図である。 従来の記録ヘッドカートリッジの、記録ヘッドとインクタンクとが組み合わされた状態を示す斜視図である。 従来の記録ヘッドカートリッジの、記録ヘッドとインクタンクとが分離された状態を示す斜視図である。 図２等に示した記録ヘッドカートリッジの底面を示す斜視図である。 図２等に示した記録ヘッドカートリッジの分解斜視図である。 図５に示した第１の記録素子基板を一部を破断して示した斜視図である。 図５に示した第２の記録素子基板を一部を破断して示した斜視図である。 従来の技術となる記録素子基板を支持部材上搭載した状態で示した断面図である。 従来のインクジェット記録ヘッドの製造方法の一例を説明するための断面図である。 従来のインクジェット記録ヘッドの製造方法の一例を説明するための断面図である。 従来のインクジェット記録ヘッドの製造方法の一例を説明するための断面図である。

符号の説明

１０１ 支持部材
１０１ａ 記録液供給流路
１０１ｂ 障壁
１０３ 記録素子基板
１０４ 吐出口プレート
１０４ａ 吐出口
１０５ 吐出エネルギー発生素子
１０６ 記録液供給口
１０７ 接着材
Ｈ１０１ 転写ピン
Ｈ１０６ 真空吸着フィンガー
Ｈ１１０、Ｈ１１１ ＣＣＤカメラ
Ｈ１１２、Ｈ１１３ 紫外線照射ノズル
Ｈ１０００ 記録ヘッドカートリッジ
Ｈ１００１ 記録ヘッド
Ｈ１００２ 記録素子ユニット
Ｈ１００３ インク供給ユニット
Ｈ１１００、Ｈ１１００‘ 第１の素子基板
Ｈ１１０１ 第２の素子基板
Ｈ１１０２ インク供給口
Ｈ１１０３ 電気熱変換素子
Ｈ１１０４ 電極
Ｈ１１０５ バンプ
Ｈ１１０６ インク流路壁
Ｈ１１０７ 吐出口
Ｈ１１０８ 吐出口列
Ｈ１１１０ Ｓｉ基板
Ｈ１２００ 第１のプレート
Ｈ１２０１ インク供給口
Ｈ１２０２ 接着剤
Ｈ１３００ 電気配線テープ
Ｈ１３０１ 外部信号入力端子
Ｈ１３０２ 電極端子
Ｈ１３０３ 電極端子部
Ｈ１３０９ 端子位置決め穴
Ｈ１３１０ 端子結合穴
Ｈ１４００ 第２のプレート
Ｈ１５００ インク供給部材
Ｈ１５０１ インク流路
Ｈ１５０９ Ｘ突き当て部
Ｈ１５１０ Ｙ突き当て部
Ｈ１５１１ Ｚ突き当て部
Ｈ１５１２ 端子固定部
Ｈ１５１５ 端子位置決めピン
Ｈ１５１６ 端子結合ピン
Ｈ１６００ 流路形成部材
Ｈ１６０１ 装着ガイド
Ｈ１６０２ インク供給口
Ｈ１７００ フィルター
Ｈ１８００ シールゴム
Ｈ１９００ インクタンク
Ｈ１９０１ ブラックインクタンク
Ｈ１９０２ シアンインクタンク
Ｈ１９０３ マゼンタインクタンク
Ｈ１９０４ イエローインクタンク
Ｈ２０００ タンクホルダー
Ｈ２２００ 電気コンタクト基板
Ｈ２３００ ジョイントゴム
Ｈ２４００ ビス

Claims (10)

1. 少なくとも記録液を吐出するための複数の記録素子、吐出口、インク流路が形成されており、吐出口と反対面にはインク供給口が配置されている紫外線不透過性の記録素子基板と、記録素子基板を保持固定する支持部材が、エポキシ樹脂、エポキシ樹脂と熱反応可能なシランカップリング剤、光カチオン重合開始剤及び熱カチオン重合開始剤から成る接着剤により固定されるインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
   記録素子基板と支持部材の少なくともどちらかに接着剤を塗布した後、互いに圧接し接着剤を記録素子基板と支持部材の接合部からはみ出した状態にする工程と、
   接合部からはみ出した接着剤に紫外線を照射して接着剤の一部を硬化させた後、加熱により更に硬化を行う工程とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
   前記支持部材は、接合面の紫外線の反射濃度が０．４以上のものを用いることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
2. 前記支持部材の材質がセラミックであることを特徴とする請求項１記載のインジェット記録ヘッドの製造方法。
3. 前記支持部材はノリル、ポリエステルテレフタレートの何れかを主成分とする樹脂であることを特徴とする請求項1記載のインジェット記録ヘッドの製造方法。
4. 前記支持部材は少なくとも接合部を表面処理したものであることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のインジェット記録ヘッドの製造方法。
5. 前記記録素子基板がシリコンであることを特徴とする請求項１記載のインジェット記録ヘッドの製造方法。
6. 少なくとも記録液を吐出するための複数の記録素子、吐出口、インク流路が形成されており、吐出口と反対面にはインク供給口が配置されている紫外線不透過性の記録素子基板と、記録素子基板を保持固定する支持部材が、エポキシ樹脂と熱反応可能なシランカップリング剤、エポキシ樹脂、光カチオン重合開始剤及び熱カチオン重合開始剤から成る接着剤により固定されるインクジェット記録ヘッドであって、
   記録素子基板と支持部材の少なくともどちらかに接着剤を塗布した後、互いに圧接し接着剤を記録素子基板と支持部材の接合部からはみ出した状態にする工程と、
   接合部からはみ出した接着剤に紫外線を照射して接着剤の一部を硬化させた後、加熱によりさ更に硬化を行う工程とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
   前記支持部材は、接合面の紫外線の反射濃度が０．４以上のものを用いることを特徴とするインクジェット記録ヘッド
7. 前記支持部材の材質がセラミックであることを特徴とする請求項６記載のインジェット記録ヘッド。
8. 前記支持部材はノリル、ポリエステルテレフタレートのいずれかを主成分とする樹脂であることを特徴とする請求項６記載のインジェット記録ヘッド。
9. 前記支持部材は、少なくとも接合部を表面処理したものであることを特徴とする請求項６〜８の何れかに記載のインジェット記録ヘッド。
10. 前記記録素子基板がシリコンであることを特徴とする請求項７記載のインジェット記録ヘッド。

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