JP2002103637A - インクジェット記録装置 - Google Patents

インクジェット記録装置

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JP2002103637A JP2000299906A JP2000299906A JP2002103637A JP 2002103637 A JP2002103637 A JP 2002103637A JP 2000299906 A JP2000299906 A JP 2000299906A JP 2000299906 A JP2000299906 A JP 2000299906A JP 2002103637 A JP2002103637 A JP 2002103637A
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Naoji Otsuka
Hitoshi Sugimoto
Takeshi Yazawa
尚次 大塚
仁 杉本
剛 矢澤
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Canon Inc
キヤノン株式会社
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 一体のキャップ部材を用いて、それぞれ異な
るインク吐出量を得る複数の記録素子基板を有する記録
ヘッドのキャッピングを行う。 【解決手段】 インクジェット記録ヘッドH1001が
2つの記録素子基板H1100,H1101を有してい
る。ブラックインク用記録素子基板H1100は、厚い
吐出口形成部材を有し吐出口−記録素子間距離が長くイ
ンク吐出量が多い。カラーインク用記録素子基板H11
01は、薄い吐出口形成部材を有し吐出口−記録素子間
距離が短くインク吐出量が少ない。両記録素子基板H1
100,H1101が、第1のプレート上、すなわち、
実質的に一様な平坦面上に互いに隣接して配置されてい
る。そして、単一のキャップ部材141が、両記録素子
基板H1100,H1101の吐出口を同時にキャッピ
ングする。

Description

【発明の詳細な説明】

【0001】

【発明の属する技術分野】本発明は、インク等の記録液
を吐出口から吐出して液滴を形成して記録動作を行うイ
ンクジェット記録装置に関する。

【0002】

【従来の技術】インクジェット記録装置は、いわゆるノ
ンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録と
様々な記録媒体に対して記録することが可能であって、
記録における騒音が殆ど生じないと言った特徴を持つ。
このようなことから、インクジェット記録装置は、プリ
ンタ、複写機、ファクシミリ、ワードプロセッサ等の記
録機構を担う装置として、広く採用されている。

【0003】このようなインクジェット記録装置に搭載
される記録ヘッドにおける代表的なインク吐出方式とし
ては、ピエゾ素子などの電気機械変換体を用いたもの、
レーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱に
よる作用でインク滴を吐出させるもの、あるいは発熱抵
抗体を有する電気熱変換素子によってインクを加熱し、
膜沸騰の作用によりインク滴を吐出させるものなどが知
られている。電気熱変換素子を用いたインクジェット記
録ヘッドは、電気熱変換素子を記録液室内に設け、これ
に記録信号となる電気パルスを供給して発熱させること
によりインクに熱エネルギーを与え、そのときの記録液
の相変化により生じる記録液の発泡時(沸騰時)の気泡
圧力を利用して、微小な吐出口から微小なインク滴を吐
出させて、記録媒体に対し記録を行うものであり、一般
に、インク滴を吐出するためのインクジェット記録ノズ
ルと、このノズルにインクを供給する供給系とを有して
いる。

【0004】このようなインクジェット記録ヘッドを備
えた記録装置は低コストで高品位な文字や画像が出力可
能である。

【0005】従来から低価格でカラープリントが出力で
きる利点から、液体に膜沸騰を生じせしめ気泡の形成
(発生、成長、消泡、消滅)に伴って、液滴を吐出さ
せ、本願出願人であるキヤノン株式会社提案のバブルジ
ェット方式の吐出原理に基づく、いわゆるBJ方式の記
録装置が普及している。この記録装置は、黒系液体とし
てのブラックインクおよびシアン、マゼンタ、イエロー
のカラー系液体を吐出する各記録素子基板に共通してバ
ブルジェット方式を用いている。

【0006】一般に、高画質化が望まれるにつれて、各
記録素子基板の吐出口の数は、64個から、128個、
256個等と増加する傾向にあり、1インチ当たりの吐
出口数で言うところの「dpi」で、300dpi、6
00dpi等の高密度で配置される。これらの吐出口に
対して配置される電気熱変換体としての発熱体は、数μ
secオーダーから10μsecオーダーのパルス的な
駆動によって応答して、膜沸騰による気泡を形成する
が、高周波的で駆動できるため、高速プリント、高画質
の形成を達成して、近年では単位時間当たりに駆動され
る発熱体が増加する傾向にある。

【0007】従来のインクジェット記録ヘッドは、複数
のインク吐出口が一つのシリコン基板の同一平面上に半
導体製造技術を用いて造り込まれている。そのため、シ
リコン基板上に形成されている吐出口形成部材の前面
(吐出口面)はほぼ一様に平坦な平面となっている。シ
リコン基板の平面上に吐出口形成部材を形成し、記録素
子基板であるチップが完成する。そのチップは構造部材
に接着または圧着されて固定され、同時に、インクを供
給するためのインク流路を有する部材が接合される。さ
らに、電気信号を供給するための配線部材が、記録素子
基板のまわりの特定の方向に配置されている。

【0008】このインクジェット記録ヘッドにおいて、
カラー記録を行う場合、カラーインク(通常はシアン、
マゼンタ、イエローの3種)とブラックインクとを吐出
するが、カラーインクとブラックインクとで吐出量等が
異なることが好ましい場合がある。すなわち、銀塩写真
と同等の高品位カラー記録を達成するためには、紙上で
ドットが見えない(粒状感が無い)程度に小ドット化す
ることが必要であり、カラーインクの液滴はごく微小で
あることが好ましい。一方、ブラックインクに関して
も、文字の解像度やシャープネスを向上させることを考
えると、小さな液滴により紙上に小さなドットを形成す
ることが好ましいが、文字等の記録の他に、所定域全面
を塗りつぶす、いわゆるベタ印字が行われることも多
い。微小な液滴の吐出によってこのようなベタ印字を行
う場合、吐出回数が多くなり記録時間が長くなる。そこ
で、ブラックインクは、カラーインクに比べて大きな液
滴を吐出させることが好ましい。

【0009】このように、ブラックインクとカラーイン
クとで吐出量を異ならせる場合、ブラックインク用とカ
ラーインク用とそれぞれ別々の記録ヘッドを構成するこ
とが考えられる。しかし、複数の個別の記録ヘッドを記
録装置に取り付けて記録装置を構成すると、記録素子基
板間の主走査方向に対する距離が大きく離れてしまうた
めに、キャリッジの主走査幅が、記録素子基板が離れて
いる幅だけ大きくなってしまう問題点があった。この場
合、別個の独立した複数の記録ヘッドを構成せずに、カ
ラーインク用記録素子基板とブラックインク用記録素子
基板とを近接させて配置させて単一の記録ヘッドとする
ことが新たな有効な手段となる。この場合、カラーイン
ク用記録素子基板とブラックインク用記録素子基板とは
異なる記録素子基板で作成されることになる。特に、カ
ラーインクとブラックインクとで吐出量を異ならせる場
合、多くは、各記録素子基板ごとに吐出口径を変えると
ともに、吐出ヒータ(電気熱変換素子)から吐出口まで
の距離を変えるために記録素子基板の厚みが異なってし
まうからである。

【0010】

【発明が解決しようとする課題】通常のインクジェット
記録装置においては、不使用時に吐出口付近でインクが
乾燥により固化するのを防いだり、記録前にインクとと
もに気泡や混入物等を除去するための予備吐出を行う際
にそのインクを受けるために、吐出口の前方を覆うキャ
ップ部材が設けられている。従来の記録装置において
は、吐出口面上をキャッピングするか、単一の記録素子
基板のまわりの配線部材上をキャッピングする構成が主
流である。ピエゾ素子を用いる構成のインクジェット記
録装置においても、オリフィスプレート全面の一様な平
坦面上をキャッピングする構成が主流である。キャップ
部材により吐出口の周囲を覆うことによるキャッピング
効果を得るには、このキャップ部材が一様な平坦面また
はなだらかな連続面を有した平面に対して密着される必
要があるからである。

【0011】従来のインクジェット記録ヘッドにおいて
は、図27,28に示すように、複数の記録素子基板2
00,201を、それぞれに対応する別個の構造部材2
02,203に貼り付ける構成が主流であった。異なる
吐出量を得る複数の記録素子基板200,201を有す
る記録ヘッドの構成では、各記録素子基板200,20
1がそれぞれ取り付けられる平面部がかなり離れた位置
にあるために、同一のキャップでキャップすることがで
きず、別個のキャップ部材204,205でそれぞれ独
立してキャッピングされる構成となる。各記録素子基板
200,201の吐出量の違いに伴う厚さの差等につい
て全く考慮されていないことも、その理由の1つであ
る。しかし、コストダウンと記録装置の小型化のため
に、一体のキャップ部材のみでキャッピングが行えるこ
とが好ましい。

【0012】そこで本発明の目的は、一体のキャップ部
材を用いて、それぞれ異なるインク吐出量を得る複数の
記録素子基板を有しながらも、同時に記録ヘッドの実質
的に一様な平坦面上をキャッピングすることにより、小
型化、ローコスト化が行えるインクジェット記録装置を
提供することにある。

【0013】

【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、記録液
に吐出エネルギーを付与する複数の記録素子と、吐出エ
ネルギーを受容する記録液を貯留する複数の流路と、記
録液を吐出する複数の吐出口とを有する記録素子基板を
複数備えてなるインクジェット記録ヘッドと、インクジ
ェット記録ヘッドの吐出口の前方を覆う一体のキャップ
部材とを有するインクジェット記録装置において、少な
くとも1つの記録素子基板における記録素子と吐出口と
の間の距離と、他の記録素子基板における記録素子と吐
出口との間の距離とが異なる、または記録素子基板の厚
みが異なる、または両者の記録素子による液体吐出方式
が異なる前記複数の記録素子基板が、実質的に一様な平
坦面上に互いに隣接して配置されており、一体のキャッ
プ部材が、複数の記録素子基板の吐出口を、実質的に一
様な平坦面上で同時にキャッピング可能であるところに
ある。

【0014】この構成によると、厚さや吐出特性が異な
る複数の記録素子基板を有するインクジェット記録ヘッ
ドを単純にキャッピングでき、ひいては記録装置の大幅
な小型化、コストダウンを達成できる。すなわち、イン
クジェット記録ヘッドが走査されるシリアルプリンタに
おいて、記録素子基板の間隔は主走査方向に関して可能
な限り近接させることにより、主走査方向の走査幅を少
なくすることが可能となる。さらに、キャップ機構等が
主走査方向の非記録エリアに配される場合、複数の記録
素子基板間の主走査方向の間隔が小さければ小さいほ
ど、キャップ機構等の幅も小さくすることが可能とな
る。このことは、可搬型の超小型プリンタ等においては
非常に大きな利点である。

【0015】キャップ部材は、リブ部が平坦面に密着す
ることによりキャッピングを行うものであってもよい。
その場合、キャップ部材のリブ部に囲まれて単一のキャ
ッピング空間が形成されており、単一のキャッピング空
間内に複数の記録素子基板の吐出口が位置してキャッピ
ングが行われてもよい。または、キャップ部材のリブ部
に囲まれて複数のキャッピング空間が形成されており、
複数のキャッピング空間内にそれぞれ記録素子基板の吐
出口が位置してキャッピングが行われてもよい。さらに
その場合、複数のキャッピング空間の境界に位置するリ
ブ部の少なくとも一部は、複数のキャッピング空間にお
いて共有される輪郭線となっていてもよい。

【0016】記録液として黒系の液体が供給される記録
素子基板における記録素子と吐出口との間の距離が相対
的に長く、記録液としてカラー系の液体が供給される記
録素子基板における記録素子と吐出口との間の距離が相
対的に短いことが好ましい。そして、記録液として黒系
の液体が供給される記録素子基板の吐出口から吐出され
る記録液の吐出量が相対的に多く、記録液としてカラー
系の液体が供給される記録素子基板の吐出口から吐出さ
れる記録液の吐出量が相対的に少ないことが好ましい。

【0017】このような構成によると、ブラックの記録
液は大液滴として吐出させることにより、ベタ印字など
が高速で行える一方、カラーの記録液は小液滴として吐
出させることにより、高精細の高品位記録が可能にな
る。

【0018】また、記録液として黒系の液体が供給され
る記録素子基板の記録素子による液体吐出方式が、記録
素子の作動により記録液に発泡をもたらすとともに、発
泡により形成された気泡が消泡して消滅する吐出方式で
あり、記録液としてカラー系の液体が供給される記録素
子基板の記録素子による液体吐出方式が、記録素子の作
動により記録液に発泡がもたらされる際に発泡により形
成された気泡が吐出口から外部に連通する吐出方式であ
ってもよい。この構成によると、カラーの記録液を吐出
させた後、発泡圧は外部に逃げ、消泡時のメニスカスの
振動が小さいため、リフィルが速やかに行われ、高速記
録に寄与する。

【0019】複数の記録素子基板が、同一平面上に配置
された実質的に同じ厚さの基板と、基板上に積層されて
いる吐出口形成部材とを有し、少なくとも1つの記録素
子基板は、吐出口形成部材の高さが他の記録素子基板と
異なっていることにより、記録素子と吐出口との間の距
離が異なっていてもよい。

【0020】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。

【0021】図1〜図4は、本発明のインクジェット記
録装置の一実施形態に採用される好適なヘッドカートリ
ッジ、記録ヘッド、インクタンクのそれぞれの構成およ
びそれぞれの関係を説明する図である。以下、これらの
図面を参照して各構成要素の説明を行う。

【0022】本実施形態の記録ヘッド(インクジェット
記録ヘッド)は、図1,2よりわかるように、記録ヘッ
ドカートリッジを構成する一構成要素であり、記録ヘッ
ドカートリッジは、記録ヘッドと、記録ヘッドに着脱自
在に設けられたインクタンクとから構成されている。記
録ヘッドは、インクタンクから供給されるインク(記録
液)を、記録情報に応じて吐出口から吐出する。

【0023】この記録ヘッドカートリッジは、インクジ
ェット記録装置本体に載置されているキャリッジ(不図
示)の位置決め手段および電気的接点によって固定支持
されるとともに、キャリッジに対して着脱可能となって
いる。インクタンクはブラックのインク用、シアンのイ
ンク用、マゼンタのインク用、イエローのインク用の4
つが設けられている。このようにインクタンクのそれぞ
れが記録ヘッドに対してシールゴムH1800側に着脱
自在であり、それぞれのインクタンクが交換可能となっ
ていることにより、インクジェット記録装置における印
刷のランニングコストが低減される。

【0024】次に、記録ヘッドを構成しているそれぞれ
の構成要素毎に順を追ってさらに詳しく説明する。

【0025】(1)記録ヘッド 記録ヘッドH1001は、電気信号に応じて膜沸騰をイ
ンクに対して生じさせるための熱エネルギーを生成する
電気熱変換体(記録素子)を用いて記録を行うバブルジ
ェット方式のサイドシュータ型の記録ヘッドである。

【0026】記録ヘッドH1001は、図2の分解斜視
図に示すように、記録素子ユニットH1002とインク
供給ユニット(記録液供給手段)H1003とタンクホ
ルダーH2000から構成されている。

【0027】さらに、記録素子ユニットH1002は、
第1の記録素子基板H1100、第2の記録素子基板H
1101、第1のプレート(第1の支持部材)H120
0、電気配線テープ(可撓性の配線基板)H1300、
電気コンタクト基板H2200、第2のプレート(第2
の支持部材)H1400で構成されており、また、イン
ク供給ユニットH1003は、インク供給部材H150
0、流路形成部材H1600、ジョイントシール部材H
2300、フィルターH1700、シールゴムH180
0から構成されている。

【0028】(1−1)記録素子ユニット 図3は、第1の記録素子基板H1100の構成を説明す
るために一部分解した斜視図である。第1の記録素子基
板H1100は、厚さ0.5〜1mmのSi基板H11
10の片面に、インクを吐出するための複数の記録素子
(電気熱変換素子)H1103と、各電気熱変換素子H
1103に電力を供給するAl等の電気配線が、成膜技
術により形成されている。そして、この電気熱変換素子
H1103に対応する複数のインク流路と複数の吐出口
H1107とがフォトリソグラフィ技術により形成され
るとともに、複数のインク流路にインクを供給するため
のインク供給口H1102が反対側の面(裏面)に開口
するように形成されている。また、記録素子基板H11
00は第1のプレートH1200に接着され固定されて
おり、ここにインク供給口H1102が形成されてい
る。さらに、第1のプレートH1200には、開口部を
有する第2のプレートH1400が接着され固定されて
おり、この第2のプレートH1400を介して、電気配
線テープH1300が記録素子基板H1100に対して
電気的に接続されるように保持されている。この電気配
線テープH1300は、記録素子基板H1100にイン
クを吐出するための電気信号を印加するものであり、記
録素子基板H1100に対応する電気配線と、この電気
配線部に位置しプリンタ本体からの電気信号を受け取る
外部信号入力端子H1301とを有し、この外部信号入
力端子H1301は、インク供給部材H1500の背面
側に位置決めされ固定されている。

【0029】インク供給口H1102は、Siの結晶方
位を利用した異方性エッチングやサンドブラストなどの
方法で形成されている。すなわち、Si基板H1110
が、ウエハー面方向に<100>、厚さ方向に<111
>の結晶方位を持つ場合、アルカリ系(KOH,TMA
H,ヒドラジン等)による異方性エッチングで、約5
4.7度の角度でエッチングを進行させ得る。これによ
り所望の深さにエッチングを行い、長溝状の貫通口から
なるインク供給口H1102を形成する。インク供給口
H1102を挟んで両側に電気熱変換素子H1103が
それぞれ1列ずつ千鳥状に配列されている。電気熱変換
素子H1103と、電気熱変換素子H1103に電力を
供給するAl等の電気配線は、成膜技術により形成され
ている。さらに、前記電気配線に電力を供給するための
電極H1104が電気熱変換素子H1103の両外側に
配列されており、電極H1104にはAu等のバンプH
1105が熱超音波圧着法で形成されている。そして、
Si基板H1110上には、電気熱変換素子H1103
に対応したインク流路を形成するためのインク流路壁H
1106と吐出口H1107が樹脂材料でフォトリソグ
ラフィ技術によりに形成され、吐出口群H1108が形
成されている。電気熱変換素子H1103に対向して吐
出口H1107が設けられているため、インク供給口H
1102から供給されたインクは電気熱変換素子H11
03の発熱作用により発生した気泡により吐出口H11
07から吐出される。

【0030】また図4は第2の記録素子基板H1101
の構成を説明するために一部分解した斜視図である。第
2の記録素子基板H1101は3色のインクを吐出させ
るための記録素子基板であり、3個のインク供給口H1
102が並列して形成されており、それぞれのインク供
給口H1102を挟んだ両側に電気熱変換素子H110
3とインク吐出口H1107が形成されている。第1の
記録素子基板H1100と同じようにSi基板H111
0にインク供給口H1102や電気熱変換素子H110
3、電気配線、電極H1104などが形成されておりそ
の上に樹脂材料でフォトリソグラフィ技術によりインク
流路やインク吐出口H1107が形成されている。そし
て、第1の記録素子基板H1100と同様に電気配線に
電力を供給するための電極H1104にはAu等のバン
プH1105が形成されている。次に第1のプレートH
1200は、例えば、厚さ0.5〜10mmのアルミナ
(Al23)材料で形成されている。なお、第1のプレ
ートH1200の材料は、アルミナに限られることな
く、記録素子基板H1100の材料の線膨張率と同等の
線膨張率を有し、かつ、記録素子基板H1100材料の
熱伝導率と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材
料で作られてもよい。第1のプレートH1200の材料
は、例えば、シリコン(Si)、窒化アルミニウム(A
lN)、ジルコニア、窒化珪素(Si34)、炭化珪素
(SiC)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)
のうちいずれであってもよい。第1のプレートH120
0には、第1の記録素子基板H1100にブラックのイ
ンクを供給するためのインク連通口H1201と、第2
の記録素子基板H1101にシアン、マゼンタ、イエロ
ーのインクを供給するためのインク連通口H1201が
形成されており、記録素子基板のインク供給口H110
2が第1のプレートH1200のインク連通口H120
1にそれぞれ対応し、かつ、第1の記録素子基板H11
00と第2の記録素子基板H1101はそれぞれ第1の
プレートH1200に対して位置精度良く接着固定され
ている。接着に用いられる第1の接着剤は、低粘度で硬
化温度が低く、短時間で硬化し、硬化後比較的高い硬度
を有し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。その
第1の接着剤は、例えば、エポキシ樹脂を主成分とした
熱硬化接着剤であり、この第1の接着層の厚みは50μ
m以下が望ましい。

【0031】電気配線テープH1300は、第1の記録
素子基板H1100と第2の記録素子基板H1101に
対してインクを吐出するための電気信号を印加するもの
である。この電気配線テープH1300は、それぞれの
記録素子基板H1100,H1101を組み込むための
複数のデバイスホール(開口部)H1,H2と、それぞ
れの記録素子基板H1100,H1101の電極H11
04に対応する電極端子H1302と、この電気配線テ
ープH1300の端部に位置しプリンタ本体装置からの
電気信号を受け取るための外部信号入力端子H1301
を有する電気コンタクト基板H2200と電気的接続を
おこなうための電極端子部を有しており、この電極端子
部と電極リードH1302とは連続した銅箔の配線パタ
ーンでつながっている。この電気配線テープH1300
は、例えば、配線が2層構造をなし表層がレジストフィ
ルムによって覆われているフレキシブル配線基板からな
る。この場合、外部信号入力端子H1301の裏面側
(外面側)には、補強板が接着され、平面性向上が図ら
れている。補強板としては、例えば0.5〜2mmのガ
ラスエポキシ、アルミニウム等の耐熱性を有する材料が
使用される。

【0032】電気配線テープH1300と第1の記録素
子基板H1100と第2の記録素子基板H1101は、
それぞれ電気的に接続されており、接続方法は、例え
ば、記録素子基板の電極H1104上のバンプH110
5と、電気配線テープH1300の電極リードH130
2とが、熱超音波圧着法により電気接合される。

【0033】第2のプレートH1400は、例えば、厚
さ0.5〜1mmの一枚の板状部材であり、例えばアル
ミナ(Al23)等のセラミックや、Al、SUSなど
の金属材料で形成されている。ただし、第2のプレート
H1400の材料は、これらに限定されるものではな
く、記録素子基板H1100,H1101および第1の
プレートH1200と同等の線膨張率を有し、かつ、そ
れらの熱伝導率と同等以上の熱伝導率を有する材料であ
ってもよい。

【0034】そして、第2のプレートH1400は、第
1のプレートH1200に接着固定された第1の記録素
子基板H1100と第2の記録素子基板H1101の外
形寸法よりも大きな開口部をそれぞれ有する形状であ
る。また、第1の記録素子基板H1100および第2の
記録素子基板H1101と電気配線テープH1300を
平面的に電気接続できるように、第1のプレートH12
00に第2の接着層H1203により接着されており、
電気配線テープH1300の裏面が第3の接着層H13
06により接着固定される。

【0035】第1の記録素子基板H1100および第2
の記録素子基板H1101と電気配線テープH1300
の電気接続部分は、第1の封止剤(不図示)および第2
の封止剤により封止され、電気接続部分をインクによる
腐食や外的衝撃から保護している。第1の封止剤は、主
に電気配線テープの電極端子H1302と記録素子基板
のバンプH1105との接続部の裏面側と記録素子基板
の外周部分を封止し、第2の封止剤は、前記接続部の表
側を封止している。

【0036】さらに電気配線テープH1300の端部に
プリンタ本体装置からの電気信号を受け取るための外部
信号入力端子H1301を有する電気コンタクト基板H
2200が、異方性導電フィルム等を用いて熱圧着され
電気的に接続されている。

【0037】そして電気配線テープH1300は、第2
のプレートH1400に接着されると同時に、第1のプ
レートH1200および第2のプレートH1400の一
側面に沿って折り曲げられ、第1のプレートH1200
の側面に第3の接着層H1306により接着される。第
2の接着剤は、粘度が低く、接触面に薄い第2の接着層
H1203を形成し得るとともに、耐インク性を有する
ものが好ましい。また、第3の接着層H1306は、例
えば、エポキシ樹脂を主成分とした厚さ100μm以下
の熱硬化接着剤層である。

【0038】 (1−2)インク供給ユニット(記録液供給手段) インク供給部材H1500は、例えば、樹脂成形により
形成されている。該樹脂材料には、形状的剛性を向上さ
せるためにガラスフィラーを5〜40%混入した樹脂材
料を使用することが望ましい。

【0039】図1、図2に示すように、インクタンクを
着脱自在に保持するインク供給部材H1500は、イン
クタンクから記録素子ユニットH1002にインクを導
くためのインク供給ユニットH1003の一構成部品で
あり、流路形成部材H1600が超音波溶着されて、イ
ンクタンクから第1のプレートH1200に至るインク
流路H1501が形成されている。また、インクタンク
と係合するジョイント部には、外部からのゴミの進入を
防ぐためのフィルターH1700が溶着により接合され
ており、さらに、ジョイント部からのインクの蒸発を防
止するために、シールゴムH1800が装着されてい
る。

【0040】また、記録ヘッドカートリッジをインクジ
ェット記録装置本体のキャリッジに装着位置に案内する
ための装着ガイドH1601、記録ヘッドカートリッジ
をヘッドセットレバーによりキャリッジに装着固定する
ための係合部、キャリッジの所定の装着位置に位置決め
するためのX方向(キャリッジスキャン方向)の突き当
て部H1509、Y方向(記録メディア搬送方向)の突
き当て部H1510、Z方向(インク吐出方向)の突き
当て部H1511を備えている。また、記録素子ユニッ
トH1002の電気コンタクト基板H2200を位置決
め固定する端子固定部H1512を有し、端子固定部H
1512およびその周囲には複数のリブが設けられ、端
子固定部H1512を有する面の剛性を高めている。

【0041】(1−3)記録ヘッドユニットとインク供
給ユニットの結合先述の図2に示した通り、記録ヘッド
は、記録素子ユニットH1002をインク供給ユニット
H1003に結合しさらにタンクホルダーH2000と
結合することにより完成する。結合は以下のように行わ
れる。

【0042】記録素子ユニットH1002のインク連通
口(第1のプレートH1200のインク連通口H120
1)とインク供給ユニットH1003のインク連通口
(流路形成部材H1600のインク連通口H1602)
とを、インクがリークしないように連通させるため、ジ
ョイントシール部材H2300を介してそれぞれの部材
を圧着するようビスH2400で固定する。この際同時
に、記録素子ユニットH1002はインク供給ユニット
のX方向、Y方向、Z方向の基準位置に対して正確に位
置決めされ固定される。

【0043】そして記録素子ユニットH1002の電気
コンタクト基板H2200はインク供給部材H1500
の一側面に、端子位置決めピン(2ヶ所)と端子位置決
め穴(2ヶ所)により位置決めされ、固定される。固定
方法としては、例えば、インク供給部材H1500に設
けられた端子位置決めピンをかしめることにより固定さ
れるが、その他の固定手段を用いて固定しても良い。

【0044】さらにインク供給部材H1500のタンク
ホルダーとの結合穴および結合部をタンクホルダーH2
000に嵌合させ結合することにより、記録ヘッドH1
001が完成する。すなわち、インク供給部材H150
0、流路形成部材H1600、フィルターH1700、
シールゴムH1800から構成されるタンクホルダー部
と、記録素子基板H1100,H1101、第1のプレ
ートH1200、配線基板H1300、第2のプレート
H1400から構成される記録素子部とを接着等で結合
することにより、記録ヘッドが構成されている。

【0045】(2)記録ヘッドカートリッジ 先述のように、各インクタンクの内部には、対応する色
のインクが収納されている。また、それぞれのインクタ
ンクには、インクタンク内のインクを記録ヘッドに供給
するためのインク連通口が形成されている。例えばイン
クタンクが記録ヘッドに装着されると、インクタンクの
インク連通口が記録ヘッドのジョイント部に設けられた
フィルターH1700と圧接され、インクタンク内のイ
ンクがインク連通口から記録ヘッドのインク流路H15
01を介して第1のプレートH1200を通り第1の記
録素子基板H1100に供給される。

【0046】そして、電気熱変換素子H1103と吐出
口H1107のある発泡室にインクが供給され、電気熱
変換素子H1103に与えられる熱エネルギーによって
被記録媒体である記録用紙に向けて吐出される。

【0047】[実施例1]本発明の実施例1について図
5〜12を参照して説明する。

【0048】図5は記録素子ユニットH1002の要部
分解模式断面図、図6は要部模式断面図である。

【0049】図5に示すように、電気配線テープH13
00は、ボンディング部周辺が3層構造になっており、
表側にポリイミドのベースフィルムH1300a、中間
に銅箔H1300b、裏側にソルダーレジストH130
0cという構成である。この電気配線テープH1300
には、第1の記録素子基板H1100が挿入されるデバ
イスホール(開口部)H1と、第2の記録素子基板H1
101が挿入されるデバイスホールH2が設けられ、記
録素子基板H1100,H1101のバンプH1005
と接続されるインナーリード(電極リード)H1302
が金メッキされて露出している。

【0050】以下、本実施例の記録素子ユニットの製造
方法を図9および図10を参照して工程順に説明する。

【0051】まず、第1および第2の記録素子基板の製
造方法を示す。

【0052】図10から図16は、第1,2の記録素子
基板(インクジェット記録ヘッド)の基本的な態様を示
すための摸式図であり、本発明に係わるインクジェット
記録ヘッドの構成とその製作手順の一例が示されてい
る。

【0053】まず、本態様においては、例えば図10に
示されるような、ガラス、セラミックス、プラスチック
あるいは金属等からなる基板1が用いられる。

【0054】このような基板1は、液流路構成部材の一
部として機能し、また、後述のインク流路およびインク
吐出口を形成する材料層の支持体として機能し得るもの
であれば、その形状、材質等に特に限定されることなく
使用できる。上記基板1上には、電気熱変換素子あるい
は圧電素子等のインク吐出エネルギー発生素子2が所望
の個数配置される。このような、インク吐出エネルギー
発生素子2によって記録液小滴を吐出させるための吐出
エネルギーがインク液に与えられ、記録が行われる。ち
なみに、例えば、上記インク吐出エネルギー発生素子2
として電気熱変換素子が用いられる時には、この素子が
近傍の記録液を加熱することにより、記録液に状態変化
を生起させ吐出エネルギーを発生する。また、例えば、
圧電素子が用いられる時は、この素子の機械的振動によ
って、吐出エネルギーが発生される。

【0055】なお、これらの素子2には、これら素子を
動作させるための制御信号入力用電極8が接続されてい
る。また、一般にはこれら吐出エネルギー発生素子の耐
用性の向上を目的として、保護層等の各種機能層が設け
られるが、もちろん本発明においてもこのような機能層
を設けることは一向に差し支えない。

【0056】図10において、インク供給のための開口
部3を基板1上に予め設けておき、基板後方よりインク
を供給する形態を例示した。該開口部3の形成において
は、基板1に穴を形成できる手段であれば、いずれの方
法も使用できる。例えば、ドリル等機械的手段にて形成
しても構わないし、レーザー等の光エネルギーを使用し
ても構わない。また、基板1にレジストパターン等を形
成して化学的にエッチングしても構わない。

【0057】もちろん、インク供給口を基板1に形成せ
ず、樹脂パターンに形成し、基板1に対してインク吐出
口と同じ面に設けてもよい。

【0058】次いで、図11に示すように、上記インク
吐出エネルギー発生素子2を含む基板1上に、溶解可能
な樹脂にてインク流路パターン4を形成する。最も一般
的な手段としては感光性材料にて形成する手段が挙げら
れるが、スクリーン印刷法等の手段にても形成は可能で
ある。感光性材料を使用する場合においては、インク流
路パターンが溶解可能であるため、ポジ型レジストか、
あるいは溶解性変化型のネガ型レジストの使用が可能で
ある。

【0059】レジスト層の形成の方法としては、基板上
にインク供給口を設けた基板を使用する場合には、該感
光性材料を適当な溶剤に溶解し、PETなどのフィルム
上に塗布、乾燥してドライフィルムを作成し、ラミネー
トによって形成することが好ましい。上述のドライフィ
ルムとしては、ポリメチルイソプロピルケトン、ポリビ
ニルケトン等のビニルケトン系光崩壊性高分子化合物を
好適に用いることができる。というのは、これら化合物
は、光照射前は高分子化合物としての特性(被膜性)を
維持しており、インク供給口3上にも容易にラミネート
可能であるためである。

【0060】また、インク供給口3に後工程で除去可能
な充填物を配置し通常のスピンコート法、ロールコート
法等で被膜を形成しても構わない。

【0061】このように、インク流路をパターニングし
た溶解可能な樹脂材料層4上に、図12に示すように、
さらに被覆樹脂層5を通常のスピンコート法、ロールコ
ート法等で形成する。ここで、該樹脂層5を形成する工
程において、溶解可能な樹脂パターンを変形せしめない
等の特性が必要となる。すなわち、被覆樹脂層5を溶剤
に溶解し、これをスピンコート、ロールコート等で溶解
可能な樹脂パターン4上に形成する場合、溶解可能な樹
脂パターン4を溶解しないように溶剤を選択する必要が
ある。

【0062】次に、本実施例に用いる被覆樹脂層5につ
いて説明する。被覆樹脂層5としては、インク吐出口3
をフォトリソグラフィーで容易にかつ精度よく形成でき
ることから、感光性のものが好ましい。このような感光
性被覆樹脂層5は、構造材料としての高い機械的強度、
基板1との密着性、耐インク性と、同時にインク吐出口
の微細なパターンをパターニングするための解像性が要
求される。このため、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化
物が構造材料として優れた強度、密着性、対インク性を
有し、かつ前記エポキシ樹脂が常温にて固体状であれ
ば、優れたパターニング特性を有する。

【0063】まず、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化物
は、通常の酸無水物もしくはアミンによる硬化物に比較
して高い架橋密度(高Tg)を有するため、構造材とし
て優れた特性を示す。また、常温にて固体状のエポキシ
樹脂を用いることで、光照射によりカチオン重合開始剤
より発生した重合開始種のエポキシ樹脂中への拡散が抑
えられ、優れたパターニング精度、形状を得ることがで
きる。

【0064】溶解可能な樹脂層上に被覆樹脂層を形成す
る工程は、常温で固体状の被覆樹脂を溶剤に溶解し、ス
ピンコート法で形成することが望ましい。

【0065】薄膜コーティング技術であるスピンコート
法を用いることで、被覆樹脂層5は均一にかつ精度良く
形成することができ、従来方法では困難であったインク
吐出圧力発生素子2と吐出口間の距離を短くすることが
でき、小液滴吐出を容易に達成することができる。

【0066】ここで、被覆樹脂層5を溶解可能な樹脂層
4上にフラットに形成するために、スピンコート時に被
覆樹脂を溶剤に対して30〜70wt%の濃度で、さら
に好ましくは40〜60wt%の濃度で溶解させること
により被覆樹脂層5表面をフラットにすることが可能と
なる。

【0067】本実施例に用いる固体状のエポキシ樹脂と
しては、ビスフェノールAとエピクロヒドリンとの反応
物のうち分子量がおよそ900以上のもの、含ブロモス
フェノールAとエピクロヒドリンとの反応物、フェノー
ルノボラックあるいはo−クレゾールノボラックとエピ
クロヒドリンとの反応物、特開昭60−161973号
公報、特開昭63−221121号公報、特開昭64−
9216号公報、特開平2−140219号公報に記載
のオキシシクロヘキサン骨格を有する多感応エポキシ樹
脂等があげられる。

【0068】上記エポキシ樹脂を硬化させるための光カ
チオン重合開始剤としては、芳香族ヨードニウム塩、芳
香族スルホニウム塩[J.POLYMER SCI:S
ymposium No. 56 383−395(197
6)参照]や旭電化工業株式会社より上市されているS
P−150、SP−170等が挙げられる。

【0069】次いで、上記化合物からなる感光性被覆樹
脂層5に対して、図13に示すように、マスク6を介し
てパターン露光を行う。本態様の感光性被覆樹脂層5
は、ネガ型であり、インク吐出口を形成する部分をマス
クで遮蔽する(むろん、電気的な接続を行う部分も遮蔽
する。図示せず。)。

【0070】パターン露光は、使用する光カチオン重合
開始剤の感光領域に合わせて紫外線、Deep−UV
光、電子線、X線などから適宜選択することができる。

【0071】ここで、これまでの工程は、すべて従来の
フォトリソグラフィー技術を用いて位置合わせが可能で
あり、オリフィスプレートを別途作成し基板と張り合せ
る方法に比べて、格段に精度をあげることができる。こ
うしてパターン露光された感光性被覆樹脂層5は、必要
に応じて反応を促進するために、加熱処理を行ってもよ
い。ここで、前述のごとく、感光性被覆樹脂層は常温で
固体状のエポキシ樹脂で構成されているため、パターン
露光で生じるカチオン重合開始種の拡散は制約を受け、
優れたパターニング精度、形状を実現できる。

【0072】次いで、パターン露光された感光性被覆樹
脂層5は、適当な溶剤を用いて現像され、図14に示す
ように、インク吐出口を形成する。ここで、未露光の光
性被覆樹脂層の現像時に同時にインク流路を形成する溶
解可能な樹脂パターン4を現像することも可能である。
ただし、一般的に、基板1上には複数の同一または異な
る形態のヘッドが配置され、切断工程を経てインクジェ
ット記録ヘッドとして使用されるため、切断時のごみ対
策として、図14に示すように感光性被覆樹脂層5のみ
を選択的に現像することにより、インク流路を形成する
樹脂パターン4を残し(液室内に樹脂パターン4が残存
するため切断時に発生するゴミが入り込まない)、切断
工程後に樹脂パターン4を現像することも可能である
(図15)。また、この際、感光性被覆樹脂層5を現像
する時に発生するスカム(現像残渣)は、溶解可能な樹
脂層4とともに溶出されるためノズル内には残渣が残ら
ない。

【0073】前述したように架橋密度を上げる必要があ
る場合には、この後、インク流路およびインク吐出口が
形成された感光性被覆樹脂層5を還元剤を含有する溶液
に浸漬および加熱することにより後硬化を行う。これに
より、感光性被覆樹脂層5の架橋密度はさらに高まり、
基板に対する密着性および耐インク性は非常に良好とな
る。もちろん、この銅イオン含有溶液に浸漬加熱する工
程は、感光性被覆樹脂層5をパターン露光し、現像して
インク吐出口を形成した直後に行っても一向にさしつか
えなく、その後で溶解可能な樹脂パターン4を溶出して
も構わない。また浸漬、加熱工程は、浸漬しつつ加熱し
ても構わないし、浸漬後に加熱処理を行っても構わな
い。

【0074】このような還元剤としては、還元作用を有
する物質であれば有用であるが、特に銅トリフラート、
酢酸銅、安息香酸銅など銅イオンを含有する化合物が有
効である。前記化合物の中でも、特に銅トリフラートは
非常に高い効果を示す。さらに前記以外にアスコルビン
酸も有用である。

【0075】このようにして形成したインク流路および
インク吐出口を形成した基板に対して、インク供給のた
めの部材7およびインク吐出圧力発生素子を駆動するた
めの電気的接合(図示せず)を行ってインクジェット記
録ヘッドが形成される(図16)。

【0076】本実施態様では、インク吐出口の形成をフ
ォトリソグラフィーによって行ったが、本発明はこれに
限ることなく、マスクを変えることによって、酸素プラ
ズマによるドライエッチングやエキシマレーザーによっ
てもインク吐出口を形成することができる。エキシマレ
ーザーやドライエッチングによってインク吐出口を形成
する場合には、基板が樹脂パターンで保護されてレーザ
ーやプラズマによって傷つくことがないため、精度と信
頼性の高いヘッドを提供することも可能となる。さら
に、ドライエッチングやエキシマレーザー等でインク吐
出口を形成する場合は、被覆樹脂層5は感光性のもの以
外にも熱硬化性のものも適用可能である。

【0077】一方、第2のプレートH1400を第1の
プレートH1200に、第2の接着層H1203により
接着する。次に、第1のプレートH1200に第1の記
録素子基板H1100と第2の記録素子基板H1101
を接着する第1の接着層H1202を塗布形成した後、
記録素子基板H1100、H1101を、記録液を吐出
する複数の電気熱変換素子H1103またはそれぞれの
吐出口H1107の配線面方向の相対位置関係を合わせ
て押圧固定する。

【0078】その後、電気配線テープH1300の裏面
を接着固定するための第3の接着層H1306を第2の
プレートH1400に塗布形成した後、第1の記録素子
基板H1100と第2の記録素子基板H1101の電極
H1104と電気配線テープH1300の電極リードH
1302の位置合わせをした後、押圧固定する。この
後、記録素子基板の電極1104上のバンプH1105
と、電気配線テープH1300の電極リードH1302
とを、1箇所ずつ熱超音波圧着法により電気接合する。

【0079】さらに、記録素子基板H1100の電極H
1104上のバンプH1105と、電気配線テープH1
300の電極リードH1302との接合部を樹脂により
封止して、インク等でショートしないようにしている。

【0080】本実施例において、第1のプレートH12
00および第2のプレートH1400はアルミナ製であ
り、電気配線テープ(フレキシブルプリント基板)H1
300は、前記の通り、ベースフィルム、銅箔配線、ソ
ルダーレジストの三層構造であり、デバイスホールH
1,H2が設けられ、金メッキされた電極リードH13
02が露出している。

【0081】本実施例の第2のプレートH1400は、
単一の板状の部材であり、記録素子基板H1100およ
びH1101が挿入されるための穴が2ヶ所設けられて
おり、第1のプレートH1200に接着されて固定され
ている。また、電気配線テープH1300は、記録素子
基板H1100およびH1101を露出するために形成
されたデバイスホールH1,H2を除く領域の全面が、
第3の接着層H1306により第2のプレートH140
0に接着されている。

【0082】本実施例のインクジェット記録装置におい
ては、ブラックヘッドと、カラーヘッドの両方を同一の
配線基板上に組付けて一体化しているので、お互いのヘ
ッドのインクの着弾位置の修正が不要である。

【0083】本実施例では、前記した構成のインクジェ
ット記録ヘッドにおいて、第1の記録素子基板H110
0を用いてブラックインクを吐出させ、第2の記録素子
基板H1101を用いて、シアン、マゼンタ、イエロー
の3色のカラーインクを吐出させる。

【0084】また、第1の記録素子基板H1100のノ
ズル構成は、片側300dpiでインク供給路の両側に
ノズルが千鳥状に配置され、600dpiの記録素子が
構成されている。第2の記録素子基板H1101は、1
つの基板にインク供給口H1102が3つ設けられ、シ
アン、マゼンタ、イエローの吐出口H1107が、片側
600dpiで千鳥状に配置され、1200dpiの記
録素子が構成されている。本実施例のインクジェット記
録ヘッドでは、ブラック用とカラー用の2つの記録素子
基板H1100,H1101を非常に高精度に配置する
ため、1枚の第1のプレートH1200上に両記録素子
基板H1100,H1101を搭載している。また、記
録装置本体からの電源やデータ等の供給を行うための電
気コンタクト基板H2200や電気配線テープH130
0を、2つの記録素子基板H1100,H1101で共
用するようにして、部品点数削減および低コスト化を図
っている。

【0085】本実施例のインクジェット記録ヘッドは、
記録装置本体のキャリッジに装着され、キャリッジに設
けられた電気接点と、インクジェット記録ヘッドに設け
られた電気コンタクト基板H2200とが、電気的に接
続される。本実施例の両記録素子基板H1100,H1
101は、ブラック用とカラー用とで吐出量が異なるよ
うに構成されている。図8は、第1の記録素子基板およ
び第2の記録素子基板の吐出方式を説明する説明図であ
る。なお、図中において第1の記録素子基板および第2
の記録素子基板は同一の電源に接続されており、かつ同
一平面(点線)上に配置されている構成を示す。

【0086】本実施例の第2の記録素子基板H1101
は、吐出量を安定させ高画質カラー印字を行うために、
いわゆるバブルスルージェット方式(BTJ方式)のイ
ンクジェット記録方式を採用している。

【0087】通常のバブルジェット方式(BJ方式)の
場合、図8に示すように、吐出口−記録素子間距離OH
が比較的長く、記録素子(電気熱変換素子)H1103
の加熱によるインク発泡時に、この気泡AはインクI中
に発生しこのインクIに封じ込められた状態で存在す
る。これに対し、BTJ方式の場合、図8に示すよう
に、吐出口−記録素子間距離OHが比較的短いため、記
録素子H1103の加熱によるインク発泡時に、インク
を吐出させるとともにこの気泡AはインクI中から吐出
口H1107を介して外部に連通する。

【0088】このBTJ方式のノズルは、吐出口面積S
O×吐出口−記録素子間距離(OH)が吐出量Vdと実
質的に等しい。例えば、吐出量Vd=約5plとする場
合、吐出口−記録素子間距離OH=25μm、吐出口面
積SO=200μm2(直径φ=約16μm)とすればよ
い。

【0089】一方、第1の記録素子基板H1100は、
ブラックインクの印字が美しく見え、かつ印字速度を高
速にするために、インクの吐出量Vdを約30plにし
ている。BTJ方式によりこの吐出量を達成するために
は、吐出口−記録素子間距離OH=25μmのとき、吐
出口面積SO=1200μm2(直径φ=約39μm)と
する必要がある。このようなノズル構成にする場合、所
望の吐出量を達成するためには、35μm×35μm程
度の大型の記録素子(電気熱変換素子)H1103を用
いなければならない。また、吐出口H1107が記録素
子H1103よりも大きくなるので、吐出される液滴の
直進性が失われる。吐出口−記録素子間距離OHを大き
くすれば吐出口面積SOを小さくすることができるが、
流路抵抗が大きくなるため、さらに大きな記録素子H1
103が必要となり、省エネルギーの観点から好ましく
ない。そこで本実施例では、ブラック用の第1の記録素
子基板H1100は、BTJ方式ではなく通常のBJ方
式を採用している。そして、吐出口−記録素子間距離O
H=70〜80μm程度、吐出口面積SO=600〜8
00μm2程度の寸法にしている。

【0090】なお、吐出速度に関しては、着弾精度およ
び初期吐出特性を満足することを考えると8m/sec
以上であることが好ましい。

【0091】また、前述の吐出量と吐出速度とを満足す
るためには吐出口−記録素子間距離OHは100μm以
下であることが望ましい。

【0092】図9に示すように、本実施例のインクジェ
ット記録ヘッドでは、同一のプレート(第1のプレート
H1200)上に、カラーインク用のBTJ方式の記録
素子基板H1101と、ブラックインク用の通常のBJ
方式の記録素子基板H1100とを搭載している。この
両記録素子基板H1100,H1101は、インク吐出
方式も、インク吐出量も異なるため、駆動させるための
投入エネルギーが異なる。しかし、この記録素子基板H
1100,H1101に供給される電源電圧は同じであ
る。これは、記録装置本体に装着される電源が単一であ
る方が低コストで済むからである。

【0093】同じ電源電圧で各記録素子基板H110
0,H1101の記録素子H1103に電流を流し、イ
ンクを膜沸騰を発生させ、異なる体積のインクを吐出さ
せるために、本実施例のインクジェット記録ヘッドで
は、記録素子H1103に電流を流す時間(パルス幅)
を変えて駆動している。例えば、本実施例のブラックイ
ンク用の記録素子のパルス幅は約2μsであり、カラー
インク用の記録素子のパルス幅は約0.8μsである。
本実施例では、記録素子基板H1100,H1101に
備えられた記録素子H1103の作り込み時の抵抗値の
違いにより吐出量が狂わないように、複数の駆動パルス
幅を設け、その駆動パルス幅を駆動パルス幅ナンバーに
従って駆動している。この駆動パルス幅ナンバーの決定
は、記録装置本体にてインクジェット記録ヘッドの抵抗
値を求めてそれに従ってもよいし、インクジェット記録
ヘッド組み立て工程中にて抵抗値を求めて、何らかの手
段でそれをインクジェット記録ヘッドに記憶させ、記録
装置にヘッドを装着する際にそれを読み出して決定する
ようにしてもよい。

【0094】また、本実施例では、記録素子基板H11
00,H1101の複数の記録素子H1103を駆動さ
せる際に、流れる電流が大きくなるので、記録装置本体
からインクジェット記録ヘッドまでの配線中で電圧降下
が発生する。それによって、記録素子基板H1100,
H1101に印加される電圧が下がり吐出量が低下する
ことを防ぐための制御として、同時に駆動される記録素
子H1103の数に応じて駆動パルス幅を変更してい
る。

【0095】これらのパルス幅の信号は、記録装置本体
から、共用の電気コンタクト基板H2200および電気
配線テープH1300を介して、各記録素子基板H11
00,H1101に供給される。このような構成を採用
することにより、駆動方式の異なる記録素子基板H11
00,H1101を、非常にスペース効率よく、かつ低
コストで提供することが可能になっている。

【0096】(インクジェット記録装置)上述したよう
なカートリッジタイプの記録ヘッドを搭載可能な液体吐
出記録装置について説明する。図19は、本発明の液体
吐出記録ヘッドを搭載可能な記録装置の一例を示す説明
図である。

【0097】図19に示す記録装置において、図1に示
した記録ヘッドカートリッジH1000がキャリッジ1
02に位置決めして交換可能に搭載されており、キャリ
ッジ102には、記録ヘッドカートリッジH1000上
の外部信号入力端子を介して各吐出部に駆動信号等を伝
達するための電気接続部が設けられている。

【0098】キャリッジ102は、主走査方向に延在し
て装置本体に設置されたガイドシャフト103に沿って
往復移動可能に案内支持されている。そして、キャリッ
ジ102は主走査モータ104によりモータプーリ10
5、従動プーリ106およびタイミングベルト107等
の駆動機構を介して駆動されるとともにその位置および
移動が制御される。また、ホームポジションセンサ13
0がキャリッジ102に設けられている。これにより遮
蔽板136の位置をキャリッジ102上のホームポジシ
ョンセンサ130が通過した際に位置を知ることが可能
となる。

【0099】印刷用紙やプラスチック薄板等の記録媒体
108は給紙モータ135からギアを介してピックアッ
プローラ131を回転させることによりオートシートフ
ィーダ(ASF)132から一枚ずつ分離給紙される。
さらに搬送ローラ109の回転により、記録ヘッドカー
トリッジH1000の吐出口面と対向する位置(プリン
ト部)を通って搬送(副走査)される。搬送ローラ10
9はLFモータ134の回転によりギアを介して行われ
る。その際、給紙されたかどうかの判定と給紙時の頭出
し位置の確定は、ペーパエンドセンサ133を記録媒体
108が通過した時点で行われる。さらに、記録媒体1
08の後端が実際にどこに有り、実際の後端から現在の
記録位置を最終的に割り出すためにもペーパエンドセン
サ133は使用されている。

【0100】ペーパエンドセンサ133の外側、すなわ
ち記録領域外に、記録ヘッドカートリッジH1000の
吐出口面と対向可能にキャップユニット140が設けら
れている。このキャップユニット140のキャップ部材
141は、非記録時等に記録ヘッドカートリッジH10
00の吐出口H1107の前方を覆い、吐出口H110
7の内部や近傍にてインクが乾燥して固化し目詰まり状
態となって吐出不良の原因となることを防ぐための乾燥
を防止したり、非記録時に吐出口H1107および流路
内部の気泡や混入物をインクとともに強制排出する予備
吐出を行う際に、吐出されたインクを受けるなどの作用
をする。キャップ部材141の構成については後述す
る。

【0101】なお、記録媒体108は、プリント部にお
いて平坦なプリント面を形成するように、その裏面をプ
ラテン(不図示)により支持されている。この場合、キ
ャリッジ102に搭載された記録ヘッドカートリッジH
1000は、それらの吐出口面がキャリッジ102から
下方へ突出して前記2組の搬送ローラ対の間で記録媒体
108と平行になるように保持されている。

【0102】記録ヘッドカートリッジH1000は、各
吐出部における吐出口H1107の並び方向が上述した
キャリッジ102の走査方向に対して交差する方向にな
るようにキャリッジ102に搭載され、これらの吐出口
列から液体を吐出して記録を行なう。

【0103】次に、図20〜26を参照してキャップ部
材について詳細に説明する。

【0104】図20には、キャッピング前のインクジェ
ット記録ヘッドH1001の外形を概略的に示してい
る。本実施例では、ブラックインク用とカラーインク用
の2つの記録素子基板H1100,H1101が、第1
のプレートH1200の同一平面(実質的に一様な平坦
面)上に隣接して配置されている。図9に示すように、
両記録素子基板H1100,H1101は、吐出口形成
部材の厚さが異なっており、吐出口−記録素子間の距離
が異なっているため、結果的に記録素子基板全体の厚さ
が異なっている。単一のキャップ部材141が、この両
記録素子基板H1100,H1101をひとまとめにキ
ャッピングする。キャップ部材141は、図21に示す
ようにリブ部141aにより単一のキャッピング空間1
47が形成されている。本実施例のキャップ部材141
は、図21に示すように記録素子基板H1100,H1
101に対応した外形であるが、図22に示すように矩
形状の外形であっても構わない。

【0105】本実施例では、両記録素子基板H110
0,H1101が一様に平坦な同一平面(平坦面)上に
位置しているので、単一のキャップ部材141を用い
て、リブ部141aをこの平坦面に密着させることによ
り、両記録素子基板H1100,H1101を同時にキ
ャッピングすることができる。仮に、図27,28に示
すように各記録素子基板200,201がそれぞれ異な
る面上に位置していたとしたら、単一のキャップ部材に
より密閉するようにキャッピングすることは非常に困難
であるが、本実施例では両記録素子基板H1100,H
1101が同一平坦面上にあるために、単一のキャップ
部材141で容易に確実なキャッピングが行え、構成の
簡略化やコストダウンの効果が大きい。また、図23に
示すように両記録素子基板H1100,H1101の間
に大きな間隔がある場合には、従来は、図24に示すよ
うに分離独立した2つのキャップ部材142,143に
よりキャッピングを行っており、構成の複雑化および高
コスト化を招く。これに対し、本実施例では両記録素子
基板H1100,H1101が隣接しているので、これ
らを単一のキャップ部材141でキャッピング可能であ
るとともに、このキャップ部材H141は比較的小型に
できる。また、図25に示すように両記録素子基板H1
100,H1101の間に若干の間隔がある場合には、
図26に示すように単一のキャップ部材144のリブ部
144aにより2つのキャッピング空間145,146
を形成する構成とすると、各キャッピング空間145,
146に各記録素子基板H1100,H1101の吐出
口H1107をそれぞれ配置することにより、キャッピ
ングの確実性が向上する。両キャッピング空間145,
146の境界部におけるリブ部144bは、2つのキャ
ッピング空間145,146の両方の輪郭線として共有
化されているので、構成がさほど複雑にはならずに、キ
ャッピングの信頼性を高めることができる。

【0106】[実施例2]ここでは実施例1の構成と異
なる部分のみを図17〜図18を参照して説明する。

【0107】図17は第2の記録素子基板の変形例を示
すもので図17(a)は正面図、図17(b)は断面図
である。また図18はこの記録素子基板をインクジェッ
ト記録ヘッドに組み込んだ図である。

【0108】本実施例の、カラー記録に使用する第2の
記録素子基板800は、図17(c)に代表して示すよ
うに、エネルギー変換素子としての電気熱変換素子(記
録素子)65を含む基板67と、吐出口61を形成する
オリフィスプレート66とを備えている。基板67は、
面方位<100>のシリコン単結晶で形成され、基板6
7上には、複数の電気熱変換素子65の列、各列の電気
熱変換素子65を駆動するための駆動回路63、外部と
接続するためのコンタクトパッド69、駆動回路63お
よびコンタクトパッド69を接続する配線68等が半導
体プロセスを用いて形成されている。また、基板67に
は上述の駆動回路63、電気熱変換素子65、配線68
等を除いた領域に、異方性エッチングにより形成された
貫通口が5つ設けられ、それぞれ後述する吐出口列71
〜73,81〜83に液体を提供するためのインク供給
口62,62aを形成している。なお、図17(a)は
基板67に対して略透明なオリフィスプレート66を形
成した状態を模式的に表しており、上述の電気熱変換素
子やインク供給口は省略して描かれている。

【0109】基板67上に設けられるオリフィスプレー
ト66は感光性エポキシ樹脂で形成され、フォトリソグ
ラフィ技術を用いて前述の電気熱変換素子65に対応し
て、吐出口61および液流路60が形成されている。

【0110】また記録素子基板800は、コンタクトパ
ッド69を電気配線テープの電極端子と接続すること
で、この配線板に繋がった外部信号入力端子が記録装置
の電気接続部と接続した際に、駆動信号などを記録装置
から受け取ることができる。さらに、インク供給口6
2,62a等はインク供給ユニットの流路形成部材H1
600のインク流路を介して各色のインクタンクと連通
される。

【0111】また本実施例では、吐出口61は複数設け
られ、それらが所定のピッチで配設されることで、互い
に略平行な吐出口列(吐出部)71〜73,81〜83
を形成している。ここで、図17(a)において、吐出
口列71〜73のそれぞれ図面上からi番目の吐出口
は、図17(a)に示す矢印方向に対して一致してい
る。このように、記録ヘッドカートリッジが記録装置等
に搭載されて走査されるときの走査方向に関して、吐出
口列71〜73は、それぞれ対応する吐出口が一致する
ように配列されており、第1の吐出口列群70が形成さ
れている。吐出口列81〜83についても吐出口列71
〜73と同様に配列されており、吐出口列81〜83に
よって第1の吐出口列群70に隣接するように第2の吐
出口列群80が形成されている。

【0112】この第2の記録素子基板800は、1つの
基板にインク供給口が5つ設けられ、順番に、片側にシ
アンインク用ノズル、片側にマゼンタインク用ノズル、
両側にイエローインク用ノズル、片側にマゼンタインク
用ノズル、片側にシアンインク用ノズルというノズル配
置になっており、片側600dpiで千鳥状に配置さ
れ、1200dpiの記録素子が構成されている。

【0113】すなわち、2つの吐出口列群による6つの
吐出口列について、最も外側の吐出口列73,83では
シアン(C)を、吐出口列72,82ではマゼンタ
(M)を、最も内側の互いに隣接する吐出口列71,8
1ではイエロー(Y)を吐出する。そのため、インク供
給口62a(中央部に設けられたインク供給口)にはイ
エローインクが、インク供給口62aに隣接する2つの
インク供給口62にはマゼンタインクが、最も外側の2
つのインク供給口62にはシアンインクが、それぞれ
Y,M,C各色独立のインクタンクから供給されてい
る。このように、中央のインク供給口62aは2つの吐
出口列71,81に対して液体を供給するものであり、
インク供給口62aおよび液流路60aはこれら2つの
吐出口列71,81の共通の液室部として機能する。

【0114】このように、2つの吐出口列群が隣接する
部分に、それぞれ同じ種類の液体を吐出する吐出口列を
並べ、この部分を中央にして他の同種の吐出口列および
それらの駆動回路を略対称に配置することで、インク供
給口62,62aとしての貫通口、および駆動回路や電
気熱変換素子などを基板に対して等間隔に無駄無く配置
し、基板サイズを小さくすることができる。しかも、こ
のように同種の液体を吐出する吐出口列を線対称に配置
したことで、往復記録(双方向プリント)の際、記録媒
体上に所望の色を形成するための1画素に対するインク
打ち込み(吐出)順が往路走査と復路走査で同じになる
ので、走査方向に関わらず発色が均一になり往復印字に
よる色むらの発生を防止することができる。

【0115】さらに、図17(a)および図17(b)
より明らかなように、第1の吐出口列群70と、第2の
吐出口列群80とは、それぞれの吐出口群を形成する吐
出口列71〜73,81〜83の各吐出口が前述した走
査方向に対して互いに補完し合うように、記録ヘッドの
副走査方向(本例の場合、吐出口列の配列方向に一致す
る)に対して、ちょうど吐出口配列のピッチの1/2だ
けずれて配設されている。これにより、吐出口配列ピッ
チに対して実質2倍の高精細印字が可能となる。

【0116】さらに、第2の記録素子基板800では電
気熱変換素子65の配列密度を1200dpiにし、カ
ラーの液滴量を4〜8plに設定している。一方、実施
例1で説明した第1の記録素子基板H1100では電気
熱変換素子の配列密度を600dpiにし、ブラックの
液滴量を20〜40plに設定している。そのため、第
2の記録素子基板800の各電気熱変換素子65の大き
さはブラック用の第1の記録素子基板H1100の電気
熱変換素子よりも小さく、また各吐出口61の大きさも
第1の記録素子基板7の吐出口よりも小さい。例えば、
ブラックの液滴30plを得るために、第1の記録素子
基板7の吐出口−電気熱変換素子間距離OHは70〜8
0μm、吐出口面積SOは600〜800μm2である。
一方、カラーの液滴5plを得るために、第2の記録素
子基板8のOHは25μm、SOは200μm2である。
この条件は上述の実施例1と同じである。

【0117】本実施例では、上記のとおりの構成の第2
の記録素子基板800と、実施例1で説明したとおりの
第1の記録素子基板H1100とを、第1のプレートH
1300上に接着固定して、実施例1で説明したのと同
じ構成の記録ヘッドカートリッジ(図18参照)を組み
立てた。

【0118】また、カラー用の第2の記録素子基板80
0上の電気熱変換素子の密度をブラック用の第1の記録
素子基板H1100上の電気熱変換素子の2倍の密度で
配列する(例えば、第1の記録素子基板H1100上の
電気熱変換体の密度が600dpi、第2の記録素子基
板800上の電気熱変換素子の密度が1200dpi)
ことにより、25KHz、16時分割駆動を行っても約
2.5μsの加熱パルス幅を確保することができた。通
常のパルス幅1μsに対し、電気熱変換体の抵抗値の製
造バラツキや、吐出電流による電圧降下の補正を行って
もパルス幅は2μs程度に抑えられ、109パルスまで
問題なく使用できた。これに対し、第2の記録素子基板
800上の電気熱変換体の密度を第1の記録素子基板H
1100上の電気熱変換体の密度と等しくした場合、同
じ記録速度を得るためには50KHzが必要であり、パ
ルス幅は1.25μs以下に抑える必要がある。この場
合、前記のパルス幅による補正が十分行えないため、電
圧を上げて使用する必要があり、107パルスで電気熱
変換体が破断してしまった。

【0119】本実施例でも、実施例1と同様に、第1の
記録素子基板7の吐出口面と第2の記録素子基板800
の吐出口面がそれぞれ第1プレートH1200の裏面を
基準として高さが異なっている。すなわちモノクロ記録
用に使用する第1の記録素子基板H1100の吐出口面
の方が、カラー記録用に用いる第2の記録素子基板80
0の吐出口面よりも基準面からの高さが高くなってい
る。

【0120】

【発明の効果】本発明によると、1つのインクジェット
記録ヘッドに、記録素子と吐出口との間の距離が異なる
複数の記録素子基板が設けられているため、インクジェ
ット記録ヘッドを複数個用意することなく、一体の超小
型の記録ヘッドに異なる吐出方式または異なる量の記録
液を吐出させる個別の記録素子基板を配することができ
る。従って、ブラックインクは大きな液滴を形成し、カ
ラーインクは小さな液滴を形成して、ブラックインクに
よる記録を高速かつ高効率化するとともに、カラーイン
クによる記録を高品質化することができる。そして、こ
の複数の記録素子基板を、一体のキャップ部材で容易か
つ確実にキャッピングできる。しかも、構成が簡単で、
記録素子基板同士をごく近接して配置可能にしたため
に、記録ヘッド自体の小型化はもちろん、記録ヘッドの
主走査幅そのものを大幅に縮めることを可能にし、大型
化を招くおそれがなく、製造コストを低く抑えられる。

【図面の簡単な説明】

【図1】本発明の実施例1における記録ヘッドカートリ
ッジの斜視図である。

【図2】図1に示す記録ヘッドの構成を示す分解斜視図
である。

【図3】本発明の実施例1における記録素子基板の構成
を示す一部切り欠き説明斜視図である。

【図4】本発明の実施例1における他の記録素子基板の
構成を示す一部切りかき説明斜視図である。

【図5】本発明の実施例1における記録素子ユニットの
要部分解模式断面図である。

【図6】本発明の実施例1における記録素子ユニットの
要部拡大断面図である。

【図7】本発明の実施例1における記録素子ユニットの
要部拡大分解斜視図である。

【図8】2通りのインク吐出方式を説明する模式図であ
る。

【図9】本発明の実施例1における記録素子基板および
第1のプレートの拡大断面図である。

【図10】インク流路、オリフィス部形成前の基板の模
式的斜視図である。

【図11】溶解可能なインク流路パターンを形成した基
板の模式図である。

【図12】被覆樹脂層を形成した基板の模式図である。

【図13】被覆樹脂層にインク吐出口のパターン露光を
行っている基板の模式図である。

【図14】パターニングされた被覆樹脂層を現像した基
板の模式図である。

【図15】溶解可能な樹脂パターンを溶出した基板の模
式図である。

【図16】インク供給部材を配置した基板の模式図であ
る。

【図17】本発明の実施例2の第2の記録素子基板の説
明図である。

【図18】本発明の実施例2の第2の記録素子基板を用
いた記録ヘッドカートリッジの斜視図である。

【図19】本発明のインクジェット記録装置の一例を示
す説明図である。

【図20】図19に示すインクジェット記録装置のイン
クジェット記録ヘッドとキャップ部材を示す概略図であ
る。

【図21】図20に示すインクジェット記録ヘッドがキ
ャップ部材にてキャッピングされた状態を模式的に示す
概略図である。

【図22】インクジェット記録ヘッドが、キャップ部材
の変形例にてキャッピングされた状態を模式的に示す概
略図である。

【図23】大きな間隔をおいて記録素子基板が配置され
たインクジェット記録ヘッドと2つのキャップ部材を示
す概略図である。

【図24】図23に示すインクジェット記録ヘッドが2
つのキャップ部材にてキャッピングされた状態を模式的
に示す概略図である。

【図25】小さな間隔をおいて記録素子基板が配置され
たインクジェット記録ヘッドと2つのキャップ部材を示
す概略図である。

【図26】図25に示すインクジェット記録ヘッドがキ
ャップ部材にてキャッピングされた状態を模式的に示す
概略図である。

【図27】従来のインクジェット記録ヘッドと2つのキ
ャップ部材を示す概略図である。

【図28】図27に示すインクジェット記録ヘッドがキ
ャップ部材にてキャッピングされた状態を模式的に示す
概略図である。

【符号の説明】

H1000 記録ヘッドカートリッジ H1001 記録ヘッド(インクジェット記録ヘッ
ド) H1002 記録素子ユニット H1003 インク供給ユニット H1100 第1の記録素子基板 H1101 第2の記録素子基板 H1102 インク供給口(供給口) H1103 電気熱変換素子(記録素子) H1104 電極 H1105 バンプ H1106 インク流路壁 H1107 吐出口 H1108 吐出口群 H1110 Si基板 H1200 第1のプレート(第1の支持部材) H1201 インク連通口 H1202 第1の接着層 H1203 第2の接着層 H1300 電気配線テープ(可撓性の配線基板) H1301 外部信号入力端子 H1302 電極リード H1306 第3の接着層 H1309 端子位置決め穴 H1400 第2のプレート H1500 インク供給部材 H1501 インク流路 H1503 第1の穴 H1509 X突き当て部 H1510 Y突き当て部 H1511 Z突き当て部 H1512 端子固定部 H1515 端子位置決めピン H1520 ジョイント部 H1600 流路形成部材 H1601 装着ガイド H1602 インク連通口 H1700 フィルター H1800 シールゴム H1900 インクタンク H1901 ブラックインクタンク H1902 シアンインクタンク H1903 マゼンタインクタンク H1904 イエローインクタンク H1907 インク連通口 H1910 第2の爪 H2000 タンクホルダー H2300 ジョイントシール部材 H2400 ビス H1、H2 デバイスホール 1 基板 2 インク吐出圧力発生素子 3 インク供給口 4 溶解可能な樹脂層で形成されたインク流
路 5 被覆樹脂層 6 マスク 7 インク供給部材 8 電極 61 吐出口 62,62a インク供給口 63 駆動回路 65 電気熱変換素子(記録素子) 67 基板 68 配線 69 コンタクトパッド 70 第1の吐出口列群 71,72,73 吐出口列 80 第2の吐出口列群 81,82,83 吐出口列 800 第2の記録素子基板 102 キャリッジ 103 ガイドシャフト 104 主走査モータ 105 モータプーリ 106 従動プーリ 107 タイミングベルト 108 記録媒体 109 搬送ローラ 130 ホームポジションセンサ 131 ピックアップローラ 132 オートシートフィーダ 133 ペーパエンドセンサ 134 LFモータ(ラインフィードモータ) 135 給紙モータ 136 遮蔽板 140 キャップユニット 141 キャップ部材 141a リブ部 142,143,144 キャップ部材 145,146,147 キャッピング空間

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 矢澤 剛 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 Fターム(参考) 2C056 EA11 EA23 EA24 EC07 EC42 FA03 FA10 HA05 HA22 JA09 KC22 2C057 AF91 AF99 AG04 AG15 AG39 AM15 AM21 AN01 AP02 AP22 AP23 AP25 AP34 AP47 AP57 AQ02 AQ04 BA03 BA13

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 記録液に吐出エネルギーを付与する複数
    の記録素子と、前記吐出エネルギーを受容する記録液を
    貯留する複数の流路と、前記記録液を吐出する複数の吐
    出口とを有する記録素子基板を複数備えてなるインクジ
    ェット記録ヘッドと、 前記インクジェット記録ヘッドの前記吐出口の前方を覆
    う一体のキャップ部材とを有するインクジェット記録装
    置において、 少なくとも1つの前記記録素子基板における前記記録素
    子と前記吐出口との間の距離と、他の前記記録素子基板
    における前記記録素子と前記吐出口との間の距離とが異
    なる、または前記記録素子基板の厚みが異なる、または
    両者の記録素子による液体吐出方式が異なる前記複数の
    記録素子基板が、実質的に一様な平坦面上に互いに隣接
    して配置されており、 前記一体のキャップ部材が、前記複数の記録素子基板の
    前記吐出口を、前記実質的に一様な平坦面上で同時にキ
    ャッピング可能であることを特徴とするインクジェット
    記録装置。
  2. 【請求項2】 前記キャップ部材は、リブ部が前記平坦
    面に密着することによりキャッピングを行う、請求項1
    に記載のインクジェット記録装置。
  3. 【請求項3】 前記キャップ部材の前記リブ部に囲まれ
    て単一のキャッピング空間が形成されており、前記単一
    のキャッピング空間内に前記複数の記録素子基板の前記
    吐出口が位置してキャッピングが行われる、請求項2に
    記載のインクジェット記録装置。
  4. 【請求項4】 前記キャップ部材の前記リブ部に囲まれ
    て複数のキャッピング空間が形成されており、前記複数
    のキャッピング空間内にそれぞれ前記記録素子基板の前
    記吐出口が位置してキャッピングが行われる、請求項2
    に記載のインクジェット記録装置。
  5. 【請求項5】 前記複数のキャッピング空間の境界に位
    置する前記リブ部の少なくとも一部は、前記複数のキャ
    ッピング空間において共有される輪郭線となっている、
    請求項4に記載のインクジェット記録装置。
  6. 【請求項6】 前記記録液として黒系の液体が供給され
    る前記記録素子基板における前記記録素子と前記吐出口
    との間の距離が相対的に長く、前記記録液としてカラー
    系の液体が供給される前記記録素子基板における前記記
    録素子と前記吐出口との間の距離が相対的に短い、請求
    項1〜5のいずれか1項に記載のインクジェット記録装
    置。
  7. 【請求項7】 前記記録液として黒系の液体が供給され
    る前記記録素子基板の前記吐出口から吐出される前記記
    録液の吐出量が相対的に多く、前記記録液としてカラー
    系の液体が供給される前記記録素子基板の前記吐出口か
    ら吐出される前記記録液の吐出量が相対的に少ない、請
    求項6に記載のインクジェット記録装置。
  8. 【請求項8】 前記記録液として黒系の液体が供給され
    る前記記録素子基板の前記記録素子による液体吐出方式
    が、前記記録素子の作動により前記記録液に発泡をもた
    らすとともに、該発泡により形成された気泡が消泡して
    消滅する吐出方式であり、前記記録液としてカラー系の
    液体が供給される前記記録素子基板の前記前記記録素子
    による液体吐出方式が、前記記録素子の作動により前記
    記録液に発泡がもたらされる際に該発泡により形成され
    た気泡が前記吐出口から外部に連通する吐出方式であ
    る、請求項6または7に記載のインクジェット記録装
    置。
  9. 【請求項9】 前記複数の記録素子基板が、同一平面上
    に配置された実質的に同じ厚さの基板と、該基板上に積
    層されている吐出口形成部材とを有し、少なくとも1つ
    の前記記録素子基板は、前記吐出口形成部材の高さが他
    の前記記録素子基板と異なっていることにより、前記記
    録素子と前記吐出口との間の距離が異なっている、請求
    項1〜8のいずれか1項に記載のインクジェット記録ヘ
    ッド。
  10. 【請求項10】 前記複数の記録素子基板にそれぞれ前
    記記録液を供給する複数のインクタンクをさらに有す
    る、請求項1〜9のいずれか1項に記載のインクジェッ
    ト記録装置。
  11. 【請求項11】 前記複数の記録素子基板の前記複数の
    記録素子に供給される電気的エネルギーが同一の電源か
    ら供給される、請求項10に記載のインクジェット記録
    装置。
  12. 【請求項12】 前記複数の記録素子基板が同一の基材
    に実装されている、請求項10または11に記載のイン
    クジェット記録装置。
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