JP2002103637A - インクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 一体のキャップ部材を用いて、それぞれ異な
るインク吐出量を得る複数の記録素子基板を有する記録
ヘッドのキャッピングを行う。 【解決手段】 インクジェット記録ヘッドＨ１００１が
２つの記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１を有してい
る。ブラックインク用記録素子基板Ｈ１１００は、厚い
吐出口形成部材を有し吐出口−記録素子間距離が長くイ
ンク吐出量が多い。カラーインク用記録素子基板Ｈ１１
０１は、薄い吐出口形成部材を有し吐出口−記録素子間
距離が短くインク吐出量が少ない。両記録素子基板Ｈ１
１００，Ｈ１１０１が、第１のプレート上、すなわち、
実質的に一様な平坦面上に互いに隣接して配置されてい
る。そして、単一のキャップ部材１４１が、両記録素子
基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１の吐出口を同時にキャッピ
ングする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インク等の記録液
を吐出口から吐出して液滴を形成して記録動作を行うイ
ンクジェット記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録装置は、いわゆるノ
ンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録と
様々な記録媒体に対して記録することが可能であって、
記録における騒音が殆ど生じないと言った特徴を持つ。
このようなことから、インクジェット記録装置は、プリ
ンタ、複写機、ファクシミリ、ワードプロセッサ等の記
録機構を担う装置として、広く採用されている。

【０００３】このようなインクジェット記録装置に搭載
される記録ヘッドにおける代表的なインク吐出方式とし
ては、ピエゾ素子などの電気機械変換体を用いたもの、
レーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱に
よる作用でインク滴を吐出させるもの、あるいは発熱抵
抗体を有する電気熱変換素子によってインクを加熱し、
膜沸騰の作用によりインク滴を吐出させるものなどが知
られている。電気熱変換素子を用いたインクジェット記
録ヘッドは、電気熱変換素子を記録液室内に設け、これ
に記録信号となる電気パルスを供給して発熱させること
によりインクに熱エネルギーを与え、そのときの記録液
の相変化により生じる記録液の発泡時（沸騰時）の気泡
圧力を利用して、微小な吐出口から微小なインク滴を吐
出させて、記録媒体に対し記録を行うものであり、一般
に、インク滴を吐出するためのインクジェット記録ノズ
ルと、このノズルにインクを供給する供給系とを有して
いる。

【０００４】このようなインクジェット記録ヘッドを備
えた記録装置は低コストで高品位な文字や画像が出力可
能である。

【０００５】従来から低価格でカラープリントが出力で
きる利点から、液体に膜沸騰を生じせしめ気泡の形成
（発生、成長、消泡、消滅）に伴って、液滴を吐出さ
せ、本願出願人であるキヤノン株式会社提案のバブルジ
ェット方式の吐出原理に基づく、いわゆるＢＪ方式の記
録装置が普及している。この記録装置は、黒系液体とし
てのブラックインクおよびシアン、マゼンタ、イエロー
のカラー系液体を吐出する各記録素子基板に共通してバ
ブルジェット方式を用いている。

【０００６】一般に、高画質化が望まれるにつれて、各
記録素子基板の吐出口の数は、６４個から、１２８個、
２５６個等と増加する傾向にあり、１インチ当たりの吐
出口数で言うところの「ｄｐｉ」で、３００ｄｐｉ、６
００ｄｐｉ等の高密度で配置される。これらの吐出口に
対して配置される電気熱変換体としての発熱体は、数μ
ｓｅｃオーダーから１０μｓｅｃオーダーのパルス的な
駆動によって応答して、膜沸騰による気泡を形成する
が、高周波的で駆動できるため、高速プリント、高画質
の形成を達成して、近年では単位時間当たりに駆動され
る発熱体が増加する傾向にある。

【０００７】従来のインクジェット記録ヘッドは、複数
のインク吐出口が一つのシリコン基板の同一平面上に半
導体製造技術を用いて造り込まれている。そのため、シ
リコン基板上に形成されている吐出口形成部材の前面
（吐出口面）はほぼ一様に平坦な平面となっている。シ
リコン基板の平面上に吐出口形成部材を形成し、記録素
子基板であるチップが完成する。そのチップは構造部材
に接着または圧着されて固定され、同時に、インクを供
給するためのインク流路を有する部材が接合される。さ
らに、電気信号を供給するための配線部材が、記録素子
基板のまわりの特定の方向に配置されている。

【０００８】このインクジェット記録ヘッドにおいて、
カラー記録を行う場合、カラーインク（通常はシアン、
マゼンタ、イエローの３種）とブラックインクとを吐出
するが、カラーインクとブラックインクとで吐出量等が
異なることが好ましい場合がある。すなわち、銀塩写真
と同等の高品位カラー記録を達成するためには、紙上で
ドットが見えない（粒状感が無い）程度に小ドット化す
ることが必要であり、カラーインクの液滴はごく微小で
あることが好ましい。一方、ブラックインクに関して
も、文字の解像度やシャープネスを向上させることを考
えると、小さな液滴により紙上に小さなドットを形成す
ることが好ましいが、文字等の記録の他に、所定域全面
を塗りつぶす、いわゆるベタ印字が行われることも多
い。微小な液滴の吐出によってこのようなベタ印字を行
う場合、吐出回数が多くなり記録時間が長くなる。そこ
で、ブラックインクは、カラーインクに比べて大きな液
滴を吐出させることが好ましい。

【０００９】このように、ブラックインクとカラーイン
クとで吐出量を異ならせる場合、ブラックインク用とカ
ラーインク用とそれぞれ別々の記録ヘッドを構成するこ
とが考えられる。しかし、複数の個別の記録ヘッドを記
録装置に取り付けて記録装置を構成すると、記録素子基
板間の主走査方向に対する距離が大きく離れてしまうた
めに、キャリッジの主走査幅が、記録素子基板が離れて
いる幅だけ大きくなってしまう問題点があった。この場
合、別個の独立した複数の記録ヘッドを構成せずに、カ
ラーインク用記録素子基板とブラックインク用記録素子
基板とを近接させて配置させて単一の記録ヘッドとする
ことが新たな有効な手段となる。この場合、カラーイン
ク用記録素子基板とブラックインク用記録素子基板とは
異なる記録素子基板で作成されることになる。特に、カ
ラーインクとブラックインクとで吐出量を異ならせる場
合、多くは、各記録素子基板ごとに吐出口径を変えると
ともに、吐出ヒータ（電気熱変換素子）から吐出口まで
の距離を変えるために記録素子基板の厚みが異なってし
まうからである。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】通常のインクジェット
記録装置においては、不使用時に吐出口付近でインクが
乾燥により固化するのを防いだり、記録前にインクとと
もに気泡や混入物等を除去するための予備吐出を行う際
にそのインクを受けるために、吐出口の前方を覆うキャ
ップ部材が設けられている。従来の記録装置において
は、吐出口面上をキャッピングするか、単一の記録素子
基板のまわりの配線部材上をキャッピングする構成が主
流である。ピエゾ素子を用いる構成のインクジェット記
録装置においても、オリフィスプレート全面の一様な平
坦面上をキャッピングする構成が主流である。キャップ
部材により吐出口の周囲を覆うことによるキャッピング
効果を得るには、このキャップ部材が一様な平坦面また
はなだらかな連続面を有した平面に対して密着される必
要があるからである。

【００１１】従来のインクジェット記録ヘッドにおいて
は、図２７，２８に示すように、複数の記録素子基板２
００，２０１を、それぞれに対応する別個の構造部材２
０２，２０３に貼り付ける構成が主流であった。異なる
吐出量を得る複数の記録素子基板２００，２０１を有す
る記録ヘッドの構成では、各記録素子基板２００，２０
１がそれぞれ取り付けられる平面部がかなり離れた位置
にあるために、同一のキャップでキャップすることがで
きず、別個のキャップ部材２０４，２０５でそれぞれ独
立してキャッピングされる構成となる。各記録素子基板
２００，２０１の吐出量の違いに伴う厚さの差等につい
て全く考慮されていないことも、その理由の１つであ
る。しかし、コストダウンと記録装置の小型化のため
に、一体のキャップ部材のみでキャッピングが行えるこ
とが好ましい。

【００１２】そこで本発明の目的は、一体のキャップ部
材を用いて、それぞれ異なるインク吐出量を得る複数の
記録素子基板を有しながらも、同時に記録ヘッドの実質
的に一様な平坦面上をキャッピングすることにより、小
型化、ローコスト化が行えるインクジェット記録装置を
提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、記録液
に吐出エネルギーを付与する複数の記録素子と、吐出エ
ネルギーを受容する記録液を貯留する複数の流路と、記
録液を吐出する複数の吐出口とを有する記録素子基板を
複数備えてなるインクジェット記録ヘッドと、インクジ
ェット記録ヘッドの吐出口の前方を覆う一体のキャップ
部材とを有するインクジェット記録装置において、少な
くとも１つの記録素子基板における記録素子と吐出口と
の間の距離と、他の記録素子基板における記録素子と吐
出口との間の距離とが異なる、または記録素子基板の厚
みが異なる、または両者の記録素子による液体吐出方式
が異なる前記複数の記録素子基板が、実質的に一様な平
坦面上に互いに隣接して配置されており、一体のキャッ
プ部材が、複数の記録素子基板の吐出口を、実質的に一
様な平坦面上で同時にキャッピング可能であるところに
ある。

【００１４】この構成によると、厚さや吐出特性が異な
る複数の記録素子基板を有するインクジェット記録ヘッ
ドを単純にキャッピングでき、ひいては記録装置の大幅
な小型化、コストダウンを達成できる。すなわち、イン
クジェット記録ヘッドが走査されるシリアルプリンタに
おいて、記録素子基板の間隔は主走査方向に関して可能
な限り近接させることにより、主走査方向の走査幅を少
なくすることが可能となる。さらに、キャップ機構等が
主走査方向の非記録エリアに配される場合、複数の記録
素子基板間の主走査方向の間隔が小さければ小さいほ
ど、キャップ機構等の幅も小さくすることが可能とな
る。このことは、可搬型の超小型プリンタ等においては
非常に大きな利点である。

【００１５】キャップ部材は、リブ部が平坦面に密着す
ることによりキャッピングを行うものであってもよい。
その場合、キャップ部材のリブ部に囲まれて単一のキャ
ッピング空間が形成されており、単一のキャッピング空
間内に複数の記録素子基板の吐出口が位置してキャッピ
ングが行われてもよい。または、キャップ部材のリブ部
に囲まれて複数のキャッピング空間が形成されており、
複数のキャッピング空間内にそれぞれ記録素子基板の吐
出口が位置してキャッピングが行われてもよい。さらに
その場合、複数のキャッピング空間の境界に位置するリ
ブ部の少なくとも一部は、複数のキャッピング空間にお
いて共有される輪郭線となっていてもよい。

【００１６】記録液として黒系の液体が供給される記録
素子基板における記録素子と吐出口との間の距離が相対
的に長く、記録液としてカラー系の液体が供給される記
録素子基板における記録素子と吐出口との間の距離が相
対的に短いことが好ましい。そして、記録液として黒系
の液体が供給される記録素子基板の吐出口から吐出され
る記録液の吐出量が相対的に多く、記録液としてカラー
系の液体が供給される記録素子基板の吐出口から吐出さ
れる記録液の吐出量が相対的に少ないことが好ましい。

【００１７】このような構成によると、ブラックの記録
液は大液滴として吐出させることにより、ベタ印字など
が高速で行える一方、カラーの記録液は小液滴として吐
出させることにより、高精細の高品位記録が可能にな
る。

【００１８】また、記録液として黒系の液体が供給され
る記録素子基板の記録素子による液体吐出方式が、記録
素子の作動により記録液に発泡をもたらすとともに、発
泡により形成された気泡が消泡して消滅する吐出方式で
あり、記録液としてカラー系の液体が供給される記録素
子基板の記録素子による液体吐出方式が、記録素子の作
動により記録液に発泡がもたらされる際に発泡により形
成された気泡が吐出口から外部に連通する吐出方式であ
ってもよい。この構成によると、カラーの記録液を吐出
させた後、発泡圧は外部に逃げ、消泡時のメニスカスの
振動が小さいため、リフィルが速やかに行われ、高速記
録に寄与する。

【００１９】複数の記録素子基板が、同一平面上に配置
された実質的に同じ厚さの基板と、基板上に積層されて
いる吐出口形成部材とを有し、少なくとも１つの記録素
子基板は、吐出口形成部材の高さが他の記録素子基板と
異なっていることにより、記録素子と吐出口との間の距
離が異なっていてもよい。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。

【００２１】図１〜図４は、本発明のインクジェット記
録装置の一実施形態に採用される好適なヘッドカートリ
ッジ、記録ヘッド、インクタンクのそれぞれの構成およ
びそれぞれの関係を説明する図である。以下、これらの
図面を参照して各構成要素の説明を行う。

【００２２】本実施形態の記録ヘッド（インクジェット
記録ヘッド）は、図１，２よりわかるように、記録ヘッ
ドカートリッジを構成する一構成要素であり、記録ヘッ
ドカートリッジは、記録ヘッドと、記録ヘッドに着脱自
在に設けられたインクタンクとから構成されている。記
録ヘッドは、インクタンクから供給されるインク（記録
液）を、記録情報に応じて吐出口から吐出する。

【００２３】この記録ヘッドカートリッジは、インクジ
ェット記録装置本体に載置されているキャリッジ（不図
示）の位置決め手段および電気的接点によって固定支持
されるとともに、キャリッジに対して着脱可能となって
いる。インクタンクはブラックのインク用、シアンのイ
ンク用、マゼンタのインク用、イエローのインク用の４
つが設けられている。このようにインクタンクのそれぞ
れが記録ヘッドに対してシールゴムＨ１８００側に着脱
自在であり、それぞれのインクタンクが交換可能となっ
ていることにより、インクジェット記録装置における印
刷のランニングコストが低減される。

【００２４】次に、記録ヘッドを構成しているそれぞれ
の構成要素毎に順を追ってさらに詳しく説明する。

【００２５】（１）記録ヘッド 記録ヘッドＨ１００１は、電気信号に応じて膜沸騰をイ
ンクに対して生じさせるための熱エネルギーを生成する
電気熱変換体（記録素子）を用いて記録を行うバブルジ
ェット方式のサイドシュータ型の記録ヘッドである。

【００２６】記録ヘッドＨ１００１は、図２の分解斜視
図に示すように、記録素子ユニットＨ１００２とインク
供給ユニット（記録液供給手段）Ｈ１００３とタンクホ
ルダーＨ２０００から構成されている。

【００２７】さらに、記録素子ユニットＨ１００２は、
第１の記録素子基板Ｈ１１００、第２の記録素子基板Ｈ
１１０１、第１のプレート（第１の支持部材）Ｈ１２０
０、電気配線テープ（可撓性の配線基板）Ｈ１３００、
電気コンタクト基板Ｈ２２００、第２のプレート（第２
の支持部材）Ｈ１４００で構成されており、また、イン
ク供給ユニットＨ１００３は、インク供給部材Ｈ１５０
０、流路形成部材Ｈ１６００、ジョイントシール部材Ｈ
２３００、フィルターＨ１７００、シールゴムＨ１８０
０から構成されている。

【００２８】（１−１）記録素子ユニット 図３は、第１の記録素子基板Ｈ１１００の構成を説明す
るために一部分解した斜視図である。第１の記録素子基
板Ｈ１１００は、厚さ０．５〜１ｍｍのＳｉ基板Ｈ１１
１０の片面に、インクを吐出するための複数の記録素子
（電気熱変換素子）Ｈ１１０３と、各電気熱変換素子Ｈ
１１０３に電力を供給するＡｌ等の電気配線が、成膜技
術により形成されている。そして、この電気熱変換素子
Ｈ１１０３に対応する複数のインク流路と複数の吐出口
Ｈ１１０７とがフォトリソグラフィ技術により形成され
るとともに、複数のインク流路にインクを供給するため
のインク供給口Ｈ１１０２が反対側の面（裏面）に開口
するように形成されている。また、記録素子基板Ｈ１１
００は第１のプレートＨ１２００に接着され固定されて
おり、ここにインク供給口Ｈ１１０２が形成されてい
る。さらに、第１のプレートＨ１２００には、開口部を
有する第２のプレートＨ１４００が接着され固定されて
おり、この第２のプレートＨ１４００を介して、電気配
線テープＨ１３００が記録素子基板Ｈ１１００に対して
電気的に接続されるように保持されている。この電気配
線テープＨ１３００は、記録素子基板Ｈ１１００にイン
クを吐出するための電気信号を印加するものであり、記
録素子基板Ｈ１１００に対応する電気配線と、この電気
配線部に位置しプリンタ本体からの電気信号を受け取る
外部信号入力端子Ｈ１３０１とを有し、この外部信号入
力端子Ｈ１３０１は、インク供給部材Ｈ１５００の背面
側に位置決めされ固定されている。

【００２９】インク供給口Ｈ１１０２は、Ｓｉの結晶方
位を利用した異方性エッチングやサンドブラストなどの
方法で形成されている。すなわち、Ｓｉ基板Ｈ１１１０
が、ウエハー面方向に＜１００＞、厚さ方向に＜１１１
＞の結晶方位を持つ場合、アルカリ系（ＫＯＨ，ＴＭＡ
Ｈ，ヒドラジン等）による異方性エッチングで、約５
４．７度の角度でエッチングを進行させ得る。これによ
り所望の深さにエッチングを行い、長溝状の貫通口から
なるインク供給口Ｈ１１０２を形成する。インク供給口
Ｈ１１０２を挟んで両側に電気熱変換素子Ｈ１１０３が
それぞれ１列ずつ千鳥状に配列されている。電気熱変換
素子Ｈ１１０３と、電気熱変換素子Ｈ１１０３に電力を
供給するＡｌ等の電気配線は、成膜技術により形成され
ている。さらに、前記電気配線に電力を供給するための
電極Ｈ１１０４が電気熱変換素子Ｈ１１０３の両外側に
配列されており、電極Ｈ１１０４にはＡｕ等のバンプＨ
１１０５が熱超音波圧着法で形成されている。そして、
Ｓｉ基板Ｈ１１１０上には、電気熱変換素子Ｈ１１０３
に対応したインク流路を形成するためのインク流路壁Ｈ
１１０６と吐出口Ｈ１１０７が樹脂材料でフォトリソグ
ラフィ技術によりに形成され、吐出口群Ｈ１１０８が形
成されている。電気熱変換素子Ｈ１１０３に対向して吐
出口Ｈ１１０７が設けられているため、インク供給口Ｈ
１１０２から供給されたインクは電気熱変換素子Ｈ１１
０３の発熱作用により発生した気泡により吐出口Ｈ１１
０７から吐出される。

【００３０】また図４は第２の記録素子基板Ｈ１１０１
の構成を説明するために一部分解した斜視図である。第
２の記録素子基板Ｈ１１０１は３色のインクを吐出させ
るための記録素子基板であり、３個のインク供給口Ｈ１
１０２が並列して形成されており、それぞれのインク供
給口Ｈ１１０２を挟んだ両側に電気熱変換素子Ｈ１１０
３とインク吐出口Ｈ１１０７が形成されている。第１の
記録素子基板Ｈ１１００と同じようにＳｉ基板Ｈ１１１
０にインク供給口Ｈ１１０２や電気熱変換素子Ｈ１１０
３、電気配線、電極Ｈ１１０４などが形成されておりそ
の上に樹脂材料でフォトリソグラフィ技術によりインク
流路やインク吐出口Ｈ１１０７が形成されている。そし
て、第１の記録素子基板Ｈ１１００と同様に電気配線に
電力を供給するための電極Ｈ１１０４にはＡｕ等のバン
プＨ１１０５が形成されている。次に第１のプレートＨ
１２００は、例えば、厚さ０．５〜１０ｍｍのアルミナ
（Ａｌ₂Ｏ₃）材料で形成されている。なお、第１のプレ
ートＨ１２００の材料は、アルミナに限られることな
く、記録素子基板Ｈ１１００の材料の線膨張率と同等の
線膨張率を有し、かつ、記録素子基板Ｈ１１００材料の
熱伝導率と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材
料で作られてもよい。第１のプレートＨ１２００の材料
は、例えば、シリコン（Ｓｉ）、窒化アルミニウム（Ａ
ｌＮ）、ジルコニア、窒化珪素（Ｓｉ₃Ｎ₄）、炭化珪素
（ＳｉＣ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）
のうちいずれであってもよい。第１のプレートＨ１２０
０には、第１の記録素子基板Ｈ１１００にブラックのイ
ンクを供給するためのインク連通口Ｈ１２０１と、第２
の記録素子基板Ｈ１１０１にシアン、マゼンタ、イエロ
ーのインクを供給するためのインク連通口Ｈ１２０１が
形成されており、記録素子基板のインク供給口Ｈ１１０
２が第１のプレートＨ１２００のインク連通口Ｈ１２０
１にそれぞれ対応し、かつ、第１の記録素子基板Ｈ１１
００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１はそれぞれ第１の
プレートＨ１２００に対して位置精度良く接着固定され
ている。接着に用いられる第１の接着剤は、低粘度で硬
化温度が低く、短時間で硬化し、硬化後比較的高い硬度
を有し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。その
第１の接着剤は、例えば、エポキシ樹脂を主成分とした
熱硬化接着剤であり、この第１の接着層の厚みは５０μ
ｍ以下が望ましい。

【００３１】電気配線テープＨ１３００は、第１の記録
素子基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１に
対してインクを吐出するための電気信号を印加するもの
である。この電気配線テープＨ１３００は、それぞれの
記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１を組み込むための
複数のデバイスホール（開口部）Ｈ１，Ｈ２と、それぞ
れの記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１の電極Ｈ１１
０４に対応する電極端子Ｈ１３０２と、この電気配線テ
ープＨ１３００の端部に位置しプリンタ本体装置からの
電気信号を受け取るための外部信号入力端子Ｈ１３０１
を有する電気コンタクト基板Ｈ２２００と電気的接続を
おこなうための電極端子部を有しており、この電極端子
部と電極リードＨ１３０２とは連続した銅箔の配線パタ
ーンでつながっている。この電気配線テープＨ１３００
は、例えば、配線が２層構造をなし表層がレジストフィ
ルムによって覆われているフレキシブル配線基板からな
る。この場合、外部信号入力端子Ｈ１３０１の裏面側
（外面側）には、補強板が接着され、平面性向上が図ら
れている。補強板としては、例えば０．５〜２ｍｍのガ
ラスエポキシ、アルミニウム等の耐熱性を有する材料が
使用される。

【００３２】電気配線テープＨ１３００と第１の記録素
子基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１は、
それぞれ電気的に接続されており、接続方法は、例え
ば、記録素子基板の電極Ｈ１１０４上のバンプＨ１１０
５と、電気配線テープＨ１３００の電極リードＨ１３０
２とが、熱超音波圧着法により電気接合される。

【００３３】第２のプレートＨ１４００は、例えば、厚
さ０．５〜１ｍｍの一枚の板状部材であり、例えばアル
ミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）等のセラミックや、Ａｌ、ＳＵＳなど
の金属材料で形成されている。ただし、第２のプレート
Ｈ１４００の材料は、これらに限定されるものではな
く、記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１および第１の
プレートＨ１２００と同等の線膨張率を有し、かつ、そ
れらの熱伝導率と同等以上の熱伝導率を有する材料であ
ってもよい。

【００３４】そして、第２のプレートＨ１４００は、第
１のプレートＨ１２００に接着固定された第１の記録素
子基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１の外
形寸法よりも大きな開口部をそれぞれ有する形状であ
る。また、第１の記録素子基板Ｈ１１００および第２の
記録素子基板Ｈ１１０１と電気配線テープＨ１３００を
平面的に電気接続できるように、第１のプレートＨ１２
００に第２の接着層Ｈ１２０３により接着されており、
電気配線テープＨ１３００の裏面が第３の接着層Ｈ１３
０６により接着固定される。

【００３５】第１の記録素子基板Ｈ１１００および第２
の記録素子基板Ｈ１１０１と電気配線テープＨ１３００
の電気接続部分は、第１の封止剤（不図示）および第２
の封止剤により封止され、電気接続部分をインクによる
腐食や外的衝撃から保護している。第１の封止剤は、主
に電気配線テープの電極端子Ｈ１３０２と記録素子基板
のバンプＨ１１０５との接続部の裏面側と記録素子基板
の外周部分を封止し、第２の封止剤は、前記接続部の表
側を封止している。

【００３６】さらに電気配線テープＨ１３００の端部に
プリンタ本体装置からの電気信号を受け取るための外部
信号入力端子Ｈ１３０１を有する電気コンタクト基板Ｈ
２２００が、異方性導電フィルム等を用いて熱圧着され
電気的に接続されている。

【００３７】そして電気配線テープＨ１３００は、第２
のプレートＨ１４００に接着されると同時に、第１のプ
レートＨ１２００および第２のプレートＨ１４００の一
側面に沿って折り曲げられ、第１のプレートＨ１２００
の側面に第３の接着層Ｈ１３０６により接着される。第
２の接着剤は、粘度が低く、接触面に薄い第２の接着層
Ｈ１２０３を形成し得るとともに、耐インク性を有する
ものが好ましい。また、第３の接着層Ｈ１３０６は、例
えば、エポキシ樹脂を主成分とした厚さ１００μｍ以下
の熱硬化接着剤層である。

【００３８】 （１−２）インク供給ユニット（記録液供給手段） インク供給部材Ｈ１５００は、例えば、樹脂成形により
形成されている。該樹脂材料には、形状的剛性を向上さ
せるためにガラスフィラーを５〜４０％混入した樹脂材
料を使用することが望ましい。

【００３９】図１、図２に示すように、インクタンクを
着脱自在に保持するインク供給部材Ｈ１５００は、イン
クタンクから記録素子ユニットＨ１００２にインクを導
くためのインク供給ユニットＨ１００３の一構成部品で
あり、流路形成部材Ｈ１６００が超音波溶着されて、イ
ンクタンクから第１のプレートＨ１２００に至るインク
流路Ｈ１５０１が形成されている。また、インクタンク
と係合するジョイント部には、外部からのゴミの進入を
防ぐためのフィルターＨ１７００が溶着により接合され
ており、さらに、ジョイント部からのインクの蒸発を防
止するために、シールゴムＨ１８００が装着されてい
る。

【００４０】また、記録ヘッドカートリッジをインクジ
ェット記録装置本体のキャリッジに装着位置に案内する
ための装着ガイドＨ１６０１、記録ヘッドカートリッジ
をヘッドセットレバーによりキャリッジに装着固定する
ための係合部、キャリッジの所定の装着位置に位置決め
するためのＸ方向（キャリッジスキャン方向）の突き当
て部Ｈ１５０９、Ｙ方向（記録メディア搬送方向）の突
き当て部Ｈ１５１０、Ｚ方向（インク吐出方向）の突き
当て部Ｈ１５１１を備えている。また、記録素子ユニッ
トＨ１００２の電気コンタクト基板Ｈ２２００を位置決
め固定する端子固定部Ｈ１５１２を有し、端子固定部Ｈ
１５１２およびその周囲には複数のリブが設けられ、端
子固定部Ｈ１５１２を有する面の剛性を高めている。

【００４１】（１−３）記録ヘッドユニットとインク供
給ユニットの結合先述の図２に示した通り、記録ヘッド
は、記録素子ユニットＨ１００２をインク供給ユニット
Ｈ１００３に結合しさらにタンクホルダーＨ２０００と
結合することにより完成する。結合は以下のように行わ
れる。

【００４２】記録素子ユニットＨ１００２のインク連通
口（第１のプレートＨ１２００のインク連通口Ｈ１２０
１）とインク供給ユニットＨ１００３のインク連通口
（流路形成部材Ｈ１６００のインク連通口Ｈ１６０２）
とを、インクがリークしないように連通させるため、ジ
ョイントシール部材Ｈ２３００を介してそれぞれの部材
を圧着するようビスＨ２４００で固定する。この際同時
に、記録素子ユニットＨ１００２はインク供給ユニット
のＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の基準位置に対して正確に位
置決めされ固定される。

【００４３】そして記録素子ユニットＨ１００２の電気
コンタクト基板Ｈ２２００はインク供給部材Ｈ１５００
の一側面に、端子位置決めピン（２ヶ所）と端子位置決
め穴（２ヶ所）により位置決めされ、固定される。固定
方法としては、例えば、インク供給部材Ｈ１５００に設
けられた端子位置決めピンをかしめることにより固定さ
れるが、その他の固定手段を用いて固定しても良い。

【００４４】さらにインク供給部材Ｈ１５００のタンク
ホルダーとの結合穴および結合部をタンクホルダーＨ２
０００に嵌合させ結合することにより、記録ヘッドＨ１
００１が完成する。すなわち、インク供給部材Ｈ１５０
０、流路形成部材Ｈ１６００、フィルターＨ１７００、
シールゴムＨ１８００から構成されるタンクホルダー部
と、記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１、第１のプレ
ートＨ１２００、配線基板Ｈ１３００、第２のプレート
Ｈ１４００から構成される記録素子部とを接着等で結合
することにより、記録ヘッドが構成されている。

【００４５】（２）記録ヘッドカートリッジ 先述のように、各インクタンクの内部には、対応する色
のインクが収納されている。また、それぞれのインクタ
ンクには、インクタンク内のインクを記録ヘッドに供給
するためのインク連通口が形成されている。例えばイン
クタンクが記録ヘッドに装着されると、インクタンクの
インク連通口が記録ヘッドのジョイント部に設けられた
フィルターＨ１７００と圧接され、インクタンク内のイ
ンクがインク連通口から記録ヘッドのインク流路Ｈ１５
０１を介して第１のプレートＨ１２００を通り第１の記
録素子基板Ｈ１１００に供給される。

【００４６】そして、電気熱変換素子Ｈ１１０３と吐出
口Ｈ１１０７のある発泡室にインクが供給され、電気熱
変換素子Ｈ１１０３に与えられる熱エネルギーによって
被記録媒体である記録用紙に向けて吐出される。

【００４７】［実施例１］本発明の実施例１について図
５〜１２を参照して説明する。

【００４８】図５は記録素子ユニットＨ１００２の要部
分解模式断面図、図６は要部模式断面図である。

【００４９】図５に示すように、電気配線テープＨ１３
００は、ボンディング部周辺が３層構造になっており、
表側にポリイミドのベースフィルムＨ１３００ａ、中間
に銅箔Ｈ１３００ｂ、裏側にソルダーレジストＨ１３０
０ｃという構成である。この電気配線テープＨ１３００
には、第１の記録素子基板Ｈ１１００が挿入されるデバ
イスホール（開口部）Ｈ１と、第２の記録素子基板Ｈ１
１０１が挿入されるデバイスホールＨ２が設けられ、記
録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１のバンプＨ１００５
と接続されるインナーリード（電極リード）Ｈ１３０２
が金メッキされて露出している。

【００５０】以下、本実施例の記録素子ユニットの製造
方法を図９および図１０を参照して工程順に説明する。

【００５１】まず、第１および第２の記録素子基板の製
造方法を示す。

【００５２】図１０から図１６は、第１，２の記録素子
基板（インクジェット記録ヘッド）の基本的な態様を示
すための摸式図であり、本発明に係わるインクジェット
記録ヘッドの構成とその製作手順の一例が示されてい
る。

【００５３】まず、本態様においては、例えば図１０に
示されるような、ガラス、セラミックス、プラスチック
あるいは金属等からなる基板１が用いられる。

【００５４】このような基板１は、液流路構成部材の一
部として機能し、また、後述のインク流路およびインク
吐出口を形成する材料層の支持体として機能し得るもの
であれば、その形状、材質等に特に限定されることなく
使用できる。上記基板１上には、電気熱変換素子あるい
は圧電素子等のインク吐出エネルギー発生素子２が所望
の個数配置される。このような、インク吐出エネルギー
発生素子２によって記録液小滴を吐出させるための吐出
エネルギーがインク液に与えられ、記録が行われる。ち
なみに、例えば、上記インク吐出エネルギー発生素子２
として電気熱変換素子が用いられる時には、この素子が
近傍の記録液を加熱することにより、記録液に状態変化
を生起させ吐出エネルギーを発生する。また、例えば、
圧電素子が用いられる時は、この素子の機械的振動によ
って、吐出エネルギーが発生される。

【００５５】なお、これらの素子２には、これら素子を
動作させるための制御信号入力用電極８が接続されてい
る。また、一般にはこれら吐出エネルギー発生素子の耐
用性の向上を目的として、保護層等の各種機能層が設け
られるが、もちろん本発明においてもこのような機能層
を設けることは一向に差し支えない。

【００５６】図１０において、インク供給のための開口
部３を基板１上に予め設けておき、基板後方よりインク
を供給する形態を例示した。該開口部３の形成において
は、基板１に穴を形成できる手段であれば、いずれの方
法も使用できる。例えば、ドリル等機械的手段にて形成
しても構わないし、レーザー等の光エネルギーを使用し
ても構わない。また、基板１にレジストパターン等を形
成して化学的にエッチングしても構わない。

【００５７】もちろん、インク供給口を基板１に形成せ
ず、樹脂パターンに形成し、基板１に対してインク吐出
口と同じ面に設けてもよい。

【００５８】次いで、図１１に示すように、上記インク
吐出エネルギー発生素子２を含む基板１上に、溶解可能
な樹脂にてインク流路パターン４を形成する。最も一般
的な手段としては感光性材料にて形成する手段が挙げら
れるが、スクリーン印刷法等の手段にても形成は可能で
ある。感光性材料を使用する場合においては、インク流
路パターンが溶解可能であるため、ポジ型レジストか、
あるいは溶解性変化型のネガ型レジストの使用が可能で
ある。

【００５９】レジスト層の形成の方法としては、基板上
にインク供給口を設けた基板を使用する場合には、該感
光性材料を適当な溶剤に溶解し、ＰＥＴなどのフィルム
上に塗布、乾燥してドライフィルムを作成し、ラミネー
トによって形成することが好ましい。上述のドライフィ
ルムとしては、ポリメチルイソプロピルケトン、ポリビ
ニルケトン等のビニルケトン系光崩壊性高分子化合物を
好適に用いることができる。というのは、これら化合物
は、光照射前は高分子化合物としての特性（被膜性）を
維持しており、インク供給口３上にも容易にラミネート
可能であるためである。

【００６０】また、インク供給口３に後工程で除去可能
な充填物を配置し通常のスピンコート法、ロールコート
法等で被膜を形成しても構わない。

【００６１】このように、インク流路をパターニングし
た溶解可能な樹脂材料層４上に、図１２に示すように、
さらに被覆樹脂層５を通常のスピンコート法、ロールコ
ート法等で形成する。ここで、該樹脂層５を形成する工
程において、溶解可能な樹脂パターンを変形せしめない
等の特性が必要となる。すなわち、被覆樹脂層５を溶剤
に溶解し、これをスピンコート、ロールコート等で溶解
可能な樹脂パターン４上に形成する場合、溶解可能な樹
脂パターン４を溶解しないように溶剤を選択する必要が
ある。

【００６２】次に、本実施例に用いる被覆樹脂層５につ
いて説明する。被覆樹脂層５としては、インク吐出口３
をフォトリソグラフィーで容易にかつ精度よく形成でき
ることから、感光性のものが好ましい。このような感光
性被覆樹脂層５は、構造材料としての高い機械的強度、
基板１との密着性、耐インク性と、同時にインク吐出口
の微細なパターンをパターニングするための解像性が要
求される。このため、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化
物が構造材料として優れた強度、密着性、対インク性を
有し、かつ前記エポキシ樹脂が常温にて固体状であれ
ば、優れたパターニング特性を有する。

【００６３】まず、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化物
は、通常の酸無水物もしくはアミンによる硬化物に比較
して高い架橋密度（高Ｔｇ）を有するため、構造材とし
て優れた特性を示す。また、常温にて固体状のエポキシ
樹脂を用いることで、光照射によりカチオン重合開始剤
より発生した重合開始種のエポキシ樹脂中への拡散が抑
えられ、優れたパターニング精度、形状を得ることがで
きる。

【００６４】溶解可能な樹脂層上に被覆樹脂層を形成す
る工程は、常温で固体状の被覆樹脂を溶剤に溶解し、ス
ピンコート法で形成することが望ましい。

【００６５】薄膜コーティング技術であるスピンコート
法を用いることで、被覆樹脂層５は均一にかつ精度良く
形成することができ、従来方法では困難であったインク
吐出圧力発生素子２と吐出口間の距離を短くすることが
でき、小液滴吐出を容易に達成することができる。

【００６６】ここで、被覆樹脂層５を溶解可能な樹脂層
４上にフラットに形成するために、スピンコート時に被
覆樹脂を溶剤に対して３０〜７０ｗｔ％の濃度で、さら
に好ましくは４０〜６０ｗｔ％の濃度で溶解させること
により被覆樹脂層５表面をフラットにすることが可能と
なる。

【００６７】本実施例に用いる固体状のエポキシ樹脂と
しては、ビスフェノールＡとエピクロヒドリンとの反応
物のうち分子量がおよそ９００以上のもの、含ブロモス
フェノールＡとエピクロヒドリンとの反応物、フェノー
ルノボラックあるいはｏ−クレゾールノボラックとエピ
クロヒドリンとの反応物、特開昭６０−１６１９７３号
公報、特開昭６３−２２１１２１号公報、特開昭６４−
９２１６号公報、特開平２−１４０２１９号公報に記載
のオキシシクロヘキサン骨格を有する多感応エポキシ樹
脂等があげられる。

【００６８】上記エポキシ樹脂を硬化させるための光カ
チオン重合開始剤としては、芳香族ヨードニウム塩、芳
香族スルホニウム塩［Ｊ．ＰＯＬＹＭＥＲ ＳＣＩ：Ｓ
ｙｍｐｏｓｉｕｍ No. ５６ ３８３−３９５（１９７
６）参照］や旭電化工業株式会社より上市されているＳ
Ｐ−１５０、ＳＰ−１７０等が挙げられる。

【００６９】次いで、上記化合物からなる感光性被覆樹
脂層５に対して、図１３に示すように、マスク６を介し
てパターン露光を行う。本態様の感光性被覆樹脂層５
は、ネガ型であり、インク吐出口を形成する部分をマス
クで遮蔽する（むろん、電気的な接続を行う部分も遮蔽
する。図示せず。）。

【００７０】パターン露光は、使用する光カチオン重合
開始剤の感光領域に合わせて紫外線、Ｄｅｅｐ−ＵＶ
光、電子線、Ｘ線などから適宜選択することができる。

【００７１】ここで、これまでの工程は、すべて従来の
フォトリソグラフィー技術を用いて位置合わせが可能で
あり、オリフィスプレートを別途作成し基板と張り合せ
る方法に比べて、格段に精度をあげることができる。こ
うしてパターン露光された感光性被覆樹脂層５は、必要
に応じて反応を促進するために、加熱処理を行ってもよ
い。ここで、前述のごとく、感光性被覆樹脂層は常温で
固体状のエポキシ樹脂で構成されているため、パターン
露光で生じるカチオン重合開始種の拡散は制約を受け、
優れたパターニング精度、形状を実現できる。

【００７２】次いで、パターン露光された感光性被覆樹
脂層５は、適当な溶剤を用いて現像され、図１４に示す
ように、インク吐出口を形成する。ここで、未露光の光
性被覆樹脂層の現像時に同時にインク流路を形成する溶
解可能な樹脂パターン４を現像することも可能である。
ただし、一般的に、基板１上には複数の同一または異な
る形態のヘッドが配置され、切断工程を経てインクジェ
ット記録ヘッドとして使用されるため、切断時のごみ対
策として、図１４に示すように感光性被覆樹脂層５のみ
を選択的に現像することにより、インク流路を形成する
樹脂パターン４を残し（液室内に樹脂パターン４が残存
するため切断時に発生するゴミが入り込まない）、切断
工程後に樹脂パターン４を現像することも可能である
（図１５）。また、この際、感光性被覆樹脂層５を現像
する時に発生するスカム（現像残渣）は、溶解可能な樹
脂層４とともに溶出されるためノズル内には残渣が残ら
ない。

【００７３】前述したように架橋密度を上げる必要があ
る場合には、この後、インク流路およびインク吐出口が
形成された感光性被覆樹脂層５を還元剤を含有する溶液
に浸漬および加熱することにより後硬化を行う。これに
より、感光性被覆樹脂層５の架橋密度はさらに高まり、
基板に対する密着性および耐インク性は非常に良好とな
る。もちろん、この銅イオン含有溶液に浸漬加熱する工
程は、感光性被覆樹脂層５をパターン露光し、現像して
インク吐出口を形成した直後に行っても一向にさしつか
えなく、その後で溶解可能な樹脂パターン４を溶出して
も構わない。また浸漬、加熱工程は、浸漬しつつ加熱し
ても構わないし、浸漬後に加熱処理を行っても構わな
い。

【００７４】このような還元剤としては、還元作用を有
する物質であれば有用であるが、特に銅トリフラート、
酢酸銅、安息香酸銅など銅イオンを含有する化合物が有
効である。前記化合物の中でも、特に銅トリフラートは
非常に高い効果を示す。さらに前記以外にアスコルビン
酸も有用である。

【００７５】このようにして形成したインク流路および
インク吐出口を形成した基板に対して、インク供給のた
めの部材７およびインク吐出圧力発生素子を駆動するた
めの電気的接合（図示せず）を行ってインクジェット記
録ヘッドが形成される（図１６）。

【００７６】本実施態様では、インク吐出口の形成をフ
ォトリソグラフィーによって行ったが、本発明はこれに
限ることなく、マスクを変えることによって、酸素プラ
ズマによるドライエッチングやエキシマレーザーによっ
てもインク吐出口を形成することができる。エキシマレ
ーザーやドライエッチングによってインク吐出口を形成
する場合には、基板が樹脂パターンで保護されてレーザ
ーやプラズマによって傷つくことがないため、精度と信
頼性の高いヘッドを提供することも可能となる。さら
に、ドライエッチングやエキシマレーザー等でインク吐
出口を形成する場合は、被覆樹脂層５は感光性のもの以
外にも熱硬化性のものも適用可能である。

【００７７】一方、第２のプレートＨ１４００を第１の
プレートＨ１２００に、第２の接着層Ｈ１２０３により
接着する。次に、第１のプレートＨ１２００に第１の記
録素子基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１
を接着する第１の接着層Ｈ１２０２を塗布形成した後、
記録素子基板Ｈ１１００、Ｈ１１０１を、記録液を吐出
する複数の電気熱変換素子Ｈ１１０３またはそれぞれの
吐出口Ｈ１１０７の配線面方向の相対位置関係を合わせ
て押圧固定する。

【００７８】その後、電気配線テープＨ１３００の裏面
を接着固定するための第３の接着層Ｈ１３０６を第２の
プレートＨ１４００に塗布形成した後、第１の記録素子
基板Ｈ１１００と第２の記録素子基板Ｈ１１０１の電極
Ｈ１１０４と電気配線テープＨ１３００の電極リードＨ
１３０２の位置合わせをした後、押圧固定する。この
後、記録素子基板の電極１１０４上のバンプＨ１１０５
と、電気配線テープＨ１３００の電極リードＨ１３０２
とを、１箇所ずつ熱超音波圧着法により電気接合する。

【００７９】さらに、記録素子基板Ｈ１１００の電極Ｈ
１１０４上のバンプＨ１１０５と、電気配線テープＨ１
３００の電極リードＨ１３０２との接合部を樹脂により
封止して、インク等でショートしないようにしている。

【００８０】本実施例において、第１のプレートＨ１２
００および第２のプレートＨ１４００はアルミナ製であ
り、電気配線テープ（フレキシブルプリント基板）Ｈ１
３００は、前記の通り、ベースフィルム、銅箔配線、ソ
ルダーレジストの三層構造であり、デバイスホールＨ
１，Ｈ２が設けられ、金メッキされた電極リードＨ１３
０２が露出している。

【００８１】本実施例の第２のプレートＨ１４００は、
単一の板状の部材であり、記録素子基板Ｈ１１００およ
びＨ１１０１が挿入されるための穴が２ヶ所設けられて
おり、第１のプレートＨ１２００に接着されて固定され
ている。また、電気配線テープＨ１３００は、記録素子
基板Ｈ１１００およびＨ１１０１を露出するために形成
されたデバイスホールＨ１，Ｈ２を除く領域の全面が、
第３の接着層Ｈ１３０６により第２のプレートＨ１４０
０に接着されている。

【００８２】本実施例のインクジェット記録装置におい
ては、ブラックヘッドと、カラーヘッドの両方を同一の
配線基板上に組付けて一体化しているので、お互いのヘ
ッドのインクの着弾位置の修正が不要である。

【００８３】本実施例では、前記した構成のインクジェ
ット記録ヘッドにおいて、第１の記録素子基板Ｈ１１０
０を用いてブラックインクを吐出させ、第２の記録素子
基板Ｈ１１０１を用いて、シアン、マゼンタ、イエロー
の３色のカラーインクを吐出させる。

【００８４】また、第１の記録素子基板Ｈ１１００のノ
ズル構成は、片側３００ｄｐｉでインク供給路の両側に
ノズルが千鳥状に配置され、６００ｄｐｉの記録素子が
構成されている。第２の記録素子基板Ｈ１１０１は、１
つの基板にインク供給口Ｈ１１０２が３つ設けられ、シ
アン、マゼンタ、イエローの吐出口Ｈ１１０７が、片側
６００ｄｐｉで千鳥状に配置され、１２００ｄｐｉの記
録素子が構成されている。本実施例のインクジェット記
録ヘッドでは、ブラック用とカラー用の２つの記録素子
基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１を非常に高精度に配置する
ため、１枚の第１のプレートＨ１２００上に両記録素子
基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１を搭載している。また、記
録装置本体からの電源やデータ等の供給を行うための電
気コンタクト基板Ｈ２２００や電気配線テープＨ１３０
０を、２つの記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１で共
用するようにして、部品点数削減および低コスト化を図
っている。

【００８５】本実施例のインクジェット記録ヘッドは、
記録装置本体のキャリッジに装着され、キャリッジに設
けられた電気接点と、インクジェット記録ヘッドに設け
られた電気コンタクト基板Ｈ２２００とが、電気的に接
続される。本実施例の両記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１
１０１は、ブラック用とカラー用とで吐出量が異なるよ
うに構成されている。図８は、第１の記録素子基板およ
び第２の記録素子基板の吐出方式を説明する説明図であ
る。なお、図中において第１の記録素子基板および第２
の記録素子基板は同一の電源に接続されており、かつ同
一平面（点線）上に配置されている構成を示す。

【００８６】本実施例の第２の記録素子基板Ｈ１１０１
は、吐出量を安定させ高画質カラー印字を行うために、
いわゆるバブルスルージェット方式（ＢＴＪ方式）のイ
ンクジェット記録方式を採用している。

【００８７】通常のバブルジェット方式（ＢＪ方式）の
場合、図８に示すように、吐出口−記録素子間距離ＯＨ
が比較的長く、記録素子（電気熱変換素子）Ｈ１１０３
の加熱によるインク発泡時に、この気泡ＡはインクＩ中
に発生しこのインクＩに封じ込められた状態で存在す
る。これに対し、ＢＴＪ方式の場合、図８に示すよう
に、吐出口−記録素子間距離ＯＨが比較的短いため、記
録素子Ｈ１１０３の加熱によるインク発泡時に、インク
を吐出させるとともにこの気泡ＡはインクＩ中から吐出
口Ｈ１１０７を介して外部に連通する。

【００８８】このＢＴＪ方式のノズルは、吐出口面積Ｓ
_O×吐出口−記録素子間距離（ＯＨ）が吐出量Ｖｄと実
質的に等しい。例えば、吐出量Ｖｄ＝約５ｐｌとする場
合、吐出口−記録素子間距離ＯＨ＝２５μｍ、吐出口面
積Ｓ_O＝２００μｍ²（直径φ＝約１６μｍ）とすればよ
い。

【００８９】一方、第１の記録素子基板Ｈ１１００は、
ブラックインクの印字が美しく見え、かつ印字速度を高
速にするために、インクの吐出量Ｖｄを約３０ｐｌにし
ている。ＢＴＪ方式によりこの吐出量を達成するために
は、吐出口−記録素子間距離ＯＨ＝２５μｍのとき、吐
出口面積Ｓ_O＝１２００μｍ²（直径φ＝約３９μｍ）と
する必要がある。このようなノズル構成にする場合、所
望の吐出量を達成するためには、３５μｍ×３５μｍ程
度の大型の記録素子（電気熱変換素子）Ｈ１１０３を用
いなければならない。また、吐出口Ｈ１１０７が記録素
子Ｈ１１０３よりも大きくなるので、吐出される液滴の
直進性が失われる。吐出口−記録素子間距離ＯＨを大き
くすれば吐出口面積Ｓ_Oを小さくすることができるが、
流路抵抗が大きくなるため、さらに大きな記録素子Ｈ１
１０３が必要となり、省エネルギーの観点から好ましく
ない。そこで本実施例では、ブラック用の第１の記録素
子基板Ｈ１１００は、ＢＴＪ方式ではなく通常のＢＪ方
式を採用している。そして、吐出口−記録素子間距離Ｏ
Ｈ＝７０〜８０μｍ程度、吐出口面積Ｓ_O＝６００〜８
００μｍ²程度の寸法にしている。

【００９０】なお、吐出速度に関しては、着弾精度およ
び初期吐出特性を満足することを考えると８ｍ／ｓｅｃ
以上であることが好ましい。

【００９１】また、前述の吐出量と吐出速度とを満足す
るためには吐出口−記録素子間距離ＯＨは１００μｍ以
下であることが望ましい。

【００９２】図９に示すように、本実施例のインクジェ
ット記録ヘッドでは、同一のプレート（第１のプレート
Ｈ１２００）上に、カラーインク用のＢＴＪ方式の記録
素子基板Ｈ１１０１と、ブラックインク用の通常のＢＪ
方式の記録素子基板Ｈ１１００とを搭載している。この
両記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１は、インク吐出
方式も、インク吐出量も異なるため、駆動させるための
投入エネルギーが異なる。しかし、この記録素子基板Ｈ
１１００，Ｈ１１０１に供給される電源電圧は同じであ
る。これは、記録装置本体に装着される電源が単一であ
る方が低コストで済むからである。

【００９３】同じ電源電圧で各記録素子基板Ｈ１１０
０，Ｈ１１０１の記録素子Ｈ１１０３に電流を流し、イ
ンクを膜沸騰を発生させ、異なる体積のインクを吐出さ
せるために、本実施例のインクジェット記録ヘッドで
は、記録素子Ｈ１１０３に電流を流す時間（パルス幅）
を変えて駆動している。例えば、本実施例のブラックイ
ンク用の記録素子のパルス幅は約２μｓであり、カラー
インク用の記録素子のパルス幅は約０．８μｓである。
本実施例では、記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１に
備えられた記録素子Ｈ１１０３の作り込み時の抵抗値の
違いにより吐出量が狂わないように、複数の駆動パルス
幅を設け、その駆動パルス幅を駆動パルス幅ナンバーに
従って駆動している。この駆動パルス幅ナンバーの決定
は、記録装置本体にてインクジェット記録ヘッドの抵抗
値を求めてそれに従ってもよいし、インクジェット記録
ヘッド組み立て工程中にて抵抗値を求めて、何らかの手
段でそれをインクジェット記録ヘッドに記憶させ、記録
装置にヘッドを装着する際にそれを読み出して決定する
ようにしてもよい。

【００９４】また、本実施例では、記録素子基板Ｈ１１
００，Ｈ１１０１の複数の記録素子Ｈ１１０３を駆動さ
せる際に、流れる電流が大きくなるので、記録装置本体
からインクジェット記録ヘッドまでの配線中で電圧降下
が発生する。それによって、記録素子基板Ｈ１１００，
Ｈ１１０１に印加される電圧が下がり吐出量が低下する
ことを防ぐための制御として、同時に駆動される記録素
子Ｈ１１０３の数に応じて駆動パルス幅を変更してい
る。

【００９５】これらのパルス幅の信号は、記録装置本体
から、共用の電気コンタクト基板Ｈ２２００および電気
配線テープＨ１３００を介して、各記録素子基板Ｈ１１
００，Ｈ１１０１に供給される。このような構成を採用
することにより、駆動方式の異なる記録素子基板Ｈ１１
００，Ｈ１１０１を、非常にスペース効率よく、かつ低
コストで提供することが可能になっている。

【００９６】（インクジェット記録装置）上述したよう
なカートリッジタイプの記録ヘッドを搭載可能な液体吐
出記録装置について説明する。図１９は、本発明の液体
吐出記録ヘッドを搭載可能な記録装置の一例を示す説明
図である。

【００９７】図１９に示す記録装置において、図１に示
した記録ヘッドカートリッジＨ１０００がキャリッジ１
０２に位置決めして交換可能に搭載されており、キャリ
ッジ１０２には、記録ヘッドカートリッジＨ１０００上
の外部信号入力端子を介して各吐出部に駆動信号等を伝
達するための電気接続部が設けられている。

【００９８】キャリッジ１０２は、主走査方向に延在し
て装置本体に設置されたガイドシャフト１０３に沿って
往復移動可能に案内支持されている。そして、キャリッ
ジ１０２は主走査モータ１０４によりモータプーリ１０
５、従動プーリ１０６およびタイミングベルト１０７等
の駆動機構を介して駆動されるとともにその位置および
移動が制御される。また、ホームポジションセンサ１３
０がキャリッジ１０２に設けられている。これにより遮
蔽板１３６の位置をキャリッジ１０２上のホームポジシ
ョンセンサ１３０が通過した際に位置を知ることが可能
となる。

【００９９】印刷用紙やプラスチック薄板等の記録媒体
１０８は給紙モータ１３５からギアを介してピックアッ
プローラ１３１を回転させることによりオートシートフ
ィーダ（ＡＳＦ）１３２から一枚ずつ分離給紙される。
さらに搬送ローラ１０９の回転により、記録ヘッドカー
トリッジＨ１０００の吐出口面と対向する位置（プリン
ト部）を通って搬送（副走査）される。搬送ローラ１０
９はＬＦモータ１３４の回転によりギアを介して行われ
る。その際、給紙されたかどうかの判定と給紙時の頭出
し位置の確定は、ペーパエンドセンサ１３３を記録媒体
１０８が通過した時点で行われる。さらに、記録媒体１
０８の後端が実際にどこに有り、実際の後端から現在の
記録位置を最終的に割り出すためにもペーパエンドセン
サ１３３は使用されている。

【０１００】ペーパエンドセンサ１３３の外側、すなわ
ち記録領域外に、記録ヘッドカートリッジＨ１０００の
吐出口面と対向可能にキャップユニット１４０が設けら
れている。このキャップユニット１４０のキャップ部材
１４１は、非記録時等に記録ヘッドカートリッジＨ１０
００の吐出口Ｈ１１０７の前方を覆い、吐出口Ｈ１１０
７の内部や近傍にてインクが乾燥して固化し目詰まり状
態となって吐出不良の原因となることを防ぐための乾燥
を防止したり、非記録時に吐出口Ｈ１１０７および流路
内部の気泡や混入物をインクとともに強制排出する予備
吐出を行う際に、吐出されたインクを受けるなどの作用
をする。キャップ部材１４１の構成については後述す
る。

【０１０１】なお、記録媒体１０８は、プリント部にお
いて平坦なプリント面を形成するように、その裏面をプ
ラテン（不図示）により支持されている。この場合、キ
ャリッジ１０２に搭載された記録ヘッドカートリッジＨ
１０００は、それらの吐出口面がキャリッジ１０２から
下方へ突出して前記２組の搬送ローラ対の間で記録媒体
１０８と平行になるように保持されている。

【０１０２】記録ヘッドカートリッジＨ１０００は、各
吐出部における吐出口Ｈ１１０７の並び方向が上述した
キャリッジ１０２の走査方向に対して交差する方向にな
るようにキャリッジ１０２に搭載され、これらの吐出口
列から液体を吐出して記録を行なう。

【０１０３】次に、図２０〜２６を参照してキャップ部
材について詳細に説明する。

【０１０４】図２０には、キャッピング前のインクジェ
ット記録ヘッドＨ１００１の外形を概略的に示してい
る。本実施例では、ブラックインク用とカラーインク用
の２つの記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１が、第１
のプレートＨ１２００の同一平面（実質的に一様な平坦
面）上に隣接して配置されている。図９に示すように、
両記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１は、吐出口形成
部材の厚さが異なっており、吐出口−記録素子間の距離
が異なっているため、結果的に記録素子基板全体の厚さ
が異なっている。単一のキャップ部材１４１が、この両
記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１をひとまとめにキ
ャッピングする。キャップ部材１４１は、図２１に示す
ようにリブ部１４１ａにより単一のキャッピング空間１
４７が形成されている。本実施例のキャップ部材１４１
は、図２１に示すように記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１
１０１に対応した外形であるが、図２２に示すように矩
形状の外形であっても構わない。

【０１０５】本実施例では、両記録素子基板Ｈ１１０
０，Ｈ１１０１が一様に平坦な同一平面（平坦面）上に
位置しているので、単一のキャップ部材１４１を用い
て、リブ部１４１ａをこの平坦面に密着させることによ
り、両記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１を同時にキ
ャッピングすることができる。仮に、図２７，２８に示
すように各記録素子基板２００，２０１がそれぞれ異な
る面上に位置していたとしたら、単一のキャップ部材に
より密閉するようにキャッピングすることは非常に困難
であるが、本実施例では両記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ
１１０１が同一平坦面上にあるために、単一のキャップ
部材１４１で容易に確実なキャッピングが行え、構成の
簡略化やコストダウンの効果が大きい。また、図２３に
示すように両記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１の間
に大きな間隔がある場合には、従来は、図２４に示すよ
うに分離独立した２つのキャップ部材１４２，１４３に
よりキャッピングを行っており、構成の複雑化および高
コスト化を招く。これに対し、本実施例では両記録素子
基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１が隣接しているので、これ
らを単一のキャップ部材１４１でキャッピング可能であ
るとともに、このキャップ部材Ｈ１４１は比較的小型に
できる。また、図２５に示すように両記録素子基板Ｈ１
１００，Ｈ１１０１の間に若干の間隔がある場合には、
図２６に示すように単一のキャップ部材１４４のリブ部
１４４ａにより２つのキャッピング空間１４５，１４６
を形成する構成とすると、各キャッピング空間１４５，
１４６に各記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１の吐出
口Ｈ１１０７をそれぞれ配置することにより、キャッピ
ングの確実性が向上する。両キャッピング空間１４５，
１４６の境界部におけるリブ部１４４ｂは、２つのキャ
ッピング空間１４５，１４６の両方の輪郭線として共有
化されているので、構成がさほど複雑にはならずに、キ
ャッピングの信頼性を高めることができる。

【０１０６】［実施例２］ここでは実施例１の構成と異
なる部分のみを図１７〜図１８を参照して説明する。

【０１０７】図１７は第２の記録素子基板の変形例を示
すもので図１７（ａ）は正面図、図１７（ｂ）は断面図
である。また図１８はこの記録素子基板をインクジェッ
ト記録ヘッドに組み込んだ図である。

【０１０８】本実施例の、カラー記録に使用する第２の
記録素子基板８００は、図１７（ｃ）に代表して示すよ
うに、エネルギー変換素子としての電気熱変換素子（記
録素子）６５を含む基板６７と、吐出口６１を形成する
オリフィスプレート６６とを備えている。基板６７は、
面方位＜１００＞のシリコン単結晶で形成され、基板６
７上には、複数の電気熱変換素子６５の列、各列の電気
熱変換素子６５を駆動するための駆動回路６３、外部と
接続するためのコンタクトパッド６９、駆動回路６３お
よびコンタクトパッド６９を接続する配線６８等が半導
体プロセスを用いて形成されている。また、基板６７に
は上述の駆動回路６３、電気熱変換素子６５、配線６８
等を除いた領域に、異方性エッチングにより形成された
貫通口が５つ設けられ、それぞれ後述する吐出口列７１
〜７３，８１〜８３に液体を提供するためのインク供給
口６２，６２ａを形成している。なお、図１７（ａ）は
基板６７に対して略透明なオリフィスプレート６６を形
成した状態を模式的に表しており、上述の電気熱変換素
子やインク供給口は省略して描かれている。

【０１０９】基板６７上に設けられるオリフィスプレー
ト６６は感光性エポキシ樹脂で形成され、フォトリソグ
ラフィ技術を用いて前述の電気熱変換素子６５に対応し
て、吐出口６１および液流路６０が形成されている。

【０１１０】また記録素子基板８００は、コンタクトパ
ッド６９を電気配線テープの電極端子と接続すること
で、この配線板に繋がった外部信号入力端子が記録装置
の電気接続部と接続した際に、駆動信号などを記録装置
から受け取ることができる。さらに、インク供給口６
２，６２ａ等はインク供給ユニットの流路形成部材Ｈ１
６００のインク流路を介して各色のインクタンクと連通
される。

【０１１１】また本実施例では、吐出口６１は複数設け
られ、それらが所定のピッチで配設されることで、互い
に略平行な吐出口列（吐出部）７１〜７３，８１〜８３
を形成している。ここで、図１７（ａ）において、吐出
口列７１〜７３のそれぞれ図面上からｉ番目の吐出口
は、図１７（ａ）に示す矢印方向に対して一致してい
る。このように、記録ヘッドカートリッジが記録装置等
に搭載されて走査されるときの走査方向に関して、吐出
口列７１〜７３は、それぞれ対応する吐出口が一致する
ように配列されており、第１の吐出口列群７０が形成さ
れている。吐出口列８１〜８３についても吐出口列７１
〜７３と同様に配列されており、吐出口列８１〜８３に
よって第１の吐出口列群７０に隣接するように第２の吐
出口列群８０が形成されている。

【０１１２】この第２の記録素子基板８００は、１つの
基板にインク供給口が５つ設けられ、順番に、片側にシ
アンインク用ノズル、片側にマゼンタインク用ノズル、
両側にイエローインク用ノズル、片側にマゼンタインク
用ノズル、片側にシアンインク用ノズルというノズル配
置になっており、片側６００ｄｐｉで千鳥状に配置さ
れ、１２００ｄｐｉの記録素子が構成されている。

【０１１３】すなわち、２つの吐出口列群による６つの
吐出口列について、最も外側の吐出口列７３，８３では
シアン（Ｃ）を、吐出口列７２，８２ではマゼンタ
（Ｍ）を、最も内側の互いに隣接する吐出口列７１，８
１ではイエロー（Ｙ）を吐出する。そのため、インク供
給口６２ａ（中央部に設けられたインク供給口）にはイ
エローインクが、インク供給口６２ａに隣接する２つの
インク供給口６２にはマゼンタインクが、最も外側の２
つのインク供給口６２にはシアンインクが、それぞれ
Ｙ，Ｍ，Ｃ各色独立のインクタンクから供給されてい
る。このように、中央のインク供給口６２ａは２つの吐
出口列７１，８１に対して液体を供給するものであり、
インク供給口６２ａおよび液流路６０ａはこれら２つの
吐出口列７１，８１の共通の液室部として機能する。

【０１１４】このように、２つの吐出口列群が隣接する
部分に、それぞれ同じ種類の液体を吐出する吐出口列を
並べ、この部分を中央にして他の同種の吐出口列および
それらの駆動回路を略対称に配置することで、インク供
給口６２，６２ａとしての貫通口、および駆動回路や電
気熱変換素子などを基板に対して等間隔に無駄無く配置
し、基板サイズを小さくすることができる。しかも、こ
のように同種の液体を吐出する吐出口列を線対称に配置
したことで、往復記録（双方向プリント）の際、記録媒
体上に所望の色を形成するための１画素に対するインク
打ち込み（吐出）順が往路走査と復路走査で同じになる
ので、走査方向に関わらず発色が均一になり往復印字に
よる色むらの発生を防止することができる。

【０１１５】さらに、図１７（ａ）および図１７（ｂ）
より明らかなように、第１の吐出口列群７０と、第２の
吐出口列群８０とは、それぞれの吐出口群を形成する吐
出口列７１〜７３，８１〜８３の各吐出口が前述した走
査方向に対して互いに補完し合うように、記録ヘッドの
副走査方向（本例の場合、吐出口列の配列方向に一致す
る）に対して、ちょうど吐出口配列のピッチの１／２だ
けずれて配設されている。これにより、吐出口配列ピッ
チに対して実質２倍の高精細印字が可能となる。

【０１１６】さらに、第２の記録素子基板８００では電
気熱変換素子６５の配列密度を１２００ｄｐｉにし、カ
ラーの液滴量を４〜８ｐｌに設定している。一方、実施
例１で説明した第１の記録素子基板Ｈ１１００では電気
熱変換素子の配列密度を６００ｄｐｉにし、ブラックの
液滴量を２０〜４０ｐｌに設定している。そのため、第
２の記録素子基板８００の各電気熱変換素子６５の大き
さはブラック用の第１の記録素子基板Ｈ１１００の電気
熱変換素子よりも小さく、また各吐出口６１の大きさも
第１の記録素子基板７の吐出口よりも小さい。例えば、
ブラックの液滴３０ｐｌを得るために、第１の記録素子
基板７の吐出口−電気熱変換素子間距離ＯＨは７０〜８
０μｍ、吐出口面積Ｓ_Oは６００〜８００μｍ²である。
一方、カラーの液滴５ｐｌを得るために、第２の記録素
子基板８のＯＨは２５μｍ、Ｓ_Oは２００μｍ²である。
この条件は上述の実施例１と同じである。

【０１１７】本実施例では、上記のとおりの構成の第２
の記録素子基板８００と、実施例１で説明したとおりの
第１の記録素子基板Ｈ１１００とを、第１のプレートＨ
１３００上に接着固定して、実施例１で説明したのと同
じ構成の記録ヘッドカートリッジ（図１８参照）を組み
立てた。

【０１１８】また、カラー用の第２の記録素子基板８０
０上の電気熱変換素子の密度をブラック用の第１の記録
素子基板Ｈ１１００上の電気熱変換素子の２倍の密度で
配列する（例えば、第１の記録素子基板Ｈ１１００上の
電気熱変換体の密度が６００ｄｐｉ、第２の記録素子基
板８００上の電気熱変換素子の密度が１２００ｄｐｉ）
ことにより、２５ＫＨｚ、１６時分割駆動を行っても約
２．５μｓの加熱パルス幅を確保することができた。通
常のパルス幅１μｓに対し、電気熱変換体の抵抗値の製
造バラツキや、吐出電流による電圧降下の補正を行って
もパルス幅は２μｓ程度に抑えられ、１０⁹パルスまで
問題なく使用できた。これに対し、第２の記録素子基板
８００上の電気熱変換体の密度を第１の記録素子基板Ｈ
１１００上の電気熱変換体の密度と等しくした場合、同
じ記録速度を得るためには５０ＫＨｚが必要であり、パ
ルス幅は１．２５μｓ以下に抑える必要がある。この場
合、前記のパルス幅による補正が十分行えないため、電
圧を上げて使用する必要があり、１０⁷パルスで電気熱
変換体が破断してしまった。

【０１１９】本実施例でも、実施例１と同様に、第１の
記録素子基板７の吐出口面と第２の記録素子基板８００
の吐出口面がそれぞれ第１プレートＨ１２００の裏面を
基準として高さが異なっている。すなわちモノクロ記録
用に使用する第１の記録素子基板Ｈ１１００の吐出口面
の方が、カラー記録用に用いる第２の記録素子基板８０
０の吐出口面よりも基準面からの高さが高くなってい
る。

【０１２０】

【発明の効果】本発明によると、１つのインクジェット
記録ヘッドに、記録素子と吐出口との間の距離が異なる
複数の記録素子基板が設けられているため、インクジェ
ット記録ヘッドを複数個用意することなく、一体の超小
型の記録ヘッドに異なる吐出方式または異なる量の記録
液を吐出させる個別の記録素子基板を配することができ
る。従って、ブラックインクは大きな液滴を形成し、カ
ラーインクは小さな液滴を形成して、ブラックインクに
よる記録を高速かつ高効率化するとともに、カラーイン
クによる記録を高品質化することができる。そして、こ
の複数の記録素子基板を、一体のキャップ部材で容易か
つ確実にキャッピングできる。しかも、構成が簡単で、
記録素子基板同士をごく近接して配置可能にしたため
に、記録ヘッド自体の小型化はもちろん、記録ヘッドの
主走査幅そのものを大幅に縮めることを可能にし、大型
化を招くおそれがなく、製造コストを低く抑えられる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１における記録ヘッドカートリ
ッジの斜視図である。

【図２】図１に示す記録ヘッドの構成を示す分解斜視図
である。

【図３】本発明の実施例１における記録素子基板の構成
を示す一部切り欠き説明斜視図である。

【図４】本発明の実施例１における他の記録素子基板の
構成を示す一部切りかき説明斜視図である。

【図５】本発明の実施例１における記録素子ユニットの
要部分解模式断面図である。

【図６】本発明の実施例１における記録素子ユニットの
要部拡大断面図である。

【図７】本発明の実施例１における記録素子ユニットの
要部拡大分解斜視図である。

【図８】２通りのインク吐出方式を説明する模式図であ
る。

【図９】本発明の実施例１における記録素子基板および
第１のプレートの拡大断面図である。

【図１０】インク流路、オリフィス部形成前の基板の模
式的斜視図である。

【図１１】溶解可能なインク流路パターンを形成した基
板の模式図である。

【図１２】被覆樹脂層を形成した基板の模式図である。

【図１３】被覆樹脂層にインク吐出口のパターン露光を
行っている基板の模式図である。

【図１４】パターニングされた被覆樹脂層を現像した基
板の模式図である。

【図１５】溶解可能な樹脂パターンを溶出した基板の模
式図である。

【図１６】インク供給部材を配置した基板の模式図であ
る。

【図１７】本発明の実施例２の第２の記録素子基板の説
明図である。

【図１８】本発明の実施例２の第２の記録素子基板を用
いた記録ヘッドカートリッジの斜視図である。

【図１９】本発明のインクジェット記録装置の一例を示
す説明図である。

【図２０】図１９に示すインクジェット記録装置のイン
クジェット記録ヘッドとキャップ部材を示す概略図であ
る。

【図２１】図２０に示すインクジェット記録ヘッドがキ
ャップ部材にてキャッピングされた状態を模式的に示す
概略図である。

【図２２】インクジェット記録ヘッドが、キャップ部材
の変形例にてキャッピングされた状態を模式的に示す概
略図である。

【図２３】大きな間隔をおいて記録素子基板が配置され
たインクジェット記録ヘッドと２つのキャップ部材を示
す概略図である。

【図２４】図２３に示すインクジェット記録ヘッドが２
つのキャップ部材にてキャッピングされた状態を模式的
に示す概略図である。

【図２５】小さな間隔をおいて記録素子基板が配置され
たインクジェット記録ヘッドと２つのキャップ部材を示
す概略図である。

【図２６】図２５に示すインクジェット記録ヘッドがキ
ャップ部材にてキャッピングされた状態を模式的に示す
概略図である。

【図２７】従来のインクジェット記録ヘッドと２つのキ
ャップ部材を示す概略図である。

【図２８】図２７に示すインクジェット記録ヘッドがキ
ャップ部材にてキャッピングされた状態を模式的に示す
概略図である。

【符号の説明】

Ｈ１０００ 記録ヘッドカートリッジ Ｈ１００１ 記録ヘッド（インクジェット記録ヘッ
ド） Ｈ１００２ 記録素子ユニット Ｈ１００３ インク供給ユニット Ｈ１１００ 第１の記録素子基板 Ｈ１１０１ 第２の記録素子基板 Ｈ１１０２ インク供給口（供給口） Ｈ１１０３ 電気熱変換素子（記録素子） Ｈ１１０４ 電極 Ｈ１１０５ バンプ Ｈ１１０６ インク流路壁 Ｈ１１０７ 吐出口 Ｈ１１０８ 吐出口群 Ｈ１１１０ Ｓｉ基板 Ｈ１２００ 第１のプレート（第１の支持部材） Ｈ１２０１ インク連通口 Ｈ１２０２ 第１の接着層 Ｈ１２０３ 第２の接着層 Ｈ１３００ 電気配線テープ（可撓性の配線基板） Ｈ１３０１ 外部信号入力端子 Ｈ１３０２ 電極リード Ｈ１３０６ 第３の接着層 Ｈ１３０９ 端子位置決め穴 Ｈ１４００ 第２のプレート Ｈ１５００ インク供給部材 Ｈ１５０１ インク流路 Ｈ１５０３ 第１の穴 Ｈ１５０９ Ｘ突き当て部 Ｈ１５１０ Ｙ突き当て部 Ｈ１５１１ Ｚ突き当て部 Ｈ１５１２ 端子固定部 Ｈ１５１５ 端子位置決めピン Ｈ１５２０ ジョイント部 Ｈ１６００ 流路形成部材 Ｈ１６０１ 装着ガイド Ｈ１６０２ インク連通口 Ｈ１７００ フィルター Ｈ１８００ シールゴム Ｈ１９００ インクタンク Ｈ１９０１ ブラックインクタンク Ｈ１９０２ シアンインクタンク Ｈ１９０３ マゼンタインクタンク Ｈ１９０４ イエローインクタンク Ｈ１９０７ インク連通口 Ｈ１９１０ 第２の爪 Ｈ２０００ タンクホルダー Ｈ２３００ ジョイントシール部材 Ｈ２４００ ビス Ｈ１、Ｈ２ デバイスホール １ 基板 ２ インク吐出圧力発生素子 ３ インク供給口 ４ 溶解可能な樹脂層で形成されたインク流
路 ５ 被覆樹脂層 ６ マスク ７ インク供給部材 ８ 電極 ６１ 吐出口 ６２，６２ａ インク供給口 ６３ 駆動回路 ６５ 電気熱変換素子（記録素子） ６７ 基板 ６８ 配線 ６９ コンタクトパッド ７０ 第１の吐出口列群 ７１，７２，７３ 吐出口列 ８０ 第２の吐出口列群 ８１，８２，８３ 吐出口列 ８００ 第２の記録素子基板 １０２ キャリッジ １０３ ガイドシャフト １０４ 主走査モータ １０５ モータプーリ １０６ 従動プーリ １０７ タイミングベルト １０８ 記録媒体 １０９ 搬送ローラ １３０ ホームポジションセンサ １３１ ピックアップローラ １３２ オートシートフィーダ １３３ ペーパエンドセンサ １３４ ＬＦモータ（ラインフィードモータ） １３５ 給紙モータ １３６ 遮蔽板 １４０ キャップユニット １４１ キャップ部材 １４１ａ リブ部 １４２，１４３，１４４ キャップ部材 １４５，１４６，１４７ キャッピング空間

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 矢澤 剛 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C056 EA11 EA23 EA24 EC07 EC42 FA03 FA10 HA05 HA22 JA09 KC22 2C057 AF91 AF99 AG04 AG15 AG39 AM15 AM21 AN01 AP02 AP22 AP23 AP25 AP34 AP47 AP57 AQ02 AQ04 BA03 BA13

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 記録液に吐出エネルギーを付与する複数
   の記録素子と、前記吐出エネルギーを受容する記録液を
   貯留する複数の流路と、前記記録液を吐出する複数の吐
   出口とを有する記録素子基板を複数備えてなるインクジ
   ェット記録ヘッドと、 前記インクジェット記録ヘッドの前記吐出口の前方を覆
   う一体のキャップ部材とを有するインクジェット記録装
   置において、 少なくとも１つの前記記録素子基板における前記記録素
   子と前記吐出口との間の距離と、他の前記記録素子基板
   における前記記録素子と前記吐出口との間の距離とが異
   なる、または前記記録素子基板の厚みが異なる、または
   両者の記録素子による液体吐出方式が異なる前記複数の
   記録素子基板が、実質的に一様な平坦面上に互いに隣接
   して配置されており、 前記一体のキャップ部材が、前記複数の記録素子基板の
   前記吐出口を、前記実質的に一様な平坦面上で同時にキ
   ャッピング可能であることを特徴とするインクジェット
   記録装置。
2. 【請求項２】 前記キャップ部材は、リブ部が前記平坦
   面に密着することによりキャッピングを行う、請求項１
   に記載のインクジェット記録装置。
3. 【請求項３】 前記キャップ部材の前記リブ部に囲まれ
   て単一のキャッピング空間が形成されており、前記単一
   のキャッピング空間内に前記複数の記録素子基板の前記
   吐出口が位置してキャッピングが行われる、請求項２に
   記載のインクジェット記録装置。
4. 【請求項４】 前記キャップ部材の前記リブ部に囲まれ
   て複数のキャッピング空間が形成されており、前記複数
   のキャッピング空間内にそれぞれ前記記録素子基板の前
   記吐出口が位置してキャッピングが行われる、請求項２
   に記載のインクジェット記録装置。
5. 【請求項５】 前記複数のキャッピング空間の境界に位
   置する前記リブ部の少なくとも一部は、前記複数のキャ
   ッピング空間において共有される輪郭線となっている、
   請求項４に記載のインクジェット記録装置。
6. 【請求項６】 前記記録液として黒系の液体が供給され
   る前記記録素子基板における前記記録素子と前記吐出口
   との間の距離が相対的に長く、前記記録液としてカラー
   系の液体が供給される前記記録素子基板における前記記
   録素子と前記吐出口との間の距離が相対的に短い、請求
   項１〜５のいずれか１項に記載のインクジェット記録装
   置。
7. 【請求項７】 前記記録液として黒系の液体が供給され
   る前記記録素子基板の前記吐出口から吐出される前記記
   録液の吐出量が相対的に多く、前記記録液としてカラー
   系の液体が供給される前記記録素子基板の前記吐出口か
   ら吐出される前記記録液の吐出量が相対的に少ない、請
   求項６に記載のインクジェット記録装置。
8. 【請求項８】 前記記録液として黒系の液体が供給され
   る前記記録素子基板の前記記録素子による液体吐出方式
   が、前記記録素子の作動により前記記録液に発泡をもた
   らすとともに、該発泡により形成された気泡が消泡して
   消滅する吐出方式であり、前記記録液としてカラー系の
   液体が供給される前記記録素子基板の前記前記記録素子
   による液体吐出方式が、前記記録素子の作動により前記
   記録液に発泡がもたらされる際に該発泡により形成され
   た気泡が前記吐出口から外部に連通する吐出方式であ
   る、請求項６または７に記載のインクジェット記録装
   置。
9. 【請求項９】 前記複数の記録素子基板が、同一平面上
   に配置された実質的に同じ厚さの基板と、該基板上に積
   層されている吐出口形成部材とを有し、少なくとも１つ
   の前記記録素子基板は、前記吐出口形成部材の高さが他
   の前記記録素子基板と異なっていることにより、前記記
   録素子と前記吐出口との間の距離が異なっている、請求
   項１〜８のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘ
   ッド。
10. 【請求項１０】 前記複数の記録素子基板にそれぞれ前
    記記録液を供給する複数のインクタンクをさらに有す
    る、請求項１〜９のいずれか１項に記載のインクジェッ
    ト記録装置。
11. 【請求項１１】 前記複数の記録素子基板の前記複数の
    記録素子に供給される電気的エネルギーが同一の電源か
    ら供給される、請求項１０に記載のインクジェット記録
    装置。
12. 【請求項１２】 前記複数の記録素子基板が同一の基材
    に実装されている、請求項１０または１１に記載のイン
    クジェット記録装置。